TWI494510B - 油旋轉真空泵浦 - Google Patents

Description

油旋轉真空泵浦

本發明係關於一種油旋轉真空泵浦。

油旋轉真空泵浦係藉由一面使旋轉體在泵浦室內旋轉，一面將氣體吸入、壓縮、排出而實現預期的泵浦功能。此時，真空泵浦油係用於潤滑在泵浦室的內面上滑動的旋轉體、及潤滑支持使旋轉體旋轉的旋轉軸的軸承部等。在例如下述專利文獻1中記載了具有串聯連接的兩個旋轉體之兩段式油旋轉真空泵浦。

先前技術文獻

專利文獻

專利文獻1　日本特開平7-77184號公報

關於旋轉軸之軸承部，典型地採用滑動軸承構造。此時，由於軸承部與旋轉軸的間隙非常狹窄，所以有因覆蓋軸承部的油膜中斷而使潤滑不良產生之虞。另一方面，雖然也可以將含鉛等的固體潤滑材料用於構成滑動軸承構造的軸承材料，但從減低環境負荷的觀點，使用含鉛多的材料並不好。

有鑑於如以上的情況，本發明之目的在於提供一種不使用自己潤滑性高的固體潤滑材料而可確保軸承部的潤滑性之油旋轉真空泵浦。

為了達成上述目的，關於本發明形態之一的油旋轉真空泵浦具有本體、氣缸體、旋轉體、驅動部、及滑動軸承。

上述本體具有儲存泵浦油的槽部。

上述氣缸體具有泵浦室、及用以使上述泵浦油在上述槽部和上述泵浦室之間連通的第1通路。上述氣缸體係安裝於上述本體上。

上述旋轉體係可旋轉地配置於上述泵浦室，具有在上述泵浦室的內面滑動的滑動部。

上述驅動部係安裝於上述本體上，具有使上述旋轉體旋轉的旋轉軸。

上述滑動軸承具有連通到上述第1通路的第2通路。上述滑動軸承係設於上述氣缸體上，可旋轉地支持上述旋轉軸。

關於本發明實施形態之一的油旋轉真空泵浦具有本體、氣缸體、旋轉體、驅動部、及滑動軸承。

上述本體具有儲存泵浦油的槽部。

上述氣缸體具有泵浦室、及用以使上述泵浦油在上述槽部和上述泵浦室之間連通的第1通路。上述氣缸體係安裝於上述本體上。

上述旋轉體係可旋轉地配置於上述泵浦室，具有在上述泵浦室的內面滑動的滑動部。

上述驅動部係安裝於上述本體上，具有使上述旋轉體旋轉的旋轉軸。

上述滑動軸承具有連通到上述第1通路的第2通路。上述滑動軸承係設於上述氣缸體上，可旋轉地支持上述旋轉軸。

在上述油旋轉真空泵浦方面，旋轉體係承受經由旋轉軸所傳達的驅動部之旋轉驅動力而在泵浦室內旋轉，藉由滑動部在泵浦室的內面上的移動，將氣體吸入、壓縮、排出。泵浦油係經由形成於氣缸體上的第1通路而從槽部被導入泵浦室，在泵浦室內潤滑滑動部。

此外，在上述油旋轉真空泵浦方面，使旋轉體旋轉的旋轉軸係被設於氣缸體上的滑動軸承而可旋轉地支持。經由連通到第1通路的第2通路而供應泵浦油給上述滑動軸承。藉此，滑動軸承的潤滑性提高，可確保真空泵浦穩定的動作。此外，可廢止使用含鉛多的固體潤滑材料。

上述油旋轉真空泵浦的型式不特別限定，典型地為歌德(Goethe)型，但除此之外，凸輪型、搖動活塞型等的型式也可以適用。歌德型的情況，上述旋轉體係與包含轉子及複數個葉片的旋轉葉片對應。

上述滑動軸承可以用筒狀的套管構件構成。上述套管構件係具有與上述旋轉軸周面對向的內周面、及支持於上述氣缸體上的外周面，並沿著上述旋轉軸的軸向以第1寬度形成。此時，上述第2通路係以貫穿上述內周面與上述外周面之間的貫穿孔構成。

藉此，可簡化軸承部的結構，並可穩定地供應潤滑油(泵浦油)給旋轉軸的周圍。

上述第2通路的形成位置係例如形成於比上述旋轉軸關於重力方向的更上方側。藉此，可因施加重力的作用而順利地供應泵浦油給軸承部。

上述滑動軸承可以具有以小於上述第1寬度的第2寬度而形成於上述內周面上的凹部。藉由形成上述凹部，可 在滑動軸承與旋轉軸之間形成泵浦油的儲液槽，藉此可得到穩定的潤滑作用。

上述凹部可以形成於與上述第2通路形成區域對向的上述內周面上。此時，由於上述凹部位於比旋轉軸關於重力方向的更下方側，所以可確保軸承部穩定的潤滑作用。

上述泵浦室可以具有沿著上述旋轉軸的軸方向排列且分別配置有上述旋轉體的第1泵浦室與第2泵浦室。此時，上述滑動軸承係設於上述第1泵浦室與上述第2泵浦室之間。

以下，一面參閱圖面，一面說明本發明的實施形態。

圖1為顯示關於本發明一實施形態的油旋轉真空泵浦的一部分剖切側面圖。在本實施形態中，將舉兩段式的油旋轉真空泵浦為例來進行說明。

本實施形態的油旋轉真空泵浦1具有本體10、驅動部20、及泵浦機構30。在圖1中，X軸方向及Y軸方向表示水平方向，Z軸方向表示垂直方向(重力方向)。

本體10具有第1殼體101及第2殼體102。第1殼體101構成本體10的主要部分，分別組裝有驅動部20與泵浦機構30。第2殼體102安裝於第1殼體101的一端(圖1中右端)，在內部形成有儲存泵浦油(真空泵浦油)的槽部13。在第2殼體102的預定位置上安裝有用以確認槽部13內的泵浦油之液面Ps的液面計103。

本體10具有吸氣管連接部11及排氣管連接部12。吸氣管連接部11安裝於第1殼體101上，經由未圖示的吸氣管而連接於真空室等。在第1殼體101上形成有連絡吸氣管連接部11與泵浦機構30之間的吸氣通路111。排氣管連接部12安裝於第2殼體102上，將為泵浦機構30所經由吸氣管連接部11而吸入的氣體排出到裝置外部。在排氣管連接部12上連接有未圖示的排氣管等。

驅動部20係由驅動泵浦機構30的馬達、及收容該馬達的馬達外殼等所構成，且安裝於本體10(第1殼體101)上。驅動部20具有在Y軸方向上延伸的旋轉軸21，使旋轉軸21繞其軸旋轉。旋轉軸21可以為連結於上述馬達之驅動軸的軸構件。此時，上述軸構件可以直接連接於上述驅動軸，也可以經由皮帶或齒輪等的旋轉傳達機構而連接於驅動軸。

泵浦機構30係由兩段(two-stage)式的歌德(Goethe)型泵浦單元所構成。圖2為顯示泵浦機構30詳細的放大圖。泵浦機構30具有第1氣缸體31、第2氣缸體32、及側蓋33。

第1氣缸體31固定於構成第1殼體101的間壁112上。第2氣缸體32固定於第1氣缸體31上，具有插通支持旋轉軸21的滑動軸承71的插通孔322。插通孔322形成於第2氣缸體32之基部321上，基部321在第1氣缸體31的內部形成有第1泵浦室P1。

側蓋33固定於第2氣缸體32上，藉此側蓋在第2氣缸體32的內部形成第2泵浦室P2。第1氣缸體31、第2氣缸體32及側蓋33係經由例如在Y軸方向具有軸向的複數支螺釘構件B而固定於間壁112上。

圖3為圖2的[A]-[A]線方向剖面圖。第1泵浦室P1形成為對於旋轉軸21偏心的圓筒形狀。在第1泵浦室P1的周面上分別形成有和吸氣通路111連通的第1吸氣口T1、及在徑向貫穿第1氣缸體31的第1排氣口E1。第1排氣口E1雖然形成有複數個，但也可以為單數個。此外，在第1氣缸體31的周面上分別配置有覆蓋各排氣口E1的排氣閥V1。排氣閥V1為簧片閥方式的止回閥，於第1排氣口E1內的壓力超過預定值時打開閥，排出氣體。

在第1泵浦室P1內可旋轉地收容有第1旋轉體R1。第1旋轉體R1具有連結於旋轉軸21的第1轉子41、及可朝徑向滑動地安裝於第1轉子41周圍的一對第1葉片51。第1轉子41形成為具有和第1泵浦室P1大致同等高度的圓柱形狀，在其軸心部固定有旋轉軸21。第1葉片51各葉片分別配置於以180度間隔呈放射狀形成於第1轉子41周圍的一對槽內，在徑向貫穿第1轉子41及旋轉軸21的複數個彈簧61在被預先壓縮的狀態下被安裝於此等葉片51之間。

第1葉片51各葉片受到第1轉子41旋轉所產生的離心力及彈簧61的彈力而被向第1轉子41的直徑外側賦能，將各葉片51的前端部推壓在第1泵浦室P1的內壁面上。而且，各葉片51的前端部起作用做為在第1泵浦室P1的內壁面上滑動的滑動部，從第1吸氣口T1向第1排氣口E1搬送氣體。此時，由於第1轉子41係對於第1泵浦室P1偏心配置，所以第1葉片51的突出量在第1轉子41的旋轉位置變化，從而氣體搬送空間的容積也變化。由於第1排氣口E1形成於上述搬送空間的容積最小的區域，所以氣體就一面被壓縮一面向第1排氣口E1引導。

第2泵浦室P2和第1泵浦室P1同樣，形成為對於旋轉軸21偏心的圓筒形狀，但第2泵浦室P2的容積卻以少於第1泵浦室P1容積的大小形成。在第2泵浦室P2的周面上分別形成有第2吸氣口T2及第2排氣口E2。第2吸氣口T2係經由跨越第1及第2氣缸體31、32所形成的連絡通路121而連通到第1排氣口E1。第2排氣通路E2係在徑向貫穿第2氣缸體32。第2排氣通路E2可以為單數個，也可以為複數個。此外，在第2氣缸體32的周面上分別配置有覆蓋第2排氣口E2的排氣閥V2。排氣閥V2為簧片閥方式的止回閥，於第2排氣口E2內的壓力超過預定值時打開閥，排出氣體。

在第2泵浦室P2內可旋轉地收容有第2旋轉體R2。第2旋轉體R2具有連結於旋轉軸21的第2轉子42、及朝徑向滑動自如地安裝於第2轉子42周圍的一對第2葉片52。第2轉子42形成為具有和第2泵浦室P2大致同等高度的圓柱形狀，在其軸心部固定有旋轉軸21。第2葉片52各葉片分別配置於以180度間隔呈放射狀形成於第2轉子42周圍的一對槽內，在徑向貫穿第2轉子42及旋轉軸21的彈簧62在被預先壓縮的狀態下被安裝於此等葉片52之間。而且，第2旋轉體R2也是藉由使第2轉子42旋轉而使第2葉片52各葉片起作用做為在第2泵浦室P2的內壁面上滑動的滑動部，從第2吸氣口T2向第2排氣口E2搬送氣體。

泵浦機構30為儲存於槽部13的泵浦油所潤滑。在泵浦機構30上設有用以將泵浦油分別供應給第1泵浦室P1及第2泵浦室P2的潤滑線路(第1通路)。上述潤滑線路係使泵浦油在槽部13與泵浦室P1、P2之間連通。

上述潤滑線路具有第1貫穿孔L1、第2貫穿孔L2、第3貫穿孔L3、及第4貫穿孔L4。在以下的說明中，除了個別說明的情況之外，將第1～第4貫穿孔L1～L4總稱也稱為潤滑線路L。

第1貫穿孔L1係以在Y軸方向貫穿側蓋33的方式，形成於只偏離旋轉軸21的軸心預定距離的位置上。此外，第2貫穿孔L2係以在Y軸方向貫穿第2轉子42，並可在第2轉子42的任意旋轉位置上和第1貫穿孔L1排成一直線的方式，形成於只偏離旋轉軸21的軸心上述預定距離的位置上。

第3貫穿孔L3係以在Y軸方向貫穿第2氣缸體32，並可在第2轉子42的任意旋轉位置上和第2貫穿孔L2排成一直線的方式，形成於只偏離旋轉軸21的軸心上述預定距離的位置上。第3貫穿孔L3的形成位置不特別限定，但在本實施形態中，係形成於比旋轉軸21關於重力方向的更上方側。

而且，第4貫穿孔L4係以在Y軸方向貫穿第1轉子41，並可在第1轉子41的任意旋轉位置上和第3貫穿孔L3排成一直線的方式，形成於只偏離旋轉軸21的軸心上述預定距離的位置上。

藉由轉子41、42的旋轉，在各泵浦室P1、P2內形成負壓，在槽部13與泵浦室P1、P2之間產生壓力差。藉此，儲存於槽部13的泵浦油就經由潤滑線路L而被供應給第1及第2泵浦室P1、P2。

此外，在第1泵浦室P1與驅動部20之間，於旋轉軸21的周圍安裝有油封。藉此油封防止泵浦油從第1泵浦室P1滲入驅動部20。

另一方面，本實施形態的油旋轉真空泵浦1具有可旋轉地支持旋轉軸21的滑動軸承71。在本實施形態中，滑動軸承71係以筒狀的套管構件形成。滑動軸承71係配置於第1泵浦室P1與第2泵浦室P2之間，設於劃分各泵浦室P1、P2的第2氣缸體32之基部321上。

圖4(A)、(B)為說明滑動軸承71詳細的圖，圖4(A)為泵浦機構30主要部分的側剖面圖，圖4(B)為滑動軸承71的正面剖面圖。

滑動軸承71係以例如黃銅等的非固體潤滑材料形成，沿著旋轉軸21的軸向(Y軸方向)具有和基部321的厚度同等大小的寬度或長度。此外，滑動軸承71具有與旋轉軸21周面對向的內周面701、及支持於形成在第2氣缸體32之基部321的插通孔322之內周面上的外周面702。在旋轉軸21之周面與滑動軸承71之內周面701之間形成有例如0.01～0.04mm的間隙，藉由於此間隙填滿泵浦油而在旋轉軸21之周面上形成油膜。

滑動軸承71具有和第3貫穿孔L3連通的通路70(第2通路)。通路70係以貫穿滑動軸承71之內周面701與外周面702之間的貫穿孔構成，且形成於滑動軸承71的徑向。通路70的孔徑為例如1mmψ，但當然不受此限定。

在本實施形態中，通路70以與第3貫穿孔L3正交的方式於滑動軸承71之周面上只形成一條。在本實施形態中，通路70經由以與第3貫穿孔L3交叉的方式形成於基部321上的中繼孔L0而與第3貫穿孔L3連通。

在如上所構成的本實施形態的油旋轉真空泵浦1方面，第1轉子41係承受經由旋轉軸21所傳達的驅動部20之旋轉驅動力而在第1泵浦室P1內旋轉。然後，利用在第1泵浦室P1內壁面上滑動的第1葉片51將氣體從第1吸氣口T1吸入、壓縮後，向第1排氣口E1搬送。

此處，如同例如開始運轉時一般，向第1排氣口E1搬送的氣體的壓力超過預定值的情況，氣體係經由排氣閥V1而向槽部13開放，從排氣管連接部12排出。此外，如同正常運轉時等一般，第1排氣口E1排出的氣體的壓力低於預定值的情況，不開放排氣閥V1而經由連絡通路121導入第2泵浦室P2。

第2轉子42也是承受經由旋轉軸21所傳達的驅動部20之旋轉驅動力而在第2泵浦室P2內旋轉。然後，利用在第2泵浦室P2內壁面上滑動的第2葉片52將氣體從第2吸氣口T2吸入、壓縮後，向第2排氣口E2搬送，開放排氣閥V2而向槽部13排出。

此處，被第2泵浦室P2所吸引的氣體係從第1泵浦室P1排出並經由連絡通路121而到達第2吸氣口T2的氣體，所以該氣體在第2泵浦室P2內再被壓縮後排氣。因此，本實施形態的油旋轉真空泵浦1的壓縮比高，可得到低的極限壓力。

藉由上述各泵浦室P1、P2的泵浦作用，在泵浦室P1、P2與槽部13之間產生差壓。泵浦油係經由潤滑線路L而從槽部13導入各泵浦室P1、P2，在各泵浦室P1、P2內潤滑滑動部。

同時，經由與潤滑線路L連通的通路70而供應泵浦油給滑動軸承71之內周面701與旋轉軸21之周面之間的環狀間隙。藉此，滑動軸承71與旋轉軸21之間的潤滑性提高，可穩定地支持旋轉軸21。

如以上所述，藉由本實施形態，可在滑動軸承71之內周面701與旋轉軸21之周面之間穩定地形成由泵浦油構成的油膜，並可確保真空泵浦穩定的動作。此外，即使不將含鉛多的固體潤滑材料使用於做為滑動軸承的滑動軸承71，也可以確保穩定的潤滑性。

此外，藉由本實施形態，利用形成於滑動軸承71與旋轉軸21之間的油膜，可以用第1泵浦室P1與第2泵浦室P2之間的油膜來確保良好的氣體密封性。

再者，藉由本實施形態，由於形成於滑動軸承71上的通路70位於比旋轉軸21的軸心關於重力方向的更上方側，所以泵浦油藉由施加重力作用而容易供應給滑動軸承71之內周面701。

＜第2實施形態＞

圖5(A)、(B)顯示本發明的第2實施形態。以下，主要就和第1實施形態不同的結構進行說明，關於和上述實施形態同樣的結構，附上同樣的符號，省略或簡化其說明。

在本實施形態中，做為滑動軸承的滑動軸承72之結構和上述第1實施形態不同。圖5(A)、(B)為說明滑動軸承72詳細的圖，圖5(A)為泵浦機構30主要部分的側剖面圖，圖5(B)為滑動軸承72的正面剖面圖。

本實施形態的滑動軸承72在其內周面701具有凹部70R。如圖5(A)所示，凹部70R係以小於滑動軸承72寬度(沿著旋轉軸21軸向的長度)的寬度(第2寬度)形成。而且，凹部70R設於通路70的形成位置。凹部70R係使用例如硬質合金棒形成。

在具有上述結構的滑動軸承72之本實施形態的油旋轉真空泵浦方面，形成於滑動軸承72之內周面701的凹部70R起作用做為油槽的功能，在滑動軸承72與旋轉軸21之間的間隙穩定地形成油膜。藉此，如同泵浦在低溫下(例如5℃)的啟動時等一般，即使在泵浦油的黏度比較高的情況，也可以確保旋轉軸穩定的潤滑作用。

此外，由於比滑動軸承72的形成寬度小地形成凹部70R的寬度，所以可遍及滑動軸承72之內周面701的全周維持與旋轉軸21之間的最小間隙(0.01～0.04mm)。藉此，可以用滑動軸承72與旋轉軸21之間的油膜確保良好的氣體密封性。利用本發明者等的實驗確認了可得到0.7Pa以下的極限真空度。

凹部70R的形狀、形成位置等不受特別限定。此外，凹部70R的形成個數不限於單數個，也可以是複數個，但若該凹部的總容積過大，則有招致氣體密封性降低之虞。此外，凹部內的排氣需要時間，也有招致排氣速度降低之虞。

＜第3實施形態＞

圖6(A)、(B)顯示本發明的第3實施形態。以下，主要就和第1實施形態不同的結構進行說明，關於和上述實施形態同樣的結構，附上同樣的符號，省略或簡化其說明。

在本實施形態中，做為滑動軸承的滑動軸承73的結構和上述第2實施形態不同。圖6(A)、(B)為說明滑動軸承73詳細的圖，圖6(A)為泵浦機構30主要部分的側剖面圖，圖6(B)為滑動軸承73的正面剖面圖。

本實施形態的滑動軸承73在其內周面701具有凹部70R。如圖6(A)所示，凹部70R係以小於滑動軸承73寬度(沿著旋轉軸21軸向的長度)的寬度(第2寬度)形成。而且，凹部70R形成於與通路70的形成區域對向的內周面701上。凹部70R係使用例如硬質合金棒形成。

在具有上述結構的滑動軸承73之本實施形態的油旋轉真空泵浦方面，形成於滑動軸承73之內周面701的凹部70R起作用做為油槽的功能，在滑動軸承73與旋轉軸21之間的間隙穩定地形成油膜。藉此，如同泵浦在低溫下(例如5℃)的啟動時等一般，即使在泵浦油的黏度比較高的情況，也可以確保旋轉軸穩定的潤滑作用。

此外，由於比滑動軸承73的形成寬度小地形成凹部70R的寬度，所以可遍及滑動軸承73之內周面701的全周維持與旋轉軸21之間的最小間隙(0.01～0.04mm)。藉此，可以用滑動軸承73與旋轉軸21之間的油膜確保良好的氣體密封性。利用本發明者等的實驗確認了可得到0.7Pa以下的極限真空度。

再者，由於凹部70R形成於與通路70對向的位置，所以凹部70R位於比旋轉軸21關於重力方向的更下方側。藉此，泵浦油藉由重力作用而容易積存於凹部70R，可在滑動軸承73與旋轉軸21之間迅速地形成油膜。藉此，可確保滑動軸承73穩定的潤滑作用。利用本發明者等的實驗確認了從大氣壓狀態以5秒以下的排氣時間可得到9.3Pa的真空狀態。

以上，雖然就本發明的實施形態進行了說明，但本發明不受此實施形態限定，可根據本發明的技術思想進行各種變形。

例如，雖然在以上的實施形態中，舉兩段式的油旋轉真空泵浦為例而進行了說明，但不限於此兩段式的油旋轉真空泵浦，可以也適用於一段式的油旋轉真空泵浦。

此外，雖然在以上的實施形態中，構成滑動軸承的套管構件係以黃銅等的非固體潤滑材料形成，但也可以用含鉛量比較少(例如10,000ppm以下)的青銅鑄件(BC3)形成以取代此黃銅等的非固體潤滑材料。

此外，雖然在以上的實施形態中，泵浦機構30係由兩段(two-stage)式的歌德(Goethe)型泵浦單元所構成^， 但除此之外，也可以適用凸輪型、搖動活塞型等。

1．．．油旋轉真空泵浦

10．．．本體

11．．．吸氣管連接部

12．．．排氣管連接部

13．．．槽部

20．．．驅動部

21．．．旋轉軸

30．．．泵浦機構

31．．．第1氣缸體

32．．．第2氣缸體

33．．．側蓋

41．．．第1轉子

42．．．第2轉子

51．．．第1葉片

52．．．第2葉片

62．．．彈簧

70．．．通路

70R．．．凹部

71、72、73．．．滑動軸承

101．．．在第1殼體

102．．．第2殼體

103．．．液面計

111．．．吸氣通路

112．．．間壁

121．．．連絡通路

321．．．基部

322．．．插通孔

701．．．內周面

702．．．外周面

B．．．螺釘構件

E1．．．第1排氣通路

E2．．．第2排氣通路

L．．．潤滑線路

L0．．．中繼孔

L1．．．第1貫穿孔

L2．．．第2貫穿孔

L3．．．第3貫穿孔

L4．．．第4貫穿孔

P1．．．第1泵浦室

P2．．．第2泵浦室

PS．．．泵浦油之液面

R1．．．第1旋轉體

R2．．．第2旋轉體

T1．．．第1吸氣口

T2．．．第1吸氣口

V1．．．排氣閥

V2．．．排氣閥

圖1為顯示關於本發明一實施形態的油旋轉真空泵浦之結構的一部分剖切側面圖。

圖2為上述油旋轉真空泵浦的主要部分放大圖。

圖3為圖2的[A]-[A]線方向箭視圖。

圖4(A)及(B)為說明上述油旋轉真空泵浦之軸承構造的圖，(A)為側剖面圖，(B)為滑動軸承的正面剖面圖。

圖5(A)及(B)為說明關於本發明第2實施形態的油旋轉真空泵浦之軸承構造的圖，(A)為側剖面圖，(B)為滑動軸承的正面剖面圖。

圖6(A)及(B)為說明關於本發明第3實施形態的油旋轉真空泵浦之軸承構造的圖，(A)為側剖面圖，(B)為滑動軸承的正面剖面圖。

21．．．旋轉軸

30．．．泵浦機構

31．．．第1氣缸體

32．．．第2氣缸體

33．．．側蓋

41．．．第1轉子

42．．．第2轉子

51．．．第1葉片

52．．．第2葉片

62．．．彈簧

70．．．通路

71．．．滑動軸承

111．．．吸氣通路

112．．．間壁

121．．．連絡通路

321．．．基部

322．．．插通孔

B．．．螺釘構件

E1．．．第1排氣通路

E2．．．第2排氣通路

L0．．．中繼孔

L1．．．第1貫穿孔

L2．．．第2貫穿孔

L3．．．第3貫穿孔

L4．．．第4貫穿孔

P1．．．第1泵浦室

P2．．．第2泵浦室

R1．．．第1旋轉體

R2．．．第2旋轉體

T1．．．第1吸氣口

T2．．．第1吸氣口

V1．．．排氣閥

V2．．．排氣閥

Claims (5)

1. 一種油旋轉真空泵浦，其係具備：本體，具有儲存泵浦油的槽部；氣缸體，安裝於前述本體，並具有泵浦室、及用以使前述泵浦油在前述槽部和前述泵浦室之間連通的第1通路；旋轉體，可旋轉地配置於前述泵浦室，並具有在前述泵浦室的內面滑動的滑動部；驅動部，安裝於前述本體，並具有使前述旋轉體旋轉的旋轉軸；及滑動軸承，設於前述氣缸體，可旋轉地支持前述旋轉軸，並具有連通到前述第1通路的第2通路；前述泵浦室具有沿著前述旋轉軸的軸方向排列且分別配置有前述旋轉體的第1泵浦室與第2泵浦室；前述滑動軸承係設於前述第1泵浦室與前述第2泵浦室之間。
2. 如申請專利範圍第1項之油旋轉真空泵浦，其中前述滑動軸承為具有與前述旋轉軸的周面對向的內周面、及支持於前述氣缸體的外周面，並沿著前述旋轉軸的軸方向以第1寬度形成的筒狀套管構件；前述第2通路為貫穿前述內周面與前述外周面之間的貫穿孔。
3. 如申請專利範圍第2項之油旋轉真空泵浦，其中前述第2通路係形成於比前述旋轉軸關於重力方向的更上方側。
4. 如申請專利範圍第3項之油旋轉真空泵浦，其中前述滑動軸承具有以小於前述第1寬度的第2寬度形成於前述內周面的凹部。
5. 如申請專利範圍第4項之油旋轉真空泵浦，其中前述凹部係形成於與前述第2通路的形成區域對向的前述內周面上。