TWI483878B - Automatic pre-installation warehouse - Google Patents

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TWI483878B
TWI483878B TW100114236A TW100114236A TWI483878B TW I483878 B TWI483878 B TW I483878B TW 100114236 A TW100114236 A TW 100114236A TW 100114236 A TW100114236 A TW 100114236A TW I483878 B TWI483878 B TW I483878B
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Yasuhisa Ito
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Description

裝置前自動倉庫
本案之發明有關於一種裝置前自動倉庫，該裝置前自動倉庫被配置在半導體製造裝置等之產業裝置和通路之間，用來暫時保管對象物藉以收容半導體之製造所必要之基板等。
在先前技術中，將玻璃基板或矽基板等之基板從其他場所搬入半導體製造裝置，或將處理過之基板搬出到其他場所之情況時，將複數片之基板收容在被稱為容器、或卡匣、罐等之箱，進行搬運。在該箱之搬運時，經由半導體工廠之省空間化等，利用在工廠高架附近行走之高架搬送車進行。
在此處，由於半導體之製造步驟中前步驟之進行或後步驟之進行等，發生需要暫時保管從高架行走車接受或取放之箱，所以在半導體製造裝置之附近設置具有作為箱之緩衝器功能之裝置前自動倉庫。該裝置前自動倉庫具備有：棚，被配置在半導體製造裝置之裝載器或卸載器之上方，用來暫時保管該箱；和移載裝置，在可處理的情況下，將該箱自動地從棚移載到裝載器，和將收容有處理過之基板之箱從卸載器移載到棚。
例如，在專利文獻1記載有上述之裝置前自動倉庫。專利文獻1所記載之棚為著儘可能地達成省空間化，在水平方向或鉛直方向設有通路，使移載裝置所保持之箱可以在棚之內方移動。另外，移載裝置為確保使通路儘可能地變廣，配置用來使保持該箱之保持手段在鉛直方向移動之軌道，和用來使該軌道在水平方向移動之軌道，將該等軌道貼附在棚。
[先前技術文獻] [專利文獻]
專利文獻1：日本專利特開2001-298069號公報
然而，在具備有產業裝置之工廠全体採用同一品種大量生產或其他品種少量生產等之多樣生產體制，要滿足該等生產體制時，需要依照產業裝置之種類，在產業裝置附近保管很多該箱等之對象物。
本發明之目的是提供一種裝置前自動倉庫，用來彈性地因應目前多樣之生產體制。
為解決上述問題，本案發明之裝置前自動倉庫，係配置在產業裝置之裝載卸載器之上方，用來保持對上述產業裝置搬入或搬出之對象物，具備有：棚，具有：棚板，該棚板係在鉛直方向，和與鉛直方向垂直交叉之左右方向，及與鉛直方向和左右方向之任一方向均垂直交叉之前後方向，分別配置複數個；及通路，在被配置於左右方向之上述棚板之間，用來使對象物通過；和移載裝置，用來將上述棚之任一上述棚板所載置之對象物移載到其他之上述棚板：上述移載裝置具備有：保持手段，用來將上述對象物保持成為可裝卸；前後軌道，在前後方向延伸，與上述保持手段連接成可在前後方向滑動；左右軌道，在左右方向延伸，與上述前後軌道連接成可在左右方向滑動；和鉛直軌道，在鉛直方向延伸，與上述前後軌道連接成可在鉛直方向滑動。
利用此種方式，在產業裝置之裝載卸載器之上方空間，可以保管更多之對象物，可以儘可能地不佔用工廠全體之有效空間，可以彈性地因應多樣之生產體制。
另外，亦可以使至少一部分之上述棚板更被配置成與被載置在裝載卸載器之對象物相同高度而載置對象物。
利用此種方式，可以在裝載卸載器之附近保管更多之對象物，有助於產業裝置之生產效率之提高。
亦可以使上述移載裝置更在上述前後軌道前側具備有讀取裝置，用來讀取對象物所具備之識別資訊；上述裝置前自動倉庫更具備有控制部，在讀取對象物之識別資訊時，用來進行使上述保持手段移動到上述前後軌道前側之控制。
利用此種方式，在保持手段不需要設置讀取裝置，在對前後軌道滑動之保持手段不需要佈線，所以可以使裝置之構造單純化。
另外，除具有單純的裝置構造，亦可以確實地讀取對象物之識別資訊。
依照本案之發明時，可以儘可能地不佔用工廠全體之有效空間，可以在產業裝置之附近保管更多之對象物，可以有助於生產效率之提高。
其次，參照圖式用來說明本案之發明之實施形態。
圖1是立體圖，用來一起表示裝置前自動倉庫之全體和產業裝置等。
圖2是立體圖，用來一起表示蓋子拆卸之裝置前自動倉庫和產業裝置等。
如該等之圖所示，裝置前自動倉庫100係被配置在產業裝置200之裝載卸載器201之上方，成為用來保持對產業裝置200搬入或搬出之對象物202之倉庫，裝置前自動倉庫100所具備之移載裝置110係在半導體製造裝置等之產業裝置200之前側，並具備有：保持手段105，用來將對象物202保持成為可裝卸；前後軌道109，在前後方向延伸，與保持手段105連接成可在前後方向滑動；左右軌道120，在左右方向延伸，與前後軌道109連接成可在左右方向滑動；和鉛直軌道103，在鉛直方向延伸，與前後軌道109連接成可在鉛直方向滑動。裝置前自動倉庫100所具備之棚300具備有：棚板301，分別在鉛直方向、左右方向、前後方向配置有複數個；和通路，用來使對象物通過被配置在左右方向之棚板301之間。
支柱101被配置在棚300之前側，成為被配置在鉛直方向延伸之柱。在本實施形態之情況時，以比產業裝置200之寬度稍寬之間隔配置，且配置成由2根之支柱101所作成之平面與裝置之前面呈平行。
左右軌道120是在左右方向延伸，與前後軌道109連接成可在左右方向滑動之構件。在本實施形態之情況時，裝置前自動倉庫100係使左右軌道120在鉛直方向具備有2根，而上下之左右軌道120其功能與配置並不同。另外，左右軌道120經由鉛直軌道103形成與前後軌道109連接。
上方之左右軌道120被配置成在水平方向延伸，成為以架橋狀安裝在2根支柱101上部之前面側之構件。在上方之左右軌道120之內部，設有無端皮帶用來在水平方向驅動鉛直軌道103。
下方之左右軌道120被配置在2根之支柱101假想形成之平面內，配置在鉛直軌道103之下方，以兩端部分別突出到支柱101之下部之狀態，對2根之支柱101安裝成為架橋狀。另外，下方之左右軌道120與鉛直軌道103連接成可滑動。亦即，下方之左右軌道120和鉛直軌道103配置在同一平面內，鉛直軌道103成為在上述平面內移動。
另外，下方之左右軌道120和鉛直軌道103係經由滑輪箱131連接。滑輪箱131和鉛直軌道103被固定，一起在下方之左右軌道120之延伸方向移動。另外，在滑輪箱131之剛性不足之情況等，亦可以回避滑輪箱131，同時設置支架等用來連接下方之左右軌道120和鉛直軌道103。
鉛直軌道103係在鉛直方向延伸配置並且配置在包含有2根之支柱101之平面內，成為可以與上方之左右軌道120側面連接成可滑動之構件。鉛直軌道103和上方之左右軌道120係配置成在前後方向重疊。
圖3A、圖3B是俯視圖，均用來表示從側面看保持手段之移動狀態。
如該等之圖所示，前後軌道109在前後方向(該圖中之箭頭方向)延伸，成為與保持手段105連接成可以在前後方向滑動之構件。
在本實施形態之情況時，前後軌道109安裝成朝向後方(該圖中之右方)從鉛直軌道103突出，與鉛直軌道103之側面連接成可滑動。另外，在前後軌道109之內部設有無端皮帶用來在水平方向驅動保持手段105。
另外，在前後軌道109之前側安裝有讀取裝置140，用來讀取對象物202所具備之識別資訊。在本實施形態之情況時，讀取裝置140為非接觸之RF讀取器，可以以無線讀取對象物202所具備之IC標籤。另外，讀取裝置140可以採用條碼讀取器等任意資訊讀取裝置，用來讀取被設在對象物202之條碼。
保持手段105是用以將對象物202保持成為可裝卸之裝置，如圖3A、圖3B所示，成為被前後軌道109導引，可以在前後方向驅動之裝置。
在本實施形態之情況時，對象物202在上部設有保持用之突緣203，保持手段105具備有爪部，經由在水平方向移動可以插脫突緣203，在突緣203被插入之狀態，與突緣203之下面接合可以用來將對象物202上舉。
另外，保持手段105亦可以具備有夾持對象物202用之包夾機構，和用來驅動該包夾機構之驅動手段。
左右驅動手段107是用來水平驅動被安裝在上方之左右軌道120端部之鉛直軌道103之裝置。在本實施形態之情況時，左右驅動手段107驅動上方之左右軌道120所具備之無端皮帶，使其在順方向或逆方向傳送，連接到該無端皮帶之鉛直軌道103被上方之左右軌道120或下方之左右軌道120導引同時在水平方向移動。左右驅動手段107可以採用例如伺服馬達等。
另外，在本實施形態之情況時，在下方之左右軌道120未安裝有左右驅動手段107。亦即，用來使移載裝置110之前側之下部空間變大。因此，只要不會對下部空間造成影響，亦可以安裝小型之驅動裝置。
鉛直驅動手段108被安裝在鉛直軌道103之上端部側方，成為在鉛直方向驅動保持手段105之裝置。在本實施形態之情況時，鉛直驅動手段108與上方之左右軌道120同樣地，驅動鉛直軌道103所具備之無端皮帶，使其在順方向或逆方向傳送，連接到該無端皮帶之保持手段105被鉛直軌道103導引同時在水平方向移動。鉛直驅動手段108可以採用例如伺服馬達等。
在本實施形態之情況時，上方之左右軌道120被配置在鉛直驅動手段108之下方，當鉛直軌道103和鉛直驅動手段108一起移動時，上方之左右軌道120和鉛直驅動手段108亦不會互相干涉。
前後驅動手段111安裝在前後軌道109之前側，成為在前後方向驅動保持手段105之裝置。在本實施形態之情況時，前後驅動手段111係與上方之左右軌道120同樣地，驅動前後軌道109所具備之無端皮帶，使其在順方向或逆方向傳送，連接到該無端皮帶之保持手段105被前後軌道109導引同時在前後方向移動。前後驅動手段111可以採用例如伺服馬達等。
蓋子106在移載裝置110之動作時，成為用來隔絕人和移載裝置110之壁，被配置在2根之支柱101之前側，而成為用以覆蓋在保持手段105之可動區域全體區域之蓋子。另外，蓋子106以覆蓋在上方之左右軌道120之方式膨出到前側，為具備有沿著上方之左右軌道120之膨出部161之板狀構件。在本實施形態之情況時，蓋子106在膨出部161之下方設有3個門162，經由將該門162打開可以對移載裝置110或裝載卸載器201進行存取。
圖4是將移載裝置省略表示棚300之立體圖。
棚300被配置在裝載卸載器201之上方和前方，成為所謂之裝置前緩衝區，用來暫時保管自高架行走車等所接受之對象物202，和對高架行走車等暫時保管並取放對象物202。
在本實施形態之情況，棚300在棚300之後部具備有在鉛直方向為3片，在左右方向為3片合計9片之棚板301，在棚300之全部分別在左右具備有配置在鉛直方向之3片棚板301。另外，棚300在與被載置於裝載卸載器201之對象物202相同高度可載置對象物202之位置，亦具備有棚板301。另外，被配置在裝載卸載器201之前側大致相同高度之棚板301，由從支柱101延伸之保持構件311保持。
另外，棚300具備有在棚板301之間於上下方向延伸之通路(該圖中之箭頭)，構成為使對象物202在棚300之內方且於鉛直方向和左右方向移動。在本實施形態之情況，在棚300全部之中央未配置有棚板301，所以不只是鉛直方向或左右方向，亦可以使對象物202在傾斜方向移動。
裝載卸載器201是對產業裝置200搬入被收容在對象物202之基板等，或搬出處理後之基板等，將其收容在對象物202之裝置。在本實施形態之情況時，裝載卸載器201具有作為暫時保管對象物202之棚300之功能。
圖5係表示裝置前自動倉庫之功能構造和機構部之模式圖。
如該圖所示，裝置前自動倉庫100具備有控制部141。
控制部141係與左右驅動手段107或鉛直驅動手段108、前後驅動手段111連接，個別地(亦可以同時地)控制該等，經由決定保持手段105之鉛直方向之位置、左右方向之位置、前後方向之位置，用來將對象物202從一個棚板301移載到其他之棚板301。
控制部141在讀取對象物202之識別資訊時，如圖3A、圖3B所示，控制前後驅動手段111，進行使保持手段105移動到前後軌道109前側之控制。然後，從讀取裝置140取得移動到近前側之對象物202所具備之識別資訊、或其他資訊，用來進行對象物202之管理。
依照以上之裝置前自動倉庫100時，經由利用產業裝置200之裝載卸載器201之前方空間或上方空間，可以在產業裝置200之附近保管很多之對象物202。另外，因為移載對象物202之路徑全部在棚300之內方，所以不需要確保移載用之新的空間。因此，不會大幅佔用工廠內之有效空間，可以保管很多之對象物，可以具有作為產業裝置200之緩衝器之功能。
另外，因為裝載卸載器201在與載置對象物202之皮帶相同之皮帶具備有棚板301，所可以最近之路徑從裝載卸載器201搬出對象物202，或將對象物202搬入到裝載卸載器201。因此，有助於產業裝置200之生產效率之提高。
另外，使保持手段105所保持之對象物202移動到前方，經由進行讀取上方之控制，可以使佈線簡化，可以抑制纜線和保持手段105之互相干涉之問題之發生。
另外，本案之發明並不只限於上述之實施形態。例如，保持手段105不只可以接合在設於對象物202之上部之突緣203，以吊下狀態移送對象物202，亦可成為以爪插入並上舉到對象物202下部的方式之保持手段105。另外，棚300所示者是可以以縱3段橫3列載置對象物202者，但是本實施形態所示之裝載卸載器201亦可以成為載置對象物202者，裝載卸載器201亦構成棚300之一部分。另外，所示之構造是左右軌道120經由鉛直軌道103形成與前後軌道109連接，但是亦可以使左右軌道120和前後軌道109直接連接，鉛直軌道103經由左右軌道120形成與前後軌道109連接。
另外，亦可以將本說明書所記載之構成元件任意地組合，使所實現之其他實施形態作為本案之發明之實施形態。對於上述之實施形態，在不脫離本案發明之主旨，亦即在不脫離申請專利範圍所記載之文句所示之意思之範圍，可以施加業者所想到之各種變化，所獲得之變化例亦被包含在本案之發明。
另外，「鉛直」、「平面」、「平行」或「垂直」等文句意思之使用，容許在不脫離本案之主旨之程度之誤差。
(產業上之可利用性)
本案之發明可適用在用來暫時保管半導體製造裝置等之產業裝置之附近之對象物之緩衝器。
100．．．裝置前自動倉庫
101．．．支柱
103．．．鉛直軌道
105．．．保持手段
106‧‧‧蓋子
107‧‧‧左右驅動手段
108‧‧‧鉛直驅動手段
109‧‧‧前後軌道
110‧‧‧移載裝置
111‧‧‧前後驅動手段
120‧‧‧左右軌道
131‧‧‧滑輪箱
140‧‧‧讀取裝置
141‧‧‧控制部
161‧‧‧膨出部
162‧‧‧門
200‧‧‧產業裝置
201‧‧‧裝載卸載器
202‧‧‧對象物
203‧‧‧突緣
300‧‧‧棚
301‧‧‧棚板
311‧‧‧保持構件
圖1是立體圖，用來一起表示裝置前自動倉庫之全體和產業裝置等。
圖2是立體圖，用來一起表示將蓋子拆卸之裝置前自動倉庫和產業裝置等。
圖3A是俯視圖，用來表示從側面看之保持手段之移動狀態。
圖3B是俯視圖，用來表示從側面看之保持手段之移動狀態。
圖4是立體圖，用來表示將移載裝置省略之棚300。
圖5係用來一起表示裝置前自動倉庫之功能構造和機構部之模式圖。
100．．．裝置前自動倉庫
101．．．支柱
103．．．鉛直軌道
105．．．保持手段
107．．．左右驅動手段
108．．．鉛直驅動手段
109．．．前後軌道
111．．．前後驅動手段
120．．．左右軌道
131．．．滑輪箱
200．．．產業裝置
201．．．裝載卸載器
202．．．對象物
203．．．突緣
300．．．棚
301．．．棚板

Claims (4)

  1. 一種裝置前自動倉庫，係配置在產業裝置之裝載卸載器之上方，用來保持對上述產業裝置搬入或搬出之對象物，其具備有：棚，具有：棚板，該棚板係在鉛直方向，和與鉛直方向垂直交叉之左右方向，及與鉛直方向和左右方向之任一方向均垂直交叉之前後方向，分別配置複數個；及通路，被配置於左右方向之上述棚板之間用來使對象物通過；移載裝置，被配置在上述棚之前側，用來將上述棚之任一上述棚板所載置之對象物移載到其他之上述棚板：上述移載裝置具備有：保持手段，用來將上述對象物保持成為可裝卸；前後軌道，在前後方向延伸，與上述保持手段連接成可在前後方向滑動；左右軌道，在左右方向延伸，與上述前後軌道連接成可在左右方向滑動；和鉛直軌道，在鉛直方向延伸，與上述前後軌道連接成可在鉛直方向滑動。
  2. 如申請專利範圍第1項之裝置前自動倉庫，其中，至少一部分之上述棚板更被配置成在與被載置在裝載卸載器之對象物相同高度，於裝載卸載器之前側載置對象物。
  3. 如申請專利範圍第1項之裝置前自動倉庫，其中，上述 移載裝置更在上述前後軌道前側具備有讀取裝置，用來讀取對象物所包含之識別資訊；上述裝置前自動倉庫更具備有控制部，在讀取對象物之識別資訊時，用來進行使上述保持手段移動到上述前後軌道前側之控制。
  4. 一種識別資訊讀取方法，係適用在裝置前自動倉庫之對象物之識別資訊讀取方法，該裝置前自動倉庫係被配置在產業裝置之裝載卸載器上方，用來保持對上述產業裝置搬入或搬出之上述對象物；上述裝置前自動倉庫具備有：棚，具有：棚板，該棚板係在鉛直方向、左右方向、及前後方向，分別配置複數個；及通路，被配置於左右方向之上述棚板之間用來使對象物通過；移載裝置，被配置在上述棚之前側，用來將上述棚之任一上述棚板所載置之對象物移載到其他上述棚板：上述移載裝置具備有：保持手段，用來將上述對象物保持成為可裝卸；前後軌道，在前後方向延伸，與上述保持手段連接成可在前後方向滑動；左右軌道，在左右方向延伸，與上述前後軌道連接成可在左右方向滑動；鉛直軌道，在鉛直方向延伸，與上述前後軌道連接成可在鉛直方向滑動；和讀取裝置，被配置在上述前後軌道之前側，用來讀取對象物所包含之識別 資訊；該識別資訊讀取方法，可使上述對象物保持在上述保持手段，使上述保持手段移動到上述前後軌道之前側，並以上述讀取裝置讀取上述對象物之識別資訊。
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