TWI431491B - 晶圓機台測試檔案之比對裝置以及比對方法 - Google Patents

晶圓機台測試檔案之比對裝置以及比對方法 Download PDF

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TWI431491B TW099144726A TW99144726A TWI431491B TW I431491 B TWI431491 B TW I431491B TW 099144726 A TW099144726 A TW 099144726A TW 99144726 A TW99144726 A TW 99144726A TW I431491 B TWI431491 B TW I431491B
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    • G01R31/00Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
    • G01R31/28Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
    • G01R31/317Testing of digital circuits
    • G01R31/3181Functional testing
    • G01R31/319Tester hardware, i.e. output processing circuits
    • G01R31/3193Tester hardware, i.e. output processing circuits with comparison between actual response and known fault free response
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Description

晶圓機台測試檔案之比對裝置以及比對方法
本發明係關於檔案比對之技術領域,尤指一種適用於晶圓機台測試檔案比對裝置及比對方法。
現行製造商對晶圓所進行的檢測,係依據所欲檢測的晶圓建立一測試檔案(test pattern file),並將該測試檔案輸入至晶圓測試機台以進行測試程序。請參照圖1,圖1係習知於晶圓測試機台輸入測試檔案之示意圖,如圖1所示,測試檔案10係輸入至晶圓測試機台1,晶圓測試機台1係依據測試檔案10產生與待測晶圓相對應之一類比測試波形,以供使用者對待測晶圓執行測試程序。
請參照圖2,圖2係習知之測試檔案10之示意圖。測試檔案10係為一文字檔案(text file),其檔案內容係為大量的文字,且檔案容量多大於1GB。對於廠商來說,由於測試檔案10係依據所欲檢測的晶圓而建立,因此必須針對各種不同尺寸、樣式、功能的晶圓,建立其所相對應的測試檔案以進行測試程序。若欲比對不同的測試檔案之間的差異以進行例如除錯等程序,習知可採用比對軟體對兩檔案執行比對程序;然而,習知的比對軟體的比對速度係與檔案容量有關,若待比對檔案的檔案容量過大係使比對速度大幅下降;由於晶圓測試機台所使用的測試檔案其檔案容量相當龐大,習知尚無方法可有效執行兩檔案之比對程序,以人工比對檔案內容易出錯且時間成本高,且若測試檔案有誤,會造成測試上的錯誤,進而可能產生重工、被客訴、或甚至賠償等問題。
發明人爰因於此,本於積極創作之精神,亟思一種可快速比對兩測試樣式檔案之檔案內容的「晶圓機台測試檔案比對裝置及比對方法」,幾經研究實驗終至完成此項嘉惠世人之發明。
鑒於上述習知的比對方式尚有改進空間,本發明之一目的,係提供一種晶圓機台測試檔案比對裝置及比對方法,其可快速對兩測試檔案之檔案內容進行比對。
依據本發明之一特色,本發明係提出一種晶圓機台測試檔案之比對裝置,其係用以對所輸入之一第一待比對檔案、以及一第二待比對檔案進行一比對作業,其中第一待比對檔案以及第二待比對檔案係分別為一純文字檔案,比對裝置包括:一儲存單元,係用以儲存所輸入之第一待比對檔案、以及第二待比對檔案;以及一處理單元,係用以對所載入之第一待比對檔案、以及第二待比對檔案進行處理及比對運算作業,以產生一比對結果,其比對運算作業係對第一待比對檔案中之一第一待比對區段中之文字、以及第二待比對檔案中之一第二待比對區段中之文字一一進行比對運算,其中,將欲進行比對之第一待比對檔案、以及第二待比對檔案輸入至比對裝置;比對裝置將第一待比對檔案、以及第二待比對檔案儲存至儲存單元;處理單元係自儲存單元讀取第一待比對檔案、以及第二待比對檔案,並進行處理以及比對運算作業,然後產生比對結果。
依據本發明之另一特色,本發明係提出一種晶圓機台測試檔案之比對方法,係由一電腦裝置執行以對輸入之一第一待比對檔案、以及一第二待比對檔案進行檔案內容比對,其中第一待比對檔案以及第二待比對檔案係分別為一純文字檔案,電腦裝置包括一儲存單元、以及一處理單元,其中儲存單元用以儲存檔案,處理單元用以進行處理及比對運算作業以產生一比對結果,其比對運算作業係對第一待比對檔案中之一第一待比對區段中之文字、以及第二待比對檔案中之一第二待比對區段中之文字一一進行比對運算,比對方法包括下列步驟:(A)將欲進行比對之第一待比對檔案、以及第二待比對檔案輸入至比對裝置;(B)比對裝置將第一待比對檔案、以及第二待比對檔案儲存至儲存單元;以及(C)處理單元係自儲存單元讀取第一待比對檔案、以及第二待比對檔案,並進行處理、以及比對運算作業,然後產生比對結果。
為能讓讀者更瞭解本發明之技術內容,特舉較佳實施例說明如下,請先參照圖3,圖3係本發明一較佳實施例之比對裝置之示意圖。如圖3所示,比對裝置2包括一儲存單元21、以及一處理單元22,其中儲存單元21用以儲存使用者所輸入的第一待比對檔案201、以及第二待比對檔案202,處理單元22用以對所載入的第一待比對檔案201、以及第二待比對檔案202進行處理及比對運算作業,以產生一比對結果203,其中比對運算作業係對第一待比對檔案201中的一第一待比對區段中的文字、以及第二待比對檔案202中的一第二待比對區段中的文字一一進行比對運算。
請同時參照圖4,圖4係本發明一較佳實施例之比對方法之流程圖。比對裝置2較佳係為一電腦裝置,當欲以比對裝置2進行檔案比對時,首先將第一待比對檔案201及第二待比對檔案202輸入至比對裝置2,其中第一待比對檔案201以及第二待比對檔案202皆為純文字檔案,且其檔案容量可大於1GB;比對裝置2將第一待比對檔案201以及第二待比對檔案202儲存至儲存單元21(步驟S1);處理單元22係於第一待比對檔案201中設置一第一分段起始點以及一第一分段結束點,以讀取第一分段起始點以及第一分段結束點間之文字作為第一待比對區段,並於第二待比對檔案202中設置一第二分段起始點以及一第二分段結束點,以讀取第二分段起始點以及第二分段結束點間之文字作為第二待比對區段,其中第一分段起始點係設置於第一待比對檔案201的檔案起點,第二分段起始點係設置於第二待比對檔案202的檔案起點(步驟S2);處理單元22對第一待比對區段中的文字以及第二待比對區段中的文字一一進行比對運算,並產生一區段運算結果(步驟S3);處理單元重設第一分段起始點、第一分段結束點、第二分段起始點以及第二分段結束點,然後讀取第一分段起始點以及第一分段結束點間的文字作為第一待比對區段,以及讀取第二分段起始點以及第二分段結束點間的文字作為第二待比對區段(步驟S4);處理單元22對第一待比對區段中的文字以及第二待比對區段中的文字一一進行比對運算,並再次產生一區段運算結果(步驟S5);處理單元22判斷是否第一分段結束點是第一待比對檔案201的檔案終點,且第二分段結束點是第二待比對檔案202的檔案終點(步驟S6),若是,則處理單元22對所產生的多個區段運算結果進行處理,並產生比對結果203(步驟S7),若否,則返回步驟S4。
處理單元22對第一待比對區段以及第二待比對區段所進行的比對運算,較佳係先依據第一待比對區段及第二待比對區段中的文字建立一區段分數表,請參照圖5A,圖5A係本發明一較佳實施例之區段分數表之示意圖。如圖5A所示,其中第一待比對區段D係AATGC,第二待比對區段D’係ATGGC;處理單元22對第一待比對區段D、以及第二待比對區段D’中的文字一一進行比對運算,然後將運算結果填入區段分數表中。在本實施例中,處理單元22係依據下列公式對第一待比對區段D、以及第二待比對區段D’中之文字一一進行比對運算作業,其可提供最短路徑之比對運算結果:
其中,i是第一待比對區段D中的文字的序數,j是第二待比對區段D’中的文字的序數,D(i)以及D’(j)分別代表第一待比對區段D、以及第二待比對區段D’中的文字內容,處理單元22係依公式將S(i,j)一一計算出並填入區段分數表中。
首先計算S(1,1),將i=1及j=1代入上述公式:
其中,D(1)=A,D’(1)=A,即D(1)=D’(1)。
即可計算出S(1,1)的值為1。
接著計算S(1,2),將i=1及j=2代入上述公式:
其中,D(1)=A,D’(2)=T,即D(1)≠D’(2)。
即可計算出S(1,2)的值為1。
在區段分數表的運算過程中,處理單元22較佳係先一一比對第一待比對區段中的各文字D(i)、以及第二待比對區段中的各文字D’(j)之異同,並以一旗標陣列進行記錄,然後據此計算出所有的S(i,j)。
處理單元22依前述運算方式一一計算出S(1,1)至S(5,5)的數值,並以一數值陣列進行儲存。同時,處理單元22更於運算過程中,依據計算出的數值決定與S(i,j)相對應之來源方向指標P(i,j),並以一方向指標儲存該等來源方向指標P(i,j)。舉例來說,依據公式以及前述的數值運算過程,S(1,2)=0係自S(1,1)運算而得,因此其所對應的來源方向指標P(1,2)係指向S(1,1)。
接著處理單元22係依據運算出的S(i.j)以及其所對應的來源方向指標P(i,j),建立一區段運算結果,其為一區段回溯路徑,係自區段分數表之右下角開始進行回溯,P(5,5)係指向S(4,4),P(4,4)係指向S(3,3),P(3,3)係指向S(2,2),P(2,2)係指向S(1,1),即可得出本次比對運算之區段回溯路徑。請參照圖5B,圖5B係本發明一較佳實施例之區段分數表之運算結果之示意圖。如圖5B所示,本實施例之運算結果係直接標示出第一待比對區段D、以及第二待比對區段D’中之文字不同處。
請參照圖6A,圖6A係本發明另一較佳實施例之區段分數表之示意圖。處理單元22係依據下列公式對第一待比對區段D、以及第二待比對區段D’進行比對運算作業,其可提供最佳插入之比對運算結果:
處理單元22計算出S(1,1)至S(5,5)的數值,並依據計算出的數值決定來源方向指標P(1,1)至P(5,5),然後建立區段回溯路徑,並得出運算結果。請參照圖6B,圖6B係本發明另一較佳實施例之區段分數表之運算結果之示意圖。如圖6B所示,本實施例之運算結果係標示出第一待比對區段D以及第二待比對區段D’中之文字插入處。
本發明之比對方法係分別將兩待比對檔案切割為複數個待比對區段並一一進行比對,因此其比對速度不會因為檔案容量增大而快速下降,但是該等待比對區段之間的連接處可能在區段運算結果上造成不連續,進而使得比對精確度降低。因此,本發明之比對方法係對區段運算結果進行判斷,並於重新設置待比對區段時據以調整其分段起始點之位置,以避免因不連續而造成比對精確度降低。
請參照圖7A至圖7C,圖7A係本發明一較佳實施例之兩待比對檔案之設置待比對區段之示意圖,圖7B係本發明一較佳實施例之兩待比對區段之區段運算結果之示意圖,圖7C係本發明一較佳實施例之兩待比對檔案之重設待比對區段之示意圖。如圖7A所示,處理單元22係先於第一待比對檔案D中設置第一待比對區段t1,並於第二待比對檔案D’中設置第二待比對區段t1’,其中第一分段起始點係為第一待比對檔案D的檔案起點,第二分段起始點係為第二待比對檔案D’的檔案起點;然後處理單元22對第一待比對區段t1以及第二待比對區段t1’中的文字一一進行比對運算,以產生一區段運算結果。圖7B係處理單元22以最佳插入法對第一待比對區段t1與第二待比對區段t1’進行比對之區段運算結果,其中,第一待比對區段t1具有一末端插入部。當處理單元22欲重新設置第一待比對區段t2、以及第二待比對區段t2’時,係先依據圖7B中的區段運算結果進行判斷,然後將重設的第二待比對區段t2’的第二分段起始點設置於第一待比對區段t1的末端插入部之前,如圖7C中所示,接著處理單元22對第一待比對區段t2、以及第二待比對區段t2’進行比對作業。
本發明之比對方法係用以快速且有效地對檔案容量龐大的兩個純文字檔案進行比對,其係將兩待比對檔案分別切割為複數個待比對區段並依序比對其中之文字,因此其比對速度不會因為檔案容量過於龐大而快速下降。另外,本發明之比對方法更對區段運算結果進行判斷,並據以調整再次設置之待比對區段之分段起始點位置,進而可有效避免因區段運算結果的不連續而降低比對精確度。
對於晶圓製造廠商來說,以本發明進行不同的測試檔案之間的比對,由於可快速標示出不同處,因此在例如不同版本的測試檔案等之檔案控管上具有相當之功效。
另外,當以本發明之比對方法進行檔案比對時,使用者更可依照檔案性質、以及比對目的等條件,選擇以最短路徑或是最佳插入方法進行檔案之比對,使用者亦若自行調整所需之比對精確度、以及選擇全域比對或差異性比對。
上述實施例僅係為了方便說明而舉例而已,本發明所主張之權利範圍自應以申請專利範圍所述為準,而非僅限於上述實施例。
1...晶圓測試機台
10...測試檔案
2...比對裝置
201...第一待比對檔案
202...第二待比對檔案
203...比對結果
21...儲存單元
22...處理單元
S1-S7...步驟
圖1係習知之於晶圓測試機台輸入測試樣式檔案之示意圖。
圖2係習知之測試樣式檔案之示意圖。
圖3係本發明一較佳實施例之比對裝置之示意圖。
圖4係本發明一較佳實施例之比對方法之流程圖。
圖5A係本發明一較佳實施例之區段分數表之示意圖。
圖5B係本發明一較佳實施例之區段分數表之運算結果之示意圖。
圖6A係本發明另一較佳實施例之區段分數表之示意圖。
圖6B係本發明另一較佳實施例之區段分數表之運算結果之示意圖。
圖7A係本發明一較佳實施例之兩待比對檔案之設置待比對區段之示意圖。
圖7B係本發明一較佳實施例之兩待比對區段之區段運算結果之示意圖。
圖7C係本發明一較佳實施例之兩待比對檔案之重設待比對區段之示意圖。
S1-S7...步驟

Claims (16)

  1. 一種晶圓機台測試檔案之比對裝置,其係用以對所輸入之一第一待比對檔案、以及一第二待比對檔案進行一比對作業,其中該第一待比對檔案以及該第二待比對檔案係分別為一純文字檔案,該比對裝置包括:一儲存單元,係用以儲存所輸入之該第一待比對檔案、以及該第二待比對檔案;以及一處理單元,係用以對所載入之該第一待比對檔案、以及該第二待比對檔案進行處理及比對運算作業,以產生一比對結果,其比對運算作業係對該第一待比對檔案中之一第一待比對區段中之文字、以及該第二待比對檔案中之一第二待比對區段中之文字一一進行比對運算,其中,將欲進行比對之該第一待比對檔案、以及該第二待比對檔案輸入至該比對裝置;該比對裝置將該第一待比對檔案、以及該第二待比對檔案儲存至該儲存單元;該處理單元係自該儲存單元讀取該第一待比對檔案、以及該第二待比對檔案,並進行處理以及比對運算作業,然後提供最短路徑比對結果及最佳插入比對結果之一、以及產生以指出該檔案或所有文字插入處之間的所有文字不同處的該比對結果。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之比對裝置,其中該處理單元係用以於該第一待比對檔案中設置一第一分段起始點以及一第一分段結束點,以讀取該第一分段起始點以及該第一分段結束點間之文字作為該第一待比對區段,並於 該第二待比對檔案中設置一第二分段起始點以及一第二分段結束點,以讀取該第二分段起始點以及該第二分段結束點間之文字作為該第二待比對區段;該處理單元對該第一待比對區段中之文字以及該第二待比對區段中之文字一一進行比對運算,並產生一區段運算結果。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之比對裝置,其中該第一分段起始點係該第一待比對檔案之檔案起點,該第二分段起始點係該第二待比對檔案之檔案起點。
  4. 如申請專利範圍第2項所述之比對裝置,其中該處理單元對該第一待比對區段以及該第二待比對區段所進行之比對運算,係先依據該第一待比對區段及該第二待比對區段中之文字建立一區段分數表,然後一一進行比對運算並將運算結果填入該區段分數表,該處理單元並依據該區段分數表建立該區段運算結果,其係為一區段回溯路徑。
  5. 如申請專利範圍第2項所述之比對裝置,其中該處理單元更用以對該區段運算結果進行判斷,若判斷結果為該第一分段結束點係該第一待比對檔案之檔案終點且該第二分段結束點係該第二待比對檔案之檔案終點,則該處理單元係對所產生之區段運算結果進行處理以產生該比對結果。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之比對裝置,其中若判斷結果為該第一分段結束點非該第一待比對檔案之檔案終點、或該第二分段結束點非該第二待比對檔案之檔案終點,則該處理單元重設該第一分段起始點、第一分段結束 點、該第二分段起始點及該第二分段結束點,然後讀取該第一分段起始點以及該第一分段結束點間之文字作為該第一待比對區段,以及讀取該第二分段起始點以及該第二分段結束點間之文字作為該第二待比對區段,接著對該第一待比對區段中之文字以及該第二待比對區段中之文字一一進行比對運算,並再次產生一區段運算結果。
  7. 如申請專利範圍第6項所述之比對裝置,其中,該第一分段起始點以及該第二分段起始點之位置係由該處理單元依據該區段運算結果進行判斷而決定,若其判斷結果為該第一待比對區段、或該第二待比對區段具有一末端插入部,則其中該第一分段起始點、或該第二分段起始點之重設位置係位於該末端插入部之前。
  8. 如申請專利範圍第1項所述之比對裝置,其中該第一待比對檔案以及該第二待比對檔案之檔案容量係大於1GB。
  9. 如申請專利範圍第4項所述之比對裝置,其中該處理單元係依據一公式對該第一待比對區段以及該第二待比對區段進行比對運算作業,並將運算結果以一數值陣列以及一方向陣列進行儲存,該區段回溯路徑係依據該數值陣列以及該方向陣列而產生;其中,該數值陣列係包括複數個數值,該方向陣列係包括複數個來源方向指標,該公式係用以計算出該等數值,該等來源方向指標係由所計算出之該等數值而決定。
  10. 如申請專利範圍第9項所述之比對裝置,其中該公式係為:S (i ,0)=0-i ,S (0,j )=0-j , 其中,i係該第一待比對區段中之文字之序數,j係該第二待比對區段中之文字之序數,S(i,j)係為該等數值,D(i)及D’(j)係分別為該第一待比對區段及該第二待比對區段中之文字內容;該等來源方向指標係一對一對應至該等數值,用以記錄該等數值S(i,j)之一來源方向。
  11. 如申請專利範圍第9項所述之比對裝置,其中該公式係為:S (i ,0)=0-i ,S (0,j )=0-j , 其中,i係該第一待比對區段中之文字之序數,j係該第二待比對區段中之文字之序數,S(i,j)係為該等數值,D(i)及D’(j)係分別為該第一待比對區段及該第二待比對區段中之文字內容;該等來源方向指標係一一對應至該等數值,用以記錄該等數值S(i,j)之一來源方向。
  12. 如申請專利範圍第9項所述之比對裝置,其中係以一旗標陣列一一記錄該第一待比對區段中之文字與該第二待比對區段中之文字之異同,以供該處理單元進行運算。
  13. 一種晶圓機台測試檔案之比對方法,係由一電腦裝置執行以對輸入之一第一待比對檔案、以及一第二待比對檔案進行檔案內容比對,其中該第一待比對檔案以及該第二待比對檔案係分別為一純文字檔案,該電腦裝置包括一儲存單元、以及一處理單元,其中該儲存單元用以儲存檔案,該處理單元用以進行處理及比對運算作業以產生一比對結果,其比對運算作業係對該第一待比對檔案中之一第一待比對區段中之文字、以及該第二待比對檔案中之一第二待比對區段中之文字一一進行比對運算,該比對方法包括下列步驟:(A)將欲進行比對之該第一待比對檔案、以及該第二待比對檔案輸入至該比對裝置;(B)該比對裝置將該第一待比對檔案、以及該第二待比對檔案儲存至該儲存單元;以及(C)該處理單元係自該儲存單元讀取該第一待比對檔案、以及該第二待比對檔案,並進行處理、以及比對運算作業,然後提供最短路徑比對結果及最佳插入比對結果之一、以及產生以指出該檔案或所有文字插入處之間的所有文字不同處的該比對結果。
  14. 如申請專利範圍第13項所述之比對方法,其中步驟(C)包括下列步驟: (C1)該處理單元係於該第一待比對檔案中設置一第一分段起始點以及一第一分段結束點,並於該第二待比對檔案中設置一第二分段起始點以及一第二分段結束點,其中該第一分段起始點係該第一待比對檔案之檔案起點,該第二分段起始點係該第二待比對檔案之檔案起點;(C2)該處理單元讀取該第一分段起始點以及該第一分段結束點間之文字作為該第一待比對區段,並讀取該第二分段起始點以及該第二分段結束點間之文字作為該第二符比對區段;(C3)該處理單元對該第一待比對區段中之文字以及該第二待比對區段中之文字一一進行比對運算,並產生一區段運算結果;(C4)該處理單元於該第一待比對檔案上重設該第一分段起始點及該第一分段結束點,並於該第二待比對檔案上重設該第二分段起始點及該第二分段結束點;(C5)該處理單元讀取該第一分段起始點以及該第一分段結束點間之文字作為該第一待比對區段,並讀取該第二分段起始點以及該第二分段結束點間之文字作為該第二待比對區段;(C6)該處理單元對該第一待比對區段中之文字以及該第二待比對區段中之文字一一進行比對運算,並再次產生一區段運算結果;(C7)該處理單元判斷是否第一分段結束點是第一待比對檔案之檔案終點,且第二分段結束點是第二待比對檔 案之檔案終點;若是,則該處理單元係對所產生之該等區段運算結果進行處理以產生該比對結果;以及(C8)於步驟(C7)中,若該處理單元之判斷結果為否,則返回步驟(C4)。
  15. 如申請專利範圍第14項所述之比對方法,其中步驟(C3)更包括:該處理單元係依據該第一待比對區段以及該第二待比對區段中之文字建立一區段分數表,然後一一進行比對運算並將運算結果填入該區段分數表;該處理單元依據該區段分數表建立該區段運算結果,其係為一區段回溯路徑。
  16. 如申請專利範圍第14項所述之比對方法,其中於步驟(C4)中,該第一分段起始點以及該第二分段起始點之位置係由該處理單元依據該區段運算結果進行判斷而決定,若其判斷結果為該第一待比對區段、或該第二待比對區段具有一末端插入部,則其中該第一分段起始點、或該第二分段起始點之重設位置係位於該末端插入部之前。
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