TWI446542B - 陣列基板及其製造方法,具有陣列基板之顯示面板,以及具有陣列基板之液晶顯示裝置 - Google Patents
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Description
本發明係關於一種陣列基板、一種製造該陣列基板的方法、一種具有該陣列基板的顯示面板及一種具有該陣列基板的液晶顯示裝置。更特定言之,本發明係關於一種能夠提高視角及孔徑比的陣列基板、一種製造該陣列基板的方法、一種具有該陣列基板的顯示面板及一種具有該陣列基板的液晶顯示裝置。
通常,液晶顯示("LCD")器件具有比陰極射線管("CRT")顯示器件之視角更窄之視角。為了擴大視角,最近已發展圖像垂直調整("PVA")模式LCD器件、多疇第一子垂直調整("MVA")模式LCD器件、共平面切換("IPS")模式LCD器件等等。
PVA模式LCD器件包括一上基板、一下基板及在兩者之間安置的並具有相對於上基板及下基板垂直排列之液晶分子的一液晶層。根據PVA模式LCD器件,在下基板上的像素電極及在上基板上的共同電極包括一開口圖案。由於像素電極及共同電極產生的邊緣場,視角得以擴大。
本發明提供一種能夠提高視角及孔徑比的陣列基板。
本發明亦提供一種製造上述陣列基板的方法。
本發明亦提供一種具有上述陣列基板的顯示面板。
本發明亦提供一種具有上述陣列基板的LCD裝置。
在根據本發明之一陣列基板之例示性實施例中,該陣列基板包括一切換器件、一儲存電容器及一分壓電容器。該切換器件在一由互相接近的兩個閘極線及互相接近的兩個資料線界定的像素區域中形成。該儲存電容器電連接至該切換器件。該分壓電容器安置在該儲存電容器與該等閘極線之一者之間。該分壓電容器電連接至該儲存電容器。
舉例而言,該儲存電容器之電容大於該分壓電容器之電容。
該儲存電容器藉由該儲存共同配線及一自該切換器件之一汲電極延伸的儲存電極界定,其中該儲存電極安置在該儲存共同配線之上方。
該分壓電容器包含一與該儲存共同配線分離的浮動電極。
特定言之,該分壓電容器進一步包括一自該儲存電極延伸的分壓電容器電極,且該分壓電容器電極至少部分地與該浮動電極重疊。
該陣列基板可進一步包括一經由一第一接觸孔電連接至該儲存電極的第一子像素電極及一經由一第二接觸孔電連接至該浮動電極的第二子像素電極。
該第一子像素電極可自該儲存電容器接收一第一電壓,且該第二子像素電極可自該分壓電容器接收一小於該第一電壓的第二電壓。
該第一子像素電極可比該第二子像素電極佔據該像素區域內一更大的面積。
在根據本發明之一陣列基板之其他例示性實施例中,該陣列基板包括一切換器件、一儲存電容器、一第一分壓電容器及一第二分壓電容器。該切換器件在一像素區域中形成。該儲存電容器包括一劃分該像素區域為一第一區域及一第二區域的儲存共同配線及一自該切換器件之一汲電極延伸以安置在儲存共同配線之上方的儲存電極。該第一分壓電容器包括一在該第一區域中形成的第一浮動電極及一自該儲存電極延伸以安置在該第一浮動電極之上方的第一分壓電容器電極。該第二分壓電容器包括一在該第二區域中形成的第二浮動電極及一自該儲存電極延伸以安置在該第二浮動電極之上方的第二分壓電容器電極。
該陣列基板可進一步包括一第一子像素電極、一第二子像素電極及一第三子像素電極。該第一子像素電極電連接至該儲存電容器的儲存電極。該第二子像素電極電連接至該第一分壓電容器的第一浮動電極並安置在該第一區域中。該第三子像素電極電連接至該第二分壓電容器的第二浮動電極並安置在該第二區域中。
該第一子像素電極可安置在該第一區域及該第二區域兩者中,且比該第二子像素電極及該第三子像素電極佔據該像素區域之一更大的面積。
該第一子像素電極可自該儲存電容器接收一第一電壓,該第二子像素電極可自該第一分壓電容器接收一小於該第一電壓的第二電壓,且該第三子像素電極可自該第二分壓電容器接收一小於該第一電壓的第三電壓。該第二電壓與該第三電壓大體上相同。或者,該第三電壓可小於該第二電壓。
第一子像素電極、第二子像素電極及第三子像素電極可具有開口圖案。
該第一分壓電容器與該第二分壓電容器可具有一大體上相同的尺寸。或者,該第一分壓電容器與該第二分壓電容器可具有互不相同的尺寸。
該儲存電容器的電容可大於該第一分壓電容器的電容,且該第一分壓電容器的電容可大於該第二分壓電容器的電容或與其相同。
在根據本發明之一顯示面板之例示性實施例中,該顯示面板包括一第一基板、一第二基板及一液晶層。該第一基板包括一共同電極。該第二基板面朝該第一基板。該第二基板包括一儲存電容器及一第一分壓電容器。該儲存電容器包括一儲存共同配線及一安置在該儲存共同配線之上方的儲存電極。該第一分壓電容器包括一第一浮動電極及安置在該第一浮動閘極之上方並電連接至該儲存電極的一第一分壓電容器電極。該液晶層安置該第一基板與該第二基板之間。
該第一分壓電容器之第一浮動電極與該儲存共同配線間隔開。
該第二基板可進一步包括一第一子像素電極及一第二子像素電極。該第一子像素電極電連接至該儲存電容器的儲存電極。該第二子像素電極電連接至該第一分壓電容器的第一浮動電極。該第一子像素電極及該第二子像素電極具有一第一開口圖案。
該共同電極包含一相對於該第一開口圖案不一致地形成的第二開口圖案。
該儲存電容器及該分壓電容器具有(例如)互不相同的尺寸。因此,該液晶層包括在該第一子像素電極與該共同電極之間安置的液晶分子之第一部分及在該第二子像素電極與該共同電極之間安置的液晶分子之第二部分,當驅動該液晶面板時,液晶分子之該第一部分與液晶分子之該第二部分形成一不同側傾角。
液晶分子之該第一部分與一虛擬平面之間的一側傾角可小於液晶分子之該第二部分與該虛擬平面之間的一側傾角。當未驅動該顯示面板時液晶分子之該第一部分及液晶分子之該第二部分之一側傾角大體上為90度,且當驅動該顯示面板時液晶分子之該第二部分與該虛擬平面之間的該側傾角小於90度。
該第二基板包括一第二分壓電容器,該第二分壓電容器包括一第二浮動電極及安置在該第二浮動電極之上方並電連接至該儲存電極的一第二分壓電容器電極,且該第一分壓電容器電極與該第二分壓電容器電極安置在關於該儲存共同配線的相對邊處。
舉例而言,該第一分壓電容器與該第二分壓電容器可具有互不相同的尺寸。
在根據本發明之一LCD裝置之例示性實施例中,該LCD裝置包括一第一子液晶電容器、一第二子液晶電容器、一儲存電容器及一第一分壓電容器。該第一子液晶電容器自一切換器件接收一像素電壓。該第二子液晶電容器接近於該第一子液晶電容器。該儲存電容器首先維持施加至該第一子液晶電容器的像素電壓。該第一分壓電容器施加一小於該像素電壓的電壓至該第二子液晶電容器。
該第二子液晶電容器與該儲存電容器互相並聯地電連接,且該第二子液晶電容器與該第一分壓電容器互相串聯地電連接以劃分該像素電壓。
該第一子液晶電容器包括一共同電極、一第一子像素電極及一液晶層。該共同電極在一第一基板上形成。該第一子像素電極在一第二基板上形成。該液晶層安置在該共同電極與該第一子像素電極之間。該儲存電容器包括一儲存電極及一儲存共同配線。該儲存電極電連接至該第一子像素電極及該切換器件以接收該像素電壓。該儲存共同配線與該儲存電極間隔開並面朝該儲存電極。
該第二子液晶電容器包括該共同電極、一第二子像素電極及一液晶層。該共同電極在該第一基板上形成。該第二子像素電極在該第二基板上形成。該液晶層安置在該共同電極與該第一像素電極之間。該第一分壓電容器包括一第一分壓電容器及一第一浮動電極。該第一分壓電容器電極電連接至該儲存電容器的儲存電極以接收像素電壓。該第一浮動電極面朝該第一分壓電容器電極並電連接至該第二子像素電極。
該LCD裝置可進一步包括一第三子液晶電容器及一第二分壓電容器。該第三子液晶電容器接近於該儲存電容器。該第二分壓電容器串聯地電連接至該第三子液晶電容器以施加一低於該像素電壓的電壓至該第三子液晶電容器。
該第二子液晶電容器與該第三子液晶電容器在相對於該第一子液晶電容器的相對邊上安置。
第二子液晶電容器之電容(例如)大體上等於該第三子液晶電容器的電容。或者,第二子液晶電容器之電容可不同於該第三子液晶電容器的電容。
該LCD裝置可進一步包括一液晶層。在該第一子液晶電容器內形成之一像素區域的一第一部分內的液晶分子具有相對於一虛擬平面與在該第二子液晶電容器內形成之該像素區域之一第二部分內的液晶分子不同的一側傾角。
在根據本發明之製造陣列基板之方法的例示性實施例中,在一底部基板上形成一第一金屬層。圖案化該第一金屬層以形成一閘電極、一儲存共同配線及一與該儲存共同配線間隔開的第一浮動電極。在上面形成有該閘電極、該儲存共同配線及該第一浮動電極的該底部基板上形成一閘極絕緣層。移除該閘極絕緣層之一部分以曝露該第一浮動電極的一部分。在該閘極絕緣層上形成一第二金屬層。圖案化該第二金屬層以形成一汲電極、一與該汲電極間隔開的源電極、一電連接至該汲電極並安置在該儲存共同配線之上方的儲存電極及一電連接至該儲存電極並安置在該第一浮動電極之上方的第一分壓電容器電極。移除該第一分壓電容器電極之一部分以曝露該第一浮動電極。形成一電連接至該第一浮動電極及該儲存電極的光學透明的且導電的層。然後,圖案化該光學透明的且導電的層以形成一電連接至該儲存電極的第一子像素電極及一電連接至該第一浮動電極並與該第一子像素電極電絕緣的第二子像素電極。
因此,減小了與該等資料線重疊的面積以減小RC延遲並提高孔徑比。另外,降低了發生電短路的可能性。另外,當儲存電容器具有不同尺寸時,可更大地擴大視角。
本發明現將參看隨附圖式在下文中更全面地加以描述,其中展示了本發明的實施例。然而,本發明可以許多不同形式來實施而不應被解釋為限制於本文所闡明之實施例。實情為,提供該等實施例使得本揭示案將是更徹底的且完全的,並將向熟習此項技術者完全地傳達本發明之範疇。相同參考數字貫穿全文指代相同元件。
應瞭解的是當一元件被稱為"在另一元件上"時,其可直接在另一元件上或可在其之間存在介入元件。相反,當一元件被稱為"直接在另一元件上"時,不存在介入元件。如本文中所用的,術語"及/或"包括一或多個相關聯之所列項目的任何及所有組合。
應瞭解的是,儘管術語第一、第二、第三等可在本文中用以描述各種元件、組件、區域、層及/或區段,但該等元件、組件、區域、層及/或區段不應受該等術語限制。該等術語僅用以將一元件、組件、區域、層或區段與另一元件、組件、區域、層或區段相區別。因此,以下所論述之一第一元件、組件、區域、層或區段可被稱為一第二元件、組件、區域、層或區段而不偏離本發明的教示。
本文中使用的術語僅為達成描述特定實施例的目的,而不欲作為本發明之限制。如本文中使用的,單數形式"一"("a"、"an")及"該"意欲亦包括複數形式,除非本文另外清楚指示。應進一步瞭解的是,當在本說明書中使用術語"包含"("comprises"及/或"comprising")或"包括"("includes"及/或"including")時,指定所述特點、區域、整數、步驟、操作、元件,及/或組件之存在,其他但並不排除一或多個其他特點、區域、整數、步驟、操作、元件、組件,及/或其組群的存在或附加。
空間相關術語,諸如"在......之下"、"在......下面"、"下"、"在......之上"、"上"或其類似物,可用於本文達成描述方便之目的,以描述如圖式中說明之一元件或特點與其他一個或多個元件或特點的關係。應瞭解的是空間相關術語除圖式中描述的方位外,欲包含使用或運作過程中器件的不同方位。舉例而言,若翻轉圖式中器件,則描述為"在其他元件或特點之下"或在"其他元件或特點下面"的元件接著定位為"在其他元件或特點之上"。因此,例示性術語"在......下面"可包含在......之上及在......之下的方位之兩者。該器件可另外得以定位(旋轉90度或以其他方位),並據此解釋本文中使用之空間相關的描述符號。
除非另外界定,本文中使用的所有術語(包括技術及科學術語)具有如本發明從屬的技術的一般熟習此項技術者之通常瞭解的相同的意義。應進一步瞭解的是術語(諸如在通常使用的字典中界定的彼等術語)應解釋為具有在本揭示案及相關技術之本文中其意義一致的意義,而不應以理想化的或過度正規意義來解釋,除非本文明確地如此界定。本發明之實施例參看為本發明之理想化實施例的示意性說明的橫截面說明而在本文中加以描述。同樣,將期望(例如)作為製造技術及/或容忍度之結果的所說明之形狀之更改。因此,本發明之實施例不應解釋為限制於本文中說明的區域的特定形狀而將包括(例如)由製造引起的形狀中的偏差。舉例而言,被說明或描述為平坦之區域可通常具有粗糙的及/或非線性的特點。此外,可使所說明的銳角成圓形。因此,圖式中說明的區域在性質上係示意性的且其形狀不欲說明區域之精確形狀且不欲限制本發明之範疇。
在下文中,本發明將參看隨附圖式詳細地加以描述。
圖1為說明根據本發明之顯示面板之像素部分的例示性實施例的布局,且圖2為沿圖1中線I-I'截取的橫截面圖。
參看圖1及圖2,顯示面板包括一陣列基板100、一彩色濾光片基板200及在陣列基板100與彩色濾光片基板200之間安置的液晶層300。
陣列基板100包括一第一透明基板101、複數個閘極線GL、複數個資料線(或源極線)DL及複數個像素部分。閘極線GL及資料線DL安置在第一透明基板101之上方(或在其上形成),第一透明基板101可為絕緣基板。閘極線GL沿第一方向延伸,且資料線DL沿大體上垂直於第一方向的第二方向延伸。如將在下文進一步描述,閘極線GL及資料線DL藉由(例如)閘極絕緣層102互相絕緣。每一像素部分藉由閘極線GL之一者及資料線DL之一者來界定。換言之,像素部分安置在一對接近的閘極線GL與一對接近的資料線DL之間,儘管其中包括的像素電極連接至每一對之一閘極線GL及一資料線DL。
像素部分之每一者包括一第一子液晶電容器1100、一第二子液晶電容器1200、一儲存電容器150及一第一分壓電容器160。儲存電容器150為一第一子電容器,且第一分壓電容器160為像素部分的第二子電容器。如將在下文進一步描述,第一子液晶電容器1100自切換器件110接收一像素電壓。第二子液晶電容器1200接近第一子液晶電容器1100。儲存電容器150並聯地電連接至第二子液晶電容器1200,使得儲存電容器150首先維持施加至第一子液晶電容器1100的像素電壓。第一分壓電容器160電連接至第二子液晶電容器1200,使得像素電壓藉由第一分壓電容器160及第二子液晶電容器1200來劃分。因此,低於像素電壓的一電壓施加至第二子液晶電容器1200。每一像素部分可進一步包括一第三子液晶電容器1300及並聯地電連接至第三子液晶電容器1300的第二分壓電容器170。第二分壓電容器170為像素部分的第三子電容器。
除儲存電容器150、第一分壓電容器160、第二分壓電容器170及切換器件110外,每一像素部分亦包括一第一子像素電極131、一第二子像素電極132及一第三子像素電極133。
切換器件110包括電連接至閘極線GL之一者之閘電極111、電連接至資料線DL之一者之源電極113及電連接至第一子像素電極131之汲電極114。一半導體層112安置在閘電極111與源電極113及汲電極114之間。半導體層112包括一激活層112a及一歐姆接觸層112b。如圖2中所示,切換器件110可實施為反向交錯型,或者被當作底閘極薄膜電晶體("TFT")。或者,切換器件110可實施為交錯型,另外被當作頂閘極TFT。
第一子像素電極131經由一第一接觸孔153電連接至汲電極114。如圖1中所說明,第一子像素電極131可具有大體上三角形的形狀,其具有對應於界定像素部分之資料線DL(諸如源電極113自其延伸的資料線DL)的第一邊,及自第一邊之相反末端延伸至覆蓋儲存電容器150之儲存共同配線151的點的第二及第三邊。舉例而言,覆蓋儲存共同配線151的點可延伸至接近界定像素部分並與像素部分接壤的資料線DL的資料線DL。第一子像素電極131沿覆蓋儲存共同配線151之區域可具有壓痕。第二子像素電極132與第三子像素電極133相對於第一子像素電極131係對稱的,且當與第一子像素電極131間隔時可大體上填充第一子像素電極131不佔據的剩餘區域。舉例而言,第二子像素電極132及第三子像素電極133可為大體上直角三角形的,其形狀為第一邊分別平行於第一子像素電極131的第二及第三邊、第二邊對應於資料線DL、且第三邊對應於相反閘極線GL。因此,第二及第三子像素電極132、133具有小於第一子像素電極131的面積。雖然第一、第二及第三子像素電極131、132及133的特定配置已加以說明並描述,但應瞭解的是其變化在該等實施例之範疇內。
第一子像素電極131、第二子像素電極132及第三子像素電極133包括第一開口圖案135。僅舉例而言,儲存共同配線151之一邊上的開口圖案135可與閘極線GL成45度角延伸並可互相平行地間隔。在儲存共同配線151之相反邊上的開口圖案135可與閘極線GL成135度角延伸並可互相平行地間隔。覆蓋儲存共同配線151的開口圖案135可平行於儲存共同配線151來配置。因此,儲存共同配線151之一邊上的開口圖案135可為每一像素部分內的儲存共同配線151之相反邊上的開口圖案135的鏡像。第一子像素電極131與第三子像素電極133互相分離。第一子像素電極131與第三子像素電極133互相電絕緣。
儲存電容器150包括儲存共同配線151及儲存電極152。儲存共同配線151大體上與閘極線GL平行,並劃分像素部分為第一區域P1及第二區域P2。第二子像素電極132可因此安置在第一區域P1中,且第三子像素電極133可安置在第二區域P2中,且第一子像素電極131可安置在第一區域P1及第二區域P2兩者中。儲存電容器150並聯連接至具有第一子像素電極131、液晶層300及共同電極230的第一子液晶電容器1100,使得儲存電容器150首先維持施加至第一子像素電極131的像素電壓。
具有第一尺寸的儲存共同配線151對應於儲存電容器150的第一電極。自汲電極114延伸的儲存電極152對應於儲存電容器150的第二電極。第一接觸孔153在安置於儲存電極152上的絕緣層104處形成,使得汲電極114及第一子像素電極131經由第一接觸孔153互相電連接。安置在儲存電極152與儲存共同配線151之間的閘極絕緣層102使儲存電極152與儲存共同配線151互相電絕緣。
像素電壓經由切換器件110施加至汲電極114。儲存電極152電連接至切換器件110的汲電極114,並因此施加至切換器件110之汲電極114的像素電壓經由源電極113施加至第一子像素電極131。
相等電壓(或像素電壓)施加至儲存電極152及第一子像素電極131兩者。因此,包括儲存電極152之儲存電容器150與具有第一子像素電極131之第一子液晶電容器1100之間的連接對應於並聯連接。
安置在像素部分之第一區域P1中的第一分壓電容器160包括一第一浮動電極161及一第一分壓電容器電極162。
第一浮動電極161具有小於儲存共同配線151之第一尺寸的第二尺寸。自儲存電極152延伸的第一分壓電容器電極162安置在第一浮動電極161之上方。第一浮動電極161經由第二接觸孔163電連接至第二子像素電極132。第一分壓電容器電極162連接至儲存電極152,使得自切換器件110之汲電極114輸出的像素電壓經由儲存電極152施加至第一分壓電容器電極162。
另外,與第一分壓電容器160相對的第二子像素電極132電連接至第一浮動電極161。因此,具有第二子像素電極132的第二子液晶電容器1200與具有第一浮動電極161的第一分壓電容器160之間的連接對應於串聯連接。
因此,施加至第一分壓電容器電極162的像素電壓藉由第一分壓電容器160及第二子液晶電容器1200來劃分。換言之,低於像素電壓的電壓施加至第二子液晶電容器1200。
第二分壓電容器170(其為像素部分之第三子電容器)包括第二浮動電極171及第二分壓電容器電極172,並安置在像素部分之第二區域P2內。
第二浮動電極171具有第二尺寸、或至少大體上與第一浮動電極161相同的尺寸。另外,第一浮動電極161與第二浮動電極171相對於儲存共同配線151係互相對稱的。
第二分壓電容器電極172自儲存電極152延伸,並安置在第二浮動電極171之上方。第二浮動電極171經由第三接觸孔173電連接至第三子像素電極133。第二浮動電極171對應於第二分壓電容器170的第一電極。彩色濾光片基板200之共同電極230對應於第二分壓電容器170的第二電極。
彩色濾光片基板200包括一第二透明基板201、一阻光層210、一彩色濾光片層220及一共同電極230。
阻光層210具有對應於陣列基板100之像素部分的以矩陣形狀配置的複數個開口部分。阻光層210阻斷經由像素部分之間之空間洩漏的光。
彩色濾光片層220安置在經由阻光層210之開口部分曝露的第二透明基板201之部分上。彩色濾光片層220包括(例如)一紅色濾光器、一綠色濾光器及一藍色濾光器。
共同電極230在彩色濾光片層220上形成。共同電極230對應於像素電極的對立電極,其包括第一子像素電極131、第二子像素電極132及第三子像素電極133。共同電極230包括第二開口圖案235。第二開口圖案235與第一開口圖案135不一致地來安置。特定言之,當陣列基板100及彩色濾光片基板200互相組合時,第一開口圖案135不面對第二開口圖案235。換言之,第二開口圖案235之每一者安置在兩個鄰近第一開口圖案135之間。
彩色濾光片基板200視情況包括安置在阻光層210及彩色濾光片層220上的調平層(未圖示),以便保護阻光層210及彩色濾光片層220,並調平阻光層210及彩色濾光片層220界定的表面。
液晶層300安置在陣列基板100與彩色濾光片基板200之間。當像素電壓施加至第一子像素電極131、第二子像素電極132,及第三子像素電極133以及共同電極230時,可改變液晶層300內液晶分子的配置。
圖3至圖10為說明製造圖1之陣列基板之例示性製程的橫截面圖。
參看圖3及圖4,一閘極金屬層形成於第一透明基板101上。閘極金屬層藉由使用第一遮罩410來圖案化,以形成閘極線GL、儲存共同配線151、第一浮動電極161、第二浮動電極171及閘電極111。
參看圖4,儲存共同配線151在互相接近的兩個閘極線GLn-1與GLn之間大體上是平行地形成。儲存共同配線151將由互相接近之兩個閘極線GLn-1及GLn所界定的像素部分劃分為第一區域P1及第二區域P2。
第一浮動電極161及第二浮動電極171分別形成於第一區域P1及第二區域P2中。第一浮動電極161及第二浮動電極171具有島形狀。第一浮動電極161及第二浮動電極171相對於儲存共同配線151互相對稱地安置。
由於第一浮動電極161及第二浮動電極171具有島形狀,所以減小了將在第一浮動電極161及第二浮動電極171與資料線DL之間形成的重疊區域。
因此,提高了像素部分的孔徑比。意即,增加了子像素之面積與其總螢幕面積的比率,且因此更大孔徑比允許更多的光穿過LCD使得LCD顯示得更明亮。亦減小了資料線DL的RC延遲。另外,減小了儲存共同配線151(或閘極線GL)與資料線DL之間之電短路的可能性。
參看圖5至圖8,閘極絕緣層102在第一透明基板101上形成,第一透明基板101具有已圖案化以形成閘極線GL、儲存共同配線151、第一浮動電極161、第二浮動電極171及閘電極111的閘極金屬層。閘極絕緣層102包括氮化矽(SiNx)、氧化矽(SiOx)等等。形成閘極絕緣層102以具有約4500埃之厚度。
半導體層112在閘極絕緣層102上形成。特定言之,(例如)藉由化學氣相沉積("CVD")方法,一非晶矽("a-Si")層及n+摻雜a-Si層順序形成。圖案化a-Si層及n+摻雜a-Si層以形成具有激活層112a及歐姆接觸層112b的半導體層112。
一資料金屬層在具有閘極絕緣層102及在其上形成的半導體層112之第一透明基板101之上方形成。使用第二遮罩420圖案化資料金屬層以形成資料線DL、儲存電極152、第一分壓電容器電極162、第二分壓電容器電極172、源電極113及汲電極114。因此,形成了切換器件110。第一分壓電容器電極162及第二分壓電容器電極172分別包括使用第二遮罩420形成的第二接觸孔162及第三接觸孔173。
如圖8中所示,資料線DL沿大體上垂直於與閘極線GL大體上平行的第一方向的第二方向延伸。換言之,資料線DL與閘極線GL大體上互相垂直。儲存電極152(第一金屬圖案)安置在儲存共同配線151之上方,且第一分壓電容器電極162及第二分壓電容器電極172分別安置在第一浮動電極161及第二浮動電極171之上方。
第一分壓電容器電極162自儲存電極152延伸以安置在第一浮動電極161之上方。第二分壓電容器電極172自儲存電極152延伸以安置在第二浮動電極171上方。第二接觸孔163及第三接觸孔173分別在第一分壓電容器電極162及第二分壓電容器電極172處形成。
源電極113及汲電極114安置在半導體層112上,且在源電極113與汲電極114之間安置的歐姆接觸孔112b之一部分藉由使用源電極113及汲電極114為遮罩來移除,使得完成切換器件110之通道層。
參看圖6及圖7,一鈍化層103在經圖案化之資料金屬層上形成,使得鈍化層103具有不大於約4000埃的厚度。
一光阻劑塗布在鈍化層103上以具有一2 μm至約4 μm的厚度,使得形成了絕緣層104。光阻劑可(例如)藉由旋塗法來塗布。絕緣層104可光學地形成。
經由使用第三遮罩430的光微影處理移除絕緣層104之部分以形成第一接觸孔153、第二接觸孔163及第三接觸孔173。特定言之,形成第一接觸孔153使得自汲電極114延伸的儲存電極152之部分經由第一接觸孔153來曝露,且亦移除安置在第二接觸孔163及第三接觸孔173處的閘極絕緣層102、鈍化層103及絕緣層104的部分。或者,可首先移除對應於第一接觸孔153、第二接觸孔163及第三接觸孔173的絕緣層104的部分並接著可蝕刻鈍化層103。
參看圖8,除閘極線GL處外,資料線DL僅在其中儲存共同電極配線151及資料線DL互相交叉的區域中與閘極金屬層重疊。第一浮動電極161及第二浮動電極171具有島形,使得第一浮動電極161及第二浮動電極171不與資料線DL重疊。
因此,可減小閘極線GL或儲存共同配線151與資料線DL之間的重疊區域以提高孔徑比。另外,減小了資料線DL的RC延遲。
參看圖9及圖10,一像素電極層在具有在其上形成的絕緣層104的第一透明基板101上方形成。像素電極層包括光學透明的及導電的材料,諸如氧化銦錫("ITO")、氧化銦鋅("IZO")等等。
經由使用第四遮罩440的光微影處理圖案化像素電極層以形成第一子像素電極131、第二子像素電極132及第三子像素電極133。另外,形成第一子像素電極131、第二子像素電極132及第三子像素電極133的第一開口圖案135。
參看圖10,第一子像素電極131、第二子像素電極132及第三子像素電極133在像素部分處形成。第一子像素電極131對應於儲存電容器150,第二子像素電極132對應於第一分壓電容器160,且第三子像素電極133對應於第二分壓電容器170。
儲存電容器150儲存的第一電壓V1施加至第一子像素電極131,第一分壓電容器160儲存的第二電壓V2施加至第二子像素電極132,且第二分壓電容器170儲存的第三電壓V3施加至第三子像素電極133。
第一分壓電容器160及第二分壓電容器170以相同電壓來充電使得第二電壓V2及第三電壓V3大體上互相相等。換言之,相同電壓施加至第二子像素電極132及第三子像素電極133。
圖11為說明圖1中顯示面板之例示性液晶分子的側傾角的示意圖。側傾角對應於液晶層300內之液晶分子的引向器與大體上垂直於陣列基板100之虛擬平面所成的角。
參看圖1及圖11,當無電場施加至此時液晶分子垂直排列。換言之,側傾角為約90度。
當電場施加至液晶以便顯示一影像時,第一電壓V1施加至儲存電容器150,大體上相同的第二電壓V2及第三電壓V3分別施加至第一分壓電容器160及第二170,使得液晶分子經排列從而對應於儲存電容器150的液晶分子經排列以形成第一側傾角θ1
,且對應於第一子電容器160及第二子電容器170的液晶分子經排列以形成第二側傾角θ2
。
特定言之,當第一電壓V1施加至儲存電容器150時,對應於儲存電容器150的液晶分子經排列以形成第一側傾角θ1
,且當低於第一電壓V1的第二電壓V2施加至第一分壓電容器160及第二分壓電容器170時,對應於第一分壓電容器160及第二分壓電容器170的液晶分子經排列以形成大於第一側傾角θ1
的第二側傾角θ2
(0<θ1
,θ2
<90°,θ1
<θ2
)。
如上所述,一像素部分由不同的儲存電容器驅動以形成兩個不同側傾角,使得擴大了LCD的視角。
圖12為說明根據本發明之顯示面板之像素部分的另一例示性實施例的布局。
參看圖12,一陣列基板包括複數個閘極線GL、複數個資料線(或源極線)DL及複數個像素部分。閘極線GL沿第一方向延伸,且資料線DL沿大體上垂直於第一方向的第二方向延伸。如參看圖1及圖2先前所述的,像素部分之每一者藉由閘極線GL之一者及資料線DL之一者來界定。
像素部分之每一者包括一切換器件510、一第一子像素電極531、一第二子像素電極532、一第三子像素電極533、一儲存電容器550、一第一分壓電容器560及一第二分壓電容器570。
切換器件510包括電連接至閘極線GL之一者之閘電極511、電連接至資料線DL之一者之源電極513及電連接至第一子像素電極531的汲電極514。半導體層安置在閘電極511與源電極513及汲電極514之間。第一子像素電極531經由第一接觸孔553電連接至汲電極514。第二子像素電極532與第三子像素電極533相對於第一子像素電極531係對稱的。如所說明的,第一子像素電極531、第二子像素電極532及第三子像素電極533具有與參看圖1及圖2先前描述的第一子像素電極131、第二子像素電極132及第三子像素電極133大體上相同的配置,或其可具有改變的形狀。
第一子像素電極531、及第二及第三子像素電極532及533包括第一開口圖案535,其可與圖1中的第一開口圖案135相似。第一子像素電極531與第三子像素電極533互相分離。或者,第一子像素電極531與第三子像素電極533可互相整體地形成。
第一子電容器550(其為儲存電容器)包括一儲存共同配線551及第一金屬圖案552(其為儲存電極)。儲存共同配線551大體上與閘極線GL平行,並劃分像素部分為第一區域P1及第二區域P2。
具有第一尺寸的儲存共同配線551對應於第一子電容器550的第一電極。自汲電極514延伸的第一金屬圖案552對應於第一子電容器550的第二電極。第一接觸孔553安置在第一金屬圖案552處,使得汲電極514及第一子像素電極531經由第一接觸孔553互相電連接。
第二子電容器560(其為第一分壓電容器)包括一第一浮動電極561、一第二金屬圖案562、一第二接觸孔563、一第二子像素電極532及一在彩色濾光片基板處形成的共同電極,該彩色濾光片基板與圖2之彩色濾光片基板200相似,該共同電極對應於陣列基板之對立基板。
第一浮動電極561具有小於儲存共同配線551之第一尺寸的第二尺寸。第二金屬圖案562(其為第一分壓電容器電極)自第一金屬圖案552延伸並安置在第一浮動電極561之上方。第一浮動電極561經由第二接觸孔563電連接至第二子像素電極532。第一浮動電極561對應於第二子電容器560之第一電極。在彩色濾光片基板處形成的共同電極對應於第二子電容器560的第二電極。
第三子電容器570(其為第二分壓電容器)包括一第二浮動電極571、一第三金屬圖案572(其為分壓電容器電極)、一第三接觸孔573、一第三子像素電極533及共同電極。
第二浮動電極571具有小於第一浮動電極561之第二尺寸的第三尺寸。換言之,第一浮動電極561與第二浮動電極571在相對於儲存共同配線551互相對稱的位置上來安置但具有不同尺寸。
第三金屬圖案572自第一金屬圖案552延伸,並安置在第二浮動電極571之上方。第二浮動電極571經由第三接觸孔573電連接至第三子像素電極533。第二浮動電極571對應於第三子電容器570的第一電極。在彩色濾光片基板處形成的共同電極對應於第三子電容器570的第二電極。
包括圖12中的陣列基板的顯示面板包括具有如圖1及2所示之第二開口圖案的彩色濾光片面板。
圖13為說明圖12中顯示面板之例示性液晶分子的側傾角的示意圖。
參看圖1及圖13,當無電場施加至此時液晶分子在液晶層內垂直排列。換言之,側傾角為約90度。
當電場施加至液晶以便顯示一影像時,第一電壓V1施加至第一子電容器550,且第二電壓V2及第三電壓V3分別施加至第二子電容器560及第三子電容器570,使得液晶分子經排列從而對應於第一子電容器550的液晶分子經排列以形成第一側傾角θ1
且對應於第二子電容器560及第三子電容器570的液晶分子經排列以分別形成第二側傾角θ2
及第三側傾角θ3
。
特定言之,當第一電壓V1施加至第一子電容器550時,對應於第一子電容器550的液晶分子經排列以形成第一側傾角θ1
,當小於第一電壓V1的第二電壓V2施加至第二子電容器560時,對應於第二子電容器560的液晶分子經排列以形成大於第一側傾角θ1
的第二側傾角θ2
,且當低於第二電壓V2的第三電壓V3施加至第三子電容器570時,對應於第三子電容器570的液晶分子經排列以形成大於第二側傾角θ2
的第三側傾角θ3
(當V1>V2>V3時,0<θ1
<θ2
<θ3
<90°)。
如上所述,一像素部分由三個不同的儲存電容器驅動以形成三個不同側傾角,使得更加擴大LCD的視角。
如上所述,根據本發明,分壓電容器的共同電極具有島形,使得減小了與資料線的重疊面積以減小RC延遲並提高孔徑比。另外,降低了發生電短路的可能性。
另外,當儲存電容器具有不同尺寸時,可更大地擴大視角。
已描述本發明之例示性實施例及其優點,應注意的是,在不脫離如隨附申請專利範圍所界定的本發明的精神及範疇的情況下,可在本文中進行各種改變、替代及變化。
100...陣列基板
101...第一透明基板
102...閘極絕緣層
103...鈍化層
104...絕緣層
110...切換器件
111...閘電極
112...半導體層
112a...激活層
112b...歐姆接觸層
113...源電極
114...汲電極
131...第一子像素電極
132...第二子像素電極
133...第一開口圖案
150...儲存電容器
151...儲存共同配線
152...儲存電極
153...第一接觸孔
160...第一分壓電容器
161...第一浮動電極
162...第一分壓電容器電極
163...第二接觸孔
170...第二分壓電容器
171...第二浮動電極
172...第二分壓電容器電極
173...第三接觸孔
200...彩色濾光片基板
201...第二透明基板
210...阻光層
220...彩色濾光片層
230...共同電極
235...第二開口圖案
300...液晶層
410...第一遮罩
420...第二遮罩
440...第四遮罩
510...切換器件
511...閘電極
513...源電極
514...汲電極
531...第一子像素電極
532...第二子像素電極
533...第三子像素電極
535...第一開口圖案
550...儲存電容器/第一子電容器
551...儲存共同配線
552...第一金屬圖案
553...第一接觸孔
560...第一分壓電容器/第二子電容器
561...第一浮動電極
562...第二金屬圖案
563...第二接觸孔
570...第二分壓電容器/第三子電容器
571...第二浮動電極
572...第三金屬圖案
573...第三接觸孔
1100...第一子液晶電容器
1200...第二子液晶電容器
1300...第三子液晶電容器
DL...資料線
GL...閘極線
GLn-1...閘極線
GLn...閘極線
P1...第一區域
P2...第二區域
圖1為說明根據本發明之顯示面板之像素部分的例示性實施例的布局;圖2為沿圖1中線I-I'截取的橫截面圖;圖3至圖10為說明製造圖1中之陣列基板的例示性製程的橫截面圖;圖11為說明圖1中顯示面板之例示性液晶分子的側傾角的示意圖;圖12為說明根據本發明之顯示面板之像素部分的另一例示性實施例的布局;且圖13為說明圖12中顯示面板之例示性液晶分子的側傾角的示意圖。
110...切換器件
111...閘電極
113...源電極
114...汲電極
131...第一子像素電極
132...第二子像素電極
133...第三子像素電極
135...第一開口圖案
150...儲存電容器
151...儲存共同配線
152...儲存電極
153...第一接觸孔
160...第一分壓電容器
161...第一浮動電極
162...第一分壓電容器電極
163...第二接觸孔
170...第二分壓電容器
171...第二浮動電極
172...第二分壓電容器電極
173...第三接觸孔
235...第二開口圖案
DL...資料線
GL...閘極線
P1...第一區域
P2...第二區域
Claims (37)
- 一種陣列基板,其包含:一切換器件,其形成於一由互相接近之兩個閘極線及互相接近之兩個資料線所界定的像素區域中;一儲存電容器,其包括一電連接至該切換器件之一汲電極的儲存電極;及一分壓電容器,其安置於該儲存共同配線與該等閘極線之一者之間,該分壓電容器電連接至該儲存電容器,該分壓電容器包含一與該儲存共同配線分離的浮動電極。
- 如請求項1之陣列基板,其中該等閘極線沿一第一方向延伸,且該等資料線沿一不同於該第一方向的第二方向延伸,且該儲存共同配線沿該第一方向在該等兩個閘極線之間延伸。
- 如請求項1之陣列基板,其中該儲存電容器之電容大於該分壓電容器之電容。
- 如請求項1之陣列基板,其中該儲存電容器係由該儲存共同配線及一自該切換器件之一汲電極延伸的儲存電極界定,該儲存電極安置在該儲存共同配線之上方。
- 如請求項4之陣列基板,其中該浮動電極及該等資料線形成自該陣列基板之一相同金屬層。
- 如請求項4之陣列基板,其中該分壓電容器進一步包含一自該儲存電極延伸的分壓電容器電極,且該分壓電容器電極至少部分地與該浮動電極重疊。
- 如請求項6之陣列基板,進一步包含一經由一第一接觸孔電連接至該儲存電極的第一子像素電極及一經由一第二接觸孔電連接至該浮動電極的第二子像素電極。
- 如請求項7之陣列基板,其中該第一子像素電極自該儲存電容器接收一第一電壓,且該第二子像素電極自該分壓電容器接收一小於該第一電壓的第二電壓。
- 如請求項7之陣列基板,其中該第一子像素電極比該第二子像素電極佔據該像素區域內一更大的面積。
- 一種陣列基板,其包含:一切換器件,其形成於一像素區域中;一儲存電容器,其包括一將該像素區域劃分為一第一區域及一第二區域的儲存共同配線,及一自該切換器件之一汲電極延伸的儲存電極,該儲存電極安置在該儲存共同配線之上方;一第一分壓電容器,其包括一形成於該第一區域中之第一浮動電極及一自該儲存電極延伸之第一分壓電容器電極,該第一分壓電容器電極係安置在該第一浮動電極之上方,該第一浮動電極與該儲存共同配線分離;及一第二分壓電容器,其包括一形成於該第二區域中之第二浮動電極及一自該儲存電極延伸之第二分壓電容器電極,該第二分壓電容器電極係安置在該第二浮動電極之上方。
- 如請求項10之陣列基板,進一步包含:一第一子像素電極,其電連接至該儲存電容器之該儲 存電極;一第二子像素電極,其電連接至該第一分壓電容器之該第一浮動電極並安置在該第一區域中;及一第三子像素電極,其電連接至該第二分壓電容器之該第二浮動電極並安置在該第二區域中。
- 如請求項11之陣列基板,其中該第一子像素電極安置在該第一區域及該第二區域兩者中,且比該第二子像素電極及該第三子像素電極佔據該像素區域一更大的面積。
- 如請求項11之陣列基板,其中該第一子像素電極自該儲存電容器接收一第一電壓,該第二子像素電極自該第一分壓電容器接收一小於該第一電壓的第二電壓,且該第三子像素電極自該第二分壓電容器接收一小於該第一電壓的第三電壓。
- 如請求項13之陣列基板,其中該第二電壓與該第三電壓大體上係相同的。
- 如請求項13之陣列基板,其中該第三電壓小於該第二電壓。
- 如請求項11之陣列基板,其中該第一子像素電極、該第二子像素電極及該第三子像素電極包含開口圖案。
- 如請求項10之陣列基板,其中該第一分壓電容器與該第二分壓電容器具有一大體上相同的尺寸。
- 如請求項10之陣列基板,其中該第一分壓電容器與該第二分壓電容器具有互不相同的尺寸。
- 如請求項10之陣列基板,其中該儲存電容器的電容大於 該第一分壓電容器的電容。
- 如請求項19之陣列基板,其中該第一分壓電容器的電容大於該第二分壓電容器的電容。
- 一種顯示面板,其包含:一第一基板,其包括一共同電極;及一第二基板,其面朝該第一基板,該第二基板包括:一儲存電容器,其包括一儲存共同配線及一安置在該儲存共同配線上方的儲存電極;及一第一分壓電容器,其包括一第一浮動電極及一安置在該第一浮動電極上方並電連接至該儲存電極的第一分壓電容器電極;及一液晶層,其安置在該第一基板與該第二基板之間,其中該第一分壓電容器之該第一浮動電極與該儲存共同配線間隔開。
- 如請求項21之顯示面板,其中該第二基板進一步包含:一第一子像素電極,其電連接至該儲存電容器之該儲存電極;及一第二子像素電極,其電連接至該第一分壓電容器之該第一浮動電極,且其中該第一子像素電極及該第二子像素電極具有一第一開口圖案。
- 如請求項22之顯示面板,其中該共同電極包含一相對於該第一開口圖案不一致地形成的第二開口圖案。
- 如請求項22之顯示面板,其中該儲存電容器與該第一分 壓電容器具有互不相同的尺寸。
- 如請求項24之顯示面板,其中該液晶層包含一安置在該第一子像素電極與該共同電極之間之液晶分子的第一部分及一安置在該第二子像素電極與該共同電極之間之液晶分子的第二部分,當驅動該液晶面板時,液晶分子之該第一部分與液晶分子之該第二部分形成一不同的側傾角。
- 如請求項25之顯示面板,其中液晶分子之該第一部分與一虛擬平面之間之一側傾角小於液晶分子之該第二部分與該虛擬平面之間之一側傾角。
- 如請求項26之顯示面板,其中當未驅動該顯示面板時,液晶分子之該第一部分及液晶分子之該第二部分之一側傾角大體上為90度,且當驅動該顯示面板時,液晶分子之該第二部分與該虛擬平面之間的該側傾角小於90度。
- 如請求項21之顯示面板,其中該第二基板進一步包含一第二分壓電容器,該第二分壓電容器包括一第二浮動電極及安置在該第二浮動電極之上方並電連接至該儲存電極之一第二分壓電容器電極,且該第一分壓電容器電極與該第二分壓電容器電極安置在該儲存共同配線的相對邊處。
- 如請求項28之顯示面板,其中該第一分壓電容器與該第二分壓電容器具有互不相同的尺寸。
- 一種液晶顯示裝置,其包含:一第一子液晶電容器,其自一切換器件接收一像素電 壓;一第二子液晶電容器,其接近於該第一子液晶電容器;一儲存電容器,其在一特定時間週期內維持施加至該第一子液晶電容器之像素電壓;及一第一分壓電容器,其施加一小於該像素電壓的電壓至該第二子液晶電容器,其中該第一子液晶電容器與該儲存電容器互相並聯地電連接,且該第二子液晶電容器與該第一分壓電容器互相串聯地電連接,以劃分該像素電壓其中該第一子液晶電容器包含:一共同電極,其形成於一第一基板上;一第一子像素電極,其形成於一第二基板上;及一液晶層,其安置在該共同電極與該第一子像素電極之間,且其中該儲存電容器包含:一儲存電極,其電連接至該第一子像素電極及該切換器件,以接收該像素電壓;及一儲存共同配線,其與該儲存電極間隔開並面朝該儲存電極。
- 如請求項30之液晶顯示裝置,其中該第二子液晶電容器包含:該共同電極,其形成於該第一基板上;一第二子像素電極,其形成於該第二基板上;及安置於該共同電極與該第一像素電極之間之液晶層,且 其中該第一分壓電容器包含:一第一分壓電容器電極,其電連接至該儲存電容器之該儲存電極以接收該像素電壓;及一第一浮動電極,其面朝該第一分壓電容器電極並電連接至該第二子像素電極。
- 如請求項30之液晶顯示裝置,進一步包含:一第三子液晶電容器,其接近於該儲存電容器;及一第二分壓電容器,其串聯地電連接至該第三子液晶電容器,以施加一低於該像素電壓的電壓至該第三子液晶電容器。
- 如請求項32之液晶顯示裝置,其中該第二子液晶電容器與該第三子液晶電容器安置於相對於該第一子液晶電容器的相對邊上。
- 如請求項32之液晶顯示裝置,其中該第二子液晶電容器之電容大體上等於該第三子液晶電容器之電容。
- 如請求項32之液晶顯示裝置,其中該第二子液晶電容器之電容不同於該第三子液晶電容器之電容。
- 如請求項30之液晶顯示裝置,進一步包含一液晶層,其中在該第一子液晶電容器內形成之一像素區域之一第一部分內的液晶分子,具有一相對於一虛擬平面與在該第二子液晶電容器內形成之該像素區域之一第二部分內之液晶分子不同的側傾角。
- 一種製造一陣列基板的方法,其包含:在一底部基板上形成一第一金屬層; 圖案化該第一金屬層,以形成一閘電極、一儲存共同配線及一與該儲存共同配線間隔開的第一浮動電極;在上面形成有該閘電極、該儲存共同配線及該第一浮動電極的該底部基板上,形成一閘極絕緣層;移除該閘極絕緣層之一部分,以曝露該第一浮動電極之一部分;在該閘極絕緣層上,形成一第二金屬層;圖案化該第二金屬層,以形成一汲電極、一與該汲電極間隔開的源電極、一電連接至該汲電極並安置在該儲存共同配線之上方的儲存電極,及一電連接至該儲存電極並安置在該第一浮動電極之上方的第一分壓電容器電極;移除該第一分壓電容器電極之一部分,以曝露該第一浮動電極;形成一電連接至該第一浮動電極及該儲存電極之光學透明且導電的層;及圖案化該光學透明且導電的層,以形成一電連接至該儲存電極的第一子像素電極,及一電連接至該第一浮動電極並與該第一子像素電極電絕緣的第二子像素電極。
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