JP2018179942A - 検査方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本実施形態の検査方法は、被検査試料に照明光を照射し、被検査試料によって反射された照明光を利用するオートフォーカス機構を用いて、被検査試料の第1の画像を取得し、第1の画像を取得するときにオートフォーカス機構を用いて取得したオートフォーカス機能座標を保存し、オートフォーカス機能座標の2次元多項式近似式を計算し、2次元多項式近似式を用いて、被検査試料の第2の画像を取得するときのフォーカスを制御する。
本実施形態の検査方法は、第1の画像を取得するときにオートフォーカス機構を用いて取得した、オートフォーカス機能座標を保存するときに、第1の画像の参照となる参照画像と第1の画像の比較を行い、比較より、第1の画像の有効部分を抽出し、有効部分のオートフォーカス機能座標を保存する点で、第1の実施形態の検査方法と異なっている。ここで、第1の実施形態と重複する点については、記載を省略する。
本実施形態の検査方法は、被検査試料によって反射された照明光を利用するオートフォーカス機構を用いて、被検査試料の第1の画像を取得するときに、被検査試料の設計パターンデータを用いて、2次元多項式近似式を計算するための必要部分を抽出し、被検査試料によって反射された照明光を利用するオートフォーカス機構を用いて、被検査試料の必要部分の第1の画像を取得する点で、第1の実施形態の検査方法と異なっている。ここで、第1及び第2の実施形態と重複する点については、記載を省略する。
本実施形態の検査方法は、第1の画像から、所定のパターン周期を求める点と、所定のパターン周期を有する部分の座標の、オートフォーカス機能座標を保存する点で、第1の実施形態の検査方法と異なっている。ここで、第1、第2及び第3の実施形態と重複する点については、記載を省略する。
M 被検査試料(マスク)
Claims (5)
- 被検査試料に照明光を照射し、
前記被検査試料によって反射された前記照明光を利用するオートフォーカス機構を用いて、前記被検査試料の第1の画像を取得し、
前記第1の画像を取得するときに前記オートフォーカス機構を用いて取得した、オートフォーカス機能座標を保存し、
前記オートフォーカス機能座標の2次元多項式近似式を計算し、
前記2次元多項式近似式を用いて、前記被検査試料の第2の画像を取得するときのフォーカスを制御する、
検査方法。 - 前記被検査試料の前記第1の画像を取得するときの第1の開口数を、前記被検査試料の前記第2の画像を取得するときの第2の開口数よりも大きくする、
請求項1記載の検査方法。 - 前記第1の画像を取得するときに前記オートフォーカス機構を用いて取得した前記オートフォーカス機能座標を保存するときに、
前記第1の画像の参照となる参照画像と前記第1の画像の比較をおこない、
前記比較より、前記第1の画像の有効部分を抽出し、
前記有効部分の前記オートフォーカス機能座標を保存する、
請求項1又は請求項2記載の検査方法。 - 前記被検査試料によって反射された前記照明光を利用する前記オートフォーカス機構を用いて、前記被検査試料の前記第1の画像を取得するときに、
前記被検査試料の設計パターンデータを用いて、前記2次元多項式近似式を計算するための必要部分を抽出し、
前記被検査試料によって反射された前記照明光を利用する前記オートフォーカス機構を用いて、前記被検査試料の前記必要部分の前記第1の画像を取得する、
請求項1又は請求項2記載の検査方法。 - 前記有効部分又は前記必要部分は同種パターンである請求項3又は請求項4記載の検査方法。
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