TWI486416B

TWI486416B - 可剝膠組成物及可剝膠帶

Info

Publication number: TWI486416B
Application number: TW102147819A
Authority: TW
Inventors: Pin Chien Chu; Chung Ping Li
Original assignee: Chi Mei Corp
Priority date: 2013-12-23
Filing date: 2013-12-23
Publication date: 2015-06-01
Also published as: TW201525090A

Description

可剝膠組成物及可剝膠帶

本發明是有關於一種可剝膠組成物及可剝膠帶，且特別是有關於一種紫外線硬化型可剝膠組成物及包括上述可剝膠組成物的可剝膠帶。

在半導體製程中，將晶圓上的元件製作完成之後，需對晶圓進行切割以形成多個晶片。切割膠帶於此製程中將晶圓牢固地固定於承載裝置上，並於晶圓切割後，使晶片可輕易地從膠帶上被拾起。

紫外線硬化型可剝膠帶(UV curable peelable adhesive tape)為半導體產業之常見的一種切割膠帶。所述紫外線硬化型可剝膠帶需滿足以下幾點需求。首先，膠帶具有強黏著力以固定晶圓，即使是小尺寸晶圓也不會發生位移或剝除的問題，使切割作業能確實進行。其二，紫外線(UV)照射後黏著力可大幅降低，並於晶圓切割後，即使是大尺寸晶片也能輕鬆地拾起。其三，膠帶不會對晶圓造成污染。其四，不會因紫外線照射造成膠帶伸縮性不佳的問題，亦即膠帶需具有充分地延展性能夠防止晶片因接觸而破損的問題發生。其五，膠帶適用於高速切割技術。因此，半導體業者積極尋求各種可剝膠的配方，以滿足上述種種需求。

本發明提出一種可剝膠組成物及包括所述可剝膠組成物的可剝膠帶，所述膠帶在UV照射前黏著力高，即接著性佳，並於UV照射後黏著力低且剝除後不產生殘膠，亦即剝離性佳。

本發明提出一種可剝膠組成物，其包括：(A)壓克力系共聚合物，具有選自由丙烯酸酯單體單元及甲基丙烯酸酯單體單元所組成之族群中的至少一種單體單元、(B)輻射固化寡聚物、輻射固化單體或其組合以及(C)胺酮系光起始劑，其中以所述(B)輻射固化寡聚物或輻射固化單體或其組合的總量為100重量份計，所述(C)胺酮系光起始劑的用量為1~30重量份。

在本發明的一實施例中，上述(C)胺酮系光起始劑選自由2-苯甲基-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉基苯基)-丁酮-1、2-甲基-1[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉基丙-1-酮及2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基胺基)1-(4-嗎啉-4基-苯基)-1-丁酮所組成之族群中的至少一種。

在本發明的一實施例中，上述(B)輻射固化寡聚物或輻射固化單體或其組合的總量為100重量份計，所述(C)胺酮系光起始劑的用量為5~20重量份。

在本發明的一實施例中，更包含(D)架橋劑，以上述(A) 壓克力系共聚合物為100重量份計，所述(D)架橋劑的用量為等於或小於5重量份。

在本發明的一實施例中，上述(A)壓克力系共聚合物中，丙烯酸酯單體單元之丙烯酸酯單體包含：丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、2-羥基乙基丙烯酸酯、丙基庚基丙烯酸酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸-4-羥基丁酯、丙烯酸-2-乙基己基酯、異冰片丙烯酸酯、其衍生物或其組合；甲基丙烯酸酯單體單元之甲基丙烯酸酯單體包含：甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸-2-羥乙酯、甲基丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸-2-乙基己基酯、甲基丙烯酸苯酯、異冰片甲基丙烯酸酯、其衍生物或其組合。

在本發明的一實施例中，上述(A)壓克力系共聚合物的重量平均分子量為2.0×10⁵ 至10.0×10⁵ 。

在本發明的一實施例中，上述(B)輻射固化寡聚物、輻射固化單體或其組合包含(B1)輻射固化寡聚物，所述(B1)輻射固化寡聚物包括具有胺基甲酸酯、聚酯、聚醚、聚碳酸酯或聚丁二烯骨架(backbone)的丙烯酸酯寡聚物，且所述(B)輻射固化寡聚物的重量平均分子量為100至30,000。

在本發明的一實施例中，上述(B)輻射固化寡聚物、輻射固化單體或其組合包含(B1)輻射固化寡聚物，所述(B1)輻射固化寡聚物為重量平均分子量為2,000至10,000的尿素-丙烯酸酯寡聚物。

在本發明的一實施例中，上述(B)輻射固化寡聚物、輻射固化單體或其組合包含(B2)輻射固化單體，所述(B2)輻射固化單體包括：多元醇(甲基)丙烯酸酯，其包含三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯(TMPT(M)A)、四羥甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇單羥基五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二甲基丙烯酸酯(BDDA)、四乙二醇二甲基丙烯酸酯、1,6-己二醇(甲基)丙烯酸酯或新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯；酯類丙烯酸酯寡聚物；或異氰尿酸類化合物，其包含2-丙烯基-3-丁烯氰尿酸酯或三(甲基丙烯酸乙基)異氰酸酯。

在本發明的一實施例中，上述(B)輻射固化寡聚物、輻射固化單體或其組合，包括：(B1)輻射固化寡聚物；以及(B2)輻射固化單體，以上述(B)輻射固化寡聚物或輻射固化單體或其組合的總量為100重量份計，所述(B2)輻射固化單體的用量範圍為5重量份至80重量份。

在本發明的一實施例中，以上述(A)壓克力系共聚合物為100重量份計，上述(B)輻射固化寡聚物或輻射固化單體或其組合的總量範圍為50重量份至200重量份。

本發明另提出一種可剝膠帶，其包括支持層以及黏著層。黏著層位於支持層上方，其中所述黏著層包括如上所述之可剝膠組成物。

在本發明的一實施例中，上述支持層之材料選自玻璃、金屬箔片、塑膠及矽膠其中之一。

在本發明的一實施例中，上述支持層之材料為塑膠，所述塑膠包含聚烯烴類、聚酯類、聚亞醯胺或聚氯乙烯。

基於上述，在本發明的可剝膠組成物中，光起始劑較佳使用胺酮系光起始劑，且以輻射固化寡聚物或輻射固化單體或其組合的總量為100重量份計，所述胺酮系光起始劑的用量較佳落在1~30重量份之範圍內，可使膠帶在UV照射前黏著力高而UV照射後黏著力低。

為讓本發明的上述特徵和優點能更明顯易懂，下文特舉實施例，並配合所附圖式作詳細說明如下。

10‧‧‧可剝膠帶

12‧‧‧支持層

14‧‧‧黏著層

圖1為依據本發明一實施例所繪示之可剝膠帶的剖面示意圖。

本發明提出一種可剝膠組成物，其基本上包括以下四種成分：(A)壓克力系共聚合物；(B)輻射固化寡聚物、輻射固化單體或其組合；(C)胺酮系(aminoketone-based)光起始劑；以及(D)架橋劑。在包含本發明的可剝膠組成物的可剝膠帶中，(A)成分與(D)成分主要是使可剝膠組成物在UV照射前黏著力高，而(B)成分與(C)成分主要是使可剝膠組成物在UV照射後黏著力低。

在本文中，如果沒有指明某一基團是否經過取代，則該基團可表示經取代或未經取代的基團。例如，「烷基」可表示經取代或未經取代的烷基。另外，對某一基團冠以「C_X 」描述時，表示該基團之主鏈有X個碳原子。

以下將詳細說明各種成分。

(A)壓克力系共聚合物

(A)成分之作用為使可剝膠組成物於UV照射前具有高黏著力。(A)壓克力系聚合物可為均聚物或共聚物或均聚物及共聚物之組合，其包含(i)丙烯酸酯單體單元或(ii)甲基丙烯酸酯單體單元。

(i)丙烯酸酯單體單元之丙烯酸酯單體的碳鏈長度較佳為1-20。所述丙烯酸酯單體包含C₁ 至C₂₀ 之烷基、芳香基或環烷基之丙烯酸酯，例如丙烯酸甲酯(methyl acrylate)、丙烯酸乙酯(ethyl acrylate)、2-羥基乙基丙烯酸酯(2-hydroxyethyl acrylate)、丙基庚基丙烯酸酯(propyl heptyl acrylate)、丙烯酸苯酯(phenyl acrylate)、丙烯酸丁酯(butyl acrylate)、丙烯酸-4-羥基丁酯(4-Hydroxybutyl acrylate)、丙烯酸-2-乙基己基酯(2-ethylhexyl acrylate)、異冰片丙烯酸酯(isobornyl acrylate)、其衍生物或其組合。

(ii)甲基丙烯酸酯單體單元的甲基丙烯酸酯單體包含C₁ 至C₂₀ 之烷基、芳香基或環烷基之丙烯酸酯。所述甲基丙烯酸酯單體包括：甲基丙烯酸甲酯(methyl methacrylate)、甲基丙烯酸乙酯(ethyl methacrylate)、甲基丙烯酸-2-羥乙酯(2-hydroxyethyl methacrylate)、甲基丙烯酸丁酯(butyl methacrylate)、甲基丙烯酸-2-乙基己基酯(2-ethylhexyl methacrylate)、甲基丙烯酸苯酯(phenyl methacrylate)、異冰片甲基丙烯酸酯(isobornyl methacrylate)、其衍生物或其組合。

在一實施例中，為使本發明的可剝膠組成物塗佈或黏著於接著介面時，可利用加熱增加可剝膠組成物與接著介面之黏著力，(A)壓克力系聚合物可更包含具有多官能基(如氫氧基或環氧基)之(iii)可架橋官能基單體單元，其可架橋官能基單體包括：己二醇二(甲基)丙烯酸酯(hexane diol di(meth)acrylate)、聚乙二醇二丙烯酸甲酯((poly)ethylene glycol di(meth)acrylate)、聚丙二醇二丙烯酸甲酯((poly)propylene glycol di(meth)acrylate)、新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯(neopentyl glycol di(meth)acrylate)、季戊四醇二(甲基)丙烯酸酯(pentaerythritol di(meth)acrylate)、三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯(trimethylol propane tri(meth)acrylate)、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯(pentaerythritol tri(meth)acrylate)、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯(dipentaerythritol hexa(meth)acrylate)、環氧基(甲基)丙烯酸酯(epoxy(meth)acrylate)、聚酯(甲基)丙烯酸酯(polyester(meth)acrylate)、胺基甲酸酯(甲基)丙烯酸酯(urethane (meth)acrylate)等。上述可架橋官能基單體可單獨使用或混合多種一起使用。當(A)壓克力系聚合物中包含(iii)可架橋官能基單體單元並搭配(D)架橋劑時，即可利用加熱過程增加壓克力系聚合物之交聯程度而提高黏著力。

在一實施例中，(A)壓克力系聚合物也可包含(iv)可共聚合之單體單元，其可共聚合之單體包含：丙烯酸、甲基丙烯酸、丙烯腈類、乙烯基芳香烴及醋酸乙烯酯、丙烯醯胺類(acrylamides)、甲基丙烯醯胺類(methacrylamides)、乙烯酯類(vinyl esters)、乙烯醚類(vinyl ethers)、乙烯基醯胺類(vinyl amides)、乙烯酮類(vinyl ketones)、苯乙烯、含鹵素單體、離子單體(ionic monomers)、含酸基單體、含鹼基單體、其衍生物或其組合。

此外，(A)壓克力系聚合物之重量平均分子量為2.0×10⁵ 至10.0×10⁵ ，較佳為4.0×10⁵ ~8.0×10⁵ 。

(B)輻射固化寡聚物、輻射固化單體或其組合

(B)成分包括(B1)輻射固化寡聚物、(B2)輻射固化單體或其組合。(B)成分與(C)胺酮系光起始劑搭配，使可剝膠組成物於UV照射後之黏著性降低，而使黏著物易於剝離。

(B1)輻射固化寡聚物包括具有胺基甲酸酯(urethane)、聚酯(polyether)、聚醚(polyester)、聚碳酸酯(polycarbonate)或聚丁二烯(polybutadiene)骨架(backbone)的丙烯酸酯寡聚物(acrylate oligomers)，且(B1)輻射固化寡聚物的重量平均分子量為100至30,000。在一實施例中，(B1)輻射固化寡聚物可選用尿素-丙烯酸酯寡聚物(urethane acrylate oligomer)。尿素-丙烯酸酯寡聚物之重量平均分子量為2,000至10,000，最佳為4,000至8,000。在一實施例中，(B1)輻射固化寡聚物可選用多官能基尿素- 丙烯酸酯寡聚物。

(B2)輻射固化單體包括：多元醇(甲基)丙烯酸酯(polyvalent alcohol(meth)acrylates)，其包含三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯(trimethylol propane tri(meth)acrylate，TMPT(M)A)、四羥甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯(tetramethylol methane tetra(meth)acrylate)、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯(pentaerythritol tri(meth)acrylate,)、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯(pentaerythritol tetra(meth)acrylate)、二季戊四醇單羥基五(甲基)丙烯酸酯(dipentaerythritol monohydroxy penta(meth)acrylate)、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯(dipentaerythritol hexa(meth)acrylate)、1,4-丁二醇二甲基丙烯酸酯(1,4-butane diol di(meth)acrylate，BDDA)、二季戊四醇五丙烯酸酯(Dipentaerythritol Hexaacrylate，DPHA)四乙二醇二甲基丙烯酸酯(tetraethylene glycol di(meth)acrylate)、1,6-己二醇(甲基)丙烯酸酯(1,6-hexane diol(meth)acrylate)或新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯(neopentyl glycol di(meth)acrylate)等等；酯類丙烯酸酯寡聚物(ester acrylate oligomers)；或異氰尿酸類化合物，其包含2-丙烯基-3-丁烯氰尿酸酯(2-propenyl-3-butenyl cyanurate)或三(甲基丙烯酸乙基)異氰酸酯(tris(2-methacryloxyethyl)isocyanurate)等等。

(C)胺酮系光起始劑

在本發明中，需選用胺酮系(aminoketone-based)光起始劑，否則UV照射後，將可剝膠帶取下(剝離)時將會有殘膠。 (C)胺酮系光起始劑之實例如表一所示。

特別要注意的是，在本發明中，以(B)輻射固化寡聚物或輻射固化單體或其組合的總量為100重量份計，(C)胺酮系光起始劑的用量為1~30重量份，較佳為5~20重量份。當(C)胺酮系光起始劑的用量太低時，可剝膠組成物在UV照射後黏著力不夠低，因而在UV照射後剝除時會產生殘膠。另一方面，當(C)胺酮系光起始劑的用量太高時，則會使UV照射前黏著力不足。因此，為使本發明的可剝膠組成物達到最佳效果，(C)胺酮系光起始劑的用量較佳落在5~20重量份之範圍內。

(D)架橋劑

(D)架橋劑包括多元異氰酸酯(polyisocyanate compound)，如：甲基丙烯酸異氰基乙酯(2-isocyanatoethyl methacrylate)或芳香族聚異氰酸酯、環氧化合物、氮丙啶(aziridine) 化合物、三聚氰胺交聯劑(melamine cross-linking agent)、尿素樹脂(urea resin)、無水化合物(anhydrous compound,)、聚胺(polyamine)、含羧基聚合物(carboxyl group-containing polymer)、其衍生物或其組合。在一實施例中，(D)架橋劑包括甲基丙烯酸異氰基乙酯(2-isocyanatoethyl methacrylate)或由二異氰酸甲苯聚合而得的芳香族聚異氰酸酯(aromatic polyisocyanate based on toluene diisocyanate)。

此外，以(A)壓克力系共聚合物為100重量份計，(D)架橋劑的用量為等於或小於5重量份，較佳為0.01至5重量份。

本發明另提出一種可剝膠帶。圖1為依據本發明一實施例所繪示之可剝膠帶的剖面示意圖。請參照圖1，可剝膠帶10包括支持層12以及位於支持層12上方的黏著層14。支持層10之材料選自玻璃、金屬箔片、矽晶圓、塑膠及矽膠其中之一。

在一實施例中，支持層12之材料為塑膠，所述塑膠包含聚烯烴類(polyolefin)、聚酯類(polyester)、聚亞醯胺(polyimide)或聚氯乙烯(polyvinyl chloride)。黏著層14包括如上所述之可剝膠組成物。具體而言，黏著層14中的可剝膠組成物包括：(A)壓克力系共聚合物；(B)輻射固化寡聚物、輻射固化單體或其組合；(C)胺酮系光起始劑；以及(D)架橋劑。

以下，將列舉多個實施例以及比較例，以驗證本發明的功效。

實驗1

將(A)壓克力系共聚合物、(B1)輻射固化寡聚物、(B2)輻射固化單體、(C)胺酮系光起始劑以及(D)架橋劑依表2的成份與表3的用量進行混合，以製備實施例1~2與比較例1~5之可剝膠組成物膠水。

然後，取實施例與比較例之可剝膠組成物膠水以製備測試樣品進行下列的測試：

1.不鏽鋼板殘膠測試

2.不鏽鋼板黏著力測試(180o peeling force)：黏著力的測試是遵守JIS Z0237的手法，撕離角為180度。UV照射前的測試值需至少大於等於1.5(較佳為大於等於3)，且數值越高，表示UV照射前的黏著力越高，即接著性越佳。UV照射後的測試值需至少小於等於1(較佳為小於等於0.7)，且其數值越低，表示UV照射後的黏著力越低，即剝離性越佳。

不鏽鋼板測試樣品的製作方法如下。分別取實施例與比較例所得之可剝膠組成物膠水，以塗佈器(機台：ZFR 2040 4-sided applicator，購自Zehntner)塗佈在2.5cm×20cm之PET膜(商品名：CH295Y，購自南亞塑膠工業股份有限公司，厚度為100μm)上，並在100℃熱板上放置10分鐘使其乾燥，以製成乾膜厚度25μm之測試黏著力用之膠帶。每個實施例與比較例所得之膠水皆製作兩片測試用膠帶。將各實施例及比較例之膠水製得之兩片測試用膠帶分別貼在不同之不鏽鋼板(商品名：SUS304 #800)上，並以1kg滾輪滾壓，其中一片以黏著力測試儀(機台：TCD-200，購自Chatillon)測試UV照射前180度方向拉力，另一片則以UV波段365nm、照射能量200mJ/cm² 照射後，再以黏著力測試儀測試180度方向拉力，並以肉眼觀察不鏽鋼上殘膠狀況。

3.矽晶圓殘膠測試

4.矽晶圓黏著力測試(180° peeling force)：黏著力的測試是遵守JIS Z0237的手法，撕離角為180度。UV照射前的測試值需至少大於等於0.7，且數值越高，表示UV照射前的黏著力越高，即接著性越佳。UV照射後的測試值需至少小於等於0.3。

矽晶圓測試樣品的製作方法如下。分別取實施例與比較例所得之可剝膠組成物膠水，以塗佈器(機台：ZFR 2040 4-sided applicator，購自Zehntner)塗佈在2.5cm×20cm之PET膜(商品名：CH295Y，購自南亞塑膠工業股份有限公司，厚度為100μm)上，並在100℃熱板上放置10分鐘使其乾燥，以製成乾膜厚度25μm之測試黏著力用之膠帶。每個實施例與比較例所得之膠水皆製作兩片測試用膠帶。將各實施例及比較例之膠水製得之兩片測試用膠帶分別貼在不同之矽晶圓上，並以1kg滾輪滾壓，其中一片以黏著力測試儀(機台：TCD-200，購自Chatillon)測試UV照射前180度方向拉力，另一片則以UV波段365nm、照射能量200mJ/cm² 照射後，再以黏著力測試儀測試180度方向拉力，並以肉眼觀察矽晶圓上殘膠狀況。

請參照表3，實施例1~2之樣品與比較例1~3之樣品的差異在於(C)成分的種類。具體言之，固定(A)、(B)及(D)成份的種類及用量，且固定(C)成分的用量，但在實施例1~2之樣品中，使用本發明的光起始劑(Irgacure 369、Irgacure 907)，而在比較例1~3之樣品中，使用其他種類的光起始劑(TPO、BDK、OXE-02)。由表3的實驗結果得知，實施例1~2之樣品的UV照射前數值、UV照射後數值均符合標準，且UV照射後剝離時無殘膠留存。反之，比較例2之樣品的UV照射前數值太低，且比較例1~3之樣品於UV照射後剝離時均有殘膠留存。

實驗2

將(A)壓克力系共聚合物、(B1)輻射固化寡聚物、(B2)輻射固化單體、(C)胺酮系光起始劑以及(D)架橋劑以表2的成份與表4的用量進行混合，製備實施例3~7與比較例4~6之可剝膠組成物膠水。

請參照表4，實施例3~7之樣品與比較例4~6之樣品的差異在於(C)成分的用量。具體言之，固定(A)、(B)及(D)成份的種類及用量，且固定(C)成分的種類，但在實施例3~7之樣品中，(C)成分用量落在本發明的範圍內(1~30重量份)，而在比較例4~6之樣品中，(C)成分用量落在本發明的範圍外(0.1、40、50重量份)。由表4的實驗結果得知，實施例3~7之樣品的UV照射前數值、UV後數值均符合標準。反之，比較例4之樣品的UV照射後數值太高，因此UV照射後剝離時會有殘膠留存。此外，比較例5~6之樣品的UV照射前數值太低，因此照光前黏著力不夠好。因此，本發明的(C)成分的用量範圍(1~30重量份)具有不可預期之功效，太低或太高均會影響可剝膠組成物的效能。

實驗3

將(A)壓克力系共聚合物、(B1)輻射固化寡聚物、(B2)輻射固化單體、(C)胺酮系光起始劑以及(D)架橋劑以表2的成份與表 5的用量進行混合，製備實施例8~17與比較例7~8之可剝膠組成物膠水。

請參照表5，實施例8~17之樣品與比較例7~8之樣品的差異在於(B2)輻射固化單體占(B)輻射固化寡聚物或輻射固化單體或其組合的總量的比例。由表5的實驗結果測得知，以不鏽鋼板做為測試基板進行剝離測試及殘膠測試，且當(B2)/(B)*100(%)為5%~80%時，可剝膠組成物於不鏽鋼板上具良好之接著性及剝離性，即以(B)輻射固化寡聚物或輻射固化單體或其組合的總量為100重量份計，當(B2)輻射固化單體的用量範圍為5重量~80重量份時，UV照射前數值、UV後數值均符合標準且無殘膠留存。

較佳地，當(B2)/(B)*100(%)的範圍為5%~60%時，可剝膠組成物於不鏽鋼板及矽晶圓上皆具良好的接著性及剝離性，且無殘膠留存。

此外，在實例3的組合中，除了使用胺酮系光起始劑(例如I-369)之外，也可以使用苯基酮系光起始劑(例如Irgacure 184；I-184)，只要(B2)/(B)*100(%)的範圍落在本發明的範圍內(5%~80%)，即可達到可剝膠組成物於不鏽鋼板及矽晶圓上皆具良好的接著性及剝離性的效果。

實驗4

將(A)壓克力系共聚合物、(B1)輻射固化寡聚物、(B2)輻射固化單體、(C)胺酮系光起始劑以及(D)架橋劑以表2的成份與表6的用量進行混合，製備實施例10,15,18~19與比較例9~10之可剝膠組成物膠水。

請參照表6，實施例10,15,18~19之樣品與比較例9~10之樣品的差異在於(B)輻射固化寡聚物或輻射固化單體或其組合的總量與(A)壓克力系共聚合物的比值。由表6的實驗結果測得知，當(B)/(A)的比值範圍為0.5~2時，可剝膠組成物於不鏽鋼板及矽晶圓上皆具良好的接著性及剝離性，即以(A)壓克力系共聚合物為100重量份計，當(B)輻射固化寡聚物或輻射固化單體或其組合的總量範圍為50重量份~200重量份時，UV照射前數值、UV後數值均符合標準且無殘膠留存。

更具體地說，在實施例10,15,18~19之樣品中，(B)/(A)的比值範圍落在本發明的範圍內(0.5~2)，而在比較例9~10之樣品中，(B)/(A)的比值範圍落在本發明的範圍外(0.2、3)。由表6的實驗結果得知，實施例10,15,18~19之樣品的UV照射前數值、UV後數值均符合標準。反之，比較例9之樣品的UV照射後數值太高，因此UV照射後剝離時會有殘膠留存。此外，比較例10之樣品的UV照射前數值太低，因此照光前黏著力不夠好。因此，本發明的(B)/(A)的比值範圍具有不可預期之功效，太低或太高均會影響可剝膠組成物的效能。

此外，在實驗4的組合中，除了使用胺酮系光起始劑(例如I-369)之外，也可以使用苯基酮系光起始劑(例如Irgacure 184；I-184)，只要(B)/(A)的比值範圍落在本發明的比值範圍內(0.5~2重量份)，即可達到可剝膠組成物於不鏽鋼板及矽晶圓上皆具良好的接著性及剝離性的效果。

另外，在實驗3及實驗4的組合中，以(B)輻射固化寡聚物或輻射固化單體或其組合的總量為100重量份計，光起始劑的用量為約1~30重量份。

綜上所述，本發提出一種可剝膠組成物及包括所述可剝膠組成物的可剝膠帶，所述膠帶具良好之接著性及剝離性，即在UV照射前黏著力高而UV照射後黏著力低，且不產生殘膠。此外，在本發明的可剝膠組成物中，光起始劑較佳使用胺酮系光起始劑，且以輻射固化寡聚物或輻射固化單體或其組合的總量為100重量份計，所述胺酮系光起始劑的用量較佳落在1~30重量份之範圍內。

此外，在本發明的可剝膠組成物中，(B2)輻射固化單體占(B)輻射固化寡聚物或輻射固化單體或其組合的總量的比值範圍較佳為5%~60%時，於不鏽鋼及矽晶圓基板上的接著性及剝離性均佳且無殘膠留存。在本發明的可剝膠組成物中，(B)輻射固化寡聚物或輻射固化單體或其組合的總量與(A)壓克力系共聚合物的比值範圍較佳為0.5~2。

此外，本發明的膠帶除了可應用在晶圓之封裝切割步驟，也可使用在發光二極體(LED)之轉移基板製程等等。舉例來說，可在轉移基板，例如：矽晶圓上塗佈本發明的可剝膠組成物作為釋放層，當目標元件完成之後可照射UV光，使釋放層的黏著力下降，再將目標元件轉移到目標基板。當矽晶圓為轉移基板且以可剝膠組成物作為釋放層時，在本發明的可剝膠組成物中，(B2)輻射固化單體占(B)輻射固化寡聚物或輻射固化單體或其組合的總量的比值範圍較佳為5%~60%。換言之，本發明的可剝膠帶應用很廣，並不限於以上實施例所揭露的範圍。

雖然本發明已以實施例揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何所屬技術領域中具有通常知識者，在不脫離本發明的精神和範圍內，當可作些許的更動與潤飾，故本發明的保護範圍當視後附的申請專利範圍所界定者為準。

10‧‧‧可剝膠帶

12‧‧‧支持層

14‧‧‧黏著層

Claims

一種可剝膠組成物，包括：(A)壓克力系共聚合物，具有選自由丙烯酸酯單體單元及甲基丙烯酸酯單體單元所組成之族群中的至少一種單體單元；(B)輻射固化寡聚物、輻射固化單體或其組合；以及(C)胺酮系光起始劑，其中以所述(B)輻射固化寡聚物或輻射固化單體或其組合的總量為100重量份計，所述(C)胺酮系光起始劑的用量為1~30重量份。
如申請專利範圍第1項所述的可剝膠組成物，其中所述(A)壓克力系共聚合物的重量平均分子量為2.0×10⁵ 至10.0×10⁵ 。
如申請專利範圍第1項所述的可剝膠組成物，其中所述(A)壓克力系共聚合物中，所述丙烯酸酯單體單元之丙烯酸酯單體選自由丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、2-羥基乙基丙烯酸酯、丙基庚基丙烯酸酯、丙烯酸苯酯、丙烯酸丁酯、丙烯酸-4-羥基丁酯、丙烯酸-2-乙基己基酯、異冰片丙烯酸酯、其衍生物及其組合所組成之族群中的至少一種；所述甲基丙烯酸酯單體單元之甲基丙烯酸酯單體選自由甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸-2-羥乙酯、甲基丙烯酸丁酯、甲基丙烯酸-2-乙基己基酯、甲基丙烯酸苯酯、異冰片甲基丙烯酸酯、其衍生物及其組合所組成之族群中的至少一種。
如申請專利範圍第1項所述的可剝膠組成物，其中所述(C)胺酮系光起始劑選自由2-苯甲基-2-二甲基胺基-1-(4-嗎啉基苯基)-丁酮-1、2-甲基-1[4-(甲硫基)苯基]-2-嗎啉基丙-1-酮及2-(4-甲基苄基)-2-(二甲基胺基)1-(4-嗎啉-4基-苯基)-1-丁酮所組成之族群中的至少一種。
如申請專利範圍第1項所述的可剝膠組成物，其中以所述(B)輻射固化寡聚物或輻射固化單體或其組合的總量為100重量份計，所述(C)胺酮系光起始劑的用量為5~20重量份。
如申請專利範圍第1項所述的可剝膠組成物，更包含(D)架橋劑，其中以所述(A)壓克力系共聚合物為100重量份計，所述(D)架橋劑的用量為等於或小於5重量份。
如申請專利範圍第1項所述的可剝膠組成物，其中所述(B)輻射固化寡聚物、輻射固化單體或其組合包含(B1)輻射固化寡聚物，所述(B1)輻射固化寡聚物包括具有胺基甲酸酯、聚酯、聚醚、聚碳酸酯或聚丁二烯骨架(backbone)的丙烯酸酯寡聚物，且所述(B1)輻射固化寡聚物的重量平均分子量為100至30,000。
如申請專利範圍第1項所述的可剝膠組成物，其中所述(B)輻射固化寡聚物、輻射固化單體或其組合包含(B1)輻射固化寡聚物，所述(B1)輻射固化寡聚物為重量平均分子量為2,000至10,000的尿素-丙烯酸酯寡聚物。
如申請專利範圍第1項所述的可剝膠組成物，其中所述(B)輻射固化寡聚物、輻射固化單體或其組合包含(B2)輻射固化單體，所述(B2)輻射固化單體包括：多元醇(甲基)丙烯酸酯，其包含三羥甲基丙烷三(甲基)丙烯酸酯(TMPT(M)A)、四羥甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇三(甲基)丙烯酸酯、季戊四醇四(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇單羥基五(甲基)丙烯酸酯、二季戊四醇六(甲基)丙烯酸酯、1,4-丁二醇二甲基丙烯酸酯(BDDA)、四乙二醇二甲基丙烯酸酯、1,6-己二醇(甲基)丙烯酸酯或新戊二醇二(甲基)丙烯酸酯；酯類丙烯酸酯寡聚物；或異氰尿酸類化合物，其包含2-丙烯基-3-丁烯氰尿酸酯或三(甲基丙烯酸乙基)異氰酸酯。
如申請專利範圍第1項所述的可剝膠組成物，其中所述(B)輻射固化寡聚物、輻射固化單體或其組合，包括：(B1)輻射固化寡聚物；以及(B2)輻射固化單體，其中以所述(B)輻射固化寡聚物或輻射固化單體或其組合的總量為100重量份計，所述(B2)輻射固化單體的用量範圍為5重量份至80重量份。
如申請專利範圍第1項所述的可剝膠組成物，其中以所述(A)壓克力系共聚合物為100重量份計，所述(B)輻射固化寡聚物或輻射固化單體或其組合的總量範圍為50重量份至200重量份。
一種可剝膠帶，包括：支持層；以及黏著層，位於所述支持層上方，其中所述黏著層包括如申請專利範圍第1項至第11項之任一項所述的可剝膠組成物。
如申請專利範圍第12項所述的可剝膠帶，其中所述支持層之材料為塑膠，所述塑膠包含聚烯烴類、聚酯類、聚亞醯胺或聚氯乙烯。