TWI508215B - Cartridge laser marking system - Google Patents
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Description
本發明係關於一種雷射標記系統;特別係關於一種卡匣式雷射標記系統。
現今半導體技術日益發展,尤其在半導體製程方面進展迅速。由於新興經濟體(Emerging economies)人力成本日趨高漲,對於人力需求高的製造業帶來許多負擔,因此廠商對於加強製程的自動化有強烈的需求。
在半導體製程的領域中,一個電子產品的產生需要非常多道的製程。在每一個製程與其相鄰的製程之間,需要有運送的設備輸送料片。一般常見輸送料片的方式,會將複數個料片儲存於卡匣(Magazine)內進行運送。
在習知技術中,卡匣的運送以及卡匣內料片的存取,大部分都是利用人工作業或半人工作業的方式。例如在雷射標記機(Laser Marking Machine)的應用中,卡匣的運送以及料片的進出料,部分的過程需要透過作業員人工作業進行。
因此,基於上述,現今市場需要一種雷射標記設備,在卡匣的運送以及進出料的程序,具有高度自動化的功
能,以減少卡匣運送以及進出料的人工作業。
已於上述,本發明之目的係提供一種用於卡匣式雷射標記系統及其方法,利用卡匣管理設備,可自動化卡匣運送料片的程序、進出料程序以及後續已標記的料片收集至卡匣的程序,有效減少雷射標記設備所需人工作業的程度,提高整體雷射標記程序的效率以及其雷射標記程序的穩定度。
本發明之目的係揭露一種卡匣式雷射標記系統包含一卡匣管理設備,接收具有至少一個料片的一卡匣裝置,並自卡匣裝置內取出未標記的至少一個料片,並傳送至一進料傳輸軌道;以及一雷射標記設備,耦合至進料傳輸軌道,接收未標記的至少一個料片,進行雷射標記程序,並透過一第一出料傳輸軌道或一第二出料傳輸軌道,將已標記的至少一個料片傳送至卡匣管理設備。其中卡匣管理設備透過第一出料傳輸軌道或第二出料傳輸軌道,個別地收集已標記的至少一個料片於卡匣裝置內,並置放具有已標記的至少一個料片之卡匣裝置,於卡匣管理設備之一第一卡匣儲存區或一第二卡匣儲存區。
其中卡匣管理設備包括一卡匣傳輸層,用於輸入具有至少一個料片的卡匣裝置,使至少一個料片進入進料傳輸軌道。一料片傳輸層位於卡匣傳輸層之上,容納進料傳
輸軌道、第一出料傳輸軌道以及第二出料傳輸軌道。以及一卡匣管理層,位於料片傳輸層之上,用於放置已進料的卡匣裝置。
本發明之目的係揭露一種卡匣管理設備包括一進料升降裝置,設置於卡匣傳輸層之上,並鄰近於第一卡匣傳輸裝置。其中進料升降裝置自第一卡匣傳輸裝置,接收具有未標記的至少一個料片之卡匣裝置,並垂直地移動卡匣裝置至料片傳輸層之高度,以便未標記的至少一個料片進入進料傳輸軌道。一卡匣移動裝置設置於卡匣管理層之上,自進料升降裝置上接收已進料的卡匣裝置,並置放已進料的卡匣裝置於卡匣管理層上。一收料升降裝置,設置於卡匣傳輸層之上並鄰近於第二卡匣傳輸裝置,其中收料升降裝置垂直地移動卡匣管理層上之卡匣裝置至料片傳輸層之高度,以便卡匣裝置可自第一出料傳輸軌道或第二出料傳輸軌道收集已標記的至少一個料片。
本發明之卡匣式雷射標記系統,可提高料片進出料程序以及卡匣運送與管理的自動化程度。從待測卡匣放置於設備內、雷射標記程序、已標記的料片收集於卡匣的過程,以及後續已標記料片的卡匣之分類與存放,皆完全自動化,無須作業員的人工介入,可有效提高製程效率以及減少製程的成本。
另外,本發明之移載手臂裝置上設置有具有夾爪
機構,可用於夾取料片兩側的邊緣處,不會直接接觸料片的正面或背面,可防止移動料片時導致料片正面或背面的刮傷。特別是具有錫球形成於上的基板。
100‧‧‧卡匣式雷射標記系統
102‧‧‧卡匣管理設備
104‧‧‧進料傳輸軌道
106‧‧‧第一出料傳輸軌道
108‧‧‧第二出料傳輸軌道
110‧‧‧雷射標記設備
112‧‧‧卡匣裝置
113‧‧‧料片
114‧‧‧第一卡匣儲存區
116‧‧‧第二卡匣儲存區
201a‧‧‧卡匣傳輸層
201b‧‧‧料片傳輸層
201c‧‧‧卡匣管理層
202‧‧‧第一卡匣傳輸裝置
203‧‧‧隔板
204‧‧‧卡匣裝置
206‧‧‧進料升降裝置
207‧‧‧平台
208‧‧‧第二卡匣傳輸裝置
208a‧‧‧輸送帶
208b‧‧‧輸送帶
209a‧‧‧第一卡匣儲存區
209b‧‧‧第二卡匣儲存區
210‧‧‧收料升降裝置
211a‧‧‧平台
211b‧‧‧平台
212‧‧‧卡匣移動裝置
213a‧‧‧載台
213b‧‧‧載台
214‧‧‧第一移動模組
215‧‧‧移動機構
216‧‧‧第二移動模組
217‧‧‧夾爪機構
302‧‧‧第一相對面
303‧‧‧料片
304‧‧‧第二相對面
306‧‧‧方型空間
400‧‧‧卡匣式雷射標記系統
401‧‧‧進料傳輸軌道
402‧‧‧卡匣管理設備
4022‧‧‧第一卡匣傳輸裝置
4024‧‧‧第二卡匣傳輸裝置
4026‧‧‧進料升降裝置
4028‧‧‧收料升降裝置
4029‧‧‧卡匣移動裝置
403‧‧‧第一出料傳輸軌道
404‧‧‧雷射標記設備
405‧‧‧第二出料傳輸軌道
406‧‧‧移載手臂裝置
407‧‧‧移動機構
408‧‧‧料片翻轉裝置
409‧‧‧夾爪機構
410‧‧‧料片傳輸裝置
411‧‧‧第一輸送帶
412‧‧‧二維條碼讀取裝置
413‧‧‧第二輸送帶
414‧‧‧影像感測裝置
415‧‧‧第一承載平台
416‧‧‧雷射標記裝置
417‧‧‧第二承載平台
418‧‧‧第二移載手臂裝置
419‧‧‧夾爪機構
421‧‧‧移動機構
422‧‧‧料片翻轉裝置
502‧‧‧夾爪
504‧‧‧料片
第1圖為本發明之卡匣式雷射標記系統之示意圖。
第2A圖為本發明之卡匣管理設備之示意圖。
第2B圖為本發明之卡匣管理設備之側視圖。
第3圖為本發明之卡匣裝置示意圖。
第4圖為本發明之卡匣式雷射標記系統之俯視圖。
第5圖為第4圖之移載手臂裝置之示意圖。
下述之實施方式為詳細敘述本發明之詳細特徵以及優點,其內容足以使本發明技術領域中具有通常知識者可瞭解本創作之技術內容並據以實施。根據本發明說明書、申請專利範圍及圖式,本發明技術領域中具有通常知識者可輕易地理解本發明相關之目的及優點。
請參照第1圖,根據本發明之較佳實施例,為卡匣式雷射標記系統100之示意圖。雷射標記系統100包含卡匣管理設備102、進料傳輸軌道104、第一出料傳輸軌道106、第二出料傳輸軌道108以及雷射標記設備110。卡匣管理設備102與雷射標記設備110之間的料片傳輸,係透過進料傳輸軌道
104、第一出料傳輸軌道106以及第二出料傳輸軌道108動作。卡匣管理設備102自外部接收待測的卡匣裝置112。上述待測卡匣裝置112內儲存有至少一個以上的料片113,以便後續供雷射標記設備110進行雷射標記程序。卡匣管理設備102自卡匣裝置112內取出未標記的料片113,將料片113依序透過進料傳輸軌道104輸送至雷射標記設備110。雷射標記設備110透過進料傳輸軌道104接收未標記的料片113後,進行雷射標記程序。
上述料片113經過雷射標記程序後,雷射標記設備110將已標記的料片113分類,個別透過第一出料傳輸軌道106或第二出料傳輸軌道108,傳送料片113至卡匣管理設備102。透過第一出料傳輸軌道106所傳送的料片代表「料片測試通過」,而透過第二出料傳輸軌道108所傳送的料片代表「料片測試未通過」。透過第一出料傳輸軌道106或第二出料傳輸軌道108,卡匣管理設備102個別地收集已標記的料片113於其內部的卡匣裝置112內。卡匣管理設備102內部有相對應於第一出料傳輸軌道106或第二出料傳輸軌道108的卡匣裝置112,以供儲存已標記的料片113。當卡匣裝置112已裝滿已標記的料片113後,卡匣管理設備102會跟據料片113的來源(自第一出料傳輸軌道106或第二出料傳輸軌道108傳送而來),放置具有已標記料片113的卡匣裝置112於第一卡匣儲存區114或第二卡匣儲存區116。於第一卡匣儲存區114內的卡匣裝置112
所儲存的是測試通過的料片;而於第二卡匣儲存區116內的卡匣裝置112所儲存的是測試未通過的料片。上述「測試通過」代表料片113通過雷射標記設備110的檢測程序並進行雷射標記程序。上述「測試未通過」代表料片113未通過雷射標記設備110的檢測程序,或未進行雷射標記程序。
關於卡匣管理設備102內部細部構成,於本發明較佳實施例,請參照第2A與2B圖。卡匣管理設備102為三層空間之結構,由下而上分別為卡匣傳輸層201a、料片傳輸層201b以及卡匣管理層201c。由卡匣管理設備102之底部(未顯示)至進料傳輸軌道104之間所形成的空間為卡匣傳輸層201a。進料傳輸軌道104與隔板203所形成的空間為料片傳輸層201b。隔板203與卡匣管理設備102頂部(未顯示)所形成的空間代表卡匣管理層201c。
卡匣傳輸層201a內的第一卡匣傳輸裝置202可輸入具有待測料片的卡匣裝置204。具有已標記的料片的卡匣裝置204則依照分類可儲存於第一卡匣儲存區209a或第二卡匣儲存區209b。料片傳輸層201b,位於卡匣傳輸層201a之上,用於容納進料傳輸軌道104、第一出料傳輸軌道106以及第二出料傳輸軌道108。卡匣管理層201c,位於料片傳輸層201b之上,並依照系統100之需求,分類並放置已進料的卡匣裝置204。
卡匣傳輸層201a上具有第一卡匣傳輸裝置202、
進料升降裝置206、第二卡匣傳輸裝置208以及收料升降裝置210。第一卡匣傳輸裝置202設置於卡匣傳輸層201a之上,用於運送具有未標記料片的卡匣裝置204。進料升降裝置206設置於卡匣傳輸層201a之上,且鄰近於第一卡匣傳輸裝置202末端。進料升降裝置206可垂直地移動卡匣裝置204於卡匣傳輸層201a、料片傳輸層201b以及卡匣管理層201c之間。當卡匣裝置204被第一卡匣傳輸裝置202運送至進料升降裝置206的平台207時,進料升降裝置206將垂直地往上移動卡匣裝置204至料片傳輸層201b之高度,以便卡匣裝置204內的料片依序進入進料傳輸軌道104。隨後,進料升降裝置206將已完全進料的卡匣裝置204往上升至卡匣管理層201c。
第二卡匣傳輸裝置208設置於卡匣傳輸層201a之上,且相鄰於收料升降裝置210。第二卡匣傳輸裝置208有兩組輸送帶208a與208b,其用途是從收料升降裝置210上接收卡匣裝置204,並個別透過輸送帶208a與輸送帶208b運送至第一卡匣儲存區209a或第二卡匣儲存區209b。第一卡匣儲存區209a是由輸送帶208a與收料升降裝置210所形成的空間區域,可用於儲存卡匣裝置204。第二卡匣儲存區209b是由輸送帶208b與收料升降裝置210所形成的空間區域,亦可用於儲存卡匣裝置204。
收料升降裝置210設置於卡匣傳輸層201a之上,並鄰近於第二卡匣傳輸裝置208。收料升降裝置210設置於輸
送帶208a與輸送帶208b之間,其兩側的平台211a與平台211b可分別垂直地移動卡匣裝置204於卡匣傳輸層201a、料片傳輸層201b以及卡匣管理層201c之間。當收料升降裝置210將卡匣裝置204由卡匣管理層201c向下移動至料片傳輸層201b時,卡匣裝置204可由第一出料傳輸軌道106或第二出料傳輸軌道108收集已標記的料片。隨後,收料升降裝置210會將收滿料片的卡匣裝置204往下移動至第二卡匣傳輸裝置208,並個別透過輸送帶208a或輸送帶208b,將其運送至第一卡匣儲存區209a或第二卡匣儲存區209b。
卡匣管理層201c上設置有卡匣移動裝置212。卡匣移動裝置212包括複數個載台213a與213b、第一移動模組214以及複數個第二移動模組216。複數個載台213a與213b設置於卡匣管理層201c上,用於承載於卡匣管理層201c上之卡匣裝置204。第一移動模組214位於卡匣管理層201c上方,用於接收進料升降裝置206所提供的卡匣裝置204,並將其卡匣裝置204移動至複數個載台213a與213b。第一移動模組214由移動機構215與夾爪機構217所組成。夾爪機構217可沿著移動機構215移動位置,並進行夾取動作。第一移動模組214可自進料升降裝置206移動已進料的卡匣裝置204,並依照系統100的需求,置放卡匣裝置204於載台213a或載台213b。複數個第二移動模組216設置於卡匣管理層201c,可將相對應之載台213a或載台213b上的卡匣裝置204個別移動至平台211a或平
台211b。
藉由第2A圖,以下詳述卡匣管理設備102的動作流程。當作業員將具有待測料片的卡匣裝置204放置於第一卡匣傳輸裝置202後,第一卡匣傳輸裝置202可沿箭頭A之方向,運送卡匣裝置204至進料升降裝置206,以便後續透過進料傳輸軌道104,將卡匣裝置內204的待測料片入料於雷射標記設備110。關於卡匣裝置204的具體結構,可參照第3圖的卡匣裝置204的示意圖。卡匣裝置204,包括但不限於,為一長方形盒體,其兩個第一相對面302無遮蓋,料片303透過無遮蓋的第一相對面302取出或置放。第二相對面304上有形成一方型空間306,可嵌入一二維條碼或類似條碼資訊。其二維條碼存有卡匣裝置204的相關身分資訊以供識別。較佳實施例,在卡匣裝置204沿箭頭A之方向前進時,在第一卡匣傳輸裝置202上方可設置二維條碼讀取裝置(未顯示),讀取卡匣裝置204上的二維條碼,以識別卡匣裝置204的資訊,判斷第一卡匣傳輸裝置202所運送的卡匣裝置204是否為目前作業所欲執行的卡匣裝置。
當卡匣裝置204透過第一卡匣傳輸裝置202傳送至進料升降裝置206上的平台207後,進料升降裝置206會將卡匣裝置204垂直地移動至料片傳輸層201b之高度,以便未標記的待測料片可進入進料傳輸軌道104。當卡匣裝置204內所有的料片皆入料至進料傳輸軌道104後,進料升降裝置206會將
已進料的卡匣裝置204往上移動至卡匣管理層201c。卡匣管理層201c上的卡匣裝置204,則可用於收集從第一出料傳輸軌道106,或第二出料傳輸軌道108所出料的料片。關於料片自進料傳輸軌道104進入雷射標記設備110的相關雷射標記程序,後續段落將會再作說明。
卡匣裝置204上升至卡匣管理層201c後,卡匣式雷射標記系統100會根據第一出料傳輸軌道106以及第二出料傳輸軌道108的需求,控制卡匣移動裝置212的第一移動模組214,將空的卡匣裝置204放置於載台213a或載台213b。隨後第二移動模組216將移動載台213a或載台213b上的卡匣裝置204,使其位於平台211a或平台211b。收料升降裝置210會垂直地向下移動平台211a/211b至料片傳輸層201b,使卡匣裝置204可自第一出料傳輸軌道106或第二出料傳輸軌道108收集已標記的料片。當平台211a或211b上的卡匣裝置204已收滿料片後,收料升降裝置210會移動卡匣裝置204至卡匣傳輸層201a。在卡匣傳輸層201a上的輸送帶208a或輸送帶208b,將個別運送位於平台211a或平台211b的卡匣裝置204,至第一卡匣儲存區209a或第二卡匣儲存區209b。第一卡匣儲存區209a所儲存的是「測試通過」的卡匣裝置204,而位於第二卡匣儲存區209所儲存的是「測試未通過」的卡匣裝置204。
參照第4圖,於本發明較佳實施,卡匣式雷射標記系統400之俯視圖。卡匣式雷射標記系統400由卡匣管理設
備402與雷射標記設備404所組成。卡匣管理設備402包括第一卡匣傳輸裝置4022、第二卡匣傳輸裝置4024、進料升降裝置4026、收料升降裝置4028以及卡匣移動裝置4029。關於卡匣管理設備402的元件構成與功能,如同上述第2A圖與第2B圖所述,在此不再贅述,下述段落將說明重點放在雷射標記設備404的部份。
料片傳輸裝置410包括第一輸送帶411、第二輸送帶413、第一承載平台415以及第二承載平台417。第一承載平台415用於承載待測料片,憑藉第一輸送帶411,往箭頭A之方向移動。第二承載平台417用於承載待測料片,憑藉第二輸送帶413,往箭頭B之方向移動。因此,待測料片可藉由第一輸送帶411與第一承載平台415,沿箭頭A方向移動,依序經過二維條碼讀取裝置412、影像感測裝置414以及雷射標記裝置416,進行二維條碼讀取程序、影像感測程序以及雷射標記程序。待測料片憑藉第二輸送帶413與第二承載平台417,可沿箭頭B方向移動,回到靠近第一出料傳輸軌道403與第二出料傳輸軌道405處,以便後續出料。
第一移載手臂裝置406係用於夾取料片,使料片可以在進料傳輸軌道401、第一出料傳輸軌道403、第二出料傳輸軌道405或料片傳輸裝置410之間移動。第一移載手臂裝置406由移動機構407與夾爪機構409所組成。移動機構407位於料片傳輸裝置410、進料傳輸軌道401、第一出料傳輸軌道
403、第二出料傳輸軌道405之上方。夾爪機構409連接至移動機構407,可用來夾取料片。夾爪機構409可藉由移動機構407橫越進料傳輸軌道401、第一出料傳輸軌道403、第二出料傳輸軌道405或料片傳輸裝置410上方。卡匣式雷射標記系統400具有兩個移載手臂裝置406與418,分別設置於第一輸送帶411、第二輸送帶413的頭尾兩端的位置處。第二移載手臂裝置418則可移動料片於第一輸送帶411與第二輸送帶413之間。關於移載手臂裝置406的夾爪機構409詳細構造,請參照第5圖。夾爪機構409上具有兩對夾爪502,可用於夾取料片。夾爪502僅夾取料片504側邊的邊緣處,不會直接接觸料片504的正面或背面,如此可防止移動料片504時導致料片504正面或背面的刮傷。特別此料片是具有錫球形成於上的基板。習知技術在移動上述基板時,容易導致基板表面刮傷。第二移載手臂裝置418之構造類似於第一移載手臂裝置406,在此不再贅述。
料片翻轉裝置408/422用於翻轉料片,將其翻轉至正面或背面。料片翻轉裝置408/422個別設置於第一輸送帶411與第二輸送帶413頭尾兩處。二維條碼讀取裝置412位於第一輸送帶411上方,用以讀取第一承載平台415上料片的二維條碼,以識別該料片的基本資料。影像感測裝置414位於第一輸送帶411上方,用以影像感測第一承載平台415上的料片。影像感測裝置414所影像感測的影像資訊則會傳送至卡匣式
雷射標記系統400,對其資訊進行影像分析。雷射標記裝置416位於第一輸送帶411上方,會對第一承載平台415上的料片進雷射標記程序。
當料片從進料傳輸軌道401進入時,第一移載手臂裝置406之夾爪機構409夾取料片,並沿移動機構407移動至第一輸送帶411,並放置於第一承載平台415之上。在此先假設料片的正面朝上。第一承載平台415沿著第一輸送帶411移動,依序從二維條碼讀取裝置412、影像感測裝置414以及雷射標記裝置416下方通過。二維條碼讀取裝置412會針對料片正面的二維條碼進行讀取程序,以了解此料片的基本資訊。影像感測裝置414會針對料片正面進行影像感測程序,並將影像資料提供給卡匣式雷射標記系統400進行影像分析。雷射標記裝置416則會對料片正面進行雷射標記程序,標記特定記號。
在料片的正面標記特定記號後,移載手臂裝置418的夾爪機構419夾取正面已標記之料片,沿移動機構421移動,並置放此料片於第二輸送帶413上之第二承載平台417。料片翻轉裝置422翻轉於第二承載平台417上之料片,使其背面朝上,並再度置放於第二承載平台417上。第二承載平台417在第二輸送帶413上沿著箭頭B方向移動,回到第二輸送帶413處的定位處C。第一移載手臂裝置406夾取於第二承載平台417上之料片,根據系統400所要求的指令,移動其料片至第一出
料傳輸軌道403或第二出料傳輸軌道405,以利後續料片出料程序。雷射標記設備404亦可透過料片翻轉裝置408,將第二承載平台417上的料片翻轉至正面朝上後,再利用第一移載手臂裝置406移動其料片至第一出料傳輸軌道403或第二出料傳輸軌道405。所有未通過二維條碼讀取程序、影像感測程序或雷射標記程序的料片,會透過第二出料傳輸軌道405出料,代表「測試未通過」;而完整通過二維條碼讀取程序、影像感測程序以及雷射標記程序的料片,將會透過第一出料傳輸軌道403出料,代表「測試通過」。
於較佳實施例,雷射標記設備404亦可針對料片背面再度執行二維條碼讀取程序、影像感測程序、雷射標記程序;經過上述程序後,再將料片移動至第一出料傳輸軌道403或第二出料傳輸軌道405,隨後卡匣管理設備402進行收料的程序。
本發明之卡匣式雷射標記系統利用卡匣管理設備處理料片進出料的程序,可有效提高料片處理的效率,以及卡匣運送與管理的自動化程度。從待測卡匣進入卡匣管理設備,到料片處理完成並裝填入卡匣,以及後續處理完成卡匣的分類與存放,皆完全自動化,無須作業員的人工介入,可有效提高製程效率以及減少製程的成本。另外,本發明之移載手臂裝置上設置有具有夾爪機構,可用於夾取料片兩側的邊緣處,不會直接接觸料片的正面或背面,可防止移動料
片時導致料片正面或背面的刮傷。特別是具有錫球形成於上的基板。
雖然本發明的技術內容以及較佳實施例揭露如上,但上述內容並非用以限定本發明,任何熟知上述發明技術領域且具有通常知識者,在不脫離本發明之精神所作之變更與修飾,皆應涵蓋於本發明的範疇內,本發明之保護範圍應視後附之申請專利範圍所界定的內容為準。
400‧‧‧卡匣式雷射標記系統
401‧‧‧進料傳輸軌道
402‧‧‧卡匣管理設備
4022‧‧‧第一卡匣傳輸裝置
4024‧‧‧第二卡匣傳輸裝置
4026‧‧‧進料升降裝置
4028‧‧‧收料升降裝置
4029‧‧‧卡匣移動裝置
403‧‧‧第一出料傳輸軌道
404‧‧‧雷射標記設備
405‧‧‧第二出料傳輸軌道
406‧‧‧移載手臂裝置
407‧‧‧移動機構
408‧‧‧料片翻轉裝置
409‧‧‧夾爪機構
410‧‧‧料片傳輸裝置
411‧‧‧第一輸送帶
412‧‧‧二維條碼讀取裝置
413‧‧‧第二輸送帶
414‧‧‧影像感測裝置
415‧‧‧第一承載平台
416‧‧‧雷射標記裝置
417‧‧‧第二承載平台
418‧‧‧第二移載手臂裝置
419‧‧‧夾爪機構
421‧‧‧移動機構
422‧‧‧料片翻轉裝置
Claims (12)
- 一種卡匣式雷射標記系統,包含:一卡匣管理設備,接收具有至少一個料片的一卡匣裝置(magazine),並自該卡匣裝置內取出未標記的該至少一個料片,並傳送至一進料傳輸軌道;以及一雷射標記設備,耦合至該進料傳輸軌道,接收未標記的該至少一個料片,進行雷射標記程序,並透過一第一出料傳輸軌道或一第二出料傳輸軌道,將已標記的該至少一個料片傳送至該卡匣管理設備;其中該卡匣管理設備包括:一卡匣傳輸層,用於輸入具有該至少一個料片的該卡匣裝置,使該至少一個料片進入該進料傳輸軌道;一料片傳輸層,位於該卡匣傳輸層之上,容納該進料傳輸軌道、該第一出料傳輸軌道以及該第二出料傳輸軌道;以及一卡匣管理層,位於該料片傳輸層之上,用於放置已進料的該卡匣裝置;透過該第一出料傳輸軌道或該第二出料傳輸軌道,個別地收集已標記的該至少一個料片於該卡匣裝置內,並置放具有已標記的該至少一個料片之該卡匣裝置,於該卡匣管理設備之一第一卡匣儲存區或一第二卡匣儲存區。
- 根據申請專利範圍第1項之雷射標記系統,其中該卡匣管理設備包括:一第一卡匣傳輸裝置,設置於該卡匣傳輸層之上,用於運送具有未標記的該至少一個料片的該卡匣裝置;以及一第二卡匣傳輸裝置,設置於該卡匣傳輸層之上,用於運送具有已標記的該至少一個料片的該卡匣裝置,至該第一卡匣儲存區或第二卡匣儲存區。
- 根據申請專利範圍第2項之雷射標記系統,其中該卡匣管理設備包括:一進料升降裝置,設置於該卡匣傳輸層之上,並鄰近於該第一卡匣傳輸裝置,其中該進料升降裝置自該第一卡匣傳輸裝置,接收具有未標記的該至少一個料片之該卡匣裝置,並垂直地移動該卡匣裝置至該料片傳輸層之高度,以便未標記的該至少一個料片進入該進料傳輸軌道;一卡匣移動裝置,設置於該卡匣管理層之上,自進料升降裝置上接收已進料的該卡匣裝置,並置放已進料的該卡匣裝置於該卡匣管理層上;以及一收料升降裝置,設置於該卡匣傳輸層之上並鄰近於該第二卡匣傳輸裝置,其中該收料升降裝置垂直地移動該卡匣管理層上之該卡匣裝置至該料片傳輸層之高度,以便該卡 匣裝置可自該第一出料傳輸軌道或第二出料傳輸軌道收集已標記的該至少一個料片。
- 根據申請專利範圍第3項之雷射標記系統,其中該進料升降裝置包括一第一平台,用於承載具有未標記的該至少一個料片之該卡匣裝置,移動於該卡匣傳輸層、該料片傳輸層以及該卡匣管理層之間;以及其中該收料升降裝置包括複數個第二平台,用於承載已進料的該卡匣裝置,可移動於該卡匣傳輸層、該料片傳輸層以及該卡匣管理層之間,且該複數個第二平台個別地對應於該第一出料傳輸軌道或該第二出料傳輸軌道。
- 根據申請專利範圍第3項之雷射標記系統,其中該卡匣移動裝置包括:複數個載台,設置於該卡匣管理層上,用於承載於該卡匣管理層上之該卡匣裝置;一第一移動模組,位於該卡匣管理層之上方,接收於該進料升降裝置所提供之該卡匣裝置,並將該卡匣裝置移動至該複數個載台;以及複數個第二移動模組,設置於該卡匣管理層上,個別地對應於該複數個載台,其中每一個該第二移動模組用於移動對應之該載台上之該卡匣裝置,至該收料升降裝置。
- 根據申請專利範圍第1項之雷射標記系統,其中該卡匣管理設備包括一第一二維條碼讀取裝置,當該第一卡匣傳輸裝置或該第二卡匣傳輸裝置運送該卡匣裝置時,讀取該卡匣裝置上的二維條碼。
- 根據申請專利範圍第1項之雷射標記系統,其中該雷射標記設備包括:一料片傳輸裝置,運送該至少一個料片;一雷射標記裝置,位於該料片傳輸裝置上方,對未標記的該至少一個料片進行雷射標記程序;一第一移載手臂裝置,移動該至少一個料片,於該進料傳輸軌道、該第一出料傳輸軌道、該第二出料傳輸軌道或該料片傳輸裝置之間;以及至少一個料片翻轉裝置,藉以翻轉該至少一個料片之正面或背片。
- 根據申請專利範圍第7項之雷射標記系統,其中該料片傳輸裝置包括:複數個輸送帶;複數個承載平台,用以承載該至少一個料片,其中每一個該承載平台憑藉對應之該輸送帶而移動。
- 根據申請專利範圍第8項之雷射標記系統,其中該雷射標記設備更包括一第二移載手臂裝置,移動該至少一個料片於該複數個傳送帶之間。
- 根據申請專利範圍第7項之雷射標記系統,其中該第一移載手臂裝置包括:一移動機構,位於該料片傳輸裝置、該進料傳輸軌道、該第一出料傳輸軌道、該第二出料傳輸軌道之上方;以及一夾爪機構,連接於該移動機構,用於夾取該至少一個料片,其中該夾爪機構透過該移動機構橫越該料片傳輸裝置、該進料傳輸軌道、該第一出料傳輸軌道、該第二出料傳輸軌道之上方。
- 根據申請專利範圍第10項之雷射標記系統,其中該夾爪機構具有至少一對夾爪,用以夾取該至少一個料片之兩側,並移動該至少一個料片於該進料傳輸軌道、該第一出料傳輸軌道、該第二出料傳輸軌道以及該料片傳輸裝置之間。
- 根據申請專利範圍第7項之雷射標記系統,其中該雷射標記設備更包含:一第二二維條碼讀取裝置,位於該料片傳輸裝置上方,用 以讀取該至少一個料片上之二維條碼;以及一影像感測裝置,位於該料片傳輸裝置上方,用以影像感測該至少一個料片。
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Citations (3)
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TW280932B (en) * | 1995-10-06 | 1996-07-11 | United Microelectronics Corp | Single wafer conveying system |
TW574121B (en) * | 2000-10-25 | 2004-02-01 | Infineon Technologies Sc300 | Arrangement for transporting a semiconductor wafer carrier |
TWM395248U (en) * | 2010-06-15 | 2010-12-21 | Gallant Prec Machining Co Ltd | Semiconductor manufacturing machine. |
-
2013
- 2013-04-03 TW TW102112066A patent/TWI508215B/zh not_active IP Right Cessation
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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TWM395248U (en) * | 2010-06-15 | 2010-12-21 | Gallant Prec Machining Co Ltd | Semiconductor manufacturing machine. |
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