TWI338771B - Position detecting device, position detecting method, test device and manufacturing device of camera module - Google Patents

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TWI338771B
TWI338771B TW093122248A TW93122248A TWI338771B TW I338771 B TWI338771 B TW I338771B TW 093122248 A TW093122248 A TW 093122248A TW 93122248 A TW93122248 A TW 93122248A TW I338771 B TWI338771 B TW I338771B
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Masayoshi Ichikawa
Takahiro Yamaguchi
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14319pifl.doc 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 修正日期:99年9月17日 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於位置偵測裝置、位置偵測方法、測試裝 置以及攝影模組製造裝置。特別本發明係關於偵測攝影裝 置之位置的位置偵測裝置,其中,攝影裝置係輸出按照所 接受之光的強度之輸出信號。 【先前技術】 近年來,隨攝影機之小型化及高精細化,推進CCD 攝影感應機(image sensor)等之攝影裝置(image device) 之小型化及多像素化。攝影裝置之小型化或多像素化,係 由受光元件之小型化加以實現。隨受光元件之小型化,受 光元件之開口面積變小,每個受光元件之受光量減少。因 此’使聚光用微透鏡(micro lens)形成於各受光元件上, 開發使開口面積加大之技術。 又’隨攝影機之小型化,攝影裝置與使光照射於該攝 衫裝置上之透鏡的距離變短。因此,攝影模組(camera module)係使用焦點距離短的短焦點距離透鏡。 在現階段尚未見有先前技術文獻存在,關於先前技術 文獻之記述從略。 【發明内容】 在測試此種攝影裝置之場合’對於攝影裝置短焦點距 離透鏡之位置從設計上之位置偏離時,在攝影裝置上不能 照射均一之光。因此,有不能正確測試攝影裝置之場合。 於是’有必要以高精度彳貞測短焦點距離透鏡與攝影裝置之 1338771 14319pifl.doc 修正日期:99年9月17日 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 位置’以使合對於設計上之位置。 於是本發明係提供能解決上述課題之位置偵測裴置、 位置債測綠、測試裝置以及攝频_造裝置為目、的。 ^目_可由中請專利之獨立項所述特徵的組合加以 達成。又,依附項係加以規定更再有利之具體例。 本發明之第-例係侧攝影裂置之位置的位置價 其中’攝影裝置係輸出按照所接受之光㈣度之、 信號。包括域、照射透鏡及位置侧部。其巾,光源係 產生光。照射透鏡係將光源所產生之光照射於攝影裝置 h位置細部魏據域影裝置按驗㈣射透鏡所受 光之光而輸出之輸出錢,_對於照射透鏡之攝影 的相對位置。 上述攝影裝置係為複數钱元件與魏微透鏡 )/、中複數受光元件係輸出按照所按受之光的強度 ^輸出信號,複數微透鏡係對應於複數受光元件所設置。 複數受光元件之排财心與所對應之受光元件愈離開,在 比所對應之受光元件的中心較向内側偏離之位置,包括各 了有光軸之複數;^透鏡,位置彳貞測裝置,更包括移動部, 係^據位置_部所_之相對位置,藉由移動攝影裝置 及‘、、、射透鏡之至少—方,將攝影裝置之相對位置化至預 定位置。 λ上述移動部係以各受光元件所接受之光的強度大略相 等之方式,將攝影裝置之相對位置變化至預定位置。 上述位置偵測裝置係更包括使光源所產生之光的一部 1338771 14319pifl.doc 爲第㈣2248號中文_義麵赃本 粧日期:99年9月〗7日 分通過之设於對照射透鏡為已知位置之縫隙(sUt),照射 透鏡係將經由縫隙之開口部從光源所接受之光,藉由照射 於攝影裝置上,將該開口部之像投影於攝影裝置上,攝影 裝置係輸出表示所投影之開口部之像的輸出信號,位置偵 測部係將對於攝難置之開口部_對位置,藉由依據攝 影裝置之輸出信號加以偵測,以將對於照射透鏡之 置的相對位置加以偵測。 上,開:部之中心,係設於與照射透鏡之光軸重疊的 位置,藉由异出在開口部之像的中心之,對於複數受光元 件之排列中心的相對位置,位置偵測部係加以制對於ς 影裝置之縫隙的相對位置。 上述縫隙係具有各延伸於互相平行之延伸方向之複數 開口部,透鏡係將複賴口部之各像鄉於攝影裝置 上,位置偵測部係依據各像之明亮度的差,在複數開口部 所排到之排列方向,加以偵測對於照射透鏡之攝 相對位置。 ,Ml⑺ 上述縫隙係更具有各延伸於排列方向之複數開口部, 各延伸於排列方向之複數開口部的各像更再 上,依據各延伸於排列方向之複數開口部 的各像之明亮度差’位置制部係更侧在延伸方向中, 對於照射透鏡之攝影裝置的相對位置。 本發明之第二例,係為偵測攝影裝置之位置的位置偵 測方法,其中,攝影裝置係輸出按照所接受之 輸出信號。包括光產生階段、照㈣段及位置侧階ς, 1338771 I4319pifl.doc 修正日期:99年9月17曰 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 其中,光產生階段係在光源產生光。照射階段係將光源所 產生之光,由照射透鏡照射於攝影裝置上。位置偵測階段 係依據於攝影裝置按照經由照射透鏡所受光之光而輸出的 輸出信號,加以偵測對於照射透鏡之攝影裝置的相對位置。 本兔明之第二例係測试攝影裝置之測試裝置,其中, 攝影裝置絲出按照所接受之光的強度之輸出信號。包括 光源j照射透鏡、位置偵測部、移動部及判定部。其中, ^源係產生光。照射透鏡係將絲所產生之光,照射於攝 二裝,上。位置彳貞泰卩係依據於攝影裝置按照經由照射透 之光所輸出之輸出信號,加以偵測對於照射透鏡 置的相對位置。移動部,係、依據位置_部所伯 動J之相對位置,藉由使攝影裝置及照射透鏡之至少一方移 攝影裝置之機位置加以變化於預定位置。判定 ^攝裝=場合,依據保持於預先所定位置 否攝置職出之輸出信號,加以判定該攝雜置之良 本發明之第四例係製造具有攝影裝置、昭 係影模組的攝影模組製造裝置。其中:攝; 先^受置==號。照射透= 模組製造裝置俦包 '位 、σ以保持照射透鏡。 其中,光源測部、移動部及裝設部。 經由照射^位置偵測部係依據於攝影裝置按昭 透鏡之攝影展置的相對位置。移動部係依據= 1338771 14319pifl.doc 修正日期:99年9月丨7曰 爲第931222牝號中文說明書無劃線修正本 測部所偵測之相對位置,藉由使保持攝影裝置及照射透鏡 之保持構件的至少-方移動’以使攝影裝置之相對位置加 以變化於航位置。|設部輕攝影裝置裝設於縣構件。 本發明之第五例係測試攝影農置之光學特性的測試裝 置,其中,攝影裝置係在受光面配設複數受光元件 。測試 4置包括短焦點距離透鏡、機台及位置侧裝置。其中, 短焦點距離魏’料有對應於使光各_於複數受光元 件之微透賴齡、點轉之光學躲,峨於光軸與攝影 裝置之受光面成為垂直_直軸方向,接受平行光線使平 行光線折射之光線向攝影|置之受光面加以人射。機台 (stage)係以保持短焦點距離透鏡之狀態可能移動於三轴 位置彳貞'収置’係接受攝影裝置依從短焦點距離透 影裝置之受先面人射的光線所輸出之輸出信號,從 =文光兀件之輸出信號的準位以求表示複數受光元件之 中心位置與絲點轉透叙綠_靠置偏離之相對 位置。機台係依據位置⑽樣置所求之相對位置 ^點=透鏡向複數受光林之中心位置與短焦點距離透 鏡之光,的相對錢偏離可料之方向加以移動。 /則》式裝置可更包括試頭(test head),構件搬送裝置、 (socket)及信號輸人出部。其中試頭係 置。構㈣送裝置,軸織魏置於綱上^ 係與在<4頭上所歧之攝*彡裝置的電端子加以電接連。信 Ϊ輸係經由承ϋ從測試裝置將控制信號供給攝影i M攝影裝置之輪出信號供給制試裝置。 乂 1338771 14319pifl.doc 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 修正日期:99年9月丨7日 測試裝置可更再包括具有開口部之縫隙(sHt)部,其 中,開口部係使向短焦點距離透鏡入射之平行光線的一部 分遮蔽加以通過。位置偵測裝置,係可接受攝影裝置對應 於依據開口部在攝影裝置之受光面上所投影之開口部的像 之輸出信號,從複數受光元件之輸出信號的準位,以求表 示複數受光元件之中心位置與短焦點距離透鏡之光軸的相 對位置偏離之相對位置。 尚且’上述之發明概要並非列舉本發明之必要特徵的
全部,此等特徵群之副組合(subcmbinati〇n)也可成為發 明。 ^為讓本發明之上述和其他目的、特徵和優點能更明顯 易懂’下文特舉較佳實施例,並配合所_式,作詳細說 明如下。 【實施方式】 以下通過發明之實施例加以說明本發明,以下之實 施例並非加以限疋關於巾請專利範圍之發明,又在實施例
中所說明之特徵的組合全部也祕為發明之解決手段所 需。 圖1係表不關於本發明之—實施例的測試裝置爾3 構成的―例。職裝置1⑻純括,部倾送裝置108、 試頭(—cad)120,及控制裝置·。 置㈣位f Λ動他技面配設複數受光元件之攝影1 與㈣竹合對’以高精度實賴影裝置10之另 子特性啦。。叫搬送裝置刚係包括托盤(tray) 106, 11 1338771 U319pifl.doc 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 飯曰期年9月17日 移動部102及部件保持部104。托盤1〇6係載置需要測試 之複數攝影裝置1〇。移動部1〇2係使部件保持部1〇4在托 盤106上與試頭12〇上之間移動。部件保持部1〇4係以順 -人從托盤106取出測試前之一攝影裝置1 〇,使該攝影裝置 !〇載置於έ式頭120上。在此,載置於試頭上之攝影裝置⑴ 並不一定以正確載置於所定位置。即,有攝影裝置1〇之中 心〇(參照圖2)與短焦點距離透鏡(丨ens) 126(參照圖4) 之光軸稍微偏離,以載置攝影裝置1 〇之可能性。照明裝置 130係對試頭12〇所載置之攝影裝置1〇,照射光線。、 φ «式頭120係載置需要測試之攝影裝置iq,與該攝影裝 置10以電接連。又,使依照攝影裝置10所受之光加以輸 出之輸出信號,由試頭12〇送至控制裝置200。更且,試 頭120係依據從控制裝置2〇〇之控制信號,以合對攝影 置1〇之位置。 ^ 控制政置200係包括控制部202、位置偵測部206,及 畫像處理部2〇4。控制部2〇2係以經由試頭12〇接受攝影 裝置10之輸出#號,變換為像素值(晝像之各像素值), 喊生畫像資料。然而’控制部202係使產生之畫像資料 · 达至畫像處理部204及位置偵測部2〇6。位置偵測部2〇6 係依據從控制部2〇2所接受之畫像資料,加則貞測攝影裝 f 10之位置。然而,位置偵測部206係將依據所偵測之攝 置10的位置之控制信號給與試頭丨。 晝像處理部204係依據從控制部2〇2所接受之晝像資 料’進行㈣及不均勻之偵測等的複數測試,將測試結果 12 14319pifl.doc 修正日期:99年9月17日 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 送至控制部202。控制部202係從晝像處理部204接受依 據該晝像資料之測試結果,加以判定攝影裝置1〇之良否。 又,控制部202係給與控制試頭12〇之控制信號。尚且, 控制部202係為判定部之一例。 如此,測試裝置1〇〇係以順次從托盤1〇6取出應需測 忒之一個攝影裝置1〇載置於試頭12〇,依據照明裴置13〇 之照射光,由攝影裝置10將輪出信號輸出。然而,位置偵 測部206係依據從控制部202所接受之畫像資料,加以偵 測攝影裝10之位置。然而’觸12()储由接受依據攝影 裝置10之位置的控置信號’將攝影裝£ 1G之位置加以合 對。然而,控制部202係將從合對位置之攝影裝£ 1〇的輸 出信號轉換為晝像㈣,由畫像處理部綱,加以侦測攝 影裝置10之缺陷及不均勻等。藉此,測試裝置1〇〇係加以 判定攝影裝置10之良否。 ,圖2係表示攝影裝置10之構成的一例。攝影裝置1〇 係包括減f光元件12,基板24,覆蓋玻璃(e_細) ^及複數端子14。複數受光元件12係例如使用半導體 製程(process)加以製造,形成於基板24之一方的面之 二上:在本例,各受光元件12係向受光面26之X 一 ° 由方向,例如以格子狀排列加以形成。各受光 Γ牛中按照所接受之光的強度之輸出信號。尚 為 複數文光兀件12之排列中心。又,複數 t二1,文光信號係、雖依據移位時標(shift clock) 讀销序列加讀丨,也可加以特定從 14319pifl.doc 修正曰期:99年9月17曰 爲第93!22248號中文說明書無劃線修正本 對應於^。之位置的受光元件12所輸出之受光信號。 覆盖玻璃16係以覆蓋複數受光元件12之方式,設成 以夾複數受光το件12與受光面26對向。複數端子14係設 於基板24之側面’將受光元件!2之輸出信號向外部輸出。 本例之攝影裝置10 ’係藉由輸出依據照射於受光面26上 之光的彳§唬,加以輸出表示投影於受光面26之像的信號。 圖3係表示攝影裝置10之詳細構成的一例之斷面圖。 攝影裝置ίο係更再包括複數信號轉送電路22、複數微透 鏡18、,及複數彩色遽光器(仙打)2〇。信號轉送電路22 係將各爻光元件12之輪出信號向端子14轉送。各微透鏡 18係對應於各受光元件12而設,將人射於覆蓋玻璃16内 之光,5^光於所對應之受光元件12上。 在此’微透鏡18a係與受光元件12a ’微透鏡18b係 與爻光元件12b各加以對應。又,受光元件12a係比受光 元件12b較從攝影装置10之中心0離開。以受光元件12a 之中心軸502與微透鏡I8a之光軸504的距離,比受光元 件12b之中心軸502與微透鏡18b之光軸504的距離較大 之方式,加以形成微透鏡18a。又,按照受光元件12之中 心軸502與中心〇之距離,以使受光元件12之中心軸5〇2 與光軸504離開之方式,可加以形成微透鏡18。此種場合, 以對應於受光元件12之微透鏡18的光轴504比受光元件 12之中心軸502較向中心0方向偏移之位置的方式,可加 以形成微透鏡18。 如此,各微透鏡18係複數受光元件π之排列中心的 1338771 14319pifl.doc 修正日期:99年9月丨7日 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 中心0與所對應之受光元件12愈離開時,在比對應A 件12之中心軸502較向内側偏移之位置,各具有^^車2刈兀
在此,隨近年來之攝影機之小型化,使用比習 之焦點距離較短的短焦點距離透鏡。設於攝影裝置1〇見 透鏡,將光投影於在透鏡之光軸上具有中心Q 10上之場合,透鏡與攝影裝置1G之輯變短時在D 置10上,隨從中心0愈離開,入射於各受光元件 對透鏡光軸之角度愈大。因此,在本例之各微透鏡18係π 計成為在以經由該短焦點距離透鏡接受光之場合,光2 適當聚光於所對應之受光元件12上。 彩色渡光器20係對應於各受光元件12而設,配置於 所對應之微透鏡18與所對應之受光元件12之間。又各 彩色遽光器20係通過特定之色。然而,異色之彩色淚光哭 2〇係以周期性配置於攝影裝置1〇上。由此,攝影裝“置^ 係可使攝影對象物之色加以再現。
圖4係表示試頭120之詳細構成的一例。試頭12〇係 包括承口(socket) 128、信號輸入出部122、位置調整部 124’及短焦點距離透鏡126。承口 128係載置攝影裝置H 與攝影裝置以電接連。又,承口 128係與信號輸入出部122 以電接連,將從信號輸入出部122所接受之控制信號送向
攝影裝置10,從攝影裝置10所接受之輸出信號送向信號 輸入出部122。 'U 信號輸入出部122係以經由承口 128接受攝影裝置j〇 之輸出信號’例如由類比數字轉換器AD (Analog Digital 15 1338771 14319pifl.doc 修正日期:99年9月17日 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 convertor)將全受光元件12之一畫框(frame)分之輪出 信號以順次轉換為數據信號,以轉換資料信號為畫像^料 送向控制部202。尚且,在攝影裝置1〇内存八〇轉換器之 場合,不需要AD轉換器。在此,需要去除測定系統之分 散或雜訊(noise)的場合,可在控制部202追加前處理= 即,也可接受複數映像單位之晝像資料將經平均化處理結 果的資料為晝像資料加以利用。尚且,雖然由攝影裝置 之設計規範而異,例如,可以畫像資料之資料列的中間位 置’為中心〇之資料加以特定,又’排列於各位置之受光 兀件的位置與畫像資料的位置有所對應之關係可加以特 疋。又,信號輸入出部122係將從控制部202所接受之控 制信號以經由承口 128送至攝影裝置1〇。尚且,在一般, 以從攝影裝置1〇的控制信號之一的移位時標順次讀出複 數文光元件12的受光信號之關係,AD轉換器係以適用移 位時標時可以同步加以量化。 短焦點距離透鏡126係以對應複數微透鏡μ所設計之 透鏡,具有對應於將光各照射複數受光元件12之複數微透 鏡丨8的短焦點距離之光學特性。因此,每當攝影裝置1〇 之品種變時,交換為對應於焦點距離之短焦點距離透鏡 126。短焦點距離透鏡126係配設於光軸與攝影裝置之 光文面成為垂直的垂直軸方向。短焦點距離透鏡126係將 照明裝置130所照射之光照射於攝影裝置1〇上的照射透鏡 之一例。位置調整部124係例如以保持短焦點距離透鏡126 之狀態可移動於三軸方向X/Y/z的機台(stage),在機台 16 1338771 14319pifl.doc 爲第州22248號中文說明書無劃線修正本 赃日期:"年9月17曰 之大略中央處具有使光通過的孔。尚且,位置調整部124 係為移動部之一例。 位置偵測部206,係以經由控制部202接受依據攝影 裝置10之輸出信號的畫像資料,依據該晝像資料,加以偵 測攝影裝置10與短焦點距離透鏡126之相對位置。具體 上,位置偵測部206係藉由從短焦點距離透鏡126向攝影 元件10之受光面所入射之光線接受攝影裝置1〇所輸出之 輸出信號,從複數受光元件12之輸出信號之準位(levd) 以求表示複數受光元件12之中心位置與短焦點距離透鏡 126之光軸的相對位置偏離之相對位置。然而,位置偵測 部206,係將依據該相對位置之控制信號給與位置調整部 124。位置調整部124係按照所接受之控制信號,藉由移動 短焦點距離透鏡126’將攝影裝置1〇與短焦點距離透鏡126 之相對位置合對於適當位置。具體上,位置調整部124係 依據位置偵測部206所求之表示複數受光元件丨2之中心位 置與短焦點距離透鏡126之光軸的相對位置偏離之相對位 置,將短焦點距離透鏡126移動於使複數受光元件12之中 心位置與短焦點距離透鏡126之光軸的相對位置偏離消失 之方向。 圖5係表示照明裝置13〇之詳細構成的一例。照明裝 置130 ’係包括電源146、光源142、照明控制部144,及 照明光學系統162。電源146係將電力供給照明控制部 144。光源142係例如為鹵素燈(hai〇gen iamp )或發光二 極管LED ( Light Emitting Diode ),產生白色光。照明控制 17 1338771 14319pifl.doc 修正日期:99年9月17曰 爲第93122248號中文說明書無劃線_正$ 部144係將一定電力供給光源142。又,照明控制部144, 係進行照明光學系統162之控制。 照明光學系統162係包括光圈(iris) 140、擴散板138、 準直儀透鏡(collimat〇r lens ) 136、中心濾光器(ND=Neutral
Density)部134,及彩色濾光器部132。光圈140係整形 光源142所產生之光。擴散板138係使光圈14〇所整形之 光的強度分布均一化。準直儀透鏡136,係將通過擴散板 138之光轉換對於照明光學系統ι62之光軸成為平行光。
短焦點距離透鏡126 ’係以經由彩色濾光器部132及ND 濾光為部134接受從準直儀透鏡136之平行光線使該平行 光線加以折射之光線入射於攝影裝置10之受光面。 ND濾光器部134係大略為圓盤狀,以可能回轉加以
保持。ND濾光器部134係具有各相異減衰量之複數ND 濾光器160。各ND濾光器160,係使通過之光的強度,在 波長之全域藉由以同樣加以低減,使入射於攝影裝置 之光的明亮度加以調整ΰΝΕ)濾光器部134係例如由馬達 驅動而回轉,加以切換使通過準直儀透鏡136之光線將要 通過之ND濾光器16〇。 彩色濾光器部132係為大略圓盤狀,以可能回轉加以 保持。彩色濾、光H部132係具有使各相異波長之光通過的 硬數彩《絲158。彩色滤光器158係使光源142所產 生之白色光’轉換為紅色、綠色、或青色等之光,照射於 攝IV裝置10色滤光益部J32係例如由馬達驅動而回 轉’加以祕使錄⑷所產生之光通彩色滤光器 18 14319pifl.doc 修正日期:99年9月17日 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 158。尚且,在進行位置合對之場合,未經由彩色濾光器 158之光照射於攝影裝置1〇。 一依照本例之照明裝置130時,可使光源142所產生之 光,以同樣強度分布,轉換為與光源142之光軸大略平行 光,以向短焦點距離透鏡126適當入射。又,照明裝置13〇 藉由切換使光通過之彩色濾光器158及ND濾光器160, 測试裝置100係對攝影裝置1〇可進行種種晝質之測試。尚 且’位置该測部206、短焦點距離透鏡126、及照明裝置 130係為伽攝影震置1()之位置的位置偵測裝置之一例。 圖、6係表不攝影裝置10之中心〇與短焦點距離透鏡 6之光轴為—致場合的攝影裝置⑴之受光量分布的概念 126 ’係接受通過準直儀透鏡136之光, 、_浐^办扁置上。各微透鏡18,對應於短焦點距離 二,攝影裝置10之中心與所對應之受光元件12愈 置所對應之受光元件12的中心向内側偏移之位 離、类於光軸之關係’攝影裝置10之中心〇與短焦點距 光量:C致的場合,各受光元件 12所接受之 126之表不攝影裝置1〇之中心0與短焦點距離透鏡 圖 _的場合之攝影裝置1()之受光量分布的概念 各受光元轉透鏡126之光軸為—致之場合,以 複數微透鏡18。A略均^之方式’加以設計 光軸偏離⑽中心〇與短焦點距離透鏡120之 、琢S ’各受光元件12所接受之光量係成為各不 1338771 14319pifl.doc 修正日期:99年9月17曰 爲第93丨22248號中文說明書無劃線修正本 均一 2此種場合,中心〇與短焦點距離透鏡126之光軸的 偏離量愈大’則攝影裝置1〇之受光量分散變大。又,隨中 心0與紐焦點距離透鏡126之光軸的偏離,受光量之最大 值從中心向短焦點距離透鏡126之光軸偏離之方向偏離。 在此,位置偵測部2〇6 ’係依據攝影裝置1〇之輸出信 號’加以算出受光量之分散。在分散比所定值較大之場合, 位置债測部206係加以判定為中^ 〇與短焦點距離透鏡 126之光軸偏離。然而,位置偵測部2〇6,係在攝影裝置 10上加以彳貞測受光量為最大值之像素的座標。然而,位 置偵測部206係藉由算出從該座標至中心〇之距離,加以 偵測中心〇與短焦點距離透鏡126之相對位置。 此種場合,位置偵測部206係將該相對位置分為攝影 裝置10之受光面26上之X軸方向之距離叔與丫軸方向 之距離dy各加以算出。然而,位置偵測部2〇6係藉由將依 據距離dx及dy之控制信號給與位置調整部124,令位置 調整部124,對於攝影裝置1〇使短焦點距離透鏡126加以 移動。 如此’位置偵測部206係依據攝影裝置10按照經由短 焦點距離透鏡126所受光之光所輸出之輸出信號,加以偵 測對於短焦點距離透鏡12 6之攝影裝置丨〇的相對位置。位 置調整部124係依據位置偵測部2〇6所偵測之相對位置, 使紐焦點距離透鏡126藉由在與短焦點距離透鏡126之光 軸垂直的面内加以平行移動,將對於短焦點距離透鏡 之攝影裝置10的相對位置,加以變化於預定位置。在本 20 1338771 14319pifl.doc 修正日期:99年9月17曰 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 例,以攝影裝置10之中心0與短焦點距離透鏡126之光軸 為大略一致之方式,位置調整部丨24係對於攝影裝置10 使短焦點距離透鏡126加以移動。 實際上依據於所受光之攝影裝置1〇的輸出信號,加以 調整短焦點距離透鏡126之光軸的關係,可以良好精度偵 測短焦點距離透鏡126之光軸與攝影裝置1〇之中心〇的相 對位置’能加以合對。因此,可使攝影裝置1〇以良好精度 加以測試。 尚且’位置偵測部206係也可依據在晝像資料之距離 dx及dy加上,短焦點距離透鏡126之倍率m,加以算出 短焦點距離透鏡126之光軸與攝影裳置1〇之中心〇的偏離 量。在此種場合’與X軸平行方向之偏離量係為倍率m與 距離dx之積’與γ軸平行方向之偏離量係為倍率出與距 離dy之積。又’在畫像資料之像素的座標’係對應於表示 在攝影裝置10之受光面26上的各受光元件12之位置座 標。 圖8係表示攝影裝置1〇之測試程序的一例之流程圖。 在最初,部件搬送裝置1〇8係從托盤1〇6取出應要測試之 一個攝影裝置10,載置於承口 128(sl〇〇)。其次,點燈 光源142,以經由照明光學系統162及短焦點距離透鏡 126 ’光源142所產生之光照射於攝影裝置1〇 (sl〇2>然 而’控制部202係將按照所照射光之受光量的攝影裝置1〇 之輸出is號轉換為像素值以產生晝像資料,送至畫像處理 部204及位置偵測部206。位置偵測部206係依據所接受 21 14319pifl.doc 修正日期:"年9月π曰 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 之晝像資料’加以算出攝影裝置1Q之受光 (S104)。 位置制部206係將所算出之受光量的分散與所定值 加以比較(S106>位置偵測部2〇6係在第一,判定受光 量之分散比所定值較小的場合(S106:Y),則進入階丨支^12 (S112)。位置偵測部2〇6係在第二’在判定受光量之分 散比蚊值較大的場合(請6 : N),位置_部,係 輸出受光量之最大值的受光元件12之位置與攝影 裝置U)之中心0的位置加以比較,以算出攝影裳置1〇與 短焦點距離透鏡126之相對位置,將對應於該相對位置之 控制信號送至位置調整部124 (S1〇8)。然而,位置調整部 124係按照所接受之控制信號,使短焦點 26加 以移動(S110)。 此結果、’攝影裝置H)之中心G與短焦點距離透鏡126 勿]正於最姑之位置狀態。尚且,在攝影裝置1G有不能 度之缺陷或糾料之祕分散縣的場合,有不 值之可能性。於是,從晝像資料之資料序 軸方向及¥軸方向之包絡線,也可從所求之包絡 線群加以特定表示最大值之位置。 -伯其次’畫像處理部綱係對於所接受之畫像資料,進 3 不均勻等異常之畫質測試,將測試、结果向控 果° ^ (SU2)°控制部202係依據所接受之測試結 ㈣裝置1G之良否(su4)。然而,測試裝 〇加以狀在托盤1G6±是否有應制試之攝影裝置 22 143l9pifl.doc 修正日期:99年9月丨7日 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 10 (S116)。在托盤106上殘存應要測試之攝影裝置1〇的 場合(S116: Y)’部件搬送裝置108係再從托盤1〇6取出 應要測試之一個攝影裝置10,載置於承口 128(sl〇〇)。 在托盤106上無殘存應要測試之攝影裝置的場合(SU6 : N) ’以終止本流程圖所示之測試裝置1〇〇的動作。 又,測試裝置100係可使用無缺陷及不均勻等之具有 已知特性之攝影裝置10,進行與短焦點距離透鏡126之位 置合對,藉由將該攝影裝置10與應要測試之攝影裝置1〇 加以交換,加以測試應要測試之複數攝影裝置1〇。此種場 合,測试裝置100係依據保持於預先所定位置之攝影裴置 10所輸出之輸出信號加以判定該攝影裝置10之良否。藉 此,應要測試之複數攝影裝置的每個,不必要進行位置人 對,可以迅速進行測試。 圖9係表示照明裝置130之詳細構成的其他之例。尚 且,除以下加以說明之點以外,在圖9,附上與圖4及/ ^ 圖5相同符號之構成元件係與在圖4及/或圖5之構成元件 具有同一或同樣機能之關係其說明加以從略。 照明裝置130係更再包括縫隙部148。縫隙部148係 為大略圓盤狀,以可能回轉加以保持。縫隙部148係耳有 複數缝隙(開口部)150以使光源142所產生經由準直儀 透鏡136向短焦點距離透鏡126入射之平行光線的一部分 加以遮蔽通過。縫隙部148係例如由馬達加以驅動回轉: 以使光源142所產生之光的一部分通過之縫隙15〇加以切 換。短焦點距離透鏡126係將經由縫隙部148之縫隙15〇 23 1338771 14319pifl.doc 爲第9312U48號中文說明書無劃線修正本 咖 修正日期:99年9月17日 從光源I42所接受之光,藉由照射於攝影裝 隙150之像投影於攝影裝置1〇上。麸 上使縫 將表示所投影之,_ 150的像之輸^^影裝置㈣ _出。然而,位置偵測 於依據_ 15G钱料置⑴之受心上所投影之= Γ = 之輸:號i從複數受*元件12之輪出信號的準 位,以求表㈣數技元件12之巾錢置與短 鏡120之光軸的相對位置偏離之相對位置。…·,離透 圖ίο係表示縫隙部148之一例。縫隙部148係包括 數縫隙150a〜d。縫隙150a係具有互相平行之複數開 172a與互相平行之複數開口部㈣。各開〇部172&係各 向y轴方向延伸,各向與y軸直交之乂軸方向排列。各開 口部172b係各向x軸方向延伸,各向y軸方向排列。縫隙 150b係為圓形狀,縫隙15〇c係具有平行之複數開口部 172c。各開口部172c係各向χ軸方向延伸,各向y軸方向 排列。 縫隙150d係雖具有與縫隙150c大略同—形狀,對於 縫隙部148之半徑方向,互相直交。藉此,投影於攝影裝 置ίο上之各開口部172d的像係對於各開口部172c投影於 攝衫裝置10上之場合的像,大略直交。尚且,各縫隙15〇 係可為以其他之十字型及矩形形等之形狀。 在此,縫隙部148係設於大略垂直於照明光學系統162 之光軸的平面内。又,缝隙150使從光源142之光的一部 分通過之場合’藉由縫隙部148之回轉,縫隙15〇之中心 24 1338771 I4319pifl.doc 修正日期:99年9月17日 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 係合對於與照明光學系統162及短焦點距離透鏡126之光 軸重疊之位置。藉此’攝影裝置10之中心〇與短焦點距離 透鏡126之光軸一致的場合’短焦點距離透鏡126係在攝 影裝置10之受光面26的大略中央加以投影縫隙15〇之像。 圖11係表示攝影裝置1〇之令心〇與短焦點距離透鏡 126之光軸一致的場合之攝影裝置1〇的受光量分布之概念 圖。在本例,短焦點距離透鏡126係將對應於縫隙15〇c 之複數開口部172c的各像投影於攝影裝置1〇上。中心〇 與短焦點距離透鏡126之光軸一致的場合,在攝影裝置1〇 之叉光面26上的所定位置,各加以投影各開口部n2c之 像。 、此種%合’複數受光元件12之受光量係具有對應於各 縫隙150之形狀的分布。又,此種場合,中心〇與短焦點 距離透鏡126之妹—致之難,對應於所投影之各開口 部172c的各受光元件12所接受之光量係大略為均一。 圖>12係表不攝影裝置1〇之中心〇與短焦點距離透鏡 同Λ光軸為偏離場合崎影裝置1G之受光量分布的概念 :二戽:〇與短焦點距離透鏡126之光軸為偏離之場合, 部17^Ί26 ΐ之所定位置偏離的位置’加以投影各開口 铲126夕I 4大。複數微透鏡18係在中心0與短焦點距離透 鏡126之光轴為—致 以成為大略均合,各受光兀件12所接受之光量 距離透鏡126之光以設計之關係’中心〇與短焦點 的各受光**杜元釉為偏離時’對應於所投影之開口部172 又几12所接受之光量係成為不均—。 25 1338771 14319pifl.doc 爲第W122248號中文說明書無劃線修正本 修正曰期:99年9月17日 圖13係表示攝影圖案(pattern) 152及其受光量分布 之一例。在本例,短焦點距離透鏡126係將縫隙15〇a之像 投影於受光面26上。像164係投影於攝影裝置1〇上之縫 隙150a的像’具有複數明部166a及166b。位置偵測部206 係將從各受光元件12所接受之輸出信號與所定值加以比 較,藉由使所定值以下之輸出信號的像素值為〇,加以偵 測將去除明部166a及166b以外之無用暗部資料的明亮圖 案152。在此,所定值係例如適用明部166a及16沾之資 料值的1/1〇程度值。尚且,將短焦點距離透鏡126之隹距 (focus)以正確合對於攝影裝置1〇之場合,係掃'描 (search)控制z機台,預先求明部16仏及16沾之輪廓 成為最明確(sharp)的短焦點距離透鏡126之2軸位置, 以進行設定短焦點距離透鏡126於該z軸位置之前處理。 在本例,位置偵測部206係將攝影圖案丨5 2之像素值, 向複數受,元件12之排列方向的χ軸方向及^方向作 f各經加算之加算信號(經加算之資料系列)。在作成之加 算信號,對應於各明部·及祕位置之加算信號變大。 又’可將受光元件12之個個特性分散加財均化的關係可 的確加以判定。 —在此,位置偵測部206,係藉由將作成之加算信號與 所定值比較,以偵測對應於各明部166a及166b之加算俨 Ϊ'!68及加算信號170。然而’位置偵測部206係將各二 说168及加算信號17〇内之像素值,各加以平均化。 而,位置偵測部施係將各加算信號168之平均值藉由 26 1338771 14319pifl.doc 修正曰期:99年9月17曰 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 各加以比較,以判定在X軸方向之受光量是否為均一。又, 位置偵測部206係將各加算信號17〇之平均值藉由各加以 比較,以判定在y軸方向之受光量是否為均一。 X軸方向之光量為不均一的場合,位置偵測部2〇6係 加以判定攝影裝置10之中心〇與短焦點距離透鏡126之光 轴,向X軸方向偏離。γ軸方向之光量為不均一的場合也 以同樣,位置偵測部206係加以判定中心〇與短焦點距離 透鏡126之光軸,向y軸方向偏離。在此,將預先所測定 各加算信號168之像素值分布和中心〇與短焦點距離透鏡 126之光軸的相對位置關係之表格,儲存在位置偵測部 206。然而,位置偵測部206係藉由參照該表格,依據經偵 測之各加异信號168的像素值分布,加以偵測中心〇與短 焦點距離透鏡126之光軸,在\軸方向及y轴方向之相對 位置。然而,位置偵測部206係將依據該相對位置之控制 信號送向位置調整部124。 以如此,位置偵測部206係依據各明部166a及166b 之明亮差,加以偵測在複數縫隙15〇所排列之排列方向, 對於短焦點距離透鏡126之攝影裝置1〇的相對位置。更 且’位置偵測部206係依據在明部I66a之排列方向各延伸 之各明部166b的明亮差,加以偵測在明部16如之延伸方 向,對於短焦點距離透鏡126之攝影裝置1〇的相對位置。 然而,位置調整部124係按照從位置偵測部2〇6所接 受之控制信號,加以偵測攝影裝置10之中心〇與短焦點距 離透鏡126之光轴的位置。因此,在本例,可將短焦點距 27 14319pifl.doc 修正日期:99年9月丨7日 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 離透鏡126之光轴與攝影裝置1〇之中心的相對位置,以良 好鈿度加以偵測之結果,也能將χ軸方向與y軸方向之光 軸偏離以的確加以合對。尚且,在上述說明雖係以具有微 透鏡之攝影裝置10為具體例加以說明,對於在不具有微透 鏡之其他攝影裝置的場合,要求將短焦點距離透鏡126之 光軸與攝影裝置之中心或中心以外之所期望位置以正確加 以位置決定時,也以同樣可加以適用。 又,在縫隙150之中心與短焦點距離透鏡126之光軸 重豐之位置加以固定短焦點距離透鏡126與縫隙部148, 位置凋整部124係也可依據從位置彳貞測部施之控制信 號’使短焦點距離透鏡126與縫隙部148以一體加以移動。 此種場合,在位置調整部124移動短焦點距離透鏡126後, 力以比較技衫於受光面26之縫隙15〇的像中心與攝影裝置 之中0的位置,依據比較結果,藉由更再移動短焦點 距離透鏡m與縫㉟148 ’可α良好精度使攝影裝置10之 中0與短焦點距離透鏡126之光軸加以合對。 圖14係表不攝影裝置1〇之中心〇與投影於攝影裝置 1〇之縫隙150的像中心之位置關係的—例。在本例,短隹 點距離透鏡126係將縫隙150a之像投影於受光面26上了 像之中〜154係表示投影於攝影裝置1〇之縫隙15如的像 中心。位置偵測部206係也可藉由算出縫隙15〇a之像中心 於攝影裝置1G之中心G的相對位置,加以偵測對 :〜、置10之短焦點距離透鏡126的相對位置。此種場 s ’位置偵測部206係將從攝影裝置10之中心〇至像中心 28 1338771 14319pifl.doc 修正日期:99年9月17日 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 154的距離’分為攝影裝置10之受光面26上的向x軸方 向之距離dx與向y軸方向之距離dy各加以算出。然而, 位置偵測部206係依據短焦點距離透鏡126之倍率,各加 以异出倍率m與距離dx之積為向X轴方向的距離,倍率 m與距離dy之積為向y軸方向的距離。 在此,依據於短焦點距離透鏡126之焦點距離及各裝 置之尺寸,以短焦點距離透鏡126之焦距合對於攝影裝置 10上之方式,以機械地加以調整攝影裝置1〇與短焦點距 離透鏡126之間的距離。但是,各裝置之尺寸具有公差之 關係’有短焦點距離透鏡126之焦點不合對於攝影裝置1〇 上的%合。此種場合,投影於攝影裝置丨〇上之縫隙15〇 的像變成模糊。因此,有不能以正確加以算出投影於受光 面26之縫隙150的像中心154之場合。 在本例,對Z轴方向之移動控制加以說明。在與各明 部166a及166b之明暗境界交差的線段上,算出像^值之 上昇或下降的寬度,藉由與所定值加以比較,由位置偵測 部206加以判定短焦點距離透鏡丨26之焦距是否合於攝影 裝置ίο。在判定短焦點距離透鏡126之焦距不合於攝影裝 置ίο之場合,位置偵測部206係令位置調整部124將短^ 點距離透鏡126對於短焦點距離透鏡126之光軸,以平行 移動所歧離。然而置彳貞測部施係再算出像素值之 上昇或下降的寬度。尚且,也可掃描控制2機台,以求短 焦點距離透鏡126之焦距成為最好之z軸方向位置的方 法。 29 1338771 14319pifl.doc 修正曰期:99年9月Π曰 爲第93122248號巾織__線修正本 上昇或下《度明❸f的像素值之 複像素值之上昇或下^值;,賴裝置剛係重 120之移動。葬砂 見义之异出,及紐焦點距離透鏡 之像,位置^部2G6^^1G上以明亮投影縫隙150 縫隙⑼像的中心位良好精度加以算出所投影之 影襄置ω之中心對攝 /、…、點距離透鏡126之光軸的位置。 示關於本發明之—實施例的攝影模組製造
义置 構成的—例。尚且,將在以下加以說明之點除 :有=二附上與圖1相繼之構成係與圖1之構成 具有同樣機此之關係其說明將從略。 攝影模組製造裝置300係包括部件搬送裝置3〇8、組 立部320、控制裝置4〇〇,及照明裝置13〇。部件搬送裝置 308係包括複數托盤1〇6、托盤310、移動部1〇2,及^設 部304。托盤106係載置製造用之複數攝影裝置⑴
先測定特性之調整用攝影裝置丨〇。托盤3丨〇係載置製造用 之複數透鏡單元(unit) 34、及預先測定特性之調整用透 鏡單元34。又,托盤310係載置經製造之攝影模組4〇。 移動部102係將裝設部304在托盤106上、組立部32〇 上’及托盤310上加以移動。裝設部304係從托盤31〇取 出一個透鏡單元34,載置於組立部320上。然而,裝設部 304係從托盤1〇6取出一個攝影裝置10,載置於組立部32〇 上之透鏡單元34上。更且,裝設部304係在製造後,從組 立部320取出攝影裝置1〇及透鏡單元34,載置於托盤 30 1338771 14319pin.doc 修正日期:99年9月π曰 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 上 組立部320係載置透鏡單元34,與透鏡單元%以電 接連。在攝影裝置1〇載置於組立部32〇上之透鏡單元% 的場合’組立部32〇係以經由透鏡單元Μ接受從攝影裝 置10之輸出信號,向控制裝置400送。又,組立部 係將從控難置_所接受之控制錢,以經由 34給與攝影裝置10。控制裝置400係包括控制部4〇2、書 ^理部204 ’及位置偵測部綱。控制部撕係將控制^ 號給與組立部320及部件搬送裝置3〇8。 圖16係表示組立部32〇及攝影模組4〇之詳細構成 一例。攝影模組40係、包括透鏡單元34及攝影裝置ι〇 影模組40係將攝料置1()藉由裝設於透鏡單元34加 造。攝影裝置1〇 <系由裝設部綱,例如使用倒裝片、 ip chip)裝配’以裝設於透鏡單元34。透鏡單元Μ係 八保持構件30及短焦點距離透鏡126。保持構件3〇係 短焦點距離透鏡126。又,保持構件3G在載置攝 之场合,係與攝影裝置10以電接連。組立部320 係包括信錄^部122及位置調整部124。 $ Π係表示攝影模組4〇之製造程序的一例之流程 :。在!初’部件搬送裝置308係從托盤 310取出調整用 加兄早兀34,载置於組立部320上(S200)。其次,從 :盤廳,,之攝影裝置ι〇,載置於載置心 透鏡早凡34上(S2〇2)。其次,使光源142點燈, “、 所產生之光係以經由照明光學系統162及透鏡單 31 14319pifl.d〇c 修正日期:99年9月17日 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 7L 34之短焦點距離透鏡126照射於攝影裝置1〇 (s2〇4)。 控制部202係將按照於所照射之光的受光量之攝影裝 置10的輸dHt號變換為像素仙產生畫像資料,送至位置 偵測部206。位置债測部206係依據所接受之晝像資料, 算出攝影裝置10之受光量的分散(S206)。然而,位置偵 測部206係加以比較所算出之受光量的分散與所定值 (S208)。 在位置偵測部2G6加以判定受光量的分散比所定值較 小之場合(S208 : Y) ’部件搬送裝置3〇8係從組立部32〇 取出調整用之攝影裝置1〇及透鏡單元34,回放於托盤1〇6 及托盤310 (S214)。在位置偵測部2〇6加以判定受光量的 分散比所定值較大之場合(S2〇8 : N),位置偵測部2〇6係 藉由比較輸出受光量之最大值的受光元件12之位置與攝 景^裝置10之中心0的位置,加以算出攝影裝置1〇與透鏡 單元34之短焦點距離透鏡126的相對位置,將依據於該相 對位置之控制信號送至位置調整部124 (s21〇)。然而,位 置調整部124係按照所按受之控制信號,使透鏡單元34加 以移動(S212)。尚且,在攝影裝置1〇與透鏡單元34之 兩者以位置決定的狀態’使兩者以黏著劑或其他固定手段 等加以固定處理為善。 其次’部件搬送裝置3〇8係從組立部302取出調整用 之攝影裝置10及透鏡單元34,放回於托盤1〇6及托盤310 (S214)。然而’部件搬送裝置3〇8係從托盤31〇取出一 個製造用之透鏡單元34,載置於組立部320上(S216)。 32 14319pifl.doc 修正日期:99年9月17日 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 其次,從托盤1G6取出-個製造用之攝影裳置1(),載置於 組立部!2G上之透鏡單元34上,藉由將攝影裝置1〇裝設 於透鏡單兀34,以製造攝影模組4〇(S218)。在階段, 裝設部304係將攝影裝置1〇與短焦點距離透鏡126之相對 位置,-面保持於移動後之位置,—面將攝影裝置設於透 鏡單元34。 其··人γ。卩件搬送裝置3〇8,係從組立部32〇取出加以 製造之攝影模組40,載置於托盤31〇 (S22〇) ^然而,部
件搬送裝置308加以判定製造用之攝影裝置1()及透鏡單元 34,各是否在托盤1〇6及托盤31〇上(S222)。然而,製 造用,攝影裝置1〇及透鏡單元34各在托盤1〇6及托盤31〇 上之場合(S222 : Y) ’部件搬送裝置3〇8係再從托盤31〇 取出一個製造用之透鏡單元34,載置於組立部320上 (S216)。在製造用之攝影裝置1〇或透鏡單元34之任何 一方,不存在於托盤1〇6或托盤31〇上之場合(§222 : N), 本流程圖所示之攝影模組製造裝置3〇〇之動作係加以終 止。 如此’攝影模組製造裝置300係依據攝影裝置1〇之輸 出,加以調整對於短焦點距離透鏡120之攝影裝置1〇的位 置,以在經調整之位置加以製造攝影模組4〇的關係,可加 以製造使短焦點距離透鏡126之光軸與攝影裝置10之中心 0 ’以良好精度加以位置合對之攝影模組4〇。 尚且’攝影模組製造裝置300係可不使用調整用之攝 影裝置10及透鏡單元34,從階段200移至212,及從階段 33 1338771 14319pifl.doc 修正日期:99年9月丨7日 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 218移至222加以實行。此種場合,在階段222,於托盤 106及托盤310上各具有製造用之攝影裝置1〇及透鏡單元 34的場合(S222 : Y)攝影模組製造裝置3〇〇係實行階段 200。 以上,雖然將本發明以使用實施例加以說明,本發明 之技術範圍係並非限定於上述實施例所述之範圍。在上述 實施例,當事者明瞭可加以多種變更或改良。加以此種變
更或改良之實施例也得包含於本發明之技術範圍,可從申 請專利範圍之所述加以明瞭。 —雖然本發明已以較佳實施例揭露如上,然其並非用以 限疋本發明,任何熟習此技藝者,在不麟本發明之精 =範圍内,當可作些許之更動與_,因此本發明之保 範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。 【圖式簡單說明】 圖1係表示關於本發明之-實施例的測試裝置1〇 構成的一例圖。
圖2係表示攝影裝置1〇之構成的一例圖。 圖3係表示攝影裝置10之詳細構成的一例圖之斷面 圖4係表示試頭12〇之詳細構成的一例圖。 圖5係表示照明裂置13〇之詳細構成的一例圖。 表示攝影裝置10之中心0與短焦點距離透鏡 之故為—致場合賴影錢1Q之受光量分布的概念 34 14319pifl.doc 修正日期:99年9月Π曰 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 圖7係表示攝影裝置10之中心0與短焦點距離透鏡 126之光軸為偏離場合的攝影裝置10之受光量分布的概念 圖。 圖8係表示攝影裝置10之測試程序的一例之流程圖。 圖9係表示照明裝置130之詳細構成的其他例圖。 圖10係表示縫隙部148之一例圖。 圖11係表示攝影裝置10之中心0與短焦點距離透鏡 126之光軸為一致的場合之攝影裝置10之受光量分布的概 念圖。 圖12係表示攝影裝置10之中心0與短焦點距離透鏡 126之光軸為偏離的場合之攝影裝置10的受光量分布之概 念圖。 圖13係表示攝影圖案152及其受光量分布之一例圖。 圖14係表示攝影裝置10之中心0與投影於攝影裝置 10之縫隙150的像中心之位置關係的一例圖。 圖15係表示關於本發明之一實施例的攝影模組製造 裝置300之構成的一例圖。 圖16係表示組立部320及攝影模組40之詳細構成的 一例圖。 圖17係表示攝影模組40之製造程序的一例之流程圖。 【主要元件符號說明】 10攝影裝置 12 受光元件 14 端子 1338771 14319pifl.doc 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 修正曰期:99年9月17曰 16 覆蓋玻璃 18 微透鏡 26 受光面 30 保持構件 34 透鏡單元 40 攝影模組 100 測試裝置 102 移動部 104 構件保持部 106 、310 托盤 108 、308 部件搬送裝置 120 試頭 124 位置調整部 126 短焦點距離透鏡 128 承口 130 照明裝置 132 彩光濾光器 134 ND濾光器 136 準直儀透鏡 138 擴散板 140 光圈 142 光源 148 縫隙部 150 縫隙
36 1338771 14319pifl.doc 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 修正日期:99年9月17曰 152 攝影圖案 162 照明光學系統 172 開口部 200 控制裝置 202 > 400 控制部 204 晝像處理部 206 位置偵測部 300 攝影模組製造裝置 304 裝設部 320 組立部 402 控制部 502 中心軸 504 光轴 十、申請專利範圍: 1.一種位置偵測裝置,係偵測一攝影裝置之一位置, 該攝影裝置係按照所接受之光的強度加以輸出一輸出信 號,包括: 一光源,係產生光; 一照射透鏡,係將該光源所產生之光,照射於該攝影 裝置上;以及 一位置偵測部,係依據於該攝影裝置按照經由該照明

Claims (1)

1338771 14319pifl.doc 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 修正日期:99年9月17曰 152 攝影圖案 162 照明光學系統 172 開口部 200 控制裝置 202 > 400 控制部 204 晝像處理部 206 位置偵測部 300 攝影模組製造裝置 304 裝設部 320 組立部 402 控制部 502 中心軸 504 光轴 十、申請專利範圍: 1.一種位置偵測裝置,係偵測一攝影裝置之一位置, 該攝影裝置係按照所接受之光的強度加以輸出一輸出信 號,包括: 一光源,係產生光; 一照射透鏡,係將該光源所產生之光,照射於該攝影 裝置上;以及 一位置偵測部,係依據於該攝影裝置按照經由該照明 1338771 14319pifi.doc 修正日期:99年9月17日 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 透鏡所受光之光而輸出之該輸出信號,偵測對於該照射透 鏡之該攝影裝置的一相對位置。 2.如申請專利範圍第1項所述之位置偵測裝置,其+ 1 亥攝影裝置係包括: 複數受光元件,係按照所接受之光的強度,而輸出該 輪出信號;以及 w —複數微透鏡,其係對應於該些複數受光元件所設置的 複數微透鏡,該些複數受光元件之排列中心與所對應之兮 爻光元件愈離開,在比所對應之該受光元件之中心向内^ 偏離之位置,該些微透鏡分別具有一光轴; 該位置偵測裝置還包括: 二移動部,係依據該位置偵測部所偵測之該相對位 藉由使忒攝景^裝置及該照射透鏡之至少一方移動, :该攝影裝置之該相對位置變化至一預定位置。 兮较3如申請專利範圍第2項所述之位置债測裳置,其中 部係以各該受光元件所接受之光的魅為大略相等 ",將該攝影裝置之該相對位置變化至該預定位置。 括估i如巾請專利_第2項所述之位置_裝置,更包 於==源所產生之光的—部分通過之-開口部,其係設 μa射透鏡為已知位置之—縫隙; 所接ΐ照射透鏡係藉由將經由該縫隙之關Π部從該光源 於今2光照射於賴影裝置上,以使該開口部之像投影 、邊攝影裝置上;以及 攝衫裝置係輪出以所投影之該開口部的像表示之該 38 14319pifl.doc 修正曰期:99年9月17曰 爲第93丨22248號巾文翻賴麵修正本 輸^信號’該位置偵測部係將對於該攝影裝置之該開口部 的相對位置,藉由依據該攝影裝置之該輸出信號加以債 ’貝以偵測對於遠照射透鏡之該攝影農置的該相對位置。 ^如申印專利範圍第4項所述之位置偵測裝置其中: 歧開口邛之中心係設於與該照射透鏡之光軸重疊之位 置;以及 、—該,置偵測部係藉由算出在該開口部之像中心對於該 光,件之排列中心之—相對位置,而偵測對於該 攝衫滅置之遠縫隙的—相對位置。 6·如申β專利範圍第4項所述之位置偵測裝置,其中: 該縫隙係具有分別延伸於互相平行延伸方向之複數該 口部之各像投影於該攝 该照射透鏡係將該些複數該開 影裝置上;以及 ㈣該!"置㈣部,係依據該些各像之明亮差,而偵測在 所㈣之排财向,對於該照射透鏡之該 攝衫裝置的該相對位置。 I·如申請專利範圍第6項所述之位置偵測裝置,其中: 该縫隙係更具有各延伸於該排列方向之複數開口部; 心ί則㈣鏡’係將各延伸於該排列方向之複數該開口 #的各像更再投影於該攝影裝置上;以及 Η 口 = 測部i係依據各延伸於該排列方向之複數該 ”。的各像之明亮差’更·職顧伸方向巾,對 照射透鏡之該攝影裝置的該相對位置^ 39 14319pifl.doc 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 修正日期:99年9月17曰 8. —種位置偵測方法,係偵測一攝影裝置的一位置, 該攝影裝置係按照所接受之光的強度而輸出一輸出信號; 包括: 光產生階段,係在一光源產生光; 照射階段,係將該光源所產生之光,由一照射透鏡照 射於該攝影裝置上;以及 位置偵測階段,係依據於該攝影裝置按照經由該照射 透鏡所受光之光而輸出之該輸出信號,偵測對於該照射透 鏡之該攝影裝置的一相對位置。 9. 一種測試裝置,係測試一攝影裝置,該攝影裝置係 按照所接受之光的強度而輸出一輸出信號,包括: 一光源,係產生光; 一照射透鏡,係將該光源所產生之光,照射於該攝影 裝置上; 一位置偵測部,係依據於該攝影裝置按照經由該照射 透鏡所受光之光而輸出之該輸出信號,偵測對於該照射透 鏡之該攝影裝置的一相對位置; 一移動部,係依據該位置偵測部所偵測之該相對位 置,藉由使該攝影裝置及該照射透鏡之至少一方移動,以 使該攝影裝置之該相對位置變化至一預定位置;以及 一判定部,係在測試該攝影裝置之場合,依據保持於 該預定位置之該攝影裝置所輸出之該輸出信號,判定該攝 影裝置之良否。 10. —種攝影模組之製造裝置,係製造具有一攝影裝 1338771 14319pifl.doc 修正日期:99年9月丨7日 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 置、-照射透鏡及-保持構件之攝影模組, = 光㈣度顿^輸出信號,該照射透3 :光:於該攝影裝置上,該保持構件係保持該“ 一光源,係產生光; -位置偵測部’係依據於該攝影裝置按照經由該照射 ,從該光源所受光之&輸出_輸出信號,偵測對於 該照射透鏡之該攝影裝置的一相對位置; 、 I 係依據於該位㈣測 措 4 4置及倾触射魏之魏持構件的 ,將該攝影裳置之該相對位置變化至-預定 卩⑬㈣該攝影裝置之該相對位置保持於 預疋位置,—面使賴影裝雜設於該保持構件。 Π. -種測試裝置,係測試—攝 該攝影裝置係在—受光面配設複數受光元件,包^ 焦點距離透鏡,係具有對應於使光分別照射該些 ,數文光7L件之微透鏡的短焦點距離光學特性,且一光軸 ^配狀與該攝影裂置之該受光面垂直的垂直軸方向,將 線並使該平行光線折射的光線向該攝影褒 置之该文光面加以入射; -機台’係以保持該短焦點距離透鏡之狀態可移動於 三轴方向;以及 、 位置债測裝置’係藉由接受從紐焦點距離透鏡向 41 14319pifl.doc 修正日期:99年9月17日 爲第93122248號Φ文麵魏S!|線修正本 祕影裝^之該受光面所人射之光線喊攝縣置所輪 之一輸出信號’從該些複數受光it件之該輸出信號的準 位,以求表示該純數受光元件之—巾^置與該短 距離透鏡之該光軸的一相對位置;以及 、、… 該機台’係依據該位置價測裝置所求之該相對位置, 以向使該些複數受光元件之該巾心位置與齡、點距離透炉 之該光軸的-相對位置偏離會消失之方向,加以移動該= 焦點距離透鏡。 S .12.如申請專利範圍帛u項所述之測試裝置,更再包 一測試頭,係載置該攝影裝置; -部件搬送裝置’係搬送該攝影裝置向制試頭上加 以載置; 電端 一承口,係與載置在該測試頭上之該攝影裝置的 子加以電接連;以及 一信號輸入出部,係將經由該承口從該測試裴置之一 控制信號向賴影裝置加以供給,使該攝影裝置之該 破向該測試裝置加以供給。 13,如申請專利範圍第u項所述之測試裝置,更包括 縫隙部,係具有一開口部,使向該短焦點距離透鏡入射 之該平行光線的一部分遮蔽而加以通過;以及 該位置偵測裝置,係接受該攝影裝置之該輸出信號, 該輸出信號係對應於依據該開口部投影於該攝影裝置^該 受光面上的該開口部之像,從該些複數受光元件之該輸^ 42 1338771 14319pifl.doc 修正日期:99年9月17曰 爲第931222牝號中文說明書無劃線修正本 信號準位,以求得表示該些複數受光元件之該中心位置與 該短焦點距離透鏡之該光轴的該相對位置偏離之該相對位 置。 43 1338771 14319pifl.doc 修正日期:99年9月17曰 爲第93122248號中文說明書無劃線修正本 七、指定代表圖: (一) 本案指定代表圖為:圖4。 (二) 本代表圖之元件符號簡單說明: 10 攝影裝置 100 測試裝置 102 移動部 104 構件保持部 106 托盤 108 構件搬送裝置 120 測試頭 130 照明裝置 200 控制裝置 202 控制部 204 晝像處理部 206 位置偵測部 八、本案若有化學式時,請揭示最能顯示發明特徵 的化學式: 無
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Families Citing this family (20)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2005015894A2 (en) * 2003-08-08 2005-02-17 Eclipse Video Technology Llc Method and apparatus for increasing effective contrast ratio and brightness yields for digital light valve image projectors
JP2007315982A (ja) * 2006-05-29 2007-12-06 Hioki Ee Corp 測定装置および検査装置
TWI400500B (zh) * 2006-12-08 2013-07-01 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 定位裝置及檢測定位之方法
JP4989508B2 (ja) * 2008-02-18 2012-08-01 シャープ株式会社 テスト装置
CN101902659A (zh) * 2009-05-26 2010-12-01 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司 电子产品拍照功能的自动测试方法
TWI453528B (zh) * 2009-05-27 2014-09-21 Hon Hai Prec Ind Co Ltd 鏡頭測試裝置
JP5079779B2 (ja) * 2009-12-04 2012-11-21 本田技研工業株式会社 カメラ較正方法、カメラ較正装置
CN102135411B (zh) * 2010-12-31 2013-06-05 中国科学院西安光学精密机械研究所 检测信号灯丝中心位置的便携式电子装置
JP6290651B2 (ja) * 2014-02-27 2018-03-07 株式会社キーエンス 画像測定器
JP6278741B2 (ja) * 2014-02-27 2018-02-14 株式会社キーエンス 画像測定器
US9805454B2 (en) * 2014-07-15 2017-10-31 Microsoft Technology Licensing, Llc Wide field-of-view depth imaging
US9849307B2 (en) * 2014-10-21 2017-12-26 The Regents Of The University Of California System and method for dose verification and gamma ray imaging in ion beam therapy
CN104967841B (zh) * 2015-06-24 2017-07-14 东莞市升宏智能科技有限公司 摄像头模组检测设备
US10186438B2 (en) * 2015-11-05 2019-01-22 Infineon Technologies Ag Method and apparatus for use in wafer processing
DE102016005130B3 (de) * 2016-04-27 2017-09-14 e.solutions GmbH Technik zum Prüfen einer Anzeigeeinheit
US10173246B1 (en) * 2018-05-30 2019-01-08 Nanotronics Imaging, Inc. Systems, apparatus, and methods for sorting components using illumination
US10748290B2 (en) * 2018-10-31 2020-08-18 Fei Company Smart metrology on microscope images
CN109682305B (zh) * 2019-02-27 2024-04-05 厦门烟草工业有限责任公司 滤棒内爆珠轴向位置检测装置及方法
CN110057552B (zh) * 2019-04-23 2020-11-06 芋头科技(杭州)有限公司 虚像距离测量方法、装置、设备以及控制器和介质
US11226194B1 (en) 2020-06-25 2022-01-18 International Business Machines Corporation Apparatus and method for measuring distance between fiducial features, such as magnetic transducers, to an accuracy of within one nanometer

Family Cites Families (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5331275A (en) * 1991-12-09 1994-07-19 Fujitsu Limited Probing device and system for testing an integrated circuit
JP3208902B2 (ja) * 1993-03-11 2001-09-17 ミノルタ株式会社 レンズ系光軸調整装置及びレンズ系光軸調整方法
JP2899553B2 (ja) * 1994-11-28 1999-06-02 松下電器産業株式会社 固体撮像素子の位置調整方法
JPH08213128A (ja) * 1995-02-08 1996-08-20 Texas Instr Japan Ltd ソケット
US5805218A (en) * 1995-06-20 1998-09-08 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Method for adjusting a position of a solid-state image detector in a given image-forming optical system
JPH1019516A (ja) * 1996-07-08 1998-01-23 Matsushita Electric Works Ltd 映像入力装置の撮像素子の取付位置検査方法及びその検査装置
JP4129071B2 (ja) * 1998-03-20 2008-07-30 富士通株式会社 半導体部品および半導体実装装置
US6625558B1 (en) * 1999-11-05 2003-09-23 Zoran Corporation Method and apparatus for testing CMOS image sensors
JP3936523B2 (ja) 2000-02-22 2007-06-27 株式会社リコー 固体撮像素子の取付け構造
JP2001326789A (ja) 2000-05-16 2001-11-22 Ricoh Co Ltd 固体撮像素子の取付け構造
US7127098B2 (en) * 2001-09-13 2006-10-24 Hitachi, Ltd. Image detection method and its apparatus and defect detection method and its apparatus
US6987577B2 (en) * 2001-09-14 2006-01-17 Eastman Kodak Company Providing a partial column defect map for a full frame image sensor
JP2003280235A (ja) 2002-03-22 2003-10-02 Ricoh Co Ltd 画像形成方法および被記録シート
US6765396B2 (en) * 2002-04-04 2004-07-20 Freescale Semiconductor, Inc. Method, apparatus and software for testing a device including both electrical and optical portions
JP2004012960A (ja) * 2002-06-10 2004-01-15 Fuji Photo Film Co Ltd 撮像素子と撮影レンズの相対位置調整方法及び撮像素子
JP2004010470A (ja) 2002-06-12 2004-01-15 Hitachi Cable Ltd 化合物半導体結晶成長装置
US7085408B1 (en) * 2002-07-16 2006-08-01 Magna Chip Semiconductor Method and system for testing image sensor system-on-chip
US7253443B2 (en) * 2002-07-25 2007-08-07 Advantest Corporation Electronic device with integrally formed light emitting device and supporting member
US7193728B2 (en) * 2002-08-07 2007-03-20 Advantest Corporation Processing apparatus, processing method and position detecting device

Also Published As

Publication number Publication date
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