TWI547758B

TWI547758B - 感光性組成物、成形物的製造方法、成形物及半導體裝置

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Publication number: TWI547758B
Application number: TW101126500A
Authority: TW
Inventors: 末光由樹; 川島直之; 菅原周一
Original assignee: Jsr股份有限公司
Priority date: 2011-08-23
Filing date: 2012-07-23
Publication date: 2016-09-01
Also published as: TW201310169A; CN102955360A

Description

感光性組成物、成形物的製造方法、成形物及半導體裝置

本發明關於一種感光性組成物、使用該感光性組成物的成形物的製造方法、由該成形物的製造方法而所得的成形物、及包含該成形物的半導體裝置。

於感光性組成物中添加抗氧化劑可有效地對由感光性組成物所得的成形物賦予耐熱性。

然而，具有受阻酚結構的抗氧化劑的自由基捕獲能力高，因此存在感光性組成物的UV硬化性降低的問題。為了提高UV硬化性，已知有添加硬化性高的自由基引發劑的方法，但硬化性高的自由基引發劑具有直至可見光區域的吸收，因此存在保存穩定性低的問題。而且，所硬化的成形物存在由於加熱而黃變等問題，因此並不適於透明膜或相機透鏡模組等透明材料用途。

另一方面，於使用含有硫的抗氧化劑的情況時，雖然阻礙UV硬化的作用小，但存在相對於(甲基)丙烯酸酯化合物的溶解性的問題。因此，為了提高相對於(甲基)丙烯酸酯化合物的溶解性，例如提出了於末端具有硫代(甲基)丙烯酸酯末端的聚合物(專利文獻1)。而且，提出了含有該聚合物、(甲基)丙烯酸酯化合物、及自由基聚合引發劑的硬化性樹脂組成物(專利文獻1)。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2010-209279號公報

本發明的目的在於提供一種保存穩定性及UV硬化性優異、且可形成具有耐熱性的成形物的感光性組成物，使用該感光性組成物的成形物的製造方法，由該成形物的製造方法而所得的成形物，以及包含該成形物的半導體裝置。

本發明者為了解決上述課題而進行了銳意研究，結果發現利用感光性組成物(所述感光性組成物包含特定的硫醚化合物、特定的光聚合引發劑、及特定的具有(甲基)丙烯醯基的化合物)、使用該感光性組成物的成形物的製造方法，可達成本發明的目的，從而完成本發明。

亦即，本發明提供以下的[1]~[13]。

[1]一種成形物的製造方法，其包含如下步驟：於第1板及第2板的至少任一方上塗布感光性組成物，形成感光性組成物塗膜的步驟；介隔所述感光性組成物塗膜而對所述第1板與所述第2板進行按壓的步驟；於介隔所述感光性組成物塗膜而按壓所述第1板與所述第2板的狀態下，對所述感光性組成物塗膜進行曝光的步驟；將所述第1板與所述第2板分離的步驟；對曝光後的所述感光性組成物塗膜進行加熱的步驟；所述第1板及所述第2板的至少任一方於其表面具有包含凹部及凸部、或者凹部、凸部及平坦的圖案，於對所述第1板與所述第2板進行按壓的步驟中，所述感光性組成物塗膜追隨所述圖案，

其特徵在於：所述感光性組成物包含(a)下述通式(1) 所表示的硫醚化合物、 (於上述通式(1)中，R¹及R²分別獨立為碳數為1~20的有機基) (b)光聚合引發劑(其中，氧化膦化合物及α-胺烷基苯酮化合物除外)、 (c)於1分子內具有1個~6個(甲基)丙烯醯基的化合物。

[2]根據上述[1]所述的成形物的製造方法，其特徵在於：所述(a)成分是所述通式(1)的R¹及R²分別獨立地表示氫原子亦可被烷氧基或芳氧基取代的碳數為12~18的烴基的硫醚化合物。

[3]根據上述[2]所述的成形物的製造方法，其特徵在於：所述(a)成分是硫代二丙酸二(十三烷基)酯。

[4]根據上述[1]~[3]中任一項所述的成形物的製造方法，其特徵在於：所述(b)成分是具有下述通式(2)所表示的基的羥基酮化合物； (於上述通式(2)中，R⁴及R⁵可分別獨立為氫原子或碳數為1~20的有機基，R⁴及R⁵亦可形成具有碳數為3~20的環狀結構的一個有機基)。

[5]根據上述[1]~[4]中任一項所述的成形物的製造方法，其特徵在於：於將(a)成分與(b)成分與(c)成分的合計量設為100質量份的情況時，所述(c)成分包含10質量份~99.89質量份的含有芳香族基的(甲基)丙烯酸酯化合物。

[6]根據上述[1]~[5]中任一項所述的成形物的製造方法，其特徵在於：於將(a)成分與(b)成分與(c)成分的合計量設為100質量份的情況時，所述(c)成分包含10質量份~70質量份的(c-1)下述通式(3)所表示的芴化合物； (於上述通式(3)中，R⁶及R⁷分別獨立為碳數為2~4的直鏈狀或支鏈狀的亞烷基；R⁸及R⁹分別獨立為氫原子或甲基；a及b為整數，且a+b=0~24；通式(3)中的芴骨架亦可具有碳數為1~28的取代基)。

[7]根據上述[1]~[6]中任一項所述的成形物的製造方法，其特徵在於：於將(a)成分與(b)成分與(c)成分的合計量設為100質量份的情況時，所述(c)成分包含10質量份~50質量份的(c-2)下述通式(4)所表示的聯苯化合物； (於上述通式(4)中，R¹⁰為氫原子或甲基；c為0~24的整數；通式(4)中的聯苯骨架亦可具有碳數為1~28的取代基)。

[8]根據上述[1]~[7]中任一項所述的成形物的製造方法，其特徵在於：包含所述(a)成分0.01質量份~20質量份、所述(b)成分0.1質量份~20質量份、及所述(c)成分60質量份~99.89質量份(其中，(a)成分與(b)成分與(c)成分的合計量為100質量份)。

[9]根據上述[1]~[8]中任一項所述的成形物的製造方法，其特徵在於：所述成形物為透鏡。

[10]一種成形物，其特徵在於：利用根據上述[1]~[9]中任一項所述的製造方法而獲得。

[11]一種成形物，其特徵在於：含有下述通式(1)所表示的硫醚化合物， (於上述通式(1)中，R¹及R²分別獨立為碳數為1~20的有機基)。

[12]一種半導體裝置，其特徵在於：包含根據上述[10]或[11]所述的成形物。

[13]一種感光性組成物，其特徵在於包含：(a)下述通式(1)所表示的硫醚化合物、 (於上述通式(1)中，R¹及R²分別獨立為碳數為1~20的有機基) (b)光聚合引發劑(其中，氧化膦化合物及α-胺烷基苯酮化合物除外)、及(c)於1分子內具有1個~6個(甲基)丙烯醯基的化合物。

本發明的感光性組成物的保存穩定性及UV硬化性優異。另外，由本發明的感光性組成物所得的成形物具有優異的耐熱性，因此該成形物可作為必需耐熱性的材料而使用。

1.感光性組成物

本發明的感光性組成物含有(a)特定的硫醚化合物、(b)光聚合引發劑(其中，氧化膦化合物及α-胺烷基苯酮化合物除外)、(c)於1分子內具有1個~6個(甲基)丙烯醯基的化合物，亦可視需要含有(d)特定的硫醚化合物以外的抗氧化劑。

以下，對本發明的感光性組成物加以詳細說明。

[(a)成分]

構成本發明的感光性組成物的(a)成分是下述通式(1)所表示的硫醚化合物。

[化7]

(於上述通式(1)中，R¹及R²分別獨立為碳數為1~20的有機基。)

此處，自在(甲基)丙烯酸酯化合物中的溶解性的觀點考慮，上述通式(1)中的R¹及R²優選為碳數為12~18的烴基，更優選為碳數為12~14的烴基，特別優選為碳數為13的烴基。該烴基可為直鏈狀與支鏈狀的任意種。

作為(a)成分的具體例，例如可列舉硫代二丙酸二(十三烷基)酯、硫代二丙酸二月桂基酯、硫代二丙酸二硬脂基酯、硫代二丙酸二肉豆蔻基酯、硫代二丙酸月桂基酯硬脂基酯等。其中，優選為硫代二丙酸二(十三烷基)酯。

(a)成分的市售品可列舉DLTP、DSTP、DMTP(以上由艾彼埃(API CORPORATION)製造)、Adekastab AO-412S、AO-503(以上由艾迪科(ADEKA)股份有限公司製造)等。

所述(a)成分的自由基捕獲能力低，因此並不產生使硬化性降低的問題。另外，所述(a)成分相對於(甲基)丙烯酸酯化合物的溶解性良好。因此，本發明的感光性組成物的保存穩定性優異，另外由本發明的感光性組成物而所得的成形物並且不使UV硬化性降低且耐熱性優異。

於將(a)成分、(b)成分及(c)成分的合計量設為100質量份時，(a)成分的含量優選為0.01質量份~20質量份，更優選為0.05質量份~5質量份，特別優選為0.1質量份~2.5質量份。若該量不足0.01質量份，則存在耐熱性的提高並不充分的現象。若該量超過30質量份，則存在硬化性降低的現象。

[(b)成分]

本發明的感光性組成物以賦予感光性為目的而含有光聚合引發劑作為(b)成分(其中，氧化膦化合物及α-胺烷基苯酮化合物除外)。

作為光聚合引發劑的具體例，例如可列舉於365 nm處具有吸收的以下(1)~(11)中所記載的光聚合引發劑。

(1)二苯甲酮、4,4'-雙(二乙基氨基)二苯甲酮、鄰苯甲醯苯甲酸甲酯、4-苯甲醯基-4'-甲基二苯基酮、二苄基酮、芴酮等二苯甲酮衍生物。

(2)2,2'-二乙氧基苯乙酮、2-羥基-2-甲基苯丙酮、2,2-二甲氧基-1,2-二苯基乙烷-1-酮、1-羥基-環己基-苯基-酮(巴斯夫(BASF)公司製造、IRGACURE184)、2-甲基-1-[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉代丙烷-1-酮、2-羥基-1-{4-[4-(2-羥基-2-甲基丙醯基)-苄基]-苯基}-2-甲基丙烷-1-酮(BASF公司製造、IRGACURE127)、苯基乙醛酸甲酯等苯乙酮衍生物。

(3)噻噸酮、2-甲基噻噸酮、2-異丙基噻噸酮、二乙基噻噸酮等噻噸酮衍生物。

(4)苯偶醯、苄基二甲基縮酮、苄基-β-甲氧基乙基縮醛、(2-羥基-1-{4-[4-(2-羥基-2-甲基-丙醯基)-苄基]-苯基}-2-甲基-丙烷-1-酮)(BASF公司製造、IRGACURE127) 等苄基衍生物。

(5)安息香、安息香甲醚、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮等安息香衍生物。

(6)1-苯基-1,2-丁二酮-2-(O-甲氧基羰基)肟、1-苯基-1,2-丙二酮-2-(O-甲氧基羰基)肟、1-苯基-1,2-丙二酮-2-(O-乙氧基羰基)肟、1-苯基-1,2-丙二酮-2-(O-苯甲醯基)肟、1,3-二苯基丙三酮-2-(O-乙氧基羰基)肟、1-苯基-3-乙氧基丙三酮-2-(O-苯甲醯基)肟、1,2-辛二酮，1-[4-(苯硫基)-2-(O-苯甲醯肟)](BASF公司製造、OXE-01)、乙酮，1-[9-乙基-6-(2-甲基苯甲醯基)-9H-哢唑-3-基]-,1-(O-乙醯肟)(BASF公司製造、IRGACURE OXE-02)等肟系化合物。

(7)2-羥基-2-甲基-1-苯基丙烷-1-酮、1-[4-(2-羥基乙氧基)苯基]-2-羥基-2-甲基-1-丙烷-1-酮、2-羥基-1-{4-[4-(2-羥基-2-甲基丙醯基)-苄基]苯基}-2-甲基丙烷等羥基酮系化合物。

(8)雙(η5-2,4-環戊二烯-1-基)-雙(2,6-二氟-3-(1H-吡咯-1-基)苯基)鈦等二茂鈦化合物。

(9)對(N,N-二甲基氨基苯甲酸)乙酯等苯甲酸酯衍生物。

(10)9-苯基吖啶等吖啶衍生物。

(11)2-羥基-1-(4-異丙烯基苯基)-2-甲基丙烷-1-酮寡聚物(BASF公司製造、商品名為IRGACURE907)等高分子型光聚合引發劑。

其中，即使對包含光聚合引發劑的感光性組成物進行加熱，黃變亦較少，自不損及透明性的觀點考慮優選羥基酮化合物。

羥基酮化合物可列舉具有下述通式(2)所表示的基的羥基酮化合物。

(於上述通式(2)中，R⁴及R⁵可分別獨立為氫原子或碳數為1~20的有機基，R⁴及R⁵亦可形成具有碳數為3~20的環狀結構的一個有機基。)

具有上述通式(2)所表示的基的羥基酮化合物例如可列舉下述通式(2-1)或通式(2-2)所表示的化合物。

(於上述通式(2-1)中，R³為碳數為1~20的有機基。R⁴及R⁵可分別獨立為氫原子或碳數為1~20的有機基，R⁴及R⁵亦可形成具有碳數為3~20的環狀結構的一個有機基。)

(於上述通式(2-2)中，R⁴及R⁵與上述通式(2-1)相同。R¹¹為單鍵、碳數為1~20的有機基或下述通式(2-3)所表示的基。)

(於上述通式(2-3)中，R¹²為單鍵或碳數為1~20的有機基。)

此處，R³是碳數為1~20的有機基，例如碳數為1~20的分支鏈或非分支鏈的飽和或不飽和的脂肪族、芳香族或混合脂肪族/芳香族的一價烴基。具體而言可列舉烷基、烯基、芳基、芳烷基，優選為芳基、芳烷基。R¹¹是單鍵、碳數為1~20的有機基、或下述通式(2-3)所表示的基。例如可列舉碳數為1~20的分支鏈或非分支鏈的飽和或不飽和的脂肪族、芳香族或混合脂肪族/芳香族的二價烴基，具體而言為亞烷基、亞烯基、亞芳基或亞芳烷基。R¹²是單鍵或碳數為1~20的有機基，例如碳數為1~20的分支鏈或非分支鏈的飽和或不飽和的脂肪族的二價烴基。具體而言可列舉亞烷基、亞烯基。

具有上述通式(2)所表示的基的羥基酮化合物可列舉於365 nm處具有吸收的1-羥基環己基苯基酮、2-羥基-1-{4-[4-(2-羥基-2-甲基-丙醯基)-苄基]苯基}-2-甲基-丙烷-1-酮、及2-羥基-1-(4-異丙烯基苯基)-2-甲基丙烷-1-酮的寡聚物。

其中，優選為1-羥基環己基苯基酮、及2-羥基-1-{4-[4-(2-羥基-2-甲基-丙醯基)-苄基]苯基}-2-甲基-丙烷-1-酮。

另外，1-羥基環己基苯基酮的化學式如以下的式(5)所示。而且，2-羥基-1-{4-[4-(2-羥基-2-甲基-丙醯基)-苄基]苯基}-2-甲基-丙烷-1-酮的化學式如以下的式(6)所示。

上述(b)成分可單獨使用1種，亦可將2種以上組合使用。

於將本發明中的(a)成分、(b)成分及(c)成分的合計量設為100質量份時，(b)成分的含量優選為0.1質量份~20質量份，更優選為0.5質量份~10質量份，特別優選為1質量份~5質量份。

[(c)成分]

本發明的感光性組成物藉由含有(c)於1分子內具有1個~6個(甲基)丙烯醯基的化合物，可由於光照射與所述(b)成分作用而聚合、硬化。

所述(c)成分的優選例可列舉含有芳香族基的(甲基)丙烯酸酯化合物。

具體而言可列舉(甲基)丙烯酸苯氧基乙酯、三溴苯酚乙氧基(甲基)丙烯酸酯、作為苯酚的環氧乙烷加成物的醇的(甲基)丙烯酸酯、作為對枯基苯酚的環氧乙烷加成物的醇的(甲基)丙烯酸酯、4-(1-甲基-1-苯基乙基)苯氧基乙基(甲基)丙烯酸酯、作為壬酚的環氧乙烷加成物的醇的(甲基)丙烯酸酯、2-甲基丙烯醯氧基乙基鄰苯二甲酸、2-甲基丙烯醯氧基丙基六氫鄰苯二甲酸、2,2-雙(2-羥基-3-丙烯醯氧基丙基苯基)丙烷、環氧乙烷付加雙酚A型二(甲基)丙烯酸酯、環氧乙烷付加四溴雙酚A型二(甲基)丙烯酸酯、環氧丙烷付加雙酚A型二(甲基)丙烯酸酯、環氧丙烷付加四溴雙酚A型二(甲基)丙烯酸酯、雙酚A二縮水甘油醚與(甲基)丙烯酸的環氧開環反應而所得的雙酚A型環氧二(甲基)丙烯酸酯、四溴雙酚A二縮水甘油醚與(甲基)丙烯酸的環氧開環反應而所得的四溴雙酚A型環氧二(甲基)丙烯酸酯、雙酚F二縮水甘油醚與(甲基)丙烯酸的環氧開環反應而所得的雙酚F型環氧二(甲基)丙烯酸酯、四溴雙酚F二縮水甘油醚與(甲基)丙烯酸的環氧開環反應而所得的四溴雙酚F型環氧二(甲基)丙烯酸酯、2,2,2-三(甲基)丙烯醯氧基甲基乙基琥珀酸、琥珀酸改性季戊四醇三丙烯酸酯等。

於本發明中，所述(c)成分優選包含10質量份~99.89質量份的含有芳香族基的(甲基)丙烯酸酯化合物，更優選包含20質量份~95.00質量份的含有芳香族基的(甲基)丙烯酸酯化合物。

而且，自溶解性、折射率的觀點考慮，含有芳香族基的(甲基)丙烯酸酯化合物的優選例可列舉(c-1)下述通式(3)所表示的芴化合物。

(於上述通式(3)中，R⁶及R⁷分別獨立為碳數為2~4的直鏈狀或支鏈狀的亞烷基。R⁸及R⁹分別獨立為氫原子或甲基。a及b為整數，且a+b=0~24。通式(3)中的芴骨架亦可具有碳數為1~28的取代基。)

(c-1)成分的具體例可列舉9,9-雙[4-(2-丙烯醯氧基乙氧基)苯基]芴等。

於本發明中，所述(c)成分優選包含10質量份~70質量份的(c-1)成分，更優選包含20質量份~50質量份的(c-1)成分。

而且，自黏度調整的觀點考慮，含有芳香族基的(甲基)丙烯酸酯化合物的優選例可列舉(c-2)下述通式(4)所表示的聯苯化合物。

(於上述通式(4)中，R¹⁰為氫原子或甲基。c為0~24的整數。通式(4)中的聯苯骨架亦可具有碳數為1~28的取代基。)

具體而言可列舉乙氧基化鄰苯基苯酚丙烯酸酯、鄰苯基苯酚縮水甘油醚(甲基)丙烯酸酯、羥基乙基化鄰苯基苯酚丙烯酸酯等。

於本發明中，所述(c)成分優選地包含10質量份~50質量份的(c-2)成分，更優選地包含20質量份~40質量份的(c-2)成分。

所述(c-1)成分及(c-2)成分以外的(c)成分可列舉以下的化合物。

於1分子內具有1個(甲基)丙烯醯基的化合物例如可列舉(甲基)丙烯酸異冰片基酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯基酯、(甲基)丙烯酸二環戊基酯、(甲基)丙烯酸-1-金剛烷基酯、(甲基)丙烯酸異癸基酯、(甲基)丙烯酸月桂基酯、(甲基)丙烯酸二環戊烯基氧基乙酯、(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸環己酯、(甲基)丙烯酸二環戊二烯基酯、(甲基)丙烯酸三環癸基酯、雙丙酮丙烯醯胺、異丁氧基甲基(甲基)丙烯醯胺、N-乙烯基吡咯烷酮、N-乙烯基己內醯胺、(甲基)丙烯酸-3-羥基環己酯、ω-羧基-聚己內酯單丙烯酸酯、2-丙烯醯基環己基琥珀酸、甲氧基聚乙二醇(甲基)丙烯酸酯等。

於1分子內具有1個(甲基)丙烯醯基的化合物的市售品可列舉：New frontier IBA(第一工業製藥公司製造)；IBXA、IBXMA、ADMA(大阪有機化學公司製造)；FA511A、FA512A、FA513A(以上由日立化成公司製造)；Light ester M、E、BH、IB-X、HO-MS、HO-HH、L、PO、S、TD、Light acrylate L-A、S-A、EC-A、MTG-A、130A、PO-A、P-200A、NP-4EA、THF-A、IB-XA、HOA-MS、HOA-MPL、HOA-MPE(以上由共榮社化學公司製造)；Aronix M150、M156、M5300、TO1315、TO1316(以上由東亞合成公司製造)；FA544A、512M、512MT、513M(以上由日立化成公司製造)、NK Ester A-CMP-1E、A-LEN-10、M-450G、S、S-1800M、S-1800A、PHE-1G、NPA-8E、NPA-5P、NPA-10G、M-90G、LMA、LA、IB、 CB-26、CB-23、CB-1、AMP-60G、AM-30G、A-SA、A-IB、702A(以上由新中村化學工業公司製造)等。

於1分子內具有2個(甲基)丙烯醯基的化合物例如可列舉乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、四乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、聚乙二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,6-己二醇二(甲基)丙烯酸酯、1,9-壬二醇二(甲基)丙烯酸酯、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯、三環癸烷二甲醇二(甲基)丙烯酸酯等。

於1分子內具有2個(甲基)丙烯醯基的化合物的市售品例如可列舉Viscoat#700、#540(以上由大阪有機化學工業公司製造)；Aronix M-208、M-210、M-215(以上由東亞合成公司製造)；NK Ester A-DOD、A-NPG、DCP、A-DCP、BPE-100、BPE-200、BPE-500、A-BPE-4、A-BPEF(以上由新中村化學公司製造)；Light acrylate 1,6-HX-A、Light ester BP-4EA、BP-4PA、Epoxy ester 3002M、3002A、3000M、3000A(以上由共榮社化學公司製造)；KAYARAD R-551、R-712(以上由日本化藥公司製造)；BPE-4、BPE-10、BR-42M(以上由第一工業製藥公司製造)；Lipoxy VR-77、VR-60、VR-90、SP-1506、SP-1506、SP-1507、SP-1509、SP-1563(以上由昭和高分子公司製造)；Neopol V779、Neopol V779MA(以上由日本優比可股份有限公司(Japan U-PiCA Company,Ltd.)製造)等。

而且，於1分子內具有3個~6個(甲基)丙烯醯基的化合物例如可列舉三(2-羥基乙基)異三聚氰酸酯三(甲基)丙烯酸酯、己內酯改性三(2-羥基乙基)異三聚氰酸酯三(甲基)丙烯酸酯、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、環氧乙烷(以下稱為「EO」)改性三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、環氧丙烷(以下稱為「PO」)改性三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯、二-三羥甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、2,2,2-三(甲基)丙烯醯氧基甲基乙基鄰苯二甲酸、EO改性三(丙烯醯氧基)異三聚氰酸酯、己內酯改性三-(2-丙烯醯氧基乙基)異三聚氰酸酯、三(丙烯醯氧基)異三聚氰酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、PO改性季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、EO改性二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、PO改性二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內酯改性二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、己內酯改性二季戊四醇五(甲基)丙烯酸酯、二-三羥甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯、磷酸三丙烯醯氧基乙酯等。

於1分子內具有3個~6個(甲基)丙烯醯基的化合物的市售品例如可列舉Aronix M-315、M-325、M-327、TO-756、TO-1382(以上由東亞合成公司製造)；NK Ester TM-4EL、CBX-O、CBX-1N、A-DPH-6H、A-9300、A-DPH、A-9300-1CL、TMPT、TMPT-9EO、ATM-4P、ATM-4E、ATM-35E、AD-TMP、A-TMPT、A-TMPT-3EO、A-TMPT-3PO、A-TMMT、A-TMM-3LMN(以上由新中村化學工業公司製造)；Light ester TMP、Light acrylate TMP-A、TMP-6EO-3A、PE-3A、PE-4A、DPE-6A、BA-134、 TMP-3EO-A(以上由共榮社化學製造)；Viscoat 295、360、3PA、400(以上由大阪有機化學工業公司製造)；KAYARAD PET-30、DPHA(以上由日本化藥公司製造)等。

而且，亦可使用主鏈具有聚醚、聚酯的聚醚丙烯酸酯低聚物、聚酯丙烯酸酯低聚物、或者聚環氧丙烯酸酯低聚物。

(c)成分可單獨使用上述化合物的1種，亦可將2種以上組合使用。

於將(a)成分、(b)成分及(c)成分的合計量設為100質量份時，本發明中的(c)成分的含量優選為60質量份~99.89質量份，更優選為70質量份~99.00質量份，特別優選為80質量份~98.00質量份。

[(d)成分]

於本發明的感光性組成物中，可以控制UV硬化性的目的而含有特定的硫醚化合物((a)成分)以外的抗氧化劑((d)成分)。

所述(d)成分例如可列舉醯肼類、受阻胺抗氧化劑、含氮雜環巰基化合物、受阻酚抗氧化劑、抗壞血酸類、硫酸鋅、硫氰酸鹽類、硫脲衍生物、糖類、亞硝酸鹽、亞硫酸鹽、硫代硫酸鹽、羥胺衍生物等。

於該些化合物中，於將所述(c-1)成分或所述(c-2)成分等含有芳香族基的(甲基)丙烯酸酯化合物用作(c)成分的情況時，自可良好地進行感光性組成物的UV硬化性的控制的觀點考慮，優選受阻酚抗氧化劑。

所述受阻酚抗氧化劑例如可列舉3,9-雙[2-[3-(3-第三丁基-4-羥基-5-甲基苯基)丙醯氧基]-1,1-二甲基乙基]-2,4,8,10-四氧雜螺[5.5]十一烷、季戊四醇四[3-(3,5-二第三丁基-4-羥基苯基)丙酸酯]、硫二亞乙基雙[3-(3,5-二第三丁基-4-羥基苯基)丙酸酯]、十八烷基-3-(3,5-二第三丁基-4-羥基苯基)丙酸酯]、N,N'-己烷-1,6-二基雙[3-(3,5-二第三丁基-4-羥基苯基)丙醯胺]、3,5-雙(1,1-二甲基乙基)-4-羥基苯丙酸異辛酯2,4-二甲基-6-(1-甲基十五烷基)苯酚、二乙基[[3,5-雙(1,1-二甲基乙基)-4-羥基苯基]甲基]膦酸酯3,3',3",5,5',5"-六第三丁基-a,a',a"-(均三甲苯-2,4,6-三基)三-對甲酚、二乙基雙[[[3,5-雙(1,1-二甲基乙基)-4-羥基苯基]甲基]膦酸酯]鈣、4,6-雙(辛硫基甲基)-鄰甲酚亞乙基雙(氧乙烯)雙[3-(5-第三丁基-4-羥基-間甲苯基)丙酸酯]、六亞甲基雙[3-(3,5-二第三丁基-4-羥基苯基)丙酸酯]、1,3,5-三(3,5-二第三丁基-4-羥基苄基)-1,3,5-三嗪-2,4,6(1H,3H,5H)-三酮、N-苯基苯胺與2,4,4-三甲基戊烯的反應生成物、2,6-二第三丁基-4-(4,6-雙(辛硫基)-1,3,5-三嗪-2-基氨基)苯酚、雙(1,2,2,6,6-五甲基-4-呱啶基)[[3,5-雙(1,1-二甲基乙基)-4-羥基苯基]甲基]丁基丙二酸酯、1-[2-[3-(3,5-二第三丁基-4-羥基苯基)丙醯氧基]乙基]-4-[3-(3,5-二第三丁基-4-羥基苯基)丙醯氧基]-2,2,6,6-四甲基呱啶4-苯甲醯氧基-2,2,6,6-四甲基呱啶等。

該些化合物中，優選於酚性羥基的鄰位(選自2位及6位的至少1個)具有尺寸大的取代基(例如第三丁基、 1-甲基十五烷基、辛硫基甲基等)的受阻酚抗氧化劑。

具體而言可列舉2,2-硫代[二乙基雙-3-(3,5-二第三丁基-4-羥基苯基)丙酸酯]、3,9-雙[2-[3-(3-第三丁基-4-羥基-5-甲基苯基)丙醯氧基]-1,1-二甲基乙基]-2,4,8,10-四氧雜螺[5.5]十一烷等。

於將所述(a)成分的含量設為100質量份時，(d)成分的含量優選為5質量份~100質量份，更優選為10質量份~50質量份。

[其他添加劑]

於本發明的感光性組成物中，可在不損及本發明的目的及特性的範圍內含有氧化膦光聚合引發劑、α-胺烷基苯酮光聚合引發劑、光敏劑、脫模劑、溶劑、光穩定劑、抗老化劑、增塑劑、密接促進劑、熱聚合引發劑、著色劑、無機粒子、彈性體粒子、流動調整劑、消泡劑、分散劑等各種添加劑。

所述光敏劑通常與所述(b)成分一同使用。

光敏劑例如可列舉三乙胺、二乙胺、N-甲基二乙醇胺、乙醇胺、4-二甲基氨基苯甲酸、4-二甲基氨基苯甲酸甲酯、4-二甲基氨基苯甲酸乙酯、4-二甲基氨基苯甲酸異戊酯等。

光敏劑的市售品例如可列舉Ubecryl P102、103、104、105(以上由優喜必(UCB)公司製造)等。

所述氧化膦光聚合引發劑可列舉雙(2,4,6-三甲基苯甲醯基)-苯基氧化膦、雙(2,6-二甲氧基苯甲醯基)-2,4,4-三甲基-戊基氧化膦、2,4,6-三甲基苯甲醯基-二苯基-氧化膦(BASF公司製造的LUCILIN TPO)等。

所述α-胺烷基苯酮光聚合引發劑可列舉2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-嗎啉代苯基)-丁酮-1(BASF公司製造的IRGACURE369)、2-甲基-1-(4-甲基噻吩基)-2-嗎啉代丙烷-1-酮(BASF公司製造的IRGACURE907)、2-二甲基氨基-2-(4-甲基苄基)-1-(4-嗎啉-4-基-苯基)丁烷-1-酮等。

2.成形物的製造方法

本發明的感光性組成物可藉由照射光而獲得成形物。

作為使用本發明的感光性組成物而製造成形物的方法，例如可列舉如下的成形物的製造方法，其包含如下步驟：於第1板及第2板的至少任一方塗布本發明的感光性樹脂組成物的步驟；介隔所述感光性樹脂組成物塗膜而對所述第1板與所述第2板進行按壓的步驟；對所述感光性組成物塗膜進行曝光而使其硬化的步驟；使所述第1板與所述第2板分離的步驟；對硬化的所述感光性組成物塗膜進行加熱的步驟；所述第1板及所述第2板的至少任一方於其表面具有包含凹部及凸部、或者凹部、凸部及平坦的圖案，於對所述第1板與所述第2板進行按壓的步驟中，所述感光性組成物塗膜追隨所述具有圖案的表面。

圖1的(a)~圖3的(o)是表示使用本發明的感光性組成物的成形物的製造方法的一例的流程圖。以下，參照圖式而加以說明。

圖1的(c)及圖3的(j)是表示於第1板及第2板的至少任一方塗布本發明的感光性組成物而形成感光性組成物塗膜的步驟。此處，第1板及第2板的至少一方由透明樹脂等能夠透過光的物品而形成。所述透明樹脂並無特別限定，例如可列舉具有高的透明性的聚二甲基矽氧烷、環烯烴聚合物等。而且，另一方的板可由例如矽基板、或玻璃基板等而形成。

於圖1的(a)~(d)及圖3的(i)~(o)中，第2板(4)於表面具有包含凹部、凸部及平坦的圖案，表面亦可為包含凹部及凸部的圖案。而且，第1板(1)的表面可以平坦(圖1的(a)~(d))，也可以在表面具有包含凹部及凸部的圖案(圖3的(i)~(o))，也可以在表面具有包含凹部、凸部及平坦的圖案。通常情況下，將感光性組成物塗布於具有該些圖案的面。

於第1板及第2板的至少任一方涂布本發明的感光性組成物的方法例如可列举旋塗法、浸漬法、噴霧法、棒塗法、輥塗法、淋塗法、凹版印刷法、絲網印刷法、或噴墨法等。

圖2的(e)及圖3的(l)表示介隔所述感光性組成物塗膜對所述第1板與所述第2板進行按壓的步驟。

於圖2的(e)及圖3的(l)中，以將感光性組成物塗膜(3)夾持於第1板(1)與第2板(4)之間的方式對第1板(1)與第2板(4)進行按壓，由此而使感光性組成物塗膜(3)追隨第1板或第2板的表面的凸部及凹部。

圖2的(f)及圖3的(m)是表示將感光性組成物塗膜夾持於所述第1板與所述第2板之間而進行按壓，於此狀態對所述感光性組成物塗膜進行曝光而使其硬化的步驟。

作為所照射的光的種類，可使用可見光、紫外線、紅外線、X射線、α射線、β射線、γ射線等，自光源的工業上的通用性考慮，優選具有200 nm~450 nm的波長的光，更優選具有包含365 nm的紫外線的波長的光。

優選以照度為1 mW/cm²~1,000 mW/cm²，照射量成為0.01 mJ/cm²~5,000 mJ/cm²、優選為0.1 mJ/cm²~1,000 mJ/cm²的方式進行光的照射。

光的照射裝置例如為可利用以下兩種光源的任一種或兩種光源並使用反射鏡、透鏡、光纖而產生會聚光的光源等：高壓水銀燈、低壓水銀燈、金鹵燈、準分子燈等同時對較廣的面積進行照射的燈光源，脈衝、連續發光等雷射光源。

圖2的(g)及圖3的(n)是表示使所述第1板與所述第2板分離的步驟。

於圖2的(g)中，使第1板(1)與第2板(4)分離的結果是硬化的感光性組成物塗膜(6)成為附著於第1板(1)表面上的狀態。

如上所述，所述硬化的感光性組成物塗膜僅僅自第1板或第2板的任一方分離，於另一方的板的表面上形成包含硬化的感光性組成物塗膜的凹凸圖案。

而且，於圖3的(n)中，所硬化的感光性組成物塗膜自第1板及第2板的雙方分離。如圖3的(i)~(o)所示那樣，於所述第1板及所述第2板的雙方在其表面具有包含凹部及凸部、或者凹部、凸部及平坦的圖案的情況時，於對所述第1板與所述第2板進行按壓的步驟中，所述感光性組成物塗膜追隨所述第1板及所述第2板所具有的所述圖案的雙方，由此可獲得於兩個面具有凹凸圖案的成形物。

於使第1板與所述第2板分離的步驟後，進行與附著有硬化的感光性組成物塗膜的板一同進行加熱或者單獨進行加熱的步驟。於照射光後進行加熱，由此可促進硬化部分的硬化。加熱條件因感光性組成物的調配組成或添加劑的種類等而異，通常情況下加熱溫度優選為30℃~300℃，更優選為50℃~200℃，加熱時間優選為10秒~5小時，更優選為30秒~1小時。

此處，於上述的塗布本發明的感光性組成物的步驟之前，亦可進一步包含於所述第1板或所述第2板的任一方塗布矽烷耦合劑的步驟。藉由塗布矽烷耦合劑，可使感光性組成物與板的密接性提高。感光性組成物藉由塗布有矽烷耦合劑的面而附著於板上，於塗布有所述矽烷耦合劑的板的表面形成包含硬化的感光性組成物塗膜的凹凸圖案。

此處，矽烷耦合劑例如可列舉三甲氧基矽烷基苯甲酸、γ-甲基丙烯醯氧基丙基三甲氧基矽烷、乙烯基三乙醯氧基矽烷、乙烯基三甲氧基矽烷、γ-異氰酸酯丙基三乙氧基矽烷、γ-縮水甘油氧基丙基三甲氧基矽烷、β-(3,4-環氧基環己基)乙基三甲氧基矽烷等。

塗布矽烷耦合劑的方法可使用與前述的將感光性組成物塗布於第1板及第2板的至少一方的方法相同的方法。

3.成形物

由本發明的成形物的製造方法而所得的成形物可用於透明膜、透鏡(相機透鏡模組等)、或半導體裝置的硬化凹凸圖案等中。其中，自耐熱性優異的方面考慮，可適宜地用作透鏡(相機透鏡模組等)等特別需要耐熱性的成形物。

該成形物的25℃下的折射率優選為1.60以上。而且，該成形物的阿貝數優選為不足30。

而且，本發明的成形物的特徵在於含有下述通式(1)所表示的硫醚化合物。

(於上述通式(1)中，R¹及R²分別獨立為碳數為1~20的有機基。)

上述硫醚化合物的詳細與前述的(a)成分相同。本發明的成形物含有上述硫醚化合物，由此而成為耐熱性優異的成形物。另外，成形物中的上述硫醚化合物例如可藉由固體S³³(核磁共振光譜法，NMR)、離子色譜法、螢光體X射線分析法而確認。

4.半導體裝置

本發明的半導體裝置包含上述成形物。半導體裝置可列舉具有相機透鏡的手機或便攜相機等攝像元件等。

[實例]

以下，藉由實例對本發明加以更具體的說明，但本發明並不限定於該些實例。

[使用原料]

作為相當於本發明的(a)成分的抗氧化劑，可使用以下所示的原料。

(1-1)硫代二丙酸二(十三烷基)酯(Adeka股份有限公司製造、商品名：AO-503)

作為其他抗氧化劑，可使用以下所示的原料。

(1-2)2,2-硫代[二乙基雙-3-(3,5-二第三丁基-4-羥基苯基)丙酸酯](BASF公司製造、商品名：IRGANOX1035)

(1-3)6-第三丁基-4-[3-[(2,4,8,10-四第三丁基二苯並[d,f][1,3,2]二噁磷環庚烷-6-基)氧基]丙基]-2-甲基苯酚(住友化學股份有限公司製造、商品名：SUMILIZER GP)

(1-4)雙[3-(十二烷基硫基)丙酸]-2,2-雙[[3-(十二烷基硫基)-1-氧代丙基氧基]甲基]-1,3-丙二基酯(西普羅(SHIPRO)化成股份有限公司製造、商品名：SEENOX412S)

本發明的(b)成分中，相當於羥基酮化合物的光聚合引發劑可使用以下所示的原料。

(2-1)1-羥基環己基苯基酮(BASF公司製造、商品名：IRGACURE184)

(2-2)2-羥基-1-{4-[4-(2-羥基-2-甲基-丙醯基)-苄基]苯基}-2-甲基-丙烷-1-酮(BASF公司製造、商品名：IRGACURE127)

(2-3)2-羥基-1-(4-異丙烯基苯基)-2-甲基丙烷-1-酮的寡聚物(藍碧堤(Lamberti)公司製造、商品名：KIP150)

作為其他的光聚合引發劑，可使用以下所示的原料。

(2-4)2,4,6-三甲基苯甲醯基-二苯基-氧化膦(BASF公司製造、商品名：LUCIRIN TPO)

(2-5)2-甲基-1-(4-甲基噻吩基)-2-嗎啉代丙烷-1-酮(BASF公司製造、商品名：IRGACURE907)

作為相當於本發明的(c)成分的具有(甲基)丙烯醯基的化合物，可使用以下所示的原料。

(3-1)9,9-雙[4-(2-丙烯醯氧基乙氧基)苯基]芴(新中村化學工業股份有限公司製造、商品名：A-BPEF)

(3-2)乙氧基化鄰苯基苯酚丙烯酸酯(新中村化學工業股份有限公司製造、商品名：A-LEN-10)

(3-3)季戊四醇三丙烯酸酯(新中村化學工業股份有限公司製造、商品名：A-TMM-3LM-N)

(3-4)雙酚A、EO加成物丙烯酸酯(大阪有機化學工業股份有限公司製造、商品名：V#700)

實例1

相對於作為(c)成分的9,9-雙[4-(2-丙烯醯氧基乙氧基)苯基]芴31質量份，添加乙氧基化鄰苯基苯酚丙烯酸酯32質量份、季戊四醇三丙烯酸酯3質量份、雙酚A、EO 加成物丙烯酸酯30.5質量份。

進一步添加作為(b)成分的1-羥基環己基苯基酮3質量份，添加作為(a)成分的二硫代丙酸二(十三烷基)酯0.5質量份。一面将以上化合物全部調合而成者加熱至60℃，一面以波轉子等攪拌至溶解，獲得感光性組成物(J-1)。將調配示於表1中。

實例2~實例7及比較例1~比較例6

依照表1中所示的調配，與實例1同樣地進行而獲得感光性組成物(J-2)~感光性組成物(J-13)。

1-1：硫代二丙酸二(十三烷基)酯

1-2：2,2-硫代[二乙基雙-3-(3,5-二第三丁基-4-羥基苯基)丙酸酯]

1-3：6-第三丁基-4-[3-[(2,4,8,10-四第三丁基二苯並[d,f][1,3,2]二噁磷環庚烷-6-基)氧基]丙基]-2-甲基苯酚

1-4：雙[3-(十二烷基硫基)丙酸]2,2-雙[[3-(十二烷基硫基)-1-氧代丙基氧基]甲基]-1,3-丙二基酯

2-1：1-羥基環己基苯基酮

2-2：2-羥基-1-{4-[4-(2-羥基-2-甲基-丙醯基)-苄基]苯基}-2-甲基-丙烷-1-酮

2-3：2-羥基-1-(4-異丙烯基苯基)-2-甲基丙烷-1-酮的寡聚物

2-4：2,4,6-三甲基苯甲醯基-二苯基-氧化膦

2-5：2-甲基-1-(4-甲基噻吩基)-2-嗎啉代丙烷-1-酮

3-1：9,9-雙[4-(2-丙烯醯氧基乙氧基)苯基]芴

3-2：乙氧基化鄰苯基苯酚丙烯酸酯

3-3：季戊四醇三丙烯酸酯

3-4：雙酚A、EO加成物丙烯酸酯

關於所得的感光性組成物(J-1)~感光性組成物(J-13)，以如下方式而評價各物性。將結果示於表2中。

(1)黏度的測定

使用黏度計(東機產業公司製造、VISCOMETER TV-10)，測定感光性組成物的25℃下的黏度。黏度優選為4000 mPa．S以下。

(2)UV硬化性的評價

使用滴管而於硼矽酸玻璃製造的玻璃晶片上滴下一滴感光性組成物，在自其上載置聚二甲基矽氧烷(PDMS)模具的狀態下，使用掩膜對準器(卡爾蘇施(Karl Suss)公司製造的MA100CC)而進行曝光(11 mW/cm²@365 nm)。其後，剝去PDMS模具，以手指觸摸透鏡表面，確認黏性的有無。改變照射量而確認黏性的有無，評價變得感覺不到黏性的最低照射量。最低照射量優選為2.0 J以下。

(3)於PDMS模具下的反覆硬化性的評價

與上述UV硬化性的評價同樣地進行，使用PDMS模具而由感光性組成物進行30次透鏡成形，利用光學顯微鏡觀察所得的透鏡表面。評價於所得的透鏡表面確認到傷痕的PDMS模具使用次數。使用次數優選為30次以上。

(4)折射率及阿貝數的測定

於脫模聚對苯二甲酸乙二脂(PET)膜上塗布感光性組成物，於周圍配設厚度為0.5 mm的間隔件後，於載置硼矽酸玻璃製的玻璃晶片的狀態下，使用掩膜對準器(Karl Suss公司製造的MA100CC)而進行2分鐘的曝光(11 mW/cm²@365 nm)。自所得的厚度為500 μm的硬化膜上剝去脫模PET膜與玻璃晶片，使用150℃的烘箱(愛斯佩克(ESPEC)股份有限公司製造的STPH-101)而進行1小時的退火處理。其後，使用多波長阿貝折射儀(愛宕股份有限公司製造的DR-M2)而測定486 nm(F射線)、589 nm(D射線)、656 nm(C射線)的各波長下的折射率，根據所得的3個波長的折射率，使用v_D=(n_D-1)/(n_F-n_C)的式而求出硬化膜的阿貝數。

優選589 nm下的折射率為1.60以上，阿貝數為30以下。

(5)初始透射率的測定

於脫模PET膜上塗布感光性組成物，於周圍配設厚度為0.5 mm的間隔件後，於載置硼矽酸玻璃製的玻璃晶片的狀態下，使用掩膜對準器(Karl Suss公司製造的MA100CC)而進行2分鐘的曝光(11 mW/cm²@365 nm)。自所得的厚度為500 μm的硬化膜上剝去脫模PET膜，使用150℃的烘箱(ESPEC股份有限公司製造的STPH-101) 而進行1小時的退火處理。使用分光光度計(日本分光股份有限公司製造的Ubest V-570)而測定波長400 nm下的透射率。透射率優選為95%以上。

(6)耐熱性的評價

與上述同樣地進行而由感光性組成物獲得厚度為500 μm的硬化膜。自所得的硬化膜上剝下脫模PET膜，使用150℃的烘箱(ESPEC股份有限公司製造的STPH-101)而進行1小時的退火處理。其次，使用260℃的烘箱(ESPEC 股份有限公司製造的STPH-101)而對硬化膜反覆進行3次10分鐘的回流處理。其後，使用分光光度計(日本分光股份有限公司製造的Ubest V-570)而測定波長400 nm下的透射率。耐熱試驗後的透射率優選為95%以上。

(7)儲存穩定性的評價

將感光性組成物靜置於保持為23℃的室內，於60天后以目視確認液體中有無異物、析出物等。而且，使用黏度計(東機產業VISCOMETER TV-10)而測定25℃下的黏度，評價放置前後有無發現黏度的變化。將無析出物、黏度未變化的情況作為「合格」，將存在析出物或者發現黏度變化的情況作為不合格。

1‧‧‧第1板

2‧‧‧第1板的塗布有矽烷耦合劑的面

3‧‧‧感光性組成物塗膜

4‧‧‧第2板

5‧‧‧光

6‧‧‧硬化物

圖1的(a)~(d)是表示本發明的成形物的製造方法的流程圖。

圖2的(e)~(h)是表示本發明的成形物的製造方法的流程圖。

圖3的(i)~(o)是表示本發明的成形物的製造方法的流程圖。

1‧‧‧第1板

2‧‧‧第1板的塗布有矽烷耦合劑的面

3‧‧‧感光性組成物塗膜

22‧‧‧導電部

Claims

一種成形物的製造方法，其包含如下步驟：於第1板及第2板的至少任一方上塗布感光性組成物，形成感光性組成物塗膜的步驟；介隔所述感光性組成物塗膜而對所述第1板與所述第2板進行按壓的步驟；於介隔所述感光性組成物塗膜而按壓所述第1板與所述第2板的狀態下，對所述感光性組成物塗膜進行曝光的步驟；將所述第1板與所述第2板分離的步驟；以及對曝光後的所述感光性組成物塗膜進行加熱的步驟；所述第1板及所述第2板的至少任一方於其表面具有包含凹部及凸部、或者凹部、凸部及平坦的圖案，於對所述第1板與所述第2板進行按壓的步驟中，所述感光性組成物塗膜追隨所述圖案，其特徵在於：所述感光性組成物包含(a)下述通式(1)所表示的硫醚化合物、 (於上述通式(1)中，R¹及R²分別獨立為碳數為1~20的有機基) (b)光聚合引發劑(其中，氧化膦化合物及α-胺烷基苯酮化合物除外)、及(c)於1分子內具有1個~6個(甲基)丙烯醯基的化合物。
如申請專利範圍第1項所述的成形物的製造方法，其中：所述(a)成分是所述通式(1)的R¹及R²分別獨立地表示氫原子亦可被烷氧基或芳氧基取代的碳數為12~18的烴基的硫醚化合物。
如申請專利範圍第2項所述的成形物的製造方法，其中：所述(a)成分是硫代二丙酸二(十三烷基)酯。
如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的成形物的製造方法，其中：所述(b)成分是具有下述通式(2)所表示的基的羥基酮化合物； (於上述通式(2)中，R⁴及R⁵可分別獨立為氫原子或碳數為1~20的有機基，R⁴及R⁵亦可形成具有碳數為3~20的環狀結構的一個有機基)。
如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的成形物的製造方法，其中：於將(a)成分與(b)成分與(c)成分的合計量設為100質量份的情況時，所述(c)成分包含10質量份~99.89質量份的含有芳香族基的(甲基)丙烯酸酯化合物。
如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的成形物的製造方法，其中：於將(a)成分與(b)成分與(c)成分的合計量設為100質量份的情況時，所述(c)成分包含10質量份~70質量份的(c-1)下述通式(3)所表示的芴化合物； (於上述通式(3)中，R⁶及R⁷分別獨立為碳數為2~4的直鏈狀或支鏈狀的亞烷基；R⁸及R⁹分別獨立為氫原子或甲基；a及b為整數，且a+b=0~24；通式(3)中的芴骨架亦可具有碳數為1~28的取代基)。
如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的成形物的製造方法，其中：於將(a)成分與(b)成分與(c)成分的合計量設為 100質量份的情況時，所述(c)成分包含10質量份~50質量份的(c-2)下述通式(4)所表示的聯苯化合物； (於上述通式(4)中，R¹⁰為氫原子或甲基；c為0~24的整數；通式(4)中的聯苯骨架亦可具有碳數為1~28的取代基)。
如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的成形物的製造方法，其中：包含所述(a)成分0.01質量份~20質量份、所述(b)成分0.1質量份~20質量份、及所述(c)成分60質量份~99.89質量份(其中，(a)成分與(b)成分與(c)成分的合計量為100質量份)。
如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的成形物的製造方法，其中：所述成形物為透鏡。
一種成形物，其特徵在於：利用如申請專利範圍第1項至第9項中任一項所述的成形物的製造方法而獲得。
一種成形物，其特徵在於：含有下述通式(1)所表示的硫醚化合物， (於上述通式(1)中，R¹及R²分別獨立為碳數為1~20的有機基)。
一種半導體裝置，其特徵在於：包含如申請專利範圍第10項或第11項所述的成形物。
一種感光性組成物，其特徵在於包含：(a)下述通式(1)所表示的硫醚化合物、 (於上述通式(1)中，R¹及R²分別獨立為碳數為1~20的有機基)(b)光聚合引發劑(其中，氧化膦化合物及α-胺烷基苯酮化合物除外)、及(c)於1分子內具有1個~6個(甲基)丙烯醯基的化合物。