TWI431230B - Precision air conditioners - Google Patents

Description

精密空調機

本發明是關於一種，對作為收容被設置在無塵室內的曝光裝置等的空調對象的空間供給循環被精密調溫後的空氣的精密空調機。

液晶玻璃基板的曝光裝置的周邊環境，由於玻璃基板會因溫度變化而熱膨脹，所以必須精密控制空調溫度(精度±0.01～±0.1℃)。

這類的曝光裝置等，是被設在無塵室內由隔壁等所形成的空間內，並在無塵室的地板設置與無塵室用的空調機不一樣的精密空調機，由精密空調機對作為空調對象的空間供給循環被精密溫度控制後的空調空氣。

該精密空調機是由冷凍循環所構成，以蒸發器將來自空間的空氣冷卻成比設定溫度更低的溫度(例如17℃)，再以再加熱電熱器將此加熱成設定溫度(例如23℃)，並將此作為空調空氣供給循環到空間內。

於此，作為冷凍循環的蒸發器的吸熱部，為了空調空間內雖被設在無塵室內，可是作為散熱部的冷凝器，是與壓縮機一起作為室外機設置在無塵室外，並以冷媒配管連接散熱部與室外機，而構成氣冷式空調機。或是提案有：以成為散熱部的冷凝器作為水冷式設置在無塵室的地板時，在無塵室外設置冷卻水供給裝置，並以水冷配管連接散熱部與冷卻水供給裝置的水冷式空調機等各整的型式(專利文獻1)。

可是，以再加熱電熱器將由蒸發器冷卻成比設定溫度更低的溫度的空調空氣加熱成設定溫度的精密溫度控制，會有電熱器的運轉成本增加的問題。

於此，除了如專利文獻2所提案的方式，利用冷凍循環的熱氣體，使這個流到蒸發器，控制蒸發溫度的熱氣體旁通管(byPaSS)之外，還提案有在蒸發器的空氣吹出側另外設置再加熱用冷凝器，使熱氣體流到該再加熱用冷凝器，並以其再加熱用冷凝器加熱以蒸發器所冷卻的空氣，之後以再加熱電熱器進行精密溫度控制。

在該專利文獻2，由於是使熱氣體流到蒸發器來控制蒸發溫度，並以再加熱用冷凝器溫度控制空調空氣，所以可將再加熱電熱器的運轉成本降低到某一程度，可是在熱氣體旁通管，要應答性佳且精密地控制冷凍循環的凝結溫度或蒸發溫度是不可能的，因此再加熱電熱器的設置是不可欠缺的。

另一方面，在專利文獻3，提案有在蒸發器的吹出側設置再加熱用冷凝器，利用由空氣壓作動的三方比例控制閥控制熱氣體的熱氣體的旁通量，可實現以再加熱用冷凝器的回應性佳的溫度控制，藉此，不需要再加熱電熱器。

該專利文獻3，是以蒸發器將來自空間的空氣冷卻成比設定溫度更低5℃的溫度後馬上以再加熱用冷凝器加熱到設定溫度者，由於再加熱電熱器並不需要，所以可抑制運轉成本。

[先行技術文獻] [專利文獻]

[專利文獻1]日本特開2000-283500號公報

[專利文獻2]日本特開2009-216332號公報

[專利文獻3]日本特許第3283245號公報

然而，專利文獻1～3中，在排熱回收用的冷凝器使用冷卻水，在無塵室外另外設置冷卻水供給裝置，並且必須進行以冷水配管連結冷卻水供給裝置與冷凝器側的散熱部的作業。

尤其，最近的無塵室愈來愈大型化，設置曝光裝置等的製程機器的潔淨區的高度將近10m，且地板的回流室的高度也有5～6m左右，而且其延伸地面面積也有數萬m² ，而形成在潔淨區內，設置有一個一個覆蓋多數個製程機器的空間。使該各空間的熱散熱的散熱部被一個一個設置在回流室，另一方面，由於在無塵室外設置有冷卻水供給裝置，所以連接該冷水供給裝置與各散熱部的冷水配管必然變長，而且連接也必須要高處作業，並且對於冷水配管的保溫、漏水對策等必須要有極大的勞力。

又，專利文獻1～3中，冷凍循環的負荷，是被設定成對應最大空調負荷的能力，由於壓縮機的冷媒吐出壓是以一定進行運轉，所以由蒸發器所吸熱的冷媒熱的排熱，控制流到冷凝器的冷卻水的循環量，可達成吸熱量與排熱量的相匹配。可是，以冷卻水冷卻冷凝器的水冷式，是在空調負荷大的時候，可適當控制在冷凝器的散熱量者，在空調負荷少的時候，供給到冷凝器側的冷卻水流量極端變少，成為冷卻水流量的控制範圍以下會有穩定運轉變困難的可能性。

亦即，作為控制對象的空間的溫度控制，吸入空氣與吹出溫度的溫度差為±2℃以下時，空調負荷小的情況較多。另一方面，供給到冷凝器的冷卻水溫度，是使用18℃左右的冷卻水，由於冷卻水溫度相對於冷媒的凝結溫度(70℃前後)低，所以空調負荷愈小，冷卻水量的控制變的愈困難，且使冷凍循環穩定進行運轉，並配合空調負荷，調整冷凝器側的排熱量變的困難。

於此，本發明的目的，是解決上述課題，並提供一種可一面將冷凍循環的負荷保持在一定，一面對應控制對象的空間的空調負荷，控制排熱量的精密空調機。

為了達成上述目的，本發明是一種，導入作為被設置在無塵室的空調對象的空間內的空氣，並將此形成設定溫度，在前述空間內循環用的精密空調機，其特徵為，具備有：冷凍循環，其具有：從壓縮機的吐出側到吸入側，依序連接冷凝器、膨脹閥、蒸發器，並且使前述壓縮機的吐出側的熱氣體流到前述蒸發器的熱氣體旁通管迴路；熱回收部，其收容有前述冷凍循環的蒸發器，導入來自前述空間的空氣，以前述蒸發器空調成設定溫度在前述空間內循環；以及散熱部，其被設在前述無塵室內，並且收容有前述冷凍循環的冷凝器，且具備有利用無塵室內的空氣氣冷其冷凝器，將前述冷凝器的凝結壓力保持在一定的散熱能力可變風扇。

在本發明，前述冷凍循環、前述熱回收部、及前述散熱部是被收容在同一個殼體內者。

在本發明，前述熱氣體旁通管迴路具備比例控制閥，在前述熱回收部設有檢出以前述蒸發器所冷卻的空調空氣的溫度的溫度感測器，以其溫度感測器的檢出值，控制前述比例控制閥，藉此，可精密溫度控制由蒸發器所冷卻的空調空氣者。

在本發明，在連結前述蒸發器的冷媒出口與壓縮機的吸入側的冷媒配管，連接有將壓縮機的冷媒吸入壓力保持在一定的吸入壓力調整閥，前述膨脹閥由溫度式膨脹閥構成，在前述吸入壓力調整閥的上游側的配管設有前述溫度式膨脹閥的感溫筒，藉此，可將在前述蒸發器的冷媒蒸發壓力保持在一定者。

在本發明，在前述冷凝器到前述溫度式膨脹閥的高壓側冷媒配管設有高壓感測器，另一方面以變頻裝置驅動前述散熱部的散熱能力可變風扇，並以變頻裝置控制前述散熱能力可變風扇的旋轉，使得由前述高壓感測器所檢出的冷媒的凝結壓力形成一定，藉此在冷凝器的冷媒凝結壓力可保持在一定者。

在前述冷凝器與前述高壓感測器間的高壓側冷媒配管有連接受液槽即可。

收容前述熱回收部與前述散熱部的殼體，被設在前述無塵室的回流室即可。

根據本發明，精密溫度控制空調對象的空間內的空氣之際，對空調空間的空氣的蒸發器流入熱氣體，藉此精密溫度控制空調空氣，由無塵室內設置的散熱部的冷凝器氣冷相當於在蒸發器熱回收的熱，藉此進行排熱，而可穩定進行精密溫度控制，進而可發揮在無塵室外不需設置室外機、冷水源等極佳的效果者。

[實施發明用的形態]

以下，依據添付圖面詳述本發明的適合的一實施的形態。

首先，依據圖1說明對無塵室10；以及覆蓋被設置在無塵室10內的曝光裝置等的製程機器11，作為空調對象的空間12的精密空調機13。

無塵室10是由：設有曝光裝置等的製程機器11，並且設有覆蓋這個的空間12的潔淨區16；被形成在潔淨區16的頂棚17的上方，對潔淨區16供給清淨空氣的供氣空間18；以及被形成在潔淨區16的地面19的下，吸引來自潔淨區16的空氣的回流室20。回流室20與供氣空間18是以循環路21連結，在其循環路21設有無塵室用空調機22，在供氣空間18內的頂棚17設有複數個對潔淨區16吹出清淨空氣，且具有HEPA(高效率空氣過濾器)與風扇的風扇過濾器單元23。來自回流室20的空氣，是經由循環路21被導入空調機22，在空調機22空調成設定溫度，其空調空氣從供氣空間18通過風扇過濾器單元23內的高性能過濾器被清淨，以下向流吹初到潔淨區16。

在潔淨區16，是有在地面19上覆蓋製程機器11的空間12，以精密空調機13對空間12內進行空調，可精密溫度控制製程機器11及製程機器11的周圍環境。

在本發明，是將該精密空調機13設置在無塵室10內，尤其是設置在回流室20內者。亦即，精密空調機13是由：具備有將空間12內的空氣作為回風(RA)予以導入，並對此進行精密空調，作為供氣SA對空間12進行供給循環的蒸發器26及循環風扇27的熱回收部28；具備壓縮機29等的機器部30；以及具備有冷凝器31及氣冷用的散熱能力可變風扇32的散熱部33所構成。於此，散熱部33是至少被設置在無塵室10，尤其是被設在回流室20者。又，如圖示，具備熱回收部28與壓縮機29等 的機器部30；以及散熱部33是指：收容在一個殼體14內作為精密空調機13。該精密空調機13雖設在無塵室10內的潔淨區16、回流室20等，可是尤其是設在回流室20即可。

接著，依據圖2，說明構成精密空調機13的冷凍循環25。

冷凍循環25是從壓縮機29的吐出側到吸入側，以冷媒配管37依序連接散熱部33的冷凝器31、受液槽34、作為膨脹閥的溫度式膨脹閥35、熱回收部28的蒸發器26、分離器36，再者，主要構成設有從壓縮機29的吐出側到冷凝器31的高壓側冷媒配管37a分歧，使熱氣體流到蒸發器26的熱氣體旁通管迴路40。

更進一步詳細說明該冷凍循環25。

在壓縮機29的吐出側的高壓側冷媒配管37a，設有檢出壓縮機29的過負荷的壓力開關41，其高壓側冷媒配管37a連接在冷凝器31的入口側。在冷凝器31的入口側的高壓側冷媒配管37a連接有凝結壓力調整閥50。冷凝器31是由鰭片&管子形成，在其冷凝器31設有散熱能力可變風扇32，形成散熱部33。冷凝器31的出口側的高壓側冷媒配管37a，是連接在受液槽34的上部，在受液槽34的底部連接有高壓側冷媒配管37b。在從該受液槽34到溫度式膨脹閥35的高壓側冷媒配管37b，連接有高壓感測器42，並且在其下游的高壓側冷媒配管37b，連接有檢出水分量的玻璃液面計43、除去冷媒中的水分的過濾器乾燥器44、作為止閥的無填料閥(PacklESS valvE)45。

來自溫度式膨脹閥35的低壓側冷媒配管37c，連接在蒸發器26的入口側。蒸發器26是由鰭片&管子所形成，在其蒸發器26的出口側形成有設有循環風扇27的熱回收部28。

從蒸發器26的出口側到分離器36的低壓側冷媒配管37c依序連接壓力計46、外均壓導入閥47、過濾器48、吸入壓力調整閥49。

溫度式膨脹閥35是由隔膜閥構成，詳細雖未圖示，可是一方的隔膜室經由毛細管51連接感溫筒52，另一方的隔膜室連接在外均管53而構成。感溫筒52是沿著蒸發器26的出口側的低壓側冷媒配管37c而設，外均管53是連接在外均壓導入閥47。溫度式膨脹閥35，是利用從感溫筒52經由毛細管51，作用在隔膜的一方的壓力(依據蒸發器26的蒸發溫度的壓力)、與從外均管53作用在隔膜的另一方的壓力(蒸發器26的蒸發壓力)的差壓，控制閥開度(減壓度)。

此外，圖示的例子中，雖是以外平衡式的溫度式膨脹閥35的例子進行說明，可是，也可使用內平衡式的溫度式膨脹閥、或電動式膨脹閥。

吸入壓力調整閥49是輸入其下游側的冷媒壓力，調整壓縮機29的吸入壓使其冷媒壓力成為一定。

熱氣體旁通管迴路40是由：連接從壓縮機29的吐出側到冷凝器31的高壓側冷媒配管37a與蒸發器26的入口的旁通管配管54；與連接其旁通管配管的比例控制閥55所構成。又，在比例控制閥55的上游側的旁通管配管54連接有過濾器56。

在熱回收部28設有檢出以蒸發器26進行空調，並利用循環風扇27供給到空間12的供氣SA的溫度的溫度感測器58，而形成以該溫度感測器58的檢出值，控制熱氣體旁通管迴路40的比例控制閥55。

又，散熱部33的散熱能力可變風扇32，是以變頻裝置60旋轉數可改變地被驅動，在其變頻裝置60輸入高壓感測器42的檢出值，並以變頻裝置60控制散熱能力可變風扇32的風量的方式，使高壓感測器42的檢出值成為一定。

在該圖2的冷凍循環25，由壓縮機29所壓縮的冷媒氣體(熱氣體)，是以凝結壓力調整閥50進行壓力控制，主要通過冷凝器31，在這裡與利用散熱能力可變風扇32的旋轉被送風的回流室20內的空氣(23～25℃左右)進行熱交換而凝結，並在溫度式膨脹閥35被減壓流到蒸發器26。另一方面，來自壓縮機29的熱氣體的一部分，從熱氣體旁通管迴路40在比例控制閥55被流量控制，並與在溫度式膨脹閥35被減壓的氣液混相冷媒一起流到蒸發器26。在熱回收部28，導入來自空間12的回風RA，以蒸發器26冷卻這個，形成設定溫度±0.01～±0.1℃，並作為精密溫度控制的供氣SA供給到空間12。

在蒸發器26熱回收後的冷媒，作為蒸發冷媒在吸入壓力調整閥49調整成壓縮機29的吸入壓力，經由分離器36被吸入壓縮機29，且再次被壓縮作為熱氣體被循環。

首先，在本發明，壓縮機29是以吸入壓力調整閥49調整成吸入壓力，並將過熱(比飽和氣體線更高5℃的溫度)的蒸發冷媒壓縮成預定的壓力，形成熱氣體。該熱氣體是經由散熱部33的冷凝器31與熱氣體旁通管迴路40供給到蒸發器26的雙方。此時，高壓感測器42檢出冷凝器31的出口側的壓力，依據這個，變頻裝置60控制散熱能力可變風扇32的送風量，並且凝結壓力調整閥50調整流入冷凝器31的壓力。藉此，調整在冷凝器31的熱交換量(排熱量)，且不論熱氣體旁通管量的變動，在冷凝器31的凝結壓力可保持在一定。在該冷凝器31的凝結，由於是與回流室20內的空氣(23℃～25℃左右)進行熱交換，所以凝結冷媒溫度與空氣的溫度差小，即使散熱量少的情況，也可以散熱能力可變風扇32的送風量適當控制散熱量。

接著，在熱回收部28的供氣SA的精密溫度控制，是藉由溫度感測器58控制比例控制閥55的開度，控制從熱氣體旁通管迴路40流入蒸發器26的熱氣體量的方式來進行。

該溫度感測器58，在圖雖表示檢出熱回收部28的蒸發器26的出口側的供氣SA的溫度的例子，可是也可另外設置檢出蒸發器26的入口側的回風RA的溫度的溫度感測器，並以其出入口的溫度感測器控制比例控制閥55。

另一方面，溫度式膨脹閥35不論熱氣體旁通管量，調整減壓度，將蒸發器26的蒸發壓力保持在一定者。亦即，蒸發器26的出口側溫度轉換成被封入在感溫筒52內的冷媒的壓力，將這個經由毛細管51導入溫度式膨脹閥35的隔膜室的一方，同時經由外均管53將在蒸發器26被蒸發的冷媒的蒸發壓力導入溫度式膨脹閥35的隔膜室的另一方，並以兩隔膜室的差壓調整溫度式膨脹閥35的減壓度。

藉此，在蒸發器26，蒸發壓力被保持一定，在其蒸發器26的冷媒蒸發量，亦即，由於是以熱氣體流入量控制回風RA與冷媒的熱交換量，所以可進行對空調負荷的精密溫度控制。

在該冷凍循環25，雖是以散熱部33的冷凝器31將在熱回收部28的蒸發器26回收的熱，排熱到回流室20的空氣，可是，其排熱量，由於相對於在無塵室10的空調機13處理的熱量非常的小，所以可以空調機13的空調充分進行處理。因此，不需如以往，將為了排熱，用的室外機、冷水供給裝置等設置在無塵室10外，並以冷媒配管連接的費事情形。

又，精密溫度控制之際，在熱氣體旁通管迴路40，以比例控制閥55配合回流室20的空調負荷控制其熱氣體流量，使其流入蒸發器26。此時，冷凝器31以高壓感測器42的檢出值將凝結壓力控制在一定，同時，溫度式膨脹閥35將蒸發壓力控制在一定，並且吸入壓力調整閥49調壓縮機29的吸入壓力，使冷凍循環25可穩定進行運轉。

又，比例控制閥55是依據回流室20的空調負荷變動控制熱氣體量，在蒸發器26依據空調負荷，冷媒進行熱回收。之後，在壓縮機29壓縮後的熱氣體導入散熱部33的冷凝器31進行散熱。如此，由於在熱回收後進行散熱，所以當空調負荷急遽變動之際，雖然在冷凍循環25的熱回收量與散熱量的匹配容易變差，可是由於在冷凍循環25設有受液槽34，所以冷凍循環25可穩定的運轉。

接著，在圖3的莫理爾線圖上說明該冷凍循環25。

圖3表示在冷媒使用R407C時的莫理爾線圖上的冷凍循環，且是表示橫軸為比熱焓(kJ/kg)，縱軸為絕對壓力(MPa)，Lg為R407C的飽和氣體線，L1為飽和液線。

首先，壓縮機29的吸入冷媒，是由吸入壓力調整閥49以點A(12℃、0.5MPa)導入到壓縮機29。該點A是在比飽和氣體線Lg更充分高(+5℃)的氣相側處於過熱狀態，其冷媒氣體由壓縮機29被壓縮到點B(75℃、2.0MPa)。該點B的熱氣體，是被供給到冷凝器31側與熱氣體旁通管迴路40側，在其分歧點，成為下降到點C(1.7MPa)的壓力。被導入冷凝器31的熱氣體，藉由散熱保持在點C的凝結壓力的狀態下通過飽和液線L1，從 氣液混相狀態被冷卻到成為過冷卻液的點D(31℃)。

該點D的過冷卻度可以溫度式膨脹閥35進行控制，由溫度式膨脹閥35被檢壓到點E(11℃、0.8MPa)。在蒸發器26，可以該點E的壓力維持蒸發壓力。另一方面，來自點C的熱氣體被導入到蒸發器26，壓力下降到點F(0.8MPa)，成為蒸發器26的蒸發壓力。在蒸發器26，流入點F的熱氣體與由溫度式膨脹閥35被減壓到點E為止的冷媒，其冷媒與來自空間12的空氣(回風RA)進行熱交換。藉此，冷媒成為點G的狀態，從蒸發器26的出口流入吸入壓力調整閥49的入口側，由其吸入壓力調整閥49，從點G減壓調整到點A，導入到壓縮機29。

在該莫理爾線圖上的冷凍循環，點C到點D的熱量為冷凝器31的散熱量，點E到點G的熱量為在蒸發器26的熱量變化，冷凝器31的散熱量，是壓縮機29的熱量(點G至點F的熱量)與蒸發熱量的合計熱量。

於此，熱氣體旁通管量0%時，蒸發器26的蒸發熱量成為點E至點G的熱量，沒有空調負荷，熱氣體旁通管量為100%的時候，形成由冷凝器31進行壓縮機29的熱量的散熱，蒸發器26的入口的冷媒的比熱焓是從點G減去壓縮機29的熱量而成為點H。因此，相對於熱氣體旁通管量0%~100%，蒸發器26的入口的冷媒的比熱焓，成為點E~點H的任一個的點H’。點H’~點G的熱量成為依據空調負荷的蒸發熱量，亦即成為由蒸發器26與空氣(回風RA)進行熱交換的熱量。

因此，配合空間12的空調負荷狀態，在熱氣體旁通管量0%～100%的範圍進行控制的方式，可在圖所示的點E至點H之間，調整配合空調負荷的熱交換量。

流到該熱氣體旁通管迴路40的熱氣體旁通管量，是以冷凍循環25的冷媒的循環量為100%時，能夠將在壓縮機的產生熱量予以散熱的量，即使最大流到70%左右，冷凍循環25也可穩定進行運轉。因此，可適當進行在比例控制閥55的流量控制，且相對於設定溫度(例如23℃)可精密溫度控制在±0.01℃～±0.1℃。

以上雖說明了本發明的實施的形態，可是本發明並不限於上述的實施的形態，可有各種的變更。亦即，雖以溫度式膨脹閥作為膨脹閥進行說明，可是也可以電動式膨脹閥進行，而在圖3，雖表示使用R407作為冷媒時的冷媒凝結壓力、蒸發壓力、壓縮機吸入壓力的一個例子，可是當然也可依據空調負荷、處理風量等，變更壓縮機的壓縮能力、凝結壓力、蒸發壓力等。

10．．．無塵室

12．．．空間

14．．．殼體

25．．．冷凍循環

26．．．蒸發器

28．．．熱回收部

29．．．壓縮機

31．．．冷凝器

32．．．散熱能力可變風扇

33．．．散熱部

40．．．熱氣體旁通管迴路

[圖1]表示本發明的一實施的形態的整體圖。

[圖2]為圖1所是的精密空調機的冷凍循環的詳細圖。

[圖3]是在莫理爾線圖上表示圖2的冷凍循環的說明圖。

10．．．無塵室

23．．．風扇過濾器單元

18．．．供氣空間

17．．．頂棚

28．．．熱回收部

12．．．空間

11．．．製程機器

16．．．潔淨區

19．．．地面

22．．．空調機

21．．．循環路

26．．．蒸發器

RA．．．回風

SA．．．供氣

27．．．循環風扇

13．．．精密空調機

14．．．殼體

37．．．冷媒配管

33．．．散熱部

20．．．回流室

30．．．機器部

31．．．冷凝器

32．．．散熱能力可變風扇

Claims (7)

1. 一種精密空調機，係導入作為被設置在無塵室的空調對象的空間內的空氣，並將此形成設定溫度，在前述空間內循環用的精密空調機，其特徵為，具備有：冷凍循環，其具有：從壓縮機的吐出側到吸入側，依序連接冷凝器、膨脹閥、蒸發器，並且使前述壓縮機的吐出側的熱氣體流到前述蒸發器的熱氣體旁通管迴路；熱回收部，其收容有前述冷凍循環的蒸發器，導入來自前述空間的空氣，以前述蒸發器空調成設定溫度在前述空間內循環；以及散熱部，其被設在前述無塵室內，並且收容有前述冷凍循環的冷凝器，且具備有利用無塵室內的空氣氣冷其冷凝器，將前述冷凝器的凝結壓力保持在一定的散熱能力可變風扇。
2. 如申請專利範圍第1項記載的精密空調機，其中，前述冷凍循環、前述熱回收部、及前述散熱部是被收容在同一個殼體內。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項記載的精密空調機，其中，前述熱氣體旁通管迴路具備比例控制閥，在前述熱回收部設有檢出以前述蒸發器所冷卻的空調空氣的溫度的溫度感測器，以其溫度感測器的檢出值，控制前述比例控制閥，藉此，可精密溫度控制由蒸發器所冷卻的空調空氣。
4. 如申請專利範圍第3項記載的精密空調機，其中，在連結前述蒸發器的冷媒出口與壓縮機的吸入側的冷媒配管，連接有將壓縮機的冷媒吸入壓力保持在一定的吸入壓力調整閥，前述膨脹閥由溫度式膨脹閥構成，在前述吸入壓力調整閥的上游側的配管設有前述溫度式膨脹閥的感溫筒，藉此，可將在前述蒸發器的冷媒蒸發壓力保持在一定。
5. 如申請專利範圍第4項記載的精密空調機，其中，在前述冷凝器到前述溫度式膨脹閥的高壓側冷媒配管設有高壓感測器，另一方面以變頻裝置驅動前述散熱部的散熱能力可變風扇，並以變頻裝置控制前述散熱能力可變風扇的旋轉，使得由前述高壓感測器所檢出的冷媒的凝結壓力形成一定，藉此在冷凝器的冷媒凝結壓力可保持在一定。
6. 如申請專利範圍第5項記載的精密空調機，其中，在前述冷凝器與前述高壓感測器間的高壓側冷媒配管連接有受液槽。
7. 如申請專利範圍第2項記載的精密空調機，其中，收容前述熱回收部與前述散熱部的殼體，被設在前述無塵室的回流室。