CN101529444A - 用于对对象成像的系统和方法 - Google Patents
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Abstract
提供一种用于获取电气部件的多个图像的系统,该系统包括:适于获得位于第一成像区域中的电气部件的顶部图像和两个侧边图像的第一成像器,其中,电气部件是小而细长的;以及适于以横向方式向第一成像区域传送电气部件的横向传送器,其中,该横向传送器利用气压差。
Description
本申请要求在2006年5月7日提交的以色列专利申请175455的优先权。
技术领域
本发明涉及用于检查诸如电气部件、特别是诸如但不限于电容器的小型电气部件的对象的系统和方法。
背景技术
外观是通过比较被检查对象的图像与基准图像完成的检查方法中的一种。在对例如晶片或印刷电路板一侧或两侧成像的情况下,从垂直视图或从下部视图捕获图像用于检查,这是简单的任务。
在六面的对象的情况下,过程更加复杂。对于许多产品需要该过程,并且这些产品中的一些非常小或数量非常多。例如,需要检查在微电子制造中使用的电气部件(陶瓷电容器、芯片和电阻器)的全部侧面,可通过使用自动光学检查系统识别诸如尺寸测量、陶瓷缺陷和末端缺陷的范围广泛的缺陷。
在转让给Kajiura等的US4912318“Inspection Equipment forSmall Bottles”和US4219269“External Appearance InspectionSystem”中公开了使用对象的全部侧面的成像的系统。另外,这些系统具有一些缺点。
越来越多地需要提供用于检查对象的有效系统和方法。
发明内容
提供一种用于获取电气部件的多个图像的系统,该系统包括:适于获得位于第一成像区域中的电气部件的顶部图像和两个侧边图像的第一成像器,其中,电气部件是小而细长的;和适于以横向方式向第一成像区域传送电气部件的横向传送器,其中,横向传送器利用气压差。
提供一种用于获取电气部件的多个图像的方法,该方法包括:向第一成像区域横向传送电气部件,其中,横向传送包含利用气压差;其中,电气部件是小而细长的;和获取位于第一成像区域中的电气部件的顶部图像和两个侧边图像。
提供一种用于获取对象的多个图像的系统,该系统包括:适于获得位于第一成像区域中的对象的顶部图像和两个侧边图像的第一成像器;适于以横向方式向第一成像区域传送对象的横向传送器;和适于以纵向方式向第二成像区域传送对象的纵向传送器。
提供一种用于对六面对象成像的系统,该系统包括:适于在位于第一成像区域和第二成像区域之间的预定点中翻转与旋转各对象的翻转与旋转单元;对象可穿过的至少一个轨道;位于第一成像区域之上的第一成像器,该第一成像器适于在对象被传送穿过第一成像区域时对对象的顶面和两个侧面成像;和位于第二成像区域之上的第二成像器,该第二成像器适于在对象被传送穿过第二成像区域时对没有被第一成像器成像的对象的其它面成像;其中,通过照明位于第一和第二成像区域中的斜面镜对对象的侧面成像。
提供一种用于获取对象的多个图像的方法,该方法包括:向第一成像区域横向传送对象;获取位于第一成像区域中的对象的顶部图像和两个侧边图像;和通过纵向部件传送器向第二成像区域纵向传送对象。
提供一种用于对六面对象成像的方法,该方法包括:在对象被传送穿过第一成像区域的同时通过位于第一成像区域之上的第一成像器对对象的顶面和两个侧面成像;其中,成像包含照明位于第一成像区域和第二成像区域中的斜面镜;在位于第一成像区域和第二成像区域之间的预定点中翻转与旋转各对象;和在对象被传送穿过第二成像区域的同时通过位于第二成像区域之上的第二成像器对没有被第一成像器成像的对象的其它面成像。
附图说明
这里参照附图仅作为例子说明本发明。虽然现在详细、具体地参照附图,但应强调,示出的细节是作为例子并且出于解释讨论本发明的各实施例的目的。在附图中:
图1示出根据本发明的实施例的用于对对象成像的系统的一部分;
图2示出根据本发明的实施例的在第一成像区域上和在第二成像区域上取的系统的一部分的截面图;
图3是根据本发明的实施例的在第一成像区域上取的系统的一部分的更详细的截面图;
图4A是根据本发明的实施例的轨道、斜面镜、对象、路径折弯光学器件和透镜的三维视图。
图4B是根据本发明的实施例的系统的五个部分的三维视图;
图5A是根据本发明的实施例的系统的一部分的三维视图;
图5B是根据本发明的实施例的五个轨道、五个对象以及多个透明立方体的三维视图;
图6A示出根据本发明的实施例的六个轨道、六个对象、七个透明立方体和六对斜面镜;
图6B示出根据本发明的实施例的六个轨道、六个对象、七个透明元件和六对斜面镜;
图6C示出根据本发明的实施例的十二个透明元件和位于第一成像区域外面的透明元件保持器;
图6D示出是根据本发明的实施例的六个轨道、六个对象、七个透明元件、六个顶部透明元件和六对斜面镜;
图6E是根据本发明的实施例的沿第一成像区域取的系统的一部分的截面图;
图7示出根据本发明的实施例的由来自多个方向的光对于对象的照明;
图8示出根据本发明的实施例的照明单元;
图9示出根据本发明的实施例的传送元件、吸取元件、部件导管和几个对象;
图10示出根据本发明的实施例的传送元件、吸取元件、部件导管和几个对象;
图11A是根据本发明的另一实施例的对象提供元件的顶视图;
图11B是根据本发明的另一实施例的对象提供元件、吸取单元和传送元件的侧视图;
图12示出根据本发明的另一实施例的容器和部件导管;
图13A是根据本发明的实施例的横向传送器的顶视图;
图13B是根据本发明的实施例的纵向传送器的顶视图;
图13C是根据本发明的实施例的纵向传送器、旋转单元和横向传送器的侧视图;
图14A是根据本发明的实施例的横向传送器的顶视图;
图14B是根据本发明的另一实施例的纵向传送器的顶视图;
图15示出根据本发明的另一实施例的系统;
图16示出根据本发明的实施例的分类单元的一部分;
图17是根据本发明的实施例的用于获取对象的多个图像的方法的流程图;
图18是根据本发明的实施例的用于获取对象的多个图像的方法的流程图;
图19是根据本发明的实施例的用于对六面对象成像的方法的流程图;
图20A~20C示出根据本发明的各种实施例的系统的部分99;
图21示出根据本发明的实施例的旋转元件101。
具体实施方式
诸如电气部件、特别是小型细长电气部件的对象的多个侧边被成像。小型细长电气部件的长度通常不超过几微米。以下说明将参照这些对象。注意,这些对象便利地为在后面形成诸如PCB的电路的一部分的小型细长电气部件。
对象的多个侧边或(面)被成像,并且这些图像然后被处理以确定例如这些对象的功能。便利地,可以通过照明对象的多个侧边并使这些侧边成像,每秒使许多对象成像。
可通过小型细长电路的横向传送以高的吞吐量实现小型细长电路的侧边的图像,并且,使用气体引起的传送减少小型细长电路在各检查和传送阶段中受损的机会。
图1示出根据本发明的实施例的用于使对象成像的系统的一部分10。
系统包括多个轨道11,每个轨道11包含一对轨道壁13。对象14首先沿纵向在轨道壁13之间被传送,直到到达旋转单元(也被称为翻转与旋转单元)16。旋转单元16通过沿对象14的纵轴将它们旋转180度并沿对象14的垂直轴将它们旋转90度,改变对象14的取向。注意,可通过偏转、俯仰和滚动旋转的其它组合实现相同的旋转效果。还应注意,可通过从轨道的侧边馈送(或去除)对象和通过将对象提供给执行回路或回路部分的导管等,实现旋转中的一些。
在旋转单元16之后,对象14在轨道壁13之间被横向传送,直到到达轨道12的端部。一般地,轨道13后面跟随根据对象的功能将对象分类的分类单元。
可通过一个或更多个传送带和通过向着旋转单元16移动的一个或更多个传送元件等传送对象14。以纵向的方式传送对象的轨道的一部分以及任何传送器或支撑装置也被称为纵向传送器。纵向传送器沿基本上与对象的纵轴平行的传送轴传送对象。图1示出位于旋转单元16之前的多个平行的轨道和多个平行的轨道壁,它们中的每一个可被称为纵向传送器部分。
以横向的方式传送对象的轨道的一部分以及任何传送器或传送构件也被称为横向传送器。横向传送器沿基本上与对象的纵轴垂直的传送轴传送对象。图1示出位于旋转单元16之后的多个平行的轨道和多个平行的轨道壁,它们中的每一个可被称为横向传送器部分。
图1还示出向着第一和第二成像传感器(未示出)引导光的第一和第二透镜17和18。注意,图1示出线传感器,但也可使用诸如二维区域成像传感器的其它成像传感器。一般地,区域成像传感器可同时获取沿二维阵列配置的多个对象的图像,而行成像传感器对对象进行扫描。因此,区域成像传感器与脉动的照明一起使用,并且/或者在图像获取的过程中保持多个对象静止。行成像传感器可与对象的连续移动一起使用。
(图2的)透镜17和第一成像传感器19位于第一成像区域之上。第一成像区域中的轨道壁包含位于对象14的两侧的两个斜面镜(或棱镜)。斜面镜便利地按45度取向,并且从对象的侧边向着透镜17并然后向着第一成像传感器引导光。因此,第一成像传感器可获取对象14的顶部图像以及两个侧边图像。如果对象具有六个面,那么第一成像传感器对其顶面以及与对象的纵轴平行的两个侧面成像。
(图2的)透镜18和第二成像传感器20位于第二成像区域之上。第二成像区域中的轨道壁包含位于对象14的两侧的两个斜面镜(或棱镜)。斜面镜便利地按45度取向,并且从对象14的其它侧边向着透镜18并然后向着第二成像传感器引导光。因此,第二成像传感器可获取对象14的顶部图像以及两个其它侧边图像。如果对象具有六个面,那么第二成像传感器对其底面以及与对象的纵轴垂直的两个侧面成像。
注意,第一成像传感器和第二成像传感器可包含线照相机、区域传感器或两者的组合。可以使用连续或脉动的照明以及多方向照明以照明对象。
图2示出根据本发明的实施例的沿第一成像区域和第二成像区域取的部分10的截面图8和9。
N18是在第一成像区域上取的截面图,而N2是在第二成像区域上取的截面图。
N1示出在包含斜面(以两个45度)镜22和23的轨道壁13之间穿过的对象14。透视图14a示出样品对象的六个面-A、B、C、D、E和F。面A被称为对象14的顶面,面B被称为对象14的底面,面C和D被称为对象14的侧面,面E和F被称为对象14的其它侧面。注意,即使对象14的取向改变,也在以下的说明中使用上述的定义。例如,即使当对象14被翻转、旋转或采取其它方向使得面A未必朝上时,顶侧边A也将指的是顶侧边。
注意,作为例子提供对象14的立方体形状,并且系统和方法不限于检查立方体形状的对象,而是适于检查诸如各种形状的电气部件、特别是小型细长电气部件的三维对象。这些电气部件可包含小型电容器,但未必如此。
在第一成像区域中,顶面A和侧面C和D被成像。斜面镜22反射侧面C的图像,斜面镜23反射侧面D的图像。面A的图像直接向着透镜17并且然后向着第一成像传感器19被反射。
三面图像14b被捕获,或者是通过位于透镜17之前的第一成像传感器19。第一成像传感器19可一次获取三面图像14b。
由于从顶面A反射的光穿过顶部收集路径,该顶部收集路径的光学长度与从侧面C和D反射的光穿过的侧边收集路径的光学长度不同,因此部分10包含补偿这些光路差的调焦器26。调焦器(也被称为路径长度调整光学器件)可实际上加长顶部收集路径的光路并且/或者实际上缩短侧边收集路径的光学长度。实际的缩短可包含使光穿过延迟透镜或具有比气体高的折射率的其它光学部件。例如,在斜面镜22和23前面放置延迟透镜将实际上缩短与这些斜面镜相关的侧边收集路径的光学长度。
注意,虽然图2示出以垂直或水平的方式传播的光线(虚线),但是本领域技术人员可以理解系统也可从沿其它方向传播的光线产生图像。
调焦器26可包含路径折弯镜26a和26b(如图4所示)。第一镜26a相对于对象的顶面被定位和转向,以将对象的顶面的图像反射到第二镜26b。第二镜26b被定位和转向以将对象的顶面的图像从第一镜26a通过透镜17反射到第一成像传感器19。改变镜子26a和26b之间的距离可确定顶部收集路径的光路的加长情况。
N2是在第二成像区域上取的部分10的截面图。对象15在被翻转与旋转后到达第二成像区域。对象15在包含两个斜面镜24和25的轨道壁13之间穿过。对象的透视图15a示出,底面B朝上,其它侧面F和E面向斜面镜24和25并且通过第二成像器20成像。其它侧面F被斜面镜24反射,其它侧面E被斜面镜25反射。第二成像传感器20位于透镜18后面,并且可获取包含三个面F、B和E的图像15b。如在第一成像区域中那样,在该区域中还出于相同的目的添加调焦器27。
便利地,图像14b(在第一成像区域上获取)和图像15b(在第二成像区域上获取)可被处理、甚至被组合在一起以获得包含对象的所有的六个面的单个图像。
图3是根据本发明的实施例的在第一成像区域上取的部分10的更详细的截面图。图4A是根据本发明的实施例的包含轨道13、斜面镜22和23、对象14、路径折弯光学器件26和透镜17的系统的部分41的三维视图。图4B是根据本发明的实施例的五个部分41~45的三维视图。
图3、图4A和图4B更详细地将调焦器26示为包含加长顶部收集路径的光学长度的两个路径折弯镜26a和26b。对象的顶面的图像向着第一镜26a被向上反射(由虚线箭头21d表示),然后向着第二镜26b被反射(由虚线箭头21c表示),并最终向着透镜17(由虚线箭头21b表示)和第一成像传感器19(由虚线箭头21a表示)被向上反射。箭头21c示出包含部分21d、21c、21b和21a的顶部收集路径的光路的加长情况。
侧边收集路径包含在对象14的侧面和斜面镜之间跨过的第一部分(未示出)以及从斜面镜跨向透镜17的第二部分(由虚线箭头21e表示)和从透镜17到第一成像光学器件19的第三部分(由虚线箭头21a表示)。
便利地,镜子26a和26b之间的距离可被改变,由此改变顶部收集路径的光学长度。
图3以及图4A和图4B示出,由于镜子26a和26b之间的水平位移,因此对象14的侧边图像响应对象14的顶部图像出现空间偏移。因此,图像14b和15b表示,顶部图像稍稍处于对象14的侧边图像前面。
注意,图3、图4A和图4B示出加长顶部收集路径的光学长度的路径长度调整光学器件(也被称为调焦器),而图5A~6C示出实际缩短侧边收集路径的光学长度的路径长度调整光学器件。
便利地,成像系统可在实际上加长顶部收集路径的光学长度以及在实际上缩短侧边收集路径的光学长度。
便利地,通过在侧边收集路径上、便利地在斜面镜22和23和透镜17以及在斜面镜24和25以及在透镜18之间放置诸如延迟透镜或棱镜的透明物体,执行缩短。
图5A是根据本发明的实施例的部分41′的三维视图。图5B是根据本发明的实施例的五个轨道13(1)~13(5)、五个对象以及多个透明立方体29(1)~29(6)的三维视图。
透明立方体29(1)~29(6)实际上缩短侧边收集路径的光学长度。
图6A是根据本发明的实施例的沿第一成像区域取的部分10的截面图。
图6A示出根据本发明的实施例的六个轨道13(1)~13(6)、六个对象14(1)~14(6)、七个透明立方体29(1)~29(7)以及六对斜面镜{22(1)、23(1)}~{22(6)、23(6)}。
便利地,每个相邻的斜面镜分配单个透明立方体。由此,透明立方体29(2)位于第一轨道13(1)的斜面镜23(1)和第二轨道13(2)的相邻斜面镜22(2)之上。
图6B示出根据本发明的实施例的六个轨道13(1)~13(6)、六个对象14(1)~14(6)、七个透明元件30(1)~30(7)以及六对斜面镜{22(1)、23(1)}~{22(6)、23(6)}。
七个透明对象30(1)~30(7)被成形以便与斜面镜接触。
虽然一对相邻的斜面镜形成三角形,但各透明元件具有限定配合该三角形的倒V形槽的底部部分。例如,图6B示出限定配合由斜面镜23(1)和22(2)限定的矩形的倒V形槽的透明元件30(2)。
图6C示出根据本发明的实施例的十二个透明元件30(1)~30(12)和位于第一成像区域外面的透明元件保持器31。
便利地,对象的传送由气流、真空和气体脉冲等的组合控制。可以在包含透明的上部或至少包含在第一和第二成像区域中透明的上部的各种导管内传送对象14。
图6D示出根据本发明的实施例的六个轨道13(1)~13(6)、六个对象14(1)~14(6)、七个透明元件30′(1)~30′(7)、六个顶部透明元件32(1)~32(6)和六对斜面镜{22(1)、23(1)}~{22(6)、23(6)}。
六个顶部透明元件32(1)~32(6)中的每一个与30′(1)~30′(7)中的两个透明对象连接,并被放在被检查对象上面。因此,对象14(1)~14(6)被可限定闭合导管的透明元件包围,在该闭合导管内可引入预定的气体压力(包含真空压力)。七个透明对象30′(1)~30′(7)被成形以便与斜面镜接触。这七个透明对象类似于透明对象30(1)~30(7),但更长,该加长的长度等于顶部透明元件的宽度。
图6E是根据本发明的实施例的沿第一成像区域取的部分10的截面图。根据该实施例,对象14被包含顶部透明部分34(2)(等同于元件32(2))和相互连接的两个侧边透明部分35(2)和36(2)(等同于元件30(2)和30(3))的透明元件33(2)包围。图6E还示出这些透明元件的各表面37被构造以便散射射向对象14的光。这些表面便利地位于顶部和侧边收集路径外面,以便不使对象14的图像畸变。
图7示出根据本发明的实施例的通过来自多个方面的光对于对象14的照明。
图7示出以非法线方向照明对象14的光线50(1)~50(5)。
图8示出根据本发明的实施例的照明单元70。
照明单元70从包含顶部角度范围91、右角度范围92和左角度范围93的三个角度范围照明对象14。便利地,通过顶部纤维71、右纤维72和左纤维73向对象引导光。右纤维72之后是透镜82,左纤维73之后是透镜83。顶部纤维71之后是从顶部纤维71向透镜17引导光的分束器80。
注意,照明单元70可改变照明对象14的方式。改变可包含改变引向对象14的光的波长、偏振状态、强度。注意,不是所有的纤维都必需同时照明对象。还应注意,可以使用包含球形照明、环形照明等的其它照明单元。可以应用脉冲和/或连续照明。
图9示出根据本发明的实施例的传送元件220、部分元件224、部件导管210和几个对象202、202′。
传送元件220在装载区域(诸如图13a的第一装载区域230)上接收对象。对象沿部件导管210纵向传导,直到到达开口212。开口212之前是90度弯曲部分,并与传送元件220垂直。注意,可以使用其它形状的弯曲部分(包含与90度弯曲部分不同的弯曲部分)。通过位置与开口212相对并且对于每个接收的对象施加一个真空脉冲的部分元件224,对象被强制离开部件导管210并被放在传送元件220上。部分与传送元件220的前进同步,使得传送元件的各个隔间接收一个对象。对象被放在传送元件220上,同时它们的纵轴与传送元件220移动所沿的传送轴垂直。注意,图9示出供应离开开口212的对象202和已被放在传送元件220的隔间中的另一对象202′。
传送元件220可以为传送带的一部分,可包含多个隔间,或者可通过基于机械、磁或气体压力的装置向第一成像区域240(以及从第一成像区域240)移动。例如,传送元件220可以相对较轻,并且通过在横向传送器201内引入气压差向第一成像区域240和从第一成像区域240移动(在图13A~15中示出)。
根据本发明的另一实施例,可向传送元件220馈送对象,而从传送元件220去除其它的对象。可通过在传送元件220的附近放置(对象接收器的)另一部分元件和另一开口并使用用于从传送元件去除已成像的对象的气体脉冲,执行这一点。这些被去除的对象可被发送到旋转单元、另一成像区域或分类单元。根据该方案,一旦成像阶段结束,传送元件220就向后(向部件导管210)而不是向前移动(如图13A所示)。
根据本发明的另一实施例,对象被馈送到传送元件220,同时其它的对象被成像。可例如通过使用诸如传送元件220的多个传送元件、通过使用贯穿装载区域和第一成像区域等的较长的传送带,实现这一点。
图10示出根据本发明的实施例的传送元件220(1)~220(3)、部分元件224(1)~224(3)、部件导管210(1)~210(3)和几个对象202、202′。
部件导管210(1)~210(3)与传送元件220(1)~220(3)垂直。在部件导管210(1)~210(3)中,对象以纵向的方式被传送。在被提供到传送元件220(1)~220(3)之后,对象以横向的方式被传送。可以使用气体、特别是气压差以在部件导管210(1)~210(3)内传送对象。便利地,对象在部件导管210(1)~210(3)内的纵向移动与对象在传送元件220(1)~220(3)内的横向移动同步。
图11A是根据本发明的另一实施例的对象提供元件80的顶视图。图11B是根据本发明的另一实施例的对象提供元件80、部分元件224和传送元件220的侧视图。
对象提供元件80被放在多个传送元件和容器之间。它是图10所示的配置的替代方案。
对象提供元件80包含二维阵列的孔径(或隧道)82。各隧道82的开口81可接收被取向以便被下面的传送元件220以横向方式接收的对象。可以使用旋转和/或气体脉冲(或湍流)以向开口81引导对象。对象提供元件80可在各隧道内存放多个层叠的对象,其中,气体脉冲选择性地每个隧道释放单个对象。各孔径行与单个横向传送器部分对应。
图12示出根据本发明的另一实施例的容器92和部件导管210。
部件导管210从对象容器92接收对象。部件导管210可包含多个端部,诸如在对象容器92和部件导管210之间形成连接体的第一端(表示为部件出口91)、用于注入气体脉冲的第二端93和多个附加的端部-每个部分一个。这些端部由附图标记210(1)~210(8)表示。注意,为了将从对象容器取回的对象分布到N个部分中的每一个,可以在对象容器和各部分之间放置各种的1到N(N为部分的数量)分布机构。注意,N可以不是8。
通过第二端93注入的气体脉冲99导致使得容易从对象容器92提供对象的湍流(由圆形虚线箭头99表示)。湍流以及通过对象容器92的第一和第二气体入口的稳态气流注入可取代对象在容器92内的振动,或者可以在这种振动之外被施加。
图13A~13C示出根据本发明的实施例的系统200。图13A是横向传送器201的顶视图,图13B是纵向传送器203的顶视图,图13C是两个传送器以及旋转单元260的侧视图。
横向传送器201包含多个部分,每个部分用于一行对象的传送。可通过使用可从一个位置向另一位置传送传送元件220的机械、磁、电气和/或气体引导机构实现传送。例如,为了接收对象,传送元件220可扫描第一装载区域230。在装载有对象之后,传送元件220可被引导为向第一成像区域240移动(以连续的方式或以脉冲的方式)。第一成像区域中的对象通过第一成像器242(包含透镜17和第一成像传感器19)被成像。成像的对象可在被成像的同时移动,或者可基本上保持在同一位置上。在第一成像阶段结束之后,传送元件将对象传送到卸载区域232,在该卸载区域232中,对象被馈送到U形旋转单元260。可以以与在第一装载区域230中向传送元件220供给对象类似的方式执行馈送。
旋转单元260每个横向传送器部分包含一个U形导管。旋转的对象被馈送到纵向传送器230、特别是以纵向方式支撑对象的传送元件220′。传送元件220′可包含多个隔间,每个纵向放置的对象一个隔间。
纵向传送器203在积累对象的第一延迟区域270中开始,直到达到每个纵向传送器预定数量的对象。然后,二维阵列的对象被发送到第二成像区域280,在该第二成像区域280中,对象通过第二成像器282被成像。第二成像器282可包含透镜18和第二成像传感器20。第二成像区域280之后是第二延迟单元272,该第二延迟单元272之后又是分类单元290。第二延迟单元272延迟成像的对象,同时允许系统的处理器205处理对象的图像、确定它们的功能并使得分类单元290能够根据对象的功能将这些对象分类。
注意,图像的处理可在在第一成像区域240中获取图像之后开始,或者可以等待直到在第二成像区域280中获取图像。
便利地,在传送元件220被腾空之后,可以通过使用传送元件返回单元将其返回到初始状态(它在该状态中接收对象)。如果传送元件220是传送带的一部分,那么传送元件返回单元是带子本身。如果传送元件220不是循环单元的一部分,那么可以以各种方式将其从卸载区域232发送到装载区域230。可以沿与它在承载对象时行进的路径相同的路径向装载区域230发送它,但它也可沿另一路径行进。例如,传送元件可向下穿过横向传送器201中的开口,并穿过位于横向传送器201下面的隧道,直到被吸取(或以其它方式上升)并/或被转移到其初始位置。对于传送元件220′同样如此。
根据本发明的另一实施例,部件导管210扫描传送元件220,由此,即使当传送元件220基本上静止时也允许供给新的对象。
图14A~14B示出根据本发明的另一实施例的系统200′。根据本发明的另一实施例,图14A是横向传送器201′的顶视图,图14B是纵向传送器203′的顶视图。系统200′与图13A~13C的系统200的不同之处是使用不同的装载、卸载和旋转单元、在纵向传送器203′下面放置第二成像器以及横向传送器201′和纵向传送器203′的相对位置。
通过与传送元件220垂直的部件导管馈送传送元件220。卸载区域232包含关于对象的垂直轴将对象旋转90度的卸载单元。由于对象不沿它们的纵轴旋转,因此第二成像器被放在纵向传送器203′下面。
图15示出根据本发明的另一实施例的系统200″。图15是根据本发明的另一实施例的横向传送器201″的顶视图。
系统200″包含横向传送器201″、分类单元290和处理器(未示出),但是不包含旋转单元260,并由此能够对对象的顶部、底部和两侧成像。
图16示出根据本发明的实施例的分类单元290的部分290(1)。
由于系统包含N个部分,因此各部分以分类单元290的一部分结束。图16示出实现二进制决定-对象是否具有功能-的分类单元部分290(1)。注意,可以以类似的方式将对象分为多于两类的类别。
便利地,部分290(1)包含单个输入导管291(1)以及两个输出导管292(1)和293(1),前者接收有功能的对象(通过功能测试的对象),后者接收没有功能的对象(失效的对象)。气体驱动元件294(1)可在处于中间位置时接收对象,并可滑向右(通过施加气体脉冲)并将对象引导到输出导管292(1),或者滑向左(通过施加另一气体脉冲)并将对象引导到输出导管293(1)。气体驱动元件294(1)的移动由使分类处理与前面成像的对象的接收同步化的控制器或处理器控制。
图17是根据本发明的实施例的用于获取对象的多个图像的方法300的流程图。
方法300从向横向传送器提供多个对象的阶段310开始。
便利地,阶段310包含向横向传送器提供多个小型细长电气部件。
便利地,阶段310包含以下步骤中的至少一个或它们的组合:(i)从包含多个气体入口和部件出口的容器向横向传送器提供对象,同时穿过部件出口注入气体脉冲,可通过在一端与部件出口连接的部件导管的第二端注入气体脉冲;(ii)通过在一端与部件出口连接的部件导管的多个附加端部提供对象;(iii)使对象在对象容器内振动;(iv)接收新的对象,同时获取其它对象的图像。
阶段310之后是向第一成像区域横向传送对象的阶段320,其中,横向传送包含利用气压差。
便利地,阶段320包含向第一成像区域横向传送多个小型细长电气部件;其中,横向传送包含利用气压差。
便利地,阶段320包含以下步骤中的至少一个或它们的组合:(i)在具有规则地隔开的隔间的至少一个传送元件上放置对象,各隔间适于接收单个对象;(ii)在具有规则地隔开的隔间的至少一个支撑传送带上放置对象,各隔间适于接收单个对象;(iii)向第一检查区域传送二维阵列的横向配置的对象;(iv)在取出已被检查的对象而腾空横向传送器时,向横向传送器馈送新的对象;(v)通过分别适于以横向方式向第一成像区域传送一系列的对象的多个横向传送器部分横向传送多个对象。
阶段320之后是获取位于第一成像区域中的对象的顶部图像和两侧边图像的阶段330。
便利地,阶段330包含获取位于第一成像区域中的小型细长电气部件的顶部图像和两侧边图像。
阶段330包含照明位于第一照明区域中的对象的阶段332和感测从对象的顶部和两侧边反射或散射的光以便获得对象的顶部图像和两侧图像的阶段334。
便利地,阶段332包含以下步骤中的至少一个或它们的组合:(i)照明适于向对象的相对的侧边引导光并向第一成像传感器引导从电气部件的相对的侧边反射或散射的光的至少一对斜面镜;(ii)在位于第一成像区域中的对象位于两个斜面镜之间的同时,照明位于第一成像区域中的两个斜面镜;(iii)照明按45度取向的两个斜面镜;(iv)用被路径长度调整光学器件的一部分散射的光照明对象;(v)从多个角度照明对象;(vi)以多个照明方式照明对象,其中,不同的方式可包含不同的波长、不同的偏振状态和不同的强度等;(v)按每个横向传送器部分照明一对斜面镜;其中,该对斜面镜适于向对象的相对的侧边引导光并向第一成像传感器引导从对象的相对的侧边反射或散射的光;(vi)照明按45度取向的多个斜面镜。
便利地,阶段334包含以下步骤中的至少一个或它们的组合:(i)感测穿过适于使顶部收集路径的光学长度和侧边收集路径的光学长度基本上相等的路径长度调整光学器件的光;(ii)感测穿过包含加长顶部收集路径的光学长度的路径长度调整光学器件的路径长度调整光学器件的光;(iii)感测穿过包含实际上缩短侧边收集路径的光学长度的路径长度调整光学器件的路径长度调整光学器件的光;(iv)感测穿过被成形以便与斜面镜接触的路径长度调整光学器件的光,其中,该方法包含照明适于向对象的相对的侧边引导光并向第一成像传感器引导从电气部件的相对的侧边反射或散射的光的斜面镜;(v)感测穿过包含透明元件的路径长度调整光学器件的光,该透明元件包含限定V形槽的底部部分;(vi)感测穿过包含至少一个折弯镜的路径长度调整光学器件的光;(vii)在获取的同时维持正在被成像的对象基本上静止;(viii)扫描正在被成像的对象。
阶段330之后是改变对象的取向的阶段340。
便利地,阶段340包含改变小型和细长电气部件的取向。
阶段340可包含旋转对象和翻转对象等。便利地,阶段340包含从横向传送器接收对象以及向纵向传送器提供所接收的对象。阶段340可包含通过每个横向传送器部分包含导管的连接体接收对象。
阶段340之后是通过纵向传送器向第二成像区域纵向传送对象的阶段350。注意,阶段350可在阶段320之前。这些阶段的次序一般由实现这些阶段的系统的配置确定。
便利地,阶段350包含通过纵向传送器向第二成像区域纵向传送小型细长电气部件。
便利地,阶段350包含以下步骤中的至少一个或它们的组合:(i)在具有规则地隔开的隔间的至少一个传送元件上放置对象,各隔间适于接收单个对象;(ii)在具有规则地隔开的隔间的至少一个支撑传送带上放置对象,各隔间适于接收单个对象;(iii)向第二检查区域传送二维阵列的纵向配置的对象;(iv)沿电路的传送路径引入气压差;(v)在取出已被检查的对象而腾空纵向传送器时,向纵向传送器馈送新的对象;(vi)通过分别适于以纵向方式向第二成像区域传送一系列的对象的多个纵向传送器部分纵向传送多个对象。
阶段350之后是获取位于第二成像区域中的对象的底部图像和两个其它侧边图像的阶段360。该底部图像和两个其它侧边图像不是在对象处于第一成像区域中时获取的。
便利地,阶段360包含获取位于第二成像区域中的小型和细长电气部件的底部图像和两个其它侧边图像。底部图像和两个其它侧边图像不是在小型和细长电气部件处于第一成像区域中时获取的。
阶段360包含照明位于第二照明区域中的对象的阶段362和感测从对象的底部和两个其它侧边反射或散射的光以便获得对象的底部图像和两个其它侧边图像的阶段364。
便利地,阶段362包含以下步骤中的至少一个或它们的组合:(i)照明适于向对象的相对的侧边引导光并向第二成像传感器引导从对象的相对的侧边反射或散射的光的至少一对斜面镜;(ii)在位于第二成像区域中的对象位于两个斜面镜之间的同时,照明位于第一成像区域中的两个斜面镜;(iii)照明按45度取向的两个斜面镜;(iv)用被路径长度调整光学器件的一部分散射的光照明对象;(v)从多个角度照明对象;(vi)以多个照明方式照明对象,其中,不同的方式可包含不同的波长、不同的偏振状态和不同的强度等;(v)按每个纵向传送器部分照明一对斜面镜;其中,该对斜面镜适于向对象的相对的侧边引导光并向第二成像传感器引导从对象的相对的侧边反射或散射的光;(vi)照明按45度取向的多个斜面镜。
便利地,阶段364包含以下步骤中的至少一个或它们的组合:(i)感测穿过适于使底部收集路径的光学长度和其它侧边收集路径的光学长度基本上相等的路径长度调整光学器件的光;(ii)感测穿过包含加长底部收集路径的光学长度的路径长度调整光学器件的路径长度调整光学器件的光;(iii)感测穿过包含实际上缩短其它侧边收集路径的光学长度的路径长度调整光学器件的路径长度调整光学器件的光;(iv)感测穿过被成形以便与斜面镜接触的路径长度调整光学器件的光,其中,该方法包含照明适于向对象的其它相对的侧边引导光并向第二成像传感器引导从对象的所述其它相对的侧边反射或散射的光的斜面镜;(v)感测穿过包含透明元件的路径长度调整光学器件的光,该透明元件包含限定V形槽的底部部分;(vi)感测穿过包含至少一个折弯镜的路径长度调整光学器件的光;(vii)在获取的同时维持正在被成像的对象基本上静止;(viii)扫描正在被成像的对象。
阶段360之后是处理对象的图像的阶段370。阶段370可包含确定对象的功能。
便利地,阶段370包含处理小型细长电气部件的图像。阶段370可包含确定小型和细长电气部件的功能。
阶段370之后是根据对象的功能将这些对象分类的阶段380。
便利地,阶段380包含根据小型细长电气部件的功能将这些电气部件分类。
阶段380可包含利用气体驱动选择单元以响应对象的功能将电路引向该多个输出导管中的一个输出导管。
根据本发明的另一实施例,方法300可包含获得对象的四个(不是六个)图像。在这种情况下,阶段340之后是获得位于成像区域中的对象(诸如但不限于小型细长电气部件)的底部图像的阶段390。可通过在横向部件传送器的透明部分上横向传送对象并获取底部图像,实现这一点。透明部分可位于各种位置,这些位置包含但不限于第一成像区域或第二成像区域。
方法300便利地包含对对象进行电气测试的阶段305。可通过利用位于产生图像的系统中的电气测试点执行电气测试。这些电气测试点可位于横向传送器、纵向传送器、第一成像区域、第二成像区域和翻转与旋转单元等内。这些测试点的位置确定电气测试和图像获取阶段的相对次序。出于简化解释的目的,阶段305被示为后面的阶段330。注意,对象的分类和/或功能确定可响应于电气测试的结果。例如,只有通过外观检查和电气测试的对象才被视为具有功能。
图18是根据本发明的实施例的用于获取对象的多个图像的方法302的流程图。
方法302与方法300的不同之处在于包含阶段322和352而不是阶段320和350。
方法302从向横向传送器提供多个对象的阶段310开始。
阶段310之后是向第一成像区域横向传送对象的阶段322。阶段322未必包含利用气压差。便利地,对象是小型电气部件。
阶段322之后是获得位于第一成像区域中的对象的顶部图像和两个侧边图像的阶段330。
阶段330之后是改变对象的取向的阶段340。
阶段340之后是通过纵向传送器向第二成像区域纵向传送对象的阶段352。便利地,对象是小型电气部件。阶段352未必包含利用气压差。
阶段350之后是获取位于第二成像区域中的对象的底部图像和两个其它侧边图像的阶段360。底部图像和两个其它侧边图像不是在对象处于第一成像区域中时获取的。
阶段360之后是处理对象的图像的阶段370。阶段370可包含确定对象的功能。
阶段370之后是根据对象的功能将这些对象分类的阶段380。阶段380可包含利用气体驱动选择单元以响应对象的功能将电路引向该多个输出导管中的一个输出导管。
根据本发明的另一实施例,方法302可包含获得对象的四个(不是六个)图像。在这种情况下,阶段340之后是获得位于第一成像区域中的对象的底部图像的阶段390。可通过在横向部件传送器的透明部分上横向传送对象并获取底部图像,实现这一点。透明部分可位于各种位置,这些位置包含但不限于第一成像区域或第二成像区域。
方法302便利地包含对对象进行电气测试的阶段305。注意,对象的功能确定和/或分类可响应于电气测试的结果。
图19是根据本发明的实施例的用于对六面对象成像的方法400的流程图。
方法400可从调整用于向第一成像区域传送对象的至少一个轨道的宽度的阶段410开始。应根据要检查的对象的尺寸调整轨道的宽度。
阶段410之后是在对象被传送穿过第一成像区域的同时通过位于第一成像区域之上的第一成像器对对象的顶面和两个侧面成像的阶段420,其中,成像包含照明位于第一成像区域中的斜面镜。
便利地,阶段420包含以下操作中的至少一个或它们的组合:(i)感测穿过用于使垂直光路和侧边光路的光学长度相等的调焦装置的光;(ii)感测穿过包含路径折弯镜的调焦装置的光;(iii)感测穿过包含两个玻璃棱镜的调焦装置的光;(iv)感测穿过包含两个孔隙棱镜的调焦装置的光;(v)感测穿过调焦装置的光,包含通过第一成像器的第一部分对对象的顶面成像和通过第一成像器的第二部分对对象的侧面成像;(vi)基本上同时地对对象的顶面和两个侧面成像;(v)执行行成像。
阶段420之后是在位于第一成像区域和第二成像区域之间的预定点中翻转与旋转各对象的阶段430。
阶段430之后是在对象被传送穿过第二成像区域的同时通过位于第二成像区域之上的第二成像器对没有通过第一成像器成像的对象的其它面成像的阶段440,其中,成像包含照明位于第二成像区域中的斜面镜。
便利地,阶段440包含以下操作中的至少一个或它们的组合:(i)感测穿过用于使垂直光路和侧边光路的光学长度相等的调焦装置的光;(ii)感测穿过包含路径折弯镜的调焦装置的光;(iii)感测穿过包含两个玻璃棱镜的调焦装置的光;(iv)感测穿过包含两个孔隙棱镜的调焦装置的光;(v)感测穿过调焦装置的光,包含通过第二成像器的第一部分对对象的底面成像和通过第二成像器的第二部分对对象的其它侧面成像;(vi)基本上同时地对对象的顶面和两个侧面成像;(v)执行行成像。
阶段440之后是确定对象的功能并根据该确定将对象分类的阶段450。
阶段450可包含产生对象的六面图像。将获取的图像与基准图像相比较、将获取的图像与数据库相比较,等等。
便利地,方法400还包含对对象进行电气测试。可通过使用沿轨道放置的电气接点完成这一点。使用电气接点对对象进行测试在本领域中是已知的,不需要进一步的解释。例如,测试可包含对对象进行充电、对对象进行放电、测量对象的电阻、导电率、电容和电感等。可以在沿轨道传送对象的同时执行测试。
根据本发明的实施例,单个成像器适于当对象位于第一成像区域中时以及当对象位于第二成像区域中时对对象的多个部分成像。根据本发明的各实施例,可以在引入或不引入机械移动的情况下完成这一点。如果例如第一和第二成像区域位于成像器的视场内,那么机械移动不是必需的。
图20A~20C示出相互接近的第一和第二成像区域240和280。如果存在这种接近度,那么在单个视场内包含两个成像区域会是更加容易的。容器92可向多个导管提供多个对象,这些导管可向多个支撑元件提供(在母线装载卸载区域上)元件(在图20B中更详细地示出)。对象然后被发送到第一扫描区域230,通过成像器被成像,然后被向后发送(在位于它们的支撑元件上的同时)回母线卸载和装载区域,在该母线卸载和装载区域上,它们被卸载到其它的导管(在第一成像区域240下面、特别是在支撑元件穿过的轨道下面穿过),并且,在以纵向方式在这些导管中传送之后,被提供给旋转元件101(在图21中更详细地示出),穿过螺旋槽103,并被提供给第二成像区域280,在该第二成像区域280中,它们又被成像。
在被成像之后,它们被提供给任选的延迟区域(未示出),然后被发送到分类单元。
注意,可以在第一和第二成像区域之间以各种方式翻转与旋转对象。图21示出包含螺旋槽103的管状旋转元件101,在该螺旋槽103中,对象可在被旋转时传导。
虽然结合本发明的特定实施例对本发明进行了说明,但很显然许多的替代、修改和变更方式对于本领域技术人员来说是十分明显的;因此,意图包含在所附权利要求的精神和宽范围内的所有这些替代、修改和变更方式。
Claims (145)
1.一种用于获取电气部件的多个图像的系统,该系统包括:
适于获得位于第一成像区域中的电气部件的顶部图像和两个侧边图像的第一成像器,其中,电气部件是小而细长的;和
适于以横向方式向第一成像区域传送电气部件的横向传送器,其中,横向传送器利用气压差。
2.根据权利要求1的系统,其中,第一成像器包含适于向电气部件的相对的侧边引导光并向第一成像传感器引导从电气部件的相对的侧边反射或散射的光的至少一对斜面镜。
3.根据权利要求1的系统,其中,第一成像器包含位于第一成像区域中的两个斜面镜;其中,电气部件在位于第一成像区域中时位于所述两个斜面镜之间。
4.根据权利要求1的系统,其中,所述两个斜面镜按45度取向。
5.根据权利要求1的系统,其中,第一成像器包含适于使顶部收集路径的光学长度和侧边收集路径的光学长度基本上相等的路径长度调整光学器件。
6.根据权利要求5的系统,其中,第一成像器包含加长顶部收集路径的光学长度的路径长度调整光学器件。
7.根据权利要求5的系统,其中,第一成像器包含实际上缩短侧边收集路径的光学长度的路径长度调整光学器件。
8.根据权利要求5的系统,其中,路径长度调整光学器件被成形以便与斜面镜接触;其中,斜面镜适于向电气部件的相对的侧边引导光并向第一成像传感器引导从电气部件的相对的侧边反射或散射的光。
9.根据权利要求5的系统,其中,路径长度调整光学器件的至少一个部分被成形以便散射向该部分引导的光。
10.根据权利要求5的系统,其中,路径长度调整光学器件包含透明元件,该透明元件包含限定V形槽的底部部分。
11.根据权利要求5的系统,其中,路径长度调整光学器件包含至少一个折弯镜。
12.根据权利要求1的系统,还包括适于从多个角度照明电气部件的照明单元。
13.根据权利要求1的系统,其中,横向传送器包含用于沿电路的传送路径引入气压差的至少一个气体输入端和至少一个气体输出端。
14.根据权利要求1的系统,其中,横向传送器包含具有规则地隔开的隔间的至少一个传送元件,各隔间适于接收单个电气部件。
15.根据权利要求1的系统,其中,横向传送器包含具有规则地隔开的隔间的至少一个支撑传送带,各隔间适于接收单个电气部件。
16.根据权利要求1的系统,其中,横向传送器适于向第一检查区域传送二维阵列的横向配置的电气部件。
17.根据权利要求1的系统,其中,当取出已被检查的电气部件而腾空横向传送器时,向横向传送器馈送新的电气部件。
18.根据权利要求1的系统,还包括适于与电气部件接触的电气连接点。
19.根据权利要求1的系统,其中,横向传送器适于向第一成像区域传送电气部件、在图像获取会话期间保持基本上静止、以及在图像获取会话结束之后将已被检查的电气部件传送出第一成像区域。
20.根据权利要求1的系统,还包括适于以多种照明方式照明电气部件的照明单元。
21.根据权利要求1的系统,其中,横向传送器包含多个横向传送器部分,每个横向传送器部分适于以横向方式向第一成像区域传送一系列的电气部件。
22.根据权利要求21的系统,其中,第一成像器按每个横向传送器部分包含一对斜面镜,各对斜面镜适于向由该横向传送器部分传送的电气部件的相对的侧面引导光,并向第一成像传感器引导从该电气部件的相对的侧面反射或散射的光。
23.根据权利要求21的系统,其中,两个斜面镜按45度取向。
24.根据权利要求21的系统,其中,第一成像器包含适于使顶部收集路径的光学长度和侧边收集路径的光学长度基本上相等的路径长度调整光学器件。
25.根据权利要求1的系统,其中,横向传送器适于在其它的电气部件的图像被获取时接收新的电气部件。
26.一种用于获取电气部件的多个图像的方法,该方法包括下列步骤:
向第一成像区域横向传送电气部件,其中,该横向传送包含利用气压差;其中,电气部件是小而细长的;和
获取位于第一成像区域中的电气部件的顶部图像和两个侧边图像。
27.根据权利要求26的方法,还包括照明适于向电气部件的相对的侧边引导光并向第一成像传感器引导从电气部件的相对的侧边反射或散射的光的至少一对斜面镜。
28.根据权利要求26的方法,还包括当位于第一成像区域中的电气部件被定位在位于第一成像区域中的两个斜面镜之间时,照明这两个斜面镜。
29.根据权利要求26的方法,还包括照明按45度取向的两个斜面镜。
30.根据权利要求26的方法,其中,所述获取步骤包含感测穿过路径长度调整光学器件的光,该路径长度调整光学器件适于使顶部收集路径的光学长度和侧边收集路径的光学长度基本上相等。
31.根据权利要求30的方法,其中,所述获取步骤包含感测穿过包含加长顶部收集路径的光学长度的路径长度调整光学器件的路径长度调整光学器件的光。
32.根据权利要求30的方法,其中,所述获取步骤包含感测穿过包含实际上缩短侧边收集路径的光学长度的路径长度调整光学器件的路径长度调整光学器件的光。
33.根据权利要求30的方法,其中,所述获取步骤包含感测穿过被成形以便与斜面镜接触的路径长度调整光学器件的光;其中,该方法包括照明适于向电气部件的相对的侧边引导光并向第一成像传感器引导从电气部件的相对的侧边反射或散射的光的斜面镜。
34.根据权利要求30的方法,其中,该方法包括用被路径长度调整光学器件的一部分散射的光照明电气部件。
35.根据权利要求30的方法,其中,所述获取步骤包含感测穿过包含透明元件的路径长度调整光学器件的光,该透明元件包含限定V形槽的底部部分。
36.根据权利要求30的方法,其中,所述获取步骤包含感测穿过包含至少一个折弯镜的路径长度调整光学器件的光。
37.根据权利要求26的方法,还包括从多个角度照明电气部件。
38.根据权利要求26的方法,还包括沿电路的传送路径引入气压差。
39.根据权利要求26的方法,其中,所述横向传送步骤包含将电气部件放在具有规则地隔开的隔间的至少一个传送元件上,各隔间适于接收单个电气部件。
40.根据权利要求26的方法,其中,所述横向传送步骤包含将电气部件放在具有规则地隔开的隔间的至少一个支撑传送带上,各隔间适于接收单个电气部件。
41.根据权利要求26的方法,其中,所述横向传送步骤包含向第一检查区域传送二维阵列的横向配置的电气部件。
42.根据权利要求26的方法,还包括当取出已被检查的电气部件而腾空横向传送器时向横向传送器馈送新的电气部件。
43.根据权利要求26的方法,还包括对电气部件进行电气测试。
44.根据权利要求26的方法,其中,所述获取位于第一成像区域中的电气部件的顶部图像和两个侧边图像的步骤包含在获取的过程中维持正在被成像的电气部件基本上静止。
45.根据权利要求26的方法,还包括以多种照明方式照明电气部件。
46.根据权利要求26的方法,其中,所述横向传送步骤包含通过多个横向传送器部分横向传送多个电气部件,每个横向传送器部分适于以横向方式向第一成像区域传送一系列的电气部件。
47.根据权利要求46的方法,还包括按每个横向传送器部分照明一对斜面镜,其中,该对斜面镜适于向电气部件的相对的侧边引导光并向第一成像传感器引导从电气部件的相对的侧边反射或散射的光。
48.根据权利要求46的方法,其中,所述照明包含照明按45度取向的多个斜面镜。
49.根据权利要求46的方法,其中,所述获取步骤包含感测穿过适于使顶部收集路径的光学长度和侧边收集路径的光学长度基本上相等的路径长度调整光学器件的光。
50.根据权利要求26的方法,还包括当获得其它电气部件的图像时接收新的电气部件。
51.一种用于获取对象的多个图像的系统,该系统包括:
适于获得位于第一成像区域中的对象的顶部图像和两个侧边图像的第一成像器;
适于以横向方式向第一成像区域传送对象的横向传送器;和
适于以纵向方式向第二成像区域传送对象的纵向传送器。
52.根据权利要求51的系统,还包括适于获得没有被第一成像器成像的对象的至少一个其它部分的图像的第二成像器。
53.根据权利要求51的系统,还包括适于获得位于第二成像区域中的对象的底部图像和两个其它侧边图像的第二成像器。
54.根据权利要求51的系统,其中,第二成像器包含适于向对象的其它相对的侧边引导光并向第二成像传感器引导从对象的所述其它相对的侧边反射或散射的光的至少一对斜面镜。
55.根据权利要求51的系统,其中,第二成像器包含位于第二成像区域中的两个斜面镜;其中,对象在位于第二成像区域中时位于所述两个斜面镜之间。
56.根据权利要求55的系统,其中,所述两个斜面镜按45度取向。
57.根据权利要求51的系统,其中,第二成像器包含适于使底面收集路径的光学长度和其它侧边收集路径的长度基本上相等的路径长度调整光学器件。
58.根据权利要求57的系统,其中,路径长度调整光学器件被成形以便与斜面镜接触;其中,斜面镜适于向对象的其它相对的侧边引导光并向第一成像传感器引导从对象的所述其它相对的侧边反射或散射的光。
59.根据权利要求57的系统,其中,路径长度调整光学器件的至少一个部分被成形以便散射向该部分引导的光。
60.根据权利要求57的系统,其中,路径长度调整光学器件包含透明元件,该透明元件包含限定V形槽的底部部分。
61.根据权利要求57的方法,其中,路径长度调整光学器件包含至少一个折弯镜。
62.根据权利要求57的系统,还包括适于从多个角度照明对象的照明单元。
63.根据权利要求57的系统,其中,纵向传送器包含用于沿电路的传送路径引入气压差的至少一个气体输入端和至少一个气体输出端。
64.根据权利要求51的系统,还包括适于在传送和检查会话期间与对象接触的电气连接点。
65.根据权利要求51的系统,其中,纵向传送器适于向第二成像区域传送对象、在图像获取会话期间保持基本上静止、以及在第一图像获取会话结束之后将已被检查的对象传送出第二成像区域。
66.根据权利要求51的系统,还包括适于以多种照明方式照明对象的照明单元。
67.根据权利要求51的系统,其中,纵向传送器包含多个纵向传送器部分,每个纵向传送器部分适于以纵向方式向第二成像区域传送一系列的对象。
68.根据权利要求67的系统,其中,第二成像器按每个纵向传送器部分包含一对斜面镜,各对斜面镜适于向被该纵向传送器部分传送的对象的其它相对的侧边引导光,并向第二成像传感器引导从对象的所述其它相对的侧边反射或散射的光。
69.根据权利要求67的系统,其中,两个斜面镜按45度取向。
70.根据权利要求67的系统,其中,第二成像器包含适于使底部收集路径的长度和其它侧边收集路径的长度基本上相等的路径长度调整光学器件。
71.根据权利要求51的系统,还包括适于从横向传送器接收对象以及向纵向部件传送器提供所接收的对象的连接体。
72.根据权利要求71的系统,其中,连接体按每个横向传送器部分包含导管。
73.根据权利要求51的系统,还包括对象容器,该对象容器包含用于使位于对象容器内的对象振动的振动元件。
74.根据权利要求51的系统,还包括对象容器,该对象容器包含用于使位于对象容器内的对象振动的振动元件。
75.根据权利要求51的系统,还包括适于处理对象的图像的处理器。
76.根据权利要求51的系统,还包括适于确定对象的功能的处理器。
77.根据权利要求76的系统,还包括适于根据对象的功能将这些对象分类的分类单元。
78.根据权利要求77的系统,其中,分类单元包含多个输出导管和适于响应对象的功能而将电路引导到该多个输出导管中的一个输出导管的气体驱动选择元件。
79.根据权利要求51的系统,还包括适于获得位于第一成像区域中的对象的底部图像的第二成像器。
80.根据权利要求51的系统,还包括适于获得位于第二成像区域中的对象的底部图像的第二成像器。
81.根据权利要求51的系统,其中,横向传送器包含适于支撑向第一成像区域传送的对象的至少一个传送元件;其中,该系统还包括适于在被该至少一个传送元件支撑的对象被成像之后将该至少一个传送元件返回到初始位置的传送元件返回单元。
82.根据权利要求81的系统,其中,传送元件返回单元位于横向部件传送器下面。
83.根据权利要求51的系统,其中,横向传送器包含适于支撑向第一成像区域传送的对象的至少一个传送元件;其中,该系统还包括适于在被该至少一个传送元件支撑的对象被成像之后将该至少一个传送元件返回到初始位置的传送元件返回单元。
84.根据权利要求83的系统,其中,传送元件返回单元位于横向部件传送器下面。
85.一种用于对六面对象成像的系统,该系统包括:
适于在位于第一成像区域和第二成像区域之间的预定点中翻转与旋转各对象的翻转与旋转单元;
至少一个轨道,对象能传送穿过该至少一个轨道;
位于第一成像区域之上的第一成像器,该第一成像器适于在对象被传送穿过第一成像区域时对对象的顶面和两个侧面成像;和
位于第二成像区域之上的第二成像器,该第二成像器适于在对象被传送穿过第二成像区域时对没有被第一成像器成像的对象的其它面成像;其中,通过照明位于第一和第二成像区域中的斜面镜对对象的侧面成像。
86.根据权利要求85的系统,还包括用于使垂直光路和侧边光路的光学长度相等的调焦装置。
87.根据权利要求86的系统,其中,调焦装置包含路径折弯镜。
88.根据权利要求86的系统,其中,调焦装置包含两个玻璃棱镜。
89.根据权利要求86的系统,其中,调焦装置包含两个孔隙棱镜。
90.根据权利要求85的系统,其中,所述第一和第二成像器包含适于对图像的顶面成像的第一部分和适于对对象的侧面成像的第二部分。
91.根据权利要求85的系统,其中,第一成像器适于基本上同时地对对象的顶面和两个侧面成像。
92.根据权利要求85的系统,其中,第一成像器是行扫描器。
93.根据权利要求85的系统,其中,第一成像器是摄像机。
94.根据权利要求85的系统,还包括适于产生对象的六面图像的处理器。
95.根据权利要求85的系统,其中,所述至少一个轨道的宽度是固定的。
96.根据权利要求85的系统,其中,斜面镜按45度取向。
97.根据权利要求85的系统,还包括用于沿对象的传送路径引入气压差的至少一个气体输入端和至少一个气体输出端。
98.根据权利要求85的系统,包括适于向第一检查区域传送多个对象的多个轨道,以及其中,第一成像器适于同时获取多个对象的图像。
99.根据权利要求85的系统,还包括适于与电气部件接触的电气连接点。
100.一种用于获取对象的多个图像的方法,该方法包括下列步骤:
向第一成像区域横向传送对象;
获取位于第一成像区域中的对象的顶部图像和两个侧边图像;和
通过纵向部件传送器向第二成像区域纵向传送对象。
101.根据权利要求100的方法,还包括获取位于第二成像区域中的对象的底部图像和两个其它侧边图像;其中,在对象位于第一成像区域中时没有获取所述底部图像和两个其它侧边图像。
102.根据权利要求100的方法,还包括照明适于向对象的其它相对的侧边引导光并向第二成像传感器引导从对象的所述其它相对的侧边反射或散射的光的至少一对斜面镜。
103.根据权利要求100的方法,还包括照明位于第二成像区域中的两个斜面镜;其中,对象在位于第二成像区域中时位于这两个斜面镜之间。
104.根据权利要求100的方法,还包括照明按45度取向的两个斜面镜。
105.根据权利要求100的方法,其中,所述获取步骤包含感测穿过适于使底面收集路径的光学长度和其它侧边收集路径的长度基本上相等的路径长度调整光学器件的光。
106.根据权利要求105的方法,其中,所述获取步骤包含感测穿过被成形以便与斜面镜接触的路径长度调整光学器件的光;其中,该方法包括照明所述斜面镜,该斜面镜适于向对象的其它相对的侧边引导光并向第一成像传感器引导从对象的所述其它相对的侧边反射或散射的光。
107.根据权利要求105的方法,其中,所述获取步骤包含感测穿过散射向该部分引导的光的光学长度调整光学器件的光。
108.根据权利要求105的方法,其中,所述获取步骤包含感测穿过透明元件的光,该透明元件包含限定V形槽的底部部分。
109.根据权利要求105的方法,其中,所述获取步骤包含感测穿过至少一个折弯镜的光。
110.根据权利要求105的方法,还包括从多个角度照明对象。
111.根据权利要求105的方法,还包括沿电路的传送路径引入气压差。
112.根据权利要求100的方法,还包括对对象进行电气测试。
113.根据权利要求100的方法,还包括在获取底部图像和两个其它侧边图像时维持对象基本上静止。
114.根据权利要求100的方法,还包括以多种照明方式照明对象。
115.根据权利要求100的方法,其中,所述横向传送步骤包含向第一检查区域传送二维阵列的横向配置的对象。
116.根据权利要求100的方法,其中,所述纵向传送步骤包含通过多个横向传送器部分纵向传送对象,每个横向传送器部分适于以纵向方式向第二成像区域传送一系列的对象。
117.根据权利要求116的方法,还包括按每个纵向传送器部分照明一对斜面镜,其中,该对斜面镜适于向对象的相对的侧边引导光并向第二成像传感器引导从对象的相对的侧边反射或散射的光。
118.根据权利要求116的方法,其中,所述照明包含照明按45度取向的多个斜面镜。
119.根据权利要求116的方法,其中,所述获取步骤包含感测穿过适于使底部收集路径的光学长度和其它侧边收集路径的光学长度基本上相等的路径长度调整光学器件的光。
120.根据权利要求100的方法,还包括从横向传送器接收对象和向纵向部件传送器提供所接收的对象。
121.根据权利要求100的方法,其中,所述接收包含通过按横向传送器部分包含导管的连接体接收对象。
122.根据权利要求100的方法,还包括振动对象容器内的对象。
123.根据权利要求100的方法,还包括处理对象的图像。
124.根据权利要求100的方法,还包括确定对象的功能。
125.根据权利要求124的方法,还包括根据对象的功能将这些对象分类。
126.根据权利要求124的方法,其中,所述分类包含照明响应对象的功能而将电路引导到多个输出导管中的一个输出导管的气体驱动选择单元。
127.根据权利要求100的方法,还包括获得位于第一成像区域中的对象的底部图像。
128.根据权利要求100的方法,还包括获取位于第二成像区域中的对象的底部图像。
129.根据权利要求100的方法,还包括在获取对象的顶部图像和两个侧边图像之后将至少一个传送元件返回到初始位置。
130.一种用于对六面对象成像的方法,该方法包括下列步骤:
在对象被传送穿过第一成像区域的同时通过位于第一成像区域之上的第一成像器对对象的顶面和两个侧面成像,其中,该成像包含照明位于第一成像区域和第二成像区域中的斜面镜;
在位于第一成像区域和第二成像区域之间的预定点中翻转与旋转各对象;和
在对象被传送穿过第二成像区域的同时通过位于第二成像区域之上的第二成像器对没有被第一成像器成像的对象的其它面成像。
131.根据权利要求130的方法,其中,通过第一成像器成像包含感测穿过用于使垂直光路和侧边光路的光学长度相等的调焦装置的光。
132.根据权利要求130的方法,其中,通过第一成像器成像包含感测穿过包含路径折弯镜的调焦装置的光。
133.根据权利要求130的方法,其中,通过第一成像器成像包含感测穿过包含两个玻璃棱镜的调焦装置的光。
134.根据权利要求130的方法,其中,通过第一成像器成像包含感测穿过包含两个孔隙棱镜的调焦装置的光。
135.根据权利要求130的方法,其中,通过第一成像器成像包含感测穿过调焦装置的光,该调焦装置包含通过第一成像器的第一部分对对象的顶面成像和通过第一成像器的第二部分对对象的侧面成像。
136.根据权利要求130的方法,其中,通过第一成像器成像包含基本上同时地对对象的顶面和两个侧面成像。
137.根据权利要求130的方法,其中,通过第一成像器成像包含执行行成像。
138.根据权利要求130的方法,还包括产生对象的六面图像。
139.根据权利要求130的方法,还包括调整用于向第一成像区域传送对象的至少一个轨道的宽度。
140.根据权利要求1的方法,还包括在通过一个部件出口注入气体脉冲的同时,从包含多个气体入口和该部件出口的电路容器向横向部件传送器提供电气部件。
141.根据权利要求140的方法,还包括通过在一端与所述部件出口连接的部件导管的第二端注入气体脉冲。
142.根据权利要求140的方法,还包括通过在一端与所述部件出口连接的部件导管的多个附加端部提供电气部件。
143.根据权利要求1的系统,还包括包含多个气体入口和一个部件出口的电气部件容器,其中,气体脉冲通过该部件出口被注入。
144.根据权利要求143的系统,还包括在一端与所述部件出口连接并具有选择性地接收真空脉冲的第二端的部件导管。
145.根据权利要求143的系统,还包括在一端与所述部件出口连接并具有多个附加端部的部件导管,各附加端部的位置接近横向部件传送器部分。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
IL175455A IL175455A0 (en) | 2006-05-07 | 2006-05-07 | A system and a method for imaging, automatic and at once, objects' six-faces |
IL175455 | 2006-05-07 | ||
PCT/IL2007/000554 WO2007129322A2 (en) | 2006-05-07 | 2007-05-07 | System and method for imaging objects |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101529444A true CN101529444A (zh) | 2009-09-09 |
CN101529444B CN101529444B (zh) | 2014-03-12 |
Family
ID=38668172
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN200780023926.0A Expired - Fee Related CN101529444B (zh) | 2006-05-07 | 2007-05-07 | 用于对对象成像的系统和方法 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100990728B1 (zh) |
CN (1) | CN101529444B (zh) |
IL (1) | IL175455A0 (zh) |
TW (1) | TWI454690B (zh) |
WO (1) | WO2007129322A2 (zh) |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102375104A (zh) * | 2010-08-13 | 2012-03-14 | 康代有限公司 | 用于对对象的多个侧面成像的系统和方法 |
CN105157601A (zh) * | 2015-06-10 | 2015-12-16 | 北京领邦仪器技术有限公司 | 单相机三维影像测量仪 |
CN108351200A (zh) * | 2015-12-21 | 2018-07-31 | 菲利普莫里斯生产公司 | 用于获取与伸长物体的尺寸相关的数据的设备和方法 |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009216698A (ja) * | 2008-02-07 | 2009-09-24 | Camtek Ltd | 対象物の複数の側面を画像化するための装置および方法 |
TWI440846B (zh) * | 2008-11-19 | 2014-06-11 | Ust Technology Pte Ltd | 物件之檢視裝置及方法 |
WO2010061388A1 (en) * | 2008-11-27 | 2010-06-03 | Camtek Ltd. | Method and system for imaging multiple sides of objects |
US9004284B2 (en) | 2009-10-01 | 2015-04-14 | Vitrinite Services, Llc | Mineral slurry drying method and system |
US20140017017A1 (en) * | 2011-01-10 | 2014-01-16 | Shy Cohen | Syetems and methods for electrically testing objects |
US9885671B2 (en) | 2014-06-09 | 2018-02-06 | Kla-Tencor Corporation | Miniaturized imaging apparatus for wafer edge |
US9645097B2 (en) | 2014-06-20 | 2017-05-09 | Kla-Tencor Corporation | In-line wafer edge inspection, wafer pre-alignment, and wafer cleaning |
KR102002683B1 (ko) | 2017-07-19 | 2019-10-21 | 최기원 | 안경 걸이구 |
GB2591792A (en) * | 2020-02-07 | 2021-08-11 | Blaylock John | A device for holding spectacles |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4414749A (en) * | 1979-07-02 | 1983-11-15 | Optimetrix Corporation | Alignment and exposure system with an indicium of an axis of motion of the system |
JPH0587744A (ja) * | 1991-03-01 | 1993-04-06 | Fujisawa Pharmaceut Co Ltd | 物品の表面検査方法およびそれに使用する装置 |
KR0162331B1 (ko) * | 1995-02-09 | 1998-12-15 | 구자홍 | 광 픽업장치 |
JP3647146B2 (ja) * | 1996-06-20 | 2005-05-11 | 松下電器産業株式会社 | 電子部品実装装置および電子部品実装方法 |
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JP2002202220A (ja) * | 2000-12-27 | 2002-07-19 | Nikon Corp | 位置検出方法、位置検出装置、光学特性測定方法、光学特性測定装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |
US7123765B2 (en) * | 2002-07-31 | 2006-10-17 | Kimberly-Clark Worldwide, Inc. | Apparatus and method for inspecting articles |
-
2006
- 2006-05-07 IL IL175455A patent/IL175455A0/en unknown
-
2007
- 2007-05-07 KR KR1020087029800A patent/KR100990728B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2007-05-07 TW TW096116201A patent/TWI454690B/zh not_active IP Right Cessation
- 2007-05-07 CN CN200780023926.0A patent/CN101529444B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2007-05-07 WO PCT/IL2007/000554 patent/WO2007129322A2/en active Application Filing
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CN102375104A (zh) * | 2010-08-13 | 2012-03-14 | 康代有限公司 | 用于对对象的多个侧面成像的系统和方法 |
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CN108351200A (zh) * | 2015-12-21 | 2018-07-31 | 菲利普莫里斯生产公司 | 用于获取与伸长物体的尺寸相关的数据的设备和方法 |
CN108351200B (zh) * | 2015-12-21 | 2020-09-22 | 菲利普莫里斯生产公司 | 用于获取与伸长物体的尺寸相关的数据的设备和方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2007129322A2 (en) | 2007-11-15 |
IL175455A0 (en) | 2007-08-19 |
CN101529444B (zh) | 2014-03-12 |
TWI454690B (zh) | 2014-10-01 |
TW200804799A (en) | 2008-01-16 |
KR20090008463A (ko) | 2009-01-21 |
WO2007129322A3 (en) | 2009-04-30 |
KR100990728B1 (ko) | 2010-10-29 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20140312 Termination date: 20160507 |
|
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |