TWI334381B - - Google Patents

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1334381 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於利用多線鑛同時將至少兩個圓柱形工件切分成多 個晶圓的方法。 【先前技術】 多線鑛係例示性地用於在―加卫步驟中，同時將半導體材則例 如石夕）的圓柱形單晶或多晶卫件切分成多個晶圓。採用圓柱形半 導體材料（例如單晶棒）製造何體晶圓，對㈣切之方法有很 高的要求。㈣方法的之目的通f在於使得每—㈣出的半導體 晶圓具有兩個盡可能平整且彼此平行的表面。多線鑛的生產率對 於鑛切方法的經濟可行性亦非常重要。 ,為了提高生產率’已經提出將多個工件同時夾持在多線鑛中， 並在同-加工步驟中進行切割eUS6U9673描述同時切割彼此前 後同軸佈置之多個圓柱形工件的方法。其係使用傳統的多線鑛， 將夕個工件各自則έ接方式結合在㈣上，且該些丄件係以同轴 佈置的方式並以-特定間距固定在制的安裝板上將巧與安 裝板-同夾持在多線錯中並同時進行切割。因而產生多個晶圓 堆’且該些晶圓堆㈣固定於安裝板上，該些晶圓堆之數量係與 牛之數畺相對應。在切割之後，將隔板鬆散地放在晶圓堆之間 的間隙中’以防止各晶圓堆混淆。這―點非f重要，因為由不同 工件製成的晶圓通常會以;5；同的方式進行後續處理及/或工件具 有由曰a圓所要父付之客戶所指定的不同特性。因此，需要確保由 針對特定客戶或特定訂單之卫件所製㈣全部晶圓係—起經由後 6 1334381 續之加工，但係與其他工件所製成之晶圓分開地進行。 在各晶圓堆已經藉由隔板區分開之後’將安裝板浸入熱水池 中，使得經由鋸架而與安裝板連接之晶圓係懸掛在安裝板下方。 熱水溶解晶圓與鑛架之間的黏接劑，從而使晶圓分離並落入置於 池底的晶圓載具中。隨後，藉由先前放人之隔板將在晶圓載具中 的各晶圓堆彼此分隔開。 S 6119673中所公開之將各晶圓堆分隔開的方法具有如下缺 陷，即其無法避免晶圓堆侧傾（從us 6U9673之第8 (c)圖中 可以看出）’且切割後之非常銳利的邊緣會隨後斷裂。此外，該申 請中所述之隔板放置方法係非常困難，因為隔板必須插入不穩定 分隔開的晶圓堆之間，且晶圓堆在從上方“晶圓載具中時必須 保持其位置。如果在該過程中隔板與晶圓堆發生接觸，則晶圓可 能會從鋸架上脫落’從相對較高的位置落入晶圓载具中，因而造 成損壞或損毀。 US 6802928 B2描述另-種方法，即將具有相同橫截面的處設工 件以黏接方式結合到待切割卫件的端面上，隨卫件—起進行切 割’然後拋棄。這旨在防止所得晶圓於切割結束階段時，在工件 的兩端處散開’並因而改進晶圓的幾何形狀。該方法具有如下之 重大缺陷，即受到多線鑛尺寸限制的線排長度（卿㈣⑴的一 部分被用於切割「未利用的」虛設工件，因此無法用於實際製造 所欲晶圓。此外’虛設工件的供應 '搬運及黏接也非常複雜。此 兩因素導致該方法的經濟可行性大大降低。 此外，在US 6119673所述之方法中，在多線鑛中同時㈣多個 7

本發明係關於一第一方法’其利用一線排長度為Lg之多線鑛， 133*4381 工件，待切割工件由於其製造方式而在長度上具有很大的差異， 因此多線鋸的線排長度經常不能得到最佳地利用。尤其是當工件 係由單晶半導體材料構成時會產生此一問題，因為習知的拉晶製 程只允許使用晶體的某些可用長度，或者必需切割晶體並在晶體 的各個位置製造試樣，以控制拉晶製程。此外，通常在同一工廠 係為多個客戶製造具有不同特性（大部分已經由製造晶圓的晶體 所限定）的各種半導體晶圓，在該情況下需要滿足不同的交付期 限。 ’ 因此，本發明之一目的係提高多線鑛之可用線排長度的利用 率。本發明之另—目的係避免在插人隔板的過程中損壞晶圓，或 在晶圓與安裝板分離並單獨化㈣財損壞晶圓邊緣。 【發明内容】 同時將至少兩個圓柱形卫件切分成多個晶圓，包括如下步驟： ⑷從具有刊長度的工件庫存中選擇數量為n的工件，立 中n>2，以滿足不等式（1 ):

Lc>(n~\).Anin^Li ，.=丨 11)； 同時使不等式（1)的右側之值盡 ， _ ”甲Li表不所選工件 又1—1...Π) ’ Amin表示一預定之最小間距； ⑴將該η個騎沿,縱向依次蚊在板上， 工件間分別保持一間距Α，苴中 谷3亥 不等式⑺·· = 且所叙Α係滿足 8 ♦ (2)； 1334381 (C)將其上固定有該些工件之該安裝板夾緊在該多線鋸 中：以及 (d) 利用該多線鋸，將該n個工件以垂直於其縱向軸線之 方式切分。 本發明亦關於-第二方法，其利用一多線鑛同時將至少兩個圓 柱形工件切分成多個晶圓，包括如下步騾： (a) 從具有不同長度的工件庫存中選擇數量為n的工件， 其中η22 ; (b) 將該η個工件沿縱向依次固定在一安裝板丨1上，且各 6玄工件間保持一間距； U)將其上固定有該些工件的該安裝板u夾緊於該多線錯 中； ⑷利用該多線鋸，將該n個工件以垂直於其縱向軸線之 方式切分，從而形成固定在該安裝板u上的η個晶圓堆（⑵、 122、123); (e) 將該些固定在安裝板11上的晶圓12放人-晶圓載具 13中’該晶圓載具13在遠離該安裝板n之晶圓周邊上的至少 兩個點處支撐各該晶圓12 ; (f) 將至少一分隔片15放入兩相鄰晶圓堆（12卜US、1^) 之間的各間隙中，且將該分隔片15固定在該晶圓載具^上； (g) 解除該晶圓12與該安裝板u間的結合；以及 (丨）自該晶圓載具13中依次移走該各個晶圓12。 【實施方式】 9 1334381 据摟本發明方法之較佳营施_样的柙彳 在該方法中，從具有不同長度的工件庫存中選擇工件，使得多 線鑛的線排長度1^得到最佳利用。由於這樣能夠更好地發揮多線 錯的能力，因此大大地提高了生產率。 在根據本發明方法中，係利用一傳統多線鑛。該些多線鑛的主 要部件包括-機H向供給裝置以及—㈣工具，該鑛切工 具係由一包括平行金屬線段的組合所構成。而工件通常係固定在 一女裝板上，並隨安裝板夾持在多線鑛中。 一般而言，多線鋸的金屬線排係由多個平行的金屬線段所形 成，該些金屬線段係夾持在至少兩個（亦可選擇三個、四個或更 多個）金屬線引導捲（guid請„s)之間，金屬線引導捲係以可以 旋轉之方式安裝，且至少—個金屬線引導捲係受到驅動。金屬線 段通常屬於單根之長度有㈣金屬線，且以螺旋形之方式引導該 金屬線圍繞該捲系統（1Ollsystem)並且從貯存捲將該金屬線展開 至接收捲上。「線排長度」係指在與金屬線引導捲的軸平行並且與 金屬線段垂直的方向上從第—個金屬線段到最後_個金屬線段所 測得的金屬線排長度。 在鑛切過程中，該前向供給裝置使得金屬線段及工件之間產生 方向相反的㈣運動。由於該前向供給運動，經施加鑛切懸浮液 之金屬線形成穿過工件的平行切槽^切懸浮液也稱為「敷料」， 其包含懸浮在液體中的例如碳化⑪等硬材料顆粒。也可以使用牢 固地黏結有硬㈣齡㈣^在這種㈣巾，不必使用鑛切懸 洋液，僅需要添加液態冷卻潤滑劑，其係用以保魏線及工件不 1334381 會過熱並同時將工件切屑帶離開切槽 圓柱形工件可由能藉由多線鋸進行加工的任何材料所構成例 如矽等多晶或單晶半導體材料。在材料為單晶矽的情況下，通常 藉由將基本圓柱形的單晶矽鋸切成長度從幾公分至幾十公分的晶 體片以製造工件。晶體片的最小長度約為5公分。工件（例如由 石夕構成的晶體片）之長度通常彼此差異很大，但具有相同的橫截 面。「圓柱形」並非表示工件必須具有圓形的橫截面，實際上，儘 管本發明較佳係應用於具有圓形橫截面的工件，但工件可以具有 任何類圓柱體的形狀。類圓柱體係指由具有封閉準曲線⑺〇如 出⑽curve)的圓柱面及兩個平行平面（即，圓柱體的端面） 包圍而成的形體。 步驟（a) 在根據本發明之第-方法的步驟（a) t，從較佳具有相同橫截 面之可用工件庫存中，選擇數量為n的工件，其中以。工件庫存 包含具有不同長度的多個工#，/ 件仁不排除存在具有相同長度的多 個工件。選擇適當工件以滿 /兩疋不4式（1)。即，所選工件i的長度 W每對制定之最小間距Amin (當將工件狀在安裝 板上時保持該間距）的總和不超過線排長。最小間距之值可 以自由地確A ’甚至可以為零’且較佳為接近零之值這是因為 再大的最小間距必定會導致多線鑛之線排長度的利用率較差。基 於此，從庫射觸工件叹得不料⑴的右狀值盡可能大， 進而在切割工件時能盡可能良好地利用線排長度。 較佳選擇適當工件以滿足如下不等式： 丄 W4381 1〇~(η^·Α + Σ^^^η (3) ι·=Ι J： tb T 一 &、 ’ Lmin表示一小於線排長度LG的預定最小長度。根據該實 知例，當選擇工件時上述長度不應該小於該最小長度。較佳以相 ;線排長度Lg之關係以確定最小長度Lmin，即使得Lmin$〇 7χ L〇，較佳使得Lm“0 75xLG，尤佳使得[‘ο紙、別 xLg、Lming 0.9xLG 或 Lming 〇.95xLG。

“由於通常可取得非常大量的X件庫存，較方便且較佳係利用電 ^進行工件選擇’電腦可獲取庫存中所有卫件的長度。例如，電 知可以與EDP支援的庫存#理系統㈣，在該庫存管理系統中記 錄著所有庫存的輸入輸出過程，以及工件的特性（長度及類型）， 因此該系統在任何時候都可獲知當前庫存狀態。選擇讀的所有 規則係藉由-在電腦上運作之程式來執行。 步驟（b) 在步驟（b)中，將所選之η個工件沿縱向依次固定在安裝板上， 同時分別保持工件之間的間距八，其中^Amin，且所選之八係滿 足不等式（2)。因此，—古；gg 〇r. 方面，間距A必須至少與兩個工件之間 的就最小間相對應，另—方面，所選之間距A不應該大 至使得=件之長度Li#L間距A的總和超出線排長度心 中所述縱向依-人」並非一定意指將工件同軸佈置，此僅為 較佳者。實際上，卫件可以佈置成使其縱向軸線並不位於相同的 直線上。所述「依次」僅在表示如下事實，即，兩個相鄰圓柱形 工件的底面係（而非側面）彼此面對。 較佳地，工件不直接固定在安裝板上，而是先固定在所述之鑛 12 z S、鑛座上。通㊉工件係藉由點接結合之方式以固定在据架上。 較=之方式係將每個工件單獨地以黏接方式結合至本身相對應之 架上。然後，將其上固定有工件之鋸架以例如黏接結合方式或 螺紋方式，固定在安裝板上。 步驟（Ο和（d) 接著，在步驟⑴中將其上固Μ工件的安裝板，夾緊在多線 鋸中’在步驟（d)中沿著與工件縱向軸線實質上相垂直的方向， 將=件同時切分成晶®。由於在步驟（a)中料件所做出的選擇， 使^•夕線I®的線排長度得到最佳的利用因而增大了產量並提高 在根據本發明之第一方法的較佳實施例中，當在步驟⑷中選 擇工件時’係將為不同客戶所安排之交付期限亦列入考慮。在步 驟⑴中優先選擇該些交付期限安排得較早之可以用於製造晶圓 另外亦可設計成，當離交付期限的時間小於預定最短時間時， 無需絕對滿足步驟（a)中的不等式⑴。在該情況之下，滿足交 付期限之重要性係優先於線排長度的最佳化利用。 另-較佳的選擇包括，首先選擇履行交付期限最早之仍未處理 的訂单所需的工件。然後選擇其他適當工件，以盡可能以最佳的 方式利用線排長度。 …工件庫存係藉由例如以垂直於晶體的縱向軸線將晶 體切分成至少兩個長度為Li的工件（添加至庫存中）之方式而製 造。工件的長度不應超出步驟⑷中所用之多線鑛的線排長度 lg。在根據本發明之第一方 ㈣較佳實施财，當以圓柱形 曲量所P 已經考慮到各個訂單中為晶圓的輕 中。—如疋=值參數「勉曲量」係定義於SEMI標準MM105 量最 。纟戶的母個訂單都指定了晶圓所不應超出的魅曲 各個客戶以及各個訂單來說，其各自之最大值並 旦於〜因t勢必存在㈣量指定值較容易滿足的訂單及魅曲 =值k嚴可的訂早^具體而言，為了在履行尤其較嚴苛訂單 夺亦滿足訂單之指定值，根據該較佳實施例，將分配給-具有 -輕曲里最大值之訂單的晶體切分成盡可能長駐件。在該情況 下’工件的長度一及步驟⑷中所用之多線鑛的線排長度Lg較 佳滿足如下關係：1^/2<1^<1^。 。參照直徑為_毫米之石夕晶圓的例子，第1圖表示出輕曲量的 平均值及其分佈與所切成之晶體片長度的關聯方式。圖中的左側 表不由長度為25G毫米或更小之晶體片所製造的第—批共 個曰曰圓的統計結果。翹曲量的平均值為25·5微米，標準差為微 米。圖中的右側表示由長度為345毫米或更大之晶體片所製造的 第二批共33，128個晶圓的統計結果。在該情況中，翹曲量的平均 值僅為23.3微米，標準差為7 3微米。採用更長的工件所製成的 晶圓，其特徵在於平均而言具有更小的翹曲量，而不必將虛設工 件以黏接方式結合在工件的端面上9因此，在藉由切割晶體以製 造工件時，確保最大的工件長度係有利的，尤其是對於翹曲量指 定值較苛刻的訂單。 如果對全部訂單都應用該規則，最終結果是在步驟（a)中進行 1334381 選=後，將有太多長度較大的工件添加到庫存中，而可以在㈣ 一 定在共用安裝板上並在步驟⑷中以單 -=步驟切分成晶圓的1件太少。儘管此種措施可以改 但是同時亦無法再最佳地利用多賴的能。祀 據該貫施例，分配給-具有高趣曲量最大值 Γ的晶體Γ分成相對較短的工件。這些工件的長度Li及步 中所使用之多線崎排長度Lg較佳滿足如下關係

對於魅曲量指定值並麵苛刻的訂單，沒有必要製造盡可能長的 工件、。同時，該措施能確保總是具有足夠數量的短巧，這些工 件可以在步驟（a)中與用於勉曲量指定值較苛狀訂單的長 相組合，並可在後續步驟中與這些長工件—起處理，以便最佳地 利用多線鋸的線排長度。 因此’該實施例能為輕曲量指定值較苛刻的訂單製造出盆幾何 參數「_量」之窄分佈處於相龍㈣水準的多個㈣。同時， 刻意避免改進其他訂單的翹曲量，以便最佳地利用多_的線排 長度。 發明之圭實施熊檨的描诚 下面將、’.α ό第2圖至第12圖以詳細地說明根據本發明之第二方 法。 與US 6119673中所述的方法相比，本發明係利用可以牢固地固 定於晶圓載具丨3上的分w ι5以確保能避免混淆，分隔片料 步驟（。中較佳以側向之方式插入晶圓堆（121、122、123)之 間，然後固定在晶圓載具13上^可視需要對如此穩定的晶圓堆 15 1334381 (121 ' 122、123)進行清潔。隨後解除晶圓12與安裝板n之間 的結合，同時分隔片15支撑晶圓堆（12卜122、123)以避免側 傾。 該方法避免由不同工件所製成及針對不同訂單的晶圓i 2出現混 雜或混淆之㈣。此外，在步驟（g)及⑴_可以可靠地保護晶 ® 12的aa圓堆（；12卜122、123) ’以避免側傾及因而對敏感之晶 圓邊緣所造成的損壞。 步驟（a)至（d) 在v驟（a ) t從工件庫存中選擇至少兩個工件。較佳按照本 七月之第彳:巾所述的方式進行選擇m兄下，選擇步驟 U)中的間隔Amin’以使得該間隔至少與分隔片15的厚度對應， ^可視需要的加上隔板17的厚度（如果使用了此種隔板），以使 V刀隔片15可以插入该間隙中。步驟⑻至（d)亦較佳按照本 發明之第一方法中所述的方式進行。 步驟（e) 在/驟⑴巾，將固定在安裝板^上的晶圓放入晶圓載具 。Λ曰日圓載>、13在遠離安裝板之晶圓周邊上的至少兩個點處 支撐各。玄曰曰圓12(第2圖晶圓載具13例如設計成如下之構造， I7攸下方支撐明圓12周邊的多根圓柱棒131 (第2圖中示出四 根棒的構造，且只能丢& # 有至丨其中兩根）。棒131的端部由兩個板狀端 件132保持在一起。#圓 曰曰固載具13例如可設計成使得安裝板π可 以放在端件132的上媿。 細棒131較佳包括根據DE 10210021 Α1所 形槽以特定間隔，圍繞側面延伸。第3圖示出 1334381 經切分的晶圓12已放入安裝板u中，並位於晶圓堆（⑵、i22、 123)之間的狀態。在圖示實施例中，晶圓12並非直接與安裝板 11相連，而是與對應於晶圓堆（121、122、123)的鑛架（⑷、 142、143)相連。 步驟（f) 在步驟（f)(參見第3圖）中，將分隔片15分別放入晶圓堆 (121、122、123)中每兩晶圓堆之間的每一間隙中。分隔片μ (參見第12圖）係設計為能以如下方式固定在晶圓載具上， 即1 曰曰圓堆（m、122、123)受側向支撐。舉例來說，分隔片15 設計成當使用圖示載具13_，分隔片15的_端可藉由至少一個 連接裝置151與晶圓載具13的棒131相連。舉例來說，如圖所示， 連接裝置⑸之結構亦可設計為可夾緊在棒131上_狀彈性夹 持連接件H亦可設計出完全不同的連接裝置，例如利用螺 紋式炎持件料㈣定。無論為何種情況，分隔片15的形狀應適 應曰曰圓載具13的形狀’分隔片15的形狀不受任何特定之限制。 然而，為能有效地側向支撐晶圓堆〇21、122、123)，分隔片U 在豎直方向上較佳係相對較大（「豎直」係指分隔片15與晶圓載 〃 13相連的狀態）。分隔片15較佳由幾何形狀敎且可經受溫声 變化（例如’在步驟（g)中）以及化學接觸（例如，在 中）之材料構成。 § 步驟（g) 在步驟（g)中解除晶圓12與安裝板U之間的結 4音A V 口仕園不較 a列中，將晶圓載具13置於裝有液體的池16中 τ 具中晶圓 1334381 12係經由锅架（14ι、142、143)固定在安裝板11上，如第4圖 所示。該液體使得晶圓12與鋸架（14卜142、143)之間的黏接 劑溶解。在黏接劑為水溶性黏接劑的情況下，液體係為水，較佳 為熱水。接著移走帶有鋸架（141、142、143)的安裝板U (第5 圖）’並從池16中移走晶圓載具13。晶圓堆（12卜丨22、123)中 的晶圓12至此由棒131從下面支撐，並由分隔片15側向固定。 • 此能避免晶圓12側傾以及晶圓邊緣斷裂。同時，分隔片15界定 • 從不同工件所產生的晶圓堆（121、122、123)之間的邊界。因此 可以避免在該方法的後續步驟中混雜或混淆從不同工件所產生的 -晶圓12。 - 非必要的步驟（h) 在步驟（g )及（1 )之間，較佳執行一非必要的步驟（h)，在該 步驟中，除了固定的分隔片15之外，將至少—個隔板17放入晶 圓12之晶圓堆（121、122、123)中的任兩相鄰晶圓堆之間的間 审中隔板17與曰曰圓12不同，其係自由地豐立在晶圓載具13的 棒131上，而沒有固定於棒131上。隔板17結構較佳設計成：可 以稽由感測器183自動地與晶圓12區分開（第^圖）。除了圓形 β刀171之外’帛6圖所示之隔板17的實施例還包括另一部分 17 2 ’該部们7 2 #出圓形面之外且可被感測$ i 8 3所識別。但是 亦可设計為藉由隔板17的材料特性來識別隔板。 隔板17較佳由幾何形狀穩定並且可經受溫度變化和化學接觸的 材料構成。 步驟（〇 18 在步驟（i)中，利用例如真 一移走晶《M2。為包括敌置⑻從晶圓載具13中逐 的至少-個端件"， 曰曰圓所需的側向入口，晶圓載具13 直〜取：包括一合適的開口（例如，登直槽口 )， …工及取裝置181可以益山分β日 選 3由該開口，側向移動到晶圓12上。另- 、擇為’至〉、—個端件13 上部係可以取走，第6、7a及第^成㈣分，在該態樣中，其 年弟6 7®及第1G_圖示纽種情況。可以 乎動或者杈佳如第7圖中 时所不藉由自動機械182以執行逐-取走 :、呆作(第7圖)。在從晶圓载具13中取走晶圓12之後， 2可直接送往後續處理，例如清潔，或者先置於盒子中。在 取走晶圓12的過程中，利用分隔片15(或者利用在非必要的步驟 中所安裝_板17)可容易地識別晶圓堆（⑵、122、123) ^的邊界’且利用將由不同工件所製成的晶圓η，分開進行後 續處理或存儲而保存。 藉由自動機械182自動地逐一取走晶圓12的情況下（第7、8、 9、U圖），利用伸出圓形面171之外的部分m (第，圖 中所示出的隔板17可以藉由感測器182幸交容易地識別。較佳之情 況為，隔板π同樣由自動機械182利用真空吸取裝置i8i取走，. 並且將a曰圓12勿開保存。與第—晶圓堆⑵的晶目η相類似， 取走下日日圓堆（122、123)的晶圓12 (第8、9圖），並例如分 別放入其他的盒子中。第1G圖示出完全空的晶圓載具Η，其中分 隔片15係固定在棒ι31上。 【圖式簡單說明】 第1圖係圖示出由不同長度之工件所製成之晶圓的幾何參數「赵 19 ^54381 曲量」的統計評價結果。 第2圖係圖示出—帶有多個晶圓堆的安裝板，該安裝板係在根 據本發明之第二方法的步鄉（e)中，將其從上方放人晶圓載具中 (係關於晶圓之側視圖）。 第3圓係圖示出已放入晶圓載具中之帶有多個晶圓堆的安裝板 及分隔片在根據本發明之第二方法之步驟⑴中的應用。 第4圖係圖示出第3圖之設置’其係在根據本發明的第二種方 法的步驟（g)中’將第3圖之設置浸人裝有液體的池中，以便解 除晶圓與安裝板之間的結合。 第5圖係從晶圓載具所支#的晶圓堆上移走安裝板之示意圖。 第6圆係圖示出隔板。 從晶圓載具 第7圖係在根據本發明之第二方法的步驟⑴中 中逐一移走晶圓之示意圖。 第8及9圖係從晶圓载具中移走隔板之示意圖。 第1〇圖係圖示出其上固定有隔板的空晶圓載具。 "圖係攸B曰圓載具中移走隔板之示意圖，該圖係與第7圖相 對應，但係以晶圓的正視圖示出。 Α ϋ係圖不出根據本發明之分隔片的實施例以及晶圓載具的 兩根棒子，分隔片係安裝於棒上。 【主要元件符號說明】 11 安裝板 12 ^1,122,123 晶圓堆 13 131 棒 132 晶圓 晶圓载具 端件 20 1334381 141,142,143 鋸架 15 分隔片 151 連接裝置 16 池 17 隔板 171 圓形部分 172 另一部分 181 真空吸取裝置 182 自動機械 183 感測器 21

Claims (1)

1. 、申請專利範圍： -種利用線排長度（ganglength)為Lc的多線鑛同時將至少 兩個圓柱形卫件切分成多個晶圓的方法，包括如下步驟： (〇從具有不同長度的工件庫存中選擇數量為η的工 件，其中ng 2，以滿足不等式（1广 ( 1 )； 同時使不等式（1)的右側之值盡可能大，其巾U 〇 = Ln)表示所選卫件的長度，表示—預定之最小間距； (b)將6亥n個工件沿縱向依次固定在一安裝板上，且各 該工件間分別保持-間距Α ’其中々A-，且所選之Α係 滿足不等式（2): LG>(n-\).A ^Li (2)； ⑴將其上固定有軸卫件之該安裝板线在該多線鑛 中；以及 將該η個工件以垂直於其縱向軸線 (d)利用該多線鋸 之方式切分。 如請求項1之方法，其中進行步驟（a)以滿足不等式⑴： 1ΰ-{η~λ)·Α + Ρ^^π (3)； 其中，Lmin表示一小於該線排長度一的預定最小長度。 如1求項2之方法，其中Lmi以為。 :长項1至3中任-項之方法’其巾在步驟⑴中較佳選 =付期限安排得較早之可用於製造晶圓的工件。 2未項4之方法，其中當距交付期限的時間小於預定最短 時3時’則無需絕對滿足步驟（a)中的不等式⑴。 6.如μ求項4之方法，其巾在任何航下，首先選擇為履行交 付期限最早之未處理訂單所需的工件，然後選擇使不等式⑴ 右側之值盡可能大的其他工件。 月长項1至3中任—項之方法，其中利用電腦進行步驟（a) 之工件選擇’該電腦可獲取該庫存中所有工件的長度。 々《月求項1至3巾任—項之方法，其巾該卫件庫耗自圓柱 形晶體庫存加以製造，以垂直於晶體之縱向軸線的方式，將 每一該晶㈣分成至少兩個長度為Lj的玉件，且該些工件之 長度Li係不大於步驟⑷中所用之多線㈣線排長度^， 其中各該晶體係分配給—個或多個訂單，且指定每一訂翠中 之晶圓的翹曲量所不能超出的最大值，其中： —在一情況（1)中，將分配給一具有低翹曲量最大值 之訂單的晶體，切分成盡可能長的工件；以及 在一情況（2)中，將分配給一具有高翹曲量最大值 之汀單的晶體，切分成相對較短的工件。 9.如請求項8之方法，其中關係Lg/2<i^Lg適用於該情況⑴ 中的工件長度L,。 ίο.如请求項8之方法，其中關係Li<W2適用於該情況⑺中 的工件長度Lj。 U.—種利用多線鑛同時將至少兩個圓柱形工件切分成多個晶圓 的方法，包括如下步驟·· (a)從具有不同長度的工件庫存中選擇數量為n的工 件’其中n$2 ; 23 1334381

   的位置以識別該晶圓堆（121、！22、 該晶圓堆（121、122、123)的晶圓 堆（121 ' 122、123)的晶 fSW η、 、123)間的邊界，且每一

   圓堆（12卜122、 (b) 將該η個工件沿縱向依次固定在一安裝板（u)上， 且各該工件間保持一間距； (c) 將其上固定有該些工件的該安裝板（丨丨）夾緊於該 多線鋸中； (d )利用該多線鋸，將該n個工件以垂直於其縱向軸線 之方式切分，從而形成固定在該安裝板（11)上的η個晶圓 堆（121、122、123); (0將該些固定在該安裝板（η )上的晶圓（丨2)放入 一晶圓載具（13)中，該晶圓載具（13)在遠離該安裝板（11) 之晶圓周邊上的至少兩個點處支撐各該晶圓（12); (f) 將至少一分隔片（15)放入兩相鄰晶圓堆（121、 122、123)之間的各間隙中，且將該分隔片（15)固定在該 晶圓載具（13)上； (g) 解除該晶圓（12)與該安裝板（間的結合；以 0自该晶圓載具（13 )中依次移走該各個晶圓（丨2 )。 如叫求項11之方法，其中在步驟〇)尹係利用該分隔片（15) 在該步驟（h)中，除了該固定於兩相鄰晶 123 )間之間隙中的分隔片（15 )以外，在 24 1334381 各該間隙中，放入至少一分隔板〇7)，其尹該分隔板（π) 不同於該些晶圓（12)且並未固定於該晶圓載具（13)上。 Μ·如請求項丨3之方法，其中在步驟（i)中，係藉由該分隔板（17) 的位置以識別該些晶圓堆（121、122、123)間的邊界，且每 一該晶圓堆（121、122、123)的晶圓（12)係與其他該些晶 圓堆（12卜122、123)的晶圓（12)分開進行後續加工。

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