TWI343612B - - Google Patents

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叫3612 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 ^本發明係關於打線裝置之構造、打線裝置之接合工具 又換方法、以及記錄有該方法之程式的記錄媒體。 、 【先前技術】 。打線裝置係利用引線來接合半導體晶片之焊墊與引腳 架的裝置。一般之打線裝置係藉由重覆將握持於接合臂驴 端之毛細管的位置配合焊墊位置並使毛細f下降，將^ 接合於焊墊之後，一邊陸續放出引線一邊使毛細管上升、， 且使毛細管移動至引腳架之位置。接著，再度使毛細管下 降’將引線接合於引腳架後，使毛細管上升並切斷引線， 藉由反覆上述之接合循環動作，㈣線連續連接於多 墊與引腳架之間。 。然而’隨著上述接合次數之逐漸增加，毛細管前端會 磨損，且於毛細管内部之去角部會附著例如引腳架之銀等 異物，而逐漸產生引線切斷變差等接合的異常。因此，在 每例如H)〇萬次等-定次數之接合後，毛細管必須交換。 一般之打線裝置一天必須進行2〜3次左右之交換。 -般毛細管之交換’係由操作人員將打線裝置暫時停 機並以手動來進行。另一方®，由於打線襄置大多以數十 台排列設置並同時運轉，因此各裝置-日3次左右之毛細 管的交換，會有導致產生魔大維護時間的問題。 為了解決此種問題’已有提案-種將毛細管等接合工 6 1343612 具之交換作業自動化 * ^ 丁線裝置（例如，參照專利文獻1)。 專利文獻1所記載之發名 弈 &技術’係於打線裝置具備用來預 人:二σ #之工具保持手段，藉由安裝有接合臂之接 :頭的移動機構’將握持於接合臂前端之夹頭之接合工具 位置，移動、定位至工具保持手段之位置，藉由進行夾 頭鎖緊及鬆放之鎖緊取放丰ρ α “ 貞冢*'放手段，進行夾頭之鎖緊、鬆放， 且藉由接合臂對接合邱夕雜人 σ卩之離&方向的動作’對該工具保持 手段進行收納與安裝，藉此能進行接合X具之交換。 〔專利文獻丨〕：日本特許第如4774號說明書 【發明内容】 然而，專利文獻1所記載之工具保持手段，係將具有 圓錐形之前端部之開孔圓柱的接合卫具，保持於與對接合 部離合方向平行的方向，接合工具之長邊方向為與離合方 向平行之直線方向。另一方面，由於握持接合工具且使接 合工具往離合方向動作之接合臂，係於某旋轉中心之周圍 進行旋轉來回動作，因此接合臂前端係相對於接合部以圓 弧狀移動。因此’在專利讀】所記載之習知技術，欲交 換之接合工具的長邊方向與接合臂前端之移動方向並非同 一方向，而有無法平順地將接合工具插拔於位在接合臂前 端之夾頭的問題。 又，S進行接合工具之交換時，必須將插通於用畢接 合工具之引線拆卸並將引線插通於交換後之接合工具。於 專利文獻1，雖揭示藉由使用接合頭、接合臂之移動機構 7 1343612 及鎖緊鬆放手段、以及保持手段以交換接合工具但並無 記載關於進行此種引線之拆卸、通插的機構。因此，專利、 文獻1所記載之習知技術，即使能使接合工具之交換本身 自動化，但無法使其附帶之作業自動化，而有在接合步驟 中無法一邊交換接合工具一邊連續進行接合的問題。^

本發明係以可平順地將接合工具插拔於設在接合臂之 夾碩為目的。λ，本發明之其他目的係在於提供能在接合 步驟中一邊交換接合工具一邊連續進行接合的打線裝置。

本發明之打線裝置，其特徵在於，具有：接合臂，以 設於前端之爽頭握持接合工具，使該接合工具對接合面進 仃弧狀離合動夾頭開閉機構，係進行該夾頭之開閉丨 以及接合工具插拔機構，包含將接合工具保持成其長邊方 向為該夾頭之軸方向的料部、以及使該保持部朝該爽頭 之軸方向直線移動的驅動部，並在該接合臂為靜止之狀離 下與該夹頭開閉機構協同動作，以對該夾頭進行該接合Ζ 具之插拔。X，該接合工具插拔機構之該保持#，最好係 ，該接合卫具保持成該接合工具前端為抵接；且具有間隔 益’係安裝於該保持部，在將該接合卫具插入該夹頭時抵 接於該接合臂’以將該接合工具前端與該接合臂在該夾頭 之軸方向的距離保持於既定距離。 ,發明之t線裝f中，該保持#最好係、包含能藉 由彈性變形吸收該保持部與該失頭間之沿該接合面方向之 :置偏知的彈性部’該接合工具插拔機構，最好係具有： 女裝有至少、！個該接合工具保持部之旋轉台；以及使該旋 8 轉之旋轉驅動部’該接合工具插拔機構最好係配置 於该接合臂之接合面側。 置 估Μ t發明之打線裝置中，該打線裝置最好係包含： 更4接合臂前端 侔姓Μ 勒的移動機構；以及以光學方式檢測該 保'持。卩之位置的光輋 接人辟义 置檢測手段；藉由該移動機構使該 接s邊刖端移動，以傕寸 ,PII, 乂便該夾頭之位置配合利用光學位置檢 /則手段所檢測出之該伴Μ 入 保持。卩之位置，且最好係具備使該接 :八振動之振動裝置’在藉由接合工具插拔機構將該 端:：具插拔於該夹頭時1用該振動裝置使該接合臂前 又纟發明之打線裝置中該打線裝置最好係具有： 去球體接合載台，传抱丄Α、 ’、仃去球體接合；引線輸送機構，係 使插通於該接合工且 „ 接口具之弓丨線相對該接合工具移動；以及控 ·進仃錢合臂之動作控制與該引線輸送機構之動作 控制；該控制部，呈右.i Α '、有.去球體接合手段，使該接合臂動 並於去球體接合載台進行去球體接合且除去形成於該引 ::端之球體；引線抽出手段，#由該引線輸送機構從該 接σ工具後端抽出該引線 接口工具插拔手段，在該接合 ’為靜止之狀態下’使該夾頭開閉機構與該接合工星插拔 機構協同動作以將該接合卫具插拔於該失頭；以及引線插 通手段，係藉由該引線輪送機構將該引線插通於該接合工 具’且最好係具有鄰接配置於與該接合臂之接合面相反側 之面，用以向握持於該夹頭之該接合工具之引線孔導引該 引線的引線導引件。 1343612 本發明之打線裝置之接合工具交換方法，其特徵在於， 具有：去球體接合步驟，係以設於前端之夾頭握持接合工 具，使該接合工具對接合面進行弧狀離合動作之接合臂動 作，以於去球體接合載台進行去球體接合，並除去在插通 於該接合工具之引線前端所形成之球體；引線柚出步驟， 藉由使該引線相對該接合工具移動之引線輸送機構，以從 該接合工具後端柚出該引線；接合工具插拔步驟，係使夾 頭開閉機構與接合工具插拔機構協同動作，以將該接合工 具插拔於該夾頭；該夾頭開閉機構，係在該接合臂為靜止 之狀態下進行該夾頭開閉；接合工具插拔機構包含將該 接合工具保持成其長邊方向呈該夾頭之軸方向之保持部、 以及使該保持部朝該夾頭之軸方向直線移動之驅動部；以 及引線插通步驟’係利用該引線輸送機構使該引線插通於 該接合工具。 本發明之記錄有打線裝置之接合工具交換程式的記錄 媒體，其特徵在於，該程式具有：去球體接合程式，係以 設於前端之夾頭握持接合工具，使該接合工具對接合面進 行弧狀離合動作之接合臂動作，以於去球體接合載台進行 去球體接合，並除去在插通於該接合工具之引線前端所形 成之球體’引線柚出程式，#由使該引線相對該接合工具 移動之引線輸送機構，以從該接合工具後端抽出該引線:、 拔程式：係使夾頭開閉機構與接合工具插拔機 ' U將遠接合工具插拔於該夾頭；該夾頭開閉 機才係在泫接合臂為靜止之狀態下進行該夾頭開閉；接 10 1343612 以金線等所製造之引線12插 拉八辟， τ、部之引線孔的構造。 & # 13具有利用超音波振動^ 4 , 勒态21將超音波能量供應於 乇、.田e 1 6，並將插通於毛細管 $ 1 6之引線12按壓於接合面 體晶片1 5的焊墊面及引腳架 能。 卞14以進仃接合的功 於接合頭卩設有握持、釋放插通於毛細管Μ之引線 12的第1夾持器17a與第2夾持@ 媒Λ、a 犬得裔17b。第1夾持器17a 籌成引線輸送機構，係與接合f n —起往z方向移動， 與接合臂U之動作協同動作利用握持、鬆放引線12來放 出引線12,且具有切斷引線的功能。第以持器μ係具 有與第1夾持器之動作協同動作以放出引線12、抽出的功 能。第i失持器m與第2夾持器17b亦能至少使其中任 -個與接合臂13之2方向動作獨立地朝2方向動作，並 错由該差動動作使插通於毛細管16之引線12相對毛細管 16移動’以構成使引線12從毛細管16抽出或將引線二 插入於毛細管的引線輸送機構。又，亦可藉由第1爽持器 17a、第2夾持器17b、以及超音波振動器21構成將弓丨線u 插入於毛細管的弓丨線輸送機構。此時，係將第ι夾持器 與第2夾持器17b同時設為釋放狀態，以超音波振動器u 使毛細管16振動，並將引線12逐漸插通於毛細管16之 引線孔。亦可在進行插通時以後述之真空配管吸”引線 1 2 ’更順利地進行引線1 2之插通。 在與接合臂13之接合面的相反側’於接合臂Η與第 1夾持器1 7a之間，設有當利用引線輸送機構將引線丨2插 12 1343612 通至毛細官1 6之引線孔時用來導引引線1 2之引線導引件 M。引線導引件28係呈往夾持器】〜側擴展之漏斗形，以 將自較寬側之開口進入之引，線12從較窄之開口導引向毛 細管16之引線孔。 於XY工作臺20之接合臂丨3的前端側，設有用來導 引引腳架14之2支搬送導引件22>藉由此搬送導引件22 將女裝有半導體晶片15之引腳架14朝圖中之X方向搬送。 於各搬送導引件22間’設有用來進行接合之接合載台23， 搬运至接合載台23之引腳架14便被吸引固定於接合載台 23。 上述打線裝置11藉由内部具有CPU之控制部7 I進行 各部之位置的檢測及動作控制，並利用引線丨2連接半導 體晶片15與引腳架14之間。控制部71之CPU係藉由動 作控制程式輸出動作控制指令。於χγ工作臺2〇 ’設有用 來檢測接合頭19之ΧΥ方向位置的χγ位置檢測手段25〇 ΧΥ位置檢測手段25可測量自基準點起之χ及γ方向之各 距離，以檢測出接合頭19的位置，亦可測量從χγ工作臺 之基準點到接合頭19之基準點之距離，以檢測出接合頭19 的位置。ΧΥ位置檢測手段係非接觸式、接觸式均可。又’ 於接合頭19設有可藉由檢測出繞接合臂13之旋轉中心27 的杈轉角度，來檢測出接合臂13前端之ζ方向高度或毛 細官16前端之Ζ方向高度的Ζ位置檢測手段26。ζ位置 檢測手段亦可是非檢測旋轉角度，而直接檢測接合臂〇 刖端或毛細管16前端之位置者。又’ ζ位置檢測手段26 13 1343612 係非接觸式、接觸式均可。 :接口頭19安裝有用來取得半導體晶片15、引腳架 14、以及接合工具插拔機構等影像之攝影手段的攝影機 24攝〜機24，除取得沿接合面方向之面（XY ® )之各部 的，視〜：外’亦可以藉由組合平面鏡或棱鏡等光路變更 手Μ、取侍各邓之則視影像的方式構成。利用攝影機24 寸f視〜像 '别視影像係藉由控制部71進行影像處 理’以檢測出各部之 < 方向的位置。攝影機24與控制 卩 之和像處理手段構成光學位置檢測手段。攝影機24 U疋〜取仔影像訊號者’亦可利用扎徑光閣機構或快 門等之攝影元件與透鏡等來構成。 ，上述χγ位置檢測手段25、Z位置檢測手段託、以及 攝。手&之攝&機24的檢測訊號，係分別透過χγ位置檢 :”面87、Ζ位置檢測介面8丨、以及攝影機介面，從 :;斗[机# 73連接於控制部7丨，並將各訊號輸人至控制 。”丨：又’ ΧΥ工作臺20、Ζ馬達、第1及第2夾持器17a， 7b以及超音波振動器2卜係分別透過工作台介面μ、 馬達’丨面82、夾持器開閉介面79、以及超音波振動器介 面Μ ’從資料匯流排73連接於控制部7卜並藉由來自控 制部7 1之指令使各機器動作。 於貝料匯流排73連接有記憶部75。記憶部75係保持 有栓制部7 1所進行之位置檢測處理或控制指令輸出動作 所須的資料’藉由來自控制,ρ71之指令將資料輪出至控 制。卩71，或儲存 '保持輪入之訊號資料。 14 1343612 縫的兩側，對向設置握持毛細管u 等鎖緊器具來銷替妒# 圓同面，利用螺絲 閉。此時鎖緊器具可從夹頭I8a之軸方向安/二 從與爽頭⑴之軸方向垂直方向安裝、拆卸。斥卸，或 如圖1及圖2所示，接A工JL奸姑 形且於内面Μ 4 έ ~ 、 機構31係藉由圓筒 頭Ι 官16保持成毛細管16之長邊方向為失 之圓板狀的旋轉台31c、自旋轉台31c有向1數=保持部31a 間隔器3lb '使旋轉台31c朝夾頭18a之二== ==動部3ld、用來使旋轉台31。旋轉的馬達〜與 疋口 31C或馬達3Ie之旋轉軸一起旋轉的滑輪3If、以 :::輪31f並傳遞馬達31e之旋轉力的皮㈣所構 成。於接合工具插拔機構31連接有排放保持部…内面之 空乳的真空配f 38 ’於真空配管38設有利用開閉進行空 氣之排放與阻斷的真空閥37 β 本實施形態令’接合工具插拔機構31雖配置於接人臂 U之接合面側’但只要能保持毛細管16並進行毛細管μ 對夾頭Ua的插拔，亦能配置於與接合面之相反側而非配 置在接合面側。 接合工具插拔機構31之直線驅動部3id與馬達3^， 係透過接合工具插拔機構介面91連接於控制部71，夹頭 開閉機構33之直線驅動部33d與馬達…，係透過夹頭開 閉機構介面89連接於控制部71，真空閥37係透過真空閥 介面93連接於控制部71 ’並藉由控制部71之指令來驅動 16 ^43612 控制。 如圖2所示，夾頭開閉機構33係藉由長圓形剖面且能 插入板手孔18b的板手33a、使板手33a往板手孔i8b之 輛方向移動的直線驅動部33d、用來使板手33a旋轉的馬 達33e、與板手33a或馬達之旋轉軸一起旋轉的滑輪33f、 以及懸掛於滑輪33f並傳遞馬達33e之旋轉力的皮帶Μ 構成。 爽頭開閉機構33，係向打線裝4 η之γ彳向排列配 置成板手33a與保持於接合工具插拔機構31之毛細管μ 之XY方向的相對位置，與設於接合臂13《夹頭…與板 手孔1 8b的相對位置為大致同一位置。夾頭開閉機構μ 之配置，置只要係板手33a與保持於接合卫具插拔機構Η 之毛、，田s 16之XY方向的相對位置，與設於接合臂13之 夾頭18a與板手孔18b的相對位置為大致同一位置，亦可 不朝Y方向排列配置。 夾頭開閉機構33雖與接合工具插拔機構31同樣地係 配置於接合臂1 3之接合面側，但只要板手…能對板手孔 18b進行插拔與旋轉’則亦可配置於與接合臂13之接合面 的相反側。又，亦可不將夾頭開閉機構33配置於與接合 工具插拔機構3 1同—方向，而例如將接合工具插拔機構μ 配置於接合臂1 3之接合面俏j，且將夾頭開閉機構配置於 與接合臂13之接合面的相反側。此外，當利用螺絲等扣 緊器具進行夾頭18a之開閉時，亦可將夾頭開閉機構33設 成與爽頭18a的軸方向呈直角方向等的其他方向。 17 1343612 參照圖4說明安裝於旋轉台仏之保持部川與間隔 器31b。如圖4(a)，（b)所示，保持部川具備圓筒狀之彈 性部42與設成嵌入於彈性部42 —端之内面的剛體部仏 彈性部42之内徑係較毛細管16之外徑料，而可藉由彈 性部42在半徑方向的彈性變形夹入毛細管16。剛” μ 係安臟入於彈性部42之内面且—端接觸旋轉台He。 剛體部43係能藉由插入於彈性部42之毛細管μ前端的 抵接，來將旋轉台31c之未圖示基準面與毛細管Μ前端在 夾頭丨心軸方向的距離保持於既定距離。當於旋轉台3卜 設有複數個保持部31a時，各保持部3U之剛體部43盘毛 細管16的抵接面係從旋轉台31c之未圖示基準面起為 距離，而能將各毛細管16與旋轉台化之未圖示基準面在 夾頭18a軸方向的各距離保持於既定距離。 於旋轉台3lc之接合臂13側設置有突出之間隔器 31b。如圖4(b)所示，間隔器31b可與旋轉台3ic 一體構成， 或二另外製作之間隔器31b固定安裝亦可。間隔器之 接合臂13側’係能抵接於接合臂13之接合工具插拔機構 側面，來將旋轉台31c之未圖示基準面與接合臂13之接合 工具插拔機構側面在夾帛1 8a軸方向的距離保持於既定距 離。如圖4(a)所示，間隔器⑽能構成為連續突出於安裝 在旋轉台31c之保持部3U内周側的環狀’亦能構成為分 引°又於各保持部3 1 a之接合臂13前端側的突起。又，亦可 ；° 1 a之外周側突出成環狀，或於各保持部3 1 a之 接合臂13的拉a π钱合頭側分別設置突起，還能將此等組合來 18 1343612 複數個保持部…安裝於旋轉台時，上述間隔 二 係、與各保持部仏對應設置，且其抵接於接合臂η 之各面係從旋轉台31c之未圖示基準面起為同一距離。 如以上所述，保持部之剛體部43與毛細管^的 =面、以及間隔H川對接合臂13的抵接面，均係自 3lc之未圖示基準面起在夹頭〗“軸方向的距離分 Μ既定距離。因此，保持部…之剛體部㈣毛細管μ 的抵接面，以及間隔器31b對接合臂13之抵接面間的夾 頭18a之Μ向距離亦能保㈣定距離。其:欠在毛细管 二前端抵接於剛料43 1間㈣⑽之抵接面抵接於接 合臂13之接合工具插拔機構側面的狀態下，亦能將毛细 管16前端與接合臂13之相對距離保持於既定距離。 如圖4(b)之一點鏈線所示，彈性部42係亦能朝與夾頭 18a之軸方向呈直角之方向彈性變形。藉此當接合臂u 之夾頭18a之中心轴在XY方向的位置，與保持於保持部 31a之毛細管16之中心軸在χγ方向的位置產生偏移時， 彈性部42係藉由橫方向之變形及朝其橫方向之旋轉變位 來吸收上述偏移，而能順利進行毛細管16對保持部3u的 插拔。又，當保持於保持部3U之毛細管16之中心軸在χγ 方向的位置，與接合臂13之失頭18a之中心轴在χγ方向 的位置產生偏移時，亦能與上述同樣地藉由彈性部42之 彈性變形來吸收該偏移。於彈性部42與間隔器31b之間 設有間隙，而能容許往間隔器31b之方向的偏移及上述彈 性變形。 19 1343612 以上所述保持部3 1 a之彈性部42可利用能彈性變形之 橡膠構成，只要是能彈性變形者利用樹脂構成亦可，還能 以利用彈簧線圈構成且能將毛細管丨6保持於中心孔的方 式構成或以一部分具有橡膠或樹脂、彈簧等彈性部且能 保持毛細管16與能吸收上述偏移之金屬等剛體構成亦可。 保持部3U之剛體部43係利用金屬或陶究等剛體構成。 旋轉台31c及間隔器31b係利用金屬等剛體構件構成。 如圖4(b)所示，於旋轉台31。安裝有連接於真空裝置 之真空配管38，於旋轉台…與保持部川之剛體部U 設有使剛體部43之毛細f 16的抵接面與真空配管以連 氣孔4V排氣孔47係以設於毛細管16前端不會抵 的且：_生部42内部之空氣排放至真空裝置 當旋轉台3lc旋轉時，以能使旋轉台W與 真工配t 38之連接部旋轉的方式構成亦可。 接著說明利用以上所說明之本實施形態的打線裝置η 在接合步射進行連、續交換毛 、 表示毛細管16之交換程岸W 夺的動作。圖5係 各主要牛驟…： 圖’圖6至圖13係表示 谷主要步驟之打線裝置丨丨的動作。 接合循環達到既定次數或經過既定時 步驟s⑻所示，控制部71便輸出停，，圖5之 合動作的指令，以停止接合動作並開始毛2置11之接 如…示，在停止打線裝置u 交換動作。 毛細管16係位於接合裁台2 作的狀態下’ 細管W呈握持於接合臂13前端的=位置畢之也 20 1343612 如圖5之步驟Sl02及圖7所示，控制部71藉由χγ 工作台π使接合頭19移動，將用畢毛細管16a之位置移 動至去球體接合載台35上方的既定位置。控制部71利用 χγ位置檢測手段25檢測出用畢毛細管i6a的位置，當該 “ 位置已位於上述既定位置時便停止接合頭19之移動。當 2畢毛細官l6a之位置已位於去球體接合載台h上方的既 、置後’如圖5之步驟s i 〇3所示’控制部71即利用z 籲=達驅動接。’ 13’使用畢毛細管—之前端對去球體接 合載台35之面進行離合動作，且協調第ι夾持器對引 線12之握持、釋放的動作，將殘留於用畢毛細管^“前端 的球體39接合於去球體接合載台35，以進行導出尾端線 1之去球體接合。以上所說明之圖5之步驟s i 至s⑼ 構成去球體接合步驟。 如圖7(a)所示，去球體接合開始前握持於接合臂13之 用畢毛細管16a係位於去球體接合載台35之上方。於用畢 • 毛細官16a之引線孔插通有通過引線導引件28之引線η， 並於引線12前端形成有球體39。第J夾持器m及第2 夾持器I 7 b均呈釋放狀態。 . 當去球體接合開始時’如圖7⑻所示，利用接合臂13 之下=動作，將用畢毛細管16a往去球體接合載台W下降， 以其前端將球體39壓接於去球體接合載台乃之面，於去 球體接合載台35之面形成壓接球4〇。此時，第i夾持器 1 7a與用畢毛細管1 & 一起下降。 * ° 如圖7⑷所示，利用接合臂13之上升動作，使用畢毛 21 s 16a自去球體接合載台35上升。此時，第i夾持器p 亦維持開放狀態與用畢毛細管16a 一起上升。由於插通於3 用畢毛細f 16a之引線12的前端已成為壓接球4〇並被壓 =固定於去球體接合載纟35之面，因此利用該用畢毛細 s 16a與第】夾持器17a之上升動作，從用畢毛細管… 之前端導出尾端線41。 如圖7⑷所示，用畢毛細管…與第1夹持器…上 :至既定高度後，關閉第i夾持器17a並握持引線12，進 -步藉由在關閉第i夾持器17a之狀態下使用畢毛細管“a 與第1夾持器m上升’以切斷導出尾端線41與壓接球4〇, 而呈自用畢毛細管16a之前端延伸出尾端線41的狀態。在 該狀態下結束去球體接合動作。 由於利用此去球體接合動作去除殘留於用畢毛細管 16a前端側之引線！ 2的球體39， 么菔39，因此使引線12呈通過用 畢毛細管16a之引線孔並能抽出之狀態。 當結束去球體接合步驟時’控制部7ι即進行如圖5之 步驟S 1 04及圆8所示之引線抽出牛 _ 啄柚出步驟。藉由第1夾持器17a 與第2夾持器17b之差動， ^ 延仃將引線12從用畢毛細 官…抽出之引線抽出動作。引線抽出動作雖有如圖8(al) 至（gl)所示之使第1夾持器17a上 上下動作的方法、如圖8(a2) 至（g2)所示之使第2夾持器動作 。 F的方法、以及使第1夾持 器1 7a與接合臂1 3 —起上下移動 助的方法，不過利用任一種 方法進行引線之抽出均可。接著， 考參照圖8(al)至（gl)說明 引線抽出動作之第i失持器na、 弟2夾持器17b、以及引 22 線12的動作。 〜圖（a 1 )所π在引線抽出動作開始前插通於用畢 。。S 1 “之引線12 ’係藉由第1夾持器17a與第2夾持 握持。引線12之—端自用畢毛細管心前端延伸而 :、尾端線41。當引線抽出動作開始時，如圖8⑻）所示， 吏第2夾持器17b呈釋放狀態，其次，如圖8⑻所示，使 握持引線12之第1夾持器17a上升’將引線12從用畢毛 細官16a之後端抽出。當引線12從用畢毛細管16&之後端 抽出且其前端到達引線導引件28之位置後，如圖8⑷）所 + Μτ止第1夾持器17a之上升並關閉第2夾持器17b， :由第2夾持_ 17b握持引線12。其次如圖8⑷)所示， 1支第1夾持益17a以釋放第i夾持器17a對引線12之握 持如圖8(fl)所示，使第1夾持器17a返回當初之位置。 如圖8(gl)所示，在第1夾持器17a返回到當初之位置後， 即關閉第1失持器17a並藉由m 2夾持器17a，m 才至持引線12。在該狀態下，引線12之前端位置上升至引 線導引件28之位置，並結束從用畢毛細管16a之引線孔抽 出引線12 °又’亦可如圖8(a2)至（g2)所示，使第2夹持器 上下移動來取代第1夾持器17a將引線12從引線孔抽 出。再者’亦可如圖8(a3)至（g3)所示，使第i夾持器na ”接=違1 3 —起上下移動以進行引線1 2之抽出。 田弓丨線抽出步驟結束時，控制部7 1即進行如圖5之步 驟Sl〇5 $半跡〇1 , 至^驟S118所不之接合工具插拔步驟。如圖5之 /驟SlG5及圖9所示，控制部71係利用馬達31e使旋轉 23 1343612 0 3 1 c旋轉，使接合工具插拔機構3 1之尚未插入毛細管1 6a 之保持。卩31a的位置與板手33a的位置，為以與夾頭i8a ，、板手孔1 8 b在γ方向之間隔同樣的間隔來到朝γ方向 排列的插拔動作位置。保持部3U之位置，係藉由利用控 制部71來處理以攝影機24所取得之保持部川之俯視影 ^ 像的光干位置檢測手段，從控制部71取得。接著，當所 *測量之保持部3U的位置到達上述插拔動作位置後，控制 部71便停止旋轉台31c之旋轉。以此方式，便能利用光學 位置4欢測手段正確進行位置檢測，並可發揮提升對準精度 的效果。X ’只要能確保位置精度’即可將馬達作為步進 馬達以旋轉既定角度’使保持部川移動至插拔動作位置， 或女裝用來測量旋轉台3 lc之旋轉角度的角度感測器，並 從旋轉角度檢測出保持部31a之位置，以使旋轉台3u之 保持部3 la旋轉至插拔動作位置亦可。 如圖5之步驟S106所示，控制部71利用χγ工作a 20使接合頭移動’以將接合臂i3前端之夾頭⑽的位^ 對準於藉由光學位置檢測手段檢測出之保持部3U的位 置利用此移動，用畢毛細管i 6a之中心轴位置即移動至 ,保持部31a的令心位置。控制部71利用χγ位置檢測手段 25’檢測出夹頭⑻之χγ位置或用畢毛細管…之灯 位置自6亥位置到達保持部3 la之中心位置後，便停止接 合頭之移動並結束用畢毛細管…之對準。由於在上述 對準亦可利用光學位置檢測手段正確檢測出保持部31a之 位置’因此可提升對準精度。在結束對準之狀態下，保持 24 1343612 部3U之中心線在XY方向的位置，係與接合臂丨3之央頭 18a中心軸在χγ方向的位置大致同一位置。又接合臂υ 之板手孔18b之XY方向位置係與夹頭開閉機構μ之板手 33a的XY方向位置大致同—位置。 接著’控制部71進行Z方向之對準，以使用畢毛細 f 16a之前端位置與接合面呈同一高度。控制部71利用z :置檢測手段26, 一邊取得用畢毛細管…前端之Z方向 資料’-邊利用Z馬達使接合臂13動作，以使用畢毛細 f 16a前端之2方向位置與接合面成為同—位置。控制部 71在㈣Z位置檢測手段26之用畢毛細管…前端的z 方向資料成為既定值時，即判斷用畢毛細f…前端與接 :面為同-z方向位置，而停止接合臂13之動作，並結 束Z方向之對準。本實施形態中，如上述般雖說明各別進 订XY方向之對準與z方向之對準，但亦可進 之對準。 如上述般’當握持於接合臂13之用畢毛細管16a之中 2位置與保持部31a之h軸位置的對準、以及板手孔 …置與板手33a之位置的對準結束時，即呈如 :::之㈣。控制部71使接合臂13之位置保持於此靜止 伴捭丄狀態之保持，例如可控制Z馬達之線圈電流以 加::::進:利用對Z馬達或接合…旋轉機構施 使接合臂_13呈靜止狀態後，如0 5之步驟SMS, θ 1〇(b)所不’控制部71使接合工具插拔機構31之直 25 1343612 線驅動部31d向接合臂13 A線驅動。利用該動作，連接 ;直線驅動。P 31(1之旋轉台31e及安裝於旋轉台川之保 持部3U、間隔器31b亦同時向接合臂13直線上升移動。 此時握持於接合臂13前端之用畢毛細管—便進入保持部 3la之内。由於保持部3U之圓筒形彈性部42的内徑，係 較用畢毛細管16a之外徑稍小，因此利用彈性部U之彈性 ，形將用畢毛細管l6a夾入於保持部…並予以保持。接 者，當到達既定高度，例如間隔$ 31b之抵接面到達抵接 於接合臂13之接合工具插拔機構側之面的z方向位置時， 栓制。卩7 1便停止直線驅動部3丨d之直線驅動。由於上述 直線移動係使保持部31a向握持於接合臂13之用畢毛細管 16a之軸方向、或接合臂13之夹頭18a之軸方向的移動， 因此能發揮將握持於接合臂13之用畢毛細管—順利插入 於保持部3 1 a的效果。 將用畢毛細管1 6a保持於保持部3 1 a後，如圖5之步 驟S109及圖10(c)所示，控制部？！使爽頭開閉機構η之 直，驅動部33d驅動，使板手33a向接合臂13直線驅動。 著田使板+ 33a上升移動至板_ 33a之前端部進入板 手孔的既定位置時’控制部71便停止板手…之直線 移動。 板手33a進入板手孔18b後，如圖5之步驟sii〇及圖 W(d)所示’控制部71使夾頭開閉機構33之馬達33e旋轉， 並透過滑輪33f、皮帶33g使板手…旋轉既定角度，例 如90度’以釋放夾頭i 8a。如前面以圖3所說明，使板手 26 1 1343612 33a旋轉時’爽頭18a之内徑變成較用畢毛細管16a之外 控大’而可將用畢毛細管1 6a插拔於夾頭1 8a »在此狀態 下’如圖5之步驟S111、S112及圖10(d)所示，控制部71 使接合工具插拔機構3 1之直線驅動部3 1 d向離開接合臂13 之方向直線驅動。利用此下降動作，連接於直線驅動部31d 之方疋轉台3 1 c及安裝於旋轉台3】c之保持部3丨a、間隔器3】b * 亦同時向離開接合臂13之方向直線下降移動。此時夾持 於保持。p 3 1 a並被保持之用畢毛細管i 便從失頭i 朝 夾頭1 8a之軸方向被直線抽出。接著，控制部7 1在保持部 3 1 a之Z方向仅置移動至例如初期位置等既定位置時便 停止直線驅動部31d之直線驅動以結束用畢毛細f 16a的 '述保持部3 1 a之直線移動，亦屬使保持部3 ! a 向握持於接合臂13之用畢毛細管…之軸方向或接合臂Η 二之軸方向的移動，因此能發揮將用畢毛細管16a =畢Γ之夹頭—利抽出的效果。又，當從夹頭仏 :畢毛細管…時，亦可利用安裝於接合臂13之超立 波振動器21 ’使接合臂13之前端部振動。，此，可發‘ 將用畢毛細營l6a你4 哥糟此，可發揮 在ml 更順利抽出的效果。 之旋轉台3lc、安# ?抽出的狀態下’插拔機構31 器以即返回初期之z方向位置，：:“31a、以及間隔 用畢毛細f 163與接合臂 夾入於保持部3U之 間’係呈具有間隙之狀態。之接合工具插拔機構側面之 27 1343612 如圖5之步驟S113及圖n(a)所示，控制部7i使接合 工具插拔機構3丨之馬達3 le旋轉，使保持有交換用毛細管 1 6b之保持部3 1 a旋轉移動至插拔動作位置。接著，如圖5 之步驟S114所示，控制部71利用馬達3U之旋轉，將保 持部3 1 a之位置移至插拔動作位置。當馬達3 1 e為如步進 馬達般能進行角度控制時，控制部7 1即可藉由輸出從抽 出用畢毛細管16a時之旋轉台31(；的角度位置旋轉安裝於 旋轉台3 1c之各保持部3 ia間之旋轉角度的指令，以進行 角度對準。又，亦可設置用來測量旋轉台…之旋轉角度 的角度測畺手段，以將該角度訊號反饋至控制部71以控 制旋轉角度並進行角度對準。 如上述般，將保持有交換用毛細管丨6b之保持部3 “ 的位置移至插拔動作位置後，如圖5之步驟sn5、“Μ 及圖ii(b)所示，控制部71利用接合工具插拔機構之 直線驅動部31d，使旋轉台31c、安裝於旋轉台3〗c之保持 =3U、間隔器3lb、以及保持於保持部3U之交換用毛細 6t>向接σ彳13直線上升移動。由於接合臂13係藉 由馬達或煞車等保持於靜止狀態不旋轉移動，且夾頭= 透過板手33a而呈打開狀態’因此交換用毛細f⑽便自 其後端側插人於夾帛18a。當交換用毛細管16b進-步插 入夹頭心時，如圖U(b，）所示，間隔器3ib之接合臂13 側的抵接面即抵接於接合臂13之接合工具插拔機構側面。 當間隔器3lb抵接於接合臂13時，控制部”便停止直線 驅動部…之直線驅動。由於交換用毛細管16b係設定成 28 i 1343612 其刖如抵接於保持部31a之剛體部43，因此藉由間隔器m 抵：：接合臂13 ’便能將交換用毛細管16b之前端位置與 接。# 1 3之接合工具插拔機構側面的距離保持於既定距 離而發揮月b將父換用毛細管【6b前端之z方向位置設定 於既定位置的效果。 驟S 11 7及圖1 1 (c)所示，控制部7 1利用使 夾頭開閉機構3 3之s» ;查n p u 之馬達33e旋轉，使板手33a旋轉既定角 度’例如90度，蚀杰§§ j Q Ββ

^ 使夹頭18a呈關閉狀態，並藉由夾頭18a 握持又換用毛細管16b。如前面之說明，當使板手…旋 轉成使夾頭18a呈關閉狀態時，於接合f 13之板手孔⑽ 與板手33a之間會產生間隙。如圖5之步驟sn8及圖u⑷ 所不’控制部71利用直線驅動部33d ’使板手仏向離開 接合臂13之方向下降移動’以將板手33a收納於初期位置。 藉此結束接合工具插拔步驟。 如圖11(d)所示’在此狀態τ，交換用毛細f i6b雖呈 :持於保持部31a且握持於接合f 13之夾頭18a的狀態， ::丨線12係在尚未插通於交換用毛細管⑽之引線孔的 狀恕。 步驟 細管 所示 之空 16b 當結束接合工具插拔步驟時，如圖5之步驟su9至

Sl23所示，控制部71進行使引線12通過交換用毛 16b的引線插通步驟。如圖5之步驟su9及圖i2(ai) ’控制部71使真空閱37呈開啟狀態並將保持部3u 氣排放至真空裝置。利用該排氣動作於交換用毛細管 之弓丨線孔形成自後端側向前端側的空氣氣流。又，控 29 1343612 制°p 71利用安裝於接合臂i 3之超音波振動器2 i使接合 孑13之前端部振動。利用該振動能將引線12之前端更順 利導引至父換用毛細管i 6b之引線孔。 圖5之步驟S120及圖l2(bl)〜（gl)所示，控制部71

將引線12陸續拉出至交換用毛細管16b。如圖12(bl)所示， 使第2夾持器1 7b呈關閉狀態下開啟第1夾持器1 7a之後， 使第1夾持器17a上升。其次，如圖12(叫所示，當第1 夾持器17a _L升至既定高度即停止其上升，如圖 ()(e 1)所示，關閉第1夾持器17a並以第1夾持器17a 握持引線12 ’開啟第2夾持器17b並釋放第2夾持器m 對引線12之握持。接著，如圖12(⑴所示使第^炎持器 lja下降並將引線12從引線導引件Μ插通至交換用毛細 官16b的引線孔。此時，利用往真空裝置之空氣氣流、超 曰波振動器21所產生之振動、以及引線導引彳28，便可 將引線12順利插通至交換用毛細管16b的引線孔。接著， 圖1)所不，當第1夾持器1 7a返抵初期位置時便關 閉第2失持器17b。在此狀態下，引線12便陸續拉出至交 換用毛細管16b的令間位置。 及圖12(hl)〜⑷）所不， 部71從交換用毛細管16b前端導出尾端線。如圖：

所不，控制部7"主離開接合臂13之方向直線驅動接人工 具插拔機構31之直線㈣们丨d，錢轉台3U ㈣台…之保持部…、以及間隔器31b下降移動：接 者丁開父換用毛細管16b前端與位於保持部仏底部之 30 1343612 剛體部43之間的間隙。直至既定間隙打開為止，藉由直 線驅動部31d使保持部31a下降移動後，停止直線驅動部 3ld之直線驅動。接著，如圖12(u)〜（nl)所示，與前面之 說明同樣地’藉由第i夾持器17a與第2夾持器m之差 動，進一步陸續拉出引線12。由於交換用毛細管⑹之引 線孔係其内徑隨著朝向前端而變小的圓錐形，目此當引線 U利用空氣之氣流、及第！夾持器17&與第2夾持器”b 之差動，被送至交換用毛…6,之前端時，即藉由排氣 動作使引、線12以從交換用毛細管16b前端被吸出的方式 導出。被導出至前端的引線12即形成尾端線4ι。上述引 線陸續拉出動作，雖說明了以第2夾持H…之位置並 使第^夾持器17a上下動作來進行引線之陸續拉出的方式， 7可如_叫2)至（n2)所示，固定第1夾制並使 第2夾持器17b上下動作以椎L丄 2，括 勑作以進仃與上述同樣之差動來拉出 引線。又’亦可使第卜第2失持器17a、m 一起開啟， 並利用超音波振動器21使接合臂 ^ 伢Q硭1 3及父換完畢之毛細管 ⑽振動，藉此使引線12插通於用畢毛細管⑽之内。 如圖5之步驟S122所示，於 導出届0; 乂換用毛細管16b前端 导出尾知線41時，控制部7 i 裔叙 即關閉真空閥37並停止排 只動乍。接著，如圖5之步驟 Λβ 71 M 4 及圖13(a)所示，控制 # 71藉由接合工具插拔機 u ^ 之直線驅動部3 1 d ’使旋 轉σ 31c、安裝於旋轉台3ie 3 1 b，6胳 之保持部3 1 a、以及間隔器 向離開接合臂13之方向 * ^ $ 降移動，返回初期位置。 由於-換用毛細管16b係握持 按口煮13之夾頭18a，且 31 1343612 接合臂1 3呈靜止狀態，因此能利 交換用毛細管16b ^乍自保持部31a將 16b抽出。由於保持 部叫朝接合臂13之夾頭⑻的=藉由直線驅動 將握持於接合臂心”“ 向直線移動，因此可 抽出。又，亦W丨 管⑽從保持部…順利 亦可利用安裝於接合臂π 使接合臂丨3之前端之超曰波振動器21， 姓加 振動，以將交換用毛細管16b從侔 持部仏抽出。藉此’能將交換用毛細管 ^從保 更順利地抽出。 攸保持4 3 1 a 如圖5之步驟s丨24至步驟 由xy工作人 示’控制部71藉 作。20使接合頭19往χ 接合臂13之交換用革細其助將握持於 一 管⑽的前端位置，移動至夫圖 不之具有放電裝置的放電位 未圖 且 伐考刊用放電奘罟姑播 於交換用毛細管16b前端之尾端線 出 著，如圖5之步驟S126及圖二成：為球體39。接 園（b)所不，控制部71藉由γν 工作台2〇使接合頭19往灯方向移動，以使交換用毛/ 官⑽之前端位置回歸至接合載台23 2 著，如圖5之步驟S127所示，再度開始接合動作位置。接 以上說明之本實施形態的打_ "， 之停止起連續進行引線12之抽出、毛細管16之交：動作 及對毛細管16插通引線12’並再度開始接合動作。因从 在接合步驟中，可發揮一邊交換接合工具一邊連續進〜垃 合的效果。又’由於利用旋轉台31。將複數個 ：, 管广呆持於保持部31a，而能一邊使旋轉台A、旋 邊在接合步驟中連續進行複數次之毛細管交換，因此可： 32 1343612 揮能長時間連續運轉的效果。 以上所述實施形態中，雖係說明將複數個保持部ha 與間隔器31b安裝於旋轉式之旋轉台31e的構成，但非旋 轉式’例如將複數個保持部…與間隔器叩安裝於例如 朝Y方向直線移動之直線移動式之滑軌的構成亦可。 又，上述實施形態中，雖係說明保持部3 ia係由保持 毛細管^6之圓筒狀彈性部42與欲入於圓筒狀彈性部ο 之剛體部43構成’並能利用彈性部42之彈性變形吸收接 合臂13之夾帛18a之中心線與保持部3u之中心之位置偏 移的構造，但保持部31a之構成並不限於此種構成。例如， 如圖14所示，將利用彈性體構成之彈性部钧設置在安裝 於保持部31a之剛體之基板45，並於彈性部仏安裝用來 保持毛細管16之剛體保持筒44的構成亦可。藉由此種構 成’能利用彈性部46之彈性變形吸收接合臂13之夾頭… 之中心線與保持部31a之中心的位置偏移。在如圖Μ所示 構造之保持部31a，由於毛細管16前端之抵接面與旋轉台 3二lc之間炎有彈性冑46,因此間隔器31b，並非安裝於旋轉 口 3 1:而係、*裝於毛細管16前端所抵接之保持筒側面的構 以。藉由設為此種構造，能將毛細管前端與接合臂1 3之 接合工具插拔機構侧面的距離保持於既定距離。 △可將此種構成之保持告"la g己置於一個或複數個旋轉 $ 3U以構成接合工具插拔機構3ι，亦可將一個或複數個 女裝於直線移動式之滑轨以構成接合工具插拔機構。 上述實施形態中’雖係說明利用第1，第2夾持器17a， 33 1343612 17b之差動動作與將保持部3ia之空 以將引線插通於交換用毛細管 ：、至真空裝置， 之空氣排放至真空裝置，利用第^亦可不將保持部川 之#動#λ你丨、；收2丨从’ 2夹持器1 7 a，1 7 b 之差動動作㈣引線插通於交 以廿方彳X從仅枯如 B 1 6b。以下說明 Μ此方式不將保持部3la之 η 1 . η 2 AM - ^ 轧排放至真空裝置，而利用 弟1第2夾持态17a、17b之差叙私从 , , 1/cu 差動動作以將引線插通於交 換用毛細官1 6b的實施形態。

由於不將保持部3la之空f 轧排放至真空裝置，因此上 述貫施形態之打線裝置丨〗，係 亍时具二閥37、真空配管38、 以及真空閥介面93自圖丨所干夕 所不之打線裝置U移除，亦不 具旋轉台3 1 c之排氣孔47。以下嘮 r °兄月利用此種打線裝置Π， 在接合步驟中連續進行毛细普Μ _ · ^ ^ ^ ^ Β 1 6之交換時的動作。省略 與前面所示圖5〜圖13相同動作的說明。 圖15係表示如上述般不將保持部31a之空氣排放至真 空裝置之實施形態之毛細f交換程序的流㈣。目】5中， 從步驟S201起至步驟S218之各步驟係與前面說明之實施 形態的動作相同。 在圖1 5之步驟S2 1 8結束接合工具插拔步驟，並利用 接合臂13之夾頭18a握持交換用毛細管16b，板手33a下 降並收納於初期位置。 如圖15之步驟S219及圖16(al)，（bl)所示，控制部71 藉由接合工具插拔機構3 1之直線驅動部3 1 d ’使保持部3 1 a 朝離開接合臂1 3之方向下降移動，以返回初期位置。由 於交換用毛細管16b係握持於接合臂13之夾頭18a，且接 34 ^43612 一 舲止狀態，因此利用該動作能自伴垃# 乂換用毛細管16b。由於保持部…係藉由直後。3la抽出 往接合臂丨1 9 直線驅動部31d 之爽頭1 8 a的轴方向吉始名交& 於接合臂。之交換用毛細管二此可將握持 又，亦可利用安裝於接合…。 臂13夕义· g及振動杰21使接合 出。藉此^?钱以將交換用毛㈣⑽從保持部…抽 月t*將父換用毛細管丨6b從保 抽出。 攸1示符3 1 a更順利地 當以此方式使保持部31a下降並 從保持部3la柚屮# “ 乂換用毛細·# 16b 抽出時，如圖16 (bl)所示，接合臂 月匕朝z方向移動自如能。a 系呈 線插通於交換用4 έ $心。…人’控制部71進行將引 驟咖及圖/^ 16b__通步驟。如圖5之步 夾持器17b之狀;二㈣如圖16(C1)所示，在關閉第2 狀〜、下開啟第1夾持器J 7後 上升。由於引線12係利用第2=;: 引件28Ί由使接ί臂13逐漸上升將引線12自巧線導 '§通於交換用毛細f 的引線孔。此 =超音波振動器所產生之振動與㈣導㈣Μ可將 引線U順利插通於交換用毛細#⑽的引線·/ :圖广υ所示，當接合fI3及第】夹持器m上升至人既 =度’且引線u插入至交換用毛細管16b之中間无 I夹持 如圖16(el)，(fl)所示，關閉第 人狩态17 a並以笛1 + j士。。 夹持益1 7 a握持引線12 ’開啟第2 35 1343612 夾持器1 7b並釋放第 次，如圖1 6(gl)所示 至初期位置’接著，如圖 2失持器17b對引線12之握持。其 使接合臂13與第1夾持器17a下降 16(hl)所示 在第1夾持器17a 返抵初期位置時，即關Mi 1關閉第2夾持器17b。此狀態下，引 線1 2便陸續拉出至交拖 乂換用毛細管1 6b的中間位置。

其次，如圖15之步驟S221及圖16(⑴〜⑷）所示， 控制。P 71將尾端線陸續拉出交換用毛細管⑽之前端。 與前面說明同樣地’如® 16(Π)〜（ο1)所示’控制部71使 第夾持器17a與第2夾持器17b產生差動’進一步陸續 拉出引線1 2°陸續拉出至前端之引線i 2便形成尾端線*卜 上述引線陸續拉出動作’雖以使接合臂13與第【夾持器 义起上下移動，以進行引線之陸續拉出的方式說明，但與 刖面所不之實施形態同樣地，亦可固定第2夾持器！几之 位置並使帛丨夾持器17a上下動作，以進行引線之陸續拉 出’還可固定第1夾持器17a使第2夾持器上下動作， 以進行與上述同樣之差動來陸續拉出引線。又，亦可一起 開=第1，第2夾持器17a，17b，利用超音波振動器2ι使 接合臂13及交換完畢之毛細管16b振動，藉此將彳丨線12 插通於用畢毛細管16b之内。 當尾端線4 1陸續拉出於交換用毛細管！ 6b之前端時， 如圖15之步驟S222, 223所示，控制部71藉由χγ工作 台2〇使接合頭19往乂丫方向移動，將握持於接合臂^之 交換用毛細管16b的前端位置，移動至未圖示之具有放電 裒置的放電位置，使尾端線41成形為球體39。接著，如 36 1343612 圖15之步驟S224所示，控制部 接合頭19往XY方向移動，以传 71藉由XY工作台20使 移動，以使交換用毛細管16b之前端

. 施形態同樣地，可發揮能在接合步驟中一邊交換接合工具 . 一邊連續進行接合的效果。 ® 【圖式簡單說明】 圖1係本發明之實施形態之打線裝置之整體構成與控 制系統的圖。 圖2係表示本發明之實施形態之打線裝置之一部分、 接合工具插拔機構、以及夾頭開閉機構的立體圖。 圖3係表示本發明之實施形態之打線裝置之接合臂前 端之夾頭與板手孔的說明圖。 .圖4係表示構成本發明之實施形態之打線裝置之接合 工具插拔機構之旋轉台、保持部、以及間隔器的立體圖與 - 剖面說明圖。 、 * 圖5係表示本發明之實施形態之打線裝置之毛細管交 換程序的流程圖。 圖6係表示圖5之毛細管交換程序之打線裝置之初期 狀態的說明圖。 圖7係說明圖5之毛細管交換程序之去球體接合動作 的動作說明圖。 37 1343612 圖 動作說 圖 對準動 圖 上升動 生之用 圖 保持部 板手之 的動作 圖 至交換 圖。 係"兒明圖5之毛細管交換程序之引線抽出動作的 明圖。 9係說明圖5之毛細管交換程序之保持部之旋轉與 作的動作說明圖。 1 0係表不圖5之毛細管交換程序之保持部及板手之 板手之旋轉動作、以及保持部之下降動作所產 畢毛細官抽出動作的動作說明圖。 1係表不圖5之毛細管交換程序之保持部之旋轉與 之上升動作所產生之交換用毛細管插入動作、以及 旋轉、以及下降動作所產生之交換用毛細管之握持 說明圖。 1 2係表不圖5之毛細管交換程序之將引線陸續拉出 用毛細官並導出4端線之引線插通動作的動作說明 歸位Γ3係表示圖5之毛細管交換程序之保持部之下降與 立至接合動作的動作說明圖。 降與 面說Ξ:。係本發明之其他實施形態之保持部的立體圖與剖 管示本發明之其他實施形態之打線裝置之毛細 又換轾序的流程圖。 出至：：用=示，15之毛細管交換程序之將引線陸續拉 明圖用毛細骨並導出尾端線之引線插通動作的動作說 38 1343612

【主要元件符號說明】 11 打線裝置 12 引線 13 接合臂 14 引腳架 15 半導體晶片 16 毛細管 16a 用畢毛細管 16b 交換用毛細管 17a 第1夾持器 17b 第2夾持器 18a 夾頭 18b 板手子L 18c 開縫 19 接合頭 20 XY工作台 21 超音波振動器 22 搬送導引件 23 接合載台 24 攝影機 25 XY位置檢測手段 26 Z位置檢測手段 27 旋轉中心 28 引線導引件 39 1343612

31 接合工具插拔機構 31a 保持部 31b 間隔器 31c 旋轉台 31d 直線驅動部 31e 馬達 3 1 f 滑輪 31g 皮帶 33 夹頭開閉機構 33a 板手 33d 直線驅動部 33e 馬達 33f 滑輪 33g 皮帶 35 去球體接合載台 37 真空閥 38 真空配管 39 球體 40 壓接球 41 尾端線 42, 46 彈性部 43 剛體部 44 保持筒 45 基板 1343612 47 排氣孔 71 控制部 73 資料匯流排 75 記憶部 77 攝影機介面 79 夾持器開閉介面 81 Z位置檢測介面 82 Z馬達介面 83 超音波振動器介面 85 XY工作台介面 87 XY位置檢測介面 89 夾頭開閉機構介面 91 接合工具插拔機構介面 93 真空閥介面 41

Claims (1)

1. 丄 、申請專利範面： 卜-種打線裝置，其特徵在於，具有： 工 接》臂，以設於前端之夾頭握持接合工I 具對接合面進行弧狀離合動作； 、’使該接合 夹頭開閉機構’係進行該夾頭之開閉；以及 接合工具插拔機構，包含將接合工具 向為該夾+ M y、寺成其長邊方 …向；==以及使該保持部朝該夾頭 下與該夾頭門門機：：並在該接合臂為靜止之狀態 頭之插拔開閉機構協同動作’以進行該接合工具對該央 2、如申請專利範圍帛1項之打線裝置… 工且柄Jf、M ^ '置 其中，該接合 構之該保持部，係將該接合工且伴# & 工具前端抵接； 得口具保持成該接合 N_ 插入^有間隔器’係安裝於該保持部，在將該接合工且 插入该夾頭時抵接於該接合臂，以 ：， 接合臂在該夾頭之舳f A Μ 接^工具則端與該 又碩之軸方向的距離保持於既定距離。 3、如申請專利範圍第〗項之打線裝置 能藉由彈性變形吸收該保持部與該夾頭間之= 位置偏移的彈性部。 心如申請專利範圍第…項令任一項之打線裝置， 二中且该接合工具插拔機構，具有：安裝有 合工具保持部之旋轉台；以& 個該接 使該旋轉台旋轉之旋轉驅動部。 5、如申請專利範圍第1至3項中任一項之打線裝置， _* · · . . 42 側。⑼合工具插拔機構係S己置於該接合臂之接合面 6、如申請專利範圍第i 13項中任一項之打線裝置， 、 3玄打線裝置包含： 使該接合臂前端移動的移動機構；以及 段；以光學方式檢測該保持部之位置的光學位置檢測手 藉由。玄移動機構使該接合臂前端移動，以使該炎頭之 :置配合利用光學位置檢測手段所檢測出之該保持部之位 1 如申請專利範圍第1至3項中任一項之打線裝置， Λ打線裝置具備使該接合臂前端振動之振動裝置， 在藉由接合工具插拔機構將該接合工具插拔於該失頭時， 利用該振動裝置使該接合臂前端振動。 8、如申請專利範圍第1至3項中任一項之打線裝置， 其中’該打線裝置，具有： 去球體接合載台，係進行去球體接合； 引線輸送機構，係使插通於該接合工具之引線相對該 接合工具移動；以及 控制部’進行該接合臂之動作控制與該引線輸送機構 之動作控制； 該控制部，具有： 去球體接合手段，使該接合臂動作並於去球體接合載 台進行去球體接合且除去形成於該引線前端之球體； 43 1343612 引線抽出手段，藉由該引線輸送機構從該接合工且後 端抽出該引線； ▲接合工具插拔手段，在該接合臂為靜止之狀態下，使 该炎頭開閉機構與該接合卫具插拔機構協同動作以將該接 合工具插拔於該夾頭；以及 引線插通手段，係藉由該引線輸送機構將該引線插通 於該接合工具。

   9、如申請專利範圍第8項之打線裝置，其中，該打線 裝置具有鄰接配置於與該接合f之接合面相反侧之面，用 以向握持於該失頭之該接合工具之引線孔導引該引線的引 線導引件。 10、一種打線裝置之接合工具交換方法，其特徵在於， 具有： 去球體接合步驟，係以設於前端之夾頭握持接合工具， 使忒接合工具對接合面進行弧狀離合動作之接合臂動作， 以於去球體接合載台進行去球體接合，並除去在插通於該 接合工具之引線前端所形成之球體； 引線抽出步驟’藉由使該引線相對該接合工具移動之 引線輸送機構’從該接合工具後端抽出該引線； 接合工具插拔步驟，係使夾頭開閉機構與接合工具插 拔機構協同動作’以將該接合工具插拔於該夾頭；該夾頭 開閉機構’係在該接合臂為靜止之狀態下進行該夾頭開 閉；接合工具插拔機構，包含將該接合工具保持成其長邊 方向呈該夾頭之軸方向之保持部、以及使該保持部朝該夾 44 1343612 頭之軸方向直線移動之驅動部；以及 引線插通步驟’係利用該引線輸送機構使該引線插通 於該接合工具。 11、一種記錄有打線裝置之接合工具交換程式的記錄 媒體’其特徵在於’該程式具有：

   去球體接合程式’係以設於前端之夾頭握持接合工具， 使忒接合工具對接合面進行弧狀離合動作之接合臂動作， 以於去球體接合載台進行去球體接合，並除去在插通於該 接合工具之引線前端所形成之球體； 引線抽出程式，藉由使該引線相對該接合工具移動之 引線輸送機構，以從該接合工具後端抽出該引線； 接合工具插拔程式，係使夾頭開閉機構與接合工具插 拔機構協同動作，以將該接合工具插拔於該夾頭；該夾頭 開閉機構’係在該接合臂為靜止之狀態下進行該炎頭開 閉，接σ工具插拔機構，包含將該接合工具保持成其長邊 方向呈該夹頭之轴方向之保持部、以及使該保持部朝該炎 頭之軸方向直線移動之驅動部；以及 引線插通程式，係利用該引線輸送機構使該引線插通 十一、圖式： 如次頁 45