TWI454690B - 用於顯像物體之系統與方法 - Google Patents
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Description
本申請案聲請以色列專利申請案第175455號(申請日:2006年5月7日)的優先權。
本發明係有關用於檢驗物件(例如,電氣組件)的系統與方法,尤其是小型電氣組件,例如(但不受限於)電容器。
外觀為藉由拿參考影像與受驗物件做比較來完成的檢驗方法之一。就一兩面的顯像(例如,晶圓或刷電路板)而言,由特定視角或仰視來取得影像做檢驗是簡單的工作。
至於六面物件,程度則較為複雜。有許多產品需要做這種檢驗而且有些產品很小或數量很多。例如,用於生產微型電子裝置的電氣組件(陶瓷電容器、晶片及電阻器)就需要全面檢驗,使用自動光學檢驗系統可識別範圍廣泛的缺陷,例如尺寸測量、陶瓷缺陷、以及終端缺陷。
在美國專利第US 4912318號“供小瓶用之檢驗設備”和第US 4219269號“外觀檢驗系統”(兩者均頒發給Kajiura等人)中有揭示使用物件全部側面之顯像的系統,然而這些系統有一些缺點。
亟須有效的系統與方法供用於檢驗物件。
一種用於擷取電氣組件之多個影像的系統,該系統包含:第一顯像器,其係經設計成可得到多個位於第一顯像區之電氣組件的頂面影像和兩側影像;其中該等電氣組件均小而長;以及,橫向轉移器(lateral transferor),其係經設計成可以橫向方式轉移數個電氣組件至該第一顯像區,其中該橫向轉移器係利用氣體壓差(gas pressure differential)。
一種用於擷取電氣組件之多個影像的方法,該方法包含:橫向轉移數個電氣組件至第一顯像區,其中該橫向轉移係包含利用氣體壓差;其中該等電氣組件均小而長;以及,擷取數個位於該第一顯像區之電氣組件的頂面影像與兩側影像。
一種用於擷取物件之多個影像的系統,該系統包含:第一顯像器,其係設計成可得到數個位於第一顯像區之物件的頂面影像與兩側影像;以及,橫向轉移器,其係經設計成可以橫向方式將數個物件轉移至該第一顯像區;以及,縱向轉移器(longitudinal transferor),其係經設計成可以縱向方式將數個物件轉移至第二顯像區。
一種用於顯像六面物件的系統,該系統包含:翻轉單元(flip-rotate unit),其係經設計成在位於第一顯像區、第二顯像區之間的預定點可翻面及旋轉每一個物件;至少一軌道,數個物件可傳送通過該至少一軌道;第一顯像器,其係位於該第一顯像區上方,該第一顯像器係經設計成:在輸送物件通過該第一顯像區時,可顯像物件的頂面與兩個側面;以及,第二顯像器,其係位於第二顯像區上方,該第二顯像器係經設計成:在輸送物件通過該第二顯像區時,可顯像物件不被該第一顯像器顯像的其他表面;其中該物件的側面都藉由照明位於該第一及第二顯像區的傾斜反射鏡來顯像。
一種用於擷取物件之多個影像的方法,該方法包含:橫向轉移數個物件至第一顯像區;擷取處於該第一顯像區之物件的頂面影像與兩側影像;以及,用縱向組件轉移器縱向轉移數個物件至第二顯像區。
一種用於顯像六面物件的方法,該方法包含:在輸送物件通過該第一顯像區時,用位於第一顯像區上方的第一顯像器顯像物件的頂面與兩個側面;其中該顯像包含:照明位於第一顯像區及第二顯像區的傾斜反射鏡;在位於該第一顯像區、該第二顯像區之間的預定點處,翻面及旋轉每一個物件;以及,在輸送物件通過該第二顯像區時,用位於該第二顯像區上方的第二顯像器顯像該物件未被該第一顯像器顯像的其他表面。
在此參考附圖以實例說明本發明。此時細節會特別參考附圖檢說明,在此要強調的是,圖中的細節都僅供舉例說明而且其目的是圖解說明本發明的各種具體實施例。
第1圖係根據本發明之一具體實施例圖示顯像物體系統的一部份;第2圖的橫截面圖係根據本發明之一具體實施例圖示系統在第一顯像區及第二顯像區的部份;第3圖更詳細的橫截面圖係根據本發明之一具體實施例圖示系統在第一顯像區的部份;第4A圖的三維視圖係根據本發明之一具體實施例圖示出軌道、傾斜反射鏡、物件、路徑折疊光件(path folding optics)及透鏡;第4B圖的三維視圖係根據本發明之一具體實施例圖示系統的5個部份;第5A圖的三維視圖係根據本發明之一具體實施例圖示該系統的一部份;第5B圖的三維視圖係根據本發明之一具體實施例圖示5條軌道、5個物件以及多個透明立方體;第6A圖係根據本發明之一具體實施例圖示6條軌道、6個物件、7個透明立方體、以及六對傾斜反射鏡;第6B圖係根據本發明之一具體實施例圖示6條軌道、6個物件、7個透明元件、以及六對傾斜反射鏡;第6C圖係根據本發明之一具體實施例圖示12個透明元件及位於第一顯像區外面的透明元件托架;第6D圖係根據本發明之一具體實施例圖示6條軌道、6個物件、7個透明元件、6個上透明元件、以及六對傾斜反射鏡;第6E圖的橫截面圖係根據本發明之一具體實施例圖示系統沿著第一顯像區繪出的部份;第7圖係根據本發明之一具體實施例圖示用有多個方向之光線照明物件的情形;第8圖係根據本發明之一具體實施例圖示照明單元;第9圖係根據本發明之一具體實施例圖示轉移單元(transferring element)、吸入元件(suction element)、組件導管、以及一些物件;第10圖係根據本發明之一具體實施例圖示轉移單元、吸入元件、組件導管、以及一些物件;第11A圖係根據本發明另一具體實施例圖示物件提供元件(object providing element)的上視圖;第11B圖係根據本發明另一具體實施例圖示物件提供元件、吸入單元及轉移單元的側視圖;第12圖係根據本發明另一具體實施例圖示容器與組件導管;第13A圖係根據本發明之一具體實施例圖示橫向轉移器的上視圖;第13B圖係根據本發明之一具體實施例圖示縱向轉移器的上視圖;第13C圖係根據本發明之一具體實施例圖示縱向轉移器、轉動單元及橫向轉移器的側視圖;第14A圖係根據本發明之一具體實施例圖示橫向轉移器的上視圖;第14B圖係根據本發明另一具體實施例圖示縱向轉移器的上視圖;第15圖係圖示本發明另一具體實施例的系統;第16圖係根據本發明之一具體實施例圖示一段分選單元(sorting unit);第17圖的流程圖係根據本發明之一具體實施例圖示用於擷取物件之多個影像的方法;第18圖的流程圖係根據本發明之一具體實施例圖示用於擷取物件之多個影像的方法;第19圖的流程圖係根據本發明之一具體實施例圖示用於顯像六面物件之方法;第20A圖至第20C圖係根據本發明的各種具體實施例圖示系統的部份99;以及,第21圖係根據本發明之一具體實施例圖示轉動元件101。
取得一物件之多個側面的影像,例如電氣組件,特別是小而長的電氣組件。該小而長之電氣組件的長度通常不會超過數毫米。以下的說明會參考此類物件。應注意,這些物件通常為小而長的電氣組件,彼等隨後會形成電路(例如,PCB)的一部份。
取得物件的多個側面(或表面)的影像,然後處理該等影像以判斷例如該等物件的功能性。便於藉由照明物件的多個側面且顯像該等側面來取得許多物件的影像。
要達成以高通量取得小而長之電氣組件的側面影像可藉由橫向轉移小而長的電氣組件且使用氣致轉移(gas induced transfer)來減少在檢驗及轉移時段損壞小而長之電氣組件的機會。
第1圖係根據本發明之一具體實施例圖示顯像物體系統的一部份10。
該系統包含多條軌道11,各條軌道包含一對軌道壁13。首先,在軌道壁13之間縱向轉移物件14直到到達轉動單元(也被稱作翻轉單元)16。轉動單元16改變物件14的方位係藉由使物件14繞著物件14縱軸轉180度再繞著物件14垂直軸轉90度。應注意,藉由左右轉(yaw)、前後倒(pitch)以及左右倒(roll)的其他組合可得到相同的轉動效果。更應注意,有些轉動的具體實作可藉由從軌道側面饋入(或移除)物件、藉由提供該等物件給完全迴轉(loop)或迴轉部份的導管、及其類似者。
在轉動單元16之後,使物件14在軌道壁13之間橫向轉移直到軌道12的末端。通常,軌道13接著是根據物件之功能性來分選物件的分選單元。
物件14的輸送可用一或更多輸送帶,用一或更多向轉動單元16移動的轉移單元、及其類似物。部份軌道以及以縱向方式轉移物件的任何輸送器或支撐構件也被稱作縱向轉移器。該縱向轉移器係使物件沿著與物件之縱軸大體平行的轉移軸線轉移。第1圖圖示在轉動單元16之前的多條平行軌道和多條平行軌道壁,這些可稱為縱向轉移器區段。
部份軌道以及以橫向方式轉移物件的任何輸送器或轉移組件也被稱作橫向轉移器。該橫向轉移器係使物件沿著與物件之縱軸大體垂直的轉移軸線轉移。第1圖圖示在轉動單元16之後的多條平行軌道和多條平行軌道壁,這些可稱為橫向轉移器區段。
第1圖也圖示導引光線至第一及第二顯像感測器(未圖示)的第一及第二透鏡17、18。應注意,第1圖圖示的是線型感測器(line sensor),但是也可使用其他的顯像感測器,例如二維面積顯像感測器。通常面積顯像感測器可同時擷取多個排成二維陣列之物件的影像,而線型顯像感測器(line imaging sensor)是掃描物件。因此,面積顯像感測器是用於脈衝照明及/或用於多個物件在影像擷取期間保持不動的時候。線型顯像感測器可用於持續移動的物件。
透鏡17及第一顯像感測器19(在第2圖)都在第一顯像區上方。第一顯像區內的軌道壁包含兩個位於物件14兩邊的傾斜反射鏡(或稄鏡)。該等傾斜反射鏡的方向便於改為45度且由物件側面導引光線至透鏡17,然後導引至第一顯像感測器。因此,第一顯像感測器可擷取物件14的頂面影像和兩側影像。如果物件有六面,則第一顯像感測器可取得頂面和兩個與物件縱軸平行之側面的影像。
透鏡18及第二顯像感測器20(在第2圖中)都在第二顯像區上方。第二顯像區內的軌道壁包含兩個位於物件14兩邊的傾斜反射鏡(或稄鏡)。該等傾斜反射鏡的方向便於改為45度且由物件14的其他側面導引光線至透鏡18,然後導引至第二顯像感測器。因此,第二顯像感測器可擷取物件14的底面影像以及其他兩個側面的影像。如果物件有六面,則第二顯像感測器可取得底面和其他兩個與物件縱軸垂直之側面的影像。
應注意,第一顯像感測器與第二顯像感測器可包含線型攝影機、面積感測器(area sensor)、或兩者之組合。可使用連續或脈衝照明以及多方向照明來照明物件。
第2圖的橫截面圖8與9係根據本發明之一具體實施例圖示第一顯像區、第二顯像區的部份10。
N1 8為第一顯像區的橫截面圖,而N2 9為第二顯像區的橫截面圖。
N1圖示在包含傾斜反射鏡22、23(兩個都斜45度)的軌道壁13之間通過的物件14。透視圖14a圖示樣品物件的6個表面:A、B、C、D、E、F。表面A稱作物件14的頂面,表面B稱作物件14底面,表面C及D稱作物件14的側面,而表面E及F稱作物件14的其他側面。應注意,上述定義會用於下文,即使物件14的方位改變。例如,頂面A會被稱作頂面,即使物件14被翻轉、旋轉或以其他方式定位使得表面A不一定朝上。
應注意,本文是以立體形狀的物件14為例,而且本發明系統及方法不受限於檢驗有立體形狀的物件而是設計成可檢驗三維物件,例如有各種形狀的電氣組件,特別是小而長的電氣組件。這些電氣組件可包含小型的電容器,但不一定如此。
在第一顯像區,取得頂面A及側面C、D的影像。傾斜反射鏡22反射側面C的影像,傾斜反射鏡23反射側面D的影像。直接反射表面A的影像至透鏡17,然後到第一顯像感測器19。
用有透鏡17在前面的第一顯像感測器19取得三個表面影像14b。第一顯像感測器19可一次擷取這三個表面影像14b。
由於由頂面A反射的光線是通過頂面集光路徑(它的光程(optical length)與側面C、D反射光所通過之側面集光路徑的光程不同),所以部份10包含焦距調整器(focus adjuster)26用來補償光程差(optical path difference)。焦距調整器(也稱作光程調整光件(path length adjustment optics))可實質加長頂面集光路徑的光程及/或實質縮短側面集光路徑的光程。實質上的縮短可包含:使光線通過減速透鏡(retarding lens)或折射率比氣體高的其他光學組件。例如,把減速透鏡放在傾斜反射鏡22、23上方會實質縮短與傾斜反射鏡相關連之側面集光路徑的光程。
應注意,雖然第2圖圖示以垂直或水平方式傳播的光線(虛線),熟諳此藝者會明白該系統也可由在其他方向傳播的光線產生影像。
焦距調整器26可包含路徑折疊反射鏡(path folding mirror)26a、26b(如第4圖所示)。第一反射鏡26a係經配置成與物件的頂面有角度以便將物件之頂面的影像反射至第二反射鏡26b。接著,使第二反射鏡26b的配置及角度能經由透鏡17把物件之頂面的影像由第一反射鏡26a反射至第一顯像感測器19。改變反射鏡26a、26b之間的距離可決定頂面集光路徑之光程的加長程度。
N2為部份10在第二顯像區的橫截面圖。物件15在被翻轉及旋轉後到達第二顯像區。物件15在包含兩個傾斜反射鏡24、25的軌道壁13之間通過。物件的透視圖15a係圖示朝上的底面B和面對傾斜反射鏡24、25的其他側面F、E,這3個側面是用第二顯像器20顯像。其他側面F用傾斜反射鏡24反射,而其他側面E是用傾斜反射鏡25反射。第二顯像感測器20的前面是透鏡18且可擷取包含3個側面F、B、E的影像15b。在此區域中,添加焦距調整器27的目的也跟第一顯像區的一樣。
可便利處理影像14b(在第一顯像區擷取的)和影像15b(在第二顯像區擷取的),甚至予以組合以得到包含物件全部6個表面的單一影像。
第3圖係根據本發明之一具體實施例更詳細地繪出部份10在第一顯像區的橫截面圖。第4A圖的三維視圖係根據本發明之一具體實施例圖示系統包含軌道13、傾斜反射鏡22、23、物件14、路徑折疊光件26及透鏡17的部份41。第4B圖係根據本發明之一具體實施例圖示5個部份41-45的三維視圖。
第3圖,第4A圖及第4B圖更詳細地把焦距調整器26圖示成包含兩個加長頂面集光路徑之光程的路徑折疊反射鏡26a、26b。物件之頂面的影像被向上反射(用虛線箭頭21d表示)至第一反射鏡26a,然後反射至第二反射鏡26b(用虛線箭頭21c表示),最後向上反射至透鏡17(用虛線箭頭21b表示)及第一顯像感測器19(用虛線箭頭21a表示)。箭頭21c表示頂面集光路徑(包含區段21d、21c、21b及21a)之光程的加長程度。
該等側面集光路徑包含跨越物件14側面和傾斜反射鏡的第一區段(未圖示)、由傾斜反射鏡至透鏡17的第二區段(用虛線箭頭21e表示)、以及由透鏡17(用虛線箭頭21a表示)至第一顯像光件19的第三區段。
可便利地改變反射鏡26a、26b之間的距離,從而改變頂面集光路徑的光程。
第3圖、第4A圖及第4B圖圖示由於在反射鏡26a、26b之間有水平移動,物件14的側面影像對於物件14的頂面影像會有空間偏移。因此,影像14b、15b顯示物件14的頂面影像稍微領先側面影像。
應注意,第3圖、第4A圖及第4B圖圖示加長頂面集光路徑之光程的光程調整光件(也稱作焦距調整器),而第5A圖至第6C圖是圖示實質縮短側面集光路徑之光程的光程調整光件。
顯像系統可便利地實質加長頂面集光路徑之光程和實質縮短側面集光路徑之光程兩者。
實現縮短便於在側面集光路徑中安置透明物件(例如,減速透鏡或稄鏡)於傾斜反射鏡22、23與透鏡17之間以及於傾斜反射鏡24、25之間與透鏡18之間。
第5A圖係根據本發明之一具體實施例圖示部份41'的三維視圖。第5B圖係根據本發明之一具體實施例圖示5條軌道13(1)-13(5)、5個物件、以及多個透明立方體29(1)-29(6)的三維視圖。
透明立方體29(1)-29(6)會實質縮短側面集光路徑的光程。
第6A圖係根據本發明之一具體實施例繪出部份10在第一顯像區的橫截面圖。
第6A圖係根據本發明之一具體實施例圖示6條軌道13(1)-13(6)、6個物件14(1)-14(6)、7個透明立方體29(1)-29(7)、以及六對傾斜反射鏡{22(1),23(1)}-{22(6),23(6)}。
便於在每一對相鄰傾斜反射鏡配置單一透明立方體。因此,透明立方體29(2)位於第一軌道13(1)的傾斜反射鏡23(1)和第二軌道13(2)的毗鄰傾斜反射鏡22(2)上方。
第6B圖係根據本發明之一具體實施例圖示6條軌道13(1)-13(6)、6個物件14(1)-14(6)、7個透明元件30(1)-30(7)、以及六對傾斜反射鏡{22(1),23(1)}-{22(6),23(6)}。
7個透明物件30(1)-30(7)的形狀製作成可與該等傾斜反射鏡相接觸。
當一對毗鄰傾斜反射鏡形成一個三角形時,各個透明元件有界定可套上該三角形之倒V形溝槽的底部部份。例如,第6B圖的透明元件30(2)是界定可套上由傾斜反射鏡23(1)與22(2)界定之三角形的倒V形溝槽。
第6C圖係根據本發明之一具體實施例圖示12個透明元件30(1)-30(12)和位於第一顯像區外面的透明元件托架31。
便於用氣體流、真空、氣體脈衝及其類似者的組合來控制物件的轉移。數個物件14可在包含透明上半部或至少在第一及第二顯像區呈透明之上半部的各種導管內轉移。
第6D圖係根據本發明之一具體實施例圖示6條軌道13(1)-13(6)、6個物件14(1)-14(6)、7個透明元件30'(1)-30'(7)、6個上透明元件32(1)-32(6)、以及六對傾斜反射鏡{22(1),23(1)}-{22(6),23(6)}。
6個上透明元件32(1)-32(6)中之每一個均連接至30'(1)-30'(7)中之兩個透明物件且位於受驗物件的上方。因此,物件14(1)-14(6)被透明元件包圍而可界定可導入預定氣壓(包括真空壓力)的密閉導管。7個透明物件30'(1)-30'(7)的形成製作成可與該等傾斜反射鏡相接觸。這7個透明物件與透明物件30(1)-30(7)相似,但是寬度比上透明元件的長。
第6E圖係根據本發明之一具體實施例圖示部份10在第一顯像區的橫截面圖。根據此一具體實施例,用包含相互連接之上透明部份34(2)(與元件32(2)等價)和兩個側面透明部份35(2)、36(2)(與30(2)、30(3)等價)的透明元件33(2)包圍物件14。第6E圖也圖示該等透明元件的各種表面37之紋理係經製作成可散射導向物件14的光線。這些表面便於位在頂面及側面集光路徑的外面以免扭曲物件14的影像。
第7圖係根據本發明之一具體實施例圖示用有多個方向的光線照明物件14的情形。
第7圖圖示以非法線方向照明物件14的光線50(1)-50(5)。
第8圖係根據本發明之一具體實施例圖示照明單元70。
照明單元70以包含上角度範圍91、右角度範圍92及左角度範圍93的三種角度範圍照明物件14。便於用上光纖71、右光纖72、左光纖73使光線指向物件。右光纖72接著是透鏡82,而左光纖73接著是透鏡83。上光纖71接著是把光由上光纖71導引至透鏡17的分光鏡(beam splitter)80。
應注意,照明單元70可改變照明物件14的方式。這種改變可包括:改變導向物件14之光線的波長、極化、強度。應注意,並非所有光纖都要同時照明物件。更應注意,可使用其他的照明單元,包括球形照明、環形照明、及其類似者。可用脈衝式及/或連續式照明。
第9圖係根據本發明之一具體實施例圖示轉移單元220、吸入元件224、組件導管210、以及若干物件202、202'。
轉移單元220在裝載區(例如,第13a圖的第一裝載區230)接收物件。物件沿著組件導管210縱向傳送直到開口212。開口212之前呈90度曲線且與轉移單元220垂直。應注意,可使用其他形狀的曲線(包括與90度曲線不同的曲線)。用配置在開口212對面的吸入元件224迫使物件離開組件導管210且置於轉移單元220上,且對每一個收到的物件施加一個真空脈衝。吸入係與轉移單元220的行進同步使得轉移單元的分區(partition)各接收一個物件。該等物件都置於轉移單元220上同時縱軸與沿著轉移單元220移動的轉移軸線垂直。應注意,第9圖係圖示離開開口212的物件202和另一已放在轉移單元220之分區上的物件202'。
轉移單元220可為輸送帶之一部份,它可包含多個分區,或可用基於機械、磁性或氣壓的構件使它移向第一顯像區240(以及離開第一顯像區240)。例如,轉移單元220相對輕,且藉由在橫向轉移器201(圖示於第13A圖至第15圖)內導入氣體壓差,可使它移向第一顯像區240且離開第一顯像區240。
根據本發明另一具體實施例,可將數個物件饋至轉移單元220同時由轉移單元220移除其他的物件。這可用以下方式完成:藉由在轉移單元220附近安置另一吸入元件和(物件接收器的)另一開口且使用氣體脈衝用來由轉移單元移除已顯像的物件。可將移除的物件送至轉動單元、另一顯像區、或分選單元。根據此一情形,在顯像時段結束後,轉移單元220向後移動(往組件導管210)而不向前(如第13A圖所示)。
根據本發明另一具體實施例,將數個物件饋至轉移單元220同時取得其他物件的影像。這可用,例如,使用多個轉移單元(例如,轉移單元220)、使用延伸通過裝載區、第一顯像區的長輸送帶、及其類似者來具體實作。
第10圖係根據本發明之一具體實施例圖示轉移單元220(1)-220(3)、吸入元件224(1)-224(3)、組件導管210(1)-210(3)、以及一些物件202、202'。
組件導管210(1)-210(3)均與轉移單元220(1)-220(3)垂直。物件在組件導管210(1)-210(3)內是縱向轉移。在供給至轉移單元220(1)-220(3)後,物件的轉移方式為橫向。氣體(特別是氣體壓差)可用來輸送在組件導管210(1)-210(3)內的物件。便於使物件在組件導管210(1)-210(3)內的縱向移動與物件在組件導管220(1)-220(3)內的橫向移動同步。
第11A圖係根據本發明另一具體實施例圖示物件提供元件80的上視圖。第11B圖係根據本發明另一具體實施例圖示物件提供元件80、吸入單元224及轉移單元220的側視圖。
物件提供元件80是放在多個轉移單元、容器之間。這為圖示於第10圖之組態的替代。
物件提供元件80有呈二維陣列的小孔(或通道)82。各個通道82的開口81可接收物件然後改變方向使得它可被底下的轉移單元220以橫向方式接收。旋轉及/或氣體脈衝(或紊流)可用來把物件導引至開口81。物件提供元件80可儲存多個堆疊物件於各個通道內,其中氣體脈衝選擇性地釋出每一個通道的單一物件。各個小孔橫列與單一橫向轉移器區段相對應。
第12圖係根據本發明另一具體實施例圖示容器92與組件導管210。
組件導管210由物件容器92接收物件。組件導管210可包含多個末端,例如介於物件容器92、組件導管210之間的第一末端(以組件出口91表示)、用於注射氣體脈衝的第二末端93、以及多個附加末端(每一個區段有一個)。該等末端用元件符號210(1)-210(8)表示。應注意,在物件容器、各個區段之間可安置數個有不同之1至N(N為區段數)分配機構,以便將由物件容器取得之物件分配至N個區段中之每一個。應注意,N可不等於8。
經由第二末端93注射的氣體脈衝99會產生紊流(用圓形虛箭頭99表示)而使得容易地由物件容器92提供物件。紊流加上通過物件容器92的第一及第二氣體入口95、96注射穩定氣體流可取代在容器92內振動物件的方式,或除了振動以外再加上這種方式。
第13A圖至第13C圖係根據本發明之一具體實施例圖示系統200。第13A圖為橫向轉移器201的上視圖,第13B圖為縱向轉移器203的上視圖,第13C圖為這兩種轉移器和轉動單元260的側視圖。
橫向轉移器201包含多個區段,各用於轉移一列物件。具體實作這種轉移可用能使轉移單元220由一位置轉移至另一個位置的機械、磁性、電子及/或氣致(gas induced)機構。例如,轉移單元220可掃描第一裝載區230以便接收物件。在裝上物件後,可使轉移單元220移動(以連續方式或以脈衝方式)至第一顯像區240。第一顯像區中的物件用第一顯像器242(可包含透鏡17、第一顯像感測器19)顯像。被顯像的物件在正被顯像時可移動,或大體保持在相同的位置。在第一顯像時段結束後,該等轉移單元將物件轉移至卸載區232,其中係將物件饋送至U形轉動單元260。可用與在第一裝載區230中提供物件給轉移單元220類似的方式來完成此一饋送。
轉動單元260係每一個橫向轉移器區段包含一U形導管。將轉好的物件饋送至縱向轉移器230,特別是饋送至以縱向方式支撐物件的轉移單元220'。轉移單元220'可包含多個分區,每一個縱向安置的物件用一個分區。
縱向轉移器203在第一延遲區270開始,其中係累積物件直到每一個縱向轉移器具有預定個數的物件。然後,將呈二維陣列的物件送至第二顯像區280,其中物件都用第二顯像器282顯像。第二顯像器282可包含透鏡18與第二顯像感測器20。第二顯像區280接著是第二延遲單元272然後接著是分選單元290。第二延遲單元272係延遲被顯像的物件同時讓系統的處理器205處理物件的影像、判定物件的功能性、以及致能分選單元290根據功能性來分選物件。
應注意,影像的處理可在第一顯像區240擷取影像後開始或可等到在第二顯像區280擷取影像後才開始。
在轉移單元220清空後,使用轉移單元返回單元可使它方便地返回到初始狀態(接收物件的地方)。如果轉移單元220為輸送帶之一部份,則該轉移單元返回單元本身為皮帶。如果轉移單元220不是循環單元的一部份,用各種方式可將任何一個由卸載區232送到裝載區230。可沿著與它在承載物件時一樣的路徑送至裝載區230,然而也可沿著其他的路徑行進。例如,轉移單元可落下通過橫向轉移器201的開口並且傳送通過位於橫向轉移器201下方的通道直到被吸上來(或以別的方式昇高)及/或被移到初始位置。這同樣適用於轉移單元220'。
根據本發明另一具體實施例,組件導管210掃描轉移單元220,從而使提供新的物件成為有可能,即使在轉移單元220大體呈靜止時。
第14A圖至第14B圖係根據本發明另一具體實施例圖示系統200'。第14A圖係根據本發明另一具體實施例圖示橫向轉移器201'的上視圖,而第14B圖為縱向轉移器203'的上視圖。系統200'與第13A圖至第13C圖中之系統200不同的地方在於:使用不同的裝載、卸載及轉動單元,第二顯像器是放在縱向轉移器203'下面、以及橫向轉移器201'與縱向轉移器203'的相對位置。
用與轉移單元220垂直的組件導管來饋送轉移單元220。卸載區232包含使物件繞著垂直軸轉90度的卸載單元。由於物件不沿著縱軸轉動,所以將第二顯像器放在縱向轉移器203'下方。
第15圖係根據本發明另一具體實施例圖示系統200”。第15圖係根據本發明另一具體實施例圖示橫向轉移器201”的上視圖。
系統200”包含橫向轉移器201”、分選單元290、以及處理器(未圖示),但不包含轉動單元260,因此能夠取得物件之頂面、底面及兩側面的影像。
第16圖係根據本發明之一具體實施例圖示分選單元290的區段290(1)。
由於該系統包含N個區段,各區段的結尾為分選單元290的區段。第16圖的分選單元區段290(1)係具體實作二元判定(binary decision):物件不是有功能就是無功能。應注意,可用類似方式把物件分選為兩種以上的類別。
區段290(1)便於包含單一輸入導管291(1)和兩個輸出導管292(1)、293(1)(第一個接收有功能的物件(通過功能性測試者),而第二個接收無功能的物件(不通過測試者)。氣體驅動元件294(1)在物件處於中間位置可接收它,且要麼可滑到右邊(藉由施加氣體脈衝)且將物件導引到輸出導管292(1),要麼滑到左邊(藉由施加另一氣體脈衝)且將物件導引到輸出導管293(1)。氣體驅動元件294(1)的運動是用控制器或處理器控制使分選處理(sorting process)與先前已顯像之物件的接收同步。
第17圖的流程圖係根據本發明之一具體實施例圖示用於擷取物件之多個影像的方法300。
方法300開始用階段310提供多個物件給橫向轉移器。
階段310便於包含提供多個小而長之電氣組件給橫向轉移器。
階段310便於包含下列各項中之至少一項或彼等之組合:(i)由包含多個氣體入口與一組件出口的容器提供數個物件給橫向轉移器,同時注射氣體脈衝通過該組件出口,可將氣體脈衝注射通過一末端連接至該組件出口之組件導管的第二末端;(ii)經由一末端連接至該組件出口之組件導管的多個附加末端提供該等物件;(iii)振動物件容器內的物件;(iv)接收新的物件同時擷取其他物件的影像。
階段310接著是橫向轉移物件至第一顯像區的階段320;其中該橫向轉移係包含利用氣體壓差。
階段320便於包含:橫向轉移多個小而長之電氣組件至第一顯像區;其中該橫向轉移係包含利用氣體壓差。
階段320便於包含下列各項中之至少一項或彼等之組合:(i)放置數個物件於至少一個有數個規律間隔之分區的轉移單元上,各分區係經設計成可接收單一物件,(ii)放置數個物件於至少一個有數個規律間隔之分區的支撐輸送帶上,各分區係經設計成可接收單一物件;(iii)輸送數個橫向排列、呈二維陣列的物件至該第一檢驗區;(iv)橫向轉移器饋入數個新的物件同時清空該橫向轉移器的已檢驗物件;(v)用多個橫向轉移器區段橫向轉移多個物件,各個橫向轉移器區段係經設計成可以橫向方式把一系列的物件轉移至該第一顯像區。
階段320接著是階段330,其係擷取位於第一顯像區之物件的頂面影像與兩側影像。
階段330便於包含:擷取位於第一顯像區的小而長之電氣組件的頂面影像及兩側影像。
階段330包含照明數個位於第一照明區之物件的階段332以及感測數個物件之頂面及兩側面的反射或散射光以便擷取該等物件之頂面影像及兩側影像的階段334。
階段332便於包含下列各項中之至少一項或彼等之組合:(i)照明至少一對傾斜反射鏡,該至少一對傾斜反射鏡係經設計成可導引光線至該等物件的兩對邊且導引該等電氣組件之兩對邊的反射或散射光至第一顯像感測器;(ii)在安置數個位於該第一顯像區的物件於這兩個傾斜反射鏡之間時,照明兩個位於該第一顯像區的傾斜反射鏡;(iii)照明兩個有45度定向的傾斜反射鏡;(iv)用部份光程調整光件所散射的光線照明數個物件;(v)由多個角度照明數個物件;(vi)以多種照明方式照明該等物件,其中該等不同的方式可包含不同的波長、不同的極化、不同的強度、及其類似者;(v)照明在每一個橫向轉移器區段的一對傾斜反射鏡,其中該對傾斜反射鏡係經設計成可導引光線至該等物件的兩對邊且可將物件兩對邊的反射或散射光導引至第一顯像感測器;(vi)照明多個有45度定向的傾斜反射鏡。
階段334便於包含下列各項中之至少一項或彼等之組合:(i)感測穿經光程調整光件的光線,該光程調整光件係經設計成可大體使頂面集光路徑的光程等於側面集光路徑的光程;(ii)感測穿經光程調整光件的光線,該光程調整光件係包含:加長該頂面集光路徑之光程的光程調整光件;(iii)感測穿經光程調整光件的光線,該光程調整光件係包含:實質縮短該等側面集光路徑之光程的光程調整光件;(iv)感測穿經光程調整光件的光線,該光程調整光件的形狀係經製作成能與數個傾斜反射鏡相接觸;其中方法包含照明該等傾斜反射鏡,該等傾斜反射鏡係經設計成可導引光線至該等物件的兩對邊且可將物件兩對邊的反射或散射光導引至第一顯像感測器;(v)感測穿經光程調整光件的光線,該光程調整光件係包含:底部界定一V形溝槽的透明元件;(vi)感測穿經光程調整光件的光線,該光程調整光件係包含:至少一折疊反射鏡;(vii)在該擷取期間使該等正被顯像的物件大體保持不動;(viii)掃描該等正被顯像的物件。
階段330接著是改變物件取向的階段340。
階段340便於包含改變小而長電氣組件的方位。
階段340可包含:旋轉物件、使物件翻面、及其類似者。階段340便於包含:由橫向轉移器接收數個物件,以及提供收到的物件給縱向轉移器。階段340可包含:由包含每一橫向轉移器區段之導管的界面接收該等物件。
階段340接著是階段350,其係用縱向轉移器縱向轉移物件至第二顯像區。應注意,階段350可在階段320前面。該等階段的順序通常取決於具體實作該等階段之系統的組態。
階段350便於包含用縱向轉移器將小而長之電氣組件縱向轉移至第二顯像區。
階段350便於包含下列各項中之至少一項或彼等之組合:(i)放置數個物件於至少一個有數個規律間隔之分區的轉移單元上,各分區係經設計成可接收單一物件,(ii)放置數個物件於至少一個有數個規律間隔之分區的支撐輸送帶上,各分區係經設計成可接收單一物件;(iii)輸送數個縱向排列、呈二維陣列的物件至該第二檢驗區;(iv)沿著該等電氣組件的轉移路徑導入氣體壓差;(v)縱向轉移器饋入數個新的物件同時清空該縱向轉移器的已檢驗物件;(vi)用多個縱向轉移器區段縱向轉移多個物件,各個縱向轉移器區段係經設計成可以縱向方式轉移一系列的物件至該第二顯像區。
階段350接著是階段360,其係擷取位於第二顯像區之物件的底面影像和兩個其他側面影像。在該等物件處於第一顯像區時不擷取該底面影像與該兩個其他側面影像。
階段360便於包含擷取位於第二顯像區之小而長電氣組件的底面影像和兩個其他側面影像。在該等小而長電氣組件處於第一顯像區時不擷取該底面影像與該兩個其他側面影像。
階段360包含照明數個位於第二照明區之物件的階段362以及感測數個物件之底面及兩個其他側面的反射或散射光以便擷取該等物件之底面影像及兩個其他側面影像的階段364。
階段362便於包含下列各項中之至少一項或彼等之組合:(i)照明至少一對傾斜反射鏡,該至少一對傾斜反射鏡係經設計成可導引光線至該等物件的兩對邊且導引該等物件之兩對邊的反射或散射光至第二顯像感測器;(ii)在安置數個位於該第二顯像區的物件於這兩個傾斜反射鏡之間時,照明兩個位於該第二顯像區的傾斜反射鏡;(iii)照明兩個有45度定向的傾斜反射鏡;(iv)用部份光程調整光件所散射的光線照明數個物件;(v)由多個角度照明數個物件;(vi)以多種照明方式照明該等物件,其中該等不同的方式可包含不同的波長、不同的極化、不同的強度、及其類似者;(v)照明每一個縱向轉移器區段的一對傾斜反射鏡,其中該對傾斜反射鏡係經設計成可導引光線至該等物件的兩對邊且可導引該等物件兩對邊的反射或散射光至第二顯像感測器;(vi)照明多個有45度定向的傾斜反射鏡。
階段364便於包含下列各項中之至少一項或彼等之組合:(i)感測穿經光程調整光件的光線,該光程調整光件係經設計成能使底面集光路徑的光程大體等於其他側面集光路徑的光程;(ii)感測穿經光程調整光件的光線,該光程調整光件係包含加長該底面集光路徑之光程的光程調整光件;(iii)感測穿經光程調整光件的光線,該光程調整光件係包含實質縮短該等其他側面集光路徑之光程的光程調整光件;(iv)感測穿經光程調整光件的光線,該光程調整光件的形狀係經製作成能與數個傾斜反射鏡相接觸;其中方法包含照明該等傾斜反射鏡,該等傾斜反射鏡係經設計成可導引光線至該等物件的兩個其他對邊且可導引該等物件之兩個其他對邊的反射或散射光至第二顯像感測器;(v)感測穿經光程調整光件的光線,該光程調整光件係包含:底部界定一V形溝槽的透明元件;(vi)感測穿經光程調整光件的光線,該光程調整光件係包含:至少一折疊反射鏡;(vii)在該擷取期間使該等正被顯像的物件大體保持不動;(viii)掃描該等正被顯像的物件.
階段360接著是處理數個物件之影像的階段370。階段370可包含測定該等物件的功能性。
階段370便於包含處理數個小而長電氣組件的影像。階段370可包含測定該等小而長電氣組件的功能性。
階段370接著是根據功能性分選物件的階段380。
階段380便於包含依據功能性來分選小而長的電氣組件。
階段380可包含利用氣體驅動選擇單元從該等多個輸出導管中導引電氣組件至一輸出導管以回應物件的功能性。
根據本發明另一具體實施例,方法300可包含得到一物件的四個(而不是六個)影像。就此一情形而言,階段340接著是階段390,其係用於得到位於顯像區之物件(例如但不受限於小而長的電氣組件)的底面影像。這可藉由橫向轉移該等物件越過橫向組件轉移器的透明區段並且擷取底面影像來具體實作。該透明區段可位於不同的位置,包含(但不受限於)第一顯像區或第二顯像區。
方法300便於包含電氣測試該等物件的階段305。利用數個位於產生影像之系統中的電氣測試點可完成該電氣測試。該等電氣測試點可位在橫向轉移器內、在縱向轉移器內、在第一顯像區內、在第二顯像區內、在翻轉單元內、及其類似物。該等測試點的位置係決定電氣測試及影像擷取階段的相對順序。為簡化解釋,將階段305圖示成以下的階段330。應注意,分選及/或測定物件的功能性是回應電氣測試的結果。例如,只有通過目視檢驗及電氣測試的物件會被視為有功能。
第18圖的流程圖係根據本發明之一具體實施例圖示用於物件之多個影像的方法302。
方法302與方法300不同的地方在於包含階段322及352,而不是階段320及350。
方法302由階段310開始,其係提供多個物件給橫向轉移器。
階段310接著是階段322,其係橫向轉移數個物件至第一顯像區。階段322不一定包含利用氣體壓差。該等物件為小型電氣組件是便利的。
階段322接著是階段330,其係擷取位於第一顯像區之物件的頂面影像與兩側影像。
階段330接著是階段340,其係改變物件的方位。
階段340接著是階段352,其係用縱向轉移器縱向轉移數個物件至第二顯像區。該等物件為小型電氣組件是便利的。階段352不一定包含利用氣體壓差。
階段350接著是階段360,其係擷取位於第二顯像區之物件的底面影像與兩個其他側面影像。在物件處於第一顯像區時,不擷取底面影像與兩個其他側面影像。
階段360接著是階段370,其係處理物件的影像。階段370可包含測定物件的功能性。
階段370接著是階段380,其係根據功能性來分選物件。階段380可包含利用氣體驅動選擇單元從該等多個輸出導管中導引物件至一輸出導管以回應物件的功能性。
根據本發明另一具體實施例,方法302可包含得到一物件的四個(而不是六個)影像。就此一情形而言,階段340接著是階段390,其係用於得到位於第一顯像區之物件的底面影像。這可藉由橫向轉移該等物件越過橫向組件轉移器的透明區段並且擷取底面影像來具體實作。該透明區段可位於不同的位置,包含(但不受限於)第一顯像區或第二顯像區。
方法302便於包含電氣測試該等物件的階段305。應注意,物件功能性的測定及/或分選是回應電氣測試的結果。
第19圖的流程圖係根據本發明之一具體實施例圖示用於顯像六面物件的方法400。
方法400可由階段410開始,其係調整至少一條用於輸送物件至第一顯像區之軌道的寬度。應根據待驗物件的尺寸來調整該軌道的寬度。
階段410接著是階段420,其係在物件輸送通過第一顯像區時,用位於第一顯像區上方的第一顯像器顯像物件的頂面和兩個側面;其中該顯像包含照明位於第一顯像區的傾斜反射鏡。
階段420便於包含下列各種操作中之至少一項或彼等之組合:(i)感測穿經焦距調整構件的光線,該焦距調整構件係用於使垂直的光程等於側面的光程,(ii)感測穿經一包含數個路徑折疊反射鏡之焦距調整構件的光線;(iii)感測穿經包含兩個玻璃稜鏡(glass prism)之焦距調整構件的光線;(iv)感測穿經包含兩個細孔稜鏡(pore-prism)之焦距調整構件的光線;(v)感測穿經焦距調整構件的光線,該焦距調整構件係包含用第一顯像器之第一部份顯像物件的頂面以及用第一顯像器之第二部份顯像物件的側面;(vi)大體同時顯像該物件的頂面和兩個側面;(v)做線型顯像。
階段420接著是階段430,其係在位於第一顯像區、第二顯像區之間的預定點處,翻面及旋轉各個物件。
階段430接著是階段440,其係在輸送物件通過第二顯像區時,用位於第二顯像區上方的第二顯像器顯像物件未被第一顯像器顯像的其他表面;其中該顯像包含照明位於第二顯像區的傾斜反射鏡。
階段440便於包含下列各種操作中之至少一項或彼等之組合:(i)感測穿經焦距調整構件的光線,該焦距調整構件係用於使垂直的光程等於側面的光程,(ii)感測穿經一包含數個路徑折疊反射鏡之焦距調整構件的光線;(iii)感測穿經包含兩個玻璃稜鏡之焦距調整構件的光線;(iv)感測穿經包含兩個細孔稜鏡之焦距調整構件的光線;(v)感測穿經焦距調整構件的光線,該焦距調整構件係包含用第二像器之第一部份顯像物件的底面以及用第二顯像器之第二部份顯像物件的其他側面;(vi)大體同時顯像該物件的底面和兩個其他側面;(vii)做線型顯像。
階段440接著是階段450,其係測定物件的功能性且根據該測定來分選物件。
階段450可包含產生物件的六面影像。拿擷取到的影像與參考影像作比較,拿擷取到的影像與資料庫作比較、及其類似者。
方法400也便於包含電氣測試該等物件。使用數個沿著軌道配置的電接點(electrical contact)可完成此事。使用電接點測試物件為本技藝所習知而不需進一步的解釋。例如,該測試可包含使物件充電;使物件放電;測量物件的電阻、導電係數、電容、電感;及其類似者。在沿著軌道轉移物件時,可執行該測試。
根據本發明之一具體實施例,單一顯像器係經設計成在物件處於第一顯像區時以及處於第二顯像區時可顯像該物件的數個部份。根據本發明各種具體實施例,這可藉由引進機械運動或無來完成。例如,如果第一及第二顯像區都在顯像器的視場(field of view)內,則不一定需要機械運動。
第20A圖至第20C圖圖示相互接近的第一及第二顯像區280與240。如果這種接近存在,則在單一視場內包含兩種顯像區會比較容易。容器92可提供多個物件給多個導管,該等多個導管(在總線裝載卸載區)可提供數個元件給多個支撐元件(第20B圖中有更詳細的圖示)。然後,將該等物件送至第一掃描區230、用顯像器顯像、然後送回(同時置於支撐元件上)到總線卸載及裝載區,在此將彼等卸載至其他的導管(其係在第一顯像區240下方通過,特別是支撐元件行進穿過的軌道下方通過),且在使數個轉動元件101(第21圖有更詳細的圖示)可在該等導管中以縱向方式傳送之後,傳送通過數個螺旋溝槽103且提供給也將彼等予以顯像的第二顯像區280。
在顯像後,將彼等提供給視需要之延遲區(未圖示),然後送到分選單元。
應注意,該等物件在第一及第二顯像區之間可用不同的方式翻面及旋轉。第21圖圖示管狀轉動元件101,其係包含物件在其中可傳送及旋轉的螺旋溝槽103。
儘管已結合特定具體實施例來說明本發明,顯然熟諳此藝者明白仍有許多替代、修改及變體;因此,希望涵蓋所有落在隨附申請專利範圍所界定之精神與廣泛範疇內的替代、修改及變體。
10...顯像物體系統的一部份
11,12...軌道
13...軌道壁
13(1)-13(6)...軌道
14...物件
14(1)-(6)...物件
14a...透視圖
14b...影像
15...物件
15a...透視圖
15b...影像
16...轉動單元(翻轉單元)
17,18...透鏡
19...顯像感測器
20...顯像感測器
21c...頂面集光路徑
21a,21b,21d,21e...頂面集光路徑之區段
22,22(1),22(2),22(3),23,23(1),23(6),24,25...傾斜反射鏡
26...焦距調整器
26a,26b...路徑折疊反射鏡
27...焦距調整器
29(1)-(7)...透明立方體
30(1)-(12)...透明元件
30’(1)-(7)...透明元件
31...透明元件托架
32(1)-(6)...透明元件
33(2)...透明元件
34(2)...透明部份
35(2),36(2)...透明部份
37...表面
A,B,C,D,E,F...表面
41,42,43,44,45...本發明具體實施例之5個部份
41’...本發明具體實施例之一部份
50(1)-(5)...光線
70...照明單元
71...上光纖
72...右光纖
73...左光纖
80...分光鏡,物件提供元件
81...開口
82...透鏡,通道
83...透鏡
91...上角度範圍,組件出口
92...右角度範圍,容器
93...左角度範圍,第二末端
95...第一氣體入口
96...第二氣體入口
99...氣體脈衝,圓形虛箭頭
101...轉動元件
103...螺旋溝槽
200...系統
200’...系統
200”...系統
201...橫向轉移器
201’...橫向轉移器
201”...橫向轉移器
202,202’...物件
203,203’...縱向轉移器
205...處理器
210...組件導管
210(1)-(3)...組件導管
210(1)-(8)...元件符號
212...開口
220,220’...轉移單元
220(1)-(3)...轉移單元
224...吸入元件
224(1)-(3)...吸入元件
230...縱向轉移器,裝載區
232...卸載區
240...第一顯像區
242...第一顯像器
255...電接觸點
260...轉動單元
270...第一延遲區
272...第二延遲單元
280...第二顯像區
282...第二顯像器
290...分選單元
291(1)...區段
292(1)...輸出導管
293(1)...輸出導管
294(1)...氣體驅動元件
300...方法
302...方法
305...電氣測試物件
310,320,322,330,332,334,340,350,352,360,362,364,370,380,390...階段
400...方法
410,420,430,440,450...階段
第1圖係根據本發明之一具體實施例圖示顯像物體系統的一部份;第2圖的橫截面圖係根據本發明之一具體實施例圖示系統在第一顯像區及第二顯像區的部份;第3圖更詳細的橫截面圖係根據本發明之一具體實施例圖示系統在第一顯像區的部份;第4A圖的三維視圖係根據本發明之一具體實施例圖示出軌道、傾斜反射鏡、物件、路徑折疊光件(path folding optics)及透鏡;第4B圖的三維視圖係根據本發明之一具體實施例圖示系統的5個部份;第5A圖的三維視圖係根據本發明之一具體實施例圖示該系統的一部份;第5B圖的三維視圖係根據本發明之一具體實施例圖示5條軌道、5個物件以及多個透明立方體;第6A圖係根據本發明之一具體實施例圖示6條軌道、6個物件、7個透明立方體、以及六對傾斜反射鏡;第6B圖係根據本發明之一具體實施例圖示6條軌道、6個物件、7個透明元件、以及六對傾斜反射鏡;第6C圖係根據本發明之一具體實施例圖示12個透明元件及位於第一顯像區外面的透明元件托架;第6D圖係根據本發明之一具體實施例圖示6條軌道、6個物件、7個透明元件、6個上透明元件、以及六對傾斜反射鏡;第6E圖的橫截面圖係根據本發明之一具體實施例圖示系統沿著第一顯像區繪出的部份;第7圖係根據本發明之一具體實施例圖示用有多個方向之光線照明物件的情形;第8圖係根據本發明之一具體實施例圖示照明單元;第9圖係根據本發明之一具體實施例圖示轉移單元(transferring element)、吸入元件(suction element)、組件導管、以及一些物件;第10圖係根據本發明之一具體實施例圖示轉移單元、吸入元件、組件導管、以及一些物件;第11A圖係根據本發明另一具體實施例圖示物件提供元件(object providing element)的上視圖;第11B圖係根據本發明另一具體實施例圖示物件提供元件、吸入單元及轉移單元的側視圖;第12圖係根據本發明另一具體實施例圖示容器與組件導管;第13A圖係根據本發明之一具體實施例圖示橫向轉移器的上視圖;第13B圖係根據本發明之一具體實施例圖示縱向轉移器的上視圖;第13C圖係根據本發明之一具體實施例圖示縱向轉移器、轉動單元及橫向轉移器的側視圖;第14A圖係根據本發明之一具體實施例圖示橫向轉移器的上視圖;第14B圖係根據本發明另一具體實施例圖示縱向轉移器的上視圖;第15圖係圖示本發明另一具體實施例的系統;第16圖係根據本發明之一具體實施例圖示一段分選單元(sorting unit);第17圖的流程圖係根據本發明之一具體實施例圖示用於擷取物件之多個影像的方法;第18圖的流程圖係根據本發明之一具體實施例圖示用於擷取物件之多個影像的方法;第19圖的流程圖係根據本發明之一具體實施例圖示用於顯像六面物件之方法;第20A圖至第20C圖係根據本發明的各種具體實施例圖示系統的部份99;以及,第21圖係根據本發明之一具體實施例圖示轉動元件101。
10...顯像物體系統之一部份
11...軌道
12...軌道
13...軌道壁
14...物件
16...轉動單元(翻轉單元)
17...透鏡
18...透鏡
Claims (141)
- 一種用於擷取電氣組件之多個影像的系統,該系統包含:一第一顯像器,其係經設計成可得到多個位於第一顯像區之電氣組件的一頂面影像和兩側影像;其中該等電氣組件均小而長;以及,一橫向轉移器,其係經設計成以橫向方式轉移數個電氣組件至該第一顯像區,其中該橫向轉移器係利用氣體壓差。
- 如申請專利範圍第1項的系統,其中該第一顯像器包含至少一對傾斜反射鏡,該至少一對傾斜反射鏡係經設計成可導引光線至該等電氣組件的相對側且可導引自該等電氣組件之該等相對側反射或散射之光至一第一顯像感測器。
- 如申請專利範圍第1項的系統,其中該第一顯像器包含兩個位於該第一顯像區的傾斜反射鏡;其中該等電氣組件在處於該第一顯像區時都是在該兩個傾斜反射鏡之間。
- 如申請專利範圍第3項的系統,其中該兩個傾斜反射鏡都呈45度。
- 如申請專利範圍第1項的系統,其中該第一顯像器包含數個光程調整光件,該光程調整光件係經設計成可使一頂面集光路徑的光程大體等於側面集光路徑的光程。
- 如申請專利範圍第5項的系統,其中該第一顯像器包含 加長該頂面集光路徑之光程的光程調整光件。
- 如申請專利範圍第5項的系統,其中該第一顯像器包含實質縮短該等側面集光路徑之光程的光程調整光件。
- 如申請專利範圍第5項的系統,其中該光程調整光件的形狀係經製作成可與數個傾斜反射鏡相接觸;其中該等傾斜反射鏡係經設計成可導引光線至該等電氣組件的相對側且可導引自該等電氣組件之相對側反射或散射之光至一第一顯像感測器。
- 如申請專利範圍第5項的系統,其中該光程調整光件有至少一部份的形狀係製作成能散射導向該部份的光線。
- 如申請專利範圍第5項的系統,其中該光程調整光件包含數個透明元件,該等透明元件包含界定一V形溝槽的底部。
- 如申請專利範圍第5項的系統,其中該光程調整光件包含至少一折疊反射鏡。
- 如申請專利範圍第1項的系統,其更包含照明單元,該照明單元係經設計成可由多個角度照明該等電氣組件。
- 如申請專利範圍第1項的系統,其中該橫向輸送器包含至少一氣體輸入和至少一氣體輸出用於沿著該等電氣組件的轉移路徑導入氣體壓差。
- 如申請專利範圍第1項的系統,其中該橫向轉移器包含至少一個有數個規律間隔之分區的轉移單元,各分區係經設計成可接收單一電氣組件。
- 如申請專利範圍第1項的系統,其中該橫向轉移器包含 至少一個有數個規律間隔之分區的支撐輸送帶,各分區係經設計成可接收單一電氣組件。
- 如申請專利範圍第1項的系統,其中該橫向轉移器係經設計成可輸送橫向排列、呈二維陣列的電氣組件至第一檢驗區。
- 如申請專利範圍第1項的系統,其中該橫向轉移器係饋入數個新的電氣組件同時清空已檢驗的電氣組件。
- 如申請專利範圍第1項的系統,其更包含設計成可與該等電氣組件接觸的電氣連接點,其中該等電氣連接點係位於該橫向轉移器、該系統之一縱向轉移器、該第一顯像區、該系統之一第二顯像區、及該系統之一翻轉單元的至少一者內。
- 如申請專利範圍第1項的系統,其中該橫向轉移器係經設計成可轉移數個電氣組件至該第一顯像區、可在影像擷取時段大體保持不動、以及可在該影像擷取時段結束後之時段轉移數個已檢驗的電氣組件離開該第一顯像區。
- 如申請專利範圍第1項的系統,其更包含一照明單元,該照明單元係經設計成以多種照明方式照明該等電氣組件,其中該等照明方式包含以不同波長、不同極性及不同強度的至少一者之不同方式照明該等電氣組件。
- 如申請專利範圍第1項的系統,其中該橫向轉移器包含多個橫向轉移器區段,各個該等橫向轉移器區段係經設計成以橫向方式轉移一系列的電氣組件至該第一顯像 區。
- 如申請專利範圍第21項的系統,其中該第一顯像器係每一個橫向轉移器區段都包含一對傾斜反射鏡,各對傾斜反射鏡係經設計成:可導引光線至數個由該橫向轉移器區段轉移之電氣組件的相對側面;以及,可導引自該等電氣組件之相對側面反射或散射之光至一第一顯像感測器。
- 如申請專利範圍第21項的系統,其中該兩個傾斜反射鏡都呈45度。
- 如申請專利範圍第21項的系統,其中該第一顯像器包含光程調整光件,該光程調整光件係經設計成能使一頂面集光路徑的光程大體等於側面集光路徑的光程。
- 如申請專利範圍第1項的系統,其中該橫向轉移器係經設計成可接收數個新的電氣組件同時擷取其他電氣組件的影像。
- 如申請專利範圍第1項的系統,其更包含一電氣組件容器,該電氣組件容器係包含多個氣體入口與一組件出口,其中係注射氣體脈衝通過該組件出口。
- 如申請專利範圍第26項的系統,其更包含:一末端連接至該組件出口且有選擇性接收真空脈衝之第二末端的組件導管。
- 如申請專利範圍第26項的系統,其更包含:一末端連接至該組件出口且有多個附加末端的組件導管,各個附加末端係定位成靠近一橫向組件轉移器區段。
- 一種用於擷取電氣組件之多個影像的方法,該方法包含:橫向轉移數個電氣組件至一第一顯像區,其中該橫向轉移包含利用氣體壓差;其中該等電氣組件均小而長;以及,擷取數個位於該第一顯像區之電氣組件的一頂面影像與兩側影像。
- 如申請專利範圍第29項的方法,更包含照明至少一對傾斜反射鏡,該至少一對傾斜反射鏡係經設計成可導引光線至該等電氣組件的相對側且可導引自該等電氣組件之相對側反射或散射之光至第一顯像感測器。
- 如申請專利範圍第29項的方法,其更包含:在位於該第一顯像區的電氣組件定位於該兩個傾斜反射鏡之間時,照明位於該第一顯像區的兩個傾斜反射鏡。
- 如申請專利範圍第29項的方法,其更包含照明兩個有45度定向的傾斜反射鏡。
- 如申請專利範圍第29項的方法,其中該擷取包含感測穿經光程調整光件的光線,該光程調整光件係經設計成可大體使一頂面集光路徑的光程等於側面集光路徑的光程。
- 如申請專利範圍第33項的方法,其中該擷取包含感測穿經光程調整光件的光線,該光程調整光件包含加長該頂面集光路徑之光程的光程調整光件。
- 如申請專利範圍第33項的方法,其中該擷取包含感測穿 經光程調整光件的光線,該光程調整光件包含實質縮短該等側面集光路徑之光程的光程調整光件。
- 如申請專利範圍第33項的方法,其中該擷取包含感測穿經光程調整光件的光線,該光程調整光件的形狀係經製作成能與數個傾斜反射鏡相接觸;其中該方法包含照明該等傾斜反射鏡,該等傾斜反射鏡係經設計成可導引光線至該等電氣組件的相對側且可導引自該等電氣組件之相對側反射或散射之光至一第一顯像感測器。
- 如申請專利範圍第33項的方法,其中該方法包含用被光程調整光件之一部份散射的光線照明數個電氣組件。
- 如申請專利範圍第33項的方法,其中該擷取包含感測穿經光程調整光件的光線,該光程調整光件包含數個透明元件,該等透明元件包含界定一V形溝槽的底部。
- 如申請專利範圍第33項的方法,其中該擷取包含感測穿經光程調整光件的光線,該光程調整光件包含至少一折疊反射鏡。
- 如申請專利範圍第29項的方法,其更包含由多個角度照明數個電氣組件。
- 如申請專利範圍第29項的方法,其更包含沿著該等電氣組件的轉移路徑導入氣體壓差。
- 如申請專利範圍第29項的方法,其中該橫向轉移包含安置數個電氣組件於至少一個有數個規律間隔之分區的轉移單元上,各分區係經設計成可接收單一電氣組件。
- 如申請專利範圍第29項的方法,其中該橫向轉移包含安 置數個電氣組件於至少一個有數個規律間隔之分區的支撐輸送帶上,各分區係經設計成可接收單一電氣組件。
- 如申請專利範圍第29項的方法,其中該橫向轉移包含輸送橫向排列、呈二維陣列的電氣組件至第一檢驗區。
- 如申請專利範圍第29項的方法,其更包含饋送有數個新電氣組件的橫向轉移器同時清空該橫向轉移器的已檢驗電氣組件。
- 如申請專利範圍第29項的方法,其更包含電氣測試該等電氣組件。
- 如申請專利範圍第29項的方法,其中該擷取位於該第一顯像區之電氣組件的一頂面影像與兩側影像的步驟係包含在該擷取期間使該等正被顯像的電氣組件大體保持不動。
- 如申請專利範圍第29項的方法,其更包含用多種照明方式照明該等電氣組件,其中該等照明方式包含以不同波長、不同極性及不同強度的至少一者之不同方式照明該等電氣組件。
- 如申請專利範圍第29項的方法,其中該橫向轉移包含:用多個橫向轉移器區段橫向轉移多個電氣組件,各個該等橫向轉移器區段係經設計成以橫向方式轉移一系列的電氣組件至該第一顯像區。
- 如申請專利範圍第49項的方法,更包含照明每一個橫向轉移器區段的一對傾斜反射鏡,其中該對傾斜反射鏡係 經設計成:可導引光線至該等電氣組件的相對側,且可導引自該等電氣組件之相對側反射或散射之光至一第一顯像感測器。
- 如申請專利範圍第49項的方法,其中該照明包含照明多個有45度定向的傾斜反射鏡。
- 如申請專利範圍第49項的方法,其中該擷取包含感測穿經光程調整光件的光線,該光程調整光件係經設計成能使一頂面集光路徑的光程大體等於側面集光路徑的光程。
- 如申請專利範圍第29項的方法,其更包含接收數個新的電氣組件同時擷取其他電氣組件的影像。
- 一種用於擷取物件之多個影像的系統,該系統包含:一第一顯像器,其係設計成可得到數個位於一第一顯像區之物件的一頂面影像與兩側影像;一橫向轉移器,其係經設計成以橫向方式利用氣體壓差將數個物件轉移至該第一顯像區;以及,一縱向轉移器,其係經設計成以縱向方式將數個物件轉移至一第二顯像區。
- 如申請專利範圍第54項的系統,其更包含第二顯像器,其係經設計成可得到該等物件未被該第一顯像器顯像之至少一其他部份的影像。
- 如申請專利範圍第54項的系統,其更包含第二顯像器,其係經設計成可得到定位於該第二顯像區之物件的底部影像和兩個其他側面影像。
- 如申請專利範圍第54項的系統,其中該第二顯像器包含至少一對傾斜反射鏡,該至少一對傾斜反射鏡係經設計成可導引光線至該等物件的其他相對側且可導引自該等物件之該等其他相對側反射或散射之光至一第二顯像感測器。
- 如申請專利範圍第54項的系統,其中該第二顯像器包含位於該第二顯像區的兩個傾斜反射鏡;其中該等物件在定位於該第二顯像區時都是在該兩個傾斜反射鏡之間。
- 如申請專利範圍第58項的系統,其中該兩個傾斜反射鏡都呈45度。
- 如申請專利範圍第54項的系統,其中該第二顯像器包含光程調整光件,該光程調整光件係經設計成能使一底面集光路徑的光程大體等於其他側面集光路徑的光程。
- 如申請專利範圍第60項的系統,其中該光程調整光件的形狀係經製作成能與數個傾斜反射鏡相接觸;其中該等傾斜反射鏡係經設計成可導引光線至該等物件的其他相對側且可導引自該等物件之該等其他相對側反射或散射之光至一第一顯像感測器。
- 如申請專利範圍第60項的系統,其中該光程調整光件有至少一部份的形狀係製作成能散射導向該部份的光線。
- 如申請專利範圍第60項的系統,其中該光程調整光件包含數個透明元件,該等透明元件包含界定一V形溝槽的底部。
- 如申請專利範圍第60項的系統,其中該光程調整光件包 含至少一折疊反射鏡。
- 如申請專利範圍第60項的系統,其更包含照明單元,該照明單元係經設計成能由多個角度照明該等物件。
- 如申請專利範圍第60項的系統,其中該縱向輸送器包含至少一氣體輸入與至少一氣體輸出用於沿著該等物件的轉移路徑導入氣體壓差。
- 如申請專利範圍第54項的系統,其更包含數個電氣連接點,該等電氣連接點係經設計成在輸送及檢驗時段期間可與該等物件相接觸,其中該等電氣連接點係位於該橫向轉移器、該系統之一縱向轉移器、該第一顯像區、該系統之一第二顯像區、及該系統之一翻轉單元的至少一者內。
- 如申請專利範圍第54項的系統,其中該縱向轉移器係經設計成:可轉移數個物件至該第二顯像區、可在影像擷取時段大體保持不動、以及在該第一影像擷取時段結束後可轉移數個已檢驗的物件離開該第二顯像區。
- 如申請專利範圍第54項的系統,其更包含一照明單元,該照明單元係經設計成可用多種照明方式照明該等物件,其中該等照明方式包含以不同波長、不同極性及不同強度的至少一者之不同方式照明該等物件。
- 如申請專利範圍第54項的系統,其中該縱向轉移器包含多個縱向轉移器區段,各個縱向轉移器區段係經設計成以縱向方式轉移一系列的物件至該第二顯像區。
- 如申請專利範圍第70項的系統,其中該第二顯像器係每 一個縱向轉移器區段都包含一對傾斜反射鏡,各對傾斜反射鏡係經設計成:可導引光線至數個由該縱向轉移器區段轉移之物件的其他相對側;以及,可導引自該等物件之該等其他相對側反射或散射之光至一第二顯像感測器。
- 如申請專利範圍第70項的系統,其中該兩個傾斜反射鏡都呈45度。
- 如申請專利範圍第70項的系統,其中該第二顯像器包含光程調整光件,該光程調整光件係經設計成能使一底面集光路徑的光程大體等於其他側面集光路徑的光程。
- 如申請專利範圍第54項的系統,其更包含一界面,該界面係經設計成可接收數個來自該橫向轉移器的物件且可提供該等收到的物件至該縱向轉移器。
- 如申請專利範圍第74項的系統,其中該界面係每一橫向轉移器區段包含一導管。
- 如申請專利範圍第54項的系統,其更包含一配置成可提供物件至該橫向轉移器之物件容器,該物件容器包含一用於振動位於該物件容器內之物件的振動元件。
- 如申請專利範圍第54項的系統,其更包含一設計成可處理數個物件之影像的處理器。
- 如申請專利範圍第54項的系統,其更包含一設計成可測定該等物件之功能性的處理器。
- 如申請專利範圍第78項的系統,其更包含一設計成可根據功能性來分選該等物件的分選單元。
- 如申請專利範圍第79項的系統,其中該分選單元包含多個輸出導管與一氣體驅動選擇元件,該氣體驅動選擇元件係經設計成可從該等多個輸出導管中導引物件至一輸出導管以回應該物件的功能性。
- 如申請專利範圍第54項的系統,其更包含一第二顯像器,該第二顯像器係經設計成可得到定位於該第二顯像區之物件的一底部影像。
- 如申請專利範圍第54項的系統,其中該橫向轉移器包含至少一轉移元件,該至少一轉移元件係經設計成可支撐數個向該第一顯像區傳送的物件;其中該系統更包含一轉移元件返回單元,該轉移元件返回單元係經設計成:在顯像該至少一轉移元件所支撐之物件後,可使該至少一轉移元件返回到初始位置。
- 如申請專利範圍第82項的系統,其中係將該轉移元件返回單元定位在該橫向轉移器的下方。
- 一種用於顯像六面物件的系統,該系統包含:翻轉單元,其係經設計成可翻面及旋轉在一預定點的每一個物件,該預定點位於一第一顯像區與一第二顯像區之間;至少一軌道,數個物件可傳送通過該至少一軌道;一第一顯像器,其係位於該第一顯像區上方,該第一顯像器係經設計成:當輸送物件通過該第一顯像區時,可顯像物件的一頂面與兩個側面;以及,一第二顯像器,其係位於一第二顯像區上方,該第 二顯像器係經設計成:在利用氣體壓差輸送物件通過該第二顯像區時,可以顯像出該物件不被該第一顯像器顯像的其他面;其中該物件的側面藉由照明定位於該第一及第二顯像區的傾斜反射鏡來顯像。
- 如申請專利範圍第84項的系統,其更包含用於使垂直光程等於側面光學路徑的焦距調整構件。
- 如申請專利範圍第85項的系統,其中該焦距調整構件包含數個路徑折疊反射鏡。
- 如申請專利範圍第85項的系統,其中該焦距調整構件包含兩個玻璃稜鏡。
- 如申請專利範圍第85項的系統,其中該焦距調整構件包含兩個細孔稜鏡。
- 如申請專利範圍第84項的系統,其中該第一及第二顯像器包含一第一部份及一第二部份,該第一部份設計成可顯像該物件之一頂面,而該第二部份設計成可顯像該物件之側面。
- 如申請專利範圍第84項的系統,其中該第一顯像器係經設計成大體同時顯像該物件的一頂面與兩個側面。
- 如申請專利範圍第84項的系統,其中該第一顯像器為線型掃描器。
- 如申請專利範圍第84項的系統,其中該第一顯像器為攝影機。
- 如申請專利範圍第84項的系統,其更包含一設計成可產生物件之六面影像的處理器。
- 如申請專利範圍第84項的系統,其中該至少一軌道的寬度為靜止不變的。
- 如申請專利範圍第84項的系統,其中該等傾斜反射鏡都呈45度。
- 如申請專利範圍第84項的系統,其更包含至少一氣體輸入和至少一氣體輸出用於沿著該物件的轉移路徑導入氣體壓差。
- 如申請專利範圍第84項的系統,其係包含多條設計成可輸送多個物件至第一檢驗區的軌道,以及其中該第一顯像器係經設計成可同時擷取多個物件的影像。
- 如申請專利範圍第84項的系統,其更包含數個設計成能與該等物件相接觸的電氣連接點,其中該等電氣連接點係位於該橫向轉移器、該系統之一縱向轉移器、該第一顯像區、該系統之一第二顯像區、及該系統之一翻轉單元的至少一者內。
- 一種用於擷取物件之多個影像的方法,該方法包含:利用氣體壓差橫向轉移數個物件至一第一顯像區;擷取定位於該第一顯像區之物件的一頂面影像與兩側影像;以及,用一縱向組件轉移器縱向轉移數個物件至一第二顯像區。
- 如申請專利範圍第99項的方法,其更包含擷取定位於該第二顯像區之物件的一底部影像與兩個其他側面影 像;其中在該等物件定位於該第一顯像區時,不擷取該底部影像與該兩個其他側面影像。
- 如申請專利範圍第99項的方法,其更包含照明至少一對傾斜反射鏡,該至少一對傾斜反射鏡係經設計成可導引光線至該等物件的其他相對側且可導引自該等物件之該等其他相對側反射或散射之光至一第二顯像感測器。
- 如申請專利範圍第99項的方法,其更包含照明位於該第二顯像區的兩個傾斜反射鏡;其中在該等物件定位於該第二顯像區時都在該兩個傾斜反射鏡之間。
- 如申請專利範圍第99項的方法,其更包含照明兩個呈45度定向的傾斜反射鏡。
- 如申請專利範圍第99項的方法,其中該擷取包含感測穿經光程調整光件的光線,該光程調整光件係經設計成能使一底面集光路徑的光程大體等於其他側面集光路徑的光程。
- 如申請專利範圍第99項的方法,其中該擷取包含感測穿經光程調整光件的光線,該光程調整光件的形狀係經製作成可與數個傾斜反射鏡相接觸;其中該方法包含照明該等傾斜反射鏡,其中該等傾斜反射鏡係經設計成可導引光線至該等物件的其他相對側且可導引自該等物件之該等其他相對側反射或散射之光至一第一顯像感測器。
- 如申請專利範圍第104項的方法,其中該擷取包含感測穿經光程調整光件的光線,該光程調整光件係散射導向 該部份的光線。
- 如申請專利範圍第104項的方法,其中該擷取包含感測穿經數個透明元件的光線,該等透明元件包含界定一V形溝槽的底部。
- 如申請專利範圍第104項的方法,其中該擷取包含感測穿經至少一折疊反射鏡的光線。
- 如申請專利範圍第104項的方法,其更包含由多個角度照明該等物件。
- 如申請專利範圍第104項的方法,其更包含沿著該等物件的轉移路徑導入氣體壓差。
- 如申請專利範圍第99項的方法,其更包含電氣測試該等物件。
- 如申請專利範圍第99項的方法,其更包含:在擷取該該底部影像及該兩個其他側面影像時,使該等物件大體保持不動。
- 如申請專利範圍第99項的方法,其更包含以多種照明方式照明該等物件,其中該等照明方式包含以不同波長、不同極性及不同強度的至少一者之不同方式照明該等物件。
- 如申請專利範圍第99項的方法,其中該橫向轉移包含輸送數個橫向排列、呈二維陣列的物件至第一檢驗區。
- 如申請專利範圍第99項的方法,其中該縱向轉移係包含用多個橫向轉移器區段縱向轉移數個物件,各個橫向轉移器區段係經設計成以縱向方式轉移一系列的物件至 該第二顯像區。
- 如申請專利範圍第115項的方法,更包含照明每一個縱向轉移器區段的一對傾斜反射鏡,其中該對傾斜反射鏡係經設計成可導引光線至該等物件的相對側且可導引自該等物件的相對側反射或散射之光至一第二顯像感測器。
- 如申請專利範圍第115項的方法,其中該照明包含照明多個有45度定向的傾斜反射鏡。
- 如申請專利範圍第115項的方法,其中該擷取包含感測穿經光程調整光件的光線,該光程調整光件係經設計成能使一底面集光路徑的光程大體等於其他側面集光路徑的光程。
- 如申請專利範圍第99項的方法,其更包含由橫向轉移器接收數個物件且提供該等收到的物件給該縱向組件轉移器。
- 如申請專利範圍第99項的方法,其中該接收係包含由一界面接收該等物件,該界面係每一橫向轉移器區段包含一導管。
- 如申請專利範圍第99項的方法,其更包含振動在一物件容器內的物件,同時提供該等物件至一橫向組件轉移器,用於利用氣體壓差橫向轉移物件至一第一顯像區。
- 如申請專利範圍第99項的方法,其更包含處理數個物件的影像。
- 如申請專利範圍第99項的方法,其更包含測定該等物件 的功能性。
- 如申請專利範圍第123項的方法,其更包含:根據功能性來分選該等物件。
- 如申請專利範圍第124項的方法,其中該分選包含控制一氣體驅動選擇單元以從該等多個輸出導管中導引物件至一輸出導管以回應該物件的功能性。
- 如申請專利範圍第99項的方法,其更包含得到數個定位於一第一顯像區之物件的一底部影像。
- 如申請專利範圍第99項的方法,其更包含得到數個定位於一第二顯像區之物件的一底部影像。
- 如申請專利範圍第99項的方法,其更包含:在擷取數個物件的該頂面影像與兩側影像後,使至少一轉移單元返回到初始位置。
- 一種用於顯像六面物件的方法,該方法包含:在輸送物件通過第一顯像區時,用位於該第一顯像區上方的一第一顯像器顯像該物件的一頂面與兩個側面;其中該顯像包含:照明定位於該第一顯像區及一第二顯像區的傾斜反射鏡;在定位於該第一顯像區與該第二顯像區之間的一預定點處,翻面及旋轉每一個物件;以及,在利用氣體壓差輸送物件通過該第二顯像區時,用位於該第二顯像區上方的一第二顯像器顯像該物件未被該第一顯像器顯像的其他面。
- 如申請專利範圍第129項的方法,其中該第一顯像器的 顯像係包含:感測穿經焦距調整構件的光線,該焦距調整構件係用於使垂直的光程等於側面光學路徑。
- 如申請專利範圍第129項的方法,其中該第一顯像器的顯像係包含:感測穿經焦距調整構件的光線,該焦距調整構件係包含數個路徑折疊反射鏡。
- 如申請專利範圍第129項的方法,其中該第一顯像器的顯像係包含:感測穿經焦距調整構件的光線,該焦距調整構件係包含兩個玻璃稜鏡。
- 如申請專利範圍第129項的方法,其中該第一顯像器的顯像係包含:感測穿經焦距調整構件的光線,該焦距調整構件係包含兩個細孔稜鏡。
- 如申請專利範圍第129項的方法,其中該第一顯像器的顯像包含:感測穿經焦距調整構件的光線,該焦距調整構件包含:用該第一顯像器的一第一部份顯像該物件的一頂面,以及用該第一顯像器的一第二部份顯像該物件的側面。
- 如申請專利範圍第129項的方法,其中該第一顯像器的顯像包含:大體同時顯像該物件的一頂面與兩個側面。
- 如申請專利範圍第129項的方法,其中該第一顯像器的顯像包含做線型顯像。
- 如申請專利範圍第129項的方法,其更包含產生該物件的六面影像。
- 如申請專利範圍第129項的方法,其更包含:調整用於輸送該物件至該第一顯像區之至少一軌道的寬度。
- 如申請專利範圍第129項的方法,其更包含:由一電氣組件容器提供數個電氣組件給該橫向組件轉移器,該電氣組件容器包含多個氣體入口與一組件出口,同時注射氣體脈衝通過該組件出口。
- 如申請專利範圍第139項的方法,其更包含:注射該氣體脈衝通過一末端連接至該組件出口之一組件導管的第二末端。
- 如申請專利範圍第139項的方法,其更包含經由一末端連接至該組件出口之一組件導管的多個附加末端,提供該等電氣組件。
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