TWI530753B - 多調式光罩之製造方法、多調式光罩、及顯示裝置之製造方法 - Google Patents

多調式光罩之製造方法、多調式光罩、及顯示裝置之製造方法 Download PDF

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    • G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/26—Phase shift masks [PSM]; PSM blanks; Preparation thereof
    • G03F1/28—Phase shift masks [PSM]; PSM blanks; Preparation thereof with three or more diverse phases on the same PSM; Preparation thereof
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