KR100911959B1 - 반사체 형성 방법, 반사 구조체 및 액정 표시 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명의 목적은 화상의 품질의 향상에 기여하는 반사체 형성 방법과, 이 반사체 형성 방법이 적용되는 반사 구조체 및 액정 표시 장치를 제공한다. 복수의 홀(92, 93)은 감광성 막(9)을 노광시키고 현상함으로써 형성된다. 감광성 막(10)은 복수의 홀(92, 93)이 형성된 감광성 막(9) 위에 형성된다. 반사 전극(110)은 감광성 막(10) 위에 형성된다.

Description

반사체 형성 방법, 반사 구조체 및 액정 표시 장치{A METHOD OF FORMING A REFLECTOR MEMBER, A REFLECTIVE STRUCTURE AND LIQUID CRYSTAL DISPLAY DEVICE}

본 발명은, 반사체(reflector member)를 형성하는 방법, 반사 구조체(reflective structure) 및 액정 표시 장치에 관한 것이다.

반사형 액정 표시 장치 등과 같은 반사 전극 또는 반사판(reflector)을 포함하는 액정 표시 장치에서 표시되는 화상의 품질을 향상시키기 위해서, 반사 전극이나 반사판에 때로는 오목부(recesses) 또는 볼록부(projections)가 제공된다. 반사 전극이나 반사판에 오목부 또는 볼록부를 제공하기 위해서, 이 반사 전극 또는 반사판을 형성하기 전에 감광성 수지를 도포하고, 도포된 감광성 수지를 사전 결정된 형상으로 패터닝한다.

감광성 수지를 사전 결정된 형상으로 패터닝함으로써 반사 전극 또는 반사판에 오목부 또는 볼록부를 제공할 수 있지만, 감광성 수지를 단순하게 패터닝했다면, 액정 표시 장치에 의해서 표시되는 화상의 품질을 향상시키기 어렵다.

본 발명의 목적은 화상의 품질의 향상에 기여하는 반사체 형성 방법, 및 이 반사체 형성 방법이 적용된 반사 구조체 및 액정 표시 장치를 제공하는 것이다.

목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 반사체 형성 방법은, 베이스층을 형성하는 단계와 베이스층 위에 반사체를 형성하는 단계를 포함하고, 위의 베이스층 형성 단계는, 제 1 막을 형성하는 단계와, 제 1 막에 복수의 홀(hole)을 형성하는 단계와, 복수의 홀이 형성된 제 1 막 위에 제 2 막을 형성하는 단계를 포함하되, 복수의 홀을 형성하는 단계는 실질적으로 일정한 폭을 갖는 복수의 구획을 형성하여 복수의 홀 중 인접한 홀들을 분리시키게 하는 방식으로 제 1 막 내에 복수의 홀을 형성하는 단계이고, 복수의 구획 중 적어도 일부의 폭은 서로 실질적으로 동일하다.

본 발명에 따른 반사체 형성 방법에서는, 베이스층을 형성하기 위해서 제 1 막을 형성하고, 이 제 1 막 내에 복수의 홀을 형성한다. 복수의 구획이 제 1 막 내에 형성되게 하는 방식으로 복수의 홀을 제 1 막 내에 형성한다. 복수의 홀은 각각 인접하는 복수의 홀 사이에 실질적으로 일정한 폭을 갖고, 복수의 홀의 인접한 홀들을 분리시킨다. 또한, 복수의 구획의 적어도 일부 구획의 폭은 서로 거의 동일하다. 베이스층에는 구획을 갖는 제 1 막이 제공되어 있기 때문에, 베이스층 위에 형성된 반사체의 형상은 구획의 형상에 의해 영향을 받는 것에 의해서, 구획의 크기 등이 조정되어 반사체에 의해 반사되는 광의 반사 방향을 조정하는 것이 가능해진다. 따라서, 반사체를 예컨대 액정 표시 장치에 적용한 경우, 이 액정 표시 장치가 표시하는 화상의 품질을 향상시키는 것이 가능해진다.

본 발명에 따른 반사체 형성 방법은, 복수의 구획 중 적어도 일부의 폭의 범위가 3 ㎛ 내지 6 ㎛인 것이 바람직하다. 구획의 폭을 상술된 범위 내로 설정함으로써 반사체에 의해서 반사되는 광의 반사 방향을 용이하게 조정할 수 있다.

본 발명에 따른 반사체 형성 방법은, 복수의 홀의 형성 단계에서 복수의 홀의 세트가 제 1 막 내에 형성되는 방식으로 제 1 막 내에 복수의 홀을 형성하는 것이 바람직하고, 여기에서 각각의 홀 세트는 복수의 홀 중의 1개의 제 1 홀과 적어도 3개의 제 2 홀을 포함하고, 적어도 3개의 제 2 홀은 제 1 홀 주위에 정렬된다. 복수의 홀 세트를 형성함으로써, 제 1 막 내에 다수의 홀을 높은 밀도로 형성할 수 있다. 제 1 막 내에 다수의 홀을 형성함으로써, 반사체에 의해서 반사되는 광의 정반사 성분(specular reflection component)을 감소시킬 수 있다.

본 발명에 따른 반사체 형성 방법은 제 2 홀의 개수가 7개인 것이 바람직하다. 이 방법에서, 액정 표시 장치에 반사체를 제공하면, 액정 표시 장치의 반사체에 의해서 반사되는 광의 간섭을 효과적으로 방지할 수 있다.

본 발명에 따른 반사체 형성 방법에서, 제 1 막을 형성하는 단계는 감광성 막을 형성하는 단계이고, 복수의 홀을 형성하는 단계는 복수의 구획이 감광성 막 내에 형성되는 방식으로 감광성 막을 패터닝하는 단계-복수의 구획은 각각 거의 일정한 폭을 갖고 복수의 홀의 인접한 홀들을 분리시킴-이며, 복수의 구획의 적어도 일부의 구획의 폭은 서로 거의 동일한 것이 바람직하다. 제 1 막으로서 감광성 막을 형성하고 이 감광성 막을 패터닝했다면, 용이하게 감광성 막에 구획을 제공할 수 있다.

본 발명에 따른 반사 구조체는 복수의 반사체와, 반사체에 사전 결정된 형상을 갖게 하기 위한 베이스층을 포함하고, 베이스층이 복수의 홀을 갖는 제 1 막과, 제 1 막의 위에 형성된 제 2 막을 포함하고, 복수의 홀의 적어도 일부의 홀 각각의 적어도 일부분이 제 2 막의 재료로 충진되고, 제 1 막이 복수의 구획-복수의 구획의 각각은 거의 일정한 폭을 갖고 복수의 홀의 인접한 홀들을 분리시킴-을 포함하며, 복수의 구획의 적어도 일부의 구획의 폭은 서로 거의 동일한 것을 특징으로 한다.

또한 본 발명에 따른 반사 구조체는 복수의 구획 중 적어도 일부의 폭의 범위는 3 ㎛ 내지 6 ㎛인 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 반사 구조체에서는 복수의 홀의 형성 단계에서 복수의 홀의 세트가 제 1 막 내에 형성되는 방식으로 제 1 막 내에 복수의 홀을 형성하는 것이 바람직하고, 여기에서 각각의 홀 세트는 복수의 홀 중의 1개의 제 1 홀과 적어도 3개의 제 2 홀을 포함하고, 적어도 3개의 제 2 홀은 제 1 홀 주위에 정렬된다.

본 발명에 따른 반사 구조체는 제 2 홀의 개수가 7개인 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 반사 구조체는 제 1 막 및 제 2 막이 감광성 수지로 형성되는 것이 바람직하다.

본 발명에 따른 액정 표시 장치는, 청구항 6 내지 청구항 10 중 어느 한 항에 기재된 반사 구조체를 구비한 것을 특징으로 한다.

도 1은 본 발명에 따른 반사체 형성 방법의 일례를 이용하여 형성된 반사 전극을 포함하는 액정 표시 장치의 부분 단면도,

도 2는 유리 기판(1) 상에 게이트 전극(7) 및 게이트 버스(8)가 형성된 직후의 형상을 나타내는 평면도,

도 3은 도 2의 Ⅰ-Ⅰ선을 따라서 절단된 기판(1)의 단면도,

도 4는 감광성 막이 형성된 기판의 단면도,

도 5는 패터닝된 감광성 막(9)을 갖는 기판의 평면도,

도 6은 도 5의 Ⅱ-Ⅱ선을 따라서 절단된 기판의 단면도,

도 7은 감광성 막(9) 내에 형성된 수 개의 홀(92, 93)을 나타내는 평면도,

도 8은 도 7의 Ⅲ-Ⅲ선을 따라서 절단된 홀의 단면도,

도 9는 도 7의 Ⅳ-Ⅳ선을 따라서 절단된 홀의 단면도,

도 10은 복수의 홀 세트(94)를 도시하는 평면도,

도 11은 홀(92)의 주위에 마련된 6개의 홀(93)을 도시하는 평면도,

도 12는 감광성 막(10)이 형성된 기판의 단면도,

도 13은 도 12에 도시된 영역 E의 확대도,

도 14는 도전막(11)이 형성된 후의 기판을 도시하는 단면도,

도 15는 도전막(11)을 각 화소 영역마다 분리한 후의 기판을 도시하는 평면도,

도 16은 도 15의 Ⅴ-Ⅴ선을 따라서 절단된 기판의 단면도,

도 17은 구획(95, 96, 97) 대신에 다수의 볼록부(921, 931)가 잔류하도록 패터닝된 감광성 막(9)의 일례를 도시하는 평면도,

도 18은 도 17에 도시된 Ⅵ-Ⅵ선을 따라서 절단된 감광성 막의 단면도,

도 19는 도 17에 도시된 Ⅶ-Ⅶ선을 따라 절단된 감광성 막의 단면도,

도 20은 그물 형상(mesh form) 내에서 연속되어 있고 대략 일정한 폭(W)을 갖는 구획을 갖는 경우(도 8 참조) 및 서로 분리되어 있는 볼록부(921, 931)를 갖는 경우(도 17 참조)에 액정 표시 장치의 특성을 나타내는 그래프,

도 21은 도 20에 도시된 그래프의 측정 방법을 나타내는 도면,

도 22는 각각 상이한 폭을 갖는 구획에 대한 평면도,

도 23은 (a)는 도 22에 도시되고 폭(W1)을 갖는 구획(95')의 부분에 대한 단면도이고, (b)는 폭(W2)을 갖는 구획(95')의 부분에 대한 단면도-(a) 및 (b)는 수직으로 정렬됨-를 도시하는 도면,

도 24는 도 7의 액정 표시 장치의 반사 특성과, 도 22의 액정 표시 장치의 반사 특성을 나타내는 그래프.

이하에서 본 발명의 실시예에 대해 설명한다.

도 1은 본 발명에 따른 반사체 형성 방법의 일례를 이용하여 형성된 반사 전극을 포함하는 액정 표시 장치의 부분 단면도이다. 이 실시예에서는, 본 발명에 따른 반사체 형성 방법을 이용하여 액정 표시 장치 내에 반사 전극을 형성하는 예 에 대해서 설명하고 있지만, 본 발명에 따른 반사체 형성 방법을 이용하여 액정 표시 장치이외의 장치 내에 반사 전극을 형성할 수도 있다.

액정 표시 장치(54)는 TFT(50), 반사 전극(본 발명에 따른 반사체의 일례임)(110) 등을 갖는 TFT 기판 조립체(51)(본 발명에 따른 반사 구조체의 일례임)를 포함한다. 이 TFT 기판 조립체(51)에는 배향막(12)이 형성되어 있다. 이 액정 표시 장치(54)는 컬러 필터 등을 갖는 컬러 필터 기판 조립체(52)를 포함한다. 컬러 필터 기판 조립체(52)의 구조는 본 실시예의 특징적인 부분과는 무관하기 때문에, 도 1에는 간단하게 도시되어 있다. TFT 기판 조립체(51)와 컬러 필터 기판 조립체(52) 사이에는 액정층(53)이 제공되어 있다. 도 1에 도시된 TFT 기판 조립체(51)의 영역 Z는, 후술하는 도 2 내지 도 6, 도 12, 도 14, 도 15 및 도 16에 도시된 영역 Z에 대응되는 영역이다.

이하에서, 본 실시예의 특징적인 부분인 반사 전극(110)을 갖는 TFT 기판 조립체(51)의 제조 방법에 관하여 설명한다.

도 2는 유리 기판(1) 상에 게이트 전극(7) 및 게이트 버스(8)가 형성된 직후의 형상을 나타내는 평면도이다. 도 3은 도 2의 Ⅰ-Ⅰ선을 따라서 절단된 기판(1)의 단면도이다.

도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 유리 기판(1) 상에, 소스 전극(2), 드레인 전극(3), 소스 버스(4), 반도체층(5)(예를 들면, α-Si 등), 게이트 절연막(6), 게이트 전극(7) 및 게이트 버스(8)를 형성한다. 도 2에 나타낸 바와 같이, 소스 버스(4)는 y 방향으로 연장되도록 형성되고, 게이트 버스(8)는 x 방향으로 연장되 도록 형성되어 있다. 게이트 절연막(6)에는, 드레인 전극(3)의 일부를 노출하기 위한 직사각형 윈도우(6a)가 형성되어 있다. 게이트 전극(7) 및 게이트 버스(8)를 형성한 후, 감광성 막을 형성할 것이다(도 4 참조).

도 4는 감광성 막이 형성된 기판의 단면도이다.

이 감광성 막(본 발명에 따른 "제 1 막"에 대응됨)(9)은 감광성 수지를 예컨대 스핀 코팅법으로 도포하고, 도포된 감광성 수지를 프리베이킹(prebaking)하는 것에 의해 형성된다. 감광성 막(9)을 형성한 후, 이 감광성 막(9)을 노광하고, 노출된 막(9)을 현상하며, 현상된 막(9)을 포스트베이킹(postbaking)하는 것에 의해 이 감광성 막(9)을 패터닝한다(도 5 및 도 6 참조).

도 5는 패터닝된 감광성 막(9)을 갖는 기판의 평면도이고, 도 6은 도 5의 Ⅱ-Ⅱ선을 따라서 절단된 기판의 단면도이다.

본 실시예에서는, 도 6에 도시된 바와 같이, 감광성 막(9)에 홀(91)뿐만 아니라 다수의 홀(92, 93)이 형성하도록 감광성 막(9)이 패터닝되어 있다. 도 5에서는 감광성 막(9)의 제거되지 않은 부분(즉, 감광성 막(9)의 잔류물)이 사선으로 도시되어 있고, 감광성 막(9) 내에 형성된 홀(92, 93)이 비사선형 다각형으로 도시되어 있다. 감광성 막(9) 내에 홀(92, 93)을 형성함으로써 이 감광성 막(9)을 그물 형상으로 패터닝한다. 홀(92, 93)은 사전 결정된 원칙에 따라서 형성된다. 이하에, 이 사전 결정된 원칙에 대하여 도 7 내지 도 10을 참조하여 설명한다.

도 7은 감광성 막(9) 내에 형성된 수 개의 홀(92, 93)을 도시하는 평면도이다. 도 8은 도 7에 도시된 Ⅲ-Ⅲ선을 따라서 절단된 단면도이다. 도 9는 도 7에 도시된 Ⅳ-Ⅳ선을 따라 절단된 단면도이다. 도 7에서는 감광성 막(9) 아래에 형성되는 전극 등을 생략하고, 홀(92, 93)만을 도시하였다.

도 7에 도시된 바와 같이, 1개의 홀(92) 주위에 7개의 홀(93)이 정렬되어 있다. 이 1개의 홀(92)과 7개의 홀(93)에 의해, 8개의 홀로 이루어지는 하나의 홀 세트(94)가 구성된다. 이 실시예에서는, 도 7에 도시된 구조를 갖는 복수의 홀 세트(94)가 각각 감광성 막(9) 내에 형성되어 있다(도 10 참조).

도 10은 복수의 홀 세트(94)를 도시하는 평면도이다.

홀 세트(94)(파선으로 둘러싸인 부분)의 각각은, 6개의 홀 세트(94)로 둘러싸이게 하여 형성된다. 도 10에서는 설명의 편의상, 오직 7개의 홀 세트(94)만이 도시되어 있고, 이 도시된 7개의 홀 세트(94) 중 1개의 홀 세트(94)만이 6개의 홀 세트(94)에 의해 둘러싸여 중심에 위치되도록 도시되어 있다. 그러나 다른 홀 세트(94)도 각각 6개의 홀 세트에 의해 둘러싸일 수 있다는 것을 유의하라. 이 방식으로, 본 실시예에서는 감광성 막(9) 내에 도 7에 도시된 구조를 갖는 홀 세트(94)가 6개의 홀 세트(94)에 의해 둘러싸이도록 형성되어 있다.

도 7에 되돌아가서 설명을 계속한다.

본 실시예에서는, 홀(92)과 7개의 홀(93)을 각각 분리시키는 구획(95)이 홀(92)과 7개의 홀(93) 사이에 잔류하고, 인접한 2개의 홀(93)을 각각 분리시키는 구획(96)이 서로 인접하는 2개의 홀(93) 사이에 잔류하게 하는 방식으로 홀(92, 93)을 형성한다. 이 구획(95, 96)은 서로 분리된 것이 아니라 서로 연속되어 있다. 따라서, 홀(92)은 서로 연속되어 있는 7개의 구획(95)에 의해 둘러싸여 있다. 여기에서, 임의의 하나의 구획(95)을 고려하면, 고려되는 하나의 구획(95)의 소정 부분에서의 폭(W1)과, 고려되는 하나의 구획(95)의 다른 부분에서의 폭(W2) 사이에는 W1=W2인 관계가 있다. 도 7에는 서로 연속된 7개의 구획(95) 중 오직 하나의 구획(95)에서만, 기호 W1 및 W2가 도시되어 있지만, 다른 구획(95)도 W1=W2=W의 관계를 갖고 있다는 것을 주지하라. 즉, 구획(95)의 각각의 폭은 구획(95)의 부분에 따라 의존되는 것이 아니라, 거의 일정한 폭(W)을 갖는다.

또한, 서로 인접하는 2개의 홀(93)의 사이에 존재하는 구획(96)도, 구획(95)과 동일하게 거의 일정한 폭(W)을 갖고 있다. 이 실시예에서, 폭(W)의 값은 약 4㎛의 값을 갖는다. 또한, 이 실시예에서, 홀(92, 93)의 각각에 내접하는 내접원(Ci)(도 7에서는 오직 1개의 홀(93)의 내접원(Ci)만이 도시되어 있다)의 지름(D)이 거의 5㎛가 되게 하는 방식으로 감광성 막(9)을 패터닝한다.

또한, 도 10에 도시된 바와 같이, 서로 인접하는 2개의 홀 세트(94) 사이에는 구획(97)이 마련되어 있다. 그에 따라 이 구획(97)에 의해서 인접하는 홀 세트(94)가 분리된다. 구획(97)은 구획(95, 96)(도 7 참조)과 마찬가지로, 거의 일정한 폭(W)(대략 4㎛)을 갖고 있다.

도 5 내지 도 10에서는, 예를 들면 홀 세트(94)의 각각에 있어서 홀(92) 주위에 7개의 홀(93)이 마련되어 있지만, 홀(92) 주위에 마련되는 홀(93)의 개수는 7개로 한정되지 않는다. 이하에서, 홀(92) 주위에 7개가 아닌 다른 개수의 홀(93)이 마련된 경우의 예에 대하여, 도 11을 참조하여 설명한다.

도 11은 홀(92) 주위에 마련된 6개의 홀(93)에 대한 평면도이다.

도 11에서는, 도 5 내지 도 8과 마찬가지로, 다수의 홀 세트(940)가 마련되어 있고, 홀 세트(940)의 각각은 6개의 홀 세트(940)에 의해 둘러싸여 있다. 그러나, 도 11에서 홀 세트(940)는 1개의 홀(92)과, 이 홀(92)을 둘러싸도록 정렬된 6개의 홀(93)이 마련되어 있다. 도 11에 도시된 바와 같이, 홀(92)의 주위에 마련되는 홀(93)의 개수는 7개로 한정되지 않는다. 홀(93)의 개수는 7개보다 더 많거나 6개보다 더 작을 수 있다는 것을 주지하라. 그러나, 이 실시예에 대한 이하의 설명에서는, 1개의 홀(92)의 주위에 7개의 홀(93)이 마련되는 것으로 한다. 7개의 홀(93)이 마련되는 경우, 6개의 홀(93)이 마련된 경우에 비해서, 액정 표시 장치 내에서 발생되는 광의 간섭이 효과적으로 방지되는 이점이 있다.

홀(91, 92, 93)을 형성한 방식으로 감광성 막(9)을 패터닝함으로써, 감광성 막(9)으로 그물 형상으로 연속되어 있는 구획(95, 96, 97)을 형성한다. 감광성 막(9) 내에 홀(91, 92, 93)을 형성한 후, 다른 감광성 막(10)을 형성한다(도 12 참조).

도 12는 다른 감광성 막(10)이 형성된 기판에 대한 단면도이다. 도 13은 도 12에 도시된 영역 E의 확대도이다.

이 감광성 막(본 발명에 따른 제 2 막에 대응됨)(10)은 감광성 수지를 도포하고 프리베이킹하고, 프리베이킹된 감광성 수지를 노광하고, 현상 및 포스트베이킹함으로써 형성된다. 감광성 막(10)은 드레인 전극(3)의 일부를 노출시키기 위한 윈도우(10c)를 갖는다. 감광성 막(10) 아래에 형성된 감광성 막(9)은 다수의 홀(92, 93)(도 6 참조)을 포함하기 때문에, 감광성 막(10)의 표면에는, 홀(92, 93) 이 존재하는 것에 의한 영향으로 오목부(10a, 10b)가 형성된다. 이들 오목부(10a, 10b)에 의해서, 감광성 막(10)의 표면에 오목부와 볼록부가 형성된다. 한편, 홀(91, 92, 93)을 갖는 감광성 막(9)과 감광성 막(10)을 조합하면 본 발명에 따른 베이스층에 대응된다.

이 실시예에서, 감광성 막(10) 아래에 형성된 감광성 막(9)의 구획(95, 96, 97)의 각각의 폭(W)(도 7 및 도 10 참조)은 서로 거의 동일하도록 설정되어 있다. 따라서, 도 13에 도시된 바와 같이, 오목부(10a)의 최대 경사각(α1)과 오목부(10b) 표면의 최대 경사각(β1)은 대략 동일하게 된다. 이 실시예에서, α1 = β1 = 10°이다. 또한, 오목부(10a)의 최하점(Pa)에서의 경사각 및 오목부(10b)의 최하점(Pb)에서의 경사각은 모두 영(0)이다. 따라서, 오목부(10a)의 표면의 경사각(α)의 범위는 0°≤α≤10°이며, 오목부(10b)의 표면의 경사각(β)의 범위도, O°≤β≤10°이다. 따라서, 오목부(10a)의 표면의 경사각(α)의 범위와, 오목부(10b)의 표면의 경사각(β)의 범위는 거의 동일한 범위이다. 감광성 막(10)을 형성한 후, 이 감광성 막(10)을 덮도록 도전막을 형성한다(도 14 참조).

도 14는 도전막(11)이 형성된 후의 기판에 대한 단면도이다.

도전막(11)은 후술되는 반사 전극(110)(도 15 및 도 16 참조)으로서 사용되기 때문에, 도전성을 갖는 것뿐만 아니라, 반사율이 높도록 요구된다. 이 실시예에서는 도전막(11)이 도전성뿐만 아니라 높은 반사율을 갖게 하기 위해서, 이 도전막(11)을 Mo(Molybdenum)를 주성분으로 하는 Mo층과, Al(aluminum)을 주성분으로 하는 Al층으로 이루어지는 다층막(2층막)으로 구성하고 있다. Mo층과 Al층을 갖는 다층막 대신에, 다른 재료를 갖는 다층막을 이용하는 것도 가능하다. 또한, 이 도전막(11)은, 3층 이상의 다층막일 수도 있고, Al을 주성분으로 하는 단층 Al막이나 Ag를 주성분으로 하는 단층 Ag막일 수도 있다.

감광성 막(10)에는 윈도우(10c)(도 12 참조)가 형성되어 있기 때문에, 이 도전막(11)은 드레인 전극(3)과 접속된다. 도전막(11) 밑에는 감광성 막(10)이 형성되어 있기 때문에, 이 도전막(11)은 감광성 막(10)의 오목부(10a, 10b)(도 12 참조)의 형상에 영향을 받아, O° 내지 10°의 범위 내의 경사각을 갖는 오목부(11a, 11b)가 형성된다. 이와 같이 도전막(11)이 형성된 후, 리소그래피 단계에 의해서 이 도전막(11)을 제각기 화소 영역으로 분리한다(도 15 및 도 16 참조).

도 15는 도전막(11)을 제각기 화소 영역으로 분리한 후, 기판에 대한 평면도이다. 도 16은 도 15에 도시된 Ⅴ-Ⅴ선을 따라 절단된 단면도이다.

도전막(11)을 각 화소 영역마다 분리함으로써, 도 15에 도시된 바와 같이, 오목부(11a, 11b)를 포함하는 직사각형 반사 전극(사선으로 도시되어 있음)(110)이 형성된다. 이 방식으로 TFT 기판 조립체(51)를 제조한다. 반사 전극(110)은 감광성 막(10)의 오목부(10a, 10b)의 형상에 따라서 형성되기 때문에, 반사 전극(11O)의 오목부(11a) 표면의 경사각(α')은 O°≤α'≤10°이며, 반사 전극(110)의 오목부(11b) 표면의 경사각(β')도 0°≤β'≤10°이다. TFT 기판 조립체(51)가 제조된 후에, 이 TFT 기판 조립체(51) 위에 배향막(12)(도 1 참조)이 형성된다.

이 실시예에서는, 도 5 내지 도 10에 도시된 바와 같이, 그물 패턴의 형상으로 연속되는 거의 일정한 폭(W)을 갖는 구획(95, 96, 97)을 형성하는 방식으로 감 광성 막(9)을 패터닝한다. 이러한 구획(95, 96, 97)을 마련하는 것에 의해, 액정 표시 장치(54)의 반사 특성을 향상시킬 수 있다. 이와 대조적으로, 그물 패턴 형상으로 연속하고 거의 일정한 폭(W)을 갖는 구획(95, 96, 97) 대신에, 서로 분리되어 있는 복수의 볼록부를 형성하는 방식으로 감광성 막(9)을 패터닝하는 다른 방법(후술되는 도 17 내지 도 19 참조)도 고려되지만, 이 다른 방법으로 반사 특성을 향상시키는 것은 어려운 일이다. 이하에서는, 이 반사 특성간의 차이에 대해 도 17 내지 도 20을 참조하여 설명한다.

도 17은 구획(95, 96, 97) 대신에 다수의 볼록부(921, 931)를 형성하는 방식으로 패터닝된 감광성 막(9)의 일례를 도시하는 평면도이다. 도 18은 도 17에 도시된 Ⅵ-Ⅵ선을 따라 절단된 단면도이다. 도 19는 도 17에 도시된 Ⅶ-Ⅶ선을 따라 서 절단된 감광성 막의 단면도이다.

앞서 설명된 실시예에서는, 그물 형상으로 연속하고 각각 거의 일정한 폭(W)을 갖는 구획(95, 96, 97)을 형성하기 위해서 감광성 막(9)에 홀(92, 93)을 형성했지만(도 7 참조), 도 17에서는 서로 분리되는 볼록부(921, 931)(사선으로 도시된 영역)를 형성하기 위해서 감광성 막(9) 내에 그물 형상으로 연속하는 홈(groove)(950)(사선으로 도시되지 않은 영역)이 형성된다. 즉, 도 7에서 감광성 막(9)의 제거된 부분(즉, 홀(92, 93))은 도 17에서 감광성 막(9)이 잔류하는 부분(즉, 볼록부(921, 931))에 대응된다. 도 7에 있어서 감광성 막(9)의 잔류하는 부분(구획(95, 96))은 도 17에서 감광성 막(9)이 제거되는 부분(즉, 홈(950))에 대응된다. 다시 말해, 구획(95, 96, 97)이 형성되어 있는 감광성 막(9)의 패턴과 구 획(921, 931)이 형성되어 있는 감광성 막(9)의 패턴 사이에는 역관계가 성립된다. 그러므로, 반사 전극(110)의 오목부 및 볼록부의 패턴은 구획(95, 96, 97)(도 7 참조) 또는 볼록부(921, 931)(도 17 참조)가 형성되는지 여부에 따라 그에 반전하여 변경된다. 반사 전극의 오목부 및 볼록부의 패턴이 반전하여 변경되는 경우, 액정 표시 장치의 반사 특성은 도 20에 도시된 바와 같이 그에 따라 변경된다.

도 20은 그물 형상으로 연속하고 거의 일정한 폭(W)을 갖는 구획이 마련된 경우(도 7 참조)에 액정 표시 장치의 반사 특성과, 서로 분리된 볼록부(921, 931)가 마련된 경우(도 17 참조)에 액정 표시 장치의 반사 특성을 나타내는 그래프이다. 도 21은 도 20에 도시된 그래프의 측정 방법에 대한 설명도이다.

도 20에 도시된 그래프는 액정 표시 장치의 액정 패널(300)에 -30°로 외부광(302)이 입사되었을 때, 이 액정 표시 장치의 액정 패널(300)을 바라보는 사용자(301)의 시야각에 관한 반사 특성을 나타낸다. 그래프의 가로축은 시야각이며, 세로축은 반사율이다. 실선은 그물 형상으로 연속하고 거의 일정한 폭(W)을 갖는 구획(95, 96, 97)(도 7 및 도 10 참조)이 마련된 액정 표시 장치(이하에서는, 간단하게 "도 7의 액정 표시 장치"로 지칭함)의 반사 특성이다. 파선은 서로 분리된 볼록부(921, 931)(도 17 참조)가 마련된 액정 표시 장치(이하에서는, 간단하게 "도 17의 액정 표시 장치"로 지칭함)의 반사 특성을 나타낸다. 도 7의 액정 표시 장치에 있어서 구획(95, 96, 97)의 폭(W)은 W=4.1㎛이다. 도 17의 액정 표시 장치에서 홈(950)의 폭 G는 G=4.1㎛이다.

액정 표시 장치에 의해 표시되는 화상의 품질을 향상시키기 위해서는, 대략 30°의 시야각에서 광(303)의 반사율(정 반사 성분)을 작게 하고, 대략 0°의 시야각에서 광(304)의 반사율을 크게 하는 것이 바람직하다. 그러나 도 17의 액정 표시 장치에서는, 대략 30°의 시야각에서의 반사율(정 반사 성분)이 매우 커져서, 화상의 품질을 향상시키기 어렵다. 이와는 대조적으로, 도 7의 액정 표시 장치는 도 17의 액정 표시 장치에 비해서, 거의 30°의 시야각에서의 반사율(정 반사 성분)이 감소되고, 거의 0°의 시야각에 있어서의 반사율이 증가하고 있다. 따라서, 화상의 품질을 향상시킬 수 있다. 도 7의 액정 표시 장치가 도 17의 액정 표시 장치에 비해서 거의 30°의 시야각에의 반사율(정 반사 성분)이 감소하고, 거의 O°의 시야각에서의 반사율이 증가하는 원인을 아래와 같이 생각할 수 있다.

도 17의 액정 표시 장치에서는, 서로 분리된 볼록부(921, 931)를 마련하기 위해서, 감광성 막(9)에 그물 형상으로 연속하는 홈(950)을 형성해야 한다. 그러므로, 이러한 그물 형상으로 연속하는 홈(950)이 형성된 조건 하에서, 감광성 막(10)(도 12 참조)의 재료인 감광성 수지를 도포하면, 도포된 수지의 일부가 홈(950)에 들어간다. 이 수지는 유동성을 갖기 때문에, 이 홈(950)에 들어간 수지는, 홈(950) 전체에 걸쳐 수평적으로 확산된다. 결과적으로, 홈(950)에 들어간 감광성 막(10)의 부분은 수평 표면을 갖기 쉽다. 감광성 막(10)이 수평 표면을 포함하면, 반사 전극(110)도 감광성 막(10)의 형상에 의해 영향을 받기 때문에 수평 표면을 갖게 된다. 수평 표면을 갖는 반사 전극(110)의 부분은 경사각이 0이기 때문에, 수평 표면을 갖는 반사 전극(110)의 부분에 입사된 광은 정 반사 방향(즉, 30°의 시야각 방향)으로 반사된다. 이 때문에, 도 17의 액정 표시 장치는 거의 30 °의 시야각에 있어서의 반사율(정 반사 성분)이 증가될 것으로 생각된다.

한편, 도 7의 액정 표시 장치에서, 그물 형상으로 연속하고 거의 일정한 폭(W)을 갖는 구획(95, 96, 97)을 형성하기 위해서, 감광성 막(9) 내에 서로 분리되는 다수의 홀(92, 93)이 형성되어 있다. 그러므로, 이러한 서로 분리되는 다수의 홀(92, 93)이 형성된 조건 하에서, 감광성 막(10)(도 12 참조)의 재료인 감광성 수지를 도포하면, 도포된 수지의 일부는 다수의 홀(92, 93)의 각각의 내부에 들어간다. 이 다수의 홀(92, 93)은 서로 분리되어 있기 때문에, 임의의 하나의 홀(92 또는 93)의 내부에 들어간 수지는 다른 홀(92 또는 93)로 이동할 수 없다. 그러므로, 임의의 하나의 홀(92 또는 93)의 내부에 들어간 수지는 수평적으로 확산되지 않을 것이다. 결과적으로, 반사 전극(110) 내에는 수평 표면이 형성되기 어렵게 되어, 거의 30°의 시야각에서의 반사율(정 반사 성분)이 감소되고, 거의 O°의 시야각에서의 반사율이 증가한다고 생각된다.

도 17의 액정 표시 장치에 있어서, 홈(950)의 폭(G)을 좁게 하면(예컨대 약 1㎛ 정도), 거의 30°의 시야각에서의 반사율(정 반사 성분)을 어느 정도 감소시킬 수 있지만, 홈(950)의 폭을 약 1㎛로 설정해야 한다면, 고해상도의 노광기를 준비하고, 이 고해상도의 노광기로 감광성 막(9)을 노광해야 한다. 그러나 고해상도의 노광기는 고가이므로 설비 비용이 높아진다. 이와는 대조적으로, 이 실시예에서는, 폭(W)의 값이 대략 4㎛이며, 내접원(Ci)의 직경(D)의 값이 대략 5㎛이기 때문에(도 7 참조), 고해상도의 노광기를 이용하지 않더라도, 구획(95, 96, 97)의 폭(W)을 높은 정밀도로 거의 일정한 값으로 유지할 수 있어, 설비 비용을 줄일 수 있다.

이 실시예에서는, 구획(95, 96, 97)이 각각 거의 일정한 폭(W)을 갖고 있다. 구획(95, 96, 97)의 폭(W)의 값을 일정하게 하면, 구획(95, 96, 97)의 각 폭이 일정한 폭(W)이 아닌 연속적으로 변화한다고 가정한 경우에 비해서 반사 전극(110)에 의해서 반사되는 광을 보다 효율적으로 이용할 수 있다는 이점이 있다. 이하에서, 이 이점에 대하여, 구획(95, 96, 97)의 각 폭이 연속적으로 변하는 것으로 가정한 경우와 비교하면서 도 22 내지 도 24를 참조하여 설명할 것이다.

도 22는 구획의 폭이 연속적으로 변하는 경우에 대한 평면도이다. 도 23에서, (a)는 도 22에 도시된 폭(W1)을 갖는 구획(95')의 부분에 대한 단면도이고, (b)는 폭(W2)을 갖는 구획(95')의 부분에 대한 단면도이고, (a) 및 (b)는 수직하게 배열된다.

도 22에 도시되는 각각의 홀 세트(94')는, 도 7에서와 같이, 1개의 홀(92')과, 이 홀(92') 주위에 배치된 7개의 홀(93')을 포함한다. 그러나 각 홀(92', 93')의 형상은 도 7과는 달리 거의 원형이다. 그러므로, 홀(92')과 홀(93') 사이를 분리시키는 임의의 하나의 구획(95')을 고려하면, 고려되는 하나의 구획(95')의 중심 부분의 폭(W2)은, 고려되는 하나의 구획(95')의 이 중심 부분으로부터 떨어져 있는 부분의 폭(W1)과 다르다. 즉, 구획(95')의 폭은 이 구획(95')의 부분에 따라서 연속적으로 변한다(즉, 구획(95')의 폭은 변동됨). 구획(96')의 폭도 또한 구획(95')의 폭에서와 마찬가지로 변한다. 도 22에는 도시되어 있지 않지만, 인접하는 홀 세트(94')를 구획하는 구획의 폭도, 구획(95', 96')의 폭과 마찬가지로 연속 적으로 변한다는 것을 유의하라.

도 23을 참조하면, 단면도(a)에 도시된 구획(95')의 폭(W1)은, 단면도(b)에 도시된 폭(W2)보다 더 크기 때문에, 단면도(a)의 경사는 완만한 한편, 단면도(b)의 경사는 급격하다는 것을 알 수 있다. 임의의 하나의 구획 내에 경사가 완만한 부분과 급격한 부분이 혼재하는 액정 표시 장치(이하에서, "도 22의 액정 표시 장치"로 지칭함)의 반사 특성은, 구획(95, 96, 97)이 잔류되어 있는 도 7의 액정 표시 장치의 반사 특성과는 상이하다. 이하에서, 이 반사 특성의 차이에 대해서 설명한다.

도 24는 도 7에 도시된 액정 표시 장치의 반사 특성 및 도 22에 도시된 액정 표시 장치의 반사 특성을 나타내는 그래프이다.

이 그래프는 도 20의 경우와 마찬가지로 -30°의 각도로 액정 표시 장치에 외부광(302)을 입사시켰을 때의 반사 특성을 나타낸다. 그래프의 가로축은 시야각이며, 세로축은 반사율이다. 실선은 도 7에 도시된 액정 표시 장치의 반사 특성을 나타내고, 파선은 도 22에 도시된 액정 표시 장치의 반사 특성을 나타낸다. 도 7에 도시된 액정 표시 장치에 있어서 각 구획(95, 96, 97)의 폭(W)은 W=3.7㎛이다. 도 22에 도시된 액정 표시 장치에 있어서 구획(95')의 중심 부분의 폭(W2)은 W2=3㎛이고, 구획(96')의 중심 부분의 폭(W2)은 W2=2㎛이다.

도 22의 액정 표시 장치에서는, 임의의 하나의 구획에 경사가 완만한 부분과 급격한 부분을 모두 갖기 때문에, 반사 전극에도 경사가 완만한 부분과 급격한 부분을 모두 갖는다. 반사 전극에 경사가 완만한 부분과 급격한 부분이 모두 존재하 면, 반사 전극의 경사가 완만한 부분에서 반사된 일부 광의 반사 방향이, 경사가 급격한 부분에서 반사된 일부 광의 반사 방향의 범위과 일치하지 않기 때문에, 광을 원하는 방향으로 효율적으로 반사시키는 것이 어렵게 된다. 또한, 홀(92', 93')은 원형이기 때문에, 구획(95')의 폭(W1)은 폭(W2)보다 크다. 따라서, 인접하는 3개의 홀(92', 93')로 둘러싸인 부분(R2)(사선으로 도시된 부분)의 면적은, 도 7에 도시된 인접하는 3개의 홀(92, 93)로 둘러싸인 부분(R1)(사선으로 도시된 부분)의 면적보다도 더 클 것이다. 부분(R2)의 면적이 너무 커지면, 부분(R2)은 더 큰 수평 표면을 갖게 되어, 거의 30°의 시야각에서의 반사율(정 반사 성분)이 증가되고, 화상의 품질은 열화되기 쉽다. 그러므로, 가능한 한 부분(R2)의 면적을 작게 해야 한다. 다음으로, 도 22에 도시된 액정 표시 장치에서, 부분(R2)의 면적을 가능한 한 작게 하기 위해서, 구획(96')의 중심 부분의 폭(W2)이 작은 값(예를 들면 약 2㎛)을 갖도록, 감광성 막(9)을 노광하고 현상한다. 그러나, 도 22의 액정 표시 장치에서는, 구획(96')의 중심 부분의 폭(W2)을 약 2㎛ 정도까지 좁혀야 하므로, 감광성 막(9)을 저해상도의 노광기으로 노광하면, 서로 다른 구획(96')의 폭(W2)의 차이가 커진다. 서로 다른 구획(96')간에 폭(W2)의 차이를 작게 하기 위해서는, 고해상도의 노광기로 감광성 막(9)을 노광해야 하지만, 그렇게 되면 설비 비용이 높아진다.

이와 대조적으로, 도 7의 액정 표시 장치에서는, 임의의 하나의 구획의 폭은, 이 하나의 구획의 부분에 관계없이 거의 일정하므로, 이 하나의 구획의 소정 부분에서 광의 경사각의 범위는 이 하나의 구획의 소정 부분으로부터 떨어진 부분 에서의 경사각의 범위와 거의 동일하다. 추가하여, 서로 다른 구획의 폭이 서로 동일하므로, 하나의 구획의 경사각의 범위는 다른 구획의 경사각의 범위와 거의 동일하다. 그러므로, 도 7의 액정 표시 장치에서는 도 22에 도시되는 액정 표시 장치에 비해서 반사 전극(110)에 의해 반사되는 광의 반사 방향의 변동(또는 편차)을 감소시킬 수 있다. 결과적으로, 구획의 폭(W)을 조정함으로써, 원하는 방향으로 효율적으로 광을 반사시킬 수 있다. 또한, 도 7의 액정 표시 장치에 있어서, 하나의 구획의 폭은 이 하나의 구획의 부분에 무관하게 거의 일정하기 때문에, 도 7에 도시된 부분(R1)의 면적을 도 22에 도시된 부분(R2)의 면적보다 더 작게 하는 것이 용이하다. 그러므로, 부분(R1)은 더 작은 수평 표면을 가질 수 있어서, 거의 30°의 시야각에서의 반사율(정 반사 성분)을 효율적으로 감소시킬 수 있다. 도 24에 도시된 그래프로부터, 도 7에 도시된 액정 표시 장치는, 도 22의 액정 표시 장치에 비해서, 대략 -30° 내지 대략 -10°의 시야각에서의 반사율 및 대략 10° 내지 대략 30°의 시야각에서의 반사율이 감소하는 한편으로, 대략 0°의 시야각에서의 반사율이 증가된다는 것을 알 수 있다. 따라서, 도 7에 도시된 액정 표시 장치를 이용하는 것에 의해 화상의 품질이 향상시킬 수 있다. 또한, 도 7의 액정 표시 장치에서는 구획(95, 96, 97)의 폭(W)이 대략 4㎛이기 때문에, 고해상도의 노광기를 이용할 필요가 없다는 이점을 갖는다.

한편, 감광성 막(9) 내에 형성되는 홀(92, 93)의 개구 면적의 편차가 커지면, 그에 따라 최대 경사각(α1, β1)(도 13 참조)의 편차도 커지기 때문에, 반사 특성이 열화되기 쉽다. 그러므로, 감광성 막(9) 내에 형성되는 홀(92, 93)의 개구 면적의 편차를 가능한 한 작게 하는 것이 바람직하다. 이 실시예에서, 개구 면적의 편차는 15% 이내이다. 개구 면적의 편차가 15% 정도이면, 최대 경사각(α1, β1)의 값은 그다지 개구 면적의 영향을 받지 않기 때문에, 최대 경사각(α1, β1)을 거의 같은 값으로 설정할 수 있다.

이 실시예에서는, 구획(95, 96, 97)의 폭(W)을 대략 4㎛로 설정하고 있다. 그러나, 이 구획(95, 96, 97)의 폭(W)은 대략 4㎛로 한정되지 않으며, 폭(W)이 4㎛이상 또는 4㎛이하의 값이라고 해도, 반사 특성을 향상시킬 수 있다는 것을 유의하라. 특히, 폭(W)을 3㎛≤W≤6㎛의 범위로 설정함으로써 양호한 반사 특성을 획득할 수 있다.

또한, 본 실시예에서는, 감광성 막(9)에 거의 일정한 폭(W)을 갖는 구획(95, 96, 97)을 마련하기 위해서, 도 7 내지 도 10을 참조하면서 설명된 규칙에 따라서 홀(92, 93)을 형성하고 있다. 그러나, 본 발명에서는 인접하는 홀 사이에 존재하는 구획이 서로 거의 동일한 폭을 갖는다면, 본 발명의 목적을 벗어나지 않으면서 상술된 규칙을 변경할 수 있음을 유의하라. 예를 들면, 인접한 홀 사이의 구획이 서로 거의 동일한 폭이 되면, 감광성 막(9) 내에 형성되는 홀은 무질서하게 정렬될 수 있을 것이다.

이 실시예에서, 구획(95, 96, 97)은 각각 일정한 폭(W)을 갖는다. 그러나, 본 발명의 목적이 달성된다면, 구획(95, 96, 97) 중 일부 구획들의 폭은 도 22에 도시된 바와 같이 서로 다른 폭을 가질 수도 있음을 유의하라.

이 실시예에서, 모든 구획(95, 96, 97)은 서로 거의 동일한 폭(W)을 갖는다. 그러나, 본 발명의 목적이 달성된다면, 구획(95, 96, 97) 중 일부 구획의 폭은 구획(95, 96, 97) 중 다른 구획의 폭과 서로 다를 수 있을 것임을 유의하라.

이 실시예에서 형성된 반사 전극(110)은 광을 반사하는 반사판으로서의 역할을 하는 것뿐만 아니라, 화소 전극으로서의 역할도 갖고 있다. 그러나 본 발명은 반사 전극(110)의 제조 방법 대신에, 화소 전극 등의 전극으로서는 작용하지 않고 오직 광을 반사시키는 용도로만 사용되는 반사판의 제조 방법에도 적용될 수 있다는 것을 유의하라.

상술된 바와 같이, 본 발명은 화상의 품질의 향상에 기여하는 반사체 형성 방법과, 이 반사체 형성 방법이 적용되는 반사 구조체 및 액정 표시 장치를 제공한다.

Claims (11)

1. 베이스층을 형성하는 단계와, 상기 베이스층 위에 반사체를 형성하는 단계를 포함하는 반사체 형성 방법으로서,

   상기 베이스층을 형성하는 단계는,

   제 1 막을 형성하는 단계와,

   상기 제 1 막 내에 복수의 홀(holes)을 형성하는 단계와,

   상기 복수의 홀이 형성된 상기 제 1 막 위에 제 2 막을 형성하는 단계

   를 포함하되,

   상기 복수의 홀을 형성하는 단계는 상기 제 1 막 내에 실질적으로 일정한 폭을 갖고 상기 복수의 홀 중 인접하는 홀들을 분리시키는 복수의 구획을 형성하는 방식으로, 상기 제 1 막 내에 상기 복수의 홀을 형성하는 단계이며,

   상기 복수의 구획 중 적어도 일부 구획의 폭은 서로 실질적으로 동일한

   반사체 형성 방법.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 복수의 구획 중 적어도 일부 구획의 폭의 범위는 3 ㎛ 내지 6 ㎛인

   반사체 형성 방법.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 복수의 홀을 형성하는 단계에서는, 상기 제 1 막 내에 복수의 홀 세트를 형성하는 방식으로 상기 복수의 홀을 상기 제 1 막 내에 형성하되,

   상기 홀 세트 각각은 상기 복수의 홀 중 1 개의 제 1 홀과 적어도 3 개의 제 2 홀을 포함하고,

   상기 적어도 3 개의 제 2 홀은 상기 제 1 홀 주위에 정렬되는

   반사체 형성 방법.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 제 2 홀의 개수는 7 개인

   반사체 형성 방법.
5. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 제 1 막을 형성하는 단계는 감광성 막을 형성하는 단계이고,

   상기 복수의 홀을 형성하는 단계는 상기 감광성 막 내에 실질적으로 일정한 폭을 갖고 상기 복수의 홀 중 인접하는 홀들을 분리시키는 상기 복수의 구획을 형성하는 방식으로, 상기 감광성 막을 패터닝하는 단계이며,

   상기 복수의 구획 중 적어도 일부 구획의 폭은 서로 실질적으로 동일한

   반사체 형성 방법.
6. 복수의 반사체와, 상기 반사체에 사전 결정된 형상을 갖게 하기 위한 베이스층을 포함하는 반사 구조체로서,

   상기 베이스층은 복수의 홀을 갖는 제 1 막과, 상기 제 1 막 위에 형성된 제 2 막을 포함하고,

   상기 복수의 홀 중 적어도 몇 개의 홀 각각의 적어도 일부분은 상기 제 2 막 재료로 채워져 있고,

   상기 제 1 막은 각각 실질적으로 일정한 폭을 갖고 상기 복수의 홀 중 인접하는 홀들을 분리시키는 복수의 구획을 포함하고,

   상기 복수의 구획 중 적어도 일부 구획의 폭은 서로 실질적으로 동일한

   반사 구조체.
7. 제 6 항에 있어서,

   상기 복수의 구획 중 적어도 일부 구획의 폭의 범위는 3 ㎛ 내지 6 ㎛인

   반사 구조체.
8. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,

   복수의 홀 세트를 상기 제 1 막 내에 형성하는 방식으로 상기 복수의 홀을 제 1 막 내에 형성하되,

   상기 홀 세트 각각은 상기 복수의 홀 중 1 개의 제 1 홀과 적어도 3 개의 제 2 홀을 포함하고,

   상기 적어도 3 개의 제 2 홀은 상기 제 1 홀 주위에 정렬되는

   반사 구조체.
9. 제 8 항에 있어서,

   상기 제 2 홀의 개수는 7 개인

   반사 구조체.
10. 삭제
11. 제 6 항 또는 제 7 항에 기재된 반사 구조체를 갖는

    액정 표시 장치.

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