TWI454355B - 線鋸裝置用導向輥 - Google Patents

Description

線鋸裝置用導向輥

本發明涉及一種線鋸裝置用導向輥，更為詳細地涉及一種線鋸裝置中，供線纏繞的滑輪和緣著線的移送方向旋轉的軸承盒及機輪一體形成，從而在旋轉時能夠使軸中心保持一定的線鋸裝置用導向輥。

一般來說，在錠塊的成長(growth)工序結束之後，為了將錠塊製成晶圓，進行按單片單位切割錠塊的切片工序。

這種切片工序有多種形式，其中典型的是線鋸(Wire Saw)方式，即為在腔室內使鋼琴線或高張力線高速往返移動，並在其上噴射淤漿(slurry)溶液，透過沾在線上的淤漿和單晶錠塊之間的摩擦而進行切割的方式。線鋸方式可將錠塊同時切割為多個晶圓，從而能夠提高單位時間的生產收率，因此目前被廣泛地應用。

韓國專利公開第2010-0090518公開一種用於導向線的導向輥。圖1和圖2是習知導向輥的示意圖。如圖1及圖2所示，習知的導向輥100包括以下結構而構成：軸承盒110，中心軸111結合於設置在內側的軸承；以及機輪140，在外周結合有供線120纏繞的滑輪130。所述機輪140透過規定的螺栓等鎖緊裝置150結合於軸承盒110。

如上結合的習知的導向輥100，其中心軸111與設置在規定的支承板200上的結合部件210結合，從而軸承盒110能夠以中心軸111為中心進行空轉(idle)。

此時，旋轉方向可取決於纏繞於滑輪130的線120的移送方向。

然而，習知的導向輥100在軸承盒110與機輪140的結合時，需要使機輪140的旋轉中心和軸承盒110的旋轉中心一致才能使線120在不脫離的狀態下纏繞於滑輪130上。因此，在軸承盒110上結合機輪140的時候具有需要反復進行多次裝拆，使兩個部件之間的旋轉中心一致的困難。而且，即使如上那樣進行結合以使旋轉中心一致，由於線鋸裝置的性質，需要幾十小時以上的連續作業。

然而，由於獨立配置的軸承盒110和機輪140透過鎖緊裝置150結合，因此只能在兩個部件之間產生細微的隔離狀態下結合。工程時間越長，所述隔離就變得越大，彼此間的旋轉中心越不一致，從而經常會產生纏繞於滑輪130上的線120脫離的現象。此外，滑輪130又透過規定的鎖緊裝置等結合於機輪140，滑輪130的旋轉中心也需要與軸承盒110和機輪120的旋轉中心一致。

本發明的課題是解決上述問題，其目的是提供一種線鋸裝置用導向輥，將軸承盒和機輪一體形成，使得旋轉時的旋轉中心一致，從而能夠防止纏繞於滑輪上的線的脫離。此外，本發明的目的是提供一種線鋸裝置用導向輥，以中心軸為中心具有直徑比滑輪更小的防脫離部，從而即使線從滑輪脫離，也能在安放於防脫離部的狀態下進行旋轉，因此能夠進行持續的線切割作業。

此外，本發明的目的是提供一種線鋸裝置用導向輥，從滑輪脫離的線安放於所述防脫離部，因此能夠防止線的斷線。所述課題可透過本發明的如下線鋸裝置用導向輥實現：一種線鋸裝置用導向輥，所述導向輥在被設置為透過線切割錠塊的線鋸裝置中，供所述線纏繞，其中包括：軸承盒，中心部插設有中心軸，以所述中心軸為中心進行旋轉；機輪，形成於所述軸承盒的外緣；滑輪，形成於所述機輪的外緣，供所述線纏繞，所述軸承盒和所述機輪一體形成。

其中，所述滑輪可與所述軸承盒和所述機輪一起一體形成。此外，可進一步形成有防脫離部，在所述軸承盒、所述機輪或所述滑輪中的任一個的至少一個表面上緣所述中心軸方向突出形成，且形成為具有比所述滑輪的直徑更小的直徑，使得纏繞於所述滑輪的線在脫離時安放。

此時，所述防脫離部可包括：線安放部，在所述軸承盒、所述機輪或所述滑輪中的任一個的至少一個表面上緣緣所述中心軸的軸向突出形成，使得脫離的線安放；及止擋部，突出形成於所述線安放部的外緣上，防止被安放的線移動到末端並從所述線安放部脫離。

根據本發明，提供一種將軸承盒和機輪一體形成，使得旋轉時的旋轉中心一致，從而能夠防止纏繞於滑輪上的線的脫離的線鋸裝置用導向輥。此外，提供一種以中心軸為中心具有直徑比滑輪更小的防脫離部，從而即使線從滑輪脫離，也能在安放於防脫離部的狀態下進行旋轉，因此能夠進行持續的線切割作業的線鋸裝置用導向輥。此外，提供一種從滑輪脫離的線安放於所述防脫離部，因此能夠防止線的斷線的線鋸裝置用導向輥。

進行說明之前需要說明的是，在多個實施例中，對於具有相同的結構的結構要素使用相同的符號，並在第一實施例中進行代表性的說明，在其他實施例中對與第一實施例不同的結構進行說明。下面，參照附圖詳細說明本發明的第一實施例的線鋸裝置用導向輥。

圖3是本發明的第一實施例的線鋸裝置用導向輥的立體圖，圖4是圖3的後視立體圖，圖5是圖4的I-I'向剖視圖。參照圖3至圖5，本發明的第一實施例的線鋸裝置用導向輥1可包括軸承盒10、機輪20、滑輪30和防脫離部40而構成。

其中，軸承盒10和機輪20優選一體形成，更為優選地，可連同滑輪30一起一體形成。即，軸承盒10和機輪20及滑輪30一體形成，從而無需額外地使各部分的旋轉中心一致。所述軸承盒10為大致圓錐狀，其中心部插設有中心軸11，在中心軸11的周圍設置有規定的軸承，因此軸承盒10能夠以所述中心軸11為中心進行旋轉。

所述機輪20可從軸承盒20的外緣，從中心向外側延伸形成。所述滑輪30可緣所述機輪20的外緣而形成，其外周面上形成有大致“V”字形凹槽31，因此線能夠以安放的狀態纏繞於所述凹槽31。

所述防脫離部40可在所述軸承盒10、機輪20或滑輪30中的任一個的至少一個表面上緣中心軸11方向突出形成。在本實施例中，圖示了只在軸承盒10的一個表面上形成的情況。所述防脫離部40可包括線安放部41和止擋部42而構成。

所述線安放部41可在從軸承盒10的一個表面，中心軸11插入的中心部的外緣上緣中心軸11的軸向突出形成。此時，線安放部41可以中心軸11為中心，具有比滑輪30的直徑更小的直徑，以使纏繞於滑輪30的線在脫離時安放。所述止擋部42在線安放部41的末端緣軸向的垂直方向突出形成，從而能夠防止安放於線安放部41的線向末端移動而脫離。下面說明所述的本發明第一實施例的線鋸裝置用導向輥的工作狀態。圖6是本發明第一實施例的線鋸裝置用導向輥的工作狀態圖。

參照圖6，本發明第一實施例的線鋸裝置用導向輥1設置為以中心軸11為中心，由纏繞於滑輪30的線50的力而旋轉。此時，由於線鋸裝置本身的振盪或中心軸的不均勻的旋轉運動而線50從滑輪30向中心脫離時，脫離的線50能夠安放於線安放部41。即，脫離的線50在安放於線安放部41的狀態下保持纏繞狀態，從而能夠使線鋸裝置1的切割作業不中止而連續執行。此外，即使安放於線安放部41的線50由於旋轉而移動到末端，透過止擋部42限制其移動，從而能夠防止線50緣中心軸11方向移動而斷線或纏繞的現象。

如上所述，透過本發明的線鋸裝置用導向輥能夠防止作業中線的斷線，無需進行為了使旋轉中心一致的額外的操作，能夠提高作業生產效率。

本發明的保護範圍不僅限於上述實施例，在所附上的申請專利範圍記載的內容基礎上能夠實現為各種形式的實施例。在不脫離申請專利範圍所要求保護的本發明宗旨的範圍內，本發明所屬技術領域中具有一般知識的人都能變更的各種範圍也應屬於本發明的保護範圍內。

(習知)

100．．．導向輥

110．．．軸承盒

111．．．中心軸

120．．．線

130．．．滑輪

140．．．機輪

150．．．鎖緊裝置

200．．．支承板

210．．．結合部件

(本發明)

1．．．線鋸裝置用導向輥

10．．．軸承盒

11．．．中心軸

20．．．機輪

30．．．滑輪

31．．．凹槽

40．．．防脫離部

41．．．線安放部

42．．．止擋部

50．．．線

圖1及圖2是習知線鋸裝置用導向輥的示意圖。

圖3是本發明的第一實施例的線鋸裝置用導向輥的立體圖。

圖4是圖3的後視立體圖。

圖5是圖4的I-I'向剖視圖。

圖6是本發明的第一實施例的線鋸裝置用導向輥的工作狀態圖。

1．．．線鋸裝置用導向輥

10．．．軸承盒

20．．．機輪

30．．．滑輪

Claims (3)

1. 一種線鋸裝置用導向輥，所述導向輥在被設置為透過線切割錠塊的線鋸裝置中，供所述線纏繞，該線鋸裝置用導向輥包括：軸承盒，中心部插設有中心軸，以所述中心軸為中心進行旋轉；機輪，形成於所述軸承盒的外緣；以及滑輪，形成於所述機輪的外緣，供所述線纏繞；其中，所述軸承盒、所述機輪和所述滑輪一體形成，其旋轉中心彼此對應。
2. 如申請專利範圍第1項所述之線鋸裝置用導向輥，其中進一步形成有防脫離部，在所述軸承盒、所述機輪或所述滑輪中的任一個的至少一個表面上緣所述中心軸方向突出形成，且形成為具有比所述滑輪的直徑更小的直徑，使得纏繞於所述滑輪的線在脫離時安放。
3. 如申請專利範圍第2項所述之線鋸裝置用導向輥，其中所述防脫離部包括：線安放部，在所述軸承盒、所述機輪或所述滑輪中的任一個的至少一個表面上緣所述中心軸的軸向突出形成，供所脫離的線安放；及止擋部，突出形成於所述線安放部的外緣上，防止被安放的線移動到末端並從所述線安放部脫離。