TWI336376B - Hydrostaic bearing - Google Patents
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Description
1336376 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明爲:在χγ載物台的滑行面上,使滑動裝置以 非接觸的方式滑行的靜壓軸承。 【先前技術】 日本特開2000- 1 5 5 1 86號公報爲該項領域的習知技術 。該公報所記載的靜壓軸承,是設於XY載物台之滑動裝 置的下端部,在因爲滑動裝置的重量而承受朝底座(構造 物)之導引面(滑行面)側的力量的同時,藉由將空氣噴 出至底座的導引面後作用空氣壓的方式,而在從導引面分 離的方向上承受力量。該靜壓軸承,是一邊受到從前述鉛 直方向兩側作用之力量的拘束,並一邊沿著導引面形成非 接觸移動。 [專利文獻1]日本特開2000 - 1 55 1 86號公報 【發明內容】 [發明欲解決之課題] 在此,在利用空氣的噴出而於導引面上浮起的靜壓軸 承,藉由對進入形成於底座之細小孔部的碎屑、或附著於 底座表面上的碎屑噴吹空氣,將導致該碎屑飛舞,而有著 飛散至裝置周邊的可能。特別是將半導體基板等載置底座 上的場合中,具有所謂飛散的碎屑附著於半導體基板的問 題。 -5- 1336376 本發明的目的是提供一種: 邊的靜壓軸承。 [解決課題之手段] 本發明的靜壓軸承,是沿著 接觸的方式滑行的靜壓軸承,其特 該噴出部具有用來對滑行面噴出空 ,該吸引部具有用來吸引從噴出面 吸引面,吸引面是在噴出部的内周 配置成較噴出部的下端更後退。 該靜壓軸承,即使在「爲了在 出面對滑行面噴出空氣,而對進入 孔部的碎屑、或附著於構造物表面 場合中,部分的噴吹空氣,將在配 外周側的吸引面,吸引每個碎屑後 面是配置成較噴出部的下端更後退 的吸引與空氣的噴出間的平衡,藉 面上浮起而一邊以非接觸的方式滑 至裝置周邊的碎屑。 此外’吸引面最好是設置涵蓋 外周。即使在藉由從噴出面對滑行 噴吹空氣的場合中,部分的噴吹空 外周側的吸引面,吸引每個碎屑後 至裝置周邊的前一個段階中回收碎 防止碎屑飛散至裝置周 定構造物的滑行面以非 徵爲:具備:噴出部, 氣的噴出面;及吸引部 對滑行面噴出之空氣的 側或外周側的位置處, 滑行面上浮起,而從噴 形成於構造物表面之細 上的碎屑噴吹空氣」的 置於噴出部的内周側或 回收。此外,由於吸引 ,故可輕易地取得碎屑 此,靜壓軸承可在滑行 行,並確實地捕捉飛散 於噴出部外周側的整個 面噴出空氣,而對碎屑 氣,將在設於噴出部之 回收。藉此,可在飛散 屑,此外,由於吸引面 1336376 是設置涵蓋於整個外周,碎屑不會從局部洩漏,可確實地 回收。 此外,吸引面亦可設置涵蓋於噴出部之内周側的整個 内周。即使在藉由從噴出面對滑行面噴出空氣,而對碎屑 噴吹空氣的場合中,部分的噴吹空氣,將在設於噴出部之 内周側的吸引面,吸引每個碎屑後回收。藉此,可回收碎 屑不致朝噴出面的外周側飛散。 [發明的效果] 根據本發明的靜壓軸承,可防止碎屑飛散至裝置周邊 的問題。 【實施方式】 以下,針對本發明之傾斜載物台的最佳實施形態,參 考圖面進行詳細的說明。 〔第1實施形態〕 如第1圖所示,採用本實施形態之靜壓軸承10的XY 載物台裝置1具備:載物台(構造物)2,該載物台(構 造物)2具有靜壓軸承1〇的滑行面2a;和第1移動體3, 該第1移動體3是在載物台2上移動於Y軸方向;和軌道 部4’該軌道部4是在載物台2上之X軸方向的兩端延伸 ’並用來導引第1移動體3的移動;及第2移動體6,該 第2移動體6是沿著第1移動體3而朝X軸方向移動。在 1336376 該XY載物台裝置1之第1移動體3的兩端,形成有沿著 軌道部4移動的滑動裝置部3a,在該滑動裝置部3a的下 端部設有靜壓軸承10。此外,在第2移動體6的下端部也 設有靜壓軸承10。而如第1圖所示,X及γ是在水平面 上互相形成90度。 靜壓軸承10’在因爲滑動裝置部3a或第2移動體6 的重量而承受朝下方之力量的同時,也因爲對載物台2的 滑行面2a噴出空氣後作用空氣壓,而承受朝上方的力量 。如此一來,靜壓軸承10,是一邊受到從鉛直方向兩側所 作用之力量的拘束,一邊在滑行面2a上浮起。接著,隨 著第1移動體3或第2移動體6的移動,以非接觸的方式 滑行於滑行面2a。 如第2圖所示’靜壓軸承1〇具有用來對滑行面2a噴 出空氣的噴出部11,並在噴出部11的下面側具有圓形的 噴出面11a。此外,靜壓軸承10,在噴出部n的外周側 具有吸引部12,該吸引部12是用來吸引回收:由噴出部 11對滑行面2a噴出的空氣、及載物台2中的碎屑,在吸 引部12的下面側具有:圍繞噴出部n的圓環狀吸引面 1 2a ° 如第3圖所示,噴出部1丨具備:圓柱狀的燒結材13 ,該圓柱狀的燒結材13是藉由對碳材執行燒結而於内部 形成細孔;和外周壁部14,該外周壁部14是緊密附著於 燒結材13的外周面,用來防止所圍繞的空氣洩漏;和上 壁部16’該上壁部16是用來防止設於燒結材13之上表面 -8- 1336376 13a側的空氣洩漏;及氣體噴嘴I?,該氣體噴嘴17是組 裝於上壁部16’用來從上表面i3a側對燒結材13供給空 氣。在氣體噴嘴17組裝有:可調整空氣之噴出量的調整 閥。 燒結材13的底面13b是配置成面向滑行面2a,該底 面13b被當成靜壓軸承10的噴出面Ua。而在噴出面Ua 與滑行面2a之間形成有間隙。 上壁部16是形成杯狀的圓柱體,且與燒結材13之上 表面13a接觸的底面,是被當成開口部而形成。如此—來 ,在與燒結材13之間形成空間18。此外,在上壁部16的 下端部16a設有:朝徑方向擴大的圓環狀階段部i6b,該 階段部16b是與燒結材13之上表面13a的端緣部形成一 整圈的緊密附著,並較燒結材1 3更朝外周側擴大。 吸引部12具備:圓筒狀的外周壁部19,該圓筒狀的 外周壁部19是從上壁部16之階段部16b的外周側端部朝 向下方延伸;和吸引空間21,該吸引空間21是被外周壁 部19、外周壁部14及階段部16b所包夾形成;及氣體噴 嘴22,該氣體噴嘴22是組裝於外周壁部19,用來對吸引 空間21内的空氣進行吸引。在氣體噴嘴22設有:可調節 空氣之吸引量的調整閥。 外周壁部19是延伸至噴出面11a的上方側爲止,藉 此,形成於外周壁部19之下端部19a與外周壁部14間的 吸引面12a,是配置成較噴出面11a的下端更後退。在吸 引面12a與噴出面11a之間形成有間隙G。 -9- 1336376 接下來’針對靜壓軸承10的動作進行說明。 首先,藉由從氣體噴嘴17朝空間18吹入空氣而對燒 結材13供給空氣’並藉由通過燒結材13的細孔而從噴出 面11a噴出空氣A1。空氣A1的噴出量,可藉由組裝於氣 體噴嘴17的調節閥來調節。 此時’對已進入形成於載物台2表面之細孔部的碎屑 P、或附著於載物台表面上的碎屑P噴吹空氣,藉此使碎 屑P隨著空氣A1的移動,而朝向噴出面lla的外周側移 動。 藉由從氣體噴嘴22對吸引空間21内的空氣進行吸引 ,可從吸引面12a吸引部分的空氣A2。此外,碎屑P與 空氣A2同時被吸引面12a所吸引而回收。此時的吸引量 ’可藉由組裝於氣體噴嘴22的調節閥來調節。 由於吸引面12a是配置成較噴出面iia的下端更後退 ’因此所有的空氣A1不會被吸引面12a所吸引,部分的 空氣A3是從吸引面12a朝外周側流出。藉此,在靜壓軸 承10與滑行面2a之間作用空氣壓,而使靜壓軸承1〇在 滑行面2a上浮起。 根據以上的說明,即使在爲了使靜壓軸承10在滑行 面2a上浮起而由噴出面lla對滑行面2a噴出空氣A1,而 對已進入形成於載物台2表面之細孔部的碎屑p、或附著 於載物台表面上的碎屑P噴吹空氣A1的場合中,噴吹空 氣A1中的部分空氣A2’是在配置於噴出部Η外周側的 吸引面12a,吸引回收每個碎屑P。此外,由於吸引面i2a -10- 1336376 是配置成較噴出面Ha的下端更後退,故可輕易地平衡碎 屑p的吸引與空氣的噴出,藉此,靜壓軸承10可一邊在 滑行面2a上以非接觸的方式滑行,並確實地捕捉朝載物 台裝置1周邊飛散的碎屑P。此外,除了因空氣的噴出而 飛舞的碎屑P以外,也可以捕捉大氣中的碎屑。 此外,由於吸引面12a是設置涵蓋於噴出部11外周 側的整個外周,故即使在對碎屑P噴吹空氣A1的場合中 ,部分的空氣A2可在設於噴出面11a外周側的吸引面 12a,吸引回收每個碎屑P。藉此,可在飛散至載物台裝置 1周邊的前一個段階中回收碎屑P,此外,由於吸引面12a 是設置涵蓋於整個外周,故不會有碎屑P從局部洩漏的情 形,可確實地回收。 〔第2實施形態〕 如第4圖所示,靜壓軸承30具有用來對滑行面2a噴 出空氣的噴出部31,並在噴出部31的下面側形成有圓環 狀的噴出面31a。此外,在噴出部31的内周側具有吸引部 32,該吸引部32用來吸引回收:由噴出部31對滑行面2a 噴出的空氣、及載物台2中的碎屑,在吸引部32的下面 側形成有圓環狀吸引面32a。 如第5圖所示,噴出部31具備:形成杯狀圓柱體的 燒結材33,該杯狀圓柱體的燒結材33是藉由對碳材執行 燒結而於内部形成細孔;和內壁部34,該內壁部34是緊 密附著於燒結材33之內部空間33c的內周面與上面,用 -11 - 1336376 來防止空氣洩漏;和外壁部36,該外壁部36是從外側圍 繞燒結材33,用來防止空氣洩漏;及氣體噴嘴37,該氣 體噴嘴37是組裝於外壁部36,用來從上表面33a側對燒 結材33供給空氣。在氣體噴嘴37組裝有:可調整空氣之 噴出量的調整閥。 燒結材33的底面33b是配置成面向滑行面2a,該底 面33b被當成靜壓軸承30的噴出面31a»而在噴出面31a 與滑行面2 a之間形成有間隙。 外壁部36具備:外周壁部36a,該外周壁部36a是與 燒結材33的外周面緊密附著,且上側的端部是較上表面 33a更朝上方延伸;及上面壁部36b,該上面壁部36b是 封閉外周壁部36a的上端部,而於燒結材33的上表面33a 與外周壁部3 6a之間形成内部空間3 8。 吸引部32具備:分隔部39,該分隔部39是配置於内 部空間3 3 c ;和吸引空間4 1,該吸引空間4 1是被内壁部 34與分隔部39所包夾而形成;及氣體噴嘴42,該氣體噴 嘴42是貫穿外壁部36與燒結材33後組裝於内壁部34, 用來對吸引空間41内的空氣進行吸引。在氣體噴嘴42組 裝有可調節空氣之吸引量的調整閥。 分隔部39是由以下構件所構成:圓筒狀的圓筒部39a ’該圓筒狀的圓筒部39a是從内壁部34的上壁部34a面 向下方:和圓環狀的階段部39b,該圓環狀的階段部39b 是從圓筒部39a的下端部朝徑方向擴大;及圓筒狀的圓筒 部39c,該圓筒狀的圓筒部39c是從階段部39b的外周側 -12- 1336376 端部朝下方延伸。此外,圓筒部39c是延伸至噴出面31a 的上方側爲止,藉此,形成於圓筒部39c之下端部39 d 與内壁部.34間的吸引面32a,是配置成較噴出面31a的下 端更後退。此外,在吸引面32a與噴出面31a之間形成有 間隙G。 接下來,針對靜壓軸承30的動作進行說明。 首先,藉由從氣體噴嘴37朝空間38吹入空氣而對燒 結材33供給空氣’並藉由通過燒結材33的細孔而從噴出 面31a噴出空氣Α1»空氣A1的噴出量,可藉由組裝於氣 體噴嘴37的調節閥來調節。 此外,藉由從氣體噴嘴42對吸引空間41内的空氣進 行吸引,可從吸引面32a吸引部分的空氣A2。此時,當 對已進入形成於載物台2表面之細孔部的碎屑P、或附著 於載物台表面上的碎屑P噴吹空氣時,是隨著空氣A1的 移動,而朝向吸引面32a移動。接著,碎屑P是與空氣 A2 —起被吸引面32a所吸引回收。此時的吸引量,可藉 由組裝於氣體噴嘴42的調節閥來調節。 由於吸引面32a是配置成較噴出面31a的下端更後退 ,因此所有的空氣A1不會被吸引面32a所吸引,部分的 空氣A3是從噴出面31a朝外周側流出。藉此,在靜壓軸 承30與滑行面2a之間作用空氣壓,而使靜壓軸承30在 滑行面2a上浮起。 根據以上的說明,由於吸引面32a是設置涵蓋於噴出 部31外周側的整個外周,故即使在藉由從噴出面31a對 -13- 1336376 滑行面2a噴出空氣,而對碎屑P噴吹空氣A1的場合中, 部分的空氣A2可在設於噴出部31內周側的吸引面32a, 吸引回收每個碎屑P。藉此,由於可回收碎屑P而不致朝 噴出面31a的外周側飛散,故可減少朝外周側飛散的碎屑 P ° 本發明,並不侷限於上述的實施形態。 舉例來說,雖然靜壓軸承是形成圓形,但亦可形成矩 φ 形。 此外,雖然燒結材是採用對碳材執行燒結的材料,但 亦可採用對金屬材執行燒結的材料。 此外,雖然吸引面是設置於噴出面的整個外周或整個 内周,但即使有局部未經設置的部分也無妨。 【圖式簡單說明】 第1圖:爲採用第1實施形態之靜壓軸承的XY載物 • 台裝置的立體圖。 第2圖:爲第1實施形態之靜壓軸承的立體圖。 第3圖:爲第2圖之靜壓軸承的橫剖面圖。 第4圖:爲第2實施形態之靜壓軸承的立體圖。 第5圖:爲第4圖之靜壓軸承的橫剖面圖。 【主要元件符號說明】 2 :載物台(構造物) 2a :滑行面 -14- 1336376
10、30 :靜壓軸承 1 1、3 1 :噴出部 11a、31a:噴出面 12、32 :吸引部 12a、3 2a:吸引面 -15-
Claims (1)
1336376 十、申請專利範圍 ι· 一種靜壓軸承,是沿著特定構 接觸的方式滑行的靜壓軸承,其特徵爲 具備: 噴出部,該噴出部具有用來對前述 噴出面;及 吸引部,該吸引部具有用來吸引從 滑行面噴出之空氣的吸引面, 前述吸引面是在前述噴出部的内周 ,配置成較前述噴出部的下端更後退。 2.如申請專利範圍第1項所記載 前述吸引面是設置涵蓋於前述噴出部之 外周。 3 .如申請專利範圍第1項所記載的 述吸引面是設置涵蓋於前述噴出部之前 周。 造物的滑行面以非 滑行面噴出空氣的 前述噴出面對前述 側或外周側的位置 的靜壓軸承,其中 前述外周側的整個 靜壓軸承,其中前 述內周側的整個內 -16 -
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