TWI305583B - Method of forming a reflector member, a reflective structure and a liquid crystal display device - Google Patents

Description

(i) 1305583 玖、發明説_ (發明說明應敘明：發明所屬 .技術領磁 本發明相關於形成 及液晶顯示器。 技術領蜮、先前技術、内容、實施方式及圖式簡單說明） 反射器組件之方法、反射器結構 2.先前技術 包括反射電極或及^^ 又反射器的液晶顯示裝置（如反射型液晶 _不裝置I $ 了改良顯示的影像品質，反射電極或反射 。。系/、有凹下或大起。為了提供具有凹下或突起的反射電 極或反射g ’施加感光樹脂，並在形成反射電極或反射器 之前，將施加的感光樹脂以預設形式定圖案。 可藉由預設形式將感光樹脂定圖案而提供具有凹下或突 起的反射電極或反射器，但如果只單純將感光樹脂定圖 案’則難以改良由液晶顯示裝置所顯示的影像品質。 本發明的目的在於提供形成對改良影像品質有貢獻的反 射器組件的方法，及提供一反射結構及施加該方法的液晶 顯示裝置。 發明内容 根據本發明用以形成達成該目的反射器組件的方法’包 括形成一下層的步驟及在該下層形成一反射器組件的步 驟，根據本發明的方法，其特徵為形成該下層的步驟包括 以下步驟： -形成一第一膜； -在弟一膜中形成複數個孔；及 -在已形成複數個孔的第—膜上形成一第二膜； 1305583 (2) 發明說明績頁 其中形成複數個孔之步驟係在該第一膜上形成複數個孔 的步驟，依此俾便在第一膜上形成複數個分割區，該複數 個分割區各具有一實質固定寬度，並分開複數個孔相鄰的 孔；及 其中該複數個分割區中至少數個的寬度實質互等。 根據本發明形成一反射器組件的方法中，為了形成下層 而形成第一膜，並在第一膜中形成複數個孔，在第一膜形 成複數個孔，依此俾便在第一膜中形成複數個分割區，複 數個分割區各具有一實質固定寬度，並分開複數個孔相鄰 的孔，此外複數個分割區中至少數個的寬度實質互等。由 於下層具備具有分割區的第一膜，在下層形成的反射器形 狀受到分割區形狀的影響，俾能調整分割區的大小等以由 反射組件所反射光線的反射方向。因此，例如如果將一反 射組件應用至一液晶顯示裝置，即可改良液晶顯示裝置所 顯示的影像品質。 根據本發明形成一反射器組件的方法中，複數個分割區 中至少數個的寬度最好係在3 μπι至6 μηι(含3 μηι及6 μηι)之 範圍内。藉由在上述範圍設定分割區的寬度，可輕易地調 整由反射組件所反射光線的反射方向。 根據本發明形成一反射器組件的方法中，形成複數個孔 的步驟中，最好在第一膜上形成複數個孔，依此俾便在第 一膜上形成複數個孔組，其中各孔組包括複數個孔之一第 一孔及至少三個第二孔；及其中在第一孔周圍至少配置三 個第二孔。藉由在第一膜中形成孔的數目，可降低由反射 1305583 (3) 發明說明績頁 器組件所反射光線的鏡面反射成分。第二孔的數目。 根據本發明形成一反射器組件的方法中，第二孔的 最好是七個，如果此方法中液晶顯示裝置具有反射 件 可以有效地防止由液晶顯示裝置的反射器組件所 的光線干擾。 根據本發明形成一反射器組件的方法中，形成第一 步驟最好為形成一感光膜的步驟，而形成複數個孔的 即將感光膜定圖案的步驟’依此俾便在感光膜上形成 個分割區’複數個孔各具有一實質固定寬度，並將複 孔相鄰的孔分開’其中複數個分割區中至少數個的寬 質互等。如果形成感光膜作為第一膜，並將感光膜定圖 可輕易提供具分割區的感光膜。 根據本發明的反射結構包括複數個反射器組件，及 層用以提供具預設形式的反射器組件，根據本發明的 結構，其特徵為下層包括具複數個孔的第一膜及在第 上形成的第二膜’其中複數個孔中至少數個，其至少 各由第二膜之材料填補，其中第一膜包括複數個分割 複數個分割區各具有一實質固定寬度，並將複數個孔 的孔刀開’及其中複數個分割區中至少數個的寬度實 等。 根據本發明的反射結構中，複數個分割區中至少數 見度亦最好在從3 μπ^6 μιη(含3 _及6 μηι在内）的 中 〇 根據本發明的反射結構中 數目 器組 反射 膜的 步驟 複數 數個 度實 案， 一下 反射 一膜 部分 區， 相鄰 質互 個的 範圍 最好在第一膜中形成複數個 I3〇5583 (4) 發明說明績頁 括4依此俾便在第一膜中形成複數個孔組，其中各孔組包 ""數個孔的第一孔及至少三個第二孔及其中在第一孔周 圍至少配置三個第二孔。 據本發明的反射結構中，第二孔的數目最好為七個。 根據本發明的反射結構中，最好由一感光樹脂形成第一 及第二膜。 —根據本發明的液晶顯示裝置’其特徵為提供由申請專利 〜圍第6至10項所說明的反射结構。 貫施方式 以下將說明本發明的—實例。 、ρ刀d面圖§兒明液晶顯示裝置，其包括一反射電 極，其根據本發明已使用形成反射器的一方法範例而形 成’此貫例中將說明使用根據本發明形成一反射器的方 去’形成在液晶顯示裝置所設置的反射電極，但請注意， w可使用#據本f明形成-反射器的彳法形纟除了液晶顯 示裝置以外的装置所設置的反射電極。 叹曰曰 且w a括一 TFT基极組件5丨（具為根龈本發 的一反射器範例），盆且古 ,_ , ；具具有一 TFT 5 0、一反射電極（其為 據本發明的一反讲哭$λ· 7 ，，Λ μ 射益扼例）11 〇等等，在TFT基板組件5 i 形成一校準層12。汸曰 履日θ顯不裝置5 4包括一色彩滤波器基 組件5 2，其具有—斧勃、.士 — 色慮波备等等，由於基板組件5 2與 實例的特性零件Α關，Α ’、 、關 在圖1中只簡單說明色彩濾波器 板組件52的結構。力T f 在rFT基板組件5丨與色彩濾波器基板 件5 2之間配置一·洁曰g <。 产 Βθ層5 3 ’應注意圖1所示TFT基板組件 (5) 1305583 發明說明續頁 的S域2，對應至稍後說明的圖2至6、圖1 2、圖1 4、圖1 5 及圖1 6中所示的區域z。 以下將說明製造具一反射電極1丨〇的TFT基板組件5〗的方 法’其中反射電極11 0為此實例中的特性零件。 圖2以平視圖說明剛形成一閘極7及一閘極匯流排8之後 的部分破璃基板1，圖3係沿圖2的線看去的基板1剖面 圖 。 如圖2及3所示’在玻璃基板1上形成一源極2、一汲極3、 一源極匯流排4、一半導體層5(如矽層）、一閘極絕緣膜6、 一閘極7及一閘極匯流排8。如圖2所示，形成源極匯流排* , 俾便在y方向延伸，並形成閘極匯流排8，俾便在χ方向延 伸。在間極絕緣膜6中，形成用以將部分汲極3曝露的長方 形W 6a，形成閘極7及閘極匯流排8之後，將形成一感光膜 (見圖4)。 圖4係基板的剖面圖，基板上已形成感光膜。 可藉由旋轉塗佈方法施加一感光樹脂及再烘烤所施加的 u光树如，而形成感光膜（其根據本發明對應至第一膜）9。 形成感光fe 9後，藉由將膜9曝光，將曝光膜9顯影及將顯 影膜9後烘烤，而將感光膜9定圖案（見圖5及圖6)。 圖5以平視圖說明具圖案化感光膜9的基板，圖6係沿圖2 的線II-II看去的基板剖面圖。 此實例中，如圖6所示，將感光膜9定圖案，俾便在感光 膜9中不僅形成孔91，亦形成數個孔”及”。圖$中，感光 膜9未移除的一部分（即感光膜9的殘留部分）以影線表$ ’ (6) 1305583 發明說明續頁 而在感光膜9中形成的孔92及93即以非影線的多邊形表 示，孔92及93係根據預設規則而形成，以下參照圖7至1 〇 說明此預設規則。 圖7以平視圖5兒明在感光膜9中形成的數個孔9 2及9 3，圖 8係由圖7的線III-ΐπ看去孔的剖面圖，圖9係由圖7的線IV-IV看去孔的剑面圖。圖7中，省略已在感光膜9下方形成的 電極等等’而只示出孔92及93。 如圖7所示’在一孔92周圍配置七個孔93，藉由此/孔92 ^ 及七個孔93成為由九個孔組成的一孔組94結構，此實例 中’在感光膜9中形成複數個各具有圖7所示結構的孔組 9 4。（參閱圖1 0) 圖1 0以平視圖說明複數個孔组9 4。 形成各孔組94(其由虚線環繞），俾便由六個孔組94環 繞，圖1 0中’為便於解說緣故，只示出七個孔组94，所示 出的七個孔組94中只有一居中的孔組94由六個孔組94環 繞。惟應注意，其他各孔組94亦由六個孔組94環繞，此實 _ 例中’依此在感光膜9中形成具有圖7所示結構的孔組9 4， 俾便由六個孔組94加以環繞。 將回到圖7繼續解說。 此實例中’形成孔92及93，依此俾便各將孔92與各七孔 9 3分開的分割區9 5仍留在孔9 2與七孔9 3之間，而各將雨相 鄰孔9 3分開的分割區9 6仍留在兩相鄰孔9 3之間，並未將分 割區9 5及9 6互相分開，卻形成便於連續的形式，因此由七 個連續的分割區9 5環繞孔9 2。在此考量到其中一分割區9 5 -10- 1305583 _ (7) 發明說明續頁 時，所考量的一分割區9 5在某一部分的寬度w 1與所考量 的一分割區95在另一部分的寬度W2間存在w卜W2的關 係。圖7中’只在連續七部分9 5中的一部分9 5示出符號w i 及W2，但應注意其他部分95亦有W1 = W2 = W的關係，意即 各部分9 5的寬度不會依分割區9 5的部分而有變動，卻具有 一實質定寬度W。

正與分割區9 5的情形一樣，仍留在兩相鄰孔93之間的分 割區96亦具有一實質固定寬度w，此實例中寬度W的值大 約為4 μηι，此外，此實例中，以此方法將感光膜9定圖案， 俾便各孔92及93的内接圓Ci的直徑D大約有5 μηι(圖7中只 示出一孔93的内接圓Ci)。 此外，如圖1 〇所示，在兩相鄰孔組94之間設置分割區97， 藉此由分割區9 7分開相鄰孔組9 4，分割區9 7亦如分割區9 5 及9 6般具有一實質定寬度W(大約4 μηι)。（參閱圖7)

圖5至1 0中，說明各孔組9 4中在孔9 2四周設置七孔9 3的 範例，但設置在孔9 2四周的孔9 3數目其實並未限制至七 個，以下將參照至圖丨1說明設置在孔92四周的孔9 3數目非 七個的範例。 圖1 1以平面圖說明孔9 2四周所配置的六孔9 3。 圖1 1中，正如圖5至8的情形，設置複數個孔組9 4 〇，各 孔組940並由六孔組940環繞，惟圖11中，孔組940具有— 孔92及配置成在孔92四周的六孔93。如圖11所示，設置在 孔9 2四周的孔9 3數目龙未限制成七個’應注意孔9 3的數目 可大於七或小於六，惟此實例以下的說明中，在一孔92係 -π - 1305583 (8) 發明說明續頁 設置七孔9 3。與設置六孔9 3的情形比較，在設置七孔9 3的 情形中’有利於能有效防止液晶顯示裝置中發生的光線干 擾。 藉由依此將感光膜9定圖案，俾便形成孔9 1、92及93， 而從感光膜9形成以網狀連續的分割區9 5、9 6及9 7。在感 光膜9形成孔91、92及93之後’再形成另一感光膜1〇(見圖 12)。

圖1 2以剖面圖說明上面已形成另一感光膜丨〇的基板，圖 1 3為圖1 2所示區域e的放大圖。

藉由施加及預烤一感光樹脂’將預烤感光樹脂曝光，及 將它顯影及後烘烤’而形成感光膜1 〇(根據本發明其對應 至第二膜），感光膜10包括一窗口 10e用以曝露汲極3的一 部分。由於在感光膜i 〇下方形成的感光膜9包括複數個孔92 及93(見圖6)，感光膜10的表面受到孔92及93存在的影響， 而使感光膜ίο的表面上形成凹下10&及10b。藉由此凹下1〇a 及10b’在感光膜1〇的表面上形成凹下及突起。具有孔、 92及93的感光膜9與感光膜的合併對應至根據本發明的 下層。 此實例中，將感光膜9(其在感光膜10下方形成）的分割 區95、96及97的寬度w設定，俾便互等。因此如圖13所示， 凹下10a表面的最大入射角及凹下1〇b表面的最大入射 角召1貫質互等，此實例中l=y51 = l〇度。此外，在凹下1〇& 的最低點P a的入射角及在最低點Pb的入射角皆為零，因此 凹下10a表面的入射角α範圍為〇度<α<1〇度，而凹下 -12- 1305583 發明說明續頁 (9) 表面的入射角yS範圍亦為0度<召<10度，意即，凹下l〇a表 面的入射角α實質同於凹下l〇b表面的入射角石。形成感 光膜10之後’形成一導電膜，俾便覆蓋感光膜1〇(見圖14)。 圖1 4以剖面圖說明形成導電膜11之後的基板。

由於導電膜11係作為稍後將說明的反射電極丨1〇(見圖1 5 及1 6)，因此要求導電膜丨丨不僅具有導電性且需具有高反 射性。此實例中，為使導電膜1 1不僅具有導電性且具高反 射性’導電膜1 1由多（兩層）層膜加以建構，多層膜由主要 具Mo(銷）的一 Mo層及主要具AI(鋁）的一 A1層所組成，亦可 使用具其他材料的多層膜以取代具M〇層及A1層的多層 膜。此外’導電膜〖丨可為具至少三層的多層膜，或主要具 A1的單一 A1膜，或主要具Ag的單一 Ag膜。

由於已在感光膜1〇中形成窗口 1〇c(見圖12)，因此將導 電膜11連接至汲極3 ’由於已在導電膜丨丨下方形成感光膜 10 ’導電膜11受到感光膜10的凹下1〇3及1〇1)(見圖形狀 的影響’而具有入射角範圍在〇度至1〇度的凹下lla&llb。 藉此形成導電膜11之後，藉由微影步驟將導電膜丨丨分割成 個別的畫素區（見圖1 5及1 6)。 圖1 5以平視圖說明已將導電膜丨丨分割成個別畫素區之後 的基板，圖1 6係由圖1 5的線V - V看去的基板剖面圖。 藉由將導電膜1 1分割成各畫素電極，如圖1 5中所示，在 各畫素區中形成包括凹下lla及nb的長方形反射電極 110，依此而製造TFT基板組件5 1。由於跟隨感光膜i 〇的凹 下10a及10b形狀而形成反射電極no，因此反射電極11〇凹 -13 - 發明說明袷頁 1305583 (10) 下11a表面的入射角α’為0度<α’<10度，及反射電極11〇凹 下Ub表面的入射角召，為〇度</3, <1〇度。製造TFT基板組 件5 1之後，在TFT基板組件51上形成一校準層12(見圖1)。

此實例中，如圖5至1 0所示’將感光膜9定圖案，依此俾 便形成以網狀圖案形式連續且各具實質定寬度W的分割區 95、96及97。藉由提供分割區95、96及97，可改良液晶顯 示裝置5 4的反射特性’對照之下，所考量的另一方法，其 中將感光膜定圖案，依此俾便形成互相分開的複數個突起 (見稍後在圖1 7至1 9所示）’以取代分割區9 5、9 6及9 7，其 以網狀圖案形式連續且各具實質固定寬度W，但在另一方 法難以改良反射特性，以下將參照至圖丨7至2 0說明這些反 射特性間的差異。 圖1 7係感光膜9的平視圖’其為一範例，將其定圖案， 依此俾便形成許多突起92 1及93 1，以取代分割區95、96及 9 7 ;圖1 8係由圖1 7的線VI - VI看去的感光膜剖面圖；圖】9 係由圖1 7的線VII-VII看去的感光膜剖面圖。 先前所述實例中，為了形成以網狀形式連續且反具實質 定寬度W的分割區95、96及97 ’而在感光膜9中形成孔92 及93(見圖7) ’惟在圖17中’為了形成互相分開（由影線表 示）的突起921及93 1 ’而在感光膜9中形成以網狀形式（由非 影線區表示）連續的凹槽950，意即圖7中感光膜9已移除的 部分（即孔92及93)對應至圖17中感光膜9已留下的部分（即 突起921及931)，而圖7中感光膜9已留下的部分（即分割區％ 及9 6)對應至圖1 7中感光膜9已移除的部分（即凹槽950)。意 -14- (ii)1305583 發明說明續頁 即在形成分割區95 ' 96、97的成采ρ Λ ^ 恐先膜9圖案與形成突起921 及931的感光膜9圖案之間存在反向 21 關係，因此反射電極n 0 的凹下及突起圖案會依照是否已米出八、 /取刀割區95、96、97(J 圖7)或突起921及931(見圖17)，而作R上 叩作反向改變。如果反射 電極的凹下及突起圖案作反向改嶽，、、、 又 硬晶顯示裝置的特性 亦如圖2 0所示而隨之改變。 圖2〇以目表說明具有分割區（其以網狀形4連續且各,

實質定寬度W)的液晶顯示器（見圖7)的反射特性，及具辛 突起921及931(其互相分開）的浚晶麵；取，θ ' ~〜夜日θ顯不器（見圖1 7)的反射韦 性’圖2 1自兒明圖2 0所不圖表的測量。 圖2 0的圖表係按照正在觀看一、冷 _ 仏规有 液晶顯不器的液晶面相 300的使用者301視角以說明反射特性， -30度的角度入射在液晶面板3〇〇上， 當時外部光線302在 圖表的水平軸為視

角，而垂直軸為反射率。實線說明具有分割區95、96、97(其 以網狀形式連續且各具實質固定寬度w，見圖7及ι〇)的液 晶顯示裝置（以下簡稱為圖7的液晶顯示裝置）的特性，而 虛線說明具突起921及931(其互相分開，見圖17)的液晶顯 不裝置（以下簡稱為圖丨7的液晶顯示裝置）的反射特性。圖 7的液晶顯示裝置巾’各分割區95、96、97寬度冒為，“ μιη，圖17的液晶顯示裝置中，凹槽95〇的寬度G為Q = 4 i 為改良液晶顯示裝置所顯示的影像品質，最好使光線3〇3 在、3 0度視角的反射率成為小的，而使光線在約〇度視 角的反射率成為大的。惟圖17的液晶顯示裝置中，在約3〇 度視角的反射率（鏡面反射成分）極大，俾難以改良影像品 -15- 發明說明續頁: 1305583 (12) 質。對照之下，與圖1 7的液晶顯示裝置比較，圖7的液晶 顯示裝置中，在約3 0度視角的反射率降低，而在約0度視 角的反射率增加，因此可改良影像品質。與圖1 7的液晶顯 示裝置比較，可認為圖7的液晶顯示裝置中，會降低在約3 0 度視角的反射率（鏡面反射成分），及增加在約0度視角的 反射的理由如下。

在圖1 7的液晶顯示裝置中，為了提供互相分開的突起92 1 及93 1，需要在感光膜9中形成以網狀形式連續的凹槽950， 因此在已形成凹槽950(其以網狀形式連續）的情形下施加一 感光樹脂（感光膜1 0的材料，見圖1 2)時，一部分所施加的 樹脂進入凹槽950。進入凹槽950的樹脂因其流動性而橫過 所有的凹槽950水平地傳佈，結果，感光膜1 0已進入凹槽950 的部分易於具有水平表面，如果感光膜1 0具有水平表面， 由於反射電極110受感光膜1 0形狀影響，反射電極11 0亦會 具有水平表面。由於具有水平表面的部分反射電極110的 入射角為零，在具有水平表面的部分反射電極110入射的 光線即在鏡面反射方向（即3 0度的視角方向）反射，為此理 由，認為圖1 7的液晶顯示裝置中，在約3 0度視角的反射率 (鏡面反射成分）會增加。 另一方面，圖7的液晶顯示裝置中，為了形成以網狀形 式連續且各具實質定寬度W的分割區95、96及97，在感光 膜9中形成互相分開的許多孔9 2及9 3，因此在已形成互相 分開的孔9 2及9 3的情形下施加一感光樹脂（其為感光膜1 0 的材料，參閱圖1 2)時，一部分所施加的樹脂會進入各許 -16- (13) 1305583 發明說明續頁

多孔92及93。由、A 田於許多孔92及93係互相分開，進入其中一 或9 3的树知即無法進入另一孔9 2或9 3，因此進入其中 孔92或93的樹脂不可能水平傳佈開。結果，不可能在反 射電極形成水平I y > 丁畏面，俾遇為會降低在約3 〇度視角的反射 率（知面反射成分），及增加在約〇度視角的反射。 圖1 7的液卵顯示装置中，藉由將凹槽950的寬度G變窄（例 如成為約1 μηι)，即可降低約3〇度視角的反射率（鏡面反射 成刀）土某心度，但如果必須將凹槽的寬度設定成約i μηι，則需要預備具高解析的曝光系統，並使用高解析曝 光系統將感光膜9曝光，高解析曝光系統很昂貴，俾使設 備成本變高。#照之下’此實例中，由於寬度〜的值約為 4 μηι，及内接圓Ci的直徑〇的值約為5 μηι(參閱圖7)，不用 鬲解析曝光系統即可將分割區9 5、9 6及9 7的寬度w以高準 確度保持在一定值，俾將減少設備成本。 在本實施例中，分割區95、96及97都具有實質固定的寬 度W。（其優點為，與分割區95、96及97具有可變寬度而 不是固定寬度W的假設狀況相比’（當將分割區95、％及97 的寬度w設定為固定值時），可提高使用反射電極ιι〇所反 射光線的效率。以下將參照至圖22至24，說明與各分割區 9 5、9 6及9 7具多樣寬度的假設情形比較時的優點。 圖2 2以平視圖說明各具不同程度寬度的分割區；圖2 3以 剖面圖（a)說明圖22所示具寬度W 1的分割區9 5，，及以叫面 圖（b)說明具寬度貿2的分割區95,，剖面圖（&)與（b)係垂直 配置。 -17- 1305583 (14) 發明說明績頁

圖2 2所示各孔組9 4 ’，如圖7的情形般包括一孔9 2 ’及配 置在一孔9 2 ’四周的七孔9 3 ’。惟對照至圖7，各孔9 2 ’及9 3 ’ 的形狀實質為圓形，因此如果對用以將孔9 2 ’及9 3 ’分開的 其中一分割區9 5 ’加以考量，則所考量在中央部分的一分 割區9 5 ’的寬度W2會與所考量在遠離中央部分的部分的一 分割區9 5 ’的寬度W 1不同。意即，分割區9 5 ’的寬度會依分 割區95’的部分而變化，分割區96’的寬度亦會如分割區95’ 的寬度情形般變化，應注意用以分開兩相鄰孔組9 4 ’的分 割區的寬度（在圖2 2中未示）亦會如分劄區9 5 ’及9 6 ’的寬度 情形般變化。

參照至圖23，認知到由於剖面圖（a)所示分割區95 ’的寬 度W 1大於剖面圖（b)所示的寬度W2，剖面圖（a)的坡度緩 和，但剖面圖（b)的坡度陡Λ肖。在一分割區中混雜緩坡及 陡坡的液晶顯示裝置（以下稱為圖2 2的液晶顯示裝置）中， 其反射特性不同於圖7的液晶顯示裝置（其中仍有分割區 9 5、9 6及9 7)的反射特性，以下將說明反射特性的差異。 圖2 4以圖表說明圖7的液晶顯示裝置的反射特性及圖2 2 的液晶顯示裝置的反射特性。 圖表說明外部光線3 0 2如圖2 0的情形般以-3 0度的角度入 射在液晶面板時的反射特性，圖表的水平軸為視角，而垂 直軸為反射率，實線說明圖7的液晶顯示裝置的特性，而 虛線說明圖2 2的液晶顯不裝置的特性。圖7的液晶顯tf裝 置中，各分割區95、96及97的寬度W為W = 3.7 μηι;圖22的 液晶顯示裝置中，在中央部分的分割區9 5 ’的寬度W2為 -18 - (15) (15) 發明說明續頁 1305583 W2 = 3 μπι ’而在中央部分的分割區96，的寬度W2為W2 = 2 μηι。

圖2 2的液晶顯示裝置中’由於一分割區同時具有緩坡及 陡坡，因此反射電極亦具有缓坡及陡坡，如果在反射電極 混雜緩坡及陡坡，在反射電極緩坡所反射的某些光線的反 射方向，會偏離在反射電極陡坡所反射的某些光線的反射 方向，俾難以有效地在想要的方向反射光線。此外’由於 孔92’及93’為圓形，而使分割區95’的寬度W1大於寬度 W 2，因此由三相鄰孔9 2，及9 3，環繞的部分R 2的區域（由影 線表示）易於成為大於由圖7中三相鄰孔9 2及9 3環繞的部分 R 1的區域（由影線表示）。如果部分R 2的區域變成極大，部 分R2易於具有一較大水平表面，俾使在約30度視角的反射 率（鏡面反射成分）增加，並易於降低影像品質，因此部分 R2的區域必須儘可能地小，之後，在圖22的液晶顯示裝置 中’為使部分R2的區域儘可能地小’將感光膜9曝光並顯 影’依此俾便使在中央部分的分割區9 6，的寬度W2具有小 值（此範例中，約為2 μηι)。惟在圖22的液晶顯示裝置中， 要求在中央部分的分割區96，的寬度W2窄成2 μιη的程度， 俾使用具低解析的曝光系統將感光膜9曝光時，不同分劃 區96’的寬度W2變化是大的，如果試將不同分割區96，的寬 度W2變化變小，需要使用高解析曝光系統將感光膜9曝 光，但設備成本會變高。 對照之下，圖7的液晶顯示裝置中，一分割區的寬度不 用參照至此一分割區的部分卻實質是不變的，俾使此一分 -19- 1305583 _ (16) 發明說明續頁 割區在某一邵分的入射角範圍實質等於此一分割區在遠離 某一部分的入射角範圍。此外，不同分劃區的寬度亦互等， 俾使一分割區的入射角範圍實質等於另一分割區的入射角 範圍，因.此’與圖2 2的液晶顯tf裝置相較’.圖7的液晶顯 示裝置中，可減少由反射電極110所反射光線中反射方向 的變化（或偏離）。如此的結果，藉由調整分割區的寬度W， 可有效地在想要的方向中反射光線，此外，在圖7的液晶 顯示裝置中，由於一分割區的寬度不用參照至此一分割區 的部分而實質不變，因此可輕易地使圖7所示的部分R 1的 區域小於圖2 2所不的部分R_ 2的區域。因此部分R 1易於具 有較小水平表面，俾能有效地降低在約3 0度視角的反射率 (鏡面反射成分）。從圖2 4所示的圖表中，認知到圖7的液 晶顯示裝置中，在約0度視角的反射率增加時，在從約-3 0 度至約-1 0度視角的反射率及從1 0度至3 0度視角的反射率 會降低。因此可使用圖7的液晶顯示裝置改良影像品質， 此外，圖7的液晶顯示裝置由於分割區9 5、9 6及9 7的寬度 約為4 μηι，因此尚有無需使用高解析曝光系統的優點。 如果感光膜9中形成的孔9 2及9 3的孔徑區變化大，最大 入射角α 1及/3 1 (見圖1 3)的變化亦隨之變大，俾易於降低 反射特性。因此感光膜9中形成的孔9 2及9 3的孔徑區變化 最好儘可能地小。此實例中，孔徑區的變化在1 5 %内，孔 徑區的變化在1 5 %内時，最大入射角α 1及/3 1的值實質不 受孔徑區的影響，俾能將最大入射角α 1及/3 1設定成一實 質相等值。 -20- (17) !3〇5583 翁明説明—頁· 此實例中’將分割區9 5、9 6及9 惟鹿吁奋 /的見度約設定成4 μΐΏ， 〜汪意並未將分割區95、96及97的眘a 使貧片加丄 ,的寬度侷限在4 μιη，即 •又W大於或小於4 時，亦能 由將办命 b玟艮反射特性。尤其藉 見度W設定成3 μπι^ 6 μηι，可卢τ 性。 了仵到良好的反射特 此外，此實例中為了提供一感 固定t _ WAA、 “尤胰9,其具有各具實質 見度w的分割區95、96及97 說明的扨报據參照至圖7至1〇所 勺規則而形成孔92及93。惟本 成相勒a 、 g *个么明中應注意，如能達 巩相郝孔〈間的分剖區具有實質 本發明目的的r “ 寺的寬度’則在不背離 能逯ώ Α ^規則加以改變，例如，如 -達成相鄰孔之間的分劉區 9中所艰士 AA , 貝互爭的寬度’感光膜 所形成的孔可隨意配置。 此實例中，分割區95、96及 意，如此、垂a本 疋寬度W ,惟應注 如此達成本發明目的，可 ^ Q7, . ν, ν 口 所不，分割區 95、96 有二'刀割區的寬度具有不同的寬度。 此實例中，分割區95、96及97且杂 It /¾ -i ^ 八有焉質互等的寬度W , 准應 >王思如把達成本發明目的， 刀口Jis95、96及97中右此 分割區的寬度可異於八金丨F Q ς 一 度。 #於刀割S95、96及97中其他分割區的寬 此貫例中所形成的反射電極 ,,ΠΗ ^ ^ 1重具有反射光線的反 于态角色，亦為—書素電極。惟庫ϋ + 至製迭-非充〜 准應〜亦可將本發明施 ,, ” 1重用於反射光線的反 射的万法，而非製造反射電極11 0的方法。 如上述，本發明提供形成有 R心像品質的反射器 21 - 1305583 __ (18) 發明說明續頁 組件的方法，以及一反射結構及施加本方法之液晶顯示 器。 圖示簡單說明 圖1以部分剖面圖說明一液晶顯示裝置，該裝置所包括 的反射電極係根據本發明使用形成反射器的一方法範例而 形成的； 圖2以平面圖說明剛形成一閘極7及一閘極匯流排8之後 6勺破璃基板1 ; 圖3係由圖2的線I -1看去的基板1剖面圖； 圖4以剖面圖說明上面已形成感光膜的基板； 圖5以平面圖說明具有已定圖案感光膜9的基板； 圖6係由圖2的線I ϊ_ 11看去的基板剖面圖； 圖7以平面圖說明在感光膜9中形成的數個孔92及93 ; 圖8係由圖7的線ΠΙ-ΙΙΙ看去的基板剖面圖； 圖9係由圖7的線IV-IV看去的孔92剖面圖； 圖1 0以平面圖說明複數個孔组9 4 ; 圖1 1以平面圖說明設置在孔9 2周圍的六孔9 3 ; 圖12以剖面圖說明上面已形成另一感光膜1〇的基板； 圖1 3係圖1 2中所示區域E的放大圖； 圖1 4以剖面圖說明已形成導電膜1 1之後的基板； 圖1 5以平面圖說明已將導電膜1 1分成各晝素區之後的基 板； 圖1 6係由圖1 5的線V - V看去的基板剖面圖； 圖1 7係感光膜9的平面圖’該感光膜為一範例，將其定 -22- 1305583 (19) 圖案俾便留下許 及97 ; 圖1 8係由圖1 7 圖1 9係由圖1 7 圖2 0以圖表說 一實質固定寬度 起921及931(其互 圖2 1係圖2 0所 圖2 2以平面圖 圖2 3以剖面圖 具一寬度Wl，Μ 具有一寬度W2， 圖2 4以圖表說 的液晶顯'^态的 圖式代表符號說 7 8 2 3 4 5 6 9, 10 10a, 10b 發明說明續頁 多突起921及93 1，以取代分割區物9 5， 的線VI-VI看去的感光膜剖面圖； 的線VII-VII看去的感光膜剖面圖； 明具有分割區（其以網狀形式連續並 W)的液晶顯示器（見圖7)特性，及具 相分開）的液晶顯示器（見圖1 7)特性； 示圖表的測量說明； 說明各具多樣寬度的分割區； (a)說明圖22所示分割區95’的一部分 .以剖面圖（b)說明分割區95’的一部分 圖（a)及（b)係垂直配置。 明圖7的液晶顯示器的反射特性，及 反射特性。 明 閘極 閘極匯流排 源極 汲極 源極匯流排 半導體層 閘極絕緣膜 感光膜 凹下 96， 各具 有突 ，其 ，其 圖22 -23 - 1305583 ^_ (20) 發明說明續頁 1 la, lib 11 導電膜 12 校準層 50 薄膜電晶體 5 1 TFT基板組件 52 色彩濾波器基板組件 53 液晶層 54 液晶顯示裝置 91, 92, 93 92\ 935 孔 94, 94\ 940 孑L組 95, 96，97 95、96” 分割區 110 反射電極 300 液晶面板 921, 931 突起 950 凹.槽 -24-

Claims (1)

1. I3055®91134605號申請專利範圍修正本 拾、申請專利範圍 包括形成一下層之步 ，其特徵為形成該下 1.—種形成一反射器組件之方法 驟，及於該下層形成該反射器組件之步 層之步驟包括以下步驟； _形成一第一膜； 膜上已形成複數 -於該第一臈中形成複數個孔；及 -於該第一臈上形成一第二膜，其中該第 =形成複數個孔之步驟係在該第―膜上形成複數個孔之 I實！膜上形成複數個分割區，該複數個分割區各 貝固疋見度，並將該複數個孔之相鄰孔分開；及 其中該複數個分割區中至少數個之寬度實質互等。 f支為專利範圍第1項之形成—反射器組件之方法，其特 徵為该複數個分割區中至少數個之寬度係在3 _至6㈣含3 μιη及6 μηι)之範圍内。 料」.如中請專利範㈣1項之形成—反射器組件之方法，其特 ^ ’’’、、形成複數個孔之該步驟令，係以於該第—膜上形成該複 固孔之方式，俾便於該第一膜上形成複數個孔組， 其中該孔組各包㈣健個孔之H及至少三個第二 孔；及 — 其中於該第一孔周圍配置該至少三個第二孔。 4·如申請專利範圍第3項之形成一反射器紐件之方法，其特 A32389TWF2 κ|#(2〇〇81〇15) 1305583 申請專利範鬮纜頁 徵為§亥弟二孔的數目係七個。 5. 如申請專利範圍第…項中之任—項之形成—反射器組 件之方法’其特徵為形成該第一膜之步驟為形成一感光膜之步 驟，及形成該複數個孔之步驟係以於該感光财形成複數㈣ 割區之方式將該感光膜定圖案之步驟，該複數個孔各具有—實 質固定寬度，並將該複數個孔相鄰之孔分開， 、 其中該複數個分割區中至少數個之寬度實質互等。 6. -種反射結構，其包括複數個反射器組件，及一下層用 以使用預設形式提供給該反射器組件，其特徵為該下層包1 具有複數個孔之第-膜，及於該第一膜上形成之第二膜，其中 該複數個孔中至少數個’其至少部分各由該第二膜之_ 補，其中該第-膜包括複數個分割區，該複數個分割區各呈有 一實質固定寬度，並將該複數個孔相鄰之孔分開，及其中該 數個分割區中至少數個之寬度實質互等。 —7·如申請專利範圍第6項之反射結構，其特徵為該複數個分 副區之寬度範圍從3 μπι至6 μιη(含3 μηι及6 μηι在内）。 8.如申請專利範圍第6項之反射結構，其特徵為以於該第— 膜中形成複數個孔組之方式’於該第一膜中形成該複數個孔， 其中該孔組各包括該複數個狀—第—孔及至少三個 孔；及 —乐一 其中於該第一孔周圍配置該至少三個第二孔。 孔的 9 ·如申請專利範圍第8項之反射結構，其特徵為該第 數目為七個。 A32389TWF2 送件(20081015) ^2- 1305583 申請專利範圍續頁 10. 如申請專利範圍第6項之反射結構，其特徵為該第一及 第二膜由一感光樹脂所形成。 11. 一種液晶顯示裝置，其具有如申請專利範圍第6至10項 中任一項所述之反射結構。 A32389TWF2 送件(20081015)