TWI353337B - Systems and methods of actuating mems display elem - Google Patents

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TWI353337B
TWI353337B TW094129408A TW94129408A TWI353337B TW I353337 B TWI353337 B TW I353337B TW 094129408 A TW094129408 A TW 094129408A TW 94129408 A TW94129408 A TW 94129408A TW I353337 B TWI353337 B TW I353337B
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Description

Ϊ353337 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於微機電系統（MEMS) ° 【先前技術】 微機電系統（MEMS)包括微機械元件、致動器、及電子設 備。可使用沉積、#刻及/或姓刻掉基板及/或沉積材料層的 部分或添加諸層以形成電及機電設備的其它微機械加卫方
法創造微機械元件。一種類型之MEMS設備被稱為干涉調變 器。一干涉調變器可包含一對導電板，該等導電板中一或 兩個導電板可係完全或部分透明及/或反射性的並能夠在 施加一適當電訊號時相對運動。一塊板可包含一沉積於基 板上的固定層，另一塊板可包含一藉由一氣隙與該固定層 刀離之金屬薄膜。此等設備具有許多應用，且此項技術中 有益的係利用及/或修改此等類型設備的特徵以便可在改 ^現有產。。並創造尚未被開發之新產品中利用該等特徵。 【發明内容】 本發^之系統、方法、及設備各具有幾個態樣，該等態 二《I無單—態樣單獨為其所需屬性負冑。不限制本發明之 :可’現，簡要討論本發明之更顯著特徵m討論之 後蔣蝽特疋。之閱續題為”較佳實施例的詳細描述"部分之 優點^解本發明之特徵係如何提供與其它顯減備相比的 在—實施例中，本菸 攸組悲 部分過程中控制致動具有第 用以在顯干宜M 種裝置，其包含- …員不寫入過程之笛_ I04326.doc 1353337 極性的電位差之MEMS顯示元件的驅動器電路的控制器。組 態該控制器用以在該顯示寫入過程之第二部分過程中使該 驅動器電路在該致動之後釋放MEMS顯示元件且而後致動 具有與第一極性相反極性之電位差的MEMs顯示元件。該裝 置進一步包含被組態用以在顯示寫入過程之第一部分過程 中至少部分將電位差傳達至MEMS顯示元件的至少一輸出 淳。 在另一實施例中’本發明提供一被組態用以驅動一組 MEMS顯示元件的裝置。該裝置包含用於在顯示寫入過程之 第一部分過程中控制具有第—極性的電位差之Μ簡顯示 元件的致動的構件。該裝置進—步包含用於引起MEMS顯示 兀件之釋放的構件及用於在顯示寫人過程之第二部分過程 中控制有著具有與第—極性相反極性之電位差之MEMS顯 不：件的致動的構件。該裝置進一步包含用於在顯示寫入
過知之第—部分㈣巾至少部分將電位差傳達至Μ讓顯 示元件的構件。 在又一實施例中，本發明提供㈣一組細⑽顯示元列 八方法4 MEMS顯示元件&含MEMS顯示元件陣列的一部 :第：方法包含在顯示寫入過程之第一部分過程中致動具 ^性之電位差的該等Μεμ_示元件，在該顯示寫入 部分過程中释放該等赃⑽顯示元件且而後致 者：有與該第—極性相反極性之電位差的該等腦$ 择貝不/〇 ·*ί牛。 在又一實施例中
本發明提供一被組態用以操作MEMS 104326.doc 1353337 顯示元件陣列中的一MEMS顯示元件的裝置。該裝置包含一 被組態用以控制週期性地施加第一及第二電位差至mEIv1s 兀件之驅動器電路的控制器。此等第一及第二電位差具有 足以致動MEMS元件之相反的極性及近似相等的量值。組態 控制器用於以交替方式週期性地施加此等第一及第二電位 差至MEMS元件。以界定次數並在依將影像資料寫入MEMS 陣列之速率而定的界定的持續時間内施加第一及第二電位 差至MEMS几件。在顯示器使用之一給定週期上近似相等的 時間篁内各施加第—及第二電位差至mems元件。進一步組 態控制器用以使用兩個電位差寫入相同資料訊框。該裝置 亦包含被組態用以在顯示寫入過程之第一部分過程中至少 部分將電位差傳達至MEMS顯示元件的至少—輸出痒。 在又實施例中，本發明提供一被組態用以更新顯示器 兰裝置。亥裝置包含用於調變光的構件及用於施加一電位 =該光調變構件的構件1態用於施加電位 構件的構件用以週期性地施加第^ 件。 乐及笫一電位差至調變構 極性及近似相具有足以致動光調變構件之相反的 寫入調變構件Si界定的次數並在依將影像資料 一及第-電位/的界定的持續時間内分別施加第 期上近似相算姑吐Ba曰 你.貝不益使用之一給定週 夺間量内各施加第一及第_ 變構件。進—舟鈿故 次第一電位差至光調 入4 步態施加構件以使用第一盥第-雷 入相同資料訊框。 -、第-電位差寫 在又—實施例中，本發明 。 成，..、員不器之JyJEMS元件 I04326.doc 1353337 陣列中MEMS元件的操作方法。該方法包含週期性地施加第 一電位差至Μ刪元件，該處第—電位差具有足以致動 MEMS元件的極性及量值。該方法進—步包含週期性地施加 第一電位差至該MEMS元件，該第二電位差係與該第一電位 差相反極性的並係與該第一電位差近似相等量值m j的次數並在依將影像f料寫人MEMS元件陣列之速率而 定的界定的持續時間内分別施加此等第一及第二電位差至 舰MS元件。於顯示器使用之一給定週期上近似相等的時間 篁内各施加第-及第二電位差至細⑽元件。該方法進一步 包含使用該第-極性之電位差與及該第一極性相反極性之 電位差寫入相同資科訊框。 在，又實施例中’本發明提供一被組態以顯示影像的裝 置。该裝置包含顯示器中的複數個mems元件；及—被组離 用：致動該顯示器之一部分中所有MEMS元件並用以將 示負料寫入該部分的控制器。 >在又—實施例中，本發明提供—用於顯示影像的裝置。 4裝置包含用於調變光的複數個構件及用於控制顯示器之 -部分t心調變光之所有料複數個構件 的構件。 却汉舄入 II在又IT施例中’本發明提供將顯示資料寫入-ME_ 牛陣列的方法。該方法包含致動陣列之-部分中所 有MEMS το件並㈣示諸寫人料列之該部分。 貫施例中，本發明提供一被組態用以將資 -廳S顯示元件陣列的系統，系統包含一行驅動器及— 104326.doc 1353337 •列驅動@列驅動$及行驅動器經組態用以致動具有第一 • &第二電位差之陣列的至少某些元件，其中第二電位差的 絕對值係大於第一電位差的絕對值。 在又貝細*例中，本發明提供一被組態用以將資料寫入 一 MEMS顯示元件陳列的备怂 / 早歹j的系統。该糸統包含用於驅動該等 S顯7T7C件之-行的構件及用於驅動該等则㈣顯示 -件之歹J的構件。列及行驅動構件經組態用以致動具有 • 帛一及第二電位差之該陣列的至少某些元件，其中第二電 位差的絕對值係大於第一電位差的絕對值。 貫施例中，本發明提供將顯示資料寫入一 MEMS 』π兀件陣列的方法，該方法包含致動具有第—及第二電 位差之及陣列的至少某些元件，其中第二電位差的絕對值 係大於第一電位差的絕對值。 【實施方式】 以下詳細描述係針對本發明之某些特定實施例。然而， 鲁彳以許多不同方式實施本發明。在此描述中，參看圖式， ^式中始終用相同數字表示相同部分。如自以下描述 將係顯而易見的，可在祜 ^ ^ Λ iS ^ , 〇用以顯不影像的任何設備， U如視峨靜止的（例如，靜像），且無論 馬文本的或圖示的設借φ香々 的又備中霄施本發明。更特定言之’預期 可在多種電子設備（諸如，作 〆 個人眘# ^ 仁不限於，仃動電話、無線設備、 )、掌上型或攜帶型電腦、⑽接收器/
It :1 目機，機、攝像機、遊戲控制臺、手錶、 ’里°十异機、電視監視器、平板顯示器、電腦監視器、 J04326.doc 自動顯不(例如审兹j 顯干写^列如里私表顯不器，等）、座驗控制器及/或 、相機視圖顯示器(例如，交通工具中的後視相機頌 示器）、電子照片、電子1干㈣W &視相機顯 ，電子D不牌或符號、投影儀、建築結構、 、、及美學結構(例如，—件珠寶上的影像顯示”中實施 發明或本發明可與該等多種電子設備相關聯。亦可將與 本文中所描述之結構相似結構賴EMS設備用於非顯示器 應用中諸如用於電子開關設備中。 在圖1中說明包含一干涉以屬顯示元件的—干涉調變 器顯示器實施例。在此等設備中，像素在明亮或黑暗狀態 下。在明亮("開啟”)狀態下’顯示元件將大部分入射可見光 射至使用者。虽在黑暗（"關閉”）狀態下時，顯示元件將很 少入射可見光反射至使用者。依實施例而定，可反向"開啟 ’’與"關閉"狀態的光反射特性。考慮除黑白以外的彩色顯示 器，可組態MEMS像素來以所選色彩突出反射。 圖1為描述視覺顯示器之一連串像素中兩個相鄰像素的 等角視圖，其中每一像素包含一 MEMS干涉調變器。在某些 實施例中，干涉調變器顯示器包含此等干涉調變器的一列/ 行陣列。每一干涉調變器包括以相互之間距離可變且可控 制來定位的一對反射層用於以至少一可變尺寸形成一諧振 光學空腔。在一實施例中’可在兩位置間移動該等反射層 中一層。在第一位置中’本文中被稱為釋放狀態，將可移 動層疋位於距固定部分反射層相對較大距離處β在第二位 置中’更鄰近於部分反射層定位該可移動層。依可移動反 射層的位置而定自兩層反射的入射光建設性地或破壞性地 I04326.doc 10- 1353337 進行干擾’從而為每-像素產生整體反射或非反射狀態。 圖1中像素陣列之描繪部分包括兩個相鄰干涉調變器i2a 及12b。在左邊的干涉調變器12a中，在距固定部分反射層 16a—預定距離處的釋放位置中說明可移動且高度反射層 14a。在右邊的干涉調變器12b中，在鄰近於固定部分反射 層16b的致動位置中說明可移動高度反射層“匕。
固定層16a、16b係導電的，部分透明且部分反射性的， 且例如’可藉由在一透明基板2〇上沉積一或多層路及氧化 銦錫中每一種而製造。料層被圖案化為平行條帶，並可 如以下進-步描述來形成顯示設備中的列電極。可形成可 移動層Ma、14b作為沉積於柱18頂上的(多個)沉積金屬層 (垂直於列電極163、叫及一沉積於柱18之間的介入犧牲材 料的-連串乎行條帶。當姓刻掉犧牲材料時，#由界定的 氣隙19將可變形金屬層與固定金屬層分離。可將諸如紹之
高度傳導及反射材料用在可變形層，且此等條帶可形成顯 示設備中的行電極。 無施加電壓，如藉由圖1中像素以說明的，空腔19保持 於層143' -之間且可變形層在機械鬆他狀態下、然而， 當施加一電位差至一所選列„ ^主 坏選歹j及彳了時，形成於相應像素處列 與行電極相交處的電容器被充電，且靜電力將電極聚集到 -起。若《足夠高’則如藉由圓】中右邊像素⑶說明的， 變形可移動層並將其壓至固定層 曰』在固疋層上沉積一 未在此圖中說明之介電材料 ^ 防止短路並控制分離距 離）。不管施加電位差的極性，扞. f仃為係相同的。以此方式， KM326.doc 1353337 可控制反射對非反射像素狀態的列/行致動在許多方面類 似於用於習知LCD及其它顯示技術十的列/行致動。 圖2至5說明用於使用顯示器應用中一干涉調變器陣列的 一例示性方法及系統。圖2為說明可併入本發明之態樣之電 子s又備之一貫施例的糸統方塊圖。在例示性實施例中，電 子設備包括一處理器21，其可為諸如arm、pentium®、 Pentium II® ^ Pentium III® > Pentium IV® ^ Pentium® pr〇 , φ 805 1、MIPS®、Power PC®、ALPHA®的任何通用單或多晶 片微處理器，或諸如數位訊號處理器、微控制器、或可程 式化閘極陣列的任何專用微處理器。如此項技術中習知 的，可組態處理器21以執行一或多個軟體模組。除執行操 作系統外，可組態處理器以執行一或多個軟體應用，包括 網路瀏覽器、電話應用、電子信函程式或任何其它軟體應 用。 ’ 在一實施例中，亦組態處理器21用以與陣列控制器22通 • 信。在一實施例中，陣列控制器22包括向像素陣列3〇提供 訊號的列驅動器電路24及行驅動器電路26。藉由圖2中線 1 -1展不圖1中說明之陣列的橫截面。對於MEMS干涉調變 器，列/行致動協疋可利用圖.3中說明之此等設備的磁滯特 性。該協定可要求，例如，用以使可移動層自釋放狀態變 形至致動狀態的10伏特電位差。然而，當電壓自彼值降低 時，當電壓下降回10伏特以下時可移動層保持其狀態。在 圖3之例示性實施例中，直至電壓下降至2伏特以下可移動 層才完全釋放。因此在圖3中說明之實例中具有一約為3 v 104326.doc 1353337 至7 V的電㈣圍’在該實例中存在__施加電壓窗，在該窗 内設備係穩定在釋敌或致動狀態下。本文中此被稱為"磁滞 ®或穩疋ή 。對於具有圖3中磁滯特徵之顯示器陣列， 可設計列/行致動協定以便在列選通過程中，將待被致動之 選通列中的像素曝露於一約為1〇伏特的電麼差，且將待被 釋放之像素曝露於—接近零伏特的電Μ差。在選通之後， 將像素曝露於約為5伏特之穩定狀態電愿差以便該等像素 保料列選通將其放入的任何狀態下。在被寫入之後，在 此實例中每一像素看見3至7伏特之"穩定窗，,内的一電位 差此特徵使圖1中說明之像素設計穩定於致動或釋放預存 在狀態下的相同施加電壓條件下。由於干涉調變器的每一 像素，無論為致動或釋放狀態下，基本上係—由固定及移 =反射層形成的電容器’因而可將此穩定狀態保持於磁滯 面内的電壓而幾乎無功率耗散。若施加電位固定則基本 上無電流流入像素中。 在八5L應用中，可藉由根據第一列中所要之致動像素設 定確定行電極來設定創造顯示訊框。而後施加一列脈衝至 歹J I電極，彳心而致動對應於確定之行線的像素。而後改變確 定之行電極設定以對應於第二列中所要之致動像素設定。 而後施加一脈衝至列2電極，從而根據確定之行電極致動列 2中的適當像素。列丨像素未受列2脈衝的影響，並在列1脈 衝過私中保持在該等列1像素被設定的狀態下。可以一連續 方式對整個系列的列重複此以產生訊框。大體而言，藉由 以每各某個所要訊框數不斷重複此過程來用新的顯示資料 104326.doc 1353337 刷新及/或更新訊框。用於驅動像素陣列之列及行電極以產 生顯示訊框的多種協定亦為熟知並可連同本發明使用。
圖4及5說明一用於創造圖2中3χ3_列上顯示訊框的一可 能致動協定。圖4說a月可用在展示圖3中磁滞曲線之像素之 行及列電壓位準的-可能設定。在圖4實施例中，致動—像 素包括將適當行設於_Vbias，並將適當列設於+ Δν，該等 -Vbias及+ ΔΥ可分別對應於_5伏特及+ 5伏特。藉由將適當 行設m ’並將適當列設於相同的+Δν完成釋放該像 素，從而產生-跨越該像素的零伏特電位差。在將列電麗 保持於零伏特的彼等列中，不管行為在+ m，像 素穩定在任何其原始狀態下。 圖5B為展示將引起圖5A中說明之顯示器排列之施加在 圖2中3x3陣列的_連串列及行訊號的時序圖，該處致動像 素為非反射性的。在寫人圖5A中說明的訊框之前，像素可 在任何狀態下，且在此㈣中，所㈣在〇伏特，且所有行 在+ 5伏特。藉由此等施加所有像素係穩定在其現存 致動或釋放狀態下。 於圖5A訊框甲，致動像素0, υ、ο,2)、（2,2)、α2Ί 及α 3)。為完成此，在列】之"線時間"過程中，將行⑴ 設於:5伏特，並將行3設於+ 5伏特。因為所有像素保持於3 至7伏特穩定窗中’所以此不改變任何像素的狀態。而後藉 由自〇’南達5伏特，並返回至零的脈衝選通列 =’2)像素並釋放(1，3)像素。未影響陣列中的二’ 素。為將列2設定為所要列，將行2設於，5伏特並將行^ 104326.doc 伏特。施加於列2之相同選通而後將致動像素（2, )並=放像素（2，】）及（2,3)。再次，未影響陣列中的其它像 ^藉由將行2及3設於-5伏特，並將们設於+ 5伏特同樣 设疋列3。如圖5A中所S - λα 園中所展不的，列3選通設定列3像素。在寫 入訊框之後’列電位為零，且行電位可保持在+ 5或-5伏 特:且而後顯示器係穩定在圖从的排列中。應瞭解可將相 同私序用在幾十或幾百列及行的陣列。亦應瞭解在上述普 遍原貝j内可大大變化用以執行列及行致動之電麼的時序、 序列、及位準’且以上實例僅為例示性的，且任何致動電 壓方法可用於本發明。舉例而言，應瞭解可藉由自陣列驅 動電路之電路共同電麼轉換之電塵驅動陣列元件使得列可 自6.2變成6.2 V+Vbias且同樣地行將自例如t v的低電塵轉 變至1 V+2*Vbias。在此實施例中，釋放電壓可與零伏特稍 微不同。該釋放電壓可大至幾伏特但通常小於一伏特。 根據上述原則操作之干涉調變器結構的細節可大大變 ^ 牛例而σ，圖6A至6C說明移動鏡面結構的三個不同實 施例。圖6Α為圖1中實施例的橫截面，其中該處金屬材料14 的一條帶沉積於垂直延伸支撐件18上。在圖沾中，可移動 反射材料14僅在系繩32上在拐角處附著至支撐件。在圖6(： 中，自可變形層34懸掛可移動反射材料14。因為可以相對 於光學性質之方式最佳化用在反射材料14的結構設計及材 料且可以相對於所要之機械性質之方式最佳化用在可變形 層34的結構設計及材料所以此實施例具有益處。在多種公 開文獻（包括’例如，美國公開申請案2004/005 1929)中描述 104326.doc 1353337 各種類型干涉設備的生產。可使用多種熟知技術以產生包 括一連串材料沉積、圖案化、及蝕刻步驟的上述結構。 上述设備之一態樣為電荷可建置於設備之諸層之間的介 電貝上，尤其當藉由一總在相同方向中的電場致動該等設 備並將該等設備保持在致動狀態下時。舉例而言，若去乒 由具有大於穩定性之外臨限值之量值的電位致動設備時移 動層係總在相對於固定層之較高電位上，則諸層之間介電 φ 質上一慢慢增加之電荷累積可能開始改變設備的磁滯曲 線。由於使顯示器效能隨時間改變，並隨時間對於以不同 方式致動的不同像素以不同方式改變，因而此係不良的。 如在圖5B之實例中可見，一給定像素在致動過程中看見一 1 〇伏特差，且在此實例t每次，列電極係在高於行電極I〇 v 的電位上。在致動過程中，板間電場因此總指向—方向， 自列電極至行電極。 可藉由在顯示寫入過程之第一部分過程中致動具有第一 • 極性之電位差的MEMS顯示元件，且在顯示寫入過程之第二 邛刀過程中致動具有與第一極性相反極性之電位差的 MEMS顯示元件來減少此問題。在圖7、8八及8B中說明此基 本原則。 在圖7中，順次寫入顯示資料的兩個訊框，訊框N及訊框 N+1。在此圖中，用於行的資料變成在列^線時間過程中對 於列1有效（意即，依列1中像素之所要狀態而定為+ 5或 •5) ’在列2線時間過程中對於列2有效，且在列3線時間過程 中對於列3有效。如圖5B中所展示寫入訊框N，本文中該訊 104326.doc -16- 1353337 框N將被稱為正極性，同時在MEMS設備致動過程中列電極 比行電極高1〇 V。在致動過程中，列電極可在_5 V，且在 此實例中列上的掃描電壓為+ 5 v。因此根據與圖4相同之 圖8A中的表執行訊框n的致動及釋放。
根據圖8B中的表寫入訊框n + 1。對於訊框N+1，掃描電 C為5V’且將行電壓設定於+ 5V用以致動，並設定於·5v 用以釋放。因此，在訊框N+1中，行電壓係比列電壓高1〇 V， 本文中其被稱為負極性。由於不斷刷新及/或更新顯示因 而可在諸訊框之間改變極性，從而以與訊框N相同之方式寫 入訊框N+2 ’以與訊框1^+1相同之方式寫入訊框n+3，等 等乂此方式，像素致動發生於兩極性中。在實施例中遵 循此原則’以界定的次數並在依將影像資料寫人陣列之 MEMS元件之速率而^的界定的持續時間内分別施加相反 極性之電位至-給定Μ侧元件，且在顯示器使用之一給定
週期上近似相等的時間量内各施加相反電位差。此有助於 減少隨時間之介電質上的電荷累積。 可貫施此方案之多種修拉。與一 " +例而s，訊框Ν及訊框Ν+1 可包含不同顯示資料。戎去， 次者 了將相同顯示資料兩次寫入 具有相反極性的陣列。亦·pp & 方了為有利的係將某些訊框專門用 在寫入所要顯示資料之前將所有或A f所古#冬π h 踩说处能1男4大體所有像素設定於 釋放狀態，及/或將所有或大 H大體所有像素Μ於致動狀態。 了鞛由，例如，將所有行設 W丄<V(或-5 V)並由-5 V掃描 (或+ 5 V知描）同時掃描 早列線時間内執行將所 有像f δ又疋於共同狀態。 104326.doc 1353337 . 在一此實施例中，在一極性中將所要顯示資料寫入陣 列，釋放所有像素，並以相反極性第二次寫入相同顯示資 * 料。此係與圖7中說明的方案相似，使訊框N與訊框N+1相 同，並將釋放線時間的一陣列插入於諸訊框之間。在另一 , 實施例中，釋放列線時間先於新顯示資料的每一顯示更新。 在另實細*.例中，使用列線時間以致動陣列的所有像 素，使用第二線時間以釋放陣列的所有像素，且而後將顯 • 示資料（例如訊框切寫入顯示器。在此實施例中’與先於訊 框N之極性相反極性的陣列致動線時間及陣列釋放線時間 可先於訊框N+1。在某些實施例中一極性之致動線時間、 相同極性之釋放線時間、相反極性之致動線時間及相反極 性：釋放線時間可先於每-訊框。此等實施例確保對於顯 不貝料之每-訊框所有或大體所有像素被致動至少一次， 從而減 >、差異老化效應以及減少電荷累積。 在某一狀况下’可為有利的係在陣列致動線時間過程中 # 制超高致動電壓。舉例而言，在上述陣列致動線時間過 程中’列掃描電壓可為7和"而非5 此實施例中， 施力:於像素的最高電塵出現於此等，·超致動"陣列致動時間 神中’而非於顯示資料更新過程中。此可能亦有助於減 :不同像素的差異老化效應，依正被顯示之影像而定，該 =像素中某些像素可在顯示更新過程中頻繁改變，然而其 它像素在顯示更新過程中可較少改變。 姑能以一列一列為基礎執行此等極性反向及致動/釋 疋。在此等實施例中，可在訊框寫人過程中多次寫入 104326.doc •18· 1353337 一訊框的每一列。舉例而言，當寫入訊框N的列丨時，可釋 放列1的所有像素，並可以正極性寫入用於列1的顯示資 料。可第二次釋放列1的像素，並以負極性再次寫入列1顯 示資料。亦可對於全陣列執行如上述的致動列丨所有像素。 應進一步瞭解在顯示更新/刷新過程中可以低於每一列寫 入或每一訊框寫入的頻率執行釋放、致動及超致動。 圖9A及9B為說明一顯示設備2〇4〇之一實施例的系統方 塊圖。顯不設備2040可為，例如，一細胞式或行動電話。 然而，顯不設備2040或其微小變化之相同組件亦說明諸如 電視及攜帶型媒體播放機的各種顯示設備。 顯不設備2040包括一外殼2041、一顯示器2〇3〇、一天線 2043、一揚聲器2045、一輸入設備2〇48、及一麥克風2〇46。 外殼2 0 4 1大體上由如已為熟習此項技術者所熟知的多種製 造方法中任何一種方法形成，包括射出成形及真空成形。 此外，外殼2041可由多種材料中任何一種材料製成，包括 但不限於塑料、金屬、玻璃、橡膠、及陶瓷、或其組合。 在一實施例中，外殼2041包括可與不同色彩，或含有不同 標誌、圖片、或符號之其它可移除部分互換的可移除部分 (未圖示）。 例示性顯示設備2040之顯示器2030可為多種顯示器中的 任何一種，包括如本文中所描述的雙穩態顯示器。在其它 實施例中，顯示器2030包括平板顯示器，諸如如上述:電 毁、EL、〇LED、STN LCD、或TFT LCD，或非平板顯示之器， 諸如如已為熟習此項技術者熟知的CRT哎1 八匕s S又備。然 104326.doc •19· 1353337 而，為達成描述本實施例之目的，顯示器2030包括如本文 中所描述的一干涉調變器顯示器。 在圖9B中圊解地說明例示性顯示設備2040之一實施例的 組件。被說明之例示性顯示設備2040包括一外殼2041並可 包括至少部分封閉於該顯示設備中的額外組件。舉例而 言，在一實施例中，例示性顯示設備2040包括一包括天線 2043的網路介面2 02 7，該天線耦接至一收發器2047。收發 器2047連接至處理器2021，該處理器2021連接至調節硬體 2052。可組態調節硬體2052以調節一訊號（例如，過濾一訊 號）。調節硬體205 2連接至一揚聲器2045及一麥克風2〇46。 處理器2021亦連接至一輸入設備2048及一驅動器控制器 2029。 驅動器控制器2029耦接至一訊框緩衝器2028並耦接 至陣列驅動器2022，該陣列驅動器又耦接至一顯示器陣列 2030。 當被特定例示性顯示設備2040設計要求時電源2050 向所有組件提供功率。 網路介面2027包括天線2043及收發器2047使得例示性顯 示設備2040可與網路上一或多個設備通信。在一實施例中 網路介面2027亦可具有用以減輕處理器2021之要求的某些 處理能力。天線2043係為熟習用於傳輸並接收訊號之此項 技術者已知的任何天線。在一實施例中’天線根據IEEE 802.1 1標準（包括 IEEE 802.1 1(a)、（b)、或（g))傳輸並接收RF 訊號。在另一實施例中，天線根據BLUETOOTH標準傳輸並 接收RF訊號。在蜂巢式電話的狀況下，設計天線以接收用 以在無線手機網路内通信之CDMA、GSM、AMPS或其它已 104326.doc •20- 1353337 知訊號》收發器2047預處理自天線2〇43接收之訊號使得可 藉由處理器2021接收並進一步操作該等訊號。收發器2〇47 亦處理自處理器2021接收之訊號使得可經由天線2〇43自例 示性顯示設備2040傳輸該等訊號。 在一替代性實施例中，可用一接收器替代收發器2〇47。 在又一替代性實施例中’可用一影像源替代網路介面 2027，该影像源可儲存或產生待被發送至處理器2〇2丨的影 像資料。舉例而言，影像源可為含有影像資料的數位視訊 碟（DVD)或硬碟機，或產生影像資料的軟體模組。 處理器202 1大體上控制例示性顯示設備2〇4〇的總操作。 處理器2021自網路介面2027或影像源接收資料，諸如壓縮 影像資料，並將資料處理成原始影像資料或處理成一容易 被處理成原始影像資料的格式。而後處理器2〇2〗向驅動器 控制器2029或向訊框緩衝器2028發送經處理的資料用於儲 存。原始資料通常指識別影像内每一位置處之影像特徵的 資訊。舉例而言，此等影像特徵可包括色彩、飽和度及灰 度階。 在一實施例中，處理器202 1包括用以控制例示性顯示設 備2040之操作的微控制器、cpu或邏輯單元。調節硬體2〇52 大體上包括用於向揚聲器2045傳輸訊號，並用於自麥克風 2(M6接收訊號的放大器及過濾器。調節硬體2〇52可為例示 性顯示設備2040内的離散組件，或可倂入處理器2〇21或其 它組件内。 驅動器控制器2029直接自處理器2021或自訊框緩衝器 104326.doc 1353337
2028獲得由處理器2021產生的原始影像資料並適當重格式 化原始影像資料用於至陣列驅動器2〇22的高速傳輸。具體 言之，驅動器控制器2029將原始影像資料重格式化成具有 光栅狀格式的資料流，使得該資料流具有一適合用於掃描 過顯不器陣列2030的時間順序。而後驅動器控制器2〇29向 陣列驅動2022發送格式化資訊。儘管驅動器控制器 2029(諸如LCD控制器）通常作為獨立積體電路（IC)與系統 處理器2021相關聯，但可以多種方式實施此等控制器。該 等控制器可作為硬體嵌入處理器2〇21中，作為軟體嵌入處 理器2021中，或完全整合進具有陣列驅動器2〇22的硬體中。 通常，陣列驅動器2022自驅動器控制器2029接收格式化 資訊並將視訊資料重格式化成每秒多次被施加於來自顯示 器之x-y矩陣像素的幾百且有時幾千根導線的一平行波形 在貫鈀例中，驅動器控制器2029、陣列驅動器2022、 及顯示器陣列2030係適合用於本文中所描述之任何類型的 顯示Ιϋ例而言’在-實施例中，驅動器控制器卿為 %知顯不控制@或-雙穩態顯示控制器（例如，—干涉調 變器控制器）。在另-實施例中，陣列驅動器助為一習知 :動器或：雙穩態顯示驅動器(例如，一干.涉調變器顯示 益）。在-貫施例中，驅動器控制器期與陣列驅動器助 整合。此實施例係通用於諸如行動 面積顯示器的高度整合系統中。在 陣列2030係一典型顯示器陣列或_ 電話、手錶、及其它小 又一實施例中，顯示器 雙穩態顯示器陣列（例 104326.doc •22- 1353337 如’包括一干涉調變器陣列的顯示器）。 輸入設備2048允許使用者控制例示性顯示設備2〇4〇的操 作。在一實施例中，輸入設備2〇48包括一鍵區，諸如 qwerty鍵盤或電話鍵區、按鈕、開關、觸控式螢幕、感 壓或感熱性薄H實施财，麥克風2()46係—用於例 示性顯示設備2040的輸入設備，當使用麥克風2〇46用以向
設備輸入資枓時，可由使用者提供語音指令用於控制例示 性顯不设備2〇4〇的操作。 電源2050可包括如此項技術令所熟知的多種能量儲存設 備。舉例而言’在一實施例中，電源2〇5〇為一可再充電的 電池，諸如鎳鎘合金電池或鋰離子電池。在另一實施例中， 電源2050為可更新能源、電容器、或包括塑膠太陽能電池、 及太陽能電池塗料的太陽能電池。在另—實施例中，組態 電源2050用以自一壁式插座接收功率。 如上述’在某些實施例中控制可程式化性滯留於可定位 於電子顯示系統中幾處的驅動器控制器中。在某些狀況下 控制可程式化性滯留於陣列驅動器2〇22中。熟習此項技術 者將認為可在任何數量之硬體及/或軟體組件中並在各種 組態中實施上述最佳化。 儘管以上詳細描述已展示、描述並指出如應用於各種實 施例之本發明的新奇特點’但應瞭解可由熟習此項技術者 對所況月之α備或方法之形式及細節進行各種I略、取 代二及改變而不背離本發明之精神。作為一實_，應瞭解 測試電壓驅動器電路可與用以創建顯示器的陣列驅動器電 I04326.doc •23, 1353337 路分離。如同電流感測器一樣 分雜&丨φ 1 雊電壓感測器可專用以 歹J電極。由附加之申續糞刹鈴除 示大㈣ 以專心“⑽由先前描述指 不本發明之範疇。在申嗜直 之範… 之均等物之含義及範圍 範=的所有改變應包含於申請專 【圖式簡單綱】 4 圖1為描述一干涉調變器顯 等自葙m . 窃之一貫施例之一部分的 手角視圖’在該顯示器中第一
#第干涉调變器之可移動反射層 係在釋放位置中且第二 動位置中。 〜調支盗之可移動反射層係在致 設備之一 一圖2為說明併入-3x3干涉調變器顧示器之電 實施例的系統方塊圖。 圖3為與用於圖1中干涉調變器之-例示性實施例之可r 動鏡面位置對所施加電壓相對的圖。 夕 圖4為可用以驅動-干涉調變器顯示器之-組列及行雷 壓的說明。 電 圖5 A說明圖2中3 x 3干涉調變器顯示器中一例示性顯 料訊框。 a 圖5B e兒明用於可用以寫入圖5A中訊框之列及行訊號的 一例示性時序圖。 圖όΑ為圖1中設備的橫截面。 圖6Β為干涉調變器之—替代性實施例的橫截面。 圖6C為干涉調變器之另—替代性實施例的橫截面。 圖7為用於可用於本發明之—實施例中列及行訊號的例 示性時序圖。 104326.doc -24- 1353337 圖8A及8B說明可用以驅動本發明之一實施例中干涉調 變器顯示器的一組列及行電壓。 圖9A及9B為說明包含複數個干涉調變器之視覺顯示設 備之一實施例的系統方塊圖。 【主要元件符號說明】
12a、 12b 干涉調變器/像素 14a、 14b 可移動高度反射層 16a' 16b 固定部分反射層/列電極 18 柱/垂直延伸支撐件 19 氣隙/空腔 20 基板 21 處理器 22 陣列控制器 24 列驅動器電路 26 行驅動器電路 30 像素陣列 2021 處理器 2022 陣列驅動器 2027 網路介面 2028 訊框缓衝器 ， 2029 驅動器控制器 2030 顯示器/顯示器陣列 2040 顯示設備 2041 外殼 104326.doc •25- 1353337 2043 天線 2045 揚聲器 2046 麥克風 2047 收發器 2048 輸入設備 2050 電源 2052 調節硬體
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丄/第〇941294〇8號專利申請案 中文申請專利範圍替換本(97年8月） 十、申請專利範圍： 1. 一種經組態以驅動一 MEMS顯示元件之裝置，該裝置包 含： , 一控制器，其經組態以在一顯示寫入過程中，當寫入 i 一第一訊框時，控制致動具有唯一第一極性的一電位差 之一 MEMS顯示元件的一驅動器電路，該控制器經組態以 在該顯示寫入過程中，當寫入一第二訊框時，使該驅動 器電路在該致動之後釋放該MEMS顯示元件，且而後致動 φ 具有與該第一極性相反的唯一極性之一電位差的該 MEMS顯示元件；及 至少一輸出埠，其經組態以在該顯示寫入過程中，至 少部分將該電位差傳達至該MEMS顯示元件， 其中寫入一訊框包含寫入該訊框之顯示資料至該 MEMS顯示元件，及其中在該顯示寫入過程中被寫入之每 一訊框包含不同的顯示資料。 2. 如請求項1之裝置，其中該控制器經組態以藉由將顯示資 # 料的一第一訊框寫入一 MEMS顯示元件群組中，及將顯示 資料的一第二訊框寫入該MEMS顯示元件群組中致動具 有一第一極性之一電位差的該MEMS顯示元件群組。 3. 如請求項2之裝置，其中在該第一訊框與該第二訊框之間 將顯示資料之一或多個其它訊框寫入該群組。 4. 如請求項1之裝置，其中該裝置經進一步組態以在該顯示 寫入過程中，當寫入一第三訊框時，控制具有該第一極 性之一電位差的該MEMS顯示元件之致動。 104326-970826.doc 5·如请求項1之裝置，其中該裝置經進一步組態以在該顯示 寫入過裎之交替部分過程中，交替施加相反極性之電位 差至該等MEMS顯示元件》 6. 如凊求項5之裝置，其中該顯示寫入過程之交替部分包含 將顯不資料之交替訊框寫入該MEMS顯示元件。 7. 如請求項6之裝置，其中該顯示寫入過程之該等交替部分 包含將顯示資料之交替列寫入一 MEMS顯示元件群組。 8. 如請求項丨之裝置，其中該控制器經進一步組態以： 藉由控制該等MEMS顯示元件之致動將顯示資料之一 第一訊框寫入具有該第一極性之一電位差的—M]EMs顯 示元件群組； 將該群組中實質上所有MEMS元件置放在一釋放狀態 下；並 藉由控制該專MEMS顯不元件之致動將顯示資料之一 第二訊框寫入具有與該第一極性相反之極性的一電位差 的該群組。 9. 如請求項1之裝置，其中該控制器經組態以： 將一 MEMS顯示元件群組中之一列中大體所有MEMS 元件置放在一釋放狀態下； 藉由控制該等MEMS顯示元件之致動將一第一組顯示 資料寫入具有該第一極性之一電位差的該群組中之該 列； 將該群組中之該列中實質上所有MEMS元件置放在一 釋放狀態下；並 104326-970826.doc 1353337 藉由控制該等MEMS顯示元件之致動將一第二組顯示 . 寅料寫入具有與該第一極性相反之一極性之一電位差的 該群組中之該列。 - ι〇.如請求項1之裝置，其中輸出埠係與一控制器通信》 - u.如請求項1之裝置，其中該輸出埠包含至少一晶片針腳。 12. 如請求項1之裝置，其中該輸出埠包含至少一導線。 13. 如請求項丨之裝置，其中該輸出埠包含至一驅動器電路的 至少—介面該驅動器電路致動一 MEMS顯示元件。 • 14.如請求項1之裝置，其進一步包含： 一處理器，其與該MEMS顯示元件電通信，該處理器經 組態以處理影像資料；及 一記憶體設備，其與該處理器電通信。 15. 如請求項14之裝置，其中該處理器經組態以向該控制器 發送該影像資料的至少一部分。 16. 如明求項14之裝置，其進一步包含一經組態以向該處理 器發送該影像資料之影像源模組。 鲁1 7.如明求項1 6之裝置，其_該影像源模組包含一接收器、 一收發器、及一傳輸器中之至少一者。 1 8.如吻求項14之裝置，其進一步包含一經組態以接收輸入 資料並將該輸入資料傳達至該處理器之輸入設備。 19. 一種經組態以驅動一MEMS顯示元件群組之裝置，該裝置 包含： 用於在一顯示寫入過程中，當寫入一第一訊框時，控 制致動具有唯一第一極性的一電位差之該等mems顯示 104326-970826.doc 1353337 元件之致動，及用於引起該等MEMS顯示元件之釋放，而 後在該顯示寫入過程中，當寫入一第二訊框時，控制具 有與該第一極性相反的唯一極性之一電位差的該等 MEMS顯示元件之致動的構件；及 在該顯示寫入過程中，用於至少部分將該電位差傳達 至該MEMS顯示元件的構件， 其中寫入一訊框包含寫入該訊框之顯示資料至該 MEMS顯示元件，及其中在該顯示寫入過程中被寫入之每 一訊框包含不同的顯示資料。 20. 如請求項19之裝置，其中用於控制該等MEMS顯示元件之 致動的該構件包含一控制器。 21. 如請求項20之裝置，其中用於引起該等MEMS顯示元件之 釋放的該構件包含一控制器。 22. 如請求項19之裝置，其中用於控制該等MEMS顯示元件之 致動的該構件包含一處理器。 23. —種致動一組MEMS顯示元件之方法，該等MEMS顯示元 件包含一 MEMS顯示元件陣列的一部分，該方法包含： 在一顯示寫入過程中，寫入一第一訊框之顯示資料至 具有唯一第一極性的一電位差之該等MEMS顯示元件； 釋放該等MEMS顯示元件；並 在該顯示寫入過程中，寫入一第二訊框之顯示資料至 具有與該第一極性相反的一極性之一電位差的該等 MEMS顯示元件， 其中在該顯示寫入過程中被寫入之每一訊框包含不同 104326-970826.doc 1353337 的顯示資料。 认如請求項23之方法，其中在該第 間將顯干#蚪+ 讯杞與該第二訊框之 門將顯不貝料之—或多個其它訊樞寫入該陣列。 5.如凊求項23之方法，其進一步 中，$宜入一— 在該顯不寫入過程 中备寫入—訊框時，致動具有哕坌 ，通第一極性之一電位差 的該MEMS顯示元件。 & 26. 如請求項23之方法，盆進一 +勹人士 進步包含在該顯示寫入過程之 交替部分過程中交替渝加未 又朁施加相反極性之電位差至該陣列的 顯示元件。 27. 如請求項26之方法，其中該顯示寫入過程之該等交替部 分包含將顯示資料之交替訊框寫入顯示元件陣 列0 28. 如請求項26之方法，其中該顯示寫入過程之該等交替部 分包含將顯示資料之交替列寫入該MEMS顯示元件陣列。 29. 如請求項23之方法，其進一步包含： 將該陣列之一列中實質上所有MEMS元件置放在一釋 Φ 放狀態下； 將一第一組顯示資料寫入具有該第一極性之一電位差 之該陣列的該列以便致動該MEMS顯示元件； 將該陣列之該列中實質上所有MEMS元件置放在一釋 放狀態下；並 將一第二組顯示資料寫入具有與該第一極性相反的一 極性之一電位差的該陣列的該列以便致動該MEMS顯示 元件。 l04326-970826.doc 1353337 30.如請求項23之方法，其進一步包含： - 將顯示資料之該第一訊框寫入具有該第一極性之一電 位差的該陣列以便致動該MEMS顯示元件； * 將該陣列中實質上所有MEMS元件置放在一釋放狀態 - 下；並 將顯示資料之該第二訊框寫入具有與該第一極性相反 的一極性之一電位差的該陣列以便致動該MEms顯示元 件。 • 31. 一種經組態以操作形成一顯示器之一MEMS元件陣列中 的一 MEMS元件之裝置，該裝置包含： 一驅動器電路’其組態以施加一電位差至該陣列中一 部分中之每一個MEM S元件，該部分包含該顯示器之複數 個行及複數個列的MEMS元件，該驅動器電路經組態以週 期性地施加一第一電位差與一第二電位差至在該部分中 之該等MEMS元件，以及實質地釋放該部分中之全部該等 Μ E M S元件，該第一及該第二電位差具有相反極性及一足 ^ 以致動在該部分中之該等MEMS元件之近似相等強度，其 中該第一電位差及該第二電位差以界定的次數並在依將 影像資料寫入該部分中之該等MEMS元件之一速率而定 的界定的持續時間内分別被施加至該部分令之該等 MEMS元件，且其中該第一及該第二電位差在顯示器使用 之一給定顯示週期上一近似相等的時間量内各被施加至 該部分中之該等MEMS元件，且其中該驅動器電路經進一 步組態以使用該第一極性之電位差及與該第一極性相反 104326-970826.doc •6· 1353337 之電位差寫入相同資料訊框；及 至少-輸出埠，其經組態以在顯示寫入過程之該第一 部分過程中至少部分將該電位差傳達至該部分中之該等 MEMS顯示元件。 32.如請求項31之裝置，其中該輸出淳包含至少—晶片針腳。 33·如請求項31之裝置，其中該輸出埠包含至少一導線。 34. 如咕求項31之裝置，其中該輸出埠包含對於一驅動器電 路的至少一介面。 35. 如請求項31之裝置’其中該等Mems顯示元件中至少一者 包含一干涉調變MEMS設備。 36. 如請求項31之裝置，其進一步包含： >處理咨’其係與該部分中之該等mems元件電通信， 該處理器經組態以處理影像資料；及 一记憶體設備，其與該處理器電通信。 37. 如請求項31之裝置’其進—步包含—經組態以發送該等 影像資料的至少一部分至該驅動器電路的處理器。 38. 如π求項37之裝置，其進—步包含—經組態以發送該等 影像資枓至該處理器的影像源模組。 39. 如凊求項38之裝置，其_該影像源模組包含一接收器、 一收發器、及一傳輪器中至少一者。 -祖长項37之裝置’其進一步包含-經組態以接收輸入 貧將該等輸入資料傳達至該處理器之輸入設備。 41. 一種用於更新-顯示器之裝置，該裝置包含： 复數個調變構件’其用於調變光且配置在該顯示器之 I04326-970826.doc 1353337 複數個行與複數個列之中；及 :施加電位差至該等複數個調變構件的構件，該 施加構件經組態以週期性地施加_第一電位差及一第二 電位差至該等複數個調變構件並且實質地釋放全部該等 複數個調變構件’該第—及該第二電位差具有相反極性 及-足以致動該複數個調變構件之近似相等的量值，其 中該第—f位差及㈣二電位差以界定的次數並在依將 影像資料寫^變構件之-料以的界定的持續時間 内分別被施加至該複數個調變構件，且其中該第一及該 第二電位差在顯示器使用之一給定週期上一近似相等的 時間量内各被施加至該複數個調變構件且其令該施加構 件、巫進步組態以使用該第一極性之電位差及與該第一 極性相反極性之電位差寫入相同資料訊框。 如"月求項41之裝置，其中邊施加構件包含一驅動器電路。 43. 如請求項41之裝置，其中該施加構件包含至少一輸出埠。 44. 如請求項43之裝置，其中該輸出埠包含至少一晶片針腳。 45. 如請求項43之裝置，其中該輸出埠包含至少一導線。 46. 如請求項43之裝置，其中該輸出埠包含對於一驅動器電 路的至少一介面。 47. 如請求項41之裝置，其中該調變光構件包含一干涉調變 MEMS設備。 48. —種操作形成一顯示器的一 MEMS元件陣列中一 元件之方法，該方法包含： 週期性地施加-第-電位差至該陣列之該等M e m s元 104326-970826.doc 1353337 件中之一部分，該第一電位差具有一足以致動該MEMS . 元件的量值，並具有一極性，且該部分包含該顯示器之 複數個行及複數個列的MEMS元件； - 週期性地施加一第二電位差至MEMS元件之該部分，該 . 第二電位差係與該第一電位差之近似相等量值的並與該 第一電位差極性相反極性的；及 實質地釋放該部分中之全部該等MEMS元件； 其中該第一電位差及該第二電位差以界定的次數並在 φ 依將影像資料寫入該部分中之該等MEMS元件之一速率 而定的界定的持續時間内分別被施加至該部分中之該等 MEMS元件，且其中在顯示器使用之一給定顯示週期上一 近似相等的時間量内各施加該第一及該第二電位差至該 部分中之該等MEMS元件； 其中該方法包含使用該第一極性之電位差及與該第一 極性相反極性之電位差寫入相同資料訊框。 49. 一種用於顯示影像之裝置，該裝置包含： ® 一顯示器中的複數個MEMS元件；及 一控制器，其經組態以致動該顯示器之一部分中所有 該等MEMS元件並將顯示資料寫入該部分。 5 0.如請求項49之裝置，其中該等MEMS元件中至少一元件包 含一干涉調變MEMS裝置。 5 1.如請求項49之裝置，其中該控制器進一步包含與經組態 以致動該MEMS顯示元件之該控制器通信的至少一輸出 谭。 104326-970826.doc 1^^3337 輸出埠包含至少一晶 輪出埠包含至少一導 52.如請求項”之裝置，其中該至少_ 片針腳。 53_如請求項51之裝置，其令該至少一 線。 54·如請求項5 1 態以致動該 面〇 之裝置’纟中該至少-輸出埠包含對於經組 MEMS顯示元件之一驅動器電路的至少一介
55.如請求項49之裝置， 件。 其中5玄部分包含—列MEMS顯示元 求項49之裝置，其中該部分包含一完整顯示元 件陣列。 57.如請f項49之裝置，其中該控制器經進-步組態以在將 Λ寅料寫入6亥部分之前釋放該部分十的所有元 件。 58.如請求項49之裝置，其進一步包含：
處理器’其係與該等複數個MEMS元件中至少一元件 電通信，該處理器經組態以處理影像資料；及 一记憶體設備，其與該處理器電通信。 如明求項5 8之裝置’其進一步包含一經組態以發送該等影 像資料至該處理器的影像源模組。 如請求項59之裝置’其中該影像源模組包含一接收器、 一收發器、及一傳輸器中的至少一者。 如。月東項5 8之裝置，其進一步包含__經組態以接收輸入資 料並將該輸入資料傳達至該處理器之輸人設備。 104326-970826.doc 1353337 A-種用於顯示影像之裝置，該裝置包含 複數個用於調變光的構件·及 用於致動並寫入影像資料到該顯示器中 該複數個用於調變光的構件。 冑刀之王# 63. 如請求項62之裝置，豆 中至少—構件勺a 調變光之該等複數個構件 ^ 構件包含一干涉調變MEMS設備。 64. 如s耷求項62之裝置，其 ^ 衣直具中该控制構件包含一捃制哭 65’如請求項62之裝置，呈 匕3控制益。
以致動 > 。工制器進一步包含與經組態 乂致動該聰S顯示元件之 埠。 刺态通6的至少一輸出 66·如請求項62之裝置， 行。 67.如請求項62之裝置， 整個陣歹|J。 其中該部分包含MEMS顯示元件之 其中該部分包含MEMS顯示元件之
68.如請求項62之裝置， 將顯示資料寫入該部 元件。 其中該控制構件經進一步組態以在 分之前釋放該部分令的所有MEMS 69. 一種將顯示資料寫 含： 入—MEMS顯示元件陣列之方法，其包 致動該陣列之1分中的所有MEMs元件；並 將顯示資料寫入該陣列的該部分。 陣列的 70. 如請求項69之方法， 一列MEMS元件。 71. 如請求項69之方法， 其中該陣列之該部分包含該 其中該部分包含一完整陣列 104326-970826.doc 1353337 72.如請求項69之方法’其進一步包含在將顯示資料寫入該 • P車列之該部分之前釋放該陣列的該部分中所有河應元 件。 . 73· 一種經組態以將資料寫入一 MEMS顯示元件陣列之系 • 統’ s亥系統包含： 一行驅動器； 一列驅動器；且 其t該列驅動器及該行驅動器經組態以致動具有第一 • 及第二電位差之該陣列中至少某些元件，其中該第二電 位差的絕對值係大於該第一電位差的絕對值。 74. 如請求項73之系統，其進一步包含： 處理器，其係與該MEMS顯示元件陣列電通信，該處 理器經組態以處理影像資料；及 一记憶體設備，其與該處理器電通信。 75. 如明求項74之系、、统，其進一步包含一經組態以發送該等 心像"貝料的至少—部分至該等列驅動器及行驅動器中至 ’ 少、-者之控制器。 76·如#求項74之系統’其進—步包含—經組態以發送該等 影像資料至該處理器之影像源模組。 77.如叫求項76之系統，其中該影像源模組包含一接收器、 一收發器、及一傳輸器中之至少一者。 •月长項76之系統’其進一步包含一經組態以接收輸入 資料並將该等輸入資料傳達至該處理器之輸入設備。 種’里组態以將資料寫入一 mEMS顯示元件陣列之系 104326-970826.doc 1353337 統，該系統包含： • 用於驅動—行該等MEMS顯示元件的構件；及 . 用於驅動一列該等MEMS顯示元件的構件； • 其中該列及該行驅動構件經組態以致動具有第一及第 . 二電位差之該陣列中至少某些元件，其中該第二電位差 的絕對值係大於該第一電位差的絕對值。 80.如請求項79之系統，其中該行驅動構件包含—行驅動器 電路。 Φ 81 ·如請求項79之系統，其中該列驅動構件包含一驅動器電 路。 82. —種將顯示實料寫入一 MEMS顯示元件陣列之方法，其包 含致動具有第一及第一電位差之該陣列中至少某此元 件，其中該第二電位差的絕對值係大於該第一電位差的 絕對值。
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