TWI359754B - Transportation system - Google Patents

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1359754 第94128861號專利申請案 補充、修正後無劃線之說明書修正頁一式三份 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 - 本發明揭露一種在半導體製造工廠内運輸減載式晶 . 圓載具（reduced-capacity wafer carrier)之系統及方法。 【先前技術】 運輸系統、載具及開閉機構(opener)之先前技術例可 •見諸於美國專利第 6,047,812 ; RE38,221E ; 6,461,094; 6,520,338 ; 6,726,429 ; 5,980，183 ; 6,265,851 號、美國專 _ 利公告案 2004/0062633，2004/0081546，2004/0081545， 2004/0076496及未審定之布魯克斯公司之專利申請案 (Brooks Automation Application) 10/682,808。該等前案之 技術内容擬全部併入本文中供作參考。 【發明内容】 •晶圓容量少於傳統式13片或25片之側開式載具 (side-opening carders)可用類似 SEMI E47 所定義之 FOUP方式來構成，但具有高度低及輕量之特徵。本發 φ 明揭露一種在半導體製造工廠内運輸減載式載具之裝置 - 與方法。 又 . 【實施方式】 參考第1A圖，其為顯示運輸系統1〇之平面示意 圖。該運輸系統10大體上包括導執12及搬運車μ ,在 實施例中，導軌12可為設有供搬運車μ使用之走行道 TL、AL之被動式導執(passive gUjdeway)。搬運車μ可 在由導執12戶斤形成之各路徑上獨立行將陳述於下 1359754

Jim號專利申請案 補充丨>正後無劃線之說明書修正頁一式三份 文）。如例示性之第1A圖所示，各搬運車14 (兩台搬運 車14以及回收搬運車14R，如下文所述）均能分別保持 . 及運送一只或一只以上的基板載具C。搬運車14可置玫 .於導執12上或自導轨12懸空。在較佳實施例中，搬運 車路線控制用位置回授(p0Siti0n fee(jback)可利用設在車 輪上的編竭器及/或解算器（resolvers)進行連續式測程法 • (contlnuous 〇domety)來達成，且使用第ι〇(Α)圖所示之 外部參考資料（例如光學或磁力式編碼、條碼、基準碼 (flducials)、雷射或超音波評定(ultrasonic-ranging)等）定 期地更新。該搬運車可以進行典型的獨立轉向，俾進入 或離開各行走道及出入道。該等分又點之位置係以最小 衝擊或基本結構(infrastructure)衝擊方式組構（例如，以 利工具之移動），或甚至採用動態式構成（以避免諸如故 -障搬運車等意外的障礙）。各搬運車可在局部記憶體中儲 存工廨地圖，以利自行設定前往所欲目的地之路線。如 果遇到路線上有阻塞，搬運車有能力調整行走路線，以 φ 繞過障礙物或選擇替代路徑。搬運車上亦可設置與其他 '搬運車及/或基地台作無線通訊之裝置，以供例如派用協 .調、位置確認、錯誤報告及路線可出入狀態等資訊分享 之目的。此種搬運車之操縱具有平穩性（exemplary holonomic)(或近乎如此），且能完全地控制污染粒子的產 生。此種操縱技術例示於第10(B)圖。例示之搬運車可 橫越一個或一個以上平坦而實質上無凹凸之表面，最好 是該表面係為工廠地板，藉以減少導軌之基本投資且有 1359754 3^4128861號專利申請案 補充'修正後無劃線之說明書修正頁一式三份 裝舰錢造物上。這_運車與❹於半導體 ^理的傳統湯相反。典型上，這種搬運車2 工薇之_賴高度)裝卸載貨。爲了適 = 裝貨，此種AGVs之高度甚高。爲了雄么在/ 勒匕 φ , 為了避免翻倒，特別是 巧震時，㈣車糾健4設計，並且所擁1 ^大於載貨。結果，必須採用牢靠的安全系統1 月b上須有所限制（例如減速）’俾使人車皆得平安。 施例之搬運車係預定僅供地面上或專用導執平台丄【 對點運送，因此，其規模（尺寸及質量)係與待運送之貨 載接近，故能大幅地降低對操作人員的潛在危險。小 寸的搬運車可讓組裝及/或服務人員容易操作。再參考 i〇(c)圖，搬運車上亦可加裝附設構彳，以協助手動處理 (例如用於回收），例如可收容操作桿以供操作搬運車又 無損人機工程之組件。第1A圖僅表示導軌12之代表性 部份，該導執可依需要延伸，且可具備任何適當的形狀， 使所設置的運輸路線可供搬運車14在任何所欲位置出 入於任意數量的站s(例如堆料站、緩衝站、處理工具站 等，參考第2圖）。導執12可由任何適當的結構形成， 且在本實施例中，其形狀（亦即，具有供搬運車14行駛 於其上面的適當行走面12S及充分寬度)得以設置下文 所稱之行走道TL及出入道AL等兩種走行道(容後詳 述）。導軌面12S亦可形成得以提供搬運車導引機構16、 16T、16A之形狀。故導執面可包含或具有溝槽、軌道、 7 1359754 JJ412^8861號專利中請案 補充、修正後無割線之說明書修正頁一式三份 成結構性或機械性料之任何適當結構， 夂:D上之機械性導引部件合作。導執面⑵ 導引之電線(例如用以傳送可藉由 貞測之適當電磁信號的電線）。導軌12亦具有組 ίΗΐ™ ^ :以=8====^ ;6Tf1置乂8P、18PT、18Μ係顯示成與導㈣構 分離，但在變化例中，該等電源裝置可 ^導引機構(例如’可用以對搬運車提供電子式/電性 式導引之電源裝置）中。電源系統18亦可包括例如可供 ，運車M充電之分散式電源站18PD。電源站18PD(圖 僅例^個）可依需要設於任何位置，例如第9圖所示 之載具轉送用，面站！等希望搬運車14停止之位置。 如第1A圖所示，導引機構16在搬運車14行走之走行 道TL、AL上界定路徑T1、AU、ALi(但搬運車14亦 行 孔、AL之各路徑而在導執12上行走)。 雖…、在第1A圖僅例示一走行道TL及附帶之出入道 AL，但導轨12可在類似於走行道TL與AL之對應行走 線”上包含任*數量的行走道與出人道以及任意 數量的行走路彳績丨人路徑。其他的走行道可平行於走 行道TL、AL，亦可朝其他任何方向配置。如第1A圖所 1359754 第94128861號專利申請案 補充、修正後無劃線之說明書修正頁一式三份

示，在該實施例中，行走道TL具有由導引機構16、16T 及可由電源裝置18Ρ、18ΡΤ構成之行走路線Tl。行走 道TL可在導軌12提供搬運車14用之主行走路線，使 之具有更向的行走搭配率（associated rate)。行走道几可 包括供出入路徑ALi、Ali從出入道AL進入/離開之分叉 點20〇如第1A圖所示，出入道AL(雖在第ία圖中僅 繪示兩辞走行道’但導執12之出入道AL在各分叉點 20可具有任意數目的類似於路徑ALl'Ali的出入路線， 且該等路徑在各分叉點20係沿走行道TL串接配置、及 /或彼此平行)係將行走道TL連接至界面I，在味處，搬 運車14係與中間運輸(未圖示)服務對應站8間進行載具

轉運。各出入道AL上之各出入路徑可由導弓丨機構16A 與電源裝置18PA界定’在本實施例中，如第ία圖所示，

在出入道之兩對向端可具備兩個入口/出口部。在第1B 圖所示之實施例中，出入道AL在一端具有一入口/出口 部ALE。在該實施例中，界面I係位於出入道al之空 間内（亦即，出入道終止於該界面）。在第1A圖所示之實 施例中’界面係從出入道AL之水平分岐部份(〇跑州運 作。如第ΙΑ、1B圖所示’出入道AL設有出入徑及側 線或側向行走道TL(搬運車可向出入道al移動，而

毋需在界面從搬運車搬出集裝盒(載具）或將集裝盒搬到 搬運車上）。 I 實施例中所述之行走道與出入道間之水平位移僅為 供運輸走行道(其中，搬運車可在資源地與目的地間以實 9 1359754 第94128861號專利申請案 補充、修正後無劃線之說明書修正頁一式三份 質上固定之速度行走)及出人道(其中，搬運車 速及停止，例如轉運載貨及/或再裝貨）執 速、= 目的之-種手段。其變化例則包括在垂直隔距 之進入/_，及依需要使搬運車結構之l 移’而容許搬運車通過在相同執道上的停泊搬1 第11A至11C圖及第12A至12C 思_ ▲ 道：例子。第11B圖揭示 之搬運車’其中，下機構將搬運車從下輪上 度，而上機構則將上輪上移其餘的一半高度，而 = ^道。在上輪附著於上軌道後’下輪則縮回，沾果 升(或下降)搬運車到所選定之不同高度之機構。 之如Ϊ 係揭示利用磁吸力將搬運車附著於上執道 枝1!第圖揭示利用輪子下方之平面將搬運車支 =上軌道之情形。第14Β圖揭示利用此種型式之結 將搬運車從下赌轉㈣錢道 & 前，先使下輪軌道之上開口部放開上輪之 道通行之變化例揭示於第ΐ5Α至第 圖。第ISA圖表不搬運車u正常行走位置。第别 ;將其載貨提高之狀態，在此載貨提高 寺”輪子係按箭頭方向向外移動。此動作可由搬 10 1359754 第94128861號專利申請案 補充、修正後無劃線之說明書修正頁一式三份 運車向前移動時令輪子轉向而達成。第15C圖所示為搬 •運車在其完全升高之位置，而輪子則在其充分外移之位 置。在此狀況下，搬運車2可在兩輪之間從搬運車1下 .面經過。行走於上軌道之搬運車亦可藉此原理達成盥此 相對的通行目的。 如前所述，在被動式導執12上至少可採用一種獨立 之輪式搬運車14。該搬運車14可藉由例如設於板上 • (on-board)的電動馬達141V[透過摩擦驅動來推動；ϊ牽引 動作及其他用途所需之能量可以超電容器 (ultra-capacitors)及/或蓄電池、或以機械能(例如飛輪)方 式儲存於搬運車上。所儲能量之再補充可經由接觸或非 接觸手段設在離散位置之電源站18PD或沿著電源裝置 18P、18PT、18PA連續地完成。 、 在範型結構中，超電容器14C因具有快速充電之可 能性而可當作一次儲能裝置（primary energy伽以明 device)來使用。在充電時，能量係以交流電之形式由電 ® 源系統18經過匹配接點（未圖示）傳送到搬運車14。電流 •之傳送，AC比DC為佳，因為AC對於電弧的發生有本 .質上的自我抑制作用，在DC式接觸充電中，電弧是一 種常見的故障模式。此外，隨著接地Dc電源之不使用， 在材料成本及所有權成本之節約上可有顯著的效果，且 配電效率亦付以改良。但在其他變化例中，亦可使用 電流。 如前所述，在處理工具附近，或者，更廣義而言， 11 1359754 第94128861號專利申請案 補充、修正後無劃線之說明書修正頁一式三份 在資源站及目的地站S附近，設有出入道（或侧線)AL， 供搬運車14減速、停止以及依需要轉運載具（第1圖）。 ，搬運車14係從高速行走道進入出入道’並進行減速以至 -於停止。然後，經由界面〗將載具遞送給處理工具、緩 衝站或儲存站。當载具之轉運完成時’搬運車14即在出 入道AL加速，並回到行走道tl。在行走道TL上，搬 運車14可以相當固定之速度直接行走到配合新目的地 鲁之出入道AL上之側線AL1、ΑΠ。據此構成，出入道 AL即可提供側線給行走道tl，反之，行走道TL之相 鄰於出入道AL的部份TLT即可爲侧線AL1、Ali提供 叉路》 鉍參考第3圖，搬運車之走行道決定(routing)可用 雙路徑（進入/離開）選擇技術來達成，亦即，可用位於搬 運車Η之活動切換元件14SW、14ST式來達成。第3a 圖顯示搬運車具有活動切換元件14SW、14ST之實施 例。在該實施例中，搬運車在面對行走方向T、A之端 •部具有導引或切換元件14SW(圖中雖顯示14SW，但搬 運車可在各端部設置切換元件）。該切換元件14SW可為 -=械式或電子式。例如，機械式切換裝置可包括諸如樞 ^於搬運車底盤之凸輪板或凸輪滚柱(cam roller)所形成 之凸輪面。該凸輪面可為致動式或被動式，並且與導執 12之導引機構16、16T、16A配合，使凸輪面朝所期望 之路線T1、ALI、Ai定位（參考第1A圖）。該凸輪面係 藉由適當之傳輸機構或系統(未圖示）而連接至轉向裝置 12 1359754 第94128861號專利申請幸 補充、修正後無劃線之‘明¥修正頁-式三份 14ST 向裝置 (例如，若搬運車本來是用礤 问哀置為可轉向式輪子/滾輪、可轉向、统構成，則該轉 輪面之輸入信號係以機械式或電°，磁鐵）。來自凸 14ST’使搬運車移動轉向至所期 ^傳輪至轉向裝置 如切換元件14SW為電子式，則包^仃道TL、AL上。 檢測器，俾從電子式導引機構i ^畲的感測器或 如磁場、.光學或射頻(RF)信號）、並卫望之特性(例 其:rr馬達控制器=信ί轉: 裝置14ST細轉向運作。搬運車14 = 14SW、14ST傕搬谨鱼锃以舶“絲丄旳活動切換το件 W使搬運車㈣執仃轉向運作，而不依 動式軌道7G絲進行轉向運作。這财朗除了可能 致部分網路失能之潛在故障因素，同時可彈性地以最小 通訊間接成本容納分散式或中央控制。第3B圖係說明 另一實施例’其中，軌道中可組裝活動切換元件16W， 俾減少搬運車之複雜性。如第3B圖所示，在該實施例 中’導引機構16在沿著行走道TL設置之分又點20上 具有活動切換元件16SW。該實施例中所示之切換元件 16SW係為機械式。當然，該切換元件亦可為電子式（不 具活動部件）。例如，該機械元件具有由一適當的馬達或 致動器42所致動之切換板40或切換構件。該切換板4〇 係藉致動器42致動並切換於第】位置〇與第2位置p 之間。在第1位置〇，切換板4〇會指示/導引搬運車朝 行走道TL繼續行走。在第2位置p，切換板會導引搬運 車離開（或進入，依方向而定）行走道TL，並進入出入 13 1359754 第94128861號專利申請案 補充，修正後無劃線之說明書修正頁一式三份 道AL。在使用例如磁浮或氣墊式非接觸機構支持搬運 車並橫越導執12(參考第1A圖）之實施例中’可使用電 子式切換元件（未圖示）。電子式切換器係在電子機構上 類似於第3B圖所示之機械式切換元件16SW’但可產生 用以操作並導引搬運車繼續沿著行走道TL移動或進入 出入道AL之磁力，以取代活動切換板。第3C圖揭示_ 種可行的複合式解決手段，其中涉及使所選擇之匹配軌 道斷面利用貼附方式偏向第3C圖所示之凸輪面而使搬 運車轉向之方式。在該實施例中，導引機構16包括在供 行走道TL與出入道al會合/又開之分又點20處設置之 可被動選擇之切換元件16SW。切換元件16sw可於位 ί 上對準於行走道几)與位置P(供變換至出入道 几或移動。導引機構16亦可具備如圖示之接地 元：14S:搬運+ 14具有類似第1圖之實施例之切換 二在該實施例中，搬運車14上之切換元件 知作可使切換元件在 3隨著H于所期望之轉向。此處之搬運車切換“ 14C，以及經由適之當接:傳 動元件14S。依墙& ό mi系統14T而連接至凸輪之致 其他方mi4^入(機械式或 12上之活動心猶元件16sw^^’，後從個於導軌 位置p。 w而使之定位於位置0或 除了進八於出人道或從出入道離開外，搬運車亦可 14 1359754 ，94128861號專利申請案 補充、修正後無劃線之說明書修正頁一式三份 在集中於行走道及從行走道離開間變換，俾有效利用從 . 資源地至目的地之路徑。請留意，運輸能力可藉由利用 第4A、4B圖所示之附設式局部或全面（fab wide)垂直層 .疊之平行平台12U、12L而增加。亦可層設多數個行走 平台（travel deck) ’且使該等平台具有相同或相反“預定 行走方向。在第4A、4B圖中，為了便於例示之目的， 僅揭示兩個平台。但在變化例中，可以使用任意數量的 φ 平台。平台12U、12L係實質上分別類似於前述之導軌 12。此種平台可以如圖所示地彼此相鄰，或散開設置於 不同高度’例如一升高式導軌及一地面高度式導執。 如果需要在垂直相隔之軌道間變換，可以藉由將類 似於第3A至3C圖所示設計之水平搬運車轉向道或水平 切換機構一起組入斜坡道(ramp)(類似於第1A圖所示之 出入道，但設有水平方向及垂直方向從行走道TL分岐 之部份)來達成。在此情形中，搬運車可進入斜坡道，順 著斜坡道到達所期望之高度層面，然後進入適當的行走 φ 平台。如果希望在出入道具有此種搬運車垂直位移功 ' 能，則可採用第4D、4E圖所繪示之垂直軌遒切換機構。 - 在此情形中，可藉由將搬運車14驅動至用以在垂直分岐 之走行道14U、14L間移送載具之升降機£來達成。如 第4E圖所示’此種升降機E可設有附加的導執平台來 取代用以轉換搬運車的區域，並爲繼後的搬運車保留行 走道。 如有需要，亦可在導軌12設置如第1A圖之箭頭 15 1359754 第94128861號專利申請安 補充：修正後無劃線之修正頁_式三份 τΐ、A1所不之不行走方向（default travel direction)，使 搬，車14可具有雙向行走之能力，以適應彈性定向及非 -正常處理(例如，路徑阻塞）。雙向移動可藉由控制搬運 車驅動馬達14M之正轉與反轉來達成。如果搬運車14 故障，驅動馬達可設在空檔位置(neutralized)，然後以其 他搬運車雜或錄的方式制適當的側線位置 。該拖 爷（towing)用搬運車可為其他標準搬運車或專用的回收 搬運車14R(參考第1A圖）。在任一種情況中，拖吊搬運

車均具有使故障搬運車超越切換元件14SW(參考第3A 至3C圖）強迫其轉移到出入道的能力。在實施例中，此 一目的可由使用任何適當耦合機構(未圖示）之機械式結 合裝置來達成。 、在變化例中，其他搬運車可藉由選擇替代路徑而到 達目的地，以避開故障搬運車(直到操作人員修復故障搬 運車）’及/或使用區域性故障檢知感測與避免碰撞運算 法而轉向繞過故障搬運車。 # 搬運車14可具有同時容納兩具或更多載具c(參考 第4D圖）之能力，但亦可典型地運輸比最大載運量少一 只載具，使其保留一個開放位置，以便迅速更換載具 (fast-swapping)(亦即，在一載具即將抽出之前或同時^ 入另一載具）。載具支架/艙14U、14L(圖中僅示兩個載 具艙，但搬運車可具有任意數目的載具儲放空間）係垂直 層疊，以便適應側邊進出，或將载具並排以便從頂部進 出（例如用高架起重機）。在任一情況中，載具可由;方 16 1359754 第94128861號專利申請案 補充、修正後無劃線之說明書修正頁一式三份 予以支持（例如嵌裝在水平配置之機動式耦合器），或在 載具之頂部或各側邊使用特殊部件(features) ^例如，在 .載具(例如，相較於25片晶圓F〇UPs，高度及重量上均 .較低為其特點之減批式（reduced_1〇t)載具及工具界面系 統相搭配時，可使用前面支架。在任一情況中，支持^ 方法係通用於搬運車收容座(vehicle nests)與結合有工具 界面裝置(緩衝站、裝載埠等）之載具嵌置位置，以及: 第8B圖所示之其他載具儲放位置，以減少整體自動化 之硬體複雜性。載具可使用與出入執道A2之相鄰空間， 諸如第4A及4B圖所示界面j處裝入搬運車或自搬運車 卸下。或者，出入道AL亦可在其支持面(如第2圖所示 設置有開口，使載具C與裝載機構(未圖示)得以通過。 此種通過口 D可使出入道直接安置於裝載埠上方，以 少收容升高式導執所需之通道寬度。將載具移入搬運車 或從搬運車移出之活動元件可安置於搬運車上 置上’亦可在轉運點安置於地面。 己裝 …在變化例令，搬運車係直接行駛至工具裝载埠，以 消除分離式載具裝載機構之需要。在此種裝置之實施例 中’係採用位在高於及低於工具裝載高度之層面的一對 導軌，以維持第6A至6C圖所示之任意出入能力。第 6A圖揭示典型的半導體晶圓製造工廠之通道之剖視 圖。該通道之任一側為設有裝載埠之EFEM，該裝載埠 則在90〇mm高度處裝設於EFEM前面。通道中心下方 係為一下一上的兩條執道，搬運車可在其上行走。行走 17 1359754 第94128861號專利申請案 補充、修正後無劃線之說明書修正頁一式三份 於上軌道之搬運車係顛倒式。該執道係垂直地相隔開， 使下軌道與上軌道之搬運車在任何時刻皆不會互相干 擾。在通道中心之下方設有快車道(Fast Lane)，供搬運 車自由地高速行走，而裝載埠隔壁的側線則供搬運車卸 貨(pull off)。於搬運車在裝載埠完成卸貨時，如第6B圖 所不，藉由將載貨(payload)從較低高度之搬運車提升， ，運車即可出人任意數量料位。當載貨係在適當高度 裝麟之機構即可用來將健轉移至搬運車或 = 車移開。以類同的形態’载貨可移搬到上 = 或從上執道的搬運車搬開，但不能將载 從搬運車降下。搬運車之正常行走係與載貨之搬入 同時進行，然圖中僅揭示—批載貨，搬運車 -批i在時間收容—細上的载貨’且-批位在另 兩個裝載埠之EFEM之前視 ^ 5 _示具有 式載具位置。下軌道上之搬；：：有三個減載 二高度。如果㈣餘“車其載貨已提升到第 位在下軌道或上執道可以在、】了看出 y，以進行存置貨物或提 裝載埠 始從上方出入該位置之裝載^前，2；^之搬運車開 =其栽貨。在全4=開== 時處理工具可依需要進出於任一搬運車取代 至第7W從下軌道或上轨道垂直移匕^：^ 18 1359754 第94128861號專利申請案 補充、修正後無劃線之說明書修正頁—式三份 種方法。較佳的導軌12的位置係為工廠地板(但此種方 法需要稍微加設次結構，使操作員容易進出搬運車），以 及保留在SEMI E15供高架運輸的升高式便道(right 0f way)。在變化例中，導軌亦可置於其他方便的高度（例 如，升高式金屬地板的下面，或接近裝載埠高度”搬運 車係典型地可在導軌的任何一處或多處彈性地散開，在 "此方式中，可調節其額外的運輸網路能力與涵蓋範圍， • 以適應特殊工廠之需要。 載具在運輸系統與工具裝載站/緩衝站間的手觸禁 止(hand-off)安全性，可由與SEMI標準之E23、E24類 同的最佳時間效率平行輸入/輸出系統(time-optimized parallel I/O scheme)來管理。在變化例中，運輸與工具裝 载硬體設備可當作一整體系統來處理，並具備保證安全 運送及區域性停置所需之全面感測與計算功能。 “BTS”儲置(侧邊執道之儲置） 茲參考第5圖，如有需要，載具c可移送至靠近一 φ 條或多條出入道AL之位置，以便在處理工具與全面的 緩衝站提供載具之儲放或緩衝之功能。 • 本發明之技術要點已配合圖示陳述如上，惟須知者 為，上文之陳述僅為本發明之例示性說明。熟悉該項技 藝者可在不悖離本發明技術思想之情況下作各種變形與 改良。因此，本發明理應涵蓋所有此等變形、改良以及 包含於附後申請專利範圍内之各種改變。 19 1359754 第94128861號專利申請案 補充、修正後無劃線之說明書修正頁一式三份 【圖式簡單說明】 第ΙΑ、1B圖分別為本發明運輸系統之不同形 平面說明圖- 態之 第2圖為設有各種站之運輸系統例說明圖。 第3A、3B、3C圖為各種使用雙路徑選擇方式以 姆例之說明圖。 N 圖分別為各種運輸能力提 定路徑例之說明圖 第 4A、4B、4C、4D、4E 开方式例之說明圖。 第5圖係提供載具儲放或緩衝功能之 圖。 第6A、6B、6C圖分別為使用位在不同高度之 導軌以維持任意進出能力之說明圖。 二 =C，、7E圖分別為搬運車垂直移動 第8A、8B圖分別為載具儲放方式之說明 。第9圖為搬運車停在界面站進行載具轉運例之說明 圖0 變化例說明 對 第說、圖分別為搬運車反向 ㈣技術 '轉向技術及加料設機構 位置 第11A、11B、11C圖公士 月不思圖。 高軌道之例子的說明圖。 從低軌道變換到 :12二1H 3圖分別為搬運車從低軌道變換到 高軌道之例子的說明圖。 第13圖為_磁吸力使搬運車吸附在上轨道之說 20 1359754 第94128861號專利申請案 補充、修正後無劃線之說明書修正頁一式三份 明圖。 第14A、14B圖分別為上軌道上之搬運車支持結構 例圖及下執道上的搬運車變換到上軌道的說明圖。 第15A、15B、15C圖分別為同一執道的搬運車通過 方式例說明圖。 【主要元件符號說明】 1、2 搬運車 12 導軌 10 運輸系統 12U平台 12L平台 12D平行導路 12S行走面 14 搬運車 14M 電動馬達 16、16A、16T 導引機構 14R 回收搬運車 16G 凸輪面 16SW 切換元件 16W 活動切換元件 18 電源糸統 18P、18PA、18T、18PT 電源裝置 14SW 切換元件 14ST 切換元件 14C 超電容器 18PD 電源站 20 分又點 14T 傳動系統 14S 致動元件 14U、 14L 載具艙 40 切換板 42 致動器 A1箭號 AL 出入道 A2 出入執道 21 1359754 第94128861號專利中請案 補充、修正後無劃線之說明書修正頁一式三份 AL1 ' Ali出入用側線 ALE 入口 /出口部 C基板載具 D 通道口 I 界面 S 工具裝載站 TL行走道 TLZ TLT行走道叉路 E升降機 0、P位置 T1 路徑（箭號) 箭號 T、A行走方向 22

Claims (1)

1359754 第094128861號專利申請案中文申請專利範圍修正本 . 民國100年10月18日修正 十、申請專利範圍 1. —種基板運輸系統，包括： —導軌（12); 至少一搬運車（14)，該搬運車適於承戴至少一基板 且由該導軌（12)支持及沿著導軌移動，其中： φ 該導軌包括：供該至少一搬運車行走之至少一行走道 (TL)及由該行走道分岐設置而供該搬運車選擇的出入該 行走道（TL)之至少一出入道（AL)，因而該搬運車可 沿著該導軌（12)作實質不受限制之各種行走速率的選擇 :及 —可連絡地連接於該導軌（12)及該至少一搬運車（ 14)且可用以選擇行走速率之控制器。 2. 如請求項1之運輸系統，其中該至少一行走道（TL φ )及該至少一出入道（AL)係配設成允許該至少一搬運車 (14)可在該行走道（TL )及出入道（AL )之間不受限 制的出入。 3. 如請求項1之運輸系統，其中該至少一搬運車（14 )之沿著該至少一出入道（AL)之行走速率係由相鄰連串 配設之至少另一搬運車之行走速率分離而沿著該導軌與該 至少一搬運車同一方向行走。 4. 如請求項3之運輸系統，其中沿著該導軌之行走速 率係大致一定，其特徵爲將該至少一行走道（TL)及該至 1359754 少一出入道（AL)配設得使該至少一搬運車（14)及該至 少另一搬運車能以一致一定的行走速率沿著該行走道（TL )行走。 5. 如請求項3之運輸系統，其中該至少一行走道（TL )及該至少一出入道（AL)係配設得使該至少一搬運車及 相鄰連串配設之另一搬運車可沿著至少一行走道（TL)向 同一方向依序行走且又可變換互相位置而改變其前後順序 〇 6. 如請求項5之運輸系統，其中在該等搬運車互相變 換位置而改變其前後順序時，該至少一搬運車之一個或另 一搬運車係以大致一定的行走速率沿著至少一行走道（TL )行走。 7·如請求項3之運輸系統，其中該至少另一搬運車係 可在不影響沿著與該至少一搬運車之同一方向行走之最鄰 近的搬運車之行走速率下，停在該至少一出入道（AL)上 〇 8·如請求項1之運輸系統，其中該至少一行走道（TL )或該至少一出入道（AL)互相形成一分岐道。 9.如請求項1之運輸系統，其中該至少一搬運車備有 用以使該搬運車在導軌上大作大致全面平穩的移動。 1〇· —種基板運輸系統，包括： 一導軌（12); 複數之搬運車，每一搬運車適於承載至少一基板且由 該導軌支持及沿著導軌移動，其中： 1359754 該導軌（12)之一段界定一供該搬運車在該導軌上行 . 走之預定方向，而該段導軌包含至少一行走道（TL)供搬 運車在預定行走方向行走及由該行走道分岐且大致向該預 定行走方向延伸以供該等搬運車選擇的出入該行走道之一 出入道（AL):同時 該行走道（TL )及出入道（AL )係配置得能讓該等 搬運車在該行走道上連串依序的位置且能沿預定方向以不 φ 同行走速率行走以避免互相千涉出入該行走道（TL );及 一可連絡地連接於該導軌及該等複數搬運車且可用以 選擇行走速率之控制器。 1 1 .如請求項1 〇之運輸系統，其中該至少一行走道（ TL)及該至少一出入道（AL)係配設成允許該複數搬運 車可在該行走道及出入道之間不受限制的出入。 12.如請求項10之運輸系統，其中該至少一搬運車（ 14)之沿著該至少一出入道（AL)之行走速率係由相隣連 φ 串配設之至少另一搬運車（14)之行走速率分離而沿著該 導軌與該至少一搬運車同一方向行走。 1 3 .如請求項1 〇之運輸系統，其中沿著該導軌之行走 速率係大致一定，其特徵爲將該至少一行走道（TL)及該 至少一出入道（AL)配設得使該至少一搬運車（14)及該 至少一搬運車能以大致一定的行走速率沿著該行走道（TL )行走。 1 4 ·如請求項1 〇之運輸系統，其中該至少一行走道（ TL )及該至少一出入道（AL )係配設得使該至少一搬運 -3- 1359754 車及相鄰連串配設之其他搬運車可沿著至少一行走道（TL )向同一方向依序行走且又可變換互相位置而改變其前後 順序。 15. 如請求項14之運輸系統，其中該至少一搬運車及 該其他搬運車互相變換位置而改變其前後順序時，該至少 一搬運車之一個或其他搬運車以大致一定的行走速率沿著 行走道（TL)行走。 16. 如請求項10之運輸系統，其中該至少一搬運車係 可在不影響沿著與該至少一搬運車之同一方向行走之最鄰 近的搬運車之行走速率下，停在該至少一出入道（AL)上 〇 17. 如請求項10之運輸系統，其中該至少一行走道（ TL)或該至少一出入道（AL)互相形成一分岐道。 1 8.如請求項1 0之運輸系統，其中該至少一搬運車備 有用以使該搬運車在導軌上大作大致全面平穩的移動。 19. 一種基板運輸系統，包括： 一導軌； 至少一搬運車，該搬運車適於承載至少一基板且由該 導軌支持而以一選定的行走速率沿著該導軌移動，其中： 該導軌包括：供該至少一搬運車行走之至少一行走道 及由該行走道分岐設置而供該搬運車選擇的出入該行走道 ，因而該搬運車可沿著該導軌作實質不受限制的各種行走 速率；及 —可連絡地連接於導軌（12)及該至少一搬運車（14 -4- 1359754 )且可用於選擇行走速率之控制器。 20. —種基板運輸系統， —導軌； 至少一搬運車，該搬運車適於承載至少一基板且由該 導軌支持及沿著導軌移動’其中， 該導軌之一段界定一供該至少一搬運車在該導軌上行 走之預定方向，該段導軌包含至少一行走道供該至少一搬 運車在預定行走方向行走及由該行走道大致沿著預定方向 延伸之至少一行走道’以允許一搬運車選擇的出入該行走 道，並使該沿著該軌道以預定方向行走之該至少一搬運車 能在該行走道不受其他搬運車之影響’以獨自之行走速率 行走；及 一可連絡地連接於導軌（1 2 )及該至少一搬運車（1 4 )且可用於選擇行走速率之控制器。

f 94128861號專利申請案 補充、修正後無劃線之說明書修正頁一式三份 七、指定代表圖： (一） 本案指定代表圖為··第（1A )圖。 (二） 本代表圖之元件符號簡單說明： 10 運輸系統 12 導轨 12S行走面 14 搬運車 14M電動馬達 14R 回收搬運車 16、16A、16T 導引機構 18 電源系統 18PA、18PT 電源裝置 20 分叉點 A1 箭號

AL 出入道 AL1 ' Ali出人用彻J線 ALE 入口 /出口部 C基板載具 S 工具裝載站 T1 路徑（箭號) TLZ 箭號 八、本案若有化學式時，請揭示最能顯示發明特徵的化學式：