CN102541823B - 晶圆机台测试档案的比对装置以及比对方法 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种晶圆机台测试档案比对装置及比对方法,该比对装置包括:一储存单元、以及一处理单元;该比对方法是将欲进行比对的第一待比对档案及第二待比对档案输入至比对装置,其中第一待比对档案及第二待比对档案分别为一纯文本文件,比对装置将第一待比对档案及第二待比对档案储存至储存单元,处理单元自储存单元读取第一待比对档案及第二待比对档案,并进行处理及比对运算作业,然后产生比对结果,其中比对运算作业对第一待比对档案中的一第一待比对区段中的文字、以及第二待比对档案中的一第二待比对区段中的文字一一进行比对运算。
Description
技术领域
本发明涉及档案比对的技术领域,尤指一种适用于晶圆机台测试档案比对装置及比对方法。
背景技术
现行制造商对晶圆(Wafer)所进行的检测,依据所欲检测的晶圆建立一测试档案(test pattern file),并将该测试档案输入至晶圆测试机台以进行测试程序。请参照图1,图1为现有于晶圆测试机台输入测试档案的示意图,如图1所示,测试档案10输入至晶圆测试机台1,晶圆测试机台1依据测试档案10产生与待测晶圆相对应的一模拟测试波形,以供使用者对待测晶圆执行测试程序。
请参照图2,图2为现有的测试档案10的示意图。测试档案10为一文本文件(text file),其档案内容为大量的文字,且档案容量多大于1GB。对于厂商来说,由于测试档案10依据所欲检测的晶圆而建立,因此必须针对各种不同尺寸、样式、功能的晶圆,建立其所相对应的测试档案以进行测试程序。若欲比对不同的测试档案之间的差异以进行例如除错等程序,现有可采用比对软件对两档案执行比对程序;然而,现有的比对软件的比对速度与档案容量有关,若待比对档案的档案容量过大使比对速度大幅下降;由于晶圆测试机台所使用的测试档案其档案容量相当庞大,现有技术尚无方法可有效执行两档案的比对程序,以人工比对档案内容易出错且时间成本高,且若测试档案有误,会造成测试上的错误,进而可能产生重工、被客诉、或甚至赔偿等问题。
因上述问题的存在,发明人本着积极创作的精神,亟思一种可快速比对两测试样式档案的档案内容的「晶圆机台测试档案比对装置及比对方法」,几经研究实验终至完成此项嘉惠世人的发明。
发明内容
鉴于上述现有的比对方式尚有改进空间,本发明的一目的,提供一种晶圆机台测试档案比对装置及比对方法,其可快速对两测试档案的档案内容进行比对。
依据本发明的一特色,本发明提出一种晶圆机台测试档案的比对装置,其用以对所输入的一第一待比对档案、以及一第二待比对档案进行一比对作业,其中第一待比对档案以及第二待比对档案分别为一纯文本文件,比对装置包括:一储存单元,用以储存所输入的第一待比对档案、以及第二待比对档案;以及一处理单元,用以对所加载的第一待比对档案、以及第二待比对档案进行处理及比对运算作业,以产生一比对结果,其比对运算作业对第一待比对档案中的一第一待比对区段中的文字、以及第二待比对档案中的一第二待比对区段中的文字一一进行比对运算,其中,将欲进行比对的第一待比对档案、以及第二待比对档案输入至比对装置;比对装置将第一待比对档案、以及第二待比对档案储存至储存单元;处理单元自储存单元读取第一待比对档案、以及第二待比对档案,并进行处理以及比对运算作业,然后产生比对结果。
依据本发明的另一特色,本发明提出一种晶圆机台测试档案的比对方法,由一计算机装置执行以对输入的一第一待比对档案、以及一第二待比对档案进行档案内容比对,其中第一待比对档案以及第二待比对档案分别为一纯文本文件,计算机装置包括一储存单元、以及一处理单元,其中储存单元用以储存档案,处理单元用以进行处理及比对运算作业以产生一比对结果,其比对运算作业对第一待比对档案中的一第一待比对区段中的文字、以及第二待比对档案中的一第二待比对区段中的文字一一进行比对运算,比对方法包括下列步骤:(A)将欲进行比对的第一待比对档案、以及第二待比对档案输入至比对装置;(B)比对装置将第一待比对档案、以及第二待比对档案储存至储存单元;以及(C)处理单元自储存单元读取第一待比对档案、以及第二待比对档案,并进行处理、以及比对运算作业,然后产生比对结果。
附图说明
图1为现有的于晶圆测试机台输入测试样式档案的示意图;
图2为现有的测试样式档案的示意图;
图3为本发明一较佳实施例的比对装置的示意图;
图4为本发明一较佳实施例的比对方法的流程图;
图5A为本发明一较佳实施例的区段分数表的示意图;
图5B为本发明一较佳实施例的区段分数表的运算结果的示意图;
图6A为本发明另一较佳实施例的区段分数表的示意图;
图6B为本发明另一较佳实施例的区段分数表的运算结果的示意图;
图7A为本发明一较佳实施例的两待比对档案的设置待比对区段的示意图;
图7B为本发明一较佳实施例的两待比对区段的区段运算结果的示意图;
图7C为本发明一较佳实施例的两待比对档案的重设待比对区段的示意图。
【主要元件符号说明】
1晶圆测试机台 10测试档案
2比对装置 201第一待比对档案
202第二待比对档案 203比对结果
21储存单元 22处理单元
S1-S7步骤
具体实施方式
为能更了解本发明的技术内容,特举较佳实施例说明如下,请先参照图3,图3为本发明一较佳实施例的比对装置的示意图。如图3所示,比对装置2包括一储存单元21、以及一处理单元22,其中储存单元21用以储存使用者所输入的第一待比对档案201、以及第二待比对档案202,处理单元22用以对所加载的第一待比对档案201、以及第二待比对档案202进行处理及比对运算作业,以产生一比对结果203,其中比对运算作业对第一待比对档案201中的一第一待比对区段中的文字、以及第二待比对档案202中的一第二待比对区段中的文字一一进行比对运算。
请同时参照图4,图4为本发明一较佳实施例的比对方法的流程图。比对装置2较佳为一计算机装置,当欲以比对装置2进行档案比对时,首先将第一待比对档案201及第二待比对档案202输入至比对装置2,其中第一待比对档案201以及第二待比对档案202皆为纯文本文件,且其档案容量可大于1GB;比对装置2将第一待比对档案201以及第二待比对档案202储存至储存单元21(步骤S1);处理单元22于第一待比对档案201中设置一第一分段起始点以及一第一分段结束点,以读取第一分段起始点以及第一分段结束点间的文字作为第一待比对区段,并于第二待比对档案202中设置一第二分段起始点以及一第二分段结束点,以读取第二分段起始点以及第二分段结束点间的文字作为第二待比对区段,其中第一分段起始点设置于第一待比对档案201的档案起点,第二分段起始点设置于第二待比对档案202的档案起点(步骤S2);处理单元22对第一待比对区段中的文字以及第二待比对区段中的文字一一进行比对运算,并产生一区段运算结果(步骤S3);处理单元重设第一分段起始点、第一分段结束点、第二分段起始点以及第二分段结束点,然后读取第一分段起始点以及第一分段结束点间的文字作为第一待比对区段,以及读取第二分段起始点以及第二分段结束点间的文字作为第二待比对区段(步骤S4);处理单元22对第一待比对区段中的文字以及第二待比对区段中的文字一一进行比对运算,并再次产生一区段运算结果(步骤S5);处理单元22判断是否第一分段结束点是第一待比对档案201的档案终点,且第二分段结束点是第二待比对档案202的档案终点(步骤S6),若是,则处理单元22对所产生的多个区段运算结果进行处理,并产生比对结果203(步骤S7),若否,则返回步骤S4。
处理单元22对第一待比对区段以及第二待比对区段所进行的比对运算,较佳先依据第一待比对区段及第二待比对区段中的文字建立一区段分数表,请参照图5A,图5A为本发明一较佳实施例的区段分数表的示意图。如图5A所示,其中第一待比对区段D为AATGC,第二待比对区段D’为ATGGC;处理单元22对第一待比对区段D、以及第二待比对区段D’中的文字一一进行比对运算,然后将运算结果填入区段分数表中。在本实施例中,处理单元22依据下列公式对第一待比对区段D、以及第二待比对区段D’中的文字一一进行比对运算作业,其可提供最短路径的比对运算结果:
S(i,0)=0-i,
S(0,j)=0-j,
其中,i是第一待比对区段D中的文字的序数,j是第二待比对区段D’中的文字的序数,D(i)以及D’(j)分别代表第一待比对区段D、以及第二待比对区段D’中的文字内容,处理单元22依公式将S(i,j)一一计算出并填入区段分数表中。
首先计算S(1,1),将i=1及j=1代入上述公式:
其中,D(1)=A,D’(1)=A,即D(1)=D’(1)。
即可计算出S(1,1)的值为1。
接着计算S(1,2),将i=1及j=2代入上述公式:
其中,D(1)=A,D’(2)=T,即D(1)≠D’(2)。
即可计算出S(1,2)的值为1。
在区段分数表的运算过程中,处理单元22较佳是先一一比对第一待比对区段中的各文字D(i)、以及第二待比对区段中的各文字D’(j)的异同,并以一旗标阵列进行记录,然后据此计算出所有的S(i,j)。
处理单元22依前述运算方式一一计算出S(1,1)至S(5,5)的数值,并以一数值阵列进行储存。同时,处理单元22更于运算过程中,依据计算出的数值决定与S(i,j)相对应的来源方向指标P(i,j),并以一方向指标储存该等来源方向指标P(i,j)。举例来说,依据公式以及前述的数值运算过程,S(1,2)=0自S(1,1)运算而得,因此其所对应的来源方向指标P(1,2)指向S(1,1)。
接着处理单元22依据运算出的S(i.j)以及其所对应的来源方向指标P(i,j),建立一区段运算结果,其为一区段回溯路径,自区段分数表的右下角开始进行回溯,P(5,5)指向S(4,4),P(4,4)指向S(3,3),P(3,3)指向S(2,2),P(2,2)指向S(1,1),即可得出本次比对运算的区段回溯路径。请参照图5B,图5B为本发明一较佳实施例的区段分数表的运算结果的示意图。如图5B所示,本实施例的运算结果直接标示出第一待比对区段D、以及第二待比对区段D’中的文字不同处。
请参照图6A,图6A为本发明另一较佳实施例的区段分数表的示意图。处理单元22依据下列公式对第一待比对区段D、以及第二待比对区段D’进行比对运算作业,其可提供最佳插入的比对运算结果:
S(i,0)=0-i,
S(0,j)=0-j,
处理单元22计算出S(1,1)至S(5,5)的数值,并依据计算出的数值决定来源方向指标P(1,1)至P(5,5),然后建立区段回溯路径,并得出运算结果。请参照图6B,图6B为本发明另一较佳实施例的区段分数表的运算结果的示意图。如图6B所示,本实施例的运算结果标示出第一待比对区段D以及第二待比对区段D’中的文字插入处。
本发明的比对方法分别将两待比对档案切割为复数个待比对区段并一一进行比对,因此其比对速度不会因为档案容量增大而快速下降,但是该等待比对区段之间的连接处可能在区段运算结果上造成不连续,进而使得比对精确度降低。因此,本发明的比对方法对区段运算结果进行判断,并于重新设置待比对区段时据以调整其分段起始点的位置,以避免因不连续而造成比对精确度降低。
请参照图7A至图7C,图7A为本发明一较佳实施例的两待比对档案的设置待比对区段的示意图,图7B为本发明一较佳实施例的两待比对区段的区段运算结果的示意图,图7C为本发明一较佳实施例的两待比对档案的重设待比对区段的示意图。如图7A所示,处理单元22先于第一待比对档案D中设置第一待比对区段t1,并于第二待比对档案D’中设置第二待比对区段t1’,其中第一分段起始点为第一待比对档案D的档案起点,第二分段起始点为第二待比对档案D’的档案起点;然后处理单元22对第一待比对区段t1以及第二待比对区段t1’中的文字一一进行比对运算,以产生一区段运算结果。图7B处理单元22以最佳插入法对第一待比对区段t1与第二待比对区段t1’进行比对的区段运算结果,其中,第一待比对区段t1具有一末端插入部。当处理单元22欲重新设置第一待比对区段t2、以及第二待比对区段t2’时,先依据图7B中的区段运算结果进行判断,然后将重设的第二待比对区段t2’的第二分段起始点设置于第一待比对区段t1的末端插入部的前,如图7C中所示,接着处理单元22对第一待比对区段t2、以及第二待比对区段t2’进行比对作业。
本发明的比对方法用以快速且有效地对档案容量庞大的两个纯文本文件进行比对,其将两待比对档案分别切割为复数个待比对区段并依序比对其中的文字,因此其比对速度不会因为档案容量过于庞大而快速下降。另外,本发明的比对方法更对区段运算结果进行判断,并据以调整再次设置的待比对区段的分段起始点位置,进而可有效避免因区段运算结果的不连续而降低比对精确度。
对于晶圆制造厂商来说,以本发明进行不同的测试档案之间的比对,由于可快速标示出不同处,因此在例如不同版本的测试档案等的档案控管上具有相当的功效。
另外,当以本发明的比对方法进行档案比对时,使用者更可依照档案性质、以及比对目的等条件,选择以最短路径或是最佳插入方法进行档案的比对,使用者亦若自行调整所需的比对精确度、以及选择全域比对或差异性比对。
上述实施例仅为了方便说明而举例而已,本发明所主张的权利范围自应以申请专利范围所述为准,而非仅限于上述实施例。
Claims (10)
1.一种晶圆机台测试档案的比对装置,其用以对所输入的一第一待比对档案、以及一第二待比对档案进行一比对作业,其中该第一待比对档案以及该第二待比对档案分别为一纯文本文件,其特征在于,该比对装置包括:
一储存单元,用以储存所输入的该第一待比对档案、以及该第二待比对档案;以及
一处理单元,用以对所加载的该第一待比对档案、以及该第二待比对档案进行设置待比对区域及比对运算作业,以产生一比对结果,其比对运算作业对该第一待比对档案中的一第一待比对区段中的文字、以及该第二待比对档案中的一第二待比对区段中的文字一一进行比对运算;
其中,将欲进行比对的该第一待比对档案、以及该第二待比对档案输入至该比对装置;该比对装置将该第一待比对档案、以及该第二待比对档案储存至该储存单元;该处理单元自该储存单元读取该第一待比对档案、以及该第二待比对档案,并进行设置待比对区域以及比对运算作业;
该处理单元用以于该第一待比对档案中设置一第一分段起始点以及一第一分段结束点,以读取该第一分段起始点以及该第一分段结束点间的文字作为该第一待比对区段,并于该第二待比对档案中设置一第二分段起始点以及一第二分段结束点,以读取该第二分段起始点以及该第二分段结束点间的文字作为该第二待比对区段;
其中该处理单元对该第一待比对区段以及该第二待比对区段所进行的比对运算,是先依据该第一待比对区段及该第二待比对区段中的文字建立一区段分数表,然后依据一公式进行比对运算并将运算结果填入该区段分数表,该处理单元并依据该区段分数表建立一区段运算结果,其为一区段回溯路径,该运算结果以一数值阵列以及一方向阵列进行储存,该数值阵列包括多个数值,该方向阵列包括多个来源方向指标,藉以提供一最短路径或一最佳插入法的比对,然后产生该比对结果,显示出在该第一及第二待比对档案或所有文字插入位置中所有产生差异的文字;
该处理单元还用以对该区段运算结果进行判断,若判断结果为该第一分段结束点为该第一待比对档案的档案终点且该第二分段结束点为该第二待比对档案的档案终点,则该处理单元对所产生的区段运算结果进行处理以产生该比对结果;
若判断结果为该第一分段结束点非该第一待比对档案的档案终点、或该第二分段结束点非该第二待比对档案的档案终点,则该处理单元重设该第一分段起始点、第一分段结束点、该第二分段起始点及该第二分段结束点,然后读取该第一分段起始点以及该第一分段结束点间的文字作为该第一待比对区段,以及读取该第二分段起始点以及该第二分段结束点间的文字作为该第二待比对区段,接着对该第一待比对区段中的文字以及该第二待比对区段中的文字一一进行比对运算,并再次产生一区段运算结果。
2.如权利要求1所述的比对装置,其特征在于,该第一分段起始点是该第一待比对档案的档案起点,该第二分段起始点是该第二待比对档案的档案起点。
3.如权利要求1所述的比对装置,其特征在于,该第一分段起始点以及该第二分段起始点的位置由该处理单元依据该区段运算结果进行判断而决定,若其判断结果为该第一待比对区段、或该第二待比对区段具有一末端插入部,则其中该第一分段起始点、或该第二分段起始点的重设位置位于该末端插入部之前。
4.如权利要求1所述的比对装置,其特征在于,该第一待比对档案以及该第二待比对档案的档案容量大于1GB。
5.如权利要求1所述的比对装置,其特征在于,该公式为:
S(i,0)=0-i,
S(0,j)=0-j,
其中,i为该第一待比对区段中的文字的序数,j为该第二待比对区段中的文字的序数,S(i,j)为该多个数值,D(i)及D’(j)分别为该第一待比对区段及该第二待比对区段中的文字内容;该多个来源方向指标一对一对应至该多个数值,用以记录该多个数值S(i,j)的一来源方向。
6.如权利要求1所述的比对装置,其特征在于,该公式为:
S(i,0)=0-i,
S(0,j)=0-j,
其中,i为该第一待比对区段中的文字的序数,j为该第二待比对区段中的文字的序数,S(i,j)为该多个数值,D(i)及D’(j)分别为该第一待比对区段及该第二待比对区段中的文字内容;该多个来源方向指标一一对应至该多个数值,用以记录该多个数值S(i,j)的一来源方向。
7.如权利要求1所述的比对装置,其特征在于,以一旗标阵列一一记录该第一待比对区段中的文字与该第二待比对区段中的文字的异同,以供该处理单元进行运算。
8.一种晶圆机台测试档案的比对方法,由一计算机装置执行以对输入的一第一待比对档案、以及一第二待比对档案进行档案内容比对,其中该第一待比对档案以及该第二待比对档案分别为一纯文本文件,该计算机装置包括一储存单元、以及一处理单元,其中该储存单元用以储存档案,该处理单元用以进行设置待比对区域及比对运算作业以产生一比对结果,其比对运算作业对该第一待比对档案中的一第一待比对区段中的文字、以及该第二待比对档案中的一第二待比对区段中的文字一一进行比对运算,该比对方法包括下列步骤:
(A)将欲进行比对的该第一待比对档案、以及该第二待比对档案输入至该计算机装置;
(B)该计算机装置将该第一待比对档案、以及该第二待比对档案储存至该储存单元;以及
(C)该处理单元自该储存单元读取该第一待比对档案、以及该第二待比对档案,并进行设置待比对区域以及比对运算作业,以提供一最短路径或一最佳插入法的比对,然后产生该比对结果,显示出在该第一及第二待比对档案或所有文字插入位置中所有产生差异的文字,其中步骤(C)包括下列步骤:
(C1)该处理单元于该第一待比对档案中设置一第一分段起始点以及一第一分段结束点,并于该第二待比对档案中设置一第二分段起始点以及一第二分段结束点,其中该第一分段起始点作为该第一待比对档案的档案起点,该第二分段起始点作为该第二待比对档案的档案起点;
(C2)该处理单元读取该第一分段起始点以及该第一分段结束点间的文字作为该第一待比对区段,并读取该第二分段起始点以及该第二分段结束点间的文字作为该第二待比对区段;
(C3)该处理单元对该第一待比对区段中的文字以及该第二待比对区段中的文字一一进行比对运算,并产生一区段运算结果;
(C4)该处理单元于该第一待比对档案上重设该第一分段起始点及该第一分段结束点,并于该第二待比对档案上重设该第二分段起始点及该第二分段结束点;
(C5)该处理单元读取该第一分段起始点以及该第一分段结束点间的文字作为该第一待比对区段,并读取该第二分段起始点以及该第二分段结束点间的文字作为该第二待比对区段;
(C6)该处理单元对该第一待比对区段中的文字以及该第二待比对区段中的文字一一进行比对运算,并再次产生一区段运算结果;
(C7)该处理单元判断是否第一分段结束点是第一待比对档案的档案终点,且第二分段结束点是第二待比对档案的档案终点;若是,则该处理单元对所产生的该区段运算结果进行处理以产生该比对结果;以及
(C8)于步骤(C7)中,若该处理单元的判断结果为否,则返回步骤(C4)。
9.如权利要求8所述的比对方法,其特征在于,步骤(C3)更包括:
该处理单元依据该第一待比对区段以及该第二待比对区段中的文字建立一区段分数表,然后一一进行比对运算并将运算结果填入该区段分数表;该处理单元依据该区段分数表建立该区段运算结果,其为一区段回溯路径。
10.如权利要求9所述的比对方法,其特征在于,于步骤(C4)中,该第一分段起始点以及该第二分段起始点的位置由该处理单元依据该区段运算结果进行判断而决定,若其判断结果为该第一待比对区段、或该第二待比对区段具有一末端插入部,则其中该第一分段起始点、或该第二分段起始点的重设位置位于该末端插入部之前。
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