TWI531451B - Industrial robots - Google Patents

Description

產業用機器人

本發明係關於搬送半導體晶圓等搬送對象物之產業用機器人。

先前，作為搬送半導體晶圓等之產業用機器人，眾所周知的是具有裝置本體、手臂及2個手部之產業用機器人(例如，參照專利文獻1)。專利文獻1所記載之產業用機器人中，手臂之基端部可旋轉地安裝於裝置本體，且2個手部之基端部以於上下方向重疊之方式安裝於手臂之前端部。2個手部可相對於手臂而個別地旋轉。又，2個手部形成為大致同形狀。具體而言，手部之基端側部分形成為直線狀，手部之前端側部分形成為二叉狀，手部整體上形成為大致Y形狀。又，該產業用機器人中，以使與手臂連結之手部之基端部呈直線狀活動之方式使手臂伸縮。

[先前技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本專利特開2008-135630號公報

專利文獻1所記載之產業用機器人中，2個手部可相對於手臂而個別地旋轉，因此可以於上下方向重疊之方式配置2個手部，及可以使與手臂連結之手部之除基端部以外之其他部分不於上下方向重疊之方式配置2個手部。因此，該產業用機器人中，可自以於上下方向重疊之方式收納有半導體晶圓之收納位置同時搬出2片半導體晶圓，或者可同時向該收納位置搬入2片半導體晶圓，且可同時向以不於上下方向重疊之方式配置半導體晶圓之作業位置搬入2片半導體晶圓，或者可同時自該作業位置搬出2片半導體晶圓。

然而，有時於以不重疊之方式配置半導體晶圓之作業位置與產業用機器人之間，配置有形成有2片半導體晶圓分別可通過之開口部之擋閘部。於作業位置與產業用機器人之間配置有擋閘部之情形時，即便以專利文獻1中記載之產業用機器人對該作業位置進行2片半導體晶圓之搬送，亦有形成為大致Y形狀之手部之基端側部分與開口部之間之壁部發生干涉而導致無法搬送半導體晶圓之虞。於此，若加長形成為直線狀之手部之基端側部分之長度，則可防止手部之基端側部分與壁部發生干涉，但若加長手部之基端側部分之長度，則相對於裝置本體而與手臂一起旋轉之手部之相對於裝置本體之旋轉半徑亦會相應地變大。

由此，本發明之課題在於提供一種產業用機器人，其可對以於上下方向重疊之方式配置搬送對象物之第1配置位置進行搬送對象物之搬送，及可對以不於上下方向重疊之方式配置搬送對象物之第2配置位置進行搬送對象物之搬送，且，即便於產業用機器人與第2配置位置之間配置有擋閘部，亦可縮小手部相對於本體部之旋轉半徑，並且可防止手部與擋閘部發生干涉。

為解決上述課題，本發明之產業用機器人之特徵在於包括：第1手部及第2手部，其搭載搬送對象物；手臂，其可旋轉地安裝有第1手部及第2手部；及本體部，其可旋轉地安裝有手臂之基端部；第1手部之基端部與第2手部之基端部以於上下方向重疊之方式安裝於手臂之前端部，第1手部與第2手部可相對於手臂而個別地旋轉，並且於自上下方向觀察時可相對於手臂而以共用之旋轉中心為中心旋轉，且於自上下方向觀察時以彎曲之方式形成，並且於自上下方向觀察時以相對於通過旋轉中心之特定假想線而形成為大致線對稱。

本發明中，產業用機器人於例如第1手部之前端側與第2手部之前端側於上下方向重疊之狀態下，進行自以於上下方向重疊之方式配置搬送對象物之第1配置位置搬出搬送對象物及向第1配置位置搬入搬送對象物之至少一者，而於第1手部之前端側與第2手部之前端側不於上下方向重疊之狀態下，進行自以不於上下方向重疊之方式配置搬送對象物之第2配置位置搬出搬送對象物及向第2配置位置搬入搬送對象物之至少一者。

本發明之產業用機器人中，第1手部之基端部與第2手部之基端部以於上下方向重疊之方式安裝於手臂之前端部。又，第1手部與第2手部可相對於手臂而個別地旋轉，並且於自上下方向觀察時可相對於手臂而以共用之旋轉中心為中心旋轉。因此，藉由以使搭載搬送對象物之第1手部之前端側與第2手部之前端側於上下方向重疊之方式配置2個手部(第1手部及第2手部)，可對以不於上下方向重疊之方式配置搬送對象物之第1配置位置進行搬送對象物之搬送，且藉由以使第1手部之前端側與第2手部之前端側不於上下方向重疊之方式配置2個手部，可對以不於上下方向重疊之方式配置搬送對象物之第2配置位置進行搬送對象物之搬送。

又，本發明中，第1手部與第2手部於自上下方向觀察時以彎曲之方式形成，並且於自上下方向觀察時相對於通過旋轉中心之特定假想線而形成為大致線對稱。因此，使第1手部及第2手部彎曲為特定形狀，由此即便於產業用機器人與第2配置位置之間配置有擋閘部，亦可縮短產業用機器人之直徑方向之第1手部及第2手部之長度，並且可防止第1手部及第2手部與擋閘部發生干涉。即，本發明中，即便於產業用機器人與第2配置位置之間配置有擋閘部，亦可縮小手部相對於本體部之旋轉半徑，並且可防止手部與擋閘部發生干涉。

本發明中較佳為，第1手部及第2手部以於對第2配置位置進行搬送對象物之搬送時第1手部之基端側及第2手部之基端側自旋轉中心向相互離開之方向伸長之方式形成。若設為該構成，則於對第2配置位置進行搬送對象物之搬送時，可增大第1手部與第2手部之間之空隙。因此，易於確實地防止第1手部及第2手部與擋閘部發生干涉。

又，該情形時，第1手部及第2手部例如以如下方式形成，即於對第2配置位置進行搬送對象物之搬送時，於由連接搭載於第1手部之搬送對象物之中心與旋轉中心之線段、與連接搭載於第2手部之搬送對象物之中心與旋轉中心之線段所形成之三角形區域之外側，配置有第1手部之彎曲部分及第2手部之彎曲部分。

本發明中，第1手部及第2手部例如以如下方式形成，即於對第1配置位置進行搬送對象物之搬送時第1手部之前端側與第2手部之前端側相互交叉重疊。該情形時較佳為：第1手部於自上下方向觀察時以朝一方向彎曲之方式形成，第2手部於自上下方向觀察時以朝與第1手部之彎曲方向相反之方向即另一方向彎曲之方式形成，第1手部之前端側及第2手部之前端側形成為具有第1搭載部及第2搭載部之二叉狀，第1手部之第1搭載部配置於第1手部之彎曲方向側，並且第1手部之第2搭載部配置於第1手部之彎曲方向相反側，第2手部之第1搭載部配置於第2手部之彎曲方向側，並且第2手部之第2搭載部配置於第2手部之彎曲方向相反側，且第1手部及第2手部以於對第1配置位置進行搬送對象物之搬送時第1手部之第2搭載部之前端部與第2手部之第2搭載部之前端部重疊之方式形成。若設為該構成，則於對第1配置位置搬送搬送對象物時，可使與搬送對象物之搬送方向正交之方向之第1手部與第2手部之重疊部分之寬度變窄。因此，即便形成有搬送對象物所通過之開口部之擋閘部配置於產業用機器人與第1配置位置之間，亦可防止該擋閘部與彎曲之手部發生干涉。

本發明中較佳為，第1手部與第2手部於自上下方向觀察時以按特定角度彎曲1次之方式形成。若設為該構成，則相較於第1手部與第2手部於自上下方向觀察時彎曲複數次之情形，可簡化第1手部及第2手部之構成。

本發明中較佳為，第1手部之較彎曲部分更靠前端側之寬度為大致固定，第2手部之較彎曲部分更靠前端側之寬度為大致固定。若設為該構成，則相較於第1手部之較彎曲部分更靠前端側之寬度、及第2手部之較彎曲部分更靠前端側之寬度向手部前端逐漸變寬之情形，可使與搬送對象物之搬送方向正交之方向之第1手部之寬度及第2手部之寬度變窄。因此，即便於產業用機器人與第2配置位置之間、或產業用機器人與第1配置位置之間配置有擋閘部之情形時，亦易於確實地防止擋閘部與手部發生干涉。

如上所述，本發明之產業用機器人中，可對以於上下方向重疊之方式配置搬送對象物之第1配置位置進行搬送對象物之搬送，及對以不於上下方向重疊之方式配置搬送對象物之第2配置位置進行搬送對象物之搬送，且即便於產業用機器人與第2配置位置之間配置有擋閘部，亦可縮小手部相對於本體部之旋轉半徑，並且可防止手部與擋閘部發生干涉。

以下，參照圖式對本發明之實施形態進行說明。

(產業用機器人之概略構成)

圖1係本發明之實施形態之產業用機器人1之側視圖。圖2係圖1所示之產業用機器人1之平面圖。

本形態之產業用機器人1係用以搬送作為搬送對象物之半導體晶圓2(參照圖2)之多關節型機器人。如圖1、圖2所示，該產業用機器人1包括：第1手部3及第2手部4之2個手部，其搭載半導體晶圓2；手臂5，其可旋轉地安裝於第1手部3及第2手部4；及本體部6，其可旋轉地安裝於手臂5之基端部。再者，以下說明中，將產業用機器人1作為「機器人1」，將半導體晶圓2作為「晶圓2」。

本體部6形成為大致圓筒狀。於本體部6之內部收納有使手臂5升降之升降機構(省略圖示)。手臂5包含第1手臂部7、第2手臂部8及第3手臂部9。第1手臂部7、第2手臂部8及第3手臂部9形成為中空狀。第1手臂部7之基端部可旋轉地安裝於本體部6。第2手臂部8之基端部可旋轉地安裝於第1手臂部7之前端部。第3手臂部9之基端部可旋轉地安裝於第2手臂部8之前端部。本形態中，於上下方向，自下側起依序配置有本體部6、第1手臂部7、第2手臂部8及第3手臂部9。

第1手部3之基端部及第2手部4之基端部以於上下方向重疊之方式安裝於第3手臂部9之前端部。又，第1手部3之基端部及第2手部4之基端部配置於第3手臂部9之上表面側。本形態中，第1手部3之基端部配置於上側，第2手部4之基端部配置於下側。即，第1手部3配置於第2手部4之上側。第1手部3與第2手部4可相對於手臂5而個別地旋轉。又，第1手部3與第2手部4於自上下方向觀察時可以共用之旋轉中心C1為中心旋轉。至於第1手部3及第2手部4之詳細構成將於下文進行敍述。

又，機器人1包括：基端側手臂部驅動機構(省略圖示)，其使第1手臂部7及第2手臂部8旋轉而使包含第1手臂部7與第2手臂部8之基端側手臂部伸縮；第3手臂部驅動機構(省略圖示)，其對第3手臂部9進行旋轉驅動；第1手部驅動機構(省略圖示)，其對第1手部3進行旋轉驅動；及第2手部驅動機構(省略圖示)，其對第2手部4進行旋轉驅動。

基端側手臂部驅動機構包括馬達、將該馬達之動力減速並傳遞至第1手臂部7之減速機、及將該馬達之動力減速並傳遞至第2手臂部8之減速機等。第3手臂部驅動機構包括馬達、及將該馬達之動力減速並傳遞至第3手臂部9之減速機等。第1手部驅動機構包括馬達、及將該馬達之動力減速並傳遞至第1手部3之減速機等，第2手部驅動機構包括馬達、及將該馬達之動力減速並傳遞至第2手部4之減速機等。

本形態之機器人1係組入半導體製造系統而使用。例如，機器人1配置於半導體製造系統之入口，且於以特定間距於上下方向重疊之方式配置晶圓2之晶匣11與以不於上下方向重疊之方式配置晶圓2之處理裝置12之間搬送晶圓2(參照圖2)。

於晶匣11形成有擋閘部11a。於擋閘部11a形成有第1手部3及第2手部4之前端側所通過之開口部11b。於處理裝置12中以鄰接之方式形成有複數個處理室13。又，於處理裝置12形成有擋閘部12a。於擋閘部12a形成有連通至各處理室13之複數個開口部12b，且開口部12b之間成為擋閘部12a之壁部12c。

本形態中，機器人1於第1手部3之前端側與第2手部4之前端側於上下方向重疊之狀態下，自晶匣11同時搬出2片晶圓2，又，向晶匣11同時搬入2片晶圓2。又，機器人1於第1手部3之前端側與第2手部4之前端側不於上下方向重疊之狀態下，將2片晶圓2分別同時搬入至2個處理室13之各個，又，將2片晶圓2分別自2個處理室13之各個同時搬出。

於對晶匣11進行晶圓2之搬送時、及對處理裝置12進行晶圓2之搬送時，手臂5以使第1手部3及第2手部4之旋轉中心C1之移動軌跡成為直線狀之方式伸縮。本形態中，晶匣11之內部為於上下方向重疊之方式配置作為搬送對象物之晶圓2之第1配置位置，處理裝置12之內部為以不於上下方向重疊之方式配置晶圓2之第2配置位置。再者，本形態中，機器人1以第1手部3之前端側與第2手部4之前端側不於上下方向重疊之狀態，自晶匣11搬出1片晶圓2，或者向晶匣11搬入1片晶圓2。

(第1手部及第2手部之構成)

圖3係圖2所示之第1手部3及第2手部4之平面圖，圖3(A)係表示對處理裝置12搬送晶圓2時之第1手部3及第2手部4之狀態之圖，圖3(B)係表示對晶匣11搬送晶圓2時之第1手部3及第2手部4之狀態之圖。

第1手部3及第2手部4於自上下方向觀察時以彎曲之方式形成。具體而言，第1手部3及第2手部4於自上下方向觀察時以按特定角度彎曲1次之方式形成。又，第1手部3及第2手部4於自上下方向觀察時相對於通過旋轉中心C1之特定假想線L1而形成為大致線對稱。即，以使第1手部3之彎曲方向與第2手部4之彎曲方向成為相反方向之方式形成第1手部3及第2手部4，第1手部3自基端向前端而朝一方向(圖3之逆時針方向)彎曲，第2手部4自基端向前端而朝另一方向(圖3之順時針方向)彎曲。

第1手部3包含基端側部分3a與前端側部分3b。又，第1手部3於自上下方向觀察時以使基端側部分3a與前端側部分3b所成之角度為鈍角之方式彎曲1次，整體上形成為大致L形狀(或者大致「ㄑ」字狀)。相同地，第2手部4包含基端側部分4a與前端側部分4b。又，第2手部4於自上下方向觀察時以使基端側部分4a與前端側部分4b所成之角度為鈍角之方式彎曲1次，整體上形成為大致L形狀(或者大致「ㄑ」字狀)。基端側部分3a、4a與前端側部分3b、4b所成之角度為例如約120°。基端側部分3a、4a與前端側部分3b、4b之邊界之折彎部分成為彎曲部分3c、4c。又，晶圓2搭載於前端側部分3b、4b。

基端側部分3a、4a之厚度(上下方向之厚度)厚於前端側部分3b、4b之厚度。基端側部分3a、4a之寬度窄於前端側部分3b、4b之寬度。又，基端側部分3a、4a之寬度為大致固定，前端側部分3b、4b之寬度為大致固定。再者，本形態中，基端側部分3a之寬度窄於基端側部分4a之寬度。又，前端側部分3b之寬度與前端側部分4b之寬度相等。

前端側部分3b、4b之前端側形成為具有搭載晶圓2之一部分之第1搭載部3d、4d與第2搭載部3e、4e之二叉狀。第1搭載部3d配置於第1手部3之彎曲方向側，第1搭載部4d配置於第2手部4之彎曲方向側。又，第2搭載部3e配置於第1手部3之彎曲方向相反側，第2搭載部4e配置於第2手部4之彎曲方向相反側。又，於前端側部分3b、4b之基端側配置有用以握持晶圓2之握持機構15。握持機構15包含例如與晶圓2之端面接觸之接觸部、及驅動該接觸部之氣缸等。再者，亦可代替包含氣缸等之握持機構15，而於第1手部3及第2手部4設置吸引型之晶圓2之保持機構。

於對處理裝置12進行晶圓2之搬送時，如上述般第1手部3之前端側與第2手部4之前端側不於上下方向重疊。具體而言，於對處理裝置12進行晶圓2之搬送時，如圖3(A)所示，以使基端側部分3a與基端側部分4a所成之角度θ為約150°之方式設定第1手部3及第2手部4之旋轉位置。即，於對處理裝置12進行晶圓2之搬送時，基端側部分3a與基端側部分4a自旋轉中心C1向相互離開之方向伸長。又，前端側部分3b、4b自彎曲部分3c、4c向處理裝置12伸長。又，於對處理裝置12進行晶圓2之搬送時，如圖3(A)所示，於由連接搭載於第1手部3之晶圓2之中心C2與旋轉中心C1之線段L2、與連接搭載於第2手部4之晶圓2之中心C3與旋轉中心C1之線段L3所形成之三角形區域R之外側配置有彎曲部分3c、4c。

另一方面，於對晶匣11進行晶圓2之搬送時，如上述般第1手部3之前端側與第2手部4之前端側於上下方向重疊。具體而言，於對晶匣11進行晶圓2之搬送時，如圖3(B)所示，以使前端側部分3b之前端側與前端側部分4b之前端側交叉重疊之方式，設定第1手部3及第2手部4之旋轉位置。更具體而言，於對晶匣11進行晶圓2之搬送時，以使第2搭載部3e之前端部與第2搭載部4e之前端部重疊之方式設定第1手部3及第2手部4之旋轉位置。此時，基端側部分3a與基端側部分4a所成之角度θ為例如約70°。

(產業用機器人之概略動作)

圖4係表示自圖2所示之晶匣11以第1手部3之前端側與第2手部4之前端側不於上下方向重疊之狀態取出晶圓2時之狀態之平面圖。

以上述方式構成之機器人1中，手臂5以使第1手部3之前端側與第2手部4之前端側重疊之狀態伸縮，從而如圖2所示自晶匣11同時搬出2片晶圓2。此時，於第1手部3之前端側與第2手部4之前端側重疊之狀態下，第1手部3及第2手部4之前端側通過形成於晶匣11之擋閘部11a之開口部11b。

當自晶匣11搬出晶圓2時，第1手臂部7、第2手臂部8及第3手臂部9以特定角度旋動，並且第1手臂3及第2手臂4以使第1手部3之前端側與第2手部4之前端側分開之方式旋動之後(具體而言，第1手部3向圖2之順時針方向旋動，第2手部4向圖2之逆時針方向旋動之後)，手臂5以第1手部3之前端側與第2手部4之前端側不重疊之狀態伸縮，從而2片晶圓2分別被同時搬入至2個處理室13之各個。此時，第1手部3之前端側通過形成於處理裝置12之擋閘部12a之1個開口部12b，且第2手部4之前端側通過其他開口部12b。

又，當於處理裝置12結束特定處理時，手臂5以第1手部3之前端側與第2手部4之前端側不重疊之狀態伸縮，2片晶圓2分別自2個處理室13之各個同時搬出。當自處理室13搬出晶圓2時，第1手臂部7、第2手臂部8及第3手臂部9以特定角度旋動，並且第1手臂3及第2手臂4以使第1手部3之前端側與第2手部4之前端側重疊之方式旋動之後(具體而言，第1手部3向圖2之逆時針方向旋動，第2手部4向圖2之順時針方向旋動之後)，手臂5以第1手部3之前端側與第2手部4之前端側重疊之狀態伸縮，從而向晶匣11同時搬入2片晶圓2。

於此，根據收納於晶匣11中之晶圓2之片數，亦有時會以第1手部3之前端側與第2手部4之前端側不於上下方向重疊之狀態，自晶匣11搬出1片晶圓2或者向晶匣11搬入1片晶圓2。該情形時，亦有時例如自第1手部3之前端側與第2手部4之前端側重疊之狀態，如圖4(B)所示以使基端側部分3a與基端側部分4a所成之角度成為鈍角之方式使第2手部4向圖4之逆時針方向旋動之後使手臂5伸縮，藉由第1手部3而對晶匣11進行晶圓2之搬送。又，亦有時自第1手部3之前端側與第2手部4之前端側重疊之狀態，如圖4(C)所示以使基端側部分3a與基端側部分4a所成之角度成為銳角之方式使第1手部3向圖4之逆時針方向旋動之後使手臂5伸縮，藉由第2手部4而對晶匣11進行晶圓2之搬送。

相同地，亦有時自第1手部3之前端側與第2手部4之前端側重疊之狀態，以使基端側部分3a與基端側部分4a所成之角度成為銳角之方式使第2手部4向圖4之順時針方向旋動之後使手臂5伸縮，藉由第1手部3而對晶匣11進行晶圓2之搬送，亦有時會自第1手部3之前端側與第2手部4之前端側重疊之狀態，以使基端側部分3a與基端側部分4a所成之角度成為鈍角之方式使第1手部3向圖4之順時針方向旋動之後使手臂5伸縮，藉由第2手部4而對晶匣11進行晶圓2之搬送。

(本形態之主要效果)

如以上說明，本形態中，第1手部3之基端部及第2手部4之基端部以於上下方向重疊之方式安裝於第3手臂部9之前端部，且，第1手部3與第2手部4可相對於手臂5而個別地旋轉。因此，如上述般，藉由以使第1手部3之前端側與第2手部4之前端側重疊之方式設定第1手部3及第2手部4之旋轉位置，可對以重疊之方式配置晶圓2之晶匣11搬送2片晶圓2，且藉由以使第1手部3之前端側與第2手部4之前端側不重疊之方式設定第1手部3及第2手部4之旋轉位置，可對鄰接之2個處理室13之各個同時搬送晶圓2。即，本形態中，可對晶匣11及處理裝置12同時搬送2片晶圓2。因此，本形態中，可縮短製程時間。又，本形態中，因可同時搬送2片晶圓2，故而可減少機器人1之動作次數，其結果，可延長機器人1之壽命。

本形態中，第1手部3與第2手部4於自上下方向觀察時以按特定角度相互向反方向彎曲1次之方式形成，於自上下方向觀察時相對於假想線L1而形成為大致線對稱。又，於對處理裝置12搬送晶圓2時，基端側部分3a與基端側部分4a自旋轉中心C1向相互離開之方向伸長。因此，即便於形成於處理裝置12之擋閘部12a之開口部12b之間存在有壁部12c，亦可縮短機器人1之直徑方向之第1手部3及第2手部4之長度，並且可防止第1手部3及第2手部4與壁部12c發生干涉。即，本形態中，即便於擋閘部12a形成有壁部12c，亦可縮短第1手部3及第2手部4相對於本體部6之旋轉半徑，並且可防止第1手部3及第2手部4與擋閘部12a發生干涉。

又，本形態中，於對晶匣11搬送晶圓2時，以使第2搭載部3e之前端部與第2搭載部4e之前端部重疊之方式設定第1手部3及第2手部4之旋轉位置。因此，於對晶匣11搬送晶圓2時，可使與晶圓2之搬送方向正交之方向之第1手部3與第2手部4之重疊部分之寬度變窄。因此，本形態中，即便第1手部3及第2手部4彎曲，亦可於對晶匣11搬送晶圓2時防止晶匣11之擋閘部11a與第1手部3及第2手部4發生干涉。

又，本形態中，第1手部3之前端側部分3b之寬度及第2手部4之前端側部分4b之寬度為大致固定，因此與前端側部分3b、4b之寬度向前端逐漸變寬之情形相比，可使與晶圓2之搬送方向正交之方向之第1手部3之寬度及第2手部4之寬度變窄。因此，本形態中，易於確實地防止第1手部3及第2手部4與擋閘部11a、12a發生干涉。

本形態中，第1手部3及第2手部4於自上下方向觀察時以彎曲1次之方式形成。因此，本形態中，與第1手部3及第2手部4於自上下方向觀察時彎曲複數次之情形相比，可簡化第1手部3及第2手部4之構成。

(其他實施形態)

上述之形態為本發明之較佳形態之一例，但並不限定於此，可於不變更本發明之主旨之範圍內實施各種變形。

上述形態中，第1手部3於自上下方向觀察時以使基端側部分3a與前端側部分3b所成之角度為鈍角之方式彎曲。此外，例如第1手部3於自上下方向觀察時亦可以使基端側部分3a與前端側部分3b所成之角度為直角之方式彎曲，亦可以使基端側部分3a與前端側部分3b所成之角度為銳角之方式彎曲。相同地，上述形態中，第2手部4於自上下方向觀察時亦可以使基端側部分4a與前端側部分4b所成之角度為鈍角之方式彎曲，第2手部4於自上下方向觀察時亦可以使基端側部分4a與前端側部分4b所成之角度為直角之方式彎曲，亦可以使基端側部分4a與前端側部分4b所成之角度為銳角之方式彎曲。

上述形態中，第1手部3及第2手部4於自上下方向觀察時以彎曲1次之方式形成。此外，例如第1手部3及第2手部4亦可以彎曲2次以上之方式形成。又，上述形態中，第1手部3之前端側部分3b之寬度及第2手部4之前端側部分4b之寬度為大致固定，但亦可如上述專利文獻1中記載之產業用機器人之手部般，以使前端側部分3b、4b之寬度向前端逐漸變寬之方式形成前端側部分3b、4b。

上述形態中，第1手部3之前端側部分3b及第2手部4之前端側部分4b形成為二叉狀。此外，例如前端側部分3b、4b亦可形成為直線狀。又，上述形態中，機器人1為用以搬送晶圓2之機器人，但機器人1亦可為搬送晶圓2以外之基板等搬送對象物之搬送用機器人。

1．．．機器人(產業用機器人)

2．．．晶圓(半導體晶圓、搬送對象物)

3．．．第1手部

3a、4a．．．基端側部分

3b、4b．．．前端側部分

3c、4c．．．彎曲部分

3d、4d．．．第1搭載部

3e、4e．．．第2搭載部

4．．．第2手部

5．．．手臂

6．．．本體部

7．．．第1手臂部

8．．．第2手臂部

9．．．第3手臂部

11．．．晶匣(第1配置位置)

11a、12a．．．擋閘部

11b、12b．．．開口部

12．．．處理裝置(第2配置位置)

12c．．．壁部

13．．．處理室

15．．．握持機構

C1．．．旋轉中心

C2．．．第1手部搭載搬送對象物之中心

C3．．．第2手部搭載搬送對象物之中心

L1．．．假想線

L2．．．連接搭載於第1手部之搬送對象物之中心與旋轉中心之線段

L3．．．連接搭載於第2手部之搬送對象物之中心與旋轉中心之線段

R．．．區域

θ．．．第1手部之基端側部分與第2手部之基端側部分所成之角度

圖1係本發明之實施形態之產業用機器人之側視圖；

圖2係圖1所示之產業用機器人之平面圖；

圖3(A)、圖3(B)係圖2所示之第1手部及第2手部之平面圖，圖3(A)係表示對處理裝置搬送晶圓時之第1手部及第2手部之狀態之圖，圖3(B)係表示對晶匣搬送晶圓時之第1手部及第2手部之狀態之圖；及

圖4(A)-圖4(C)係表示自圖2所示之晶匣以第1手部之前端側與第2手部之前端側不於上下方向重疊之狀態取出晶圓時之狀態之平面圖。

1．．．機器人(產業用機器人)

2．．．晶圓(半導體晶圓、搬送對象物)

3．．．第1手部

4．．．第2手部

5．．．手臂

6．．．本體部

7．．．第1手臂部

8．．．第2手臂部

9．．．第3手臂部

11．．．晶匣(第1配置位置)

11a、12a．．．擋閘部

11b、12b．．．開口部

12．．．處理裝置(第2配置位置)

12c．．．壁部

13．．．處理室

C1．．．旋轉中心

Claims (6)

1. 一種產業用機器人，其特徵在於包括：第1手部及第2手部，其搭載搬送對象物；手臂，其可旋轉地安裝有上述第1手部及第2手部；及本體部，其可旋轉地安裝有上述手臂之基端部；且上述第1手部之基端部與上述第2手部之基端部以於上下方向重疊之方式安裝於上述手臂之前端部，上述第1手部與上述第2手部可相對於上述手臂而個別地旋轉，並且於自上下方向觀察時可相對於上述手臂而以共用之旋轉中心為中心旋轉，且於自上下方向觀察時以彎曲之方式形成，並且於自上下方向觀察時以相對於通過旋轉中心之特定假想線而形成為大致線對稱，且上述產業用機器人於上述第1手部之前端側與上述第2手部之前端側於上下方向重疊之狀態下，進行自以於上下方向重疊之方式配置上述搬送對象物之第1配置位置搬出上述搬送對象物及向上述第1配置位置搬入上述搬送對象物之至少一者，並且於上述第1手部之前端側與上述第2手部之前端側不於上下方向重疊之狀態下，進行自以不於上下方向重疊之方式配置上述搬送對象物之第2配置位置搬出上述搬送對象物及向上述第2配置位置搬入上述搬送對象物之至少一者，上述第1手部及上述第2手部進一步形成為：於對第1配置位置進行上述搬送對象物之搬送時上述第1手部之前端側與上述第2手部之前端側相互交叉重疊。
2. 如請求項1之產業用機器人，其中上述第1手部及上述第2手部以於對上述第2配置位置進行上述搬送對象物之搬送時上述第1手部之基端側及上述第2手部之基端側自上述旋轉中心向相互離開之方向伸長之方式形成。
3. 如請求項2之產業用機器人，其中上述第1手部及上述第2手部形成為：於對上述第2配置位置進行上述搬送對象物之搬送時，於由連接搭載於上述第1手部之上述搬送對象物之中心與上述旋轉中心之線段、與連接搭載於上述第2手部之上述搬送對象物之中心與上述旋轉中心之線段所形成之三角形區域之外側，配置有上述第1手部之彎曲部分及上述第2手部之彎曲部分。
4. 如請求項1至3中任一項之產業用機器人，其中上述第1手部於自上下方向觀察時以朝一方向彎曲之方式形成，上述第2手部於自上下方向觀察時以朝與上述第1手部之彎曲方向相反之方向即另一方向彎曲之方式形成，上述第1手部之前端側及上述第2手部之前端側形成為具有第1搭載部及第2搭載部之二叉狀，上述第1手部之上述第1搭載部配置於上述第1手部之彎曲方向側，並且上述第1手部之上述第2搭載部配置於上述第1手部之彎曲方向相反側，上述第2手部之上述第1搭載部配置於上述第2手部之彎曲方向側，並且上述第2手部之上述第2搭載部配置於上述第2手部之彎曲方向相反側，且上述第1手部及上述第2手部以於對上述第1配置位置 進行上述搬送對象物之搬送時上述第1手部之上述第2搭載部之前端部與上述第2手部之上述第2搭載部之前端部重疊之方式形成。
5. 如請求項1至3中任一項之產業用機器人，其中上述第1手部與上述第2手部於自上下方向觀察時以按特定角度彎曲1次之方式形成。
6. 如請求項5之產業用機器人，其中上述第1手部之較彎曲部分更靠前端側之寬度為大致固定，上述第2手部之較彎曲部分更靠前端側之寬度為大致固定。