JP2016126302A - 検査装置および検査方法 - Google Patents
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- H04N23/00—Cameras or camera modules comprising electronic image sensors; Control thereof
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Abstract
【解決手段】試料を透過した第1の光学画像とその第1の参照画像との第1の比較と、試料に反射された第2の光学画像とその第2の参照画像との第2の比較のいずれか一方または両方と、第1の参照画像と第3の光学画像の第3の比較と、第2の参照画像と第4の光学画像の第4の比較のいずれか一方または両方と、をおこなう光学画像比較部612と、第1から第4の比較に基づきそれぞれ第1から第4のマップを作成するマップ作成部660と、欠陥補正方法情報に基づいた第1と第3のマップの第5の比較と、第2と第4のマップの第6の比較のいずれか一方または両方をおこなうマップ比較部614と、第5の比較と第6の比較のいずれか一方または両方と、に基づき補正の適否を判断する判断部624、626、628、629と、を備える。
【選択図】図1
Description
本実施形態の検査装置は、欠陥を有する被検査試料に照明光を照射する照明部と、被検査試料を透過した照明光を結像した第1の光学画像と被検査試料によって反射された照明光を結像した第2の光学画像のいずれか一方または両方と、補正がされた欠陥を有する被検査試料を透過した照明光を結像した第3の光学画像と補正がされた欠陥を有する被検査試料によって反射された照明光を結像した第4の光学画像のいずれか一方または両方と、を取得する結像部と、被検査試料を透過した照明光を結像した光学画像の参照となる第1の参照画像と第1の光学画像の第1の比較と被検査試料によって反射された照明光を結像した光学画像の参照となる第2の参照画像と第2の光学画像の第2の比較のいずれか一方または両方と、第1の参照画像と第3の光学画像の第3の比較と第2の参照画像と第4の光学画像の第4の比較のいずれか一方または両方と、をおこなう光学画像比較部と、第1の比較に基づいた被検査試料の第1のマップと第2の比較に基づいた被検査試料の第2のマップのいずれか一方または両方と、第3の比較に基づいた被検査試料の第3のマップと第4の比較に基づいた被検査試料の第4のマップのいずれか一方または両方と、を作成するマップ作成部と、第1のマップと第2のマップのいずれか一方または両方を保存するマップ記憶部と、欠陥の欠陥補正方法情報を保存する第1の記憶部と、欠陥補正方法情報に基づいた第1のマップと第3のマップの第5の比較と欠陥補正方法情報に基づいた第2のマップと第4のマップの第6の比較のいずれか一方または両方をおこなうマップ比較部と、欠陥補正方法情報と、第5の比較と第6の比較のいずれか一方または両方と、に基づいて補正の適否を判断する判断部と、を備える。
本実施形態の検査装置は、第1の光学画像、第2の光学画像、第3の光学画像または第4の光学画像と転写パラメータに基づいて転写像を作成する転写像作成部をさらに備える点で、第1の実施形態の検査装置と異なっている。ここで、第1の実施形態と重複する点については、記載を省略する。
本実施形態の検査装置は、光学画像比較部またはマップ比較部で用いる感度指定データを記憶する第2の記憶部をさらに備える点で、第1の実施形態および第2の実施形態の検査装置と異なっている。ここで、第1の実施形態および第2の実施形態と重複する点については、記載を省略する。
200 ステージ
210a 第1のモーター
210b 第2のモーター
210c 第3のモーター
220 レーザー測長計
300 移動制御部
310 走査範囲設定機構
320 モーター制御機構
400 照明部
410 光源
420 第1の照明部用レンズ
430 第2の照明部用レンズ
440 第1の照明部用ミラー
450 コンデンサレンズ
460 第1の照明部用光束分配手段
470 第2の照明部用ミラー
480 第2の照明部用光束分配手段
490 対物レンズ
500 結像部
510 第1の光検出器
520 第1の結像部用レンズ
530 第2の光検出器
540 第2の結像部用レンズ
550 分離ミラー
600 制御回路
612 光学画像比較部
614 マップ比較部
620 参照部
622 展開部
624 第1の判断部(判断部)
626 第2の判断部
628 第3の判断部
629 第4の判断部
630 パターンデータ記憶部
631 マップ記憶部
632 第1の記憶部
634 第2の記憶部
636 第3の記憶部
638 第4の記憶部
639 第5の記憶部
640 位置検出部
650 制御計算機
660 マップ作成部
670 バスライン
680 レビュー部
690 転写像作成部
700 オートフォーカス部
710 オートフォーカス光束分配手段
720 フォーカスずれ検出機構
730 フォーカス制御機構
740 オートフォーカス部用モーター
800 インターフェース
1000 検査装置
2000 補正装置
M マスク
S 基板
F 遮光膜
I 白欠陥
C 基板の透過率が減少した部分
Claims (5)
- 欠陥を有する被検査試料に照明光を照射する照明部と、
前記被検査試料を透過した前記照明光を結像した第1の光学画像と前記被検査試料によって反射された前記照明光を結像した第2の光学画像のいずれか一方または両方と、補正がされた前記欠陥を有する前記被検査試料を透過した前記照明光を結像した第3の光学画像と前記補正がされた前記欠陥を有する前記被検査試料によって反射された前記照明光を結像した第4の光学画像のいずれか一方または両方と、を取得する結像部と、
前記被検査試料を透過した前記照明光を結像した光学画像の参照となる第1の参照画像と前記第1の光学画像の第1の比較と前記被検査試料によって反射された前記照明光を結像した光学画像の参照となる第2の参照画像と前記第2の光学画像の第2の比較のいずれか一方または両方と、前記第1の参照画像と前記第3の光学画像の第3の比較と前記第2の参照画像と前記第4の光学画像の第4の比較のいずれか一方または両方と、をおこなう光学画像比較部と、
前記第1の比較に基づいた前記被検査試料の第1のマップと前記第2の比較に基づいた前記被検査試料の第2のマップのいずれか一方または両方と、前記第3の比較に基づいた前記被検査試料の第3のマップと前記第4の比較に基づいた前記被検査試料の第4のマップのいずれか一方または両方と、を作成するマップ作成部と、
前記第1のマップと前記第2のマップのいずれか一方または両方を保存するマップ記憶部と、
前記欠陥の欠陥補正方法情報を保存する第1の記憶部と、
前記欠陥補正方法情報に基づいた前記第1のマップと前記第3のマップの第5の比較と前記欠陥補正方法情報に基づいた前記第2のマップと前記第4のマップの第6の比較のいずれか一方または両方をおこなうマップ比較部と、
前記欠陥補正方法情報と、前記第5の比較と前記第6の比較のいずれか一方または両方と、に基づいて前記補正の適否を判断する判断部と、
を備える検査装置。 - 前記第1の光学画像、前記第2の光学画像、前記第3の光学画像または前記第4の光学画像と転写パラメータに基づいて転写像を作成する転写像作成部をさらに備える請求項1に記載の検査装置。
- 前記光学画像比較部または前記マップ比較部で用いる感度指定データを保存する第2の記憶部をさらに備える請求項1または請求項2に記載の検査装置。
- 欠陥を有する被検査試料に照明光を照射し、
前記被検査試料を透過した前記照明光を結像した第1の光学画像と前記被検査試料によって反射された前記照明光を結像した第2の光学画像のいずれか一方または両方を取得し、
前記被検査試料を透過した前記照明光を結像した光学画像の参照となる第1の参照画像と前記第1の光学画像の第1の比較と前記被検査試料によって反射された前記照明光を結像した光学画像の参照となる第2の参照画像と前記第2の光学画像の第2の比較のいずれか一方または両方をおこない、
前記第1の比較に基づいた前記被検査試料の第1のマップと前記第2の比較に基づいた前記被検査試料の第2のマップのいずれか一方または両方を作成し、
前記第1のマップと前記第2のマップのいずれか一方または両方を保存し、
前記欠陥の欠陥補正の要否を判断し、
前記欠陥の欠陥補正方法を判断し、
前記欠陥の欠陥補正方法情報を保存し、
前記欠陥補正方法を用いて前記欠陥を補正し、
前記被検査試料に照明光を照射し、
前記被検査試料を透過した前記照明光を結像した第3の光学画像と前記被検査試料によって反射された前記照明光を結像した第4の光学画像のいずれか一方または両方を取得し、
前記第1の参照画像と前記第3の光学画像の第3の比較と前記第2の参照画像と前記第4の光学画像の第4の比較のいずれか一方または両方をおこない、
前記第3の比較に基づいた前記被検査試料の第3のマップと前記第4の比較に基づいた前記被検査試料の第4のマップのいずれか一方または両方を作成し、
前記欠陥補正方法情報に基づいた前記第1のマップと前記第3のマップの第5の比較と前記欠陥補正方法情報に基づいた前記第2のマップと前記第4のマップの第6の比較のいずれか一方または両方をおこない、
前記第5の比較の結果と前記第6の比較の結果のいずれか一方または両方と、前記欠陥補正方法情報に基づいて前記補正の適否を判断する、
検査方法。 - 前記被検査試料は基板と、前記基板上に配置された遮光膜と、を有し、
前記欠陥補正方法は前記基板の透過率を減少させる方法であり、
前記欠陥補正方法情報は前記基板の透過率を減少させる方法という情報であり、
前記第5の比較で前記第1のマップで所定の誤差より大きな誤差を有する部分が前記第3のマップで所定の誤差より小さな誤差を有し、前記第6の比較で前記第2のマップで所定の誤差より大きな誤差を有する部分が前記第4のマップで所定の誤差より大きな誤差を有する場合に前記補正は適切であると判断する、
請求項4に記載の検査方法。
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