TWI403760B - 彩色濾光片缺陷修正裝置及彩色濾光片缺陷修正方法 - Google Patents

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Description

彩色濾光片缺陷修正裝置及彩色濾光片缺陷修正方法
本發明係關於彩色濾光片缺陷修正裝置及彩色濾光片缺陷修正方法，尤其是關於修正彩色濾光片著色部的缺陷之彩色濾光片缺陷修正裝置及彩色濾光片缺陷修正方法。
在液晶顯示器之構成元件的彩色濾光片上，具有稱之為黑色矩陣的格子狀圖案(鉻、氧化鉻及樹脂等材料)及著色部(以下亦稱之為彩色濾光片部或CF部)。在黑色矩陣形成階段的缺陷，包含：黑色矩陣突出至彩色濾光片部(在此階段為無色)的黑缺陷，以及缺少黑色矩陣的一部份之白缺陷。另外，也有在著色後互相混色而產生的黑缺陷，及顏色脫落而產生的白缺陷。過去，係採用由操作者一邊觀看照相影像，一邊以雷射光修補黑缺陷，或以墨水掩埋白缺陷的修正方法。
例如，特開2003－37350號公報(專利文獻1)揭露了如後述的彩色濾光片缺陷修正裝置(圖案修正裝置)。亦即，以CCD相機拍攝修正前的圖案並輸出影像訊號且記錄於影像記錄裝置，以雷射或塗布機構修正圖案，再以CCD相機拍攝修正後的圖案並輸出影像訊號，以影像處理裝置比較修正前的圖案和修正後的圖案，比較的結果，以檢查出被修正圖案中殘留的圖案之缺陷。
但是，在有白缺陷的像素上塗布墨水的膜厚薄的場合，墨水的膜厚薄的像素，相較於正常塗布墨水的像素，其透過的光量較多，而看起來白白的。
第26圖為顯示彩色濾光片部中產生的白缺陷部WH的(a)平面圖及(b)截面圖。第27圖為顯示白缺陷部WH上塗布之墨水正常塗布的狀態之(a)平面圖及(b)截面圖。第28圖為顯示白缺陷部WH上塗布之墨水的膜厚薄的狀態之(a)平面圖及(b)截面圖。參見第26~28圖，墨水的膜厚薄的部分，相較於墨水正常塗布之部分，其透過的光量多，看起來白白的。
在此，在專利文獻1所記載的彩色濾光片缺陷修正裝置中，因為其係比較修正前後的圖案的亮度以執行缺陷檢查，所以，在照射到CCD相機的光線暗的情況下，難以分辨墨水正常塗布的像素和墨水的膜厚薄的像素之亮度的差。如此一來，難以檢查出墨水的膜厚薄的像素，而無法適當地修正像素的缺陷。
本發明之目的，係在於提供能夠適當地執行彩色濾光片缺陷修正的彩色濾光片缺陷修正裝置及彩色濾光片缺陷修正方法。
本發明之一種彩色濾光片缺陷修正裝置，係用以修正配置有像素之彩色濾光片的缺陷，其包括：影像處理部，其依據該像素的彩度，檢測該像素的缺陷；修正處理部，其針對該檢測出缺陷的像素，執行照射雷射光及墨水塗布中至少任一者的修正處理。
以此為佳：彩色濾光片配置複數的像素，而影像處理部更比較缺陷檢測對象像素的亮度以及該缺陷檢測對象像素之外的像素之亮度，以檢測出該缺陷檢測對象像素的缺陷，而修正處理部，其針對該被檢出缺陷的像素執行修正處理，影像處理部依據修正處理後的像素之彩度檢查出修正處理後之像素的缺陷，修正處理部，其針對該被檢出缺陷的修正處理後的像素，執行修正處理。
以此為佳：影像處理部，依據該像素的色相值來判定該像素之顏色，依據該判定後像素的顏色及該像素的彩度以檢測該像素的缺陷。
更佳者為：影像處理部，其比較該像素的彩度及該判定後像素的顏色所對應之臨界值，依據該比較結果以檢測出該像素的缺陷。
本發明之一種彩色濾光片缺陷修正方法，適用於修正配置有像素的彩色濾光片的缺陷之彩色濾光片缺陷修正裝置，其包括：影像處理步驟，其依據該像素的彩度，檢測該像素的缺陷；修正處理步驟，其針對該檢測出缺陷的像素，執行照射雷射光及墨水塗布中至少任一者的修正處理。
以此為佳：其中彩色濾光片配置複數的像素，彩色濾光片缺陷修正方法更包括：比較缺陷檢測對象像素的亮度以及該缺陷檢測對象像素之外的像素之亮度，以檢測出該缺陷檢測對象像素的缺陷之步驟；針對該被檢出缺陷的像素，執行該修正處理的步驟；該影像處理步驟中，依據該修正處理後之像素的彩度，檢測出該修正處理後之像素的缺陷；該修正處理步驟中，針對該被檢出缺陷的該修正處理後的像素，執行該修正處理。
以此為佳：影像處理步驟中，依據該像素的色相值來判定該像素之顏色，依據該判定後像素的顏色及該像素的彩度以檢測該像素的缺陷。
更佳者為：影像處理步驟中，其比較該像素的彩度及該判定後像素的顏色所對應之臨界值，依據該比較結果以檢測出該像素的缺陷。
依據本發明，能夠適當地執行彩色濾光片缺陷修正。
以下，參照圖式說明本發明實施例。而且，圖中相同或相當的部分標示以同樣的符號進行說明。
[構成及基本動作]
第1圖顯示依據本發明實施例的彩色濾光片缺陷修正裝置構成之外觀圖。
參照第1圖，彩色濾光片缺陷修正裝置101包括：主機電腦1、控制用電腦(控制部)2、影像處理部3、Z軸台4、XY平台5、夾頭台6、雷射照射部7、可變縫隙部8、墨水塗布部9、顯示幕10、對物鏡21。雷射照射部7、可變縫隙部8、以及墨水塗布部9構成修正處理部50。Z軸台4和XY平台5構成位置決定裝置51。可變縫隙部8包含後述之XY縫隙裝置61及θ縫隙裝置62。
主機電腦1執行彩色濾光片缺陷修正裝置101整體之控制。
控制用電腦2控制裝設於彩色濾光片缺陷修正裝置101的各單元。
影像處理部3藉由圖未顯示之CCD(charge coupled devices)攝影機拍攝彩色濾光片，依據拍攝的影像，檢測出彩色濾光片的缺陷位置。
而且，影像處理部3依據缺陷檢出結果，產生2值化之缺陷抽出影像，依據2值化之正常時的光罩影像及上述2值化之缺陷抽出影像的邏輯和，判斷在該彩色濾光片之黑色矩陣部之缺陷及彩色濾光片部的缺陷。
位置決定裝置51改變彩色濾光片的位置。亦即，Z軸台4改變修正處理部50相對於XY平台5的高度。XY平台5則改變彩色濾光片的水平方向及垂直方向的位置。
夾頭台6係為用以承載並固定修正對象之彩色濾光片等的平台。
雷射照射部7，使雷射光透過可變縫隙部8形成的縫隙，照射到彩色濾光片中一個以上的像素。
在此，控制用電腦2包括圖未顯示之儲存部，其儲存一個以上的該雷射光每一回的照射範圍。例如，儲存部儲存每一種彩色濾光片之雷射光的一次照射範圍。
而且，控制用電腦2，依據影像處理部3的缺陷檢測結果來控制XY平台5和Z軸台4，分別決定至少一個對彩色濾光片照射雷射光的位置及墨水的塗布位置。
可變縫隙部8依據影像處理部3的缺陷檢測結果，從儲存於儲存部之一個以上的照射範圍中選取一個照射範圍，依據該選取之雷射光的照射範圍調整縫隙的形狀及大小，藉此，調整雷射照射部7的雷射光在彩色濾光片的照射範圍。在此，可變縫隙部8的縫隙大小亦即儲存部所儲存之雷射光一次的照射範圍，可以較彩色濾光片的像素小。XY縫隙裝置61調整縫隙的縱橫尺寸。而θ縫隙裝置62調整縫隙的角度。
墨水塗布部9，將用以修正缺陷的墨水，塗布在彩色濾光片上一個以上的像素上。在此，可以將墨水塗布部9一次的墨水塗布範圍設定為較彩色濾光片的像素小。
顯示幕10顯示影像處理部3所拍攝的彩色濾光片的影像。
第2圖顯示XY縫隙裝置的示意圖。
參見第2圖，XY縫隙裝置61包含X方向尺寸調整用馬達31、Y方向尺寸調整用馬達32。
第3圖顯示XY縫隙裝置中X方向的調整裝置的構成之外觀平面圖。
參見第3圖，驅動X方向尺寸調整用馬達31使軸32迴轉，則開閉部33~34分別對應於迴轉方向向箭頭的方向移動。例如，X方向尺寸調整用馬達31向某一方向迴轉時，則開閉部33~34互相分離，向另一方向迴轉時，則開閉部33~34接近。
第4圖顯示θ縫隙裝置的構成之外觀平面圖。
參見第4圖，θ縫隙裝置62包含迴轉角度調整用馬達35、皮帶36、迴轉台37。迴轉角度調整用馬達35驅使皮帶36使迴轉台37迴轉。XY縫隙裝置61係配置組裝於迴轉台37上，使得θ縫隙裝置62的迴轉中心C2和第2圖所示之XY縫隙裝置61的中心C1一致。
第5圖顯示依據本發明實施例的彩色濾光片缺陷修正裝置的墨水塗布部的構成之外觀圖。
參見第5圖，墨水塗布部9包含墨水塗布用位置決定汽缸11、墨水匣台12、墨水匣13、墨水塗布用針14。
墨水塗布用位置決定汽缸11決定墨水塗布用針14的上下方向之位置。
墨水匣台12決定墨水匣13圓周方向的位置。
墨水塗布用針14設於墨水塗布用位置決定汽缸11的下端部。在墨水塗布動作時，墨水塗布用位置決定汽缸11下降使墨水塗布用針14與塗布面接觸，附著在墨水塗布用針14前端的墨水就塗布在彩色濾光片的缺陷位置上。塗布之後，為了使墨水附著在墨水塗布用針14的前端，因此，將墨水塗布用針14浸入墨水匣台12上設置的墨水匣13中。
而且，墨水塗布部9並不限定於如上述之包含墨水塗布用位置決定汽缸11及墨水匣台12等的構成，例如，其也可以為下述之構成。亦即，墨水塗布部包含塗布針，用以使附著於前端的修正液附著於缺陷。而且，包含塗布色板，其設於用以察看缺陷的觀察光學系統的視野外之特定位置，且用以承裝修正液。再者，包含促動器，其使塗布針在與彩色濾光片平行之XY平面上移動，同時在與彩色濾光片垂直之Z方向移動，將塗布針設於觀察光學系統的視野內或其附近的塗布待機位置及塗布色板附近的準備位置中任一位置。
第6圖係顯示彩色濾光片中黑色矩陣部、彩色濾光片部及像素之關係的示意圖。
修正對象之彩色濾光片具有複數個分別包含複數像素之像素。在縱橫形成之黑色矩陣部的交叉位置上，具有像素的起始DS及像素的結束DE。而且，像素的起始DS稱之為彩色濾光片位置。影像處理部3界定該彩色濾光片位置。而且，在第6圖中以四角包圍之像素的起始DS到像素的結束DE的範圍視為一個像素P。而且，像素P中值1的像素之集合為像素P的彩色濾光片部，值0(同一圖中的影線部分)的像素之集合為像素P的黑色矩陣部。再者，各像素P分別具有RGB(red,green,blue)中之任一色，包含於像素P的彩色濾光片部的各像素為同一色。
[動作]
繼之，說明本發明實施例的彩色濾光片缺陷修正裝置中，影像處理部3修正彩色濾光片之缺陷處時的動作程序。
第7圖係顯示依據本發明實施例的彩色濾光片缺陷修正裝置修正彩色濾光片1個缺陷時的動作程序之流程圖。
在此，係假設彩色濾光片已承載於夾頭台6之上，並已完成彩色濾光片的傾斜等的位置修正來進行說明。而且，假設彩色濾光片缺陷修正裝置101從上位電腦收集檢查資料(亦即，彩色濾光片中缺陷的座標值、彩色濾光片的面積值、彩色濾光片的尺寸種類(大、中、小等)及缺陷種類的資料)，以進行說明。
控制用電腦2控制位置決定裝置51，修正處理部50將彩色濾光片移動到可以修正彩色濾光片之缺陷的位置。而且，控制用電腦2調整圖未顯示之照明部的亮度，將對物鏡21切換到特定的倍率(S1)，以進行彩色濾光片的缺陷檢測。
影像處理部3調整對物鏡21的焦距，以對焦於彩色濾光片(S2)。
影像處理部3拍攝檢查對象之彩色濾光片，擷取拍攝的輸入影像，依據輸入影像中的像素的亮度，檢測彩色濾光片的缺陷位置(S3及S4)。
影像處理部3依據缺陷檢測結果算出缺陷的重心位置。控制用電腦2控制位置決定裝置51，其係依據影像處理部3算出之缺陷重心位置執行中心化，亦即使缺陷的重心位置位於輸入影像之中心(S5)。
控制用電腦2之反覆次數Try＝1(S6)。
影像處理部3，當反覆次數Try為最大反覆次數Max以下時(S7之「是」)，為了求取精密的缺陷位置，而將對物鏡21切換到高倍率(S8)。
影像處理部3調整對物鏡21的焦距，以對焦於彩色濾光片(S9)。
影像處理部3拍攝檢查對象之彩色濾光片，擷取拍攝的輸入影像(S10)。
影像處理部3當反覆次數為1時(在S11之「是」)，將擷取的輸入影像儲存為修正前的輸入影像(S12)。
影像處理部3當反覆次數為2以上時(在S11之「否」)，將擷取的輸入影像儲存為修正後的輸入影像(S13)。
影像處理部3依據擷取之輸入影像中的像素的亮度，檢測彩色濾光片缺陷的位置(S14)。
影像處理部3，當其在擷取之輸入影像中檢查出缺陷時(S15之「是」)，判斷缺陷位置所對應之像素的顏色，求取塗布墨水的顏色，而且，算出墨水的塗布位置。而且，影像處理部3算出雷射光的照射位置(S16)。
控制用電腦2將包含於影像處理部3的對物鏡21切換到特定的倍率。而且，影像處理部3調整對物鏡21的焦距，以對焦於彩色濾光片(S17)。
修正處理部50依據影像處理部3算出的修正位置等，執行對彩色濾光片照射雷射光及墨水塗布中至少任一者之修正處理(S18)。
更詳細地說，控制用電腦2，依據影像處理部3的墨水塗布位置的計算結果，來控制墨水塗布部9及位置決定裝置51，在彩色濾光片的缺陷處塗布墨水。而且，控制用電腦2，依據影像處理部3的缺口位置的計算結果，來控制雷射照射部7及位置決定裝置51，使雷射光照射在彩色濾光片的缺陷處。
控制用電腦2將反覆次數Try加1(S19)。
影像處理部3當反覆次數Try為最大反覆次數Max以下時(S7之「是」)，針對修正後的輸入影像再次執行缺陷檢測處理(S8~S14)。
而且，影像處理部3，當在修正後的輸入影像中檢測出缺陷時(S15之「是」)，再次執行缺陷修正處理(S16~S18)。
另一方面，影像處理部3，當在修正後的輸入影像中沒有檢測出缺陷時(S15之「否」)，若反覆次數Try為2以上時(S21之「否」)，判斷本次的缺陷修正成功，可以再次回到步驟S1執行別的缺陷之修正(S23)。
再者，影像處理部3，當在修正後的輸入影像中沒有檢測出缺陷時(S15之「否」)，若反覆次數Try為1時(S21之「是」)，判斷彩色濾光片不一定具有缺陷，可以再次回到步驟S1執行別的缺陷之修正(S20)。
再者，控制用電腦2，當反覆次數Try為最大反覆次數超過Max時(S7之「否」)，則判斷缺陷不可修正，可以再次回到步驟S1執行別的缺陷之修正(S20)。
以下，詳細說明本發明實施例之彩色濾光片缺陷修正裝置的動作。
[2值化輸入影像之產生]
首先，說明本發明實施例之彩色濾光片缺陷修正裝置在產生2值化輸入影像時的動作。
第8(a)圖顯示輸入影像。第8(b)圖係顯示2值化輸入影像的示意圖。
影像處理部3拍攝彩色濾光片，依據拍攝的影像，產生2值化輸入影像，將輸入影像分為黑色矩陣部BM及彩色濾光片部CF。在輸入影像的位置(x,y)之像素亮度為f(x,y)，2值化輸入影像為b(x,y)，臨界值為T，並以下式表示從f(x,y)到b(x,y)的轉換式。
以b(x,y)表示的複數個像素中，亮度為1者為彩色濾光片部CF，亮度為0者為黑色矩陣部BM。
在此，黑色矩陣部BM的亮度平均值為IBM，彩色濾光片部CF的像素RGB之中，最暗的像素之亮度平均值為ICF，臨界值T以下式表示。
[彩色濾光片部的光罩影像之產生]
繼之，說明影像處理部3依據產生的2值化輸入影像，產生彩色濾光片部的光罩影像之動作。
第9(a)圖係顯示登錄影像。第9(b)圖係顯示2值化輸入影像。第9(c)圖係彩色濾光片部的光罩影像。
影像處理部3藉由圖案比對，檢測出影像上的RGB各像素的位置。
影像處理部3事先拍攝沒有缺陷的理想彩色濾光片，並儲存為登錄影像m(x,y)。
影像處理部3，以和2值化輸入影像b(x,y)同樣的臨界值T，從登錄影像m(x,y)產生彩色濾光片部為1(白)，其他為0(黑)之2值化登錄影像。
影像處理部3，事先登錄2值化登錄影像中搜尋對象S及彩色濾光片部CF的座標。更詳細地說，影像處理部3針對搜尋對象S登錄左上角的座標和縱橫尺寸，而且，針對彩色濾光片部CF登錄端點的座標。
再者，影像處理部3事先取得搜尋對象S和彩色濾光片部的位置關係。搜尋對象S的左上角座標為(xs,ys)，而彩色濾光片部CF各端點座標為(xi,yi)，搜尋對象S及彩色濾光片部CF的位置關係為(xi－xs,yi－ys)。
而且，影像處理部3藉由圖案比對，從2值化輸入影像b(x,y)搜尋和搜尋對象S類似的部位，求取和搜尋對象S類似之部位的左上角座標。而且，影像處理部3，從登錄時取得之搜尋對象S及彩色濾光片部CF的位置關係，檢測出和搜尋對象S類似部位所對應之彩色濾光片部CF的位置。
如第9(b)圖之點線所示，當無法檢測出彩色濾光片上有缺陷且和搜尋對象S類似的部位時，影像處理部3使用缺陷位置周圍的檢測結果，推測出和搜尋對象S類似部位的左上角座標。
藉由如上述之處理，影像處理部3確認彩色濾光片部CF各端點的座標，以彩色濾光片部為白色，使背景部為黑色，產生彩色濾光片部的光罩影像。相較於僅從登錄影像產生光罩影像的構成，藉由此種構成，能夠將由於位置決定誤差等而造成之光罩影像的移位為最小。
而且，由於RGB各像素的亮度不同，藉由圖案比對來搜尋和搜尋對象S類似部位時，通常，若無就每一顏色準備其參考用的登錄影像，則錯誤辨識的可能性很高。但是，本發明實施例的彩色濾光片缺陷修正裝置中，影像處理部3係依據拍攝之輸入影像來產生2值化輸入影像，依據2值化輸入影像來產生彩色濾光片部的光罩影像，因此，可以僅備置1種的參考用登錄影像，而能夠簡化彩色濾光片缺陷修正裝置101的構成及處理。
[缺陷檢測]
繼之，說明影像處理部3檢查輸入影像，檢測缺陷位置時的動作。
第10(a)及(b)圖係顯示影像處理部執行輸入影像水平方向的缺陷檢測時的動作之示意圖。
影像處理部3依據彩色濾光片的亮度，檢測缺陷位置。更詳細地說，影像處理部3週期性地，亦即以等間隔配置之像素的間隔為P，對於輸入影像之位置(x,y)之亮度f(x,y)，以如下之方式執行比較檢查。
如上所述，影像處理部3將亮度f(x,y)、1週期前的亮度f(x－P,y)及1週期後的亮度f(x＋P,y)進行比較。
在此，S－P (x,y)表示f(x,y)和f(x－P,y)的比較結果，而S＋P (x,y)表示f(x,y)和f(x＋P,y)的比較結果。
影像處理部3，當S－P (x,y)和S＋P (x,y)的符號為一致時，將SH (x,y)和水平垂直輪廓補正Td比較。而且，當S－P (x,y)和S＋P (x,y)的符號為不一致時，由於在位置(x－P,y)或位置(x＋P,y)之像素具有缺陷的可能性高，檢查之可靠度低，因此，影像處理部3將位置(x,y)排除於檢查對象之外。藉由此種構成，能夠防止因為輸入影像的雜訊而造成之缺陷檢測錯誤。
而且，當SH (x,y)為Td以上時，影像處理部3判斷位置(x,y)的像素有缺陷，並將其結果儲存於dH (x,y)。在dH (x,y)中，值為1表示像素有缺陷，而值為0的像素為正常。
另外，在本發明實施例的彩色濾光片缺陷修正裝置中，影像處理部3將亮度f(x,y)、1週期前的亮度f(x－P,y)及1週期後的亮度f(x＋P,y)進行比較，但其並不以此為限。例如影像處理部3也可以將亮度f(x,y)、2週期前的亮度f(x－2×P,y)及3週期後的亮度f(x＋3×P,y)進行比較等，將位置(x,y)的像素的亮度和位置(x,y)像素所屬像素相異像素的像素之亮度進行比較。
再者，也可以將位置(x,y)的像素的亮度和位置(x,y)的像素以外之像素的亮度進行比較，亦即，比較屬於同一像素之像素之間的亮度。但是，將位置(x,y)的像素的亮度和位置(x,y)之像素所屬像素相異像素的像素之亮度比較的構成中，則由於和缺陷檢測對象像素比較之像素極可能為正常的像素，因此能夠更正確地檢測出像素的缺陷，而可稱之為較佳的構成。
第11(a)及(b)圖係顯示影像處理部執行輸入影像垂直方向的缺陷檢測時的動作之示意圖。
影像處理部3週期性地，亦即以等間隔配置之像素的間隔為P，對於輸入影像之位置(x,y)之亮度f(x,y)，以如下之方式執行比較檢查。
如上所述，影像處理部3將亮度f(x,y)、1週期前的亮度f(x－P,y)及1週期後的亮度f(x＋P,y)進行比較。
在此，S－P (x,y)表示f(x,y)和f(x－P,y)的比較結果，而S＋P (x,y)表示f(x,y)和f(x＋P,y)的比較結果。
影像處理部3，當S－P (x,y)和S＋P (x,y)的符號為一致時，將SV (x,y)和水平垂直輪廓補正Td比較。
而且，當SV (x,y)為Td以上時，影像處理部3判斷位置(x,y)的像素有缺陷，並將其結果儲存於dV (x,y)。在dV (x,y)中，值為1表示像素有缺陷，而值為0的像素為正常。
繼之，說明影像處理部執行輸入影像之水平方向和垂直方向兩方向的缺陷檢測時的動作。
影像處理部3利用將水平方向和垂直方向之亮度f(x,y)、1週期前的亮度f(x－P,y)及1週期後的亮度f(x＋P,y)進行比較的結果，執行如後之缺陷檢測。
當SH (x,y)或SV (x,y)為Td以上時，影像處理部3判斷位置(x,y)的像素有缺陷，並將其結果儲存於dHV (x,y)。在dHV (x,y)中，值為1表示像素有缺陷，而值為0的像素為正常。
上述各缺陷檢測方法的使用例中，在輸入影像中複數的像素配置於水平方向上，且在垂直方向上僅配置一像素時，採用在輸入影像的水平方向執行缺陷檢測的方法。再者，在輸入影像中複數的像素配置於垂直方向上，且在水平方向上僅配置一像素時，採用在輸入影像的垂直方向執行缺陷檢測的方法。再者，若在輸入影像中分別在水平方向及垂直方向上配置2個以上的像素時，採用在輸入影像的水平及垂直方向兩方向執行缺陷檢測的方法。上述3種缺陷檢測方法，可以對應於使用於缺陷檢測檢查的對物鏡21的倍率及像素的尺寸進行選擇。
繼之，說明影像處理部3決定黑缺陷之水平垂直輪廓補正Td時的動作。
第12(a)及(b)圖係顯示黑色矩陣部、RGB各像素及黑缺陷的水平垂直輪廓補正(slice level)Td的關係之示意圖。
黑色矩陣部的亮度為IBM，RGB各像素的亮度為IR、IG、IB。以IBM為基準時，IR、IG、IB的各對比值以下式表示之。
C R ＝|I R －I BM |C G ＝|I G －I BM |C B ＝|I B －I BM |………(B1)
由於黑色矩陣部最暗，所以影像處理部3選擇比min(CR 、CG 、CB )更小的值作為水平垂直輪廓補正Td。
T d <min(C R ,C G ,C B )………(B2)
在此，在彩色濾光片中，鄰接的像素之彩色濾光片部的亮度並不相等。雖是藉由觀察光學系統，但一般而言CCD攝影機對綠光的波長的感度最高。因此，在輸入影像中，綠的像素看起來最亮，其次依序為紅色及藍色。
前述之輸入影像的水平方向、垂直方向以及水平和垂直兩個方向分別執行缺陷檢測的方法中，為了比較鄰接像素的彩色濾光片部的亮度，而將不同亮度者互相比較。但是，在本發明實施例之彩色濾光片缺陷修正裝置，因為水平垂直輪廓補正Td係為比min(CR ,CG ,CB )還小的值，所以即使是將不同亮度者互相比較，也能夠正確執行缺陷檢測。
另外，當視野廣闊時，亦即，影像處理部3之一次的拍攝面積大時，也可以比較對應於同一顏色之每隔3個像素的彩色濾光片部的亮度。
繼之，說明影像處理部3決定白缺陷之水平垂直輪廓補正Td時的動作。
第13(a)及(b)圖係顯示黑色矩陣部、RGB各像素及白缺陷的水平垂直輪廓補正(slice level)Td的關係之示意圖。
白缺陷部的亮度為IWH，RGB各像素的亮度為IR、IG、IB。以IWH為基準時，IR、IG、IB的各對比值以下式表示之。
C R ＝|I R －I WH |C G ＝|I G －I WH |C B ＝|I B －I WH |………(B3)
由於白缺陷部最亮，所以影像處理部3選擇比min(CR 、CG 、CB )更小的值作為水平垂直輪廓補正Td。
T d <min(C R ,C G ,C B )………(B4)
第14(a)圖係顯示有缺陷的彩色濾光片之輸入影像的示意圖。第14(b)圖顯示影像處理部所產生之黑缺陷抽出影像的示意圖。
參見第14(a)圖，在彩色濾光片中，黑缺陷和白缺陷混合並存。影像處理部3，使用黑缺陷的水平垂直輪廓補正Td來檢測黑缺陷，如第14(b)圖所示，產生2值化之黑缺陷抽出影像。
第15(a)圖係顯示有缺陷的彩色濾光片之輸入影像的示意圖。第15(b)圖顯示影像處理部所產生之白缺陷抽出影像的示意圖。
參照同圖(a)，在彩色濾光片中，黑缺陷和白缺陷混合並存。影像處理部3使用白缺陷的水平垂直輪廓補正Td來檢測白缺陷，而產生如同圖(b)所示的2值化之白缺陷抽出影像。
如此一來，藉由本發明實施例的彩色濾光片缺陷修正裝置，即使在彩色濾光片中黑缺陷和白缺陷混合並存，也能夠區別檢測出黑缺陷和白缺陷。
但是，白缺陷包含在黑色矩陣部之白缺陷及在彩色濾光片部的白缺陷兩種。例如，對於在黑色矩陣部之白缺陷，塗布墨水以執行填補脫落的部分的修正，但墨水的塗布範圍無法符合黑色矩陣部之寬度。此係因為，無法將墨水塗布針的尺寸變更為和白缺陷的尺寸相符合。而且，雖然彩色濾光片缺陷修正裝置101可以備有不同徑之複數個針，但也無法涵蓋所有的白缺陷。
因此，在修正黑色矩陣部之白缺陷時，塗布墨水時會發生超出的狀況。亦即，將墨水塗布在黑色矩陣部時，會超出到彩色濾光片部，墨水超出的部分就成為彩色濾光片部的黑缺陷。如此一來，在該彩色濾光片部檢測出黑缺陷，並照射雷射光以去除黑缺陷，且必須在除去黑缺陷的位置塗布墨水。
彩色濾光片部的白缺陷被修正後，修正黑色矩陣部之白缺陷時，如上述將超出到彩色濾光片部的墨水(亦即黑缺陷)除去，去除黑缺陷的部分又需要再次塗布墨水，而使得缺陷修正時間拉長。因此，修正順序係以先修正黑色矩陣部之白缺陷後，再修正彩色濾光片部的白缺陷較佳。
另外，修正彩色濾光片部的白缺陷時，雖也會有墨水超出到黑色矩陣部的狀況發生，但超出到黑色矩陣部的墨水並不會遮到應該要通過彩色濾光片的光，所以不會造成大問題。
在此，影像處理部3區分黑色矩陣部之白缺陷和彩色濾光片部的白缺陷，將黑色矩陣部之白缺陷修正之後，再修正彩色濾光片部的白缺陷。
第16圖係顯示影像處理部產生彩色濾光片部之白缺陷抽出影像的動作示意圖。第17圖顯示影像處理部產生黑色矩陣部之白缺陷抽出影像的動作示意圖。
彩色濾光片部的光罩影像係為2值化影像，其中彩色濾光片部為1，彩色濾光片部之外包含黑色矩陣部的部分則為0。而且，白缺陷抽出影像為2值化影像，其中缺陷部分為1，而缺陷部分以外的部分則為0。因此，影像處理部3藉由計算出彩色濾光片部的光罩影像和白缺陷抽出影像之理論積，而產生彩色濾光片部的白缺陷抽出影像。而且，影像處理部3，藉由計算出將彩色濾光片部的光罩影像之理論層反轉的影像及白缺陷抽出影像之理論積，而產生黑色矩陣部之白缺陷抽出影像。
[中心化]
繼之，說明本發明實施例之彩色濾光片缺陷修正裝置的控制用電腦2執行中心化時的動作。
第18圖顯示影像處理部產生缺陷光罩影像的動作示意圖。
參見第18圖，影像處理部3如前述般地產生黑缺陷抽出影像及白缺陷抽出影像，藉由計算兩者的邏輯和，產生缺陷光罩影像。
然後，影像處理部3計算缺陷光罩影像中值為1之部分(同一圖中沒有影線的部分)之重心位置。
亦即，影像處理部3，在缺陷光罩影像中，以值為1的像素總數為N，值為1之畫素i的座標為(xi,yi)，依據下式計算缺陷部分的重心座標(XG,YG)。
繼之，控制用電腦2依據影像處理部3的計算結果，控制位置決定裝置51，使得缺陷部分之重心座標(XG,YG)和影像中心一致。
[顏色判定]
繼之，說明本發明實施例的彩色濾光片缺陷修正裝置判斷包含缺陷之像素色彩時的動作。
第19圖為顯示缺陷抽出影像之一例的示意圖。
從產生的彩色濾光片部的光罩影像可以得知各像素之彩色濾光片部的位置，所以，影像處理部3，藉由將各像素之彩色濾光片部的位置和缺陷抽出影像比對，可以界定包含缺陷ERP的像素PERR。更詳細地說，影像處理部3求取外接於缺陷之長方形R的頂點座標作為缺陷的位置資訊，以檢測出包含該長方形R的像素(以下稱之為缺陷像素)。
繼之，影像處理部3，將事先登錄的顏色資料和缺陷像素PERR的顏色資料加以比較，以界定缺陷像素的顏色。
更詳細地說，影像處理部3，事先登錄RGB各像素的色相代表值。RGB的色相代表值分別為HR、HG、HB，並以下式表示HR、HG、HB。
在式(D1)中，Hm(x,y)表示色相值，從登錄影像m(x,y)中RGB值依據後述的變換式取得。再者(x1,y1)為測定區域的左上角座標，(x2,y2)為測定區域之右下角座標。亦即，HR、HG、HB為測定區域內的色相平均值。
第20圖顯示RGB各像素的色相長條統計圖。
參見第20圖，實際上RGB各像素的色相值分別以HR、HG、HB為中心分佈，所以影像處理部3係以(HR±rR)、(HG±rG)、及(HB±rB)分別儲存RGB各像素的色相代表值。例如，若HR、HG、HB為中心之各分佈的標準差為σ，則rR、rG、rB可以為3×σ。
第21圖顯示影像處理部產生色相資料計算光罩影像的動作之示意圖。
參照第21圖，影像處理部3，藉由算出缺陷抽出影像和彩色濾光片部的光罩影像之排他的邏輯和，產生色相資訊計算光罩影像。
影像處理部3僅針對色相資訊計算光罩影像中值為1(同一圖中為沒有影線的部分)之像素計算色相值。由於和黑色矩陣部同樣值為0的缺陷部分之色相值不明，因此影像處理部3將其排除於計算對象之外。
從產生的彩色濾光片部的光罩影像可以得知各像素之彩色濾光片部的位置，因此，影像處理部3將各彩色濾光片部之色相資訊計算光罩影像的值為1的像素之色相值加以累算，求取每一個彩色濾光片部的色相值之平均值。然後，影像處理部3，比較取得的平均值和RGB各像素的色相代表值，並決定彩色濾光片部的顏色為最接近求得之平均值的色相代表值所對應之顏色。
在此，彩色濾光片內的色相資訊計算光罩影像全部為0時，則為顏色不定。此時，如後所述，係依據事先登錄的顏色及資訊來決定彩色濾光片部的顏色。
繼之，說明從登錄影像m(x,y)中的RGB值來算出色相值的方法。
在用彩色CCD攝影機拍攝的影像中，以3原色RGB的3個值來表示顏色，但是，色調及鮮豔度等感覺的量是難以用RGB的值來得知的，因此，構想出與人類的感覺相近的表色系。在此，以H表示色相、S表示彩度、而V表示亮度。HSV表色系可以容易地從RGB值計算得出，而用於在以電腦執行影像處理的領域中。
RGB值中，最小值為fmin，最大值為fmax，則亮度V以V＝fmax表示之。
而色相H及彩度S則如下式計算得出。
[色判定之可靠度]
繼之，說明本發明實施例之彩色濾光片缺陷修正裝置中，顏色判定之可靠度的計算方法及使用方法。
第22(a)及(b)圖顯示本發明實施例之彩色濾光片缺陷修正裝置中像素的色判定之可靠度低時，所執行之色判定的情況之示意圖。
在各彩色濾光片部中，彩色濾光片部的總像素數為N，顏色判定所使用之色相資訊光罩的值為1之像素數為Nm，則對於像素的顏色判定之可靠度R以R＝Nm/N表示之。
影像處理部3，針對可靠度R為既定值以上之像素，信賴其依據上述之彩色濾光片部的色相值的平均值和色相代表值的比較所得之顏色判定結果。另一方面，影像處理部3，針對可靠度R未達既定值之像素，和事先登錄之顏色比較資訊比對，當其和顏色比較資訊相矛盾時，修正顏色判定結果。
在此，顏色比較資訊係為邏輯上的，例如，事先儲存彩色濾光片部的輸入影像之橫方向的配列，各排列順序為RGB，則按照(RGB)的順序儲存。顏色比較資訊，可以事先輸入設定於彩色濾光片缺陷修正裝置101的程式(recipe)中。另外，程式可以儲存於控制用電腦2的儲存部中。
首先，如同圖(a)所示，說明在輸入影像的橫方向上，RGB各像素依據(RGB)的順序排列的狀況。影像處理部3，從輸入影像的左上到右下掃瞄像素，當出現可靠度R低的像素(同一圖(a)的D1)時，從顏色比較資訊中檢索位於可靠度R低的像素之前的像素(同一圖(a)的D2)之下一個像素的顏色。繼之，從顏色比較資訊檢索到的顏色和可靠度R低的像素上方的像素(同一圖(a)的D3)相同時，則將從顏色比較資訊檢索到的顏色決定為可靠度R低的像素的顏色。而且，當可靠度R低的像素上方的像素的顏色不確定時，將可靠度R低的像素下方的像素(同一圖(a)的D4)的顏色和顏色比較資訊檢索到的顏色相比對。當可靠度R低的像素下方之像素的顏色不確定時，從顏色比較資訊中檢索可靠度R低的像素的下一個像素(同一圖(a)的D5)之前方的像素的顏色，將可靠度R低的像素之次一像素(同一圖(a)的D5)上的像素(同一圖(a)的D6)或可靠度R低的像素的下一個像素之下方的像素(同一圖(a)的D7)的顏色和顏色比較資訊檢索到的顏色相比對。
繼之，如同一圖(b)所示，說明在輸入影像的縱方向上，RGB各像素依據(RGB)的順序排列的狀況。影像處理部3，從輸入影像的左上到右下掃瞄像素，當出現可靠度R低的像素(同一圖(a)的D1)時，從顏色比較資訊中檢索位於可靠度R低的像素之前的像素(同一圖(b)的D2)之下一個像素的顏色。繼之，從顏色比較資訊檢索到的顏色和可靠度R低的像素左方的像素(同一圖(b)的D3)相同時，則將從顏色比較資訊檢索到的顏色決定為可靠度R低的像素的顏色。而且，當可靠度R低的像素左方的像素的顏色不確定時，將可靠度R低的像素右方的像素(同一圖(b)的D4)的顏色和顏色比較資訊檢索到的顏色相比對。當可靠度R低的像素右方之像素的顏色不確定時，從顏色比較資訊中檢索可靠度R低的像素的下一個像素(同一圖(b)的D5)之前方的像素的顏色，將可靠度R低的像素的下一個像素(同一圖(b)的D5)之左方的像素(同一圖(b)的D6)或可靠度R低的像素之右方的像素(同一圖(b)的D7)的顏色和顏色比較資訊檢索到的顏色相比對。
繼之，說明本發明實施例彩色濾光片缺陷修正裝置檢查修正處理後的彩色濾光片的缺陷處之時的動作。
第23圖顯示依據本發明實施例之彩色濾光片缺陷修正裝置依據像素的彩度以修正彩色濾光片時的動作順序之流程圖。
在此，係假設彩色濾光片已承載於夾頭台6之上，並已完成彩色濾光片的傾斜等的位置修正來進行說明。而且，假設彩色濾光片缺陷修正裝置101從上位電腦收集檢查資料(亦即，彩色濾光片中缺陷的座標值、彩色濾光片的面積值、彩色濾光片的尺寸種類(大、中、小等)及缺陷種類的資料)，以進行說明。
參見第23圖，首先，彩色濾光片缺陷修正裝置101執行自動修正處理亦即第7圖中所示之各步驟(S31)。
繼之，彩色濾光片缺陷修正裝置101依據修正處理後的像素之彩度執行缺陷檢出處理(S32)。
彩色濾光片缺陷修正裝置101，當在檢查出修正處理後的像素之缺陷時(步驟S33中的「是」)，藉由將其顯示在顯示幕10上以通知操作者，或者，對於檢查出缺陷的修正處理後的像素，執行第7圖所示之步驟S14及S16~S18等的修正處理(S34)。
另一方面，彩色濾光片缺陷修正裝置101，當修正處理後的像素沒有缺陷時(步驟S33中的「否」)，結束處理。
第24圖顯示依據本發明實施例之彩色濾光片缺陷修正裝置依據像素的彩度以檢出像素缺陷時的動作順序之流程圖。
參見第24圖，控制用電腦2控制位置決定裝置51，修正處理部50將彩色濾光片移動到可以修正彩色濾光片之缺陷的位置。而且，控制用電腦2調整圖未顯示之照明部的亮度，將對物鏡21切換到特定的倍率(S41)，以進行彩色濾光片的缺陷檢測。
影像處理部3調整對物鏡21的焦距，以對焦於彩色濾光片(S42)。
影像處理部3拍攝檢查對象之彩色濾光片，擷取拍攝的輸入影像(S43)。
影像處理部3依據輸入影像中的像素的亮度，產生2值化輸入影像及彩色濾光片部的光罩影像(S44)。
影像處理部3，為了從產生的彩色濾光片部的光罩影像中得知各像素的彩色濾光片部的位置，將缺陷檢出對象之像素所屬的彩色濾光片部中的像素的色相值依據前述的方法計算出來(S45)。
繼之，影像處理部3將算出的色相值累算，求出彩色濾光片部的色相值之平均值。繼之，影像處理部3，比較求出的平均值和上述的RGB各像素的色相代表值，將對應於最接近求出的平均值之色相代表值的顏色決定為彩色濾光片部的顏色(S46)。
而且，影像處理部3，依據前述的方法，算出缺陷檢出對象的像素之彩度(S47)。
影像處理部3，依據缺陷檢出對象的像素之彩度，檢出缺陷檢出對象的像素之缺陷。更詳細地說，影像處理部3，包含圖未顯示之記憶部，其儲存對應於彩色濾光片部的顏色RGB的三種彩色臨界值。影像處理部3，將缺陷檢出對象的像素之彩度及缺陷檢出對象的像素所屬之彩色濾光片部的顏色所對應之彩度臨界值加以比較，依據比較的結果檢出缺陷檢出對象的像素之缺陷(S48)。
繼之，針對使用依據本發明實施例之彩色濾光片缺陷修正裝置之操作者在檢出修正處理後的彩色濾光片之缺陷時的程序進行說明。
第25圖顯示使用依據本發明實施例之彩色濾光片缺陷修正裝置之操作者在檢出修正處理後的彩色濾光片之缺陷時的程序之流程圖。
在此，係假設彩色濾光片已承載於夾頭台6之上，並已完成彩色濾光片的傾斜等的位置修正來進行說明。而且，假設操作者已掌握檢查資料(亦即，彩色濾光片中缺陷的座標值、彩色濾光片的面積值、彩色濾光片的尺寸種類(大、中、小等)及缺陷種類的資料)等的資料，以進行說明。
參見第25圖，首先，操作者操作位置決定裝置51，修正處理部50將彩色濾光片移動到可以修正彩色濾光片之缺陷的位置。而且，操作者調整圖未顯示之照明部的亮度，將對物鏡21切換到特定的倍率(S51)，以進行彩色濾光片的缺陷檢測。
操作者調整對物鏡21的焦距，以對焦於彩色濾光片(S52)。
操作者操作影像處理部3，以拍攝檢查對象之彩色濾光片，並擷取拍攝的輸入影像(S53)。
操作者一邊察看顯示於顯示幕10的輸入影像，一邊將彩色濾光片的修正處向彩色濾光片缺陷修正裝置101指示出來(S54)。
操作者藉由點選顯示於主機電腦1上的修正開始按鈕，指示彩色濾光片缺陷修正裝置101要開始修正(S55)。
彩色濾光片缺陷修正裝置101，對於操作者所指示的像素，執行第7圖所示之步驟S14及S16~S18等的修正處理(S56)。
繼之，彩色濾光片缺陷修正裝置101，依據修正處理後的像素之彩度執行缺陷檢出處理(S57)
彩色濾光片缺陷修正裝置101，當在檢查出修正處理後的像素之缺陷時(步驟S58中的「是」)，藉由將其顯示在顯示幕10上以通知操作者，或者，對於檢查出缺陷的修正處理後的像素，執行第7圖所示之步驟S14及S16~S18等的修正處理(S59)。
另一方面，彩色濾光片缺陷修正裝置101，當修正處理後的像素沒有缺陷時(步驟S58中的「否」)，結束處理。
但是，在專利文獻1所記載的彩色濾光片缺陷修正裝置中，因為其係比較修正前後的圖案的亮度以執行缺陷檢查，所以，在照射到CCD相機的光線暗的情況下，難以分辨墨水正常塗布的像素和墨水的膜厚薄的像素之亮度的差，而有難以檢查出墨水的膜厚薄的像素的問題。
但是，在本發明實施例的彩色濾光片缺陷修正裝置中，影像處理部3依據像素的彩度而執行缺陷檢測處理。在此，HSV表色系中的彩度S，係為不依存於亮度V的值，當其顏色越接近例如白色、黑色及灰色等的無彩色時其值越小。亦即，即使在照射到CCD相機的光線暗的情況下，正常塗布墨水的像素之彩度之值較大，而墨水膜厚較薄的像素之彩度之值較小，因此，能夠明確地將兩者加以區分。因此，藉由本發明實施例的彩色濾光片缺陷修正裝置，能夠容易地檢查出墨水膜厚較薄的像素，並適當地修正像素的缺陷。
而且，在本發明實施例的彩色濾光片缺陷修正裝置中，執行自動修正處理亦即第7圖所述之各步驟之後，依據修正處理後的像素之彩度執行缺陷檢出處理。如此一來，藉由執行墨水塗布等的修正處理後的像素之缺陷檢出，能夠更適當地執行彩色濾光片缺陷修正。
再者，本發明實施例的彩色濾光片缺陷修正裝置中，雖為執行自動修正處理亦即第7圖所述之各步驟之後，依據修正處理後的像素之彩度執行缺陷檢出處理，但並不以此為限。第7圖所示之步驟S4及S14中，影像處理部3可以為依據擷取之輸入影像中的像素的彩度，檢出彩色濾光片之缺陷處。再者，第7圖所示之步驟S4及S14中，影像處理部3也可以執行第24圖所示之各步驟，亦即依據前述之像素的亮度來檢出彩色濾光片的缺陷，並結合依據前述之像素的彩度來檢出彩色濾光片的缺陷。
101．．．彩色濾光片缺陷修正裝置
1．．．主機電腦
2．．．控制用電腦(控制部)
3．．．影像處理部
4．．．Z軸台
5．．．XY平台
6．．．夾頭台
7．．．雷射照射部
8．．．可變縫隙部
9．．．墨水塗布部
10．．．顯示幕
21．．．對物鏡
50．．．修正處理部
51．．．位置決定裝置
61．．．XY縫隙裝置
62．．．θ縫隙裝置
第1圖顯示依據本發明實施例的彩色濾光片缺陷修正裝置構成之外觀圖。
第2圖顯示XY縫隙裝置的示意圖。
第3圖顯示XY縫隙裝置中X方向的調整裝置的構成之外觀平面圖。
第4圖顯示θ縫隙裝置的構成之外觀平面圖。
第5圖顯示依據本發明實施例的彩色濾光片缺陷修正裝置的墨水塗布部的構成之外觀圖。
第6圖係顯示彩色濾光片中黑色矩陣部、彩色濾光片部及像素之關係的示意圖。
第7圖係顯示依據本發明實施例的彩色濾光片缺陷修正裝置修正彩色濾光片1個缺陷時的動作程序之流程圖。
第8(a)圖顯示輸入影像。
第8(b)圖係顯示2值化輸入影像的示意圖。
第9(a)圖係顯示登錄影像。
第9(b)圖係顯示2值化輸入影像。
第9(c)圖係彩色濾光片部的光罩影像。
第10(a)及(b)圖係顯示影像處理部執行輸入影像水平方向的缺陷檢測時的動作之示意圖。
第11(a)及(b)圖係顯示影像處理部執行輸入影像垂直方向的缺陷檢測時的動作之示意圖。
第12(a)及(b)圖係顯示黑色矩陣部、RGB各像素及黑缺陷的水平垂直輪廓補正(slice level)Td的關係之示意圖。
第13(a)及(b)圖係顯示黑色矩陣部、RGB各像素及白缺陷的水平垂直輪廓補正(slice level)Td的關係之示意圖。
第14(a)圖係顯示有缺陷的彩色濾光片之輸入影像的示意圖。
第14(b)圖顯示影像處理部所產生之黑缺陷抽出影像的示意圖。
第15(a)圖係顯示有缺陷的彩色濾光片之輸入影像的示意圖。
第15(b)圖顯示影像處理部所產生之白缺陷抽出影像的示意圖。
第16圖係顯示影像處理部產生彩色濾光片部之白缺陷抽出影像的動作示意圖。
第17圖顯示影像處理部產生黑色矩陣部之白缺陷抽出影像的動作示意圖。
第18圖顯示影像處理部產生缺陷光罩影像的動作示意圖。
第19圖顯示缺陷抽出影像之一例的示意圖。
第20圖顯示RGB各像素的色相長條統計圖。
第21圖顯示影像處理部產生色相資料計算光罩影像的動作之示意圖。
第22(a)及(b)圖顯示本發明實施例之彩色濾光片缺陷修正裝置中像素的色判定之可靠度低時，所執行之色判定的情況之示意圖。
第23圖顯示依據本發明實施例之彩色濾光片缺陷修正裝置依據像素的彩度以修正彩色濾光片時的動作順序之流程圖。
第24圖顯示依據本發明實施例之彩色濾光片缺陷修正裝置依據像素的彩度以檢出像素缺陷時的動作順序之流程圖。
第25圖顯示使用依據本發明實施例之彩色濾光片缺陷修正裝置之操作者在檢出修正處理後的彩色濾光片之缺陷時的程序之流程圖。
第26圖顯示彩色濾光片部中產生的白缺陷部WH之平面圖(a)及截面圖(b)。
第27圖顯示白缺陷部WH上正常地塗布完成墨水之平面圖(a)及截面圖(b)。
第28圖為顯示白缺陷部WH上塗布之墨水的膜厚薄的狀態之(a)平面圖及(b)截面圖。
101．．．彩色濾光片缺陷修正裝置
1．．．主機電腦
2．．．控制用電腦(控制部)
3．．．影像處理部
4．．．Z軸台
5．．．XY平台
6．．．夾頭台
7．．．雷射照射部
8．．．可變縫隙部
9．．．墨水塗布部
10．．．顯示幕
21．．．對物鏡
50．．．修正處理部
51．．．位置決定裝置

Claims (6)

  1. 一種彩色濾光片缺陷修正裝置，用以修正配置有像素之彩色濾光片的缺陷，包括：影像處理部，其依據該像素的彩度，檢測該像素的缺陷；修正處理部，其針對該檢測出缺陷的像素，執行照射雷射光及墨水塗布中至少任一者的修正處理；其中該彩色濾光片配置複數的像素；該影像處理部更比較缺陷檢測對象像素的亮度以及該缺陷檢測對象像素之外的像素之亮度，以檢測出該缺陷檢測對象像素的缺陷；該修正處理部針對上述檢出缺陷的像素執行上述修正處理；該影像處理部依據該修正處理後的像素的彩度，檢出該修正處理後的像素的缺陷；該修正處理部，其針對該被檢出缺陷的該修正處理後的像素，執行該修正處理。
  2. 如申請專利範圍第1項所述之彩色濾光片缺陷修正裝置，其中該影像處理部，依據該像素的色相值來判定該像素之顏色，依據該判定後像素的顏色及該像素的彩度以檢測該像素的缺陷。
  3. 如申請專利範圍第2項所述之彩色濾光片缺陷修正裝置，該影像處理部，其比較該像素的彩度及該判定後像素的顏色所對應之彩度的臨界值，依據該比較結果以檢測 出該像素的缺陷。
  4. 一種彩色濾光片缺陷修正方法，適用於修正配置有像素的彩色濾光片的缺陷之彩色濾光片缺陷修正裝置，包括：影像處理步驟，其依據該像素的彩度，檢測該像素的缺陷；修正處理步驟，其針對該檢測出缺陷的像素，執行照射雷射光及墨水塗布中至少任一者的修正處理；其中該彩色濾光片配置複數的像素；該彩色濾光片缺陷修正方法更包括：比較缺陷檢測對象像素的亮度以及該缺陷檢測對象像素之外的像素之亮度，以檢測出該缺陷檢測對象像素的缺陷之步驟；針對該被檢出缺陷的像素，執行該修正處理的步驟；該影像處理步驟中，依據該修正處理後之像素的彩度，檢測出該修正處理後之像素的缺陷；該修正處理步驟中，針對該被檢出缺陷的該修正處理後的像素，執行該修正處理。
  5. 如申請專利範圍第4項所述之彩色濾光片缺陷修正方法，該影像處理步驟中，依據該像素的色相值來判定該像素之顏色，依據該判定後像素的顏色及該像素的彩度以檢測該像素的缺陷。
  6. 如申請專利範圍第5項所述之彩色濾光片缺陷修正方法，該影像處理步驟中，其比較該像素的彩度及該判定 後像素的顏色所對應之彩度的臨界值，依據該比較結果以檢測出該像素的缺陷。
TW096110111A 2006-06-08 2007-03-23 彩色濾光片缺陷修正裝置及彩色濾光片缺陷修正方法 TWI403760B (zh)

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