CN201017865Y - 可调式传递承载硅片的夹具 - Google Patents
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Abstract
本实用新型硅片处理设备制造技术领域,涉及一种可调式传递承载硅片的夹具,包括侧板、夹边,两侧板间固定连接一夹边,两夹边设置对应凹槽,侧板开设滑道,螺栓穿过滑道将侧板与另一夹边固定连接。本实用新型的可调式传递承载硅片的夹具,一夹边与侧板固定连接,另一夹边与侧板通过螺栓连接,该夹边可沿滑道移动,从而调节与固定夹边之间的夹距。因此,本实用新型的夹具可以夹持不同规格的硅片,特别适用于夹持非标准规格的硅片,降低了成本,提高了夹具的利用率,减少了库存空间。
Description
技术领域
本实用新型硅片处理设备制造技术领域,涉及一种可调节夹距的传递承载硅片的夹具。
背景技术
硅片的清洗、烘干及废硅料腐蚀处理等过程需要将其固定才能进行,目前常用传递承载硅片的夹具来夹持固定。夹具俗称花篮,由两侧板间固定连接两夹边构成,两夹边上相对应开设凹槽。硅片置入两夹边的凹槽而牢固夹持,方便清洗、烘干、腐蚀等操作。但上述花篮的结构存在一些不足之处,两夹边是固定的,无法调节两夹边的夹持宽度,即每一花篮只能适用于特定规格的硅片,当硅片的规格不同时,需配备与其大小相应的花篮,这样不仅成本高,而且花篮的利用率低、库存空间大。所以有必要对现有花篮的结构进行改进和创新,以克服上述存在的缺点。
发明内容
本实用新型公开了一种可调节的传递承载硅片的夹具。
本实用新型所采用的技术方案:可调式传递承载硅片的夹具,包括侧板、夹边,两侧板间固定连接一夹边,两夹边设置对应凹槽,侧板开设滑道,螺栓穿过滑道将侧板与另一夹边固定连接。
所述的可调式传递承载硅片的夹具,侧板于可移动夹边的上边沿处设凸条。
本实用新型的可调式传递承载硅片的夹具,一夹边与侧板固定连接,另一夹边与侧板通过螺栓连接,该夹边可沿滑道移动,从而调节与固定夹边之间的夹距。因此,本实用新型的夹具可以夹持不同规格的硅片,特别适用于夹持非标准规格的硅片,降低了成本,提高了夹具的利用率,减少了库存空间。
附图说明
图1为本实用新型的立体结构图。
图2为本实用新型的侧视图。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型作详细说明。
如图1、2所示,两侧板1与定夹边2固定连接,侧板1开设开口8及滑道4,开口8方便提起夹具;螺栓5穿过滑道4并螺入可移动夹边3的螺孔,旋紧螺栓5,将夹边3的两端与两侧板1固定连接;旋松螺栓5,沿滑道4移动夹边3,调节两夹边间的夹距,以夹持不同规格的硅片。夹边2、3相对应地开有凹槽9、7,所夹持的硅片插入两夹边相对应的凹槽,夹持牢固、稳定。
两侧板1内侧面于夹边3的上边沿处设一凸条6,在调节两夹边的夹距时,夹边3不偏转。
Claims (2)
1.可调式传递承载硅片的夹具,包括侧板、夹边,两侧板间固定连接一夹边,两夹边设置对应凹槽,其特征在于:侧板开设滑道,螺栓穿过滑道将侧板与另一夹边固定连接。
2.根据权利要求1所述的可调式传递承载硅片的夹具,其特征在于:侧板于可移动夹边的上边沿处设凸条。
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2006
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Legal Events
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GR01 | Patent grant | ||
C17 | Cessation of patent right | ||
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Granted publication date: 20080206 Termination date: 20121230 |