TWI387511B - 拋光設備及其拋光治具 - Google Patents

Description

拋光設備及其拋光治具

本發明是有關於一種拋光治具，且特別是有關於一種小尺寸基板之拋光治具。

對一般的顯示面板而言，當其切割成小尺寸而欲進行後段製程時，通常均需要先透過砂紙或拋光機等拋光工具來進行拋光的動作，使其邊緣的切割紋或裂紋(crack)獲得一定程度的改善。

然而，上述的拋光過程通常僅能藉由人工的方式來進行，亦即必須由操作人員手持欲拋光的面板或基板，輔以拋光工具進行拋光才能完成。如此一來，不僅拋光的品質不穩定，生產效率無法提升，而且亦不利於操作人員的拋光過程，著實耗時費力。

本發明之一目的是在提供一種拋光治具，藉以節省拋光過程所需耗費的時間。

本發明之另一目的是在提供一種拋光設備，藉以使面板或基板拋光後的品質趨於穩定。

本發明之一技術樣態係關於一種拋光治具，其包含一模板以及一軸承。模板中間設置有一軸承孔，且模板上具有複數個槽孔以供基板穿設卡合，其中上述槽孔係相對於模板上承載基板的表面而傾斜地設置。軸承是穿設於模板中間的軸承孔，並固定模板。

本發明之另一技術樣態係關於一種拋光治具，其包含一模板、一軸承以及一蓋板。模板上具有複數個槽孔以供基板穿設卡合，且模板中間設置有一軸承孔。軸承穿設於模板中間的軸承孔，並固定模板。蓋板係在模板承載基板時設置於所承載之基板上方，以輔助固定所承載的基板，並施加一定壓力予所承載之基板。

本發明之又一技術樣態係關於一種拋光設備，其包含一拋光機以及一拋光治具，其中拋光機具有一研磨墊，而拋光治具則是設置於拋光機的研磨墊上。拋光治具包含一模板、一軸承以及一蓋板。模板上具有複數個槽孔以供基板穿設卡合而經由拋光機之研磨墊進行拋光，且模板中間設置有一軸承孔。軸承穿設於模板中間之軸承孔，並固定模板。蓋板是在模板承載基板時設置於所承載之基板上方，以輔助固定所承載之基板，並施加一定壓力予所承載之基板。

根據本發明之技術內容，應用前述拋光設備及其拋光治具不僅有利於操作人員對面板或基板進行拋光，而且更可提升生產效率、穩定拋光的品質，有效地加強面板或基板的抗折強度(Bending Strength)。

第1圖係繪示依照本發明實施例之一種拋光治具的示意圖。拋光治具100包含模板110以及軸承120，其中模板110的中間設置有軸承孔112(繪示於第3圖)，模板110上具有複數個槽孔114，以供多個基板(如：切割後的小尺寸面板)102穿設卡合，進而承載於模板110上，其中所承載的基板102可依實際上拋光的需求，於穿設槽孔114之後略微凸出模板110承載表面的相對一面，使得基板102凸出模板110的邊緣部分有利於作拋光的動作。另外，上述軸承120以及軸承孔112的形狀不限於第1圖和第3圖所示，本領域具通常知識者可依據實際應用，將其設計為矩形、三角形、橢圓形或多邊形等非圓結構，藉以在進行研磨動作時，方便帶動由軸承120所串接的部件而同時進行轉動。此外，上述槽孔114相對於模板110的表面呈傾斜地設置，使得基板102係傾斜地承載於模板110上。第2圖係繪示依照本發明實施例之一種基板傾斜地承載於模板上的示意圖。如第1圖與第2圖所示，槽孔114以及垂直模板110之承載表面的垂直面之間，兩者所形成的角度可大約為0～50度，使得基板102傾斜約0～50度而承載於模板110上。

另一方面，軸承120則是穿設於模板110中間的軸承孔112，並固定模板110。在一實施例中，模板110係由鐵氟龍(Teflon)材料所製成，且其上的槽孔114數目約3～60個，惟不限於此，可依實際需求調整。另外，每個槽孔的寬度應略小於基板的厚度，以使基板插入槽孔時，受到一個較大的夾持力，防止在研磨過程中基板從槽孔中滑落出去。

第3圖係繪示如第1圖所示之拋光治具分解後的示意圖。如第3圖所示，槽孔114可以呈圓形放射狀均勻分佈於模板110上，而軸承120則是可包含第一連接件122以及第二連接件124，且第一連接件122和第二連接件124之一第一端係透過軸承孔112相互連接並固定，藉以將模板110固定於第一連接件122和第二連接件124之間。值得注意的是，第一連接件122和第二連接件124的位置可互相替換，如此一來，當基板102需要換邊作拋光的動作時，則無需將所承載的基板102卸下，而僅需將第一連接件122和第二連接件124的位置互相替換即可。在一實施例中，當第一連接件122和第二連接件124與模板110組合之後，第一連接件122會凸出模板110表面約0.5～5毫米(mm)，而第二連接件124則是凸出模板110表面約10～70毫米(mm)。

第4圖係繪示依照本發明另一實施例之模板的示意圖。相較於第3圖，槽孔114a係分佈於模板110a上的三個區域，其中每一個區域的槽孔114a均相互平行，且與其他區域中的槽孔間形成相同角度。以本實施例而言，相鄰兩區域之槽孔間所形成的角度均約為120度。

此外，拋光治具100更可包括蓋板，其用以在模板110承載基板102時設置於所承載的基板102上方。第5A圖係繪示依照本發明實施例之一種拋光治具輔助件的示意圖。請同時參照第1圖、第2圖和第5A圖，蓋板130可依實際需求設計為平板蓋體或是空心罩體，並在其中間設有通孔132，藉以供軸承120穿透，且蓋板130上更可設置有蓋持部134，以方便操作者拿取蓋板130。當基板102承載於模板110上時，蓋板130可設置於所承載之基板102上方，以輔助固定所承載之基板102，並施加一定壓力予所承載之基板102，而此時軸承120中的第二連接件124之一第二端會因此穿過蓋板130的通孔132。

再者，拋光治具100更可包括配重塊140，其用以設置於蓋板130上，輔助施加額外的壓力予所承載之基板102。在一實施例中，配重塊140的重量係約為0.5～2Kg。此外，配重塊140中間更設有另一通孔142，以供蓋板130的蓋持部134穿透，而蓋持部134的高度可大於或等於配重塊140的厚度。在一實施例中，配重塊140係呈一同心圓狀，其外直徑約100～150毫米(mm)，其內直徑約20～60毫米(mm)。當蓋持部134的高度大於配重塊140的厚度達相當程度時，操作者可依據實際的需求，將多個不同重量或相同重量的配重塊140加於蓋板130之上，藉以增加所需的壓力。

第5B圖係繪示依照本發明另一實施例之蓋板的示意圖。相較於第5A圖而言，蓋板130a上設置有另一握把形式的蓋持部134a，藉以供操作者更方便拿取蓋板130a。同樣地，當基板102承載於模板110上時，蓋板130a可設置於所承載之基板102上方，以輔助固定所承載之基板102，並施加一定壓力予所承載之基板102，而此時軸承120中的第二連接件124之一第二端會因此穿過蓋板130a的通孔132a。

第6圖係繪示依照本發明實施例之一種由模板、蓋板和配重塊所組成之拋光治具的示意圖。如圖所示，拋光治具200係可由模板110、蓋板130和配重塊140所組成，其中可呈空心罩體的蓋板130置放於模板110上，並蓋住模板110所承載的基板之後，配重塊140再加於蓋板130之上，增加額外的壓力予所承載之基板。另外，上述軸承120以及軸承孔112的形狀不限於第1圖和第3圖所示，本領域具通常知識者可依據實際應用，將其設計為矩形、三角形、橢圓形或多邊形等非圓結構，且上述模板110、蓋板130及配重塊140等部件，亦可相對應軸承120和軸承孔112作結構上的改變，藉以在組裝時方便藉由軸承120和軸承孔112作串接，並在進行研磨動作時，方便藉由藉由軸承120帶動所串接的模板110、蓋板130及配重塊140等部件而同時進行轉動。

第7圖係繪示依照本發明實施例之一種拋光設備的示意圖。拋光設備300包括拋光機310以及如第6圖所示之拋光治具200，其中拋光機310上具有研磨墊320，而拋光治具200則是當基板欲進行拋光動作時，將其設置於研磨墊320上，藉由研磨墊320對拋光治具200所承載的基板進行拋光。值得注意的是，操作人員可選擇將拋光治具200及其中的基板組設好之後，再將其設置於研磨墊320上，或者可選擇先將模板設置於研磨墊320上，然後再將基板、蓋板和配重塊依序設置於模板上，或者可依實際情形作不同順序的設置，在此並不以第7圖所示為限。在一實施例中，操作人員係將拋光機310中的研磨漿(polish slurry)流速設定為1～10m³ /min，而將研磨墊320的轉速設定為10～150rpm/min，藉以對基板作有效的拋光動作。

由上述本發明之實施例可知，應用前述拋光設備及其拋光治具不僅有利於操作人員對面板或基板進行拋光，而且更可提升生產效率、穩定拋光的品質，有效地加強面板或基板的抗折強度(Bending Strength)。

雖然本發明已以實施方式揭露如上，然其並非用以限定本發明，任何熟習此技藝者，在不脫離本發明之精神和範圍內，當可作各種之更動與潤飾，因此本發明之保護範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。

100、200．．．拋光治具

102．．．基板

110、110a．．．模板

112．．．軸承孔

114、114a．．．槽孔

120．．．軸承

122．．．第一連接件

124．．．第二連接件

130、130a．．．蓋板

132、132a、142．．．通孔

134、134a．．．蓋持部

140．．．配重塊

300．．．拋光設備

310．．．拋光機

320．．．研磨墊

第1圖係繪示依照本發明實施例之一種拋光治具的示意圖。

第2圖係繪示依照本發明實施例之一種基板傾斜地承載於模板上的示意圖。

第3圖係繪示如第1圖所示之拋光治具分解後的示意圖。

第4圖係繪示依照本發明另一實施例之模板的示意圖。

第5A圖係繪示依照本發明實施例之一種拋光治具輔助件的示意圖。

第5B圖係繪示依照本發明實施例之另一種拋光治具輔助件的示意圖。

第6圖係繪示依照本發明實施例之一種由模板、蓋板和配重塊所組成之拋光治具的示意圖。

第7圖係繪示依照本發明實施例之一種拋光設備的示意圖。

100．．．拋光治具

102．．．基板

110．．．模板

112．．．軸承孔

114．．．槽孔

120．．．軸承

Claims (22)

1. 一種拋光治具，包含：一模板，該模板中間設置有一軸承孔，該模板上具有複數個槽孔以供基板穿設卡合，其中該些槽孔係相對於該模板上承載基板之表面傾斜地設置；以及一軸承，穿設於該模板中間之該軸承孔，並固定該模板，其中該軸承更包含一第一連接件以及一第二連接件，該第一連接件和該第二連接件係透過該軸承孔相互連接並固定。
2. 如請求項1所述之拋光治具，其中該些槽孔係以圓形放射狀均勻分佈於該模板上。
3. 如請求項1所述之拋光治具，其中該些槽孔係分佈於該模板上之三個區域，每一該些區域中之該些槽孔相互平行，且與其他區域中之該些槽孔間形成相同角度。
4. 如請求項1所述之拋光治具，其中該些槽孔與垂直該模板承載表面之一垂直面間所形成之角度係約為0~50度。
5. 一種拋光治具，包含：一模板，該模板上具有複數個槽孔以供基板穿設卡合，該模板中間設置有一軸承孔； 一軸承，穿設於該模板中間之該軸承孔，並固定該模板；以及一蓋板，在該模板承載基板時設置於所承載之基板上方，以輔助固定所承載之基板，並施加一定壓力予所承載之基板。
6. 如請求項5所述之拋光治具，更包含：一配重塊，設置於該蓋板上，並輔助施加額外壓力予所承載之基板。
7. 如請求項5所述之拋光治具，其中該蓋板係一平板蓋體，中間設有一通孔，以供該軸承穿透。
8. 如請求項5所述之拋光治具，其中該蓋板係一空心罩體，中間設有一通孔，以供該軸承穿透。
9. 如請求項7或8所述之拋光治具，其中該軸承更包含一第一連接件以及一第二連接件，且該第二連接件之一第一端穿過該軸承孔並與該第一連接件固定，該第二連接件之一第二端穿過該蓋板之該通孔。
10. 如請求項5所述之拋光治具，其中該些槽孔係以圓形放射狀均勻分佈於該模板上。
11. 如請求項5所述之拋光治具，其中該些槽孔係分佈於該模板上之三個區域，每一該些區域中之該些槽孔相互平行，且與其他區域中之該些槽孔之間形成相同角度。
12. 如請求項5所述之拋光治具，其中該些槽孔係相對於該模板上承載基板之表面傾斜地設置。
13. 如請求項5所述之拋光治具，其中該些槽孔與垂直該模板承載表面之一垂直面間所形成之角度係約為0~50度。
14. 一種拋光設備，包含：一拋光機，具有一研磨墊；以及一拋光治具，設置於該拋光機之該研磨墊上，並包含：一模板，該模板上具有複數個槽孔以供基板穿設卡合而經由該拋光機之該研磨墊進行拋光，該模板中間設置有一軸承孔；一軸承，穿設於該模板中間之該軸承孔，並固定該模板；以及一蓋板，在該模板承載基板時設置於所承載之基板上方，以輔助固定所承載之基板，並施加一定壓力予所承載之基板。
15. 如請求項14所述之拋光設備，更包含： 一配重塊，設置於該蓋板上，並輔助施加額外壓力予所承載之基板。
16. 如請求項14所述之拋光設備，其中該蓋板係一平板蓋體，中間設有一通孔，以供該軸承穿透。
17. 如請求項14所述之拋光設備，其中該蓋板係一空心罩體，中間設有一通孔，以供該軸承穿透。
18. 如請求項16或17所述之拋光設備，其中該軸承更包含一第一連接件以及一第二連接件，且該第二連接件之一第一端穿過該軸承孔並與該第一連接件固定，該第二連接件之一第二端穿過該蓋板之該通孔。
19. 如請求項14所述之拋光設備，其中該些槽孔係以圓形放射狀均勻分佈於該模板上。
20. 如請求項14所述之拋光設備，其中該些槽孔係分佈於該模板上之三個區域，每一該些區域中之該些槽孔相互平行，且與其他區域中之該些槽孔之間形成相同角度。
21. 如請求項14所述之拋光設備，其中該些槽孔係相對於該模板上承載基板之表面傾斜地設置。
22. 如請求項14所述之拋光設備，其中該些槽孔與垂直該模板承載表面之一垂直面間所形成之角度係約為0~50度。