CN101474832B - 一种硅棒夹具的放置结构 - Google Patents
一种硅棒夹具的放置结构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN101474832B CN101474832B CN200910004308.2A CN200910004308A CN101474832B CN 101474832 B CN101474832 B CN 101474832B CN 200910004308 A CN200910004308 A CN 200910004308A CN 101474832 B CN101474832 B CN 101474832B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- limiting plate
- lower floor
- upper strata
- screw rod
- stopping means
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Silicon Compounds (AREA)
Abstract
本发明提供了一种硅棒夹具的放置结构,当夹持有已切割成硅片的硅棒夹具放置于上并在行进输送过程中,能有效地起到保护硅片的作用,同时提高了工作效率。其包括支架,其特征在于:所述支架上安装有搁板,所述支架底部安装有调节装置,所述搁板下方、调节装置上方设置有限位装置。
Description
技术领域
本发明涉及硅片清洗工装领域,具体为一种硅棒夹具的放置结构。
背景技术
以往硅片切割的自动化生产程度较低,在生产过程中,原料硅棒、半成品硅片的输送多为人工输送,其生产效率低,且在输送过程中容易发生碰撞损坏,从而大大提高了生产成本。
发明内容
针对上述问题,本发明提供了一种硅棒夹具的放置结构,当夹持有已切割成硅片的硅棒夹具放置于上并在行进输送过程中,能有效地起到保护硅片的作用,同时提高了工作效率。
其技术方案是这样的:其包括支架,其特征在于:所述支架上安装有搁板,所述支架底部安装有调节装置,所述搁板下方、调节装置上方设置有限位装置。
其进一步特征在于:所述调节装置包括调节板和圆管;所述调节板安装于所述支架底部两端;所述圆管设置有两根;所述两根圆管的两端分别卡接于所述调节板的调节孔内;所述限位装置包括上层、下层;所述上层限位装置包括上层限位板,所述上层限位板两端固定于所述支架上;所述上层限位板上开有插槽,所述插槽内设置有挡板;所述下层限位装置包括下层限位板和螺杆,所述下层限位板设置有两块,所述两块下层限位板套装于所述螺杆,所述螺杆两端通过蝶形螺母固定于所述支架上;所述圆管和螺杆外部裹覆有软硅胶。
使用本发明的硅棒夹具放置结构,其能保证硅片切割后清洗生产的自动化流程,同时,保证硅棒、硅片的安全。
附图说明
图1为本发明主视的结构示意图;
图2为图1的A-A向剖视图;
图3为本发明俯视结构示意图。
具体实施方式
见图1、图2、图3,本发明其包括支架2,支架2上安装有搁板5,支架2底部安装有调节装置,搁板5下方、调节装置上方设置有限位装置。调节装置包括调节板1和圆管7;调节板1安装于支架2底部两端;圆管7设置有两根;两根圆管7两端分别卡接于调节板1的调节孔内;限位装置包括上、下两层;上层限位装置包括上层限位板4,其两端固定于支架2上;上层限位板4上开有插槽;插槽内设置有挡板13;下层限位装置包括下层限位板3和螺杆9;下层限位板3设置有两块;两块下层限位板3套装于螺杆9上;螺杆9两端通过蝶形螺母11固定于支架2上;圆管7和螺杆9外部分别裹覆有软硅胶10和12。图中,6为把柄,8为圆杆。
本发明在使用时,将硅棒夹具的圆杆放置在所述搁板5上,上下两层限位装置可以保证硅棒夹具上夹持的已切割好的硅片不发生相互碰撞,调节装置根据硅棒的外径调节距离,圆管7和螺杆9外的软硅胶10和12起到缓冲保护硅片作用。
Claims (1)
1. 一种硅棒夹具的放置结构,其包括支架,其特征在于:所述支架上安装有搁板,所述支架底部安装有调节装置,所述搁板下方、调节装置上方设置有限位装置;所述调节装置包括调节板和圆管;所述调节板安装于所述支架底部两端;所述圆管设置有两根;所述两根圆管的两端卡接于所述调节板的调节孔内;所述限位装置包括上层、下层;所述上层限位装置包括上层限位板,所述上层限位板两端固定于所述支架上;所述上层限位板上开有插槽,所述插槽内设置有挡板;所述下层限位装置包括下层限位板和螺杆,所述下层限位板设置有两块,所述两块下层限位板套装于所述螺杆,所述螺杆两端通过蝶形螺母固定于所述支架上;所述圆管和螺杆外部裹覆有软硅胶。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN200910004308.2A CN101474832B (zh) | 2009-01-24 | 2009-01-24 | 一种硅棒夹具的放置结构 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN200910004308.2A CN101474832B (zh) | 2009-01-24 | 2009-01-24 | 一种硅棒夹具的放置结构 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN101474832A CN101474832A (zh) | 2009-07-08 |
CN101474832B true CN101474832B (zh) | 2015-03-18 |
Family
ID=40835648
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN200910004308.2A Expired - Fee Related CN101474832B (zh) | 2009-01-24 | 2009-01-24 | 一种硅棒夹具的放置结构 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN101474832B (zh) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101664968B (zh) * | 2009-09-03 | 2012-07-04 | 无锡机床股份有限公司 | 一种改进的用于单晶硅棒的夹持机构 |
CN102275234B (zh) * | 2011-06-29 | 2014-03-12 | 沈利军 | 单晶/多晶硅片多线切割自动脱胶方法及其装置 |
CN102601876B (zh) * | 2012-04-20 | 2014-11-26 | 李明全 | 一种用于板状物料的落料装置 |
CN109605591B (zh) * | 2018-11-21 | 2023-08-29 | 烟台力凯数控科技有限公司 | 一种玉石切割的定位夹紧装置 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0449260A2 (en) * | 1990-03-30 | 1991-10-02 | Shin-Etsu Handotai Company Limited | Apparatus for producing czochralski-grown single crystals |
CN200967199Y (zh) * | 2006-10-31 | 2007-10-31 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 硅片清洗篮的同步夹持机械手 |
CN201017865Y (zh) * | 2006-12-30 | 2008-02-06 | 浙江昱辉阳光能源有限公司 | 可调式传递承载硅片的夹具 |
CN101409253A (zh) * | 2008-11-19 | 2009-04-15 | 高佳太阳能(无锡)有限公司 | 硅片清洗脱胶夹具 |
CN201366425Y (zh) * | 2009-01-24 | 2009-12-23 | 无锡市奥曼特科技有限公司 | 一种硅棒夹具的放置结构 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102006050330B4 (de) * | 2006-10-25 | 2009-10-22 | Siltronic Ag | Verfahren zum gleichzeitigen Auftrennen von wenigstens zwei zylindrischen Werkstücken in eine Vielzahl von Scheiben |
CN101249697B (zh) * | 2008-03-27 | 2011-07-20 | 海润光伏科技股份有限公司 | 新型防崩边防缺角硅晶棒切片机用夹具 |
-
2009
- 2009-01-24 CN CN200910004308.2A patent/CN101474832B/zh not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0449260A2 (en) * | 1990-03-30 | 1991-10-02 | Shin-Etsu Handotai Company Limited | Apparatus for producing czochralski-grown single crystals |
CN200967199Y (zh) * | 2006-10-31 | 2007-10-31 | 北京七星华创电子股份有限公司 | 硅片清洗篮的同步夹持机械手 |
CN201017865Y (zh) * | 2006-12-30 | 2008-02-06 | 浙江昱辉阳光能源有限公司 | 可调式传递承载硅片的夹具 |
CN101409253A (zh) * | 2008-11-19 | 2009-04-15 | 高佳太阳能(无锡)有限公司 | 硅片清洗脱胶夹具 |
CN201366425Y (zh) * | 2009-01-24 | 2009-12-23 | 无锡市奥曼特科技有限公司 | 一种硅棒夹具的放置结构 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101474832A (zh) | 2009-07-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN101474832B (zh) | 一种硅棒夹具的放置结构 | |
CN202245277U (zh) | 玻璃运送机器阻挡装置 | |
CN202507408U (zh) | 一种自动调节金刚石线切割硅片速度的智能装置 | |
CN207224313U (zh) | 一种用于金刚线半导体硅棒截断机的进刀装置 | |
CN201459279U (zh) | 一种单晶硅棒 | |
CN205869650U (zh) | 自动升降加锡装置 | |
CN201366425Y (zh) | 一种硅棒夹具的放置结构 | |
CN204214817U (zh) | 一种探伤设备的超声波探头夹持器 | |
CN105234788A (zh) | 一种钢管切割装置 | |
CN205008904U (zh) | 一种用于圆形管加工固定的机动夹 | |
CN201760976U (zh) | 四辊导轮机座 | |
CN207275143U (zh) | 一种便于检测的医药用自动理瓶装置 | |
CN202480140U (zh) | 一种泡沫板材切割机 | |
CN105171579B (zh) | 一种便于操作的钢管切割装置 | |
CN105398037A (zh) | 一种自动弯管机 | |
CN104015222A (zh) | 农田灌溉管切割机夹紧装置 | |
CN206870149U (zh) | 一种内圆切片机限位装置 | |
CN208395048U (zh) | 一种玻璃切割台 | |
CN105692170A (zh) | 缓冲平台 | |
CN104362223A (zh) | 一种用于太阳能电池板的玻璃上料方法 | |
CN205326199U (zh) | 一种注塑件夹持装置 | |
CN105234792B (zh) | 一种便于操作的钢管切割控制系统 | |
CN205008591U (zh) | 车辆悬架衬管内套加工装置 | |
CN103358356A (zh) | 一种泡沫板材切割机 | |
CN204524290U (zh) | 移动刀架 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
C14 | Grant of patent or utility model | ||
GR01 | Patent grant | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20150318 Termination date: 20210124 |