TWI304842B - Substrate carrier - Google Patents

Description

1304842 九、發明說明： -1 【發明所屬之技術領域】 - 本項發明是有關一種依照申請專利範圍第丨項之前今 . 的載具。 、 13 【先前技術】 基板通常是在喷激塗覆單元内被導引經過一所謂的羊巴 部，粒子是從其表面喷賤出去，接著被沈積至該基板上。 由於例如是玻璃板的基板被使用，其等會被輸送經過一直 •、線排列的喷賤塗覆單元。以上這些玻璃板則是被設定進入 至一個與一輸送裝置相連結之框架内。 一種用於輸送基板進入和經過例如是真空處理單元的 裝置已為眾人所習知，其中包含有一巨大足部由二個與— 執道相聯之車輪組和_ S樓轴承所組成（參考專利郎 4139549A1)。將被處理的該等基板在此是藉由一長方形 基板握持器之作用而被保持住。 i 另外，一種用於安裝一圓形基板的環狀基板握持器亦 為眾斤習知，此種基板握持器接著是藉由四個等距離的 刀配用握持臂而被保持住（參考專利DE 1 02 1 1 827C 1 )。 倘右握持在框架内之基板的熱膨脹係數不同於該框 的熱膨脹係數咩，I k μ、A & $ ^ 歎時，基板的邊緣處則是被不均勻塗佈和 的塗佈量過多。扃曰 ” 夕在曰曰®之情況中，此種現象被視為是，，邊緣 排斥’亦即是晶圓的周邊區域並未被塗覆。 【發明内容】 於疋，本項發明描述了提供一基板載具所產生的問題， 1304842

α問題係依據申請專利範圍第1項之特徵解決。 因此’本項發明是有關一種包含有二垂直板和二水平 的基板載具。針對該基板，為了於它輸送經過—嘴滅塗 覆早70之操作巾’不要造成它的邊緣區域不均勾的塗覆， 一杈桿配置方式是被提供於該二垂直板之間。該槓桿配置 方式是包含有至少—水平連接板，其受熱影響的膨脹量相 車父於該等水平板是較小的。 ,曰在此特別是利用一槓桿配置方式之協助’以本項發明 而得到的優點’其採用不同熱膨脹係數的作用，該等要被 塗佈之基板能夠相對於該載具框架而被對稱地握持住。 【實施方式】 本項發明之應用實施例是被表示於下 於下列圖式中被詳加描述。 圖式中並且 的載具1，其中包含一具有 6的框架。該等垂直板3、4 則例如是由鋁所 7、8、9或其他 圖一描述一用於一基板2的奉 二垂直板3、4和二水平板5、6的 例如是由鈦所組成，而該等水平板 該上側鋁板5的左側末端是藉由螺检 連結元件之作用而被連結至該鈦板3。

惠結至該鈦板4，而 此小型鋁板1 〇則是 I結元件之作用以它

水平延伸連接板20的右側末端之間，然而，此連結方式 1304842 的右側末端被連結呈該鈦板4。在環境溫度下，介於該垂 直板4與該等鋁板5、6之間是具有一間隙，其在喷濺塗 覆之操作溫度下是關閉的。於是，圖一表示出一在喷濺塗 覆操作之下的載具。 藉由一大約在該小型鋁板1〇之中央處的螺栓14或其 他類似連結元件之作用，一可旋轉的連結方式是被建立於 該小型鋁板1 〇與一鈦連接板丨5的右側末端之間。一銷、 防滑釘或其他類似連結元件是可以被用來取代螺拴14用 以握持住二部件，並且能夠導致該二部件產生相對運動或 旋轉。介於該小型鋁板與該大型鋁板5之間則並未具有任 何固定連結方式。該鋁板1〇僅於該鋁板5内被導引。藉 由一螺栓17或其他類似連結元件之作用，該鈦連接板15 的左側末端是以可旋轉之方式被連結至一垂直延伸的連接 板16的下側末端，該螺栓17或其他類似連結元件不會延 伸穿過該鋁板5。藉由一螺栓18或其他類似連結元件之作 用，一可旋轉的連結方式會被建立於此鋁板5與連接板16 的上側末端之間。該垂直連接板16並毋須包含有鈦，它 亦可以例如是由鋼或其他金屬所製成。 經由一於垂直連接板16之中央處的螺栓19或其他類 似連結元件，一種連結方式會被建立於該連接板Μ與一 並未與板5相連接。連接板2〇的該左側末端是經由一螺 栓21或其他類似連結元件而被直接連結至板$。然而，一 種介於板3與連接板2Q《間的直接連結方式μ可以被 1304842 提供。 上的結構部件是以鏡射對稱之方 上的相對應結構元件。於是，螺 被安置於該上側板5 式亦配置在位於該下側板 栓26是對應於螺栓14。 該等小型紹板1 〇、2 S I & 7m 疋月b夠個別地在該等大型鋁板5、 6上水平移動，因為它們僅 皮置放接觸於它們上，或是被 導引於它們内。 伋

因為藉由連接板15、16、2 和27、31、32所分別板 成的該專槓桿配置方式之助，介於故2 "於板3、4之間的該距離 可能得以維持固定。茈斛蛀π u ^此所特別侍到的該方式將於下文中詳 加描述。 偶右假設在圖一Φ -V Hi ® f所描述之該裝置是從大約周圍溫度 被送至該增加大約攝氏22G度之溫度，如經常於喷減塗覆 作用時’由紹所組成之全部元件的熱膨脹量較大，而由欽 所組成之部件的熱膨脹量則較小。 於是產生了介於該等個別不同部件之間的相對運動， 其基本上是會導致該等小型純10、25㈣於該等大型 銘板5、6產生—相對運動。實際上，該等小型則反ι〇、25 會分別將該板4拉向該左側，使得該原本與板3的距離能 夠維持住。 隨著溫度的增加，該等鋁板5、6是會產生大熱膨脹量。 原先存在於該等鋁板5、6與板4之間的該間隙則是因此 會關閉。由於該等鈦水平連接板2〇、32是 被連結至該等大㈣板5、6,這些鈦連接板2/3221貝^ 1304842 會連同該等紹板5、6一起往右側移動。 它們以此是能鈞在該等插輛位置 時鐘方向或順時鐘方向旋轉該：、0周圍而以逆 對應於該等板5、6 接板丨6、31，倘若它們 的熱膨脹係數而有一相斟β# 數，其等則是於此等框轴位置點18、3〇 =7熱勝脹係 等鋁板5、6。以此該等 ？固疋連結至該 , 銘板10、25會經由兮笙噹社 板15、27而被推動離開朝 ^荨連接 型紹板5、6亦即它們會在該等大 、卓灶 月動。然而，由於位置.點18、30已被 連結至該等板5、6,它們本身則 已被 側。由於位置點19是藉由斜、φ ?大幅度移動朝向右 被料A 1 、連接板20而相對於位置點18 被維持在疋位，同時，位置點β 兮揸to 1 I移動朝向右側，所以 "亥連接板16將無法以逆時鐘 紅轉，但是能以順時鐘 方向紅轉。在此，位置點3〇 ^ ^ 到右側的位移量分別大 、、、位置點29或19之位移量的=供 9n n ^ 扪—仏。相較之下，連接板 疋由鈦所組成’所以朝向右側的受熱膨脹量很 =而且能夠將位置點29或19維持於幾乎是它們原先位 置處。 :是"亥上侧連接板16無法在位置點丨8周圍以逆時 鐘方向奴轉’❻是能以順時鐘方向旋轉。相反地，該下側 、b板3 1則疋無法在位置點30周圍以順時鐘方向旋轉， 但是能以逆時鐘方向旋轉。 該等小型鋁板1〇、25會以此被朝向該左側及在板5、 6之上移動。由於它們會被耦合至板4，該後者則亦會被 朝向左側移動。以此先前成形於板4與該等小型鋁板1〇、 1304842 25之間的間隙會是關閉的。由於在位置點30、29與28之 間長度比例的適宜配置方式，介於該等鈦板3、4之間的 該距離是能夠維持固定。 圖二表示出本項發明的第二種變化型式，其包括有— 用於輸送一基板2的框架40。此框架40是由二大型水平 鋁板41、42和二個垂直鈦板43、44所組成。該等大型鋁 板41、42的中央處配置有鈦連接板45、46，其等是藉由 位於它們中央的連結元件47、48之作用而被連結至此等 鋁板41、42。這些鈦連接板45、46的末端是經由連結元 件49到52而以可旋轉之方式連結至槓桿53到56。這些 槓桿53到56則是接著經由連結元件57到6〇而以可旋轉 之方式連結至板43或44。該等鋁板41、42的末端亦是經 由連結元件61到70而被連結至這些板43、44。 於該喷濺塗覆之操作過程中，當該框架4〇被加熱時， 由鋁所組成之部件的熱膨脹量會大於由鈦所組成之部件的 熱膨脹量。此表示出相較於該等鈦板43、44或鈦連接板C、 46，該等鋁板41、42的水平受熱膨脹量程度較大。 藉此，該等槓桿53到56會朝向基板2在位置點57到 60周圍疑轉。-方面’該等紹板41、42會迫使該等板ο、 44分開，另外一方面，由於連接板45、46的熱膨脹量較 小，运些槓桿53到56實際上係被限制於它們所在位置的 中央且朝向内側在位置點57到6()的周圍旋轉，所以横桿 53到56的末端能夠依然維持接觸於該基板上。 儘管該等板43、44可能會趨向相對於彼此而移動分 1304842 開結果該基板2還是會經由積桿53到 被持續地限制在定位。 之作用而能夠 以上所描述之該等應用實施例範例 7呂材料已被加以討論。然而，其他的不同材=敎材料 使用。銘材料被使用之原因是其具 本：：以被 於鈦材料的熱膨脹係數比銘材料小，所二益。由 相當多的鈦材料亦被使用。 成本…材料

要瞭解的是”垂直”與”水平，，該等名詞亦是可 換使用的。 以相互交 【圖式簡單說明】 圖一為本項發明之第一實施例， 圖一為本項發明之第二實施例。 【主要元件符號說明】 1 載具 2 基板 3 垂直板 4 垂直板 5 水平板 6 水平板 7 螺栓 8 螺栓 9 螺栓 10 小型鋁板 11 螺栓 12 螺栓 13 螺栓 14 螺拴 15 連接板 16 連接板 17 螺栓 18 螺栓/位置點 11 1304842

19 螺栓/位置點 20 連接板 21 螺栓/位置點 25 小型鋁板 26 螺栓 27 連接板 28 位置點 29 位置點 30 位置點 31 連接板 32 連接板 33 位置點 40 框架 41 鋁板 42 鋁板 43 鈦板 44 鈦板 45 鈦連接板 46 鈦連接板 47 連結元件 48 連結元件 49 連結元件 50 連結元件 51 連結元件 52 連結元件 53 槓桿 54 槓桿 55 槓桿 56 槓桿 57 連結元件/位置點 58 連結元件/位置點 59 連結元件/位置點 60 連結元件/位置點 61 連結元件 62 連結元件 63 連結元件 64 連結元件 65 連結元件 12 1304842 66 連結元件 67 68 連結元件 69 70 連結元件 連結元件 連結元件

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Claims (1)

1304842 、申請專利範圍： i± ^ 基板載具，其包含有二垂直板和二水平板，苴 、缺為一槓桿配置 31、 复乃式（7刀別為 10、15、16、20 ; 25、27、 ^、32和45、46、53到56)是被提供於該二垂 兮該槓桿配置方式是包括有至少一連接板（45、46)， 脑==的熱膨脹係數則是小於該水平板（ΜΙ)的熱 2.如申請專利範圍…之載具，其特徵為該等水平 、6)的末端之一是被固定連結至該等垂直板（3) 〇 水平專利範圍帛1項之載具，其特徵為每-該等 板反（5、6 )上是具有-小型板（10、25 )，該二小型 Μ、25)的末端之—是會被連結至另—垂直板⑷。 4·如中請專利範圍帛1項之載具’其特徵為該一連接 C 20、32)的一末端是被連結至_水平板（5、6)。 5·如申請專利範圍帛i帛之載具，其特徵為一連接板 〇、32)的另外—末端是被連結至一垂直板（16、31)。 6.如申請專利範圍…之載具，其特徵為該垂直板 31)的末端之一是被連結至—水平板（5、6) : 广申請專利範圍中第丨到第6項中之任一項的載具， 广為該垂直板（16、31)的另外一末端是以可旋轉之 式而被連結至一水平連接板（15、27)，該水平連接板 1 5、2 7 )接著是被連結至該小型板（1 〇 ^ 4c ( ))，該小型 〈1 〇、25 )的一末端則是被連結該垂直板（ 。 14 1304842 8.如申請專利範圍第1項之載具，其特徵為該槓桿配 置方式是包括有一水平延伸連接板（45、46 )，該連接板 的一末端是被連結至一連接板（53、54 ; 55、56 )，該連 接板（53、54 ; 55、56)的一末端則接著以可旋轉之方式 而被連結至一垂直板（43、44 )。 十一、圖式： 如次頁。

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