TWI389112B

TWI389112B - 影像記錄裝置及影像記錄方法

Info

Publication number: TWI389112B
Application number: TW098107534A
Authority: TW
Inventors: Yoshiki Mizuno; Takahide Hirawa
Original assignee: Dainippon Screen Mfg
Priority date: 2008-03-28
Filing date: 2009-03-09
Publication date: 2013-03-11
Also published as: CN101544130B; JP5215018B2; CN101544130A; TW200945334A; US20090244254A1; JP2009237415A; US8081204B2

Description

影像記錄裝置及影像記錄方法

本發明係關於一種藉由光之照射而在記錄媒體中記錄影像之技術。

目前已開發有如下繞射光柵型之光調變元件：利用半導體裝置製造技術於基板上交替形成固定條板(fixed ribbon)及可撓條板(moving ribbon)，並使可撓條板相對於固定條板而彎曲，藉此可變更繞射光柵之深度。此種繞射光柵中，係藉由變更槽之深度而使得正反射光或繞射光之強度產生變化，故已提案有將光調變元件用於在各種記錄媒體中記錄影像之影像記錄裝置之方式。

例如，於影像記錄裝置中設置數個繞射光柵型之光調變元件並照射光，將固定條板與可撓條板位於與基準面相距相同高度之狀態的光調變元件所射出之反射光(0次光)導向記錄媒體，並遮擋可撓條板已彎曲之狀態之光調變元件的非0次繞射光(主要為1次繞射光)，藉此實現在記錄媒體中記錄影像。

於日本專利特開2004-4525號公報(文獻1)中揭示有如下技術：於上述影像記錄裝置中，對光調變元件於ON-OFF(接通-切斷)間轉變之時序進行修正，藉此對描繪區域之偏差進行修正，該描繪區域之偏差係由於光調變元件自OFF(切斷)狀態轉變為ON(接通)狀態時以及自ON狀態轉變為OFF狀態時之非對稱性、每種感光材料之特性差異、及每個光調變元件於照射區域之掃描方向上的長度差異或位置之偏差所引起。

然而，文獻1之影像記錄裝置中，係於相當於1個像素之時間內，依次自僅偏差少許時間之時脈群中選擇一個時脈，藉此將根據該時脈所對應像素之像素值的驅動電壓輸入至光調變元件，因此無法使轉變時序偏移超過相當於1個像素之時間(或者，使轉變位置偏移超過相當於1個像素之距離)。

本發明之目的在於針對藉由光之照射而在記錄媒體中記錄影像之影像記錄裝置，當在記錄媒體中記錄影像時，使轉變位置偏移超過相當於1個像素之距離。

本發明之影像記錄裝置具備有：光調變器(light modulator)，具有光調變元件(light modulator element)；保持部，保持藉由來自光調變器之信號光而記錄影像之記錄媒體；移動機構，使保持部相對於光調變器相對地移動，而使被照射來自光調變元件之光的記錄媒體上之照射位置(irradiation position)朝掃描方向連續地移動；運算部，在作為記錄至記錄媒體之記錄對象的對象影像中，於掃描方向所對應之行方向排列數個像素的各像素行，分別為於行方向連續且具有相同像素值之數個像素群之集合，關於作為各像素行中相鄰之兩個像素群間位置的各變化點(pixel value-change point)，求出使自光調變元件之輸出光量(output light amount)之轉變位置(transition position)偏移的移位量以修正(correct)像素群之描繪偏差(displacement of writing)，當移位量超過一個像素所對應之記錄媒體上之區域之掃描方向的寬度時，變更對象影像之像素的像素值，以使各變化點於行方向移動將移位量除以該寬度所得之值之整數部分(integer part)的像素數，同時將各變化點所對應之移位量修正(modify)至相當於該值之小數部分(decimal part)的值；及控制部，一邊與移動機構同步，一邊根據變更後之對象影像及修正後之移位量來控制光調變器。

根據本發明，可當於記錄媒體記錄影像時，使轉變位置偏移而超過相當於1個像素之距離。

於本發明之一較佳形態中，於運算部中，針對各變化點，根據相鄰之兩個像素群之像素值組合而求出修正前之移位量，運算部包括：第1表(table)記憶部，記憶像素加工表，該像素加工表係表示分別針對數種兩個像素值之組合的變化點之移位量者；影像變更部，藉由使用各像素行之各變化點中兩個像素值之組合並參照像素加工表，獲取各變化點之移動量，使各變化點於行方向移動；第2表記憶部，記憶修正移位量表，該修正移位量表係表示分別針對數種兩個像素值之組合的修正後之移位量者；及移位量獲取部，藉由使用各像素行之各變化點中兩個像素值之組合並參照修正移位量表，而獲取對於各變化點的修正後之移位量。如此，藉由利用像素加工表及修正移位量表，可容易地實現超過相當於1個像素之距離之轉變位置的偏移。

本發明之另一較佳形態中，於控制部中，每當記錄媒體上之照射位置朝掃描方向移動相當於對象影像之各像素行中既定個數之像素的固定距離時，會產生基準時脈(base block)，且來自光調變元件之輸出光量之轉變於相鄰之兩個基準時脈間之基準時脈期間僅可進行一次，當於變更後之對象影像中，分別於行方向連續且具有相同像素值之數個像素群中像素數最少的最少像素群之像素數小於既定個數之像素的像素數時，運算部將上述固定距離縮短至相當於最少像素群之像素數的距離。藉此，於基準時脈期間僅可進行一次光調變元件之輸出光量之轉變的影像記錄裝置中，可以高精度來進行影像之記錄。

於本發明之一態樣中，修正前之移位量係自一個像素所對應之記錄媒體上區域之掃描方向寬度的一半增減基於像素群之描繪偏差的距離所得之值，藉此可容易地使光調變元件之輸出光量之轉變位置於掃描方向之兩側移動。

於本發明之其他態樣中，將對象影像作為運行長度資料(run-length data)而輸入至運算部後，於運算部中，當移動各變化點時，變更運行長度資料之運行長度的長度。藉此，可容易地進行變化點之移動。

本發明亦係針對一種影像記錄方法，其係使被照射來自光調變器之光調變元件之光的記錄媒體上之照射位置於掃描方向連續移動，並藉由光之照射而於記錄媒體記錄影像。

上述目的及其他目的、特徵、態樣及優點參照隨附圖式並由以下本發明的詳細說明而更為清楚明白。

圖1係本發明第1實施形態影像記錄裝置1的側視圖，圖2係影像記錄裝置1之俯視圖。影像記錄裝置1係對液晶顯示裝置用之玻璃基板(以下僅稱作「基板」)上之感光材料照射光來記錄影像之裝置(亦稱作圖案描繪裝置)。如圖1及圖2所示，影像記錄裝置1包括：基板保持部3，保持於(+Z)側之主表面91(以下稱作「上表面91」)上形成有感光材料之層的基板9；保持部移動機構2，設置於基台11上，並使基板保持部3朝與Z方向垂直之X方向及Y方向移動；框架12，以橫跨基板保持部3及保持部移動機構2之方式固定於基台11上；以及光照射部4，安裝於框架12上，並朝基板9上之感光材料照射經調變後之光。又，如圖1所述，影像記錄裝置1具備對保持部移動機構2及光照射部4等之各構成進行控制之控制部6。

基板保持部3具備：平台(stage)31，載置基板9；支持板33，可旋轉地支持平台31；及平台旋轉機構32，使平台31以與基板9之上表面91垂直的旋轉軸321為中心，而於支持板33上旋轉。

保持部移動機構2具備：副掃描機構23，使基板保持部3朝圖1及圖2中之X方向(以下稱作「副掃描方向」)移動；底板24，透過副掃描機構23而將支持板33進行支持；及主掃描機構25，使基板保持部3與底板24一起在與X方向垂直之Y方向(以下稱作「主掃描方向」)上連續地移動。於影像記錄裝置1中，藉由保持部移動機構2，而於與基板9之上表面91平行的主掃描方向及副掃描方向移動基板保持部3。

如圖1及圖2所示，副掃描機構23具備：線性馬達(linear motor)231，於支持板33之下側(即(-Z)側)，朝與平台31之主表面平行、且與主掃描方向垂直之副掃描方向延伸；及一對線性導軌(linear guide)232，於線性馬達231之(+Y)側及(-Y)側，朝副掃描方向延伸。主掃描機構25具備：線性馬達251，於底板24之下側，朝與平台31之主表面平行的主掃描方向延伸；一對氣壓滑軌(air slider)252，於線性馬達251之(+X)側及(-X)側向主掃描方向延伸；及省略圖示之線性標度(linear scale)。

如圖2所示，光照射部4具備沿著副掃描方向以相等間距排列而安裝於框架12上之數個(本實施形態中為8個)光學頭41。又，如圖1所示，光照射部4具備連接於各光學頭41上之光源光學系統42、及射出紫外光之UV(Ultraviolet，紫外光)光源43以及光源驅動部44。UV光源43為固體雷射，藉由驅動光源驅動部44，而自UV光源43射出例如波長為355nm之紫外光，並將其透過光源光學系統42而導向光學頭41。

各光學頭41具備：射出部45，使來自UV光源43之光朝向下方射出；光學系統451，使來自射出部45之光反射而導向空間光調變器46；空間光調變器46，對透過光學系統451而照射之來自射出部45之光進行調變並加以反射；及光學系統47，將來自空間光調變器46之調變後的光導向設置於基板9之上表面91的感光材料上。

圖3係放大表示空間光調變器46之圖。如圖3所示，空間光調變器46具備繞射光柵型之數個光調變元件461，其將透過射出部45而照射之來自UV光源43的光導向於基板9之上表面91。光調變元件461係利用半導體裝置製造技術而製造，且為可變更光柵深度之繞射光柵。光調變元件461中交替平行地排列形成有數個可撓條板461a及固定條板461b，數個可撓條板461a可相對於背後之基準面而個別地升降移動，數個固定條板461b相對於基準面而被固定。作為繞射光柵型之光調變元件，習知有例如GLV(Grating Light Valve：柵光閥)(Silicon Light Machines(Sunnyvale、California)之註冊商標)。

圖4A及圖4B係表示與可撓條板461a及固定條板461b垂直之面上光調變元件461之剖面的圖。如圖4A所示，當可撓條板461a及固定條板461b相對於基準面461c位於相同高度(即，可撓條板461a不彎曲)時，光調變元件461之表面處於同一平面內，而將入射光L1之反射光作為0次光(正反射光)L2而導出。另一方面，當如圖4B所示，可撓條板461a較固定條板461b更朝基準面461c側彎曲，且可撓條板461a與固定條板461b之高度差為既定值時，可撓條板461a成為繞射光柵之槽之底面，1次繞射光L3(更進一步為高次繞射光)自光調變元件461導出，且0次光L2消失。在實際之光調變元件461中，藉由將可撓條板461a與固定條板461b之高度差變更為數種，而將0次光L2之強度變更為數種，而利用繞射光柵來進行多灰階之光調變。

於圖1所示之光照射部4中，來自UV光源43之光藉由光源光學系統42而變為線性光(光束剖面為線狀之光)，並透過射出部45而照射至空間光調變器46之呈線狀排列的數個可撓條板461a及固定條板461b(參照圖4A及圖4B)上。於光調變元件461中，若將相鄰之各1根可撓條板461a及固定條板461b設為一個條板對，則三個以上之條板對與被描繪之圖案之一個像素相對應。當然，亦可將光調變元件461設為一個條板對，一個條板對與一個像素相對應。

於光調變元件461中，根據連接於各空間光調變器46之調變器控制部60所發出之信號，分別控制與圖案之各像素相對應的條板對之可撓條板461a，且與各像素相對應之條板對可於射出數種輸出光量(強度)之0次光的數個狀態之間進行轉變。將自光調變元件461所射出之0次光導向光學系統47，將非0次繞射光(主要係1次繞射光((+1)次繞射光及(-1)次繞射光))導向與光學系統47不同之方向。再者，藉由省略圖示之遮光部來對1次繞射光進行遮光，以防止其成為雜散光(stray light)。

來自光調變元件461之0次光透過光學系統47而被導向基板9之上表面91，藉此，對基板9之上表面91上於X方向(即副掃描方向)上排列之數個照射位置分別照射經調變後之光。如上所述，光調變元件461之與各像素對應的條板對可以多灰階(包含不在基板9上照射描繪用之光的灰階)在基板9上照射光。

於圖1及圖2所示之影像記錄裝置1中，係自光照射部4之光調變元件461，朝藉由保持部移動機構2之主掃描機構25而於主掃描方向移動的基板9照射經調變後之光。換言之，主掃描機構25係使自光調變元件461導向基板9之光於基板9上的照射區域之位置(即照射位置)，相對於基板9而相對且連續地朝主掃描方向移動的照射位置移動機構。再者，於影像記錄裝置1中，亦可不移動基板9，而藉由使光學頭41朝主掃描方向移動，來使基板9上之照射位置朝主掃描方向移動。於影像記錄裝置1中，藉由控制部6之調變器控制部60，來控制光調變元件461對光之調變，藉此可於基板9上記錄表示作為對基板9記錄之對象之影像(以下稱作「對象影像」)的圖案。

圖5係表示調變器控制部60之一部分構成之圖，表示有調變器控制部60中各光調變元件461之驅動之要素(以下稱作「元件驅動要素61」)的一部分。元件驅動要素61具有暫存器(register)610與611、移位部616及D/A(Digital/Analog，數位/類比)轉換器612、及將D/A轉換器612之輸出轉換成光調變元件461之實際驅動電壓(以下稱作「實際驅動電壓(actual driving voltage)」)之電路，且移位部616具有暫存器613、計數器(counter)614及比較器(comparator)615。

調變器控制部60更具備省略圖示之時脈產生部，時脈產生部中輸入來自主掃描機構25之線性標度之信號。並且，如圖6之上段所示，每當基板9上之來自各光調變元件461之光的照射位置，於主掃描方向(Y方向)移動固定距離(下述影像記錄時所設定之距離，以下稱作「設定距離」)時，時脈產生部中會產生基準時脈303，並輸入至圖5所示之暫存器610、及移位部616之暫存器613以及計數器614中。圖5中，以標有元件符號303之箭頭表示依次輸入至暫存器610、613及計數器614之基準時脈(下述延遲時脈(delay clock)304、驅動電壓資料301、移位延遲數資料302及移位結束時脈(shifted clock)305中相同)。

又，於時脈產生部中，如圖6之中段所示，每當基板9上之照射位置移動將設定距離等分成既定個數之距離(例如10奈米(nm))時會產生延遲時脈304，並輸入至計數器614中。再者，由於主掃描機構25使基板9朝向主掃描方向的移動速度大致固定，故圖6之上段及中段中均亦可將橫軸視為時間(下述圖9、圖14～圖16、圖18、圖19、圖22、及圖23中相同)。

圖5之暫存器610中響應基準時脈303而依次輸入驅動電壓資料301，該驅動電壓資料301表示實際驅動電壓與時間一起逐漸變化並最終到達之目標的電壓(以下稱作「目標驅動電壓(target driving voltage)」)，同時與基準時脈303同步地自暫存器610朝暫存器611中輸出驅動電壓資料301。又，於移位部616之暫存器613中響應基準時脈303，而依次輸入用以調整光調變元件461之動作位置(動作時序)的移位延遲數資料302。

與基準時脈303同步地自暫存器613於比較器615中輸入移位延遲數資料302。然後，每當將延遲時脈304輸入至計數器614時，計數器614中延遲時脈304之計數均會輸出至比較器615，若移位延遲數資料302所示之值與來自計數器614之計數一致，則自比較器615朝暫存器611中輸出相對於基準時脈303延遲之時脈(以下稱作「移位結束時脈」)305。藉此，自暫存器611透過D/A轉換器612而輸出驅動電壓資料301之類比信號。再者，每當輸入基準時脈303時，計數器614中延遲時脈304之計數均會重置。

每個移位結束時脈305之驅動電壓資料301對應於對光調變元件461驅動一次時之目標驅動電壓，來自D/A轉換器612之輸出被輸入至電流源51後更進一步轉換成電流。電流源51之一端透過電阻52而連接至高電位Vcc側，另一端則接地。

電流源51之兩端透過連接墊53而連接於光調變元件461之可撓條板461a及基準面461c。因此，驅動電壓資料301透過D/A轉換器612及電流源51而轉換為電流後，會藉由電阻52所產生之電壓下降而轉換成兩連接墊53間之實際驅動電壓。如上所述，元件驅動要素61將延遲時脈304所對應之距離設為最小解析度，並可根據移位延遲數資料302而使光調變元件461之動作位置自基準時脈303所對應的位置偏移(調整)。

再者，由於連接墊53間具有雜散電容(stray capacitance)，故連接墊53間之實際的驅動電壓(實際驅動電壓)會按照連接墊53間之時間常數而進行變化，且隨著時間推移而變為目標驅動電壓。

圖7係表示調變器控制部60構成之方塊圖。調變器控制部60除了具備上述元件驅動要素61以外，亦具備具有進行各種運算之CPU(Central Processing Unit，中央處理單元)及記憶各種資訊的記憶體之主運算部62、以及可程式之電子電路即FPGA(Field Programmable Gate Array，現場可程式閘陣列)控制要素63(圖7中以虛線之方塊來表示)。實際上，於調變器控制部60中，係相對於每個光調變元件461而設置一個元件驅動要素61及一個FPGA控制要素63，但圖7中僅圖示出一個光調變元件461所對應之元件驅動要素61及FPGA控制要素63。

主運算部62具備：表生成部622，生成記錄影像時所利用之各種表；及移位量超過檢測部621，於後述之生成表時檢測表生成之條件。FPGA控制要素63中，可實現記憶體631、像素行加工部632及輸出資料生成部633之功能，其中上述記憶體631係記憶對象影像之變更(像素之加工)時所使用之像素加工表6311，上述像素行加工部632係使用像素加工表6311來變更對象影像像素之像素值，上述輸出資料生成部633係將變更後之影像轉換成元件驅動要素61用之資料格式。

又，各元件驅動要素61具有獲取移位延遲數資料302之修正移位量獲取部618、獲取驅動電壓資料301之驅動電壓獲取部619、及記憶體617，將每個光調變元件461中所準備之下述修正移位量表6171、所有光調變元件461中共用之基準位置(reference position)位址表6172、及表示與描繪時之數個灰階之射出光量相對應之目標驅動電壓的驅動電壓表6173自主運算部62輸入至記憶體617而加以記憶。

此處，於作為影像記錄裝置1中記錄對象的對象影像中，於主掃描方向所對應之行方向及副掃描方向所對應之列方向上排列有數個像素，於下述影像記錄(圖案描繪)中，係將行方向上排列之數個像素設為像素行，藉由各光調變元件461而對一個像素行進行描繪。又，各像素行分別係於行方向上連續且具有相同像素值之數個像素群之集合(即，各像素行分別係由兩個以上像素集合即數個像素群所構成)，像素行中相鄰之兩個像素群間之位置，係設為表示自光調變元件461照射至照射區域之輸出光量之轉變的變化點。於本實施形態中，對象影像係設為1～4之4值之影像，當然亦可為具有5個以上之灰階等級之影像、或者為具有2個或3個灰階等級之影像。

於各光調變元件461之元件驅動要素61所連接之像素行加工部632中，將該光調變元件461所對應之像素行資料(以下稱作「像素行資料」)691作為運行長度資料而輸入，如下所述，使用像素加工表6311來對像素行資料691進行加工。並且，於輸出資料生成部633中，將加工後之像素行資料691轉換成元件驅動要素61用之資料格式，且每當產生基準時脈303時，將其作為轉換像素資料692而依次輸出至元件驅動要素61中。

此處，如表示基準時脈303之圖6之上段、及表示一個像素行之像素之圖6之下段所示，於影像記錄裝置1中，於相鄰之兩個基準時脈303間之期間(以下稱作「基準時脈期間」)，將對象影像之各像素行中之兩個以上像素71(圖6之下段之例中為4個像素71)設為描繪控制之對象。換言之，於基準時脈期間內，將作為描繪控制對象之像素個數設為基準時脈間像素數，且於基準時脈期間內來自光調變元件461之光照射位置在主掃描方向移動之設定距離，設為相當於基準時脈間像素數之像素71的距離(圖6之上段中以標有元件符號W之箭頭所表示之距離)。於以下說明中，圖6之上段及下段中，將對象影像之各像素71之最前端所對應之主掃描方向上的位置(以標有元件符號A1之箭頭所表示之位置)稱作該像素之「基準位置」，並將相鄰之兩個基準位置間之距離(即，將設定距離除以基準時脈間像素數所得之距離，可視為描繪時之邏輯最小解析度)稱作「基準距離」。圖6之下段中，以標有元件符號T之箭頭來表示基準距離。

又，影像記錄裝置1中，由於圖5所示之元件驅動要素61之構成中移位結束時脈305於基準時脈期間內僅輸出一次，故來自光調變元件461之輸出光量之轉變於基準時脈期間內僅可進行一次，根據基準時脈303而輸出之轉換像素資料692如圖8所示，成為表示基準時脈期間內之基準時脈間像素數之像素中，像素值自之前像素產生變化之像素編號、及該像素之像素值(以下分別稱作「變化像素編號」及「變化後像素值」)之資料。

例如，基準時脈間像素數為4，當如圖9之最下段所示，某基準時脈期間內之4個像素71(於圖9之最下段以粗線之矩形圍住之像素71)中，第3個像素71與第4個像素71之間像素值自1變成2時(於圖9之最下段以白色表示像素值為1之像素71，對像素值為2之像素71標上平行斜線，圖9之下起第2段～第5段、及圖14～圖16、圖18、圖19中相同)，變化像素編號及變化後像素值分別為4及2，當如圖9之下起第2段所示，第2個像素71與第3個像素71之間像素值自1變成2時，變化像素編號及變化後像素值分別為3及2，當如圖9之下起第3段所示，第1個像素71與第2個像素71之間像素值自1變成2時，變化像素編號及變化後像素值均為2。

又，當如圖9之下起第4段所示，第1個像素71與之前基準時脈期間內之第4個像素71之間像素值自1變成2時，變化像素編號及變化後像素值分別為1及2，當如圖9之下起第5段(上起第2段)所示，不存在像素值產生變化之像素71時，變化像素編號為1，變化後像素值與之前基準時脈期間內之最後像素的像素值相同。再者，變化像素編號可視為將基準距離T作為單位之邏輯座標值。

圖10係表示基準位置位址表6172之圖。圖10所示之基準位置位址表6172係將自產生了之前基準時脈303之位置起至分別對於第1～第4個像素之基準位置為止的主掃描方向上之距離(以下稱作「基準位置位址」)作為延遲時脈304之計數而表示的表(參照圖9之最上段)。於圖10中，第1～第4個像素之基準位置位址分別記作「第1基準位置位址」、「第2基準位置位址」、「第3基準位置位址」、「第4基準位置位址」。

圖11係表示修正移位量表6171之圖。修正移位量表6171係藉由對下述修正表進行修正而生成者，其分別針對數種兩個像素值之組合而表示移位量(藉由對自下述修正表所導出之值進行修正(變更)而獲得之值，以下稱作「修正移位量」)，實際上，修正移位量係以延遲時脈304之計數來表示。圖11中，將針對像素值M與像素值N之組合之修正移位量記作「像素值M→N變化時修正移位量」(其中，M、N為1～4)。再者，修正移位量小於相當於相鄰之兩個基準位置間之距離(即基準距離T)的計數。

於圖7之修正移位量獲取部618中，藉由使用自輸出資料生成部633於每個基準時脈303輸入的轉換像素資料692之變化像素編號，參照圖10之基準位置位址表6172，來特定一個基準位置位址。又，於修正移位量獲取部618中，記憶有於之前基準時脈303所輸入的轉換像素資料692之變化後像素值，藉由使用之前變化後像素值及此次之變化後像素值，參照圖11之修正移位量表6171，來特定一個修正移位量。並且，將所特定之基準位置位址及修正移位量(如上所述，兩者係作為延遲時脈304之計數而表示)相加所得之值作為移位延遲數而求出，並作為移位延遲數資料302而輸入至圖5之移位部616之暫存器613中。

圖12係表示驅動電壓表6173之圖。驅動電壓表6173係表示數種像素值所分別對應之目標驅動電壓之表，於圖7之驅動電壓獲取部619中，藉由使用轉換像素資料692之變化後像素值，並參照驅動電壓表6173，來特定變化後像素值所對應之驅動電壓。於圖12中，將變化後像素值1～4所對應之驅動電壓分別記作「第1灰階驅動電壓」、「第2灰階驅動電壓」、「第3灰階驅動電壓」、「第4灰階驅動電壓」。將所特定之驅動電壓作為驅動電壓資料301而輸入至圖5之暫存器610中。

如上所述，於圖7之元件驅動要素61中根據轉換像素資料692而生成驅動電壓資料301及移位延遲數資料302，藉此可使光調變元件461之輸出光量轉換成變化後像素值所對應之灰階，同時可將其轉變位置加以偏移(調整)。再者，關於像素加工表6311及修正移位量表6171之詳細內容將於後文敍述。

其次，一邊參照圖13，一邊對影像記錄裝置1於基板9上記錄影像之動作加以說明。於影像記錄裝置1中，首先，由操作者針對各光調變元件461準備修正表，並將其輸入至圖7之主運算部62(步驟S11)。再者，圖7中以標有元件符號681之箭頭來表示修正表。

此處，所謂修正表，係指表示針對各光調變元件461所對應之像素行中之各變化點，為了修正夾著該變化點之兩個像素群所對應之基板9上之兩個區域(形成有兩個像素群所對應之圖案的兩個區域)間之邊界之主掃描方向上的位置偏差(即描繪偏差)，而使來自該光調變元件461之輸出光量之轉變位置偏移的移位量。作為描繪偏差之原因，可舉出：彎曲量變化時可撓條板461a之狀態達到穩定為止之時間會因夾著該變化點之兩個像素群之像素值的組合而不同、或者該光調變元件461之照射區域之主掃描方向的長度或位置(照射位置)與其他光調變元件461不同等。再者，修正表可藉由例如於虛設基板上實際描繪於副掃描方向上延伸的圖案、或者於平台31上設置光檢測部，並測定來自所有光調變元件461之光照射區域之主掃描方向上的長度或位置而獲取。

於表1所示之修正表中，對正在注目之注目像素之之前像素之像素值、及注目像素之像素值(表1中，分別記作「之前像素值」及「當前像素值」)之所有組合，分別設定有「標準移位量」、「線寬修正移位量」及「位置修正移位量」。再者，於表1中，僅表示出「之前像素值」及「當前像素值」設為1與1之組合、1與2之組合、2與1之組合、2與2之組合的情況，但實際上對於「之前像素值」及「當前像素值」分別設為3與4之組合，亦設定有「標準移位量」、「線寬修正移位量」及「位置修正移位量」。

圖14係用以說明修正表中之標準移位量之圖。圖14之上段表示基準時脈303，中段表示目標驅動電壓，下段則表示像素行。此處，如圖14之上段及下段所示，基準時脈間像素數為4，於圖14之上段中，與圖6之上段相同，以標有元件符號T之箭頭來表示將設定距離W除以基準時脈間像素數所得之基準距離。

標準移位量係用以於無須修正上述描繪偏差時，亦使輸出光量之轉變位置自變化點所對應之位置朝照射位置之相對於基板9之相對移動方向之前側(朝主掃描方向移動時之前側，圖14之右側)移動的量。例如，於圖14之中段及下段所示例中，將對於光調變元件461之目標驅動電壓自像素值1所對應之第1灰階驅動電壓V1變更為像素值2所對應之第2灰階驅動電壓V2之轉變位置，相對於自像素值1之白色像素71變為標有平行斜線之像素值2之像素71之變化點的位置(即，像素值2之像素群之最初像素71的基準位置A1a)，移動標準移位量(即基準距離T)之1/2倍。雖然如上所述，針對所有光調變元件461分別單獨地準備修正表，但所有修正表之所有像素值之組合中標準移位量相等。

圖15係用以說明修正表中之線寬修正移位量之圖。線寬修正移位量係用以對依存於相鄰之兩個像素群之像素值組合的描繪偏差進行修正者，例如，當於變化點上像素值自1變成2時，藉由參照表1，而特定表示使來自光調變元件461之輸出光量之轉變位置(例如，依存於輸出光量之上升時間的位置)朝照射位置之相對移動方向之前側移動基準距離T之1/3倍的(＋(1/3)T)，藉此，可對基板9上像素值1之像素群所對應的區域與像素值2之像素群所對應的區域之邊界位置之偏差進行修正(即，修正像素群之描繪偏差)。又，當於變化點像素值自2變成1時，藉由參照表1，而特定表示使來自光調變元件461之輸出光量之轉變位置(例如，依存於輸出光量之下降時間的位置)朝照射位置之相對移動方向之後側移動基準距離T之1/3倍的(-(1/3)T)，藉此，可對基板9上像素值2之像素群所對應的區域與像素值1之像素群所對應的區域之邊界位置之偏差進行修正。

於圖15之上起第2段，表示有對於圖14之中段之目標驅動電壓之變化(圖15之上起第3段亦以虛線表示出相同者，下述圖16之上起第4段相同)更進一步追加表1之線寬修正移位量的移位的情況。此處，如圖15之最下段所示，由於相鄰之三個像素群之像素值係按照1、2、1之順序進行變化，中央之像素值2之像素群之像素數設為5，因此於圖15之上起第2段，光調變元件461之目標驅動電壓為第2灰階驅動電壓V2之距離，相較於相當於5個像素之距離(基準距離T之5倍)短基準距離T之2/3倍，藉此，像素值2之像素群所對應的基板9上之區域之主掃描方向寬度得到修正。如此，修正表中之線寬修正移位量，實質上成為用以修正各像素值之像素群所對應的基板9上之區域之主掃描方向寬度(線寬)者。

圖16係用以說明修正表中之位置修正移位量的圖。位置修正移位量係用以修正光調變元件461之照射位置與其他光調變元件461之偏差(主掃描方向之偏差)者。位置修正移位量係針對各光調變元件461進行單獨設定者，針對兩個像素之像素值之所有組合而設定有相同值。例如，於圖15之上起第2段所示例中(圖16之上起第3段亦以一點鏈線表示出相同者)，更進一步追加表1之位置修正移位量(＋(1/3)T)之移位時，於變化點像素值自1變成2之情況、及於變化點像素值自2變成1之情況中的任一情況，如圖16之上起第2段所示，來自光調變元件461之輸出光量之轉變位置，均會朝照射位置之相對移動方向之前側((+Y)側)更進一步移動基準距離T之1/3倍。

此時，將光調變元件461之目標驅動電壓自第1灰階驅動電壓V1變更為第2灰階驅動電壓V2之位置(即輸出光量之轉變位置)，相對於圖16之最下段所示像素行中自像素值1之像素71變為像素值2之像素71之變化點之位置(像素71a之基準位置A1a)，移動大於基準距離T且為基準距離T之2倍以下的距離，來自光調變元件461之輸出光量之轉變位置移位量超過相當於1個像素的距離。藉此，相對於自像素值1之像素71變為像素值2之像素71之變化點(基準位置A1a)的輸出光量之轉變時序，包含於該變化點所屬之基準時脈期間之下次基準時脈期間內。如上所述，每當輸入基準時脈303時，圖5之計數器614中之延遲時脈304之計數均會重置，因此於圖1之影像記錄裝置1中，無法根據圖16之最下段所示之像素行，進行如圖16之上起第2段所示之目標驅動電壓的變更。

因此，如以下說明所詳述，於影像記錄裝置1中，藉由將圖16之最下段中以粗線之矩形所包圍的像素71a之像素值變更為0，可進行使自像素值1變為像素值2之變化點移動(延遲)1個像素之處理，同時進行針對移動後之變化點而求出修正後之移位量的處理。

當於影像記錄裝置1中準備修正表後，藉由圖7之主運算部62而決定影像記錄動作中所要採用的基準時脈間像素數(或者設定距離)(步驟S12)，將該基準時脈間像素數輸入至輸出資料生成部633，同時將該基準時脈間像素數所對應之基準位置位址表6172輸入至元件驅動要素61。實際上，步驟S12之處理係如下之處理：確認是否對影像記錄裝置1變更已預先設定之基準時脈間像素數(以下稱作「初始基準時脈間像素數」)，當確認變更時，決定實際使用之基準時脈間像素數，此處，初始基準時脈間像素數係設定為5，故藉由既定之處理而變更為4。步驟S12處理之具體情況將於後文敍述。

然後，於主運算部62中，進行像素加工表6311及修正移位量表6171生成之處理。首先，於圖7之移位量超過檢測部621中，將表1中之兩個像素值之各組合中的標準移位量、線寬修正移位量及位置修正移位量相加，而如表2所示求出總移位量(步驟S13)。

然後，確認不同的兩個像素值之所有組合(表2中為像素值1與像素值2之組合及像素值2與像素值1之組合)中是否存在總移位量超過相當於1個像素之基準距離T者。此處，僅於之前像素值及當前像素值分別為1及2之組合中，確認到總移位量為基準距離T之(＋7/6)倍，大於基準距離T之1倍且為基準距離T之2倍以下。並且，於表生成部622中，於之前像素值及當前像素值分別為1及2之組合中，將「像素加工數」設為(+1)，於其他組合中，將「像素加工數」設為0，而生成表3所示之像素加工表6311。

像素加工數係表示相鄰之兩個像素群間之變化點之移動量者，於表3之像素加工表6311中，對於從像素值1變化為像素值2之變化點，像素加工數為(+1)，藉此指示進行使該變化點延遲1個像素的像素行之加工，且對於其他像素值之組合，指示藉由使像素加工數為0而不進行像素之加工。將像素加工表6311輸入至圖7之FPGA控制要素63之記憶體631中並加以記憶(步驟S14)。再者，當總移位量大於基準距離T之α倍(其中，α為1以上之整數)且為(α＋1)倍以下時，像素加工數為α。

於表生成部622中，求出總移位量大於基準距離T且像素加工數為0以外之像素值之組合中，所對應之像素加工數乘以基準距離T所得的值，並將自總移位量中減去該值所得之值(即，將表示為基準距離T之β倍的總移位量中之β之小數部分乘以基準距離T所得的值)作為修正移位量而求出。又，於總移位量小於基準距離T之像素值之組合中，將總移位量直接設為修正移位量。因此，於表2例中，於之前像素值及當前像素值分別為1及2之組合中，修正移位量為基準距離T之(+1/6)倍，於其他像素值之組合中，總移位量直接為修正移位量，而可生成表4所示之修正移位量表6171。將修正移位量表6171輸入至圖7之元件驅動要素61之記憶體617中並加以記憶(步驟S15)。再者，當相同的兩個像素值之組合中存在總移位量超過基準距離T者時，將表示為基準距離T之β倍的總移位量中之β之小數部分乘以基準距離T所得的值設為修正移位量。又，實際上，將修正移位量變更為接近於相當於延遲時脈304之解析度之移位量整數倍的值，如上所述，可藉由元件驅動要素61來賦予延遲時脈304之計數(即移位延遲數)。

如上所述，當準備像素加工表6311及修正移位量表6171後，則開始使基板9以固定速度朝主掃描方向移動(步驟S16)，同時將控制部6所具有之省略圖示之影像記憶體中所記憶的對象影像之資料輸入至調變器控制部60。如上所述，於圖7之調變器控制部60中，輸入各像素行加工部632所對應之像素行資料691。

於像素行加工部632中，如圖16之最下段所示，當相鄰之三個像素群之像素值分別為1、2、1時，藉由參照表3之像素加工表6311，而將對於最初之(圖16之左側之)像素值1的白色像素群與像素值2之標有平行斜線的像素群之間之變化點的像素加工數求得為(+1)，而將像素值2之像素群之最初像素71a之像素值變更為1，變化點發生移動(延遲)。又，求得對於像素值2之像素群與下個(圖16之右側之)像素值1之像素群之間之變化點的像素加工數為0，而變化點並不移動。再者，如表3所示，由於在具有相同像素值之像素71間像素加工數為0，不進行像素之加工，因此像素加工數僅對變化點會產生影響。

實際上，像素行加工部632如圖17所示，藉由在作為運行長度資料而輸入的像素行之資料中變更運行長度之長度，來進行變化點之移動。於圖17中，以矩形(標有元件符號690a、690b、690c)來表示一個運行長度。

當注目圖17中記作「DATA(n)」之運行長度690b與隨後記作「DATA(n＋1)」之運行長度690c之間的位置(即變化點)(以下稱作「注目變化點」)時，首先使用運行長度690b之像素值及隨後之運行長度690c之像素值並參照像素加工表6311，而求出對於注目變化點之像素加工數。於像素行加工部632中，預先記憶有表5所示之像素行資料691之修正條件，例如當對於運行長度690b之前記作「DATA(n-1)」之運行長度690a與運行長度690b之間之變化點所求出的像素加工數(表5中記作「對於DATA(n-1)之像素加工數」)為0，且對於注目變化點所求出之像素加工數(表5中記作「對於DATA(n)之像素加工數」)亦為0時，運行長度690b之長度變更量(表5中記作「對於DATA(n)之實際加工」)為0。

如表5所示，當對於運行長度690a與運行長度690b間之變化點所求出之像素加工數為0，且對於注目變化點所求出之像素加工數為(+1)時，運行長度690b之長度變更量為(+1)(即，運行長度690b增長1個像素)。又，當對於運行長度690a與運行長度690b之間之變化點所求出之像素加工數為(+1)，且對於注目變化點所求出之像素加工數為0時，藉由使運行長度690a延長(+1)，而使注目變化點延遲了1個像素，故運行長度690b之長度變更量為(-1)(即，運行長度690b縮短1個像素)。更進一步，當對於運行長度690a與運行長度690b之間之變化點所求出之像素加工數為(+1)，且對於注目變化點所求出之像素加工數為(+1)時，藉由使運行長度690a延長(+1)，而使注目變化點延遲了1個像素，故運行長度690b之長度變更量為0。

於圖16最下段之示例中，當相鄰之三個像素群中之中央像素群之像素數(運行長度之長度)為5時，對於最初之(圖16之左側之)像素值1之白色像素群與像素值2之標有平行斜線之像素群之間的變化點之像素加工數為(+1)，且對於像素值2之像素群與下個(圖16之右側之)像素值1之像素群之間之變化點的像素加工數為0，藉此像素值2之像素群之像素數(運行長度之長度)的變更量為(-1)，而像素值2之像素群之像素數變更為4。

如上所述，於影像記錄裝置1中，將對象影像資料作為運行長度資料而輸入至像素行加工部632中，當移動各變化點時，藉由變更運行長度資料之運行長度之長度，可容易地進行變化點之移動，而加工像素行資料691(步驟S17)。根據像素行加工部632之設計，對象影像之資料亦可以運行長度資料以外之形式來表示。

於像素行加工部632中進行像素行資料之加工的同時，對加工後之像素行資料(之部分)藉由輸出資料生成部633而加以解碼化，對每個基準時脈間像素數進行區分，如上所述，生成表示基準時脈間像素數之像素中像素值自之前像素產生變化的像素之編號、及該像素之像素值(即，變化像素編號及變化後像素值)之轉換像素資料692。

例如，於圖16之最下段中，將像素71a之像素值藉由像素行加工部632之處理而變更為1(成為白色像素)，由於基準時脈303a、303b間之4個像素71不存在變化點，故基準時脈303a對應之描繪時所參照的轉換像素資料692之變化像素編號及變化後像素值均為1(如上所述，當變化點不存在時，變化像素編號亦為1，且變化後像素值亦與之前基準時脈期間內之最後像素之像素值相同)。又，由於基準時脈303b、303c間之4個像素71中之最初的像素(最初之基準位置)存在自像素值1變為像素值2之變化點，故基準時脈303b對應之描繪時所參照的轉換像素資料692之變化像素編號及變化後像素值分別為1及2，由於基準時脈303c、303d間之4個像素71中之最初的像素(最初之基準位置)存在自像素值2變為像素值1的變化點，故基準時脈303c對應之描繪時所參照的轉換像素資料692之變化像素編號及變化後像素值均為1。

並且，根據每當基板9移動相當於基準時脈間像素數之設定距離時所產生的基準時脈303，將轉換像素資料692輸出至元件驅動要素61中(步驟S18)。元件驅動要素61根據轉換像素資料692而生成驅動電壓資料301及移位延遲數資料302(步驟S18a)，並對光調變元件461進行控制，藉此一邊使來自光調變元件461之輸出光量之轉變位置偏移，一邊於基板9上描繪圖案(步驟S19)。

此時，於進行圖16最上段之基準時脈303b所對應之描繪時，根據變化像素編號及變化後像素值分別為1及2的轉換像素資料692，而特定第1個像素所對應之基準位置位址(此處為0)，同時使用之前之變化後像素值及此次之變化後像素值，將修正移位量特定為(+(1/6)T)。藉此，求出移位延遲數資料302為相當於距離(+(1/6)T)之計數，而實現如圖16之上起第2段所示之目標驅動電壓的變更。再者，將變更後之目標驅動電壓，根據轉換像素資料692之變化後像素值而設為第2灰階驅動電壓V2。

實際上，重複進行步驟S18中之轉換像素資料692之生成及對元件驅動要素61之輸入、以及步驟S18a、S19中之基於轉換像素資料692的圖案描繪，直至於基板9上記錄所有表示對象影像之影像為止(步驟S20)。若已記錄所有對象影像，則停止基板9於主掃描方向之移動，結束於基板9上記錄影像之動作(步驟S21)。

其次，對決定步驟S12中之基準時脈間像素數之處理加以說明。圖18係表示基準時脈303及像素行之圖。圖18之上段表示基準時脈303，中段表示變化點之移動前之像素行，下段則表示變化點之移動後之像素行(下述圖19中相同)。再者，於圖18之中段及下段中，以標有元件符號A2之箭頭來表示變化點之位置。

如圖18之上段及中段所示，當將初始基準時脈間像素數設定為5時，對象影像之資料係生成各像素行中連續且具有相同像素值之各像素群中之像素數為5以上(可視為邏輯上的最小線寬為相當於5個像素的寬度)，藉此，於來自光調變元件461之輸出光量之轉變於基準時脈期間內僅可進行一次的影像記錄裝置1中，可適當地記錄影像。此時，假設於圖13之步驟S17之像素行資料加工中，進行使變化點延遲1個像素之處理，則如圖18之下段所示，生成像素數為4之像素群(標有平行斜線之像素71之集合)，而於基準時脈期間內存在兩個變化點。

因此，在主運算部62中，首先於表1之修正表中，求出自各像素值為之前像素值之數個兩個像素值之組合中之線寬修正移位量之最大值中、減去該像素值為當前像素值之數個組合中之線寬修正移位量的最小值所得之值，來作為最大縮減量。然後，將自相當於初始基準時脈間像素數之距離(即初始基準時脈間像素數所對應之設定距離)中減去對於所有像素值之最大縮減量之最大值所得的值(可視為物理上之最小線寬)，更進一步除以基準距離T所得之值的整數部分作為像素群最小寬度而求出。

於表1例中，像素值1為之前像素值時之線寬修正移位量之最大值係基準距離T之(+1/3)倍，像素值1為當前像素值時的線寬修正移位量之最小值係基準距離T之(-1/3)倍，且自基準距離T之(+1/3)倍中減去基準距離T之(-1/3)倍所得之值(基準距離T之(2/3)倍)係最大縮減量之對於所有像素值之最大值。然後，將自相當於初始基準時脈間像素數之基準距離T之5倍中減去最大縮減量之最大值所得之值(基準距離T之(13/3)倍)，更進一步除以基準距離T所得之值之整數部分4作為像素群最小寬度而求出。然後，如圖19之上段所示，決定基準時脈間像素數為小於初始基準時脈間像素數之4。藉此，即便於像素行資料之加工中，進行使變化點延遲1個像素之處理，而如圖19之下段所示，生成像素數為4之像素群(標有平行斜線的像素71之集合)時，亦可防止基準時脈期間內存在兩個變化點。

如此，於主運算部62中，於加工後之像素行中分別於行方向上連續且具有相同像素值之數個像素群中像素數最少的最少像素群之像素數為小於初始基準時脈間像素數之情形時，進行將設定距離縮短為相當於最少像素群之像素數之距離的處理。然後，如上所述，於輸出資料生成部633中將基準時脈間像素數設為4而生成轉換像素資料692，藉此於基準時脈期間內不會存在兩個變化點的情況下，利用光調變元件461之調變來進行圖案描繪。

如上所述，於圖1之影像記錄裝置1中，於修正表中對兩個像素值之各組合而求出總移位量，藉此實際上就各光調變元件461所對應之像素行之各變化點，求出使來自光調變元件461之輸出光量之轉變位置偏移的移位量(修正前之移位量)以修正像素群之描繪偏差。然後，對於總移位量大於基準距離T之1倍之組合，將表示為基準距離T之β倍之總移位量中之β之整數部分作為像素加工數，將小數部分乘以基準距離T所得之值作為修正移位量，而製作像素加工表6311及修正移位量表6171。藉此，於實際之影像記錄時，當對於各變化點之上述移位量超過一個像素所對應之基板9上之區域之主掃描方向上的寬度時，變更對象影像之像素之像素值，以使變化點朝行方向移動將該移位量除以該寬度所得之值之整數部分之像素數，同時將該變化點所對應之移位量修正為相當於小數部分之值。並且，一邊與主掃描機構25同步，一邊根據變更後之對象影像及修正後之移位量來控制空間光調變器46，藉此當於基板9記錄影像時，一邊使來自光調變元件461之輸出光量之轉變位置偏移而超過相當於1個像素之距離，一邊以高精度記錄影像。

又，於影像記錄裝置1中，對應於所有光調變元件461，而預先準備分別針對數種兩個像素值之組合而表示移動前之變化點之移位量的數個修正表，藉由主運算部62，根據數個修正表，而生成表示針對兩個像素值各組合之變化點之移動量的數個像素加工表6311、以及針對兩個像素值之各組合而對修正表之值進行修正後之移位量(修正移位量)的數個修正移位量表6171。並且，於像素行加工部632中，使用像素行之各變化點中之兩個像素值之組合，並參照所對應之像素加工表6311，藉此進行獲取該變化點之移動量而使變化點於行方向移動之處理，且於修正移位量獲取部618中使用像素行之各變化點中之兩個像素值之組合，並參照所對應之修正移位量表6171，藉此進行獲取該變化點之修正移位量的處理。藉此，於影像記錄裝置1中，當於基板9記錄影像時，可容易地使轉變位置偏移而超過相當於1個像素之距離。

此處，於RIP(Raster Image Processor，光柵影像處理器)中生成對象影像之資料時，亦可考慮製作根據修正表而預先已移動變化點之影像資料，但此時，若修正表之內容發生變更，則必須重新製作影像資料，導致影像記錄之處理所需之時間變長。

與此相對，於影像記錄裝置1中，即便於修正表之內容發生變更之情況，由於如上所述，只要僅更新(修正)像素加工表6311及修正移位量表6171即可，故亦可縮短影像記錄之處理所需之時間。

如上所述，於影像記錄裝置1中，係對數個(所有)光調變元件461分別設置一個元件驅動要素61及一個FPGA控制要素63，因此於本實施形態中，數個FPGA控制要素63中之記憶體631之集合可視為記憶數個光調變元件461所分別對應之數個像素加工表6311的第1表記憶部，而數個元件驅動要素61中之記憶體617之集合可視為記憶數個光調變元件461所分別對應之數個修正移位量表6171的第2表記憶部。又，數個FPGA控制要素63中之像素行加工部632之集合可視為獲取各變化點之移動量並使該變化點於行方向移動的影像變更部，而數個元件驅動要素61中之修正移位量獲取部618之集合可視為獲取對於各變化點之修正後移位量的移位量獲取部。

圖20係表示本發明第2實施形態之影像記錄裝置1a構成的圖。影像記錄裝置1a具有射出影像記錄用光之一個光學頭41a及將記錄影像之記錄媒體9a保持於外側面的作為保持部之保持鼓(drum)70。於記錄媒體9a上藉由採用光學頭41a之光照射(曝光)描繪來記錄影像。作為記錄媒體9a，可使用例如印版、印版形成用膜等。再者，作為保持鼓70，亦可使用無版印刷用之感光鼓，此時，記錄媒體9a相當於感光鼓之表面，可視為保持鼓70一體地保持有記錄媒體9a。

保持鼓70藉由馬達81而以圓筒面之中心軸為中心進行旋轉，藉此，光學頭41a相對於記錄媒體9a而以固定速度在主掃描方向(對下述與被照射來自數個光調變元件之光之位置的排列方向垂直之方向)相對地移動。又，光學頭41a可藉由馬達82及滾珠螺桿83而於與保持鼓70之旋轉軸平行(與主掃描方向垂直)之副掃描方向移動，且光學頭41a之位置可藉由編碼器(省略圖示)而加以檢測。如此，藉由包含馬達81、82、滾珠螺桿83之移動機構，保持鼓70之外側面及記錄媒體9a以固定之速度相對於具有空間光調變器之光學頭41a而於主掃描方向相對地移動，同時亦於與主掃描方向交叉之副掃描方向相對地移動。馬達81、82及編碼器連接於控制部6a，控制部6a對馬達81、82及光學頭41a內之空間光調變器所發出之信號光之射出進行控制，藉此透過光來對保持鼓70上之記錄媒體9a進行影像記錄。

圖21係表示光學頭41a之內部構成概略之圖。於光學頭41a內，配置有一行具有數個發光點之作為棒式半導體雷射的光源43a、及成一行排列而具有繞射光柵型之數個光調變元件的空間光調變器46，且來自光源43a之光透過透鏡471(實際上係由聚光透鏡、柱狀透鏡等所構成)及稜鏡472而被導向空間光調變器46。此時，來自光源43a之光為線性光(光束剖面為線性之光)，而照射至線狀排列之數個光調變元件上。

空間光調變器46之各光調變元件係藉由構成與上述第1實施形態相同的控制部6a之調變器控制部60(參照圖20)來控制。再者，於圖21中，以方塊來表示調變器控制部60之元件驅動要素61。自光調變元件射出之0次光返回至稜鏡472，1次繞射光則被導向於與稜鏡472不同之方向。再者，為了防止成為雜散光，藉由省略圖示之遮光部而將1次繞射光進行遮擋。

來自各光調變元件之0次光被稜鏡472加以反射後，透過變焦透鏡473而被導向至光學頭41a外之記錄媒體9a，數個光調變元件之像以於副掃描方向排列之方式而形成於記錄媒體9a上。變焦透鏡473可藉由變焦透鏡驅動馬達474而改變倍率，藉此，可變更所記錄影像之解析度。

於圖20之影像記錄裝置1a中，亦係利用與圖1之影像記錄裝置1相同之動作而於記錄媒體9a記錄影像。此時，關於各光調變元件所對應像素行之各變化點，求出使來自光調變元件之輸出光量之轉變位置偏移的移位量以修正像素群之描繪偏差，當該移位量超過一個像素所對應之記錄媒體9a上之區域之主掃描方向的寬度時，變更對象影像之像素的像素值，以使該變化點移動將該移位量除以該寬度所得之值之整數部分之像素數，同時將該變化點所對應之移位量修正為相當於小數部分之值。然後，一邊移動記錄媒體9a上之照射位置，一邊根據變更後之對象影像及修正後之移位量來控制空間光調變器46，藉此當於記錄媒體9a記錄影像時，使來自光調變元件之輸出光量之轉變位置偏移超過相當於1個像素之距離，而可以高精度來記錄影像。

以上，對本發明之實施形態進行了說明，但本發明並不受限於上述實施形態，而可進行各種變形。

於圖15例中，敍述了於光調變元件461中將目標驅動電壓設為像素值2所對應之第2灰階驅動電壓V2之距離變短的例(參照圖22之上起第4段)，但亦可如圖22之上起第3段所示，以目標驅動電壓為第2灰階驅動電壓V2之距離變長的方式來決定修正表中之線寬修正移位量。又，於影像記錄裝置1、1a中，除了使光調變元件461之轉變位置朝照射位置之行進方向前側偏移以外(參照圖22之上起第5段)，亦可如圖22之最下段所示，使其朝照射位置之行進方向的後側偏移。

即便於上述情況時，亦可將不進行描繪偏差之修正時之作為移位量的標準移位量設定為基準距離T之1/2倍，將自一個像素所對應之基板9或記錄媒體9a上之區域之主掃描方向之寬度的一半增減基於像素群之描繪偏差之距離(上述實施形態中為線寬修正移位量及位置修正移位量)所得之值，設為進行(伴隨著像素加工之)修正前之移位量，藉此可容易地使光調變元件461之輸出光量之轉變位置朝主掃描方向之兩側移動，其結果為，可高精度地來記錄影像。

於影像記錄裝置1、1a中，假設初始基準時脈間像素數為1，則於圖13之步驟S12之處理中，無法將基準時脈間像素數決定為小於初始基準時脈間像素數的數，且無法防止基準時脈期間內存在數個變化點。因此，於影像記錄裝置1、1a中，必須如圖23之中段及下段所示，將初始基準時脈間像素數設為4或2、即設為2以上。

於上述第1及第2實施形態中，係藉由使用像素加工表6311及修正移位量表6171，而容易地使轉變位置之偏移超過相當於1個像素之距離，但只要於各變化點之移位量超過相當於1個像素之距離時，變更對象影像像素之像素值，以使該變化點移動將該移位量除以該距離所得之值之整數部分之像素數，同時將該變化點所對應之移位量修正為相當於小數部分之值，則亦可不使用像素加工表6311及修正移位量表6171而進行影像記錄。

於圖1及圖20之影像記錄裝置1、1a中，係設置具有數個光調變元件461之空間光調變器46，藉由數個光調變元件461而描繪對象影像中所含之彼此不同的數個像素行，藉此可實現高速地記錄影像，但根據影像記錄裝置之設計，亦可使用具有一個光調變元件之光調變器。此時，可將一個像素行加工部632及一個修正移位量獲取部618分別視為獲取各變化點之移動量而使該變化點於行方向移動之影像變更部、及獲取對於各變化點之修正後移位量的移位量獲取部，而使用相同之像素加工表6311及修正移位量表6171來進行對應於數個像素行之描繪。

於影像記錄裝置1、1a中，描繪中之信號光並非必須為0次光，而亦可將1次繞射光設為信號光。又，亦可使用未彎曲之狀態之可撓條板461a與固定條板461b之相對位置關係與上述實施形態不同、且於可撓條板461a彎曲之狀態下射出0次光之光調變元件461。於該等之情況時，亦可藉由使光調變元件461之動作時序偏移，而實現適當之影像記錄。

只要可撓條板461a及固定條板461b可視為帶狀之反射面，則並非必須為嚴格意義上之條板形狀。例如，塊形狀之上表面亦可發揮作為固定條板之反射面之作用。

光調變元件461並不受限於繞射光柵型，亦可為例如液晶快門(shutter)等。更進一步，光調變元件461並不受限於反射光者，例如雷射陣列亦可發揮作為光調變元件461之作用。於該等之情況下，亦可藉由修正各元件之描繪偏差，而實現適當之影像記錄。

又，亦可使用二維之空間光調變器，此時，可針對光調變元件461之各一維排列，應用上述實施形態之對數個光調變元件461的修正。

於圖1及圖20之影像記錄裝置1、1a中，檢測出總移位量超過相當於1個像素之距離之變化點後，一邊移動該變化點一邊修正移位量的運算部，係藉由主運算部62、數個FPGA控制要素63及數個元件驅動要素61而實現，但於無須高速記錄影像之情況時，運算部之功能亦可僅藉由主運算部62中之運算(藉由軟體)來實現。

又，於影像記錄裝置1、1a中，由於基板9及記錄媒體9a在主掃描方向之移動速度大致固定，故亦可將以上所說明之距離(或位置)之概念視為時間(或時刻)。此時，於運算部之處理中，關於各光調變元件所對應之像素行之各變化點，求出使來自光調變元件之輸出光量之轉變時序偏移的偏移時間以修正像素群之描繪偏差，當該偏移時間超過照射位置移動一個像素之行方向之寬度之時間時，求出將該偏移時間除以像素之行方向之寬度所對應之時間所得之值的整數部分及小數部分，且變更對象影像之像素之像素值，以使該變化點移動整數部分之像素數，同時將該變化點所對應之偏移時間修正為相當於小數部分的時間。然後，根據變更後之對象影像及修正後之偏移時間來控制空間光調變器，藉此當於記錄影像時，使來自光調變元件之輸出光量之轉變時序偏移而超過相當於1個像素的時間，而可以高精度記錄影像。

基板9及記錄媒體9a只要可相對於光學頭41、41a相對地移動，則亦可使用其他方法來進行移動。又，保持影像資訊之記錄媒體可為印刷佈線基板或半導體基板等塗佈有感光性材料、或者具有感光性之其他材料，亦可為對光照射所產生之熱發生反應之材料。

雖已詳細描述並說明了本發明，但上述說明係為例示而並非限定者。因此，可謂只要不脫離本發明之範圍，則可具有多種變形及形態。

1、1a．．．影像記錄裝置

2．．．保持部移動機構

3．．．基板保持部

4．．．光照射部

6、6a．．．控制部

9．．．基板

9a．．．記錄媒體

11．．．基台

12．．．框架

23．．．副掃描機構

24．．．底板

25．．．主掃描機構

31．．．平台

32．．．平台旋轉機構

33．．．支持板

41、41a．．．光學頭

42．．．光源光學系統

43．．．UV光源

43a．．．光源

44．．．光源驅動部

45．．．射出部

46．．．空間光調變器

47、451．．．光學系統

51．．．電流源

52．．．電阻

53．．．連接墊

60．．．調變器控制部

61．．．元件驅動要素

62．．．主運算部

63．．．FPGA控制要素

70．．．保持鼓

71、71a．．．像素

81、82．．．馬達

83．．．滾珠螺桿

91．．．主表面

231、251．．．線性馬達

232．．．線性導軌

252．．．氣壓滑軌

301．．．驅動電壓資料

302．．．移位延遲數資料

303、303a、303b、303c、303d．．．基準時脈

304．．．．．．延遲時脈

305．．．移位結束時脈

321．．．旋轉軸

461．．．光調變元件

461a．．．可撓條板

461b．．．固定條板

461c．．．基準面

471．．．透鏡

472．．．稜鏡

473．．．變焦透鏡

474．．．變焦透鏡驅動馬達

610、611、613．．．暫存器

612．．．D/A轉換器

614．．．計數器

615．．．比較器

616．．．移位部

617、631．．．記憶體

618．．．修正移位量獲取部

619．．．驅動電壓獲取部

621．．．移位量超過檢測部

622．．．表生成部

632．．．像素行加工部

633．．．輸出資料生成部

681．．．修正表

690a、690b、690c．．．運行長度

691．．．像素行資料

692．．．轉換像素資料

6171．．．修正移位量表

6172．．．基準位置位址表

6173．．．驅動電壓表

6311．．．像素加工表

A1、A1a．．．基準位置

A2．．．變化點之位置

L1．．．入射光

L2．．．0次光

L3．．．1次繞射光

S11～S21．．．步驟

T．．．基準距離

V1．．．第1灰階驅動電壓

V2．．．第2灰階驅動電壓

Vcc．．．高電位

W．．．設定距離

圖1係第1實施形態影像記錄裝置之側視圖。

圖2係影像記錄裝置之俯視圖。

圖3係表示空間光調變器之圖。

圖4A係表示光調變元件之剖面之圖。

圖4B係表示光調變元件之剖面之圖。

圖5係表示元件驅動要素一部分構成之圖。

圖6係表示基準時脈及延遲時脈之圖。

圖7係表示調變器控制部構成之方塊圖。

圖8係表示轉換像素資料構造之圖。

圖9係用以說明轉換像素資料之圖。

圖10係表示基準位置位址表之圖。

圖11係表示修正移位量表之圖。

圖12係表示驅動電壓表之圖。

圖13係表示於基板上記錄影像之動作流程的圖。

圖14係用以說明標準移位量之圖。

圖15係用以說明線寬修正移位量之圖。

圖16係用以說明位置修正移位量之圖。

圖17係表示像素行之資料構造之圖。

圖18係表示基準時脈及像素行之圖。

圖19係表示基準時脈及像素行之圖。

圖20係表示第2實施形態影像記錄裝置構成的圖。

圖21係表示光學頭之內部構成的圖。

圖22係表示線寬修正移位量及位置修正移位量之其他例的圖。

圖23係表示基準時脈間像素數其他例的圖。