TWI537606B - 用於檢查物件的方法及系統 - Google Patents

Description

用於檢查物件的方法及系統

本發明係關於物件之檢查，且特定言之係關於與半導體設備製造相關的物件之檢查。更特定言之，本發明係關於半導體設備製造期間用於光微影中的物件之檢查。

當前對與半導體設備中的特超大型積體電路有關的高密度及高效能的需求要求次微米特徵結構、提高的電晶體及電路速度以及改良的可靠性。該等需求要求形成具有高精度及高均勻性的設備特徵結構，其又要求仔細的製程監控。

需要仔細檢查的一個重要製程為光微影製程，其中遮罩或「標線(recticle)」係用以將電路圖案傳送至半導體晶圓。通常，標線在透明基板上採用圖案化鉻的形式。使用一系列此類標線來將圖案按預定順序投射在晶圓上。每個光微影標線包括：對應於要整合在晶圓上的電路部件的一組複雜的幾何圖案。將標線圖案傳送至光阻劑層上通常是由光學曝光工具執行的，諸如，掃描器或步進曝光機台，其導引光或其他輻射穿過標線以曝光光阻劑。隨後顯影光阻劑以形成光阻劑遮罩，並且根據該遮罩選擇性地蝕刻下層多晶矽絕緣體層或金屬層，以形成諸如接線或閘之特徵結構。

自上文描述，應該瞭解標線上之任何缺陷，諸如多餘的或遺漏的鉻，可以用重複之方式傳送至製造好的晶圓上。因此，標線上的任何缺陷皆會極大減少生產線之良率。因此，對標線進行檢查並且偵測其上任何缺陷是極其重要的。檢查通常由光學系統使用透射照明、反射照明或此兩種類型照明來執行。此類系統之一實例為可購自Applied Materials of Santa Clara,Calif之Aera^TM系列標線檢查系統。

標線檢查有若干種不同的已知演算方法。該等方法包括：「晶片至晶片」檢查，其中將一晶片與同一標線上據稱相同之晶片進行比較；或「晶片至資料庫」檢查，其中將與給定晶片有關的資料與資料庫中的資訊進行比較，該資料庫可產生標線。另一檢查方法涉及晶片至理想形狀晶片(golden die)，該理想形狀晶片為挑選以用作檢查晶圓參考之晶片。亦有基於設計規則之檢查，其中晶片必須滿足某一接線寬度及間隔要求，並且特徵結構形狀應符合預先界定之形狀。該等檢查方法之實例及用於實施該等方法之相應裝置及電路系統在各種美國專利案中有描述，該等專利案尤其包括美國專利案第4,805,123號、美國專利案第4,926,489號、美國專利案第5,619,429號及美國專利案第5,864,394號。該等專利案之揭示內容以引用之方式併入本文中。

已知檢查技術通常將物件以大放大率成像於電荷耦合設備(charge-coupled device;CCD)相機上。該成像技術需要對物件進行照明。照明源亮度為藉由減少相機之積分時間以加快檢查之能力的關鍵因素。隨著晶圓上圖案變得較小，有必要使用較短波長以便能夠對圖案進行偵測。此是由於實體解析度極限線性相關於照明波長之事實，且由於要求檢查要在波長類似於光微影製程中使用之波長的情況下進行之干擾效應。由於波長變得較小，習知非相關性光源(如，白熾燈或氣體放電燈)亮度不足，故所選光源變成短波長鐳射。鐳射之相關性連同表面之粗糙及像差以及沿光路徑之圖案化物件一起，產生稱為斑點之假影，斑點為物件影像上之雜訊圖案。

由於光圖案碰撞偵測器之不均勻性，斑點產生被檢查物件表面之偵測問題，並且產生假警報。偵測精確性降級。此外，經檢查物件之影像亦降級。此問題為此類物件檢查中之嚴重問題，因為諸多原因，其中尤其為由於偵測製程所產生之損耗，相關性光提供的功率為必需的。

當檢查物件(諸如，晶圓或標線)時，若用於照明之光點大小不比晶圓上圖案之元素小很多，則可能出現斑點現象。然而，在諸如傾斜照明(其中相關性光源呈角度朝向晶圓)之一些情況下，此光點大小將足夠大以致產生斑點。減小光點大小將減少系統產量，並且將要求以小於並且不同於用於例如在光微影製程期間物件成像之波長進行工作。因此，如可瞭解的，需在遭受斑點與最佳化偵測靈敏度/產量之間進行取捨。因此，需要解決此斑點問題，並由此促進增大光點大小之使用，從而改良產量。

根據本發明之各種實施例，提供一種系統及方法。

可將本方法應用於減少相關性，並且其可包括藉由非對稱脈衝伸展器來接收第一光脈衝，其中此非對稱脈衝伸展器包含：界定迴路之多個光學部件，其中多個光學部件中之至少兩個光學部件以相對於彼此幾乎對稱的方式進行定位；在脈衝序列產生時段期間並回應於第一光脈衝，藉由該脈衝伸展器來產生一系列多個脈衝，其中該至少兩個光學部件引入多個脈衝中之至少兩個脈衝之間的相關性相關差，其中該脈衝序列產生時段不超過偵測器之回應時段；藉由多個脈衝來照明物件之區域；以及藉由該偵測器來偵測來自該區域的光。

本方法可包括將多個脈衝導引向大體上相同的物件區域。

此相關性相關差可為該至少兩個脈衝之入射角之間的差。

此相關性相關差可為該至少兩個脈衝之入射位置之間的差。

本方法可包括引入該多個脈衝中之兩個脈衝之間的角差，及引入該多個脈衝中之兩個脈衝之間的入射位置差。

本方法可包括將多個脈衝導引向第二斑點減小部件；其中該第二斑點減小部件減少該多個脈衝之相關性。

本方法可包括藉由非對稱脈衝伸展器自輸出端輸出多個脈衝，該輸出端可定位於將脈衝導引向物件之聚光透鏡的瞳孔平面。

本方法可包括接收來自鐳射之第一光脈衝，其中該第一光脈衝之持續時間不超過幾毫微秒(nanosecond)。

多個光學部件可包括多個鏡面，其中一個鏡面之定向角不同於(a)另一鏡面之定向，及(b)與該另一鏡面之定向的相反定向不同之定向。

多個光學部件可包括多個鏡面，其中至少一個鏡面可位於不同於所有其他鏡面高度之高度。

可提供一種光學系統。該光學系統可具有減少相關性能力，並且可包括用於產生第一光脈衝之光源；非對稱脈衝伸展器，其經配置以在脈衝序列產生時段期間，接收該第一光脈衝並產生多個光脈衝，其中該非對稱脈衝伸展器包含：界定迴路之多個光學部件，其中多個光學部件中之至少兩個光學部件以相對於彼此幾乎對稱的方式進行定位，其中該至少兩個光學部件引入多個脈衝中之至少兩個脈衝之間的相關性相關差，其中該脈衝序列產生時段不超過偵測器之回應時段；以及聚光透鏡，其位於非對稱脈衝伸展器與物件之間，以用於將多個脈衝導引向物件上區域。

可配置聚光透鏡以將多個脈衝導引向大體上相同的物件區域。

此相關性相關差可為此至少兩個脈衝之入射角之間的差。

此相關性相關差可為此至少兩個脈衝之入射位置之間的差。

可配置非對稱脈衝伸展器以引入多個脈衝中之兩個脈衝之間的角差，並引入此多個脈衝中之兩個脈衝之間的入射位置差。

可配置非對稱脈衝伸展器以將多個脈衝導引向第二斑點減小部件；其中第二斑點減小部件減少此多個脈衝之相關性。

可配置非對稱脈衝伸展器以自輸出端輸出多個脈衝，該輸出端可定位於將脈衝導引向物件之聚光透鏡的瞳孔平面。

光源可為鐳射，其中第一光脈衝之持續時間不超過幾毫微秒。

多個光學部件可包括多個鏡面，其中一個鏡面之定向角不同於(a)另一鏡面之定向，及(b)與該另一鏡面之定向的相反定向不同之定向。

多個光學部件可包括多個鏡面，其中至少一個鏡面可位於不同於所有其他鏡面高度之高度。

在下述說明書中，本發明將參考本發明之實施例之特定實例進行描述。然而，將顯而易見的是：可在不脫離如在附加申請專利範圍部分中闡述之本發明之更廣泛的精神及範疇的情況下，對本發明進行各種修改及改變。

由於實施本發明之裝置大部分由為熟習此項技術者所已知的電子部件及電路組成，故出於對本發明之基本概念的理解及瞭解，並且為了不與本發明之教示相混淆或自其偏離，不對電路細節進行超過如上述視為必需之程度的解釋。

鑒於上文，本發明之一特徵結構在於：提供用於在半導體設備製造中使用之物件之檢查期間，減小斑點之光學系統。本發明之另一特徵結構在於：提供用於在以短波長、尤其在深紫外線區域內之短波長操作的檢查系統中，減少斑點之光學系統。

本發明之另一特徵結構在於：使用脈衝鐳射光束，尤其是使用5 ns-50 ns範圍中之脈衝，來減小檢查系統中之斑點。

為了提供上述及其他特徵結構、克服如上所述之先前技術中的限制，及解決在閱讀並理解下述詳細描述後將變得顯而易見的各種問題，本發明提供一種方法及裝置，其用於在半導體設備，尤其為晶圓、遮罩、光罩及標線製造中使用之物件的檢查期間減小斑點。

根據本發明，在稱為脈衝序列產生時段之時段期間，藉由非對稱脈衝伸展器來將光脈衝轉換為多個脈衝。脈衝序列產生時段小於偵測器之回應時段，因此偵測器實質上積分由於該多個脈衝而自物件反射或散射的光。多個脈衝藉由相關性相關差，諸如脈衝入射角差、入射位置差或前述兩者，而彼此進行區別。或者，多個脈衝中之至少兩個脈衝藉由相關性相關差彼此進行區別。多個脈衝之產生涉及向非對稱脈衝伸展器提供第一光脈衝，該非對稱脈衝伸展器可產生彼此可區別的多個光脈衝，該等光脈衝可藉由一或多個特性，諸如自非對稱脈衝伸展器輸出之脈衝的入射角、位置或前述兩者進行彼此區別。若非對稱脈衝伸展器之輸出端位於將脈衝聚集至物件之聚光透鏡的瞳孔平面，則輸出脈衝之角度變化轉化為空間差，而輸出脈衝之位置變化轉化為脈衝之入射角變化。

非對稱脈衝伸展器可具有以非對稱方式配置的光學元件，諸如透鏡、鏡面、光束分離器、格柵等。

將多個脈衝導引向大體上相同的物件區域。來自此區域之光由諸如但不限於成像偵測器的偵測器來進行偵測。偵測器之回應時段可為其積分時段。

第1圖圖示根據本發明使用之示例性系統1。第1圖所示之系統設備以透射模式進行操作，而第2圖之系統以反射模式進行操作。然而，應理解，以透射模式及反射模式兩者進行操作之系統為本發明所涵蓋。至少對於透射操作模式而言，應在光束進入減少相關性/減小斑點裝置之前，使用光束均質器。

應進一步注意，兩圖式均圖示物件之大體上正常照明，但未必一定如此。因此，可使用產生明視場反射分佈(正常)、暗視場反射分佈(底端)及Gray field^TM反射分佈(介於正常與底端之間)的各種傾斜照明角度。

在第1圖中，將待檢查物件80(諸如，晶圓、遮罩、光罩或標線)定位於x-y載物台75上，該載物台在由物件80之經檢查面界定的平面內將物件80沿兩個方向進行移動。根據本發明之一實施例，系統1包括位於物件80一端之脈衝光源，諸如鐳射20。鐳射20可產生相關性脈衝、近相關性脈衝或具有低相關性程度的脈衝。脈衝之相關性進一步由非對稱脈衝伸展器100減少，並視需要由第二斑點減小部件40或系統1之其他元件(未圖示)減少。脈衝可為紫外線或深紫外線區域中之短波長鐳射脈衝。經由產生多個脈衝之非對稱脈衝伸展器100來導引鐳射20發射之脈衝。多個脈衝穿過填充擴散器30、第二斑點減小部件40、額外光學器件60、聚光透鏡70、物件80進行傳播並最終到達偵測器90。

應注意，亦可使用其他導引光束至物件80上之構件，包括由適當結構界定的其他光學路徑。

通過物件80的光由偵測器90來偵測。偵測器90可為時間延遲積分(time delay integration;TDI)感測器、或CCD感測器，該感測器可為接線感測器或二維感測器。

偵測器90使得能夠成像物件80，同時允許攜帶物件80之載物台75相對於鐳射20進行連續移動。

額外光學器件60可包括：擴散器、自動對焦光學器件、均質器、中繼透鏡等。

系統1之各種部件可由控制器10進行控制。應注意，分散式及集中式控制方案兩者均可應用。控制器10可決定何時產生光脈衝、及何時及如何改變非對稱脈衝伸展器100之特性。

非對稱脈衝伸展器100穿過輸出區域輸出脈衝，此輸出區域小於另一部件(諸如，第二斑點減小部件40)之輸入區域。為了補償該等差，在非對稱脈衝伸展器100之後置放填充擴散器30。

到達偵測器90的光含有：與區域有關之資訊，該資訊尤其與物件80之照明區域內並具有存在於物件80中及其表面上之任何缺陷的一或多個圖案有關。

鐳射20之相關性性質及其與可能缺陷尺寸比較之操作波長可在偵測器90上產生斑點。斑點導致不可預測的訊號非均勻性，因此使得更加難以辨別缺陷，並可使一些微小缺陷未被偵測到。因此，需要藉由削弱光束相關性來減少斑點現象。減少相關性由非對稱脈衝伸展器100及第二斑點減小部件40來執行。

第二斑點減小部件40可應用先前斑點減小技術。該第二斑點減小部件可包括一或多級玻璃，可包括一或多個纖維束等。在標題名稱為「Method and apparatus for object inspection including speckle reduction」之美國專利案第7,463,352號、標題名稱為「Method and apparatus for reticle inspection using aerial imaging」之美國專利案第7,133,548號、標題名稱為「Method and apparatus for object inspection including speckle reduction」之美國專利案第6,924,891號、標題名稱為「Method and apparatus for object inspection including speckle reduction」之美國專利案第6,798,505號、標題名稱為「Illumination optical arrangement」之美國專利案第4,619,508號，及標題名稱為「Controllable spatial incoherence echelon for laser」之美國專利案第4,521,075號中說明了各種斑點減小元件及方法，所有該等專利案皆以引用之方式併入本文中。

第2圖圖示根據本發明之一實施例之系統2。系統2以反射模式進行操作。參考第1圖中圖示之系統1，相同元件用相同號碼進行標記。系統2進一步包括：光束分離器65，其(a)將光脈衝導引向聚光透鏡70及物件80，及(b)將來自物件80及聚光透鏡70之光導引向偵測器90。

第3圖圖示根據本發明之一實施例之鐳射20、非對稱脈衝伸展器100、聚光透鏡70及物件80以及各種脈衝之路徑(由虛線圖示)。出於簡單解釋之目的，該等脈衝之路徑未按比例圖示，並且系統1之多.個部件未圖示出。

回應於來自鐳射20之單個脈衝，藉由非對稱脈衝伸展器100來在不同時間點輸出脈衝A 210、脈衝B 220、脈衝C 230、脈衝D 240、及脈衝E 250。

非對稱脈衝伸展器100引入該等脈衝之間的橫向位移，並且該等橫向位移轉化為相對於物件80之入射角變化。脈衝A 210、脈衝B 220、脈衝C 230、脈衝D 240、及脈衝E 250大體上照明物件80上之相同點。

第4圖圖示根據本發明之一實施例之鐳射20、非對稱脈衝伸展器100、聚光透鏡70、及物件80以及各種脈衝之路徑(由虛線圖示)。出於簡單解釋之目的，該等脈衝之路徑未按比例圖示，並且系統1之多個部件未圖示出。

回應於來自鐳射20之單個脈衝，藉由非對稱脈衝伸展器100來在不同時間點輸出脈衝A 310、脈衝B 320、脈衝C 330、脈衝D 340、及脈衝E 350。

非對稱脈衝伸展器100引入該等脈衝之間的角差，並且該等角差轉化為相對於物件80之位置差。因此，脈衝A 310、脈衝B 320、脈衝C 330、脈衝D 340、及脈衝E 350照明物件80表面上之一區域。

第5圖圖示一對稱脈衝伸展器1000。

對稱脈衝伸展器1000包括：多個光學部件，諸如，輸入光束分離器104、輸出光束分離器114、及四個反射元件(諸如，左上鏡面102、右上鏡面112、左下鏡面106及右下鏡面116)。

該等光學部件係配置為兩行。輸入光束分離器104位於左上鏡面102下方、及左下鏡面106上方。輸出光束分離器114位於右上鏡面112下方、及右下鏡面116上方。

該多個光學部件繞假想垂直軸111以對稱方式進行配置，以使得：(a)左上鏡面102以與右上鏡面112對稱之方式進行定位及定向，(b)左下鏡面106以與右下鏡面116對稱之方式進行定位及定向，及(c)輸出光束分離器114以與輸入光束分離器104對稱之方式進行定位及定向。

此對稱配置將進入由該等光學元件界定之迴路之光束轉換為一系列光脈衝，該等光脈衝以相同方向及位置離開對稱脈衝伸展器1000。

第6圖至第11圖圖示根據本發明之各種實施例之非對稱脈衝伸展器100。

在該等非對稱脈衝伸展器100中，至少一個光學部件偏離(藉由定向、高度、位置或以上之組合)第5圖中所圖示之對稱配置。該等偏差使輸出光束藉由其位置，及另外或替代地藉由傳播方向(角度)進行彼此區別。

例如，鏡面102、鏡面106、鏡面112及鏡面116中之一或多個鏡面可稍位於第5圖中所圖示之對稱設置之外，或者稍定位於彼對稱位置上方。上述情況亦適用於光束分離器104、及光束分離器114。

此非對稱配置改變迴路內每個疊代期間光通過之路徑，並且輸出光束藉由其延遲、增益及另外或替代的其方向進行彼此區別。

例如，光學元件位置約0.1 μ之稍微錯位可提供輸出脈衝之間的約1 μ之差。

該等光學部件之至少一些可相對於該對稱設置進行旋轉，或者使其位置相對於該對稱設置進行變化。

在第6圖中，右上鏡面112相對於其對稱位置(由121表示)升高，並且左下鏡面106相對於其對稱位置(由126表示)升高。

在第7圖中，右上鏡面112相對於其對稱位置(由121表示)傾斜。

在第8圖中，右上鏡面112相對於其對稱位置(由121表示)旋轉並且升高。

在第9圖中，右上鏡面112相對於其對稱位置(由121表示)升高。

在第10圖中，右上鏡面112及輸出光束分離器114相對於其對稱位置(分別由121及124表示)升高。

在第11圖中，右上鏡面112相對於其對稱位置(由121表示)升高，並且左下鏡面106相對於其對稱位置(由126表示)升高，並相對於彼對稱位置旋轉。

應注意，自對稱配置之偏差可用於光學部件102、光學部件104、光學部件106、光學部件112、光學部件114及光學部件116中之任何光學部件。應注意，自對稱位置之偏差可包括左移、右移及其組合。

參閱前述諸圖，發自鐳射20之第一輸入脈衝，脈衝400之一部分(第5圖)可穿過光束分離器104及光束分離器114進行傳播，以提供第一脈衝。此脈衝之一部分可由輸入光束分離器104導引向左下鏡面106、右下鏡面116及輸出光束分離器114處以提供另一脈衝。來自右下鏡面116之脈衝之一部分通過輸出光束分離器114，並傳播至右上鏡面112，以反射至左上鏡面102及輸入光束分離器104。

此脈衝之一部分自輸入光束分離器104導引向輸出光束分離器114，而另一部分通過輸入光束分離器104，並傳播至左下鏡面106。因此，藉由改變至少兩個光學部件之相對角度及/或相對位移(例如，鏡面112與任何其他部件102、部件104、部件106、部件114、部件116之間的角度；或光束分離器114相對於任何其他部件102、部件104、部件106、部件112、部件116之相對位移)，產生多個脈衝，其具有相對於位於照明路徑更下游之聚光透鏡的不同入射角及/或不同入射位置。因為脈衝序列產生時段小於偵測器之回應時段，所以偵測器實質上積分由於該多個脈衝而自物件反射或散射的光。

應注意，非對稱脈衝伸展器100可具有其他設置。

根據一個非限制性實例，脈衝伸展器100可基於標題名稱為「Compact pulse stretcher」之美國專利案第7,084,959號中所說明之脈衝伸展器。此脈衝伸展器包括：彼此相對定位的第一稜鏡及第二稜鏡。用螺旋式路徑將光束導引向第二稜鏡的部分反射界面，將第一耦接稜鏡光耦接至第一稜鏡。第一稜鏡及第一耦接稜鏡形成光束分離器。再循環稜鏡(或反射元件)將來自第一稜鏡的光束反射至第二稜鏡中。將鏡面定位在第一稜鏡及第二稜鏡周圍，以允許光束穿過第一稜鏡及第二稜鏡再循環。光束使用兩個或兩個以上螺旋式路徑穿過第一稜鏡及第二稜鏡再循環。美國專利案第7,084,959號中描述之脈衝伸展器可進行一些修改來併入光微影系統中。此脈衝伸展器可藉由改變其稜鏡中之一或多個之間的空間關係而變為非對稱式脈衝伸展器，以更改傳播光之螺旋路徑。

根據另一個非限制性實例，脈衝伸展器100可基於標題名稱為「Helical optical pulse stretcher」之美國專利案第7,321,605號中說明之脈衝伸展器。此脈衝伸展器包括：單道脈衝伸展器。光學系統係配置於單道脈衝伸展器周圍。光束進入單道伸展器，並隨後使用用於多道通過單道脈衝伸展器之光學系統將該光束以螺旋式路徑進行反射。單道脈衝伸展器可包括：兩個90度稜鏡，其間安置有一光束分離器。此光學系統可包括第一稜鏡及第二稜鏡。第一稜鏡及第二稜鏡中之至少一個可為屋脊稜鏡。第一稜鏡及第二稜鏡之至少一個表面可經定向，以便導引光束進入螺旋式路徑中。此光學系統可具有至少一個鏡面或複數個鏡面。此脈衝伸展器可藉由改變其稜鏡、光束分離器及單道伸展器中之一或多個之間的空間關係而變為非對稱式脈衝伸展器。

第12圖圖示根據本發明之一實施例之方法500。

方法500可由系統1及系統2中之任一系統執行。

方法500始於階段510，其中藉由非對稱脈衝伸展器來接收第一光脈衝。非對稱脈衝伸展器包括：界定迴路之多個光學部件。該多個光學部件中之至少兩個光學部件以相對於彼此幾乎對稱之方式進行定位。

第一光脈衝可由鐳射產生，並且第一光脈衝之持續時間不超過幾毫微秒。

階段510可在藉由光源(諸如，鐳射)產生第一光脈衝的階段(未圖示)之後。第一光脈衝可為相關性或近相關性的，但未必一定如此。

階段510後為階段520，其中在脈衝序列產生時段期間並回應於第一光脈衝，藉由非對稱脈衝伸展器來產生多個脈衝。非對稱脈衝伸展器中之至少兩個光學部件引入該多個脈衝中之至少兩個脈衝之間的相關性相關差。脈衝序列產生時段不超過偵測器之回應時段。

相關性相關差可為該至少兩個脈衝之入射角之間的差、該至少兩個脈衝入射位置之間的差或其組合。

非對稱脈衝伸展器可自輸出端輸出多個脈衝，該輸出端係定位於將脈衝導引向物件之聚光透鏡之瞳孔平面。

因此，多個脈衝可包括：一對脈衝，其藉由其入射角進行彼此區別；以及另一對脈衝，其藉由其入射位置進行彼此區別。多個脈衝之又一實例可包括一對脈衝，其藉由其入射角以及入射位置進行彼此區別。

階段520後為階段530，其中允許多個光束與位於非對稱脈衝伸展器與物件之間的多個部件進行相互作用。

階段530可包括例如，使多個光束通過填充擴散器、均質器、一或多個透鏡及第二斑點減小部件。在後一情形中，階段530可包括：藉由第二斑點減小部件來減少多個脈衝的相關性。

階段530後為階段540，其中藉由多個脈衝來照明物件區域。

階段540可包括藉由偵測器來偵測來自該區域的光。該區域可極其小，並且可大體上等於約由光脈衝中之一光脈衝在物件上形成之光點的大小。此區域可等於幾個光點，尤其當在光點之間引入空間位移時。此區域可在幾平方微米至幾平方毫米範圍之間變化。

階段510至階段540可在引入物件與光學部件(諸如，非對稱脈衝伸展器、聚光透鏡等)之間的相對移動時重複。此相對移動可允許成像整個物件或所選物件區域。

此重複過程在階段550中說明，其中引入物件與光學部件之間的相對移動。階段550在階段540之後並且後有階段510及階段560。階段560包括基於階段510至階段550之重複過程獲取之影像，來偵測缺陷、執行量測或兩者。

此外，熟習此項技術者將認識到，以上描述的操作之功能性之間的界限僅為說明性。可將多個操作之功能性組合成單個操作，及/或可將單個操作之功能性分佈於額外操作中。此外，替代性實施例可包括特定操作之多個實例，並且可在各種其他實施例中更改操作順序。

因此，應理解，本文描述之架構僅為示例性，並且事實上可實施達成相同功能性的許多其他架構。在抽象但仍確定意義上，為達成相同功能性之任何部件配置係有效地「關聯」，以達成期望之功能性。因此，本文中組合以達成特定功能性之任何兩個部件可視為彼此「關聯」，以達成期望之功能性，而與架構或中間部件無關。同樣，亦可將如此關聯之任何兩個部件視為彼此「可操作連接」或「可操作耦接」以達成期望之功能性。

此外，本發明不限於在非可程式硬體中實施之實體設備或單元，且其亦可應用於能藉由根據適當程式碼進行操作來執行期望之設備功能的可程式設備或單元。此外，設備可實體地分佈於若干裝置上，同時功能上操作為單個設備。

然而，其他修改、變化及替代亦有可能。因此，應將本說明書及圖式視為說明性而非限制性。

在申請專利範圍部分，用語‘包含’不排除存在申請專利範圍部分中所列元素或步驟之外的元素或步驟。此外，描述及申請專利範圍中若有術語「前端」、「後端」、「頂部」、「底部」、「上方」、「下方」等，則其係用於描述目的，而未必用於描述永久相對位置。應理解，在適當情況下如此使用之術語可進行互換，以使得本文描述之本發明之實施例(例如)，能夠以除本文說明或以其他方式描述之定向外的其他定向進行操作。

此外，本文中使用之術語「一」或「一個」定義為一個或大於一個。此外，在申請專利範圍中之引導用語，諸如，「至少一個」及「一或多個」之使用不應解釋為意味著：即使當相同請求項包括引導用語「一或多個」或「至少一個」及不定物件諸如「一」或「一個」時，不定物件「一」或「一個」引入另一請求項元素將含有此類引入請求項元素之任何特定請求項限於僅含有一個此類元素的發明。此亦適用於確定物件之使用。除非另有說明，否則將諸如「第一」及「第二」之術語用於在此類術語描述的元素之間進行任意辨別。因此，該等術語不一定意欲指示此類元素之時間或其他優先順序。在相互不同的請求項中列舉某些量測之事實並不表示不能使用該等量測之組合以形成優勢。

1．．．系統

2．．．系統

10．．．控制器

20．．．鐳射

30．．．填充擴散器

40．．．第二斑點減小部件

60．．．額外光學器件

65．．．光束分離器

70．．．聚光透鏡

75．．．載物台

80．．．物件

90．．．偵測器

100．．．非對稱脈衝伸展器

102．．．左上鏡面/光學部件

104．．．輸入光束分離器/光學部件

106．．．左下鏡面/光學部件

114．．．輸出光束分離器/光學部件

112．．．右上鏡面/光學部件

116．．．右下鏡面/光學部件

121．．．對稱位置

A 210．．．脈衝

A 310．．．脈衝

B 220．．．脈衝

B 320．．．脈衝

C 230．．．脈衝

C 330．．．脈衝

D 240．．．脈衝

D 340．．．脈衝

E 250．．．脈衝

E 350．．．脈衝

500．．．方法

510．．．階段

520．．．階段

530．．．階段

540．．．階段

550．．．階段

560．．．階段

1000．．．對稱脈衝伸展器

本發明之更多細節、態樣及實施例將參考圖式僅以舉例之方式進行描述。

第1圖示意性圖示根據本發明之一實施例之系統；

第2圖示意性圖示根據本發明之一實施例之系統；

第3圖圖示根據本發明之一實施例之鐳射、非對稱脈衝伸展器、聚光透鏡及物件以及各種脈衝之路徑；

第4圖圖示根據本發明之一實施例之第一光脈衝及藉由非對稱脈衝伸展器來產生之五個脈衝；

第5圖圖示一對稱脈衝伸展器；

第6圖至第11圖圖示根據本發明之各種實施例之非對稱脈衝伸展器；以及

第12圖圖示根據本發明之一實施例之方法。

10．．．控制器

20．．．鐳射

30．．．填充擴散器

40．．．第二斑點減小部件

60．．．額外光學器件

70．．．聚光透鏡

75．．．載物台

80．．．物件

90．．．偵測器

100．．．非對稱脈衝伸展器

Claims (18)

1. 一種用於檢查物件之方法，該方法包含以下步驟：藉由一非對稱脈衝伸展器來接收一第一光脈衝；其中該非對稱脈衝伸展器包含：界定一迴路之多個反射部件；其中該多個反射部件之至少兩個反射部件以一相對於彼此對稱之方式進行定位，且該多個反射部件之至少一個反射部件以一相對於該多個反射部件之其他反射部件不對稱之方式進行定位；在一脈衝序列產生時段期間並回應於該第一光脈衝，藉由該脈衝伸展器來產生一系列多個脈衝；其中該多個反射部件引入該多個脈衝之至少兩個脈衝之間的一相關性相關空間差；其中該脈衝序列產生時段不超過一偵測器之一回應時段；藉由該多個脈衝來照明一物件之一區域；以及藉由該偵測器來偵測來自該區域的光。
2. 如請求項1所述之方法，包含以下步驟：將該多個脈衝導引向該物件之相同區域。
3. 如請求項1所述之方法，其中該相關性相關空間差為該至少兩個脈衝之一入射角之間的一差。
4. 如請求項1所述之方法，其中該相關性相關空間差為該 至少兩個脈衝之一入射位置之間的一差。
5. 如請求項1所述之方法，包含以下步驟：引入該多個脈衝之兩個脈衝之間的一入射角差；及引入該多個脈衝之兩個脈衝之間的一入射位置差。
6. 如請求項1所述之方法，包含以下步驟：將該多個脈衝導引向一第二斑點減小部件；其中該第二斑點減小部件減小該多個脈衝之一相關性。
7. 如請求項1所述之方法，包含以下步驟：藉由該非對稱脈衝伸展器自一輸出端輸出該多個脈衝，該輸出端定位於將該多個脈衝導引向該物件之該聚光透鏡之一瞳孔平面。
8. 如請求項1所述之方法，其中該多個反射部件包含：多個鏡面，其中一個鏡面之一定向角不同於另一鏡面之一定向角。
9. 如請求項1所述之方法，其中該多個反射部件包含：多個鏡面，且其中至少一個鏡面位於不同於所有其他鏡面之高度之一高度。
10. 一種用於檢查物件之光學系統，包含：一光源，用於產生一第一光脈衝；一非對稱脈衝伸展器，經配置以在一脈衝序列產生時段 期間，接收該第一光脈衝並產生多個光脈衝，其中該非對稱脈衝伸展器包含：界定一迴路之多個反射部件；其中該多個反射部件之至少兩個反射部件以一相對於彼此對稱的方式進行定位，且該多個反射部件之至少一個反射部件以一相對於該多個反射部件之其他反射部件不對稱之方式進行定位；其中該至少兩個反射部件引入該多個脈衝之至少兩個脈衝之間的一相關性相關空間差；其中該脈衝序列產生時段不超過一偵測器之一回應時段；以及一聚光透鏡，位於該非對稱脈衝伸展器與一物件之間，以用於將該多個脈衝導引向該物件上之一區域。
11. 如請求項10所述之光學系統，其中該聚光透鏡經配置以將該多個脈衝導引向該物件之該相同區域。
12. 如請求項10所述之光學系統，其中該相關性相關空間差為該至少兩個脈衝之一入射角之間的一差。
13. 如請求項10所述之光學系統，其中該相關性相關空間差為該至少兩個脈衝之一入射位置之間的一差。
14. 如請求項10所述之光學系統，其中該非對稱脈衝伸展器經配置以引入該多個脈衝之兩個脈衝之間的一入射角差，並引入該多個脈衝之兩個脈衝之間的一入射位置差。
15. 如請求項10所述之光學系統，其中該非對稱脈衝伸展器經配置以將該多個脈衝導引向一第二斑點減小部件；其中該第二斑點減小部件減小該多個脈衝之一相關性。
16. 如請求項10所述之光學系統，其中該非對稱脈衝伸展器經配置以自一輸出端輸出該多個脈衝，該輸出端定位於將該多個脈衝導引向該物件之該聚光透鏡之一瞳孔平面。
17. 如請求項10所述之光學系統，其中該多個反射部件包含：多個鏡面，其中一個鏡面之一定向角不同於另一鏡面之一定向角。
18. 如請求項10所述之光學系統，其中該多個反射部件包含：多個鏡面，其中至少一個鏡面位於不同於所有其他鏡面高度之一高度。