TWI362548B - - Google Patents

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1362548 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於一種基板的修補設備，特別是指一種 底射式雷射修補裝置。 【先前技術】 液晶基板在電極圖型化（electrode patterning )製程中 ’常因公差或污染產生缺陷’造成最終產品的畫面在缺陷 點處怪亮或恆暗。所以要透過檢測設備尋找出每一缺陷點 的座標位置，再利用雷射修補裝置將各缺陷點一一修補之 〇 如圖1所示，現有一種底射式液晶雷射修補裝置（申 請案號第93204344號專利案），包含有一基座1、一設置在 該基座1上的承台2、一設置在該承台2 —側的X軸移載夾 具3、一設置在該承台2下方的γ轴移載夾具4及一架設在 該Y軸移載夾具4上的雷射發射器5。該承台2用以承載一 液晶基板6,且由多數長形板體2〇1共同界定出一承接面 202，該等板體201均設有多數氣孔2〇3，且該承台2可藉 由該等氣孔203喷氣以讓液晶基板6氣浮在該承接面2〇2 上方，且該承接面202中段具有一沿γ轴向延伸的縫隙2〇4 。該X轴移載夾具3具有一沿一 χ轴向設於該承台丨一側 邊上的線性滑軌301、一可沿該線性滑軌3〇1位移的長臂 302及二設於該長臂3〇2兩側的夾臂3〇3，該等夾臂3〇3用 以夾持液晶基板6。該γ轴移載夾具4具有__固設在該基座 1上且沿一垂直於該X轴向的γ軸向位移的線性滑軌4〇1。 6 1362548 該雷射發射器5是正對於該缝隙204 » 藉此’利用該等氣孔203噴氣以讓液晶基板6氣浮在 該承接面202上方’以及利用該X轴移載夾具3夾持液晶 基板6於X軸向產生位移，配合該雷射發射器5由下朝上 發射’即可對液晶基板6Y軸向進行修補工作。 雖然，這種液晶雷射修補裝置可達到預期的修補目的 ’但實際應用時仍有下列缺失： ^ 一、前段檢測是在該液晶基板6固定狀態取得缺陷點 座標’但修補工作卻須使該液晶基板6沿該X軸向移動， 只要稍有誤差，就無法準確重現缺陷點的座標，.例如因製 造組配之公差或使用一段後產生摩耗，導致χ轴移載夾具3 的長臂302相對於該承台2並非平直，或是該等夾臂3〇3 相對於該長臂302形成歪斜時，則利用χ軸移載夾具3搬 移該液晶基板6，並不能與該縫隙2〇4完全正交，則無法達 到準確修補缺陷點之目的。 • 二、該液晶基板6是利用該等氣孔203喷氣以氣浮在 該承接面202上方，並配合該χ轴移載夾具3搬運產生移 動，所以液晶基板6是在氣浮狀態下產生位移，位移且停 止後仍會產生微震動，若立刻進行修補，會造成該雷射發 射器5對焦不準、雷射修補不準確之缺失。 三、為了克服該液晶基板6在氣浮位移後需要穩住定 位，在由動態轉成靜態時需要一定時間，貝^會產生修補 效率低的缺失。 "" 【發明内容】 7 二此企本發明之㈣，即在提供一種可準確重現缺陷 點座標^射修補準確、效率高之騎式雷射修補裝置。 於是，本發明之底射式雷射修補裝置，是適用於對一 基板的-修補面進行雷射修補，並包含一機架一設置在 該機架的失持單元、一設置在該機架的支樓單元一設置 在該機架的移載單元及―安裝在該移載單元上錄在該基 板下方的雷射發射單元❺該夾持單元具有一可定出一基準 線之定位組、二對應該定位組的夾制組及一與該定位組相 對設置的推抵組，絲準線是沿ϋ向延伸且供該基 板其中一側邊抵靠定位，該等夾制組各具有多數間隔設置 的夾制部，該等夾制部是沿該第一方向對該基板另外兩個 相對侧邊失制定位，該推抵組具有一與該基準線配合以使 基板沿一垂直於該第一方向的第二方向定位的推抵件。該 支撐單元是由多數支撐件共同界定出一沿水平設置的承托 面’該承托面可支撐該基板之修補面，該等支撐件可沿垂 直方向相對於基板產生昇降，以及沿水平方向相對於該機 架產生位移’以相對於該基板改變支撐位置。該移載單元 具有一沿該第一方向延伸的第一線性滑軌組、一設置在該 第一線性滑軌組上的滑板、一組設在該滑板且沿第二方向 延伸的第二線性滑軌組、一設置在該第二線性滑軌組上的 基座、一可驅動該滑板沿該第一方向相對於機架移動的第 一驅動組及一可驅動該基座沿該第二方向相對於該滑板移 動的第二驅動組。該雷射發射單元受該移載單元運載可沿 該第一方向及第二方向相對於該基板產生位移，並具有一 1362548 對應該修補面的雷射發射部。 藉此’利用該夾持單元可將基板沿水平方向夾制定位 ’利用該支撐單元的承托面可使基板獲得穩固定位，再配 合該移載單元運載該雷射發射單元依缺陷點座標進行修補 ’即可達到準確重現缺陷點及準確修補之目的。 【實施方式】 有關本發明之前述及其他技術内容、特點與功效，在 • 以下配合參考圖式之二個較佳實施例的詳細說明中，將可 清楚的呈現。 在本發明被詳細描述之前，要注意的是，在以下的說 明内容中’類似的元件是以相同的編號來表示。 如圖2、圖3及圖4所示，本發明之底射式雷射修補裝 置的第一較佳實施例，是適用於對一大、中尺寸（例如47 吋〜17吋）之液晶基板1〇〇的一修補面11〇進行雷射修補， 該液晶基板100具有平行設置的一第一、二長側邊12〇、 • 130及銜接於該第一、二長側邊120、130之間的一第一、 二短側邊140、140,，且其中三個周角處各設有一歸零記號 150、150’、150”（見圖6)，該雷射修補裝置包含一機架1〇 、二組設在該機架10的導執20、二設置在該機架1〇且分 別平行併設在該等導轨20 —側的螺桿3〇、一設置在該機架 10的夹持單元40、一設置在該夾持單元4〇之間的支撐單 元50、-設置在該機架10的移載單元6〇及一安裝在該移 載單元60上的雷射發射單元70。 該機架1〇是以多數框桿U構成矩型立方框架狀，並具 9 有一頂部12及—設於該頂 i七 .,^ 卜方的底部13 ’該頂邱 具有-對應進料方向的第一側邊14及 頂部12 相反設置的第二側邊15H > ^第一側邊14 衣乐 二側邊14、15县、儿 -方向X延伸。另外，在該第一…第 有一第一端部16及·一盥之間又具 部Π。 &與該第一端部^相反設置的第二端 該=軌20是呈長桿狀’分別組設在該機 二;Γ14、15’且由該第一端部16沿該第-方向二 伸至該第二端部17。 门X延 側邊14 該等螺桿30分別設置在該機架1〇的第一、 、15且沿該第一方向X延伸。 該夾持單元40是設晉冰每·祕， 置在該機糸1〇的頂部12,並具右 一定位組41、對應該定位組41 、 4 弟 一夹制組42、 • 。該定位組41相對設置的推抵組44。 該定位組4i具有-固設在該機架1〇的第二側邊。的 =架川、四支固設在該固^架4ιι頂端且沿—垂直於該 第一方向X的第二方向Y延伸的定位桿412及多數轴設在 該等定位桿412末端底部的滾輪413，且該等滾輪413的外 」周緣共同界疋出一供該液晶基板1〇〇第一長側邊㈣抵 靠定位的基準線L (如圖5所示)，亦即，該基準線l是沿 s第方向X延伸，且相切於該等滾輪413的外周緣上。 該第一、二夾制組42、43分別對應於該第一、二端部 W、17，並各具有二可分別沿該等導軌2〇滑動的滑座421 431連接在該等滑座421、431間且沿該第二方向γ 10 1362548 延伸的橫桿422、432、多數間隔設置在該橫桿422、432上 的夾桿423、433、多數固設在該橫桿422、432上且可驅動 該等夾桿423、433沿第一方向X移動的壓力缸424、434 及二組設在該等滑座421、431内部且螺合該等螺桿30上 的伺服驅動器425、435。該等夾桿423、433的末端各設有 一以滚輪為例的夹制部426、436，該等夹制部426、436沿 該第一方向X共同對該液晶基板100第一、二短側邊140、 140’夾制定位（如圖6所示）。 該推抵組44具有二組設在該機架10頂部12且沿該第 一方向X延伸的導引件441、一與該等導引件441平行設置 的螺桿442、一可驅動該螺桿442轉動的馬達442’、一可沿 該等導引件441且受該螺桿442驅動的定位座443、一安裝 在該定位座443上的Z向壓力缸444、一設置在該定位座 443下方且受該Z向壓力缸444驅動可沿一垂直於該第一、 二方向X、Y的第三方向Z昇降的固定板445、一軸設在該 固定板445底部且沿該第二方向Υ延伸的螺桿446、一可驅 動該螺桿446轉動的馬達447、一螺設在該螺桿446上且受 該馬達447驅動可沿該第二方向Υ移動的移動塊448、一安 裝在該移動塊448底部的驅動壓缸448’及一受該驅動壓缸 448’連動的推抵件449，該推抵件449為兩個間隔設置的滾 輪。 該支撐單元50是設置在該機架10頂部12,並具有套 設在該等導桿20上且位在該等夾制組40間的一第一支撐 組51、一位在該第一支撐組51與該第二夾制組43之間的 11 1362548 第二支撐k 52、一位在該第一支撐組51與該第一夾制組 42之間的第二支撐組53及一位在該第二支撐組52與該第 二夾制組43之間的第四支撐組54。 該第一、二、三、四支撐組51、52、53、54各具有二 可分別沿該等導軌20滑動的滑動塊511、521、531、541、 一連接在該等滑動塊511、521、531、541間的支撐件512 、522、532、542、二組設在該等滑動塊 511、521、531、 541内部且螺合於該螺桿3〇上的伺服驅動器513、、 533、543及二安裝在該等滑動塊511、521、531、541與該 等支撑件512、522、532、542間的壓力缸514、524、534 、544 ’該第一、二、三、四支撐組51、52、53、54的支 撐件512、522、532、542都是沿該第二方向γ延伸且呈長 桿狀，且該等支撐件512、522、532、542受所對應的壓力 缸514、524、534、544驅動可沿第三方向Z產生昇降。該 專支撐件512、522、532、542可共同界定出一沿水平設置 且可支撐該液晶基板100之修補面110的承托面55，並各 具有多數可對該液晶基板100吹氣或吸真空的氣孔56及多 數由一頂面凹設的凹槽57’該等凹槽57可供該等滾輪413 及夾制部426、436穿過。 該移載單元60是組設在該機架1〇底部13，並具有一 沿該第一方向X延伸的第一線性滑執組61、一設置在該第 一線性滑轨組61上的滑板62、一組設在該滑板62且沿該 第二方向γ延伸的第二線性滑軌組63、一設置在該第二線 性滑軌組63上的基座64、一驅動該滑板62沿該第一方向 12 1362548 =於機㈣移動的第一驅動組66、一驅動該基“4 心第一方向γ相對於該滑板62移動的第二驅動組… 該：射發射單元70是安裝在該移載單元6〇的基座μ 立在該液晶基板100下方，受該第一、二驅動組的、 二驅動可沿該第一方向X及第二方向γ相對於該液晶基板 00產生位移，並具有二對應·修補面1〇〇且具有不同放大 倍率的攝㈣頭71及二可發射不同光斑大小的雷射發射部

72 °

該液晶基板100在進行修補之前，已預先經過前一工 作站的檢測，缺陷點座標也經定址取得。再如圖2及圖5 所示’當欲對大尺寸（例如47时、37时）液晶基板議進 行修補時，該夾持單元40的第一、二夾制組42、43朝外 退移，利用機械手臂200將液晶基板1〇〇送進該機架1〇頂 邛12時，該液晶基板1 〇〇的第一長側邊丨2〇尚未抵靠定位 在該定位組41的基準線L上，此時，該支撐單元5〇的氣 孔56吹氣，機械手臂200下降放片、移出。接著，如圖2 、圖4及6所示，該推抵組44的Z向壓力缸444驅動該固 定板445向下位移後，再利用該驅動壓缸448，驅動該推抵 件449推抵該液晶基板1〇〇的第二長側邊13〇，且使液晶基 板100沿Y向移動，直到該第一長側邊12〇抵靠定位在該 基準線L上，繼續，該第一、二夾制組42、43分別向右、 左位移，使得該等夾制部426、436夾持該液晶基板1〇〇的 第一、二短侧邊140、140’，隨即該驅動壓缸448,再驅動該 推抵件449往反方向退移’該Z向壓力缸444再驅動該固 13 1362548 定板445向上昇起，再操作該支標單it 50的氣孔56吸真 空以：定該液晶基板100’利用該移載單元6〇運載該雷射 發射早兀70，以攝影鏡頭71讀取該液晶基板100的歸零記 號150 150、150後，就可依各缺陷點的座標位移以雷 射發射部72對缺陷點逐-進行修補。再如圖2及7所示， 為了修補該第一、二、三、四支撐組51 52 53 54對該 液晶基板_遮蔽的部份，該第三、四支额53、54同時 破真空，並利用該壓力缸534、544驅動該支禮件阳、W 先下降再分別相對向内位移，再向上昇起頂持在液晶基板 1〇0上後吸真空（此時，仍有該第一、二支樓組51、52對 液晶基板_支揮），之後，該第一、二支撐組M M也 在破真空後，利_力缸514、524驅動該支撐件512、 522先下降再分別相對向内位移，再向上昇起頂持在液晶基 板上後吸真空（此時，仍有該第三、四支撐组 對液晶基板100支撐），如此一來，即可利用該雷射發射部 72修補原先該第一、二、三、四支撐組5ι、52 ϋ所 遮蔽的區域。最後如圖2及圖8所示’該第三、四支撐組 53、54破真空後’利用㈣力虹说、…驅動該支撐件 532、542先下降再分別相對向外位移，再向上昇起頂持在 液晶基板100上（即回復至圖5、圖6的原始位置），該第 一、二支樓組51、52也在破真空後，利用該壓力缸514、 524驅動該支撐件512、522先下降再分別相對向外位移， 再向上昇起頂持在液晶基板上（即回復至圖5、圖6的 原始位置），且再操作該第-、二夹制組^向外移出 14 1362548 ’以取消對該液晶基板100的炎持， 200取片。

再如圖2及圖9所示，當欲對中尺寸（例如32吋〜 叶）液晶基板1〇〇進行修補時，操作動作與圖5〜圖8類似 不再多加贅述，其差異處僅在於：利用該第一二支撐組 51、52對液晶基板100就足以穩定支撐，而該第三、四支 撐組53、54並無作用，只會在該夹持單元4〇進行夾制、 釋放操作時，隨該第一、二夾制組42、43朝内、外產生位 移，且為適用不同尺寸之液晶基板1〇〇，該推抵組44可利 用馬達447驅動螺桿446，可使移動塊448間接帶動推抵件 449沿第二方向γ位移。 因此’本發明之功效可歸納如下：

即可等待該機械手臂 一、 經預先檢測，缺陷點座標已定址取得，而該液晶 土板100移至該機架時，利用該夾持單元及該支標 早疋50的配合可穩固定位，並可準確地重現缺陷點座標， 進行雷射修補後可達到完全修補之目的。 二、 由於該液晶基板1〇〇是穩固定定位在該機架1()頂 邛12,且該雷射發射單元7〇利用該移載單元6〇運載可準 確對焦、準確修補。 三、 因為無微振動的產生，該液晶基板100也無由動 態轉成靜態的問題，修補效率高。 再如圖10所示（未見於圖10~13之元件請配合參閱圖 2 )’本發明的第二實施例與第一實施例的構成組件大致相 同’其差異僅在於該支撐單元5〇僅具有一第一支撐組51 15 1362548 及-第二支撐組52。且適用於對中、小尺寸（例如％叶 〜12·1 D液晶基板進行修補’利用機械手冑綱將液 晶基板100送至該機架10頂部12，第一短側邊14〇尚未抵 靠定位在該基準線L上，此時，該第—、三支㈣51、52 對液晶基板100產生支撐，且利用氣孔56吹氣機械手臂 200下降放片、移出。接著，如圖u所示該推抵組44的 推抵件449推抵該液晶基板1〇〇的第二短側邊14〇,，且使 φ 第一短側邊I40抵靠定位在該定位組41的基準線L上，繼 續’該第一、二夹制組42、43向右、左位移，該等夹制部 426、436夾制在該液晶基板1〇〇第一、二長側邊i2〇、13〇 後，該推抵組44隨即退移，再操作該第一、二支撐組51、 52的氣孔56吸真空以固定該液晶基板1〇〇，利用該移載單 元60運載該雷射發射單元7〇,以攝影鏡頭71讀取該液晶 基板100的歸零記號150、15〇，、15〇，，後，就可依各缺陷點 的座標位移，以雷射發射部72對缺陷點逐一進行修補。 • 再如圖12所示，為了修補該第一、二支撐組51、52 對該液晶基板100遮蔽的部份，該第一支撐組51破真空， 該壓力缸514驅動該支撐件512先下降再朝該第二支撐組 52位移，再向上昇起頂持在液晶基板1〇〇上後吸真空（此 時，仍有該第二支撐組52對液晶基板10〇支樓），該第二 支#組52也在破真空後，利用該壓力缸524驅動該支撐件 522先下降再朝該第一支樓組51位移，再向上昇起頂持在 液晶基板100上後吸真空（此時，仍有該第一支撐組51對 液晶基板100支撐），如此一來，即可利用該雷射發射部72 16 1362548 1原先该第-、二支撐組51、52所遮蔽的區域。最後如 用今题該第—、—支撐组51、52也在破真空後，利 別=4、524驅動該切件512、522先下降再分 。·向外位移’再向上昇起頂持在液晶基板上（即 回復至圖10、圖11的原始位置），且再操作該第一、二夾 制’且42、43向外移出，並取消對該液晶基板_的夾持， 即可等待該機械手臂200取片。

因此，本發明第一、二實施例可適用多種尺寸之液晶 基板100由下方進行修補作業。 值得說明的是，雖然上述實施例是以修補液晶基板作 為應用範例’ 只要是有雷射修補需求的任何基板（ substrate)’均為發明適用之範圍。

准以上所述者，僅為本發明之較佳實施例而已，當不 能以此限定本發明實施之範圍，即大凡依本發明申請專利 範圍及發明說明内容所作之簡單的等效變化與修飾皆仍 屬本發明專利涵蓋之範圍内。 【圖式簡單說明】 圖1是現有一種底射式液晶雷射修補裝置的俯視組合 示意圖； 圖2是一立體組合圖’說明本發明底射式雷射修補裝 置的一第一較佳實施例； 圖3是本發明上述較佳實施例之一俯視組合示意圖； 圖4是沿圖3中之線IV-IV的一剖面圖； 圖5是本發明上述較佳實施例之一操作示意圖，說明 17 1362548 中、大尺寸液晶基板以機械手臂移入一機架頂部； 圖6是本發明上述較佳實施例之一操作示意圖，說明 一夾持單元對該液晶基板夾制、一支撐單元對液晶基板吸 真空固定； 圖7是本發明上述較佳實施例之一操作示意圖，說明 該支撐單元的支撐組位移以修補未能修補之區域； 圖8是本發明上述較佳實施例之一操作示意圖，說明

該支撐單元的支撐組破真空且回復至原位、失持單元取消 夾制且以機械手臂取片； 圖9是本發明上述較佳實施例之另一操作流程示意圖 ，說明適用於對一中尺寸液晶基板進行修補； 圖10是本發明之底射式雷射修補裝置之一第二較佳實 施例的一操作示意®，說明-中、小尺寸液晶基板以機械 手臂移入一機架頂部；

圖11是本發明第二較佳實施例 一夾持單元對該液晶基板夾制 真空固定； 禪作不意圖，說a; 支撐單元對液晶基板支 圖。12是本發明第二較佳實施例之一操作示意圖，說明 該支撐單元的支撐組位移以修補未能修補之區域；及 圖^是本發明第二較佳實施例之—操作示意圖，說明 該支樓單元的支撑組破真空且回復至原位、夾持單元取消 夾制且以機械手臂取片。 18 1362548

【主要元件符號說明】 100… …液日日基板 40…… …夹持單元 110 ···· …修補面 41…… …定位組 120 ··· …第一長側邊 411 ··_. …固定架 130… …第二長側邊 412… …定位桿 140 ···· …第一短側邊 413… _ .滾輪 140,… …第二短側邊 42…… …第一夾制組 150… …歸零記號 421 ··· …·滑座 150’ … …·歸零記號 422… •…橫桿 150”…. …·歸零記號 423 · · •…夾桿 X....... …第 方向 424… •…壓力缸 Y....... ••第一方向 425… •…伺服驅動器 Z....... …第二方向 426… ••爽制4 L....... ••基準線 43 ·.··· …·第二夾制組 10…… …機架 431… •…滑座 11…… …框桿 432··· …·橫桿 12…… …頂部 433… …·夾桿 13…… …底部 434… •…壓力缸 14…… …第一側邊 435… …·伺服驅動器 15…… …第二側邊 436… •…夾制部 16…… …第一端部 44••… •…推抵組 17…… …第二端部 441… •…導引件 20…… …導軌 442… •…螺桿 30…… …螺桿 443… •…定位座 19 1362548

444 ·. •••Z向壓力缸 532… •…支撐件 445 ···· …固定板 533… •…伺服驅動器 446… …螺桿 534… •…壓力缸 447 ···· …馬達 54····· •…第四支撐組 448 ··· …移動塊 541 ··· •…滑動塊 448’ … …驅動壓缸 542 ··· •…支撐件 449 ··· …推抵件 543 · · …·伺服驅動器 50…… …支撐單元 544… •…壓力缸 51…… …第一支撐組 56••… …·氣孔 511 .··· …滑動塊 57·.··· …·凹槽 512 ···· …支撐件 60…. …·移載單元 513 ···· …伺服驅動器 61 ·.·.· •…第一線性滑軌組 514 …· …壓力缸 62…… …·滑板 52…… …第二支撐組 63•.… •…第二線性滑軌組 521 ··· …滑動塊 64…… …·基座 522 ···· …支撐件 66… •…第 驅動組 523 ···· …伺服驅動器 67…· …·第二驅動組 524 …· …壓力缸 70••… •…雷射發射單元 53…… …第三支撐組 71 •…攝影鏡頭 531 … …滑動塊 72·.··· •…雷射發射部 20

Claims (1)

1362548 十、申請專利範圍： h 一種底射式雷射修補裝置，是適用於對一基板的一修補 面進行雷射修補，並包含： 一機架； —夾持單元，是設置在該機架’並具有一可定出— 基準線之定位組、二對應該定位組的夹制组及一與該定 位組相對設置的推抵組，該基準線是沿一第一方向延伸 且供該基板其中一側邊抵靠定位，該等夹制組各具有多 數間隔設置的夾制部，該等夾制部是沿該第一方向對該 基板另外兩個相對側邊夾制定位，該推抵組具有一與該 基準線配合以使基板沿一垂直於該第一方向的第二方向 定位的推抵件； 一支撐單元’是設置在該機架，且由多數支樓件共 同界疋出一沿水平設置的承托面，該承托面可支樓該基 板之修補面，該等支撐件可沿垂直方向相對於基板產生 昇降’以及沿水平方向相對於該機架產生位移，以相對 於該基板改變支撐位置； 一移載單元，是組設在該機架，並具有一沿該第一 方向延伸的第一線性滑軌組、一設置在該第一線性滑軌 組上的滑板、一組設在該滑板且沿第二方向延伸的第二 線性滑軌組、一設置在該第二線性滑軌組上的基座、一 可驅動該滑板沿該第一方向相對於機架移動的第一驅動 組及一可驅動該基座沿該第二方向相對於該滑板移動的 第二驅動組；及 21 1362548 一雷射發射單元’是設置在該移載單元的基座上且 位在該基板下方，且受該移載單^運載可沿該第一方向 及第二方向相對於該基板產生位移，並具有一對應該修 補面的雷射發射部。 2·依據中請專利範圍第1項所述之底射式雷射修補裝置， 其中’ 1¾機架具有一第一側邊及一與該第一側邊相反設 置的第二側邊’且該雷射修補裝置更包含有二分別組設 • 在該機架的第-、二側邊且沿該第-方向延伸的導軌， =夹持單元的每一夹制組更各具有二可分別沿該等導軌 滑動的滑座、-連接在該等滑座間且沿該第二方向延伸 的橫桿及夕數女裝在該橫桿上的夹桿，該等夾制部是設 在該等夾桿的末端。 3·依據申請專利範圍第2項所述之底射式雷射修補裝置， /、中’該夾持單元的每一夹制組更具有多數固設在該橫 寺干上且可驅動該等夾桿沿第一方向移動的壓力缸。 _ 4.依據申請專利範圍帛3項所述之底射式雷射修補裝置， 更包含有至少一設置在該機架且沿該第一方向延伸的螺 知，該夾持單元的每一夾制組更具有至少一組設在其中 滑座内部且螺合該螺桿上的伺服驅動器。 5.依據申請專利範圍第4項所述之底射式雷射修補裝置， 其中’該支撐單元具有多數套設在該等導桿上且位在該 等夾制組間的支撐組，該等支撐組各具有二可分別沿該 等導軌滑動的滑動塊、一個連接在該等滑動塊間的支撐 件及一組設在該滑動塊内部且螺合於該螺桿上的伺服驅 22 1362548 動器，每一支撐組的支撐件是沿該第二方向延伸且呈長 桿狀。 6.依據申請專利範圍第5項所述之底射式雷射修補裝置， 其中’該支撐單元的每一支撐組更具有至少一安裝在該 等滑動塊與該支撐件間的壓力缸，且該等支撐組的支撐 件受所對應的壓力缸驅動可沿一垂直於該第一、二方向 的第三方向產生昇降。

7·依據申請專利範圍第6項所述之底射式雷射修補裝置， 其令，該支撐單元的該等支撐件均具有多數可對該基板 吹氣或吸真空的氣孔。 8.依據申請專利範圍第3項所述之底射式雷射修補裝置’ 其中，該夾持單元的定位組具有一固設在該機架的第二 側邊的固定架、多數固設在該固定架且懸設在該等支撐 件上方的定位桿及多數軸設在該等定位桿末端的滾輪， 该基準線相切於該等滾輪的外周緣上。

9.依據申請專利範圍第8項所述之底射式雷射修補裝置， 其中，該支撐單元的該等支樓件更各具有多數由一頂面 凹設的凹槽，該等凹槽可供該等滾輪及爽制部穿過。 10·依據申请專利範圍第9項所述之底射式雷射修補裝置， 其中，該夾持丨元的推抵組更具有1組設在該機架且沿 該第-方向延伸的導引件、—與該等導引件平行設置的 螺桿、-可沿該等導弓丨件且受該螺桿驅動的定位座、一 安裝在該定位座上的壓力缸、一罟 J 叹置在該定位座下方且 受該壓力缸驅動可沿一垂直於兮楚 ..^ 生且於該第一、二方向的第三方 23 1362548

向昇降的固定板、一轴設在該固定板底部且沿該第二方 向延伸的螺桿、一可驅動該螺桿轉動的馬達、一螺設在 該螺桿上且受該馬達驅動可沿該第二方向移動的移動塊 及一安裝在該移動塊底部的驅動壓缸，該推抵件是受誃 驅動壓缸連動。 疋又~ 24