JPH09265007A - 欠陥修正装置 - Google Patents
欠陥修正装置Info
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- JPH09265007A JPH09265007A JP7606396A JP7606396A JPH09265007A JP H09265007 A JPH09265007 A JP H09265007A JP 7606396 A JP7606396 A JP 7606396A JP 7606396 A JP7606396 A JP 7606396A JP H09265007 A JPH09265007 A JP H09265007A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 欠陥画素の色判別を自動的に行なってその欠
陥を修正する欠陥修正装置を提供する。 【解決手段】 欠陥画素を画面中央に移動させ、Ｒ，
Ｇ，Ｂの３画素をカメラ１で撮像し、画像データを画像
メモリ２に記憶させ、両隣の画像における色判別用測定
点の階調データを読取り、階調データを比較し、階調レ
ベルが最大となる信号をその画素の色として判別し、両
隣になかった色を欠陥画素の色として判別し、インクタ
ンク選択装置４によってその色のインクを選択する。
陥を修正する欠陥修正装置を提供する。 【解決手段】 欠陥画素を画面中央に移動させ、Ｒ，
Ｇ，Ｂの３画素をカメラ１で撮像し、画像データを画像
メモリ２に記憶させ、両隣の画像における色判別用測定
点の階調データを読取り、階調データを比較し、階調レ
ベルが最大となる信号をその画素の色として判別し、両
隣になかった色を欠陥画素の色として判別し、インクタ
ンク選択装置４によってその色のインクを選択する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は欠陥修正装置に関
し、特に、液晶カラーフィルタの色が抜けた部分（白欠
陥）を修正するためにインクを塗布するような欠陥修正
装置に関する。
し、特に、液晶カラーフィルタの色が抜けた部分（白欠
陥）を修正するためにインクを塗布するような欠陥修正
装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】最近では、液晶表示装置（以下、ＬＣＤ
と称する）のカラー化が目ざましく、ＬＣＤのカラー化
に欠かせない部材としてのカラーフィルタの需要も急速
に高まってきている。ところが、カラーフィルタの生産
工程の歩留りは、７０〜８０％といわれ、非常に悪くコ
スト高になっている。この原因は、カラーフィルタ生産
工程中に種々の欠陥が発生してしまうことによる。この
欠陥を修正し、カラーフィルタを使用可能な状態に救済
するために、欠陥に対してインクを塗布することによっ
て修正を行なっている。
と称する）のカラー化が目ざましく、ＬＣＤのカラー化
に欠かせない部材としてのカラーフィルタの需要も急速
に高まってきている。ところが、カラーフィルタの生産
工程の歩留りは、７０〜８０％といわれ、非常に悪くコ
スト高になっている。この原因は、カラーフィルタ生産
工程中に種々の欠陥が発生してしまうことによる。この
欠陥を修正し、カラーフィルタを使用可能な状態に救済
するために、欠陥に対してインクを塗布することによっ
て修正を行なっている。
【０００３】図９は上述の欠陥を修正し、カラーフィル
タを使用可能な状態にする方法を示す図である。図９
（ａ）において、Ｒ，Ｇ，Ｂ（赤，緑，青）の画素のう
ち、Ｇの画素に白が抜けた欠陥、いわゆる白欠陥が検出
されると、図９（ｂ）に示すように、その部分にＧのイ
ンクを塗布して欠陥を修正する。
タを使用可能な状態にする方法を示す図である。図９
（ａ）において、Ｒ，Ｇ，Ｂ（赤，緑，青）の画素のう
ち、Ｇの画素に白が抜けた欠陥、いわゆる白欠陥が検出
されると、図９（ｂ）に示すように、その部分にＧのイ
ンクを塗布して欠陥を修正する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
ごとく白欠陥を修正する場合、修正する画素の色がＧで
あることを判別し、その色に合わせてインクを塗布する
必要がある。従来は、この修正画素の色判別を人間が行
なっていたため、修正の自動化が困難となっていた。
ごとく白欠陥を修正する場合、修正する画素の色がＧで
あることを判別し、その色に合わせてインクを塗布する
必要がある。従来は、この修正画素の色判別を人間が行
なっていたため、修正の自動化が困難となっていた。
【０００５】それゆえに、この発明の主たる目的は、欠
陥画素の色判別を自動的に行って、その欠陥を修正し得
る欠陥修正装置を提供することである。
陥画素の色判別を自動的に行って、その欠陥を修正し得
る欠陥修正装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明はカラーフィル
タの色抜けの欠陥を修正するための欠陥修正装置であっ
て、カラーフィルタの各画像を撮像するための撮像手段
と、撮像された画像データに基づいて各画像の色信号ご
とに階調データを取込み、最も階調の高い情報をその画
素の色として判別する判別手段とを備えて構成される。
タの色抜けの欠陥を修正するための欠陥修正装置であっ
て、カラーフィルタの各画像を撮像するための撮像手段
と、撮像された画像データに基づいて各画像の色信号ご
とに階調データを取込み、最も階調の高い情報をその画
素の色として判別する判別手段とを備えて構成される。
【０００７】より好ましくは、判別手段は欠陥を含む画
像を中心として両側あるいは片側の画素の色からその欠
陥を含む画素の色を判別し、判別された画素の色のイン
クタンクを自動的に選択する手段を含む。
像を中心として両側あるいは片側の画素の色からその欠
陥を含む画素の色を判別し、判別された画素の色のイン
クタンクを自動的に選択する手段を含む。
【０００８】
【発明の実施の形態】図１はこの発明の一実施の形態を
示すブロック図である。図１において、カメラ１はカラ
ーフィルタのパターンの画像を撮像するものであって、
撮像された画像データは画像メモリ２に記憶される。比
較判定回路３は画像メモリ３に記憶された画像データに
基づいて欠陥のある画像の色を判別する。そして、イン
クタンク選択装置４は色が検出された画素に対応するイ
ンクタンクを選択し、選択されたインクタンクから塗料
を針に付着させ、欠陥部分に塗布させる。
示すブロック図である。図１において、カメラ１はカラ
ーフィルタのパターンの画像を撮像するものであって、
撮像された画像データは画像メモリ２に記憶される。比
較判定回路３は画像メモリ３に記憶された画像データに
基づいて欠陥のある画像の色を判別する。そして、イン
クタンク選択装置４は色が検出された画素に対応するイ
ンクタンクを選択し、選択されたインクタンクから塗料
を針に付着させ、欠陥部分に塗布させる。
【０００９】図２はこの発明の一実施の形態の動作を説
明するためのフローチャートであり、図３はこの発明の
一実施の形態の動作を説明するための図である。
明するためのフローチャートであり、図３はこの発明の
一実施の形態の動作を説明するための図である。
【００１０】まず、図３に示すように、欠陥画像をカメ
ラ１の画面中央に移動させ、Ｒ，Ｇ，Ｂの３画像をカメ
ラ１で撮像する。撮像されたＲ，Ｇ，Ｂの画像データは
画像メモリ２に記憶される。比較判定回路３は、画像メ
モリ２に記憶されているＲ，Ｇ，Ｂの各３画像における
色判別測定点である、欠陥画像の両隣画素の中央付近１
０ヶ所の階調データを読取る。
ラ１の画面中央に移動させ、Ｒ，Ｇ，Ｂの３画像をカメ
ラ１で撮像する。撮像されたＲ，Ｇ，Ｂの画像データは
画像メモリ２に記憶される。比較判定回路３は、画像メ
モリ２に記憶されているＲ，Ｇ，Ｂの各３画像における
色判別測定点である、欠陥画像の両隣画素の中央付近１
０ヶ所の階調データを読取る。
【００１１】その後、両隣画素の色を判別する。すなわ
ち、比較判定回路３は左側画像について、Ｒ，Ｇ，Ｂ
の各画像における階調データを比較し、階調レベルが最
大となる信号（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の色をその画素の色として
判別する。右側画素についても同様の方法により画素
の色を判別する。その結果から、Ｒ，Ｇ，Ｂのうち、両
隣になかった色を欠陥画素の色として判別する。また、
カラーフィルタ上の色配置の規則性を用いれば、片隣の
色を調べるだけで欠陥画素の色を判別することも可能で
ある。これは、欠陥画素が基板端などに存在する場合に
有効となる。さらに、カラーフィルタの色が常にＲ，
Ｇ，Ｂなどの順番で配列されている場合でも、規則性が
保たれているので、片隣の色を調べるだけで欠陥画素の
色を判別することが可能となる。
ち、比較判定回路３は左側画像について、Ｒ，Ｇ，Ｂ
の各画像における階調データを比較し、階調レベルが最
大となる信号（Ｒ，Ｇ，Ｂ）の色をその画素の色として
判別する。右側画素についても同様の方法により画素
の色を判別する。その結果から、Ｒ，Ｇ，Ｂのうち、両
隣になかった色を欠陥画素の色として判別する。また、
カラーフィルタ上の色配置の規則性を用いれば、片隣の
色を調べるだけで欠陥画素の色を判別することも可能で
ある。これは、欠陥画素が基板端などに存在する場合に
有効となる。さらに、カラーフィルタの色が常にＲ，
Ｇ，Ｂなどの順番で配列されている場合でも、規則性が
保たれているので、片隣の色を調べるだけで欠陥画素の
色を判別することが可能となる。
【００１２】上述のごとくして、欠陥画素の色が判別さ
れると、インクタンク選択装置４はその欠陥画素の色に
対応したインクタンクを選択して針に対応の色を付着さ
せ、欠陥を修正する。
れると、インクタンク選択装置４はその欠陥画素の色に
対応したインクタンクを選択して針に対応の色を付着さ
せ、欠陥を修正する。
【００１３】図４はこの発明が適用される欠陥修正装置
の全体の構成を示す図である。図４において、欠陥修正
装置は、大きく分類すると、レーザおよびその光学系か
らなるレーザ照射機構６と、白欠陥の穴埋め用インクや
インクを塗布する針からなるインク塗布機構７と、イン
クを硬化するための光源や集光レンズからなるインク硬
化機構８と、欠陥を認識するための画像処理機構９と、
装置全体を制御するホストコンピュータ１０とから構成
されており、その他にワークを搭載するＸＹテーブル１
１と、ＸＹテーブル１１上でワークを保持するチャック
台１２と、レーザ照射機構６を上下に駆動するＺ軸テー
ブル１３と、モニタ１４および制御用コンピュータ１５
などが設けられる。
の全体の構成を示す図である。図４において、欠陥修正
装置は、大きく分類すると、レーザおよびその光学系か
らなるレーザ照射機構６と、白欠陥の穴埋め用インクや
インクを塗布する針からなるインク塗布機構７と、イン
クを硬化するための光源や集光レンズからなるインク硬
化機構８と、欠陥を認識するための画像処理機構９と、
装置全体を制御するホストコンピュータ１０とから構成
されており、その他にワークを搭載するＸＹテーブル１
１と、ＸＹテーブル１１上でワークを保持するチャック
台１２と、レーザ照射機構６を上下に駆動するＺ軸テー
ブル１３と、モニタ１４および制御用コンピュータ１５
などが設けられる。
【００１４】図５は図４に示したレーザ照射機構６とイ
ンク硬化機構８の具体例を示す図である。レーザ６０１
として一般にＹＡＧレーザが用いられ、このレーザ６０
１から出たレーザ光はビーム拡大機構６０２で拡大され
た後、フィルタ６０３，ビームスプリッタ６０４，スリ
ット機構６０５，ビームスプリッタ６０６，結像レンズ
６０７，ビームスプリッタ６０８，対物レンズ６０９を
通過し、ワーク上に照射される。ビーム拡大機構６０２
は十分なレーザビーム径と均一なエネルギ強度分布で大
面積の欠陥を修正するために設けられている。レーザビ
ーム径は通常２ｍｍ程度であり、これをビーム拡大機構
６０２によって３〜５倍程度に拡大する。また、レーザ
ビームを拡大することにより、ビームの中心と周囲との
エネルギ差が緩和され、上述の役目を果たす。ビームス
プリッタ６０６に関連してＣＣＤカメラ６１１が設けら
れ、ワークからの反射光が撮像される。
ンク硬化機構８の具体例を示す図である。レーザ６０１
として一般にＹＡＧレーザが用いられ、このレーザ６０
１から出たレーザ光はビーム拡大機構６０２で拡大され
た後、フィルタ６０３，ビームスプリッタ６０４，スリ
ット機構６０５，ビームスプリッタ６０６，結像レンズ
６０７，ビームスプリッタ６０８，対物レンズ６０９を
通過し、ワーク上に照射される。ビーム拡大機構６０２
は十分なレーザビーム径と均一なエネルギ強度分布で大
面積の欠陥を修正するために設けられている。レーザビ
ーム径は通常２ｍｍ程度であり、これをビーム拡大機構
６０２によって３〜５倍程度に拡大する。また、レーザ
ビームを拡大することにより、ビームの中心と周囲との
エネルギ差が緩和され、上述の役目を果たす。ビームス
プリッタ６０６に関連してＣＣＤカメラ６１１が設けら
れ、ワークからの反射光が撮像される。
【００１５】図６はスリット機構の一例を示す図であ
る。ブラックマトリックスの画素形状は矩形に限らず、
矩形を組合せて修正していくのは時間的，精度的に無理
があるため、画素と相似形の固定スリット（たとえば２
０倍対物レンズでは画素形状の２０倍のスリット）とす
ることにより、一度のレーザ照射で欠陥の修正が可能と
なり、修正時間の短縮と精度を満足できる。
る。ブラックマトリックスの画素形状は矩形に限らず、
矩形を組合せて修正していくのは時間的，精度的に無理
があるため、画素と相似形の固定スリット（たとえば２
０倍対物レンズでは画素形状の２０倍のスリット）とす
ることにより、一度のレーザ照射で欠陥の修正が可能と
なり、修正時間の短縮と精度を満足できる。
【００１６】図７はスリットの取付機構を示す図であ
る。スリットの取付機構１６は図６に示したスリット１
５を取付けるためのものであって、θ方向移動調整つま
み１６１とＸ方向移動調整つまみ１６２を手動で操作す
ることにより、Ｘ−Ｙ−θ方向に移動可能にされてい
る。このようなＸ−Ｙ−θ移動機構は手動でも自動でも
よく、また複数のスリットが必要であれば回転式や左右
揺動式としてもよい。
る。スリットの取付機構１６は図６に示したスリット１
５を取付けるためのものであって、θ方向移動調整つま
み１６１とＸ方向移動調整つまみ１６２を手動で操作す
ることにより、Ｘ−Ｙ−θ方向に移動可能にされてい
る。このようなＸ−Ｙ−θ移動機構は手動でも自動でも
よく、また複数のスリットが必要であれば回転式や左右
揺動式としてもよい。
【００１７】インクを硬化するための光源の種類や設置
場所は、インクの種類により、またワークの表裏のどち
らから硬化する必要があるかにより適宜選択される。イ
ンクが紫外線硬化樹脂の場合は紫外線光源を用い、熱硬
化樹脂の場合は可視あるいは赤外光源を用いればよい。
また、設置位置は、ワークの下から照射する場合は図５
の硬化用光源Ａの位置に配置し、上から照射する場合は
図５の硬化用光源Ｂあるいは硬化用光源Ｃの位置のいず
れかに配置すればよい。Ｂ位置の場合は、スリット形状
を認識するための光源としての役目を持ち、かつスリッ
ト形状の部分のみを硬化させることができる。
場所は、インクの種類により、またワークの表裏のどち
らから硬化する必要があるかにより適宜選択される。イ
ンクが紫外線硬化樹脂の場合は紫外線光源を用い、熱硬
化樹脂の場合は可視あるいは赤外光源を用いればよい。
また、設置位置は、ワークの下から照射する場合は図５
の硬化用光源Ａの位置に配置し、上から照射する場合は
図５の硬化用光源Ｂあるいは硬化用光源Ｃの位置のいず
れかに配置すればよい。Ｂ位置の場合は、スリット形状
を認識するための光源としての役目を持ち、かつスリッ
ト形状の部分のみを硬化させることができる。
【００１８】図８はインク塗布機構の詳細を示す図であ
る。図８においてインク塗布用位置決めシリンダ７１と
インクタンクインデックス用モータ７４はＺ軸とともに
移動するように取付けられている。インク塗布用位置決
めシリンダ７１の先端には、インク塗布用針７２とイン
ク面検出センサ７３が取付けられ、インクタンクインデ
ックス用モータ７４の先端には複数のインクタンクを搭
載したインクタンクテーブル７８が固定されている。イ
ンクタンクインデックス用モータ７４の近傍にはこのモ
ータの回転に伴って回転するインクタンクインデックス
板７７によってインクタンクの位置を検出するためのイ
ンクタンクインデックス用センサ７５とインクタンクが
原点に復帰したことを検出するためのインクタンク原点
復帰用センサ７６とが設けられている。
る。図８においてインク塗布用位置決めシリンダ７１と
インクタンクインデックス用モータ７４はＺ軸とともに
移動するように取付けられている。インク塗布用位置決
めシリンダ７１の先端には、インク塗布用針７２とイン
ク面検出センサ７３が取付けられ、インクタンクインデ
ックス用モータ７４の先端には複数のインクタンクを搭
載したインクタンクテーブル７８が固定されている。イ
ンクタンクインデックス用モータ７４の近傍にはこのモ
ータの回転に伴って回転するインクタンクインデックス
板７７によってインクタンクの位置を検出するためのイ
ンクタンクインデックス用センサ７５とインクタンクが
原点に復帰したことを検出するためのインクタンク原点
復帰用センサ７６とが設けられている。
【００１９】インク塗布用針７２の先端を平面状に加工
することで、インク面検出センサ７３を利用してインク
を塗布用針７２の先端がインク面から常に一定の深さと
なるように制御することにより、微少なインクを一定量
確実に欠陥箇所に塗布できるようにされている。なお、
複数のインクタンクには、ＲＧＢおよび黒の各色インク
やインクの固着を防ぐための溶剤が適宜注入されてい
る。
することで、インク面検出センサ７３を利用してインク
を塗布用針７２の先端がインク面から常に一定の深さと
なるように制御することにより、微少なインクを一定量
確実に欠陥箇所に塗布できるようにされている。なお、
複数のインクタンクには、ＲＧＢおよび黒の各色インク
やインクの固着を防ぐための溶剤が適宜注入されてい
る。
【００２０】
【発明の効果】以上のように、この発明によれば、カラ
ーフィルタの各画像を撮像し、撮像された画像データに
基づいて、各画像の色信号ごとに階調データを取込み、
最も階調の高い情報をその画素の色として判別すること
ができるので、欠陥画素の色を自動的に判別することが
可能になり、欠陥修正工程を自動化することが可能とな
る。
ーフィルタの各画像を撮像し、撮像された画像データに
基づいて、各画像の色信号ごとに階調データを取込み、
最も階調の高い情報をその画素の色として判別すること
ができるので、欠陥画素の色を自動的に判別することが
可能になり、欠陥修正工程を自動化することが可能とな
る。
【図１】この発明の一実施の形態を示すブロック図であ
る。
る。
【図２】この発明の一実施の形態の動作を説明するため
のフローチャートである。
のフローチャートである。
【図３】この発明の一実施の形態における色判別方法を
説明するための図である。
説明するための図である。
【図４】この発明が適用される欠陥修正装置の全体の構
成を示す図である。
成を示す図である。
【図５】図４に示したレーザ照射機構とインク硬化機構
の具体例を示す図である。
の具体例を示す図である。
【図６】スリット機構の一例を示す図である。
【図７】スリットの取付機構を示す図である。
【図８】インク塗布機構の詳細を示す図である。
【図９】従来の白欠陥を修正する方法を説明するための
図である。
図である。
１ カメラ ２ 画像メモリ ３ 比較判定回路 ４ インクタンク選択装置
Claims (2)
- 【請求項１】 カラーフィルタの色抜けの欠陥を修正す
るための欠陥修正装置であって、 前記カラーフィルタの各画像を撮像するための撮像手
段、および前記撮像手段によって撮像された画像データ
に基づいて、各画像の色信号ごとに階調データを取込
み、最も階調の高い情報をその画素の色として判別する
判別手段を備えた、欠陥修正装置。 - 【請求項２】 前記判別手段は、欠陥を含む画像を中心
として両側あるいは片側の画素の色から当該欠陥を含む
画素の色を判別し、さらに前記判別手段によて判別され
た画素の色のインクタンクを自動的に選択する手段を含
む、請求項１の欠陥修正装置。
Priority Applications (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7606396A JPH09265007A (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 欠陥修正装置 |
| TW085114535A TW333631B (en) | 1996-02-29 | 1996-11-25 | Modification method and apparatus of defects |
| KR1019960064061A KR100399673B1 (ko) | 1996-02-29 | 1996-12-11 | 결함수정방법및그장치 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7606396A JPH09265007A (ja) | 1996-03-29 | 1996-03-29 | 欠陥修正装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09265007A true JPH09265007A (ja) | 1997-10-07 |
Family
ID=13594325
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7606396A Pending JPH09265007A (ja) | 1996-02-29 | 1996-03-29 | 欠陥修正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09265007A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008015472A (ja) * | 2006-06-08 | 2008-01-24 | Ntn Corp | カラーフィルタ欠陥修正装置およびカラーフィルタ欠陥修正方法 |
| JP2008153024A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Ntn Corp | 微細パターン修正方法 |
-
1996
- 1996-03-29 JP JP7606396A patent/JPH09265007A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008015472A (ja) * | 2006-06-08 | 2008-01-24 | Ntn Corp | カラーフィルタ欠陥修正装置およびカラーフィルタ欠陥修正方法 |
| JP2008153024A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-03 | Ntn Corp | 微細パターン修正方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040416 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20040427 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20040625 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050517 |