TWI547772B - 光阻回收系統及其方法 - Google Patents

Description

光阻回收系統及其方法

本發明是有關於一種半導體製程的試劑回收系統及其方法，且特別是有關於一種光阻回收系統及其方法。

在半導體製程中，經常使用各種液體來進行不同的製程，例如在微影製程中使用光阻液(photoresist，簡稱PR)。其中，於微影製程的光阻塗佈步驟時，將光阻液利用例如是旋塗法、網版印刷法或者噴印法等方法，塗佈於晶圓(wafer)上。

在實際輸送光阻至機台時，往往會存在一些問題，而影響整個產品的良率及成本。舉例來說，當光阻瓶內的光阻液低於某一存量時，光阻液會無法藉由加壓光阻瓶的方式來送出，造成管路噴空而於光阻液內產生氣泡，因此影響光阻液的品質與輪廓外觀以及產品的良率。為了解決上述問題，有人提出在光阻輸送裝置上設置計數裝置或計時裝置，來管控光阻液使用量。然而，藉由計數裝置或計時裝置來管控光阻液使用量的方式相當耗費人力成本。此外，亦會有人員計算失誤的問題發生，造成管路噴空 導致所送出之光阻液具有氣泡。另外，因為不同產品所需使用的光阻液量不同，所以無法有效地精準控制光阻液的使用率，而造成光阻液殘量過多與光阻液浪費等問題。

另一方面，生產成本降低對於半導體製造業來說越來越關鍵，面對商業上的競爭，必須改善生產成本，例如控制生產成本、縮小製程線寬、或節省生產原物料等。然而，為了排除產生在光阻瓶與管線內的多餘氣泡，或者為了更換光阻瓶時所殘留的光阻液，使得剩餘的光阻液的殘留量無法再用於生產，而導致了光阻液的浪費。日積月累下，造成了生產成本的增加，而使得競爭力下降。

本發明提供一種光阻回收系統，用以回收光阻液，避免因排除光阻瓶或管路內的多餘氣泡，或者更換光阻空瓶時所導致的光阻液的浪費，可有效降低生產成本。

本發明提供一種光阻回收方法，用以簡便地回收光阻液，有助於降低生產成本。

本發明的光阻回收系統，包括：儲存瓶，用以存放光阻液，儲存瓶具有瓶蓋，在瓶蓋上設有第一接頭、第二接頭與第三接頭；加壓裝置，與第一接頭連接；排出管路，與瓶蓋的第二接頭連接；第一切換裝置，設置於排出管路上；第二切換裝置，設置於儲存瓶與第一切換裝置之間的排出管路上；回收管路，連接 第三接頭以及在第一切換裝置與第二切換裝置之間的排出管路；以及第三切換裝置，設置於回收管路上。

在本發明的一實施例中，上述的光阻回收系統的第一接頭為快速接頭。

在本發明的一實施例中，上述的光阻回收系統的第二接頭更具有第二接頭抽取管路延伸至靠近儲存瓶的瓶底處，用以抽取光阻液；第三接頭設置有第三接頭抽取管路，用以回收光阻液。

在本發明的一實施例中，上述的光阻回收系統的加壓裝置為氮氣加壓裝置。

在本發明的一實施例中，上述的光阻回收系統更包括：暫存桶，其是設置於儲存瓶與第二切換裝置之間的排出管路上，並且暫存桶藉由輸送管路連接至機台。

在本發明的一實施例中，上述的光阻回收系統更包括：偵測器，其是設置於儲存瓶與暫存桶之間的排出管路上。

在本發明的一實施例中，上述的光阻回收系統的排出管路是透過三通接頭與回收管路連接。

在本發明的一實施例中，上述的光阻回收系統的三通接頭的材質為鐵氟龍。

在本發明的一實施例中，上述的光阻回收系統的第一切換裝置、第二切換裝置與第三切換裝置為二向閥。

在本發明的一實施例中，上述的光阻回收系統的二向閥的材質為鐵氟龍。

本發明的光阻回收方法，適用於光阻回收系統，光阻回收系統包括：儲存瓶，用以存放光阻液，儲存瓶具有瓶蓋，在瓶蓋上設有第一接頭、第二接頭與第三接頭；加壓裝置，與第一接頭連接；排出管路，與第二接頭連接；第一切換裝置，設置於排出管路上；第二切換裝置，設置於儲存瓶與第一切換裝置之間的排出管路上；回收管路，連接第三接頭以及在第一切換裝置與第二切換裝置之間的排出管路；以及第三切換裝置，設置於回收管路上；本發明的光阻回收方法，包括：關閉第一切換裝置、第二切換裝置及第三切換裝置；將加壓裝置連接至第一接頭，並使得儲存瓶處於飽壓狀態；打開第二切換裝置，使得儲存瓶受到壓力的影響，而使光阻液經由排出管路流向回收管路；以及打開第三切換裝置，並從第一接頭移除加壓裝置的連接，利用壓力差使得回收管路中的光阻液流向儲存瓶。

在本發明的一實施例中，上述的光阻回收方法的第一接頭為快速接頭。

在本發明的一實施例中，上述的光阻回收方法的第二接頭更具有第二接頭抽取管路延伸至靠近儲存瓶的瓶底處，用以抽取光阻液；第三接頭設置有第三接頭抽取管路，用以回收光阻液。

在本發明的一實施例中，上述的光阻回收方法的加壓裝置為氮氣加壓裝置。

在本發明的一實施例中，上述的光阻回收方法更包括：暫存桶，其是設置於儲存瓶與第二切換裝置之間的排出管路上， 並且暫存桶藉由輸送管路連接至機台。

在本發明的一實施例中，上述的光阻回收方法更包括：偵測器，其是設置於儲存瓶與暫存桶之間的排出管路上。

在本發明的一實施例中，上述的光阻回收方法的排出管路是透過三通接頭與回收管路連接。

在本發明的一實施例中，上述的光阻回收方法的三通接頭的材質為鐵氟龍。

在本發明的一實施例中，上述的光阻回收方法的第一切換裝置、第二切換裝置與第三切換裝置為二向閥。

在本發明的一實施例中，上述的光阻回收方法的二向閥的材質為鐵氟龍。

基於上述，由於本發明所提出的光阻回收系統及其方法，可以回收因管路中的氣泡所排出的廢棄光阻液，以及回收更換光阻瓶時，殘留於管線中的光阻液。而且，藉由回收廢棄或殘留於管線中的光阻液，可以大幅降低光阻瓶更換次數，如此一來減少了光阻液的浪費，可有效降低生產成本。

為讓本發明的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

100‧‧‧光阻回收系統

110‧‧‧儲存瓶

115‧‧‧瓶蓋

120‧‧‧第一接頭

121‧‧‧快速接頭

124‧‧‧第二接頭

125‧‧‧第二接頭抽取管路

128‧‧‧第三接頭

129‧‧‧第三接頭抽取管路

130‧‧‧加壓裝置

140‧‧‧排出管路

145‧‧‧三通接頭

151‧‧‧第一切換裝置

152‧‧‧第二切換裝置

153‧‧‧第三切換裝置

160‧‧‧回收管路

170‧‧‧暫存桶

175‧‧‧輸送管路

179‧‧‧機台

180‧‧‧偵測器

S301、S302、S303、S304‧‧‧步驟

圖1是依照本發明的實施例所繪示的光阻回收系統的結構配 置圖。

圖2是依照本發明的實施例所繪示的光阻回收系統的瓶蓋的結構圖。

圖3是依照本發明的實施例所繪示的光阻回收方法的步驟流程圖。

下文中參照所附圖式來更充分地描述本發明實施例。然而，本發明可以多種不同的形式來實踐，並不限於文中所述之實施例。以下實施例中所提到的方向用語，例如「上」等，僅是參考附加圖式的方向，因此使用的方向用語是用來詳細說明，而非用來限制本發明。此外，在圖式中為明確起見可能將各層的尺寸以及相對尺寸作誇張的描繪。

以下，說明本發明的實施例的一種光阻回收系統。本發明的實施例以應用在光阻塗佈製程設備為例做說明，而其並不限於此。

圖1是本發明實施例的一種光阻回收系統的結構配置圖。請參閱圖1，本實施例的光阻回收系統100包括儲存瓶110、加壓裝置130、排出管路140、第一切換裝置151、第二切換裝置152、第三切換裝置153以及回收管路160。其中，儲存瓶110用以存放光阻液。儲存瓶110具有瓶蓋115，並且在瓶蓋115上例如設有第一接頭120、第二接頭124與第三接頭128。

加壓裝置130與第一接頭120連接，用以提供壓力，使得儲存瓶110處於飽壓狀態，而將光阻液利用壓力差的方式從儲存瓶110送出。排出管路140與瓶蓋115的第二接頭152連接，用以輸送光阻液。第一切換裝置151設置於排出管路140上。第二切換裝置152設置於儲存瓶110與第一切換裝置151之間的排出管路140上。回收管路160連接第三接頭128以及在第一切換裝置151與第二切換裝置152之間的排出管路140。以及，第三切換裝置153設置於回收管路160上。

在本發明一實施例中，光阻回收系統100的加壓裝置130例如是氮氣加壓裝置。

在本發明一實施例中，光阻回收系統100的第二接頭124更具有第二接頭抽取管路125延伸至靠近儲存瓶110的瓶底處，用以抽取光阻液；第三接頭128設置有第三接頭抽取管路129，用以回收光阻液，可防止因管路空管而造成顆粒汙染光阻液。

在本發明一實施例中，光阻回收系統100更包括暫存桶170，此暫存桶170是設置於儲存瓶110與第二切換裝置152之間的排出管路140上，並且暫存桶170是藉由輸送管路175連接至機台179。暫存桶170是用來暫存光阻劑，且暫存筒170具有去除氣泡的功能，以防止光阻瓶110排空後於輸送管路175中產生氣泡。

在本發明一實施例中，光阻回收系統100更包括偵測器180，此偵測器180是設置於儲存瓶110與暫存桶170之間的排出 管路140上，用以偵測排出管路140是否有氣泡產生以及儲存瓶110的光阻液是否排空。若發生管路發生氣泡的情況時，偵測器180可快速地偵測到排出管路140中之光阻內氣泡，並可即時進行排除氣泡的步驟。因此，可更加有效地避免因管路中的光阻內氣泡，而影響光阻劑的品質與輪廓外觀以及產品的良率。

在本發明一實施例中，光阻回收系統100的排出管路140是透過三通接頭145與回收管路160連接。三通接頭145的材質例如是鐵氟龍。並且，三通接頭145的另外一端透過排出管路140連接至第一切換裝置151，並且以排出管路140連接至廠務系統端。

在本發明一實施例中，光阻回收系統100的第一切換裝置151、第二切換裝置152與第三切換裝置153例如是二向閥，且此二向閥的材質例如是鐵氟龍。

接著，說明本發明的光阻回收系統的瓶蓋的結構。構件與上述實施例相同者，給予相同的標號，並省略其詳細說明。

圖2是本發明實施例的一種光阻回收系統的瓶蓋的結構圖。請參閱圖2，本發明光阻回收系統100的瓶蓋115設置於儲存瓶110上方，瓶蓋115上設有第一接頭120、第二接頭124與第三接頭128，且第二接頭124具有第二接頭抽取管路125延伸至靠近儲存瓶110的瓶底處，用以抽取光阻液；第三接頭128設置有第三接頭抽取管路129，用以回收光阻液。第一接頭120與加壓裝置130連接，用以提供壓力，第一接頭120例如是快速接頭121來連 接。第二接頭152與排出管路140連接，用以輸送光阻液。第三接頭128與回收管路160連接。

接著，說明本發明的光阻回收方法。構件與上述實施例相同者，給予相同的標號，並省略其詳細說明。

圖3是本發明實施例的一種光阻回收方法的步驟流程圖。請參閱圖3，本發明光阻回收方法適用於如圖1所示的上述實施例中的光阻回收系統100。本發明光阻回收方法包括如下步驟：關閉第一切換裝置151、第二切換裝置152及第三切換裝置153(步驟S301)；將加壓裝置130連接至第一接頭120，並使得儲存瓶110處於飽壓狀態(步驟S302)；打開第二切換裝置152，使得儲存瓶110受到壓力的影響，而使光阻液經由排出管路140流向回收管路160(步驟S303)；以及打開第三切換裝置153，並從第一接頭120移除加壓裝置130的連接，利用壓力差使得回收管路160中的光阻液流向儲存瓶110(步驟S304)。

以下，舉例實施例說明本發明的光阻回收方法。在下面的實施例中，是以將本發明的光阻回收方法應用在當管路中出現氣泡，以及光阻瓶排空時，需要回收含有氣泡的光阻液或者殘留於管線中的光阻液為例做說明。

請同時參閱圖1至圖3，在本實施例中，使用如圖1所示的上述實施例中的光阻回收系統100。當排出管路140因為儲存瓶110排空或者因管路的壓力差過大而產生氣泡，且此氣泡流經位於儲存瓶110與暫存桶170之間的排出管路140上的偵測器180時， 則必須進行氣泡的排除或者更換排空的儲存瓶110，同時進行殘餘的光阻液的回收步驟。

首先，當偵測器180偵測到排出管路140有氣泡產生，依照圖3中的步驟S301，必須先將第一切換裝置151、第二切換裝置152及第三切換裝置153關閉。接著，依照圖3中的步驟S302，將作為加壓裝置130的氮氣加壓裝置的一端利用快速接頭121連接至瓶蓋115上的第一接頭120，打開氮氣加壓裝置的開關，使得儲存瓶110處於飽壓狀態。然後，依照圖3中的步驟S303，打開第二切換裝置152的開關，使得儲存瓶110受到壓力的影響，而使光阻液經由排出管路140流向回收管路160。最後，打開第三切換裝置153，並從瓶蓋115上的第一接頭120移除連接作為加壓裝置130的氮氣加壓裝置的快速接頭121，利用壓力差使得回收管路160中的光阻液流向儲存瓶110，而藉此回收排出管路140中的光阻液。

綜上所述，本發明提供一種光阻回收系統及其方法，可避免因光阻瓶內光阻劑存量不足所產生的管路噴空及其衍生的問題，有效地避免因管路中的光阻內氣泡，而影響光阻劑的品質與輪廓外觀以及產品的良率。並且透過本發明的光阻回收系統及其方法可回收因管路中的氣泡所排出的廢棄光阻液，以及回收更換光阻瓶時，殘留於管線中的光阻液。藉由回收廢棄或殘留於管線中的光阻液，可以大幅降低光阻瓶更換次數，如此一來可有效光阻液的浪費，可有效降低生產成本。

雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本發明的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。

100‧‧‧光阻回收系統

110‧‧‧儲存瓶

115‧‧‧瓶蓋

120‧‧‧第一接頭

124‧‧‧第二接頭

125‧‧‧第二接頭抽取管路

128‧‧‧第三接頭

129‧‧‧第三接頭抽取管路

130‧‧‧加壓裝置

140‧‧‧排出管路

145‧‧‧三通接頭

151‧‧‧第一切換裝置

152‧‧‧第二切換裝置

153‧‧‧第三切換裝置

160‧‧‧回收管路

170‧‧‧暫存桶

175‧‧‧輸送管路

179‧‧‧機台

180‧‧‧偵測器

Claims (20)

1. 一種光阻回收系統，包括：儲存瓶，用以存放光阻液，所述儲存瓶具有瓶蓋，在所述瓶蓋上設有第一接頭、第二接頭與第三接頭；加壓裝置，與所述第一接頭連接；排出管路，與所述瓶蓋的所述第二接頭連接；第一切換裝置，設置於所述排出管路上；第二切換裝置，設置於所述儲存瓶與所述第一切換裝置之間的所述排出管路上；回收管路，連接所述第三接頭以及在所述第一切換裝置與所述第二切換裝置之間的所述排出管路；以及第三切換裝置，設置於所述回收管路上。
2. 如申請專利範圍第1項所述的光阻回收系統，其中所述第一接頭為快速接頭。
3. 如申請專利範圍第1項所述的光阻回收系統，其中所述第二接頭更具有第二接頭抽取管路延伸至靠近所述儲存瓶的瓶底處，用以抽取光阻液；第三接頭設置有第三接頭抽取管路，用以回收光阻液。
4. 如申請專利範圍第1項所述的光阻回收系統，其中所述加壓裝置為氮氣加壓裝置。
5. 如申請專利範圍第1項所述的光阻回收系統，更包括：暫存桶，設置於所述儲存瓶與所述第二切換裝置之間的所述 排出管路上，並且所述暫存桶藉由輸送管路連接至機台。
6. 如申請專利範圍第5項所述的光阻回收系統，更包括：偵測器，設置於所述儲存瓶與所述暫存桶之間的所述排出管路上。
7. 如申請專利範圍第1項所述的光阻回收系統，其中所述排出管路是透過三通接頭與所述回收管路連接。
8. 如申請專利範圍第7項所述的光阻回收系統，其中所述三通接頭的材質為鐵氟龍。
9. 如申請專利範圍第1項所述的光阻回收系統，其中所述第一切換裝置、所述第二切換裝置與所述第三切換裝置為二向閥。
10. 如申請專利範圍第9項所述的光阻回收系統，其中所述二向閥的材質為鐵氟龍。
11. 一種光阻回收方法，適用於光阻回收系統，所述光阻回收系統包括：儲存瓶，用以存放光阻液，所述儲存瓶具有瓶蓋，在所述瓶蓋上設有第一接頭、第二接頭與第三接頭；加壓裝置，與所述第一接頭連接；排出管路，與所述第二接頭連接；第一切換裝置，設置於所述排出管路上；第二切換裝置，設置於所述儲存瓶與所述第一切換裝置之間的所述排出管路上；回收管路，連接所述第三接頭以及在所述第一切換裝置與所述第二切換裝置之間的所述排出管路；以及第三切換裝置，設置於所述回收管路上，所述光阻回收方法，包括：關閉所述第一切換裝置、所述第二切換裝置及所述第三切換 裝置；將所述加壓裝置連接至所述第一接頭，並使得所述儲存瓶處於飽壓狀態；打開所述第二切換裝置，使得所述儲存瓶受到壓力的影響，而使所述光阻液經由所述排出管路流向所述回收管路；以及打開所述第三切換裝置，並從所述第一接頭移除所述加壓裝置的連接，利用壓力差使得所述回收管路中的所述光阻液流向所述儲存瓶。
12. 如申請專利範圍第11項所述的光阻回收方法，其中所述第一接頭為快速接頭。
13. 如申請專利範圍第11項所述的光阻回收方法，其中所述第二接頭更具有第二接頭抽取管路延伸至靠近所述儲存瓶的瓶底處，用以抽取光阻液；第三接頭設置有第三接頭抽取管路，用以回收光阻液。
14. 如申請專利範圍第11項所述的光阻回收方法，其中所述加壓裝置為氮氣加壓裝置。
15. 如申請專利範圍第11項所述的光阻回收方法，其中，所述的光阻回收系統更包括：暫存桶，設置於所述儲存瓶與所述第二切換裝置之間的所述排出管路上，並且所述暫存桶藉由輸送管路連接至機台。
16. 如申請專利範圍第15項所述的光阻回收方法，其中，所述的光阻回收系統更包括： 偵測器，設置於所述儲存瓶與所述暫存桶之間的所述排出管路上。
17. 如申請專利範圍第11項所述的光阻回收方法，其中所述排出管路是透過三通接頭與所述回收管路連接。
18. 如申請專利範圍第17項所述的光阻回收方法，其中所述三通接頭的材質為鐵氟龍。
19. 如申請專利範圍第11項所述的光阻回收方法，其中所述第一切換裝置、所述第二切換裝置與所述第三切換裝置為二向閥。
20. 如申請專利範圍第19項所述的光阻回收方法，其中所述二向閥的材質為鐵氟龍。