I292726 (υ 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明關於噴出液狀材料之噴出裝置與噴出方法， 更具體言之爲，在彩色濾光片基板、或矩陣狀顯示裝置 等被以週期性配置之區域塗敷液狀材料適用之噴出裝置 與噴出方法。 【先前技術】 使用液滴噴出裝置於畫素化區域塗敷材料之方法爲 習知者。例如，使用液滴噴出裝置形成彩色濾光片基板 之濾光片單元、或者於矩陣狀顯示裝置形成以矩陣狀配 置之發光部技術爲習知者（例如專利文獻1 )。 專利文獻1:特開2 003 - 1 2 73 43號公報。 【發明內容】 (發明所欲解決之課題） 應塗敷材料之多數個被噴出部之間距與液滴噴出裝 置之噴嘴間距不一致之情況下大多數存在。被噴出部例 如爲硬設置濾光片單元之部位。 因此，於習知液滴噴出裝置中，使噴頭（或者噴出 噴嘴並列方向）相對於被噴出部並列方向傾斜，以使2 個被噴出部間之距離與2個噴出噴嘴間之距離成爲一致 。但是，此構成中’當2個被噴出部間之距離因每一彩 色濾光片而不同時，需要依據每一彩色濾光片變更噴頭 -4 - (2) (2)1292726 之女裝角度。欲變更噴頭之安裝角度時，會產生重新製 造和噴頭對應之托架，以及將噴頭重新安裝於新托架等 之作業。 另外，當噴嘴數越多時噴出控制變爲越複雜。 本發明有鑑於上述問題，目的在於提供即使噴嘴數 增加情況下亦可以容易控制噴出的噴出裝置。 (用以解決課題的手段） 本發明之噴出裝置，係具備：載置台；及N個噴頭， 係對於上述載置台可朝 Y軸方向相對移動、且和上述Y 軸方向相鄰接的N個噴頭。上述N個噴頭之各個，係具 有朝X軸方向延伸之第1噴嘴列及第2噴嘴列·，於上述 N個噴頭之各個，上述第1噴嘴列與上述第2噴嘴列間 之距離爲DA ;上述N個噴頭之中任一個噴頭之上述第2 噴嘴列，與和上述任一個噴頭鄰接之噴頭之上述第1噴 嘴列之間之距離爲上述D A之大略整數倍；N爲大於或等 於2之整數；上述X軸方向與上述Y軸方向互爲正交。 依上述特徵，藉由N個噴頭相對於載置台朝Y軸方 向相對移動，而於噴出週期之整數倍時間間隔使第1噴 嘴列與第2噴嘴列重疊於被噴出物，因此N個噴頭之全 部噴嘴列，係依據噴出週期之整數倍時間間隔、且以相 同相位重疊於載置台上之1個被噴出部。因此’對上述1 個被噴出部之液狀材料之噴出控制變爲容易。 較好是，上述載置台用於保持具有被噴出部之基體 -5- (3) (3)1292726 •’上述N個噴頭對於上述載置台係朝上述γ軸方向進行 相對移動’以使上述Ν個噴頭之其中任一之上述第1噴 嘴列與上述第2噴嘴列，可於噴出週期之大略整數倍之 時間間隔之每一間隔，進入上述被噴出部所對應區域之 同時，由對應之噴嘴噴出液狀材料。 依上述特徵，使Ν個噴頭對於載置台朝γ軸方向進 行相對移動，以使第1噴嘴列與第2噴嘴列依據噴出週 期之整數倍時間間隔重疊於被噴出物，因此Ν個噴頭之 全部噴嘴列，可依據噴出週期之整數倍時間間隔、且以 相同相位重疊於被噴出部。因此，噴出控制變爲容易。 較好是，上述載置台用於保持基體，該基體具有朝 Υ軸方向以特定間距並列的多數個被噴出部；上述Ν個 噴頭對於上述載置台係朝上述Υ軸方向進行相對移動， 以使上述Ν個噴頭之其中任一之上述第1噴嘴列與上述 第 2噴嘴列中之任一噴嘴列，可於噴出週期之大略整數 倍之時間間隔之每一間隔，進入上述多數個被噴出部之 各個所對應區域之同時，由對應之噴嘴噴出液狀材料。 依上述特徵，使Ν個噴頭對於載置台朝Υ軸方向進 行相對移動，以使某一噴頭之第1噴嘴列依據噴出週期 之整數倍時間間隔重疊於被噴出物’因此該噴頭之全部 噴嘴列，可依據噴出週期之整數倍時間間隔、且以相同 相位重疊於被噴出部。因此，噴出控制變爲容易。 某一態樣中，上述多數個被噴出部之各個之平面影 像，係由長邊與短邊所決定之大略矩形狀；上述載置台 -6 - (4) (4)1292726 係保持上述基體，以使上述長邊方向平行於上述X軸方 向之同時’使上述短邊方向平行於上述Y軸方向。 依上述特徵，同時重疊於被噴出部之噴嘴數變多， 因此即使N個噴頭之相對移動次數變少時，亦可將所要 體積之液狀材料塗敷於被噴出部。 又’某一態樣中，上述N個噴頭構成噴頭群；於上 述第1噴嘴列與上述第2噴嘴列中，多數個噴嘴被配置 成爲可使上述N個噴頭之各個之於上述X軸方向之噴嘴 間距設爲特定値，上述N個噴頭被配置成爲可使上述噴 頭群之於上述X軸方向之噴嘴間距設爲上述特定値之大 略1/N倍。 依上述特徵，使噴頭群之於X軸方向之噴嘴間距、 亦即噴出裝置之於X軸方向之噴嘴間距，係較各個噴頭 之於X軸方向之噴嘴間距短，因此，ON狀態噴嘴之間隔 可以設爲更精細。結果，即使不交換安裝角度時，亦可 針對多數個被噴出部以更多樣間距並類於X軸方向之基 體進行塗敷、掃描。 某一態樣中，相對於上述N個噴頭之其中一個之基 準噴嘴之X座標，其他之（N ])個噴嘴之基準噴嘴之X 座標，係無重疊地僅大略偏離上述特定値之j /N倍長度 ，其中j爲1至（N-1)之自然數。 依上述特徵，噴頭群之於X軸方向之噴嘴間距可設 爲各個噴頭之於X軸方向之噴嘴間距之1/N ° 本發明之塗敷方法，係使用噴出裝置的液狀材料之 (5) (5)1292726 塗敷方法，該噴出裝置爲具備N個噴頭之噴出裝置，上 述N個噴頭之各個係具有朝X軸方向延伸之第1噴嘴列 及第2噴嘴列，上述N個噴頭之各個之上述第1噴嘴列 與上述第2噴嘴列間之距離爲D A。該塗敷方法包含以下 步驟：將具有被噴出部之.基體載置於載置台的步驟（A ) •，上述N個噴頭之中任一個噴頭之上述第2噴嘴列，與 和上述任一個噴頭鄰接之噴頭之上述第1噴嘴列之間的 距離維持上述D A之大略整數倍之同時，使上述N個噴 頭相對於基體朝和上述X軸方向正交之Y軸方向進行相 對移動的步驟（B);及藉由上述步驟（B)，當上述第 1或第2噴嘴列所包含噴嘴進入到上述被噴出部對應之區 域時，由上述噴嘴對上述被噴出部噴出液狀材料的步冑 (C )。 依上述特徵，藉由N個噴頭相對於載置台朝γ軸方 向相對移動，而於噴出週期之整數倍時間間隔使第丨噴 嘴列與第2噴嘴列重疊於被噴出物，因此N個噴頭之全 部噴嘴列，可依據噴出週期之整數倍時間間隔、且以相 同相位重疊於被噴出部。因此，噴出控制變爲容易。 本發明可以各種態樣實現，例如可以彩色濾光片之 製造方法、EL顯示裝置（電激發光顯示裝置）之製造方法 或電漿顯示裝置之製造方法等之態樣實現。 【實施方式】 以下依下述記載之順序說明本實施形態之噴出裝置 -8- (6) (6)1292726 及噴出方法。 A、 噴出裝置之全體構成 B、 托架 C、 噴頭 D、 噴頭群 E、 控制部 F、 噴出方法之一例 (A、噴出裝置之全體構成） 如圖1所示，噴出裝置1 〇 〇具備：槽i i，用於保持 液狀材料1 1 1 ;軟管1 1 〇 ;及介由軟管i 〇由槽1 〇〗被供 給液狀材料1 1 1的噴出掃描部1 〇 2。噴出掃描部1 〇 2具備 :托架1 0 3 ’用於保持多數個噴頭丨丨4 (圖2 );控制托架 1 〇 3之位置的第1位置控制裝置〗〇 4 ;保持後述之基體 1 〇 A的載置台1 〇 6 ;控制載置台】〇 6的第2位置控制裝置 1 〇 8 ;及控制部1 1 2。槽1 〇 1與托架1 〇 3之多數個噴頭 1 1 4係經由軟管1 I 0連結，藉由壓縮空氣由槽1 〇丨對多數 個噴頭1 1 4之各個供給液狀材料Π 1。 第1位置控制裝置1 0 4，係依據控制部丨〗2之信號使 托架103朝X軸方向及與X軸方向正交之z軸方向移動 。另外’第】位置控制裝置1 〇 4具有使托架1 〇 3朝和z 軸平行之軸之周圍旋轉之功能。本實施形態中，z軸方 向爲和垂直方向（亦即重力加速度方向）平行之方向。 第2位置控制裝置1 〇 8，係依據控制部】]2之信號使載置 -9- (7) (7)1292726 台106朝與X軸方向及z軸方向雙方正交之γ軸方向移 動。另外，第2位置控制裝置108具有使載置台1〇6朝 和Ζ軸平行之軸之周圍旋轉之功能。又，本說明書中， 第1位置控制裝置1 04與第2位置控制裝置1 亦有標 i己爲「ί币描部」之情況。 載置台106具有與X軸方向及γ軸方向雙方平行之 平面。載置台1 06構成爲可將具有應塗敷特定材料之被 噴出部的基體固定、或保持於該平面上。又，本說明書 中亦有將具有被噴出部之基體標記爲「收容基板」之情 況。 本說明書中之X軸方向、Υ軸方向與Ζ軸方向，係 和托架103與載置台106之其中任一對另一方進行相對 移動之方向一致。又，界定X軸方向、Υ軸方向與Ζ軸 方向之ΧΥΖ座標系之虛擬原點被固定於噴出裝置1〇〇之 基準部分。本說明書中，X座標、Υ座標與Ζ座標爲該 ΧΥΖ座標系之座標。上述虛擬原點可以不是基準部分， 而被固定於載置台1〇6亦可，或固定於托架103亦可。 如上述說明，托架1〇3係由第1位置控制裝置1〇4 控制朝X軸方向移動。載置台1 〇 6則由第2位置控制裝 置1 0 8控制朝Υ軸方向。亦即，藉由第1位置控制裝置 1 04與第2位置控制裝置1 〇 8，可變化噴頭1 ] 4相對於載 置台1 0 6之相對位置。更具體言之爲’藉由彼等動作， 托架1 03、噴頭群1 14G (圖2 )、噴頭1 14或噴嘴1 ] 8 ( 圖3 )，對於載置台1 〇 6上被定位之被噴出部’可以於ζ -10- (8) (8)1292726 軸方向保持特定距離、且於X軸方向與γ軸方向相對移 動、亦即相對掃描。對靜止之被噴出部使托架1 〇3朝Υ 軸方向移動亦可。 在托架1 0 3沿Υ軸方向移動特定2點間之期間內， 對靜止之被噴出部由噴嘴1 1 8噴出液狀材料η丨亦可。 所謂「相對移動」或「相對掃描」亦包含：噴出液狀材料 1 1 1之側、與噴出物著彈之側（被噴出部側）之其中至少 一方相對於拎一方之移動。 托架103、噴頭群114G (圖2)、噴頭114或噴嘴 1 1 8 (圖3 )相對移動時，彼等對於載置台、基體、或被 噴出部之相對位置會變化。因此，本說明書中，托架1 〇 3 、噴頭群1 1 4 G (圖2 )、噴頭1 1 4或噴嘴1 1 8 (圖3 )對 噴出裝置1 〇 〇靜止、僅載置台1 〇 6移動時，亦標記爲托 架103、噴頭群114G (圖2)、噴頭114或噴嘴118 (圖 3)對於載置台1〇6、基體、或被噴出部進行相對移動。 又，亦有以「塗敷掃描」表示相對掃描或相對移動與材 料噴出之組合。 托架1 〇 j與載置台]〇 6另具有上述以外之平行移動 及旋轉之自由鍍。但是，本實施形態中，爲容易說明， 上述自由度以外之自由度之記載被省略。 控制部1 1 2可由外部資訊處理裝置接受噴出資料用 於表示應噴出之液狀材料Ί i丨之相對位置。控制部n 2 之詳細構成及功能如後述。 -11 · (9) (9)1292726 (B、托架） 圖2爲由載置台i〇6側觀察托架1〇3之圖。圖2之 紙面之垂直方向爲Z軸方向。又，圖2之紙面之左右方 向爲X軸方向’紙面之上下方向爲γ軸方向。 如圖2所示，托架1 〇 3保持分別具有大略相同構造 之多數個噴頭1 1 4。本實施形態中，托架丨〇 3保持之噴頭 114之數爲24個。各個噴頭114具有設置後述之多數個 噴嘴1 1 8的底面。各個噴頭丨1 4之該底面形狀爲具有2 個長邊與2個短邊之多角形。如圖2所示，托架丨〇 3保 持之噴頭1 14之底面朝向載置台；[06側，噴頭〗14之長 邊方向與短邊方向分別平行於X軸方向與γ軸方向。噴 頭1 1 4間之相對位置關係如後述。 本說明書中，鄰接於Y軸方向之4個噴頭1 1 4標記 爲「噴頭群1 1 4 G」。藉由該標記，圖2之托架1 〇 3表現 出可以保持6個噴頭群1 1 4 G。 (C、噴頭） 圖3表示噴頭1 1 4之底面。噴頭1 1 4具有並類於X 軸方向之多數個噴嘴118。彼等多數個噴嘴118配置成， 噴頭1 14之於X軸方向之噴嘴間距HXP約爲70 μιη。其 中「噴頭1] 4之於X軸方向之噴嘴間距η X Ρ」相當於， 噴頭1 1 4中之噴嘴1 1 8之全部沿著Υ軸方向於X軸上被 攝影而得之多數個噴嘴影像間之間距。 本實施形態中，噴頭Π 4之多數個噴嘴1 1 8係指朝 -12- 1292726 do) x軸方向延伸之噴嘴列1〗6 A、與噴嘴列1 1 6B。噴 1 1 6 A與噴嘴列1 1 6 B，係於Y軸方向相鄰接。又， 列11 6 A與噴嘴列1 1 6 B間之距離、亦即Y軸方向之 爲D A。於圖3，噴嘴列1 1 6 A之Y座標大於噴嘴列 之Y座標。於噴嘴列1 1 6 A與噴嘴列1 1 6B之各個， 噴嘴1 1 8依特定間隔沿著X軸方向並列成一列。本 形態中該特定間隔約爲ΗΟμπι。亦即，噴嘴列U6A 嘴間距 LNP與噴嘴列116Β之噴嘴間距 LNP均 1 4 0 M m 〇 噴嘴列1 1 6B之位置相對於噴嘴列1 1 6 A之位置 x軸方向之正方向（圖3之右方向）偏離噴嘴間距 之一半長度，因此噴頭1 1 4之於 X軸方向之噴嘴 HXP爲噴嘴列 1 1 6 A (或噴嘴列 1 1 6B )之噴嘴間距 之一半長度（約70μηι )。 噴頭1 1 4之於X軸方向之噴嘴線密度爲噴嘴列 (或噴嘴列1 1 6Β )之噴嘴線密度之2倍。本說明書 X軸方向之噴嘴線密度」係和將多數個噴嘴沿著 Υ 向攝影X軸上之影像所得之多數個噴嘴影像之單位 相當之數目。 當然，噴頭1 1 4包含之多數列數目不限於2個 頭1 1 4亦可含有Μ個噴嘴列，其中Μ爲1以上之自 。此情況下’於Μ個噴嘴列之各個，多數個噴嘴1 噴嘴間距ΗΧΡ之Μ倍長度間距並列。另外，Μ爲2 自然數時，相對於Μ個噴嘴列之其中任一，其他之 嘴列 噴嘴 距離 1 1 6Β 90個 :實施 之噴 爲約 :僅朝 LNP 間距 LNP 1 1 6Α :中「 軸方 :長度 卜噴 然數 18以 以上 (Μ- -13- (11) 1292726 1 )個噴嘴列係於X軸方向無重疊地僅偏離噴嘴間距HXP 之i倍長度。其中i爲1〜（Μ·〗）之自然數。
噴嘴列]1 6 A與噴嘴列1 1 6 B之各個係由9 0個噴嘴 1 1 8構成，因此1個噴頭1 1 4具有1 8 0個噴嘴1 1 8。但是 ，噴嘴列1 1 6 A兩端各5個噴嘴設定爲「無效噴嘴」。同 樣地，噴嘴列1 1 6 B兩端各5個噴嘴亦設定爲「無效噴嘴 」。因此，由彼等20個「無效噴嘴」不噴出液狀材料 1 1 1。亦即，噴頭1 1 4之1 8 0個噴嘴1 1 8之中1 6 0個噴嘴 1 1 8作爲可噴出液狀材料Π 1之噴嘴之功能。本說明書中 將彼等1 6 0個噴嘴1 1 8標記爲「噴出噴嘴」。 又，1個噴頭1 1 4之噴嘴1 1 8之數目不限於1 8 〇個。
1個噴頭1 14可設置3 6 0個噴嘴。此情況下’噴嘴列 1 1 6 A與噴嘴列1 1 6 B之各個由1 8 0個噴嘴1 1 8構成即可 。又，本發明中「噴出噴嘴」之數目不限於1 60個。於1 個噴頭1 14設置P個「噴出噴嘴」亦可。其中p爲2以 上之自然數，只要在噴頭1 1 4之全部噴嘴數目以下即可 本說明書中爲方便噴頭1 1 4間之相對位置關係之說 明，噴嘴列1 1 6 A包含之9 0個噴嘴1 1 8之中左起第6號 噴嘴118表示爲噴頭114之「基準噴嘴118R」。亦即， 噴嘴列1 1 6A之80個噴出噴嘴之中最左側之噴出噴嘴爲 噴頭1 1 4之「基準噴嘴1 1 8 R」。又，對全部噴頭1 1 4， 「基準噴嘴1 ] 8 R」之指定方式相同即可’因此「基準噴 嘴1 1 8 R」之位置不限於上述位置。 -14- (12) 1292726 如圖4 ( a )與4 ( b )所示，各個噴頭1 14爲液滴噴 頭。更具體言之爲，各個噴頭1 1 4具備振動板1 2 6與噴 嘴板1 2 8。振動板1 2 6與噴嘴板1 2 8之間設置貯液槽1 2 9 ，其經常塡充由槽1 〇 1介由孔1 3 1被供給之液狀材料1 1 1 〇 振動板1 2 6與噴嘴板1 2 8之間設由多數個間隔壁1 22 。振動板1 2 6、噴嘴板1 2 8與1對間隔壁1 2 2包圍之部分 爲空穴部1 2 0。空穴部1 2 0對應噴嘴1 1 8設置，因此空穴 部1 2 0之數目和噴嘴1 1 8之數目相同。於空穴部1 20，介 由位於1對間隔壁1 22間之供給口 1 3 0，由貯液槽1 29被 供給液狀材料1 1 1。 振動子1 24分別和各個空穴部1 20對應地位於振動 板126上。振動子124由壓電元件124c，及挾持壓電元 件124c的ϋ對電極124A、124B構成，對該1對電極 124A、124B供給驅動電壓而由對應之噴嘴118噴出液狀 材料1 1 1。 本說明書中「液狀材料」係指具有由噴嘴可噴出之 黏度的材料。此情況下，不管是水性或油性材料只要具 備能由噴嘴噴出之流動性（黏度）即可，即使混合固體 物質全體具有流動性亦可。 控制部1 1 2 (圖1 )構成爲可對多數個振動子1 24分 別供L獨之信號。亦即，由噴嘴丨]8噴出之液狀材料 1 1】之體積，可依據控制部丨丨2之信號依據每一噴嘴1 i 8 被控制。此情況下，由各個噴嘴n 8出之液狀材料u】 -15- (13) (13)1292726 之體積可於Ο p 1〜4 2 p 1間變化。又，如後述說明，控制部 1 1 2可設定塗敷掃描期間進行噴出動作的噴嘴1 1 8，與不 進行噴出動作的噴嘴1 1 8。 本說明書中，亦有將包含1個噴嘴1 1 8、與噴嘴1 1 8 對應之空穴部120、以及和空穴部120對應之配向膜124 的部分標記爲「噴出部127」。依據該標記，1個噴頭 114具有和噴嘴118之數目相同數目之噴出部127。噴出 部1 2 7可具爲電熱轉換元件亦替代壓電元件。亦即，噴 出部1 2 7可以構成利用電熱轉換元件之材料熱膨脹而噴 出材料 (D，噴頭群） 以下說明噴頭群1 1 4 G之4個噴頭1 1 4之相對位置關 係。圖5表示圖2之托架1〇3之中鄰接於Y軸方向之2 個噴頭群1 14G。 如圖5所示，各個噴頭群1 1 4G由4個噴頭〗丨4構成 。噴頭群1 1 4 G中之4個噴頭1 14被配置爲，噴頭群 1 14G之於X軸方向之噴嘴間距GXP成爲噴頭1 14之於X 軸方向之噴嘴間距HXP之1/4倍長度。更具體言之爲， 相對於1個噴頭1 1 4之基準噴嘴1 1 8 R之X座標，使其他 噴頭】]4之基準噴嘴1 1 8 R之X座標於X軸方向無重疊 地僅偏離噴嘴間距HXP之j/4倍長度而被設置。其中j 爲】〜3之自然數。因此，噴頭群1 1 4G之於X軸方向之 噴嘴間距GXP爲噴嘴間距HXP之】/4倍。 -16 - (14) (14)1292726 本實施形態中，噴頭1 1 4之於X軸方向之噴嘴間距 Η XP約爲70 μη，因此噴頭群！ 14G之於X軸方向之噴嘴 間距GXP約爲其之1/4倍的17.5 μηι。此處，「噴頭群 1 1 4 G之於X軸方向之噴嘴間距GXP」，係相當於將噴頭 群1 1 4 G之噴嘴1 1 8之全部沿著γ軸方向投射於X軸上 而得之多數個噴嘴影像間之間距。 當然，噴頭群1 1 4G包含之噴頭Π 4之數目不限於4 個。噴頭群1 14G可由Ν個噴頭1 14構成，其中Ν爲2 以上之自然數。此情況下，將噴頭群1 1 4 G之Ν個噴頭 1 14配置成可使噴嘴間距GXP爲噴嘴間距ΗΧΡ之1/Ν倍 長度即可。或者，相對於Ν個噴頭1 14之1個基準噴嘴 1 1 8 R之X座標，使其他Ν -1個噴頭1 1 4之基準噴嘴 1 1 8 R之X座標無重疊地僅偏離噴嘴間距ΗΧΡ之j /Ν倍長 度。此情況下，j爲1〜（N -1 )之自然數。 以下更具體說明本實施形態之噴頭1 1 4之相對位置 關係。 首先，爲方便說明將圖5左上之噴頭群114G包含之 4個噴頭1 14依Y軸方向之負方向（圖5之下側方向） 標記爲噴頭1141、噴頭]】42、噴頭1143、噴頭1144。 同樣，將圖5右下之噴頭群1 1 4 G包含之4個噴頭1 1 4由 上起分別標記爲噴頭1 1 4 5、噴頭1 1 4 6、噴頭1 1 4 7、噴頭 1148。 噴頭1 1 4 1之噴嘴列】1 6 A、1 1 6 B標記爲卩貝卩角列1 A、 ]B，噴頭I ] 4 2之噴嘴列Η 6 A、1 ] 6 B標記爲卩貝卩角列2 A、 -17- (15) (15)1292726 2 B，噴頭1 1 4 3之噴嘴列1 1 6 A、1 1 6 B標記爲噴嘴列3 A、 3B，噴頭1144之噴嘴列1 16A、1 16B標記爲噴嘴列4A、 4 B，噴頭Π 4 5之噴嘴列1 1 6 A、1 1 6 B標記爲噴嘴列5 A、 5 B，噴頭1 1 4 6之噴嘴列1 1 6 A、1 1 6 B標記爲噴嘴列6 A、 6 B，噴頭1 1 4 7.之噴嘴列1 1 6 A、11 6 B標記爲噴嘴列7 A、 7 B，噴頭1 1 4 8之噴嘴列1 1 6 A、1 1 6 B標記爲噴嘴列8 A、 8B。 噴嘴列1 A〜8 B之各個實際上係由9 0個噴嘴1 1 8構 成。如上述說明，於噴嘴列1 A〜8 B之各個’彼等9 0個 噴嘴並列於X軸方向。但是，於圖5爲方便說明噴嘴列 1 A〜8 B之各個僅描繪出由4個噴出噴嘴（噴嘴1 1 8 )構 成。右，於圖5，噴嘴列1A之最左之噴嘴1 1 8爲噴頭 1 1 4 1之基準噴嘴1 1 8 R，噴嘴列2 A之最左之噴嘴1 1 8爲 噴頭〗1 4 2之基準噴嘴1 1 8 R，噴嘴列3 A之最左之噴嘴 1 1 8爲噴頭1 1 4 3之基準噴嘴1 1 8 R ’噴嘴列4 A之最左之 噴嘴1 1 8爲噴頭1 1 4 4之基準噴嘴1 1 8 R，噴嘴列5 A之最 左之噴嘴I 1 8爲噴頭1 1 4 5之基準噴嘴1 1 8 R。 噴頭1 1 4 2之基準噴嘴Π 8 R之位置（或座標）’係 由噴頭Π. 4 1之基準噴嘴1 1 8 R位置（或座標）朝X軸方 向之正方向（圖5之右方向）僅偏離約1 7 ·5 μη。噴頭 1 1 4 3之基準噴嘴1 1 8 R之位置（或座標），係由噴頭 1142之基準噴嘴118R位置（或座標）朝χ軸方向之正 方向僅偏離約1 7.5 μ η。噴頭1 1 4 4之基準噴嘴Π 8 R之位 置（或座標），係由噴頭Π 43之基準噴嘴1 1 8R位置（ -18- (16) 1292726 或座標）朝X軸方向之正方向僅偏離約1 7.5 P。又’某 依噴頭相對於其他噴頭之偏離方向不限於X軸方向之正 方向，亦可爲負方向（圖5之左方向）。 藉由上述配置，噴嘴列1 A最左側噴嘴1 I 8之X座 標，與噴嘴列1 B最左側噴嘴11 8之X座標之間，收容有 噴嘴列2 A最左側噴嘴1 1 8之X座標、噴嘴列3 A最左側 噴嘴Π 8之X座標、以及噴嘴列4A最左側噴嘴1 1 8之X 座標。同樣地，噴嘴列1B最左側噴嘴1 1 8之X座標，與 噴嘴列1 A左起2號噴嘴1 1 8之X座標之間’收容有噴 嘴列2B最左側噴嘴1 1 8之X座標、噴嘴列3B最左側噴 嘴1 1 8之X座標、以及噴嘴列4B最左側噴嘴1 1 8之X 座標。噴嘴列1 A之其他噴嘴1 1 8之X座標，與噴嘴列 1 B之其他噴嘴1 1 8之X座標之間’同樣收容有噴嘴列 2 A (或2 B )之噴嘴1 1 8之X座標、噴嘴列3 A (或3 B ) 之噴嘴1 1 8之X座標、以及噴嘴列4 A (或4B )之噴嘴 1 1 8之X座標。 本實施形態中，相對於噴頭1 1 4 1之基準噴嘴1 1 8 R 之X座標，噴頭1]42、1 143、1 144之基準噴嘴1 ] 8R之 X座標，分別僅偏離噴嘴間距HXP之1 /4倍長度、噴嘴 間距HXP之2/4倍長度、噴嘴間距HXP之3/4倍長度。 但是，4個噴頭1 1 4之配置不限於此，相對於1個噴頭 1 1 4之基準噴嘴1 1 8 R之X座標，使其他噴頭1 1 4之基準 噴嘴1 1 8 R之X座標於X軸方向無重疊地僅偏離噴嘴間 距Η XP之j Μ倍長度幾可。其中j爲1〜3之自然數。 •19- (17) (17)1292726 ® 5右下側之噴頭群1 1 4 G之噴頭1 1 4 5、1 1 4 6、 1147、 1148 之配置亦和噴頭 1141、 1142、 1143、 1144 之 配置相同。 以下依據噴頭1 1 4 5與噴頭1 1 4 1間之相對位置關係 說明X軸方向上互相鄰接之2個噴頭群1 1 4 G間之相對 位置關係。 噴頭1 1 4 5之基準噴嘴1 1 8 R之位置，係由噴頭1 1 4 1 之基準噴嘴U8r之位置起朝X軸方向之正方向，僅偏離 噴頭1 1 4之於X軸方向之噴嘴間距Η X P與噴頭1 1 4中之 噴出噴嘴之數目之積之長度。本實施形態中，噴嘴間距 ΗΧΡ約爲70μιη，同時1個噴頭1 1 4中之噴出噴嘴之數目 爲1 6 0個，因此噴頭1 1 4 5之基準噴嘴1 1 8 R之位置，係 由噴頭1 1 4 1之基準噴嘴1 1 8 R之位置起朝X軸方向之正 方向僅偏離11.2mm( 70μηιχ160)。但是，圖5中爲方便 說明，噴頭1 1 4 1中之噴出噴嘴之數目爲8個，因此，噴 頭1 1 4 5之基準噴嘴1 1 8 R之位置，係由噴頭1 1 4 1之基準 噴嘴1 1 8R之位置起朝X軸方向僅偏離5 60μιη ( 70μηιχ8 )° 噴頭1 1 4 1與噴頭11 4 5配置爲上述，因此，噴嘴列 1 A最右側噴出噴嘴之X座標，與噴嘴列5 A最左側噴出 噴嘴之X座標係僅偏離噴嘴間距LNP。因此，2個噴頭 群Π 4 G全體之於X軸方向之噴嘴間距爲噴頭1 1 4之於X 軸方向之噴嘴間距HXP之1 /4倍。 又，托架10 3全體之於X軸方向之噴嘴間距亦爲 -20- (18) (18)1292726 1 7.5 μηι，亦即，成爲噴頭1 1 4之於X軸方向之噴嘴間距 ΗΧΡ之1/4倍長度而將6個噴頭群1 14G予以配置。 又，本實施形態中，於多數個噴頭1 14 (圖5爲 1 141〜1148 )之各個之中，噴嘴列1 16Α與噴嘴列1 16Β 間之距離爲D Α。又，如圖3所示’噴嘴列1 1 6 Α之Υ座 標大於噴嘴列1 1 6 B之Y座標。本說明書中將1個噴頭 1 1 4之噴嘴列1 1 6 A與噴嘴列1 1 6 B間之距離標記爲「第1 噴嘴列間距離D A」。 又，任一噴頭1 1 4中之噴嘴列1 1 6 B，與和該任一噴 頭於Y軸方向鄰接之噴頭1 1 4中之噴嘴列1 1 6 A間之距 離爲DB。本說明書中該距離標記爲「第2噴嘴列間距離 D B」。於圖5，噴頭1 1 4 1之噴嘴列1 1 6 B (圖5爲1 B ) ，，與噴頭1 1 4 2之噴嘴列1 1 6 A (圖5爲列2 A )間之距離 爲D B。另外，噴頭1 1 4 2之噴嘴列1 1 6 B (圖5爲噴嘴列 2 b )，與噴頭1 1 4 3之噴嘴列1 1 6 A (圖5爲噴嘴列3 A ) 間之距離爲DB。同樣，噴嘴列3B與噴嘴列4A間之距離 ，以及噴嘴列4 B與噴嘴列5 A間之距離亦爲D B ° 本實施形態中，噴頭群1 1 4 G之4個噴頭1 1 4配置成 使第2噴嘴列間距離D B爲第1噴嘴列間距離D A之大略 整數倍。例如，噴嘴列1 B與噴嘴列2 A間之距離爲第1 噴嘴列間距離D A之大略整數倍。另外’於噴頭1 1 4 1、 晴頭1 1 4 2之配置’噴嘴列1 B與噴嘴列2 A間之距離爲弟 ]噴嘴列間距離D A之大略整數倍，因此，噴嘴列1 A與 噴嘴列2A間之距離、噴嘴列]B與噴嘴列2B間之距離 -21 - (19) 1292726 、噴嘴列1 A與噴嘴列2 B間之距離亦爲第1噴嘴 離DA之大略整數倍。 Y軸方向互相鄰接之其他2個噴頭之配置中 列間之距離，亦和噴頭1 1 4 1、1 1 4 2之配置中之噴 之距離同樣。亦即，Y軸方向鄰接之2個噴頭之 一之1個噴嘴列，與另一噴頭中之1個噴嘴列間； 方向之距離，爲第1噴嘴列間距離之其中任一大 倍。 (E，控制部） 以下說明控制部1 1 2之構成。如圖6所示， 1 1 2具備··輸入緩衝記憶體2 〇 〇 ;記憶裝置2 〇 2 ; 2 04 ;掃描驅動部2 0 6 ;及噴頭驅動部2 0 8。緩衝 202與處理部204可互相通信。處理部2〇4與記 202連接成可互相通信。處理部204與掃描驅動部 接成可互相通信。處理部2 〇 4與噴頭驅動部2 〇 8 可互相通信。又，掃描驅動部2 〇 6係將第1位置 置104與第2位置控制裝置108連接成可互相通 樣地’噴頭驅動部2 0 8連接成可與多數個噴頭j ] 個互相通信。 _ Λ，緩衝記憶體2〇〇接受由外部資訊處理裝 行液狀材料Π 1之液滴噴出用的噴出資料。噴出 含：表不基體上全部被噴出部之相對位置的資料； 被k出部塗敷液狀材料η丨至所要厚度爲止必要 列間距 之噴嘴 嘴列間 其中任 匕Υ軸 略整數 控制部 處理部 記憶體 憶裝置 206連 連接成 控制裝 信。同 4之各 置近進 資料包 對全部 之相對 -22- (20) (20)1292726 掃描次數之表示資料；指定作爲〇N狀態噴嘴1 i 8 a功能 之噴嘴1 1 8的資料；及指定作爲on狀態噴嘴n 8 b功能 之噴嘴1 1 8的資料；ON狀態噴嘴1 1 8 A與ON狀態噴嘴 1 1 8 B之說明如後述。輸入緩衝記憶體2 0 0係將噴出資料 供給至處理部204 ’處理部204將噴出資料存於記憶裝置 2 0 2。於圖6，記憶裝置2 0 2爲R A Μ。 處理部2 0 4 ’係依據記憶裝置2 0 2內之噴出資料，對 掃描驅動部2 0 6供給資料用於顯示噴嘴1 1 8相對於被噴 出部之相對位置。掃描驅動部2 0 6則將和該資料與後述 噴出週期ΕΡ (圖7 )對應之驅動信號供給至第1位置控 制裝置1 0 4及第2位置控制裝置1 〇 8。結果，噴頭1 1 4相 對於被噴出部進行相對掃描。另外，處理部204依據記 憶裝置2 0 2記憶之噴出資料與噴出週期ΕΡ對噴頭驅動部 2 〇 8供給選擇信號用於指定每一噴出時序之噴嘴丨〗8之 ΟΝ/OFF狀態。噴頭驅動部208依據該選擇信號SC對噴 頭1 1 4供給液狀材料η 1噴出必要之噴出信號ES。藉果 ’由噴頭1 1 4中對應之噴嘴1 1 8噴出液狀材料1 1 1作爲 液滴。 控制部112可爲包含CPU、R〇M、RAM之電腦。此 情況下，控制部1 1 2之上述功能，可由上述電腦執行軟 體實現。當然控制部η 2亦可由專用電路（硬體）實現 〇 以下說明控制部1】2之噴頭驅動部2 0 8之構成與功 能。 -23- (21) (21)1292726 如圖7 ( a )所示，噴頭驅動部20 8具有1個驅動信 號產生部2 03，與多數個類比開關AS ;如圖7 ( b )所示 ，驅動信號產生部203產生驅動信號DS，驅動信號DS 之電位相對於基準電位L呈現時間變化。具體言之爲， 驅動信號DS包含依據噴出週期EP重複之多數個噴出波 形P。噴出波形P爲對應於，欲由噴嘴1 1 8噴出1個液 滴時施加於對應之振動子1 24之一對電極間之驅動電壓 波形。 驅動信號D S被供給至類比開關AS之各輸入端子。 類比開關AS之各個對應之噴出部I 27之各個設置。亦即 ，類比開關AS之數目和噴出部1 27之數目（亦即，噴嘴 1 1 8之數目）相同。 處理部204將表示噴嘴118之ΟΝ/OFF狀態的選擇 信號SC供給至類比開關AS之各個。選擇信號SC可依 每一類比開關A S獨立取得Η (高）位準與L (低）位準 之其中任一狀態。另外，類比開關 AS，係依驅動信號 DS與選擇信號SC對振動子124之電極124A供給噴出信 號ES。具體言之爲，當選擇信號SC爲Η位準時，類比 開關AS對電極124Α傳送作爲噴出信號ES之驅動信號 DS。當選擇信號SC爲L位準時，類比開關AS輸出之噴 出信號ES之電位爲基準電位L。當驅動信號DS被供給 至振動子124之電極124A時，由和該振動子124對應之 噴嘴1 1 8噴出液狀材料1 Π。又，於各個振動子]2 4之電 極1 2 4 B被供給基準電位L。 -24 - (22) (22)1292726 如圖7 ( b )所示例中，於2個選擇信號s c各別被 設定Η位準期間與L位準期間，俾於2個噴出信號E S 分別以噴出週期ΕΡ之2倍週期2ΕΡ呈現噴出波形Ρ。依 此則，由對應之2個噴嘴1 1 8分別以週期2ΕΡ噴出液狀 材料11 1。又，於和彼等2個噴嘴1 1 8對應之振動子1 2 4 ，被供給來自共通之驅動信號產生部2 0 3之共通驅動信 號D S。因此，由2個噴嘴1 1 8以大略相同之時序噴出液 狀材料11 1。 藉由上述構成，噴出裝置1 00可依被供給至控制部 1 1 2之噴出資料進行液狀材料1 1 1之塗敷掃描。 (F、噴出方法之一例） 參照圖8 ( a )與（b )說明對和X軸方向平行之直 條狀標靶、亦即被噴出部18L，由噴出裝置100噴出液 狀材料1 1 1之方法。具體言之爲說明液狀材料之塗敷方 法，其包含以下步驟：亦即將噴頭群U4G或托架103之 其中任一噴頭之第2噴嘴列、與和該任一噴頭鄰接之噴 頭中之第1噴嘴列間之距離維持第1噴嘴列間距離DA 之大略整數倍，而使托架103相對於載置台1〇6朝Y軸 方向相對移動之步驟。 又，於圖8 ( a )之例中，藉由托架1 03朝Y軸方向 之相對移動，使圖5之噴頭1141、1142、1143、1144、 Π 4 5依該順序和被噴出部1 8 L重疊。
如圖5所示，本實施形態中，第2噴嘴列間距離D B -25- (23) (23)1292726 爲第1噴嘴列間距離DA之大略整數倍。亦即’ DB - ci .DA C 式 1 ) 其中，C 1爲整數· 本實施形態中，托架1〇3對載置台106之相對移動 速度V設爲 V= DA/(C2.EP) (式 2) 其中，DA爲第1噴嘴列間距離，EP爲圖7說明之噴出 週期，c2爲整數。 相對移動速度 V滿足式（2 )，因此以噴出週期EP 之整數（c2 )倍時間間隔使噴嘴列1A與噴嘴列丨b (圖 5 )重疊於被噴出部1 8 L。而且，本實施形態中，第2噴 嘴列間距離D B爲第1噴嘴列間距離D A之整數（c!) 倍，因此以由噴嘴列1 B重疊於被噴出部1 8 L之時點起算 噴出週期E P之整數（c 1 · C 2 )倍時間間_，可使噴嘴列 2 A (圖5 )重疊於被噴出部1 8 L ·同樣地，噴頭群i丨4 g中 全部噴嘴列以噴出週期EP之整數倍時間間隔重疊於被噴 出部1 8 L . 因此’全部噴嘴列之噴出以相同相位重疊於被噴出 部1 8L，或者進入被噴出部]8L對應之區域。因此，對 於全部噴嘴列之噴嘴1 1 8可共用驅動信號產生部2〇3。因 -26- (24) 1292726 此可維持噴出波形（驅動波形）之精確度，1 單。 如圖8 ( a )所示，首先，托架1 〇 3相言 1 〇 6開始進行Y軸方向之相對移動。當噴嘴列 被噴出部1 8 L時，由噴嘴列1 a包含之噴嘴1 1 部18L同時噴出液狀材料丨丨1。 於圖8 ( b )之標記「1 a」右側，噴嘴列 之著彈位置以黑圓圈表示。如圖8 ( b )所示 列1A之噴出，於X軸方向以大略140 μπι之 材料1 1 1著彈於被噴出部1 8 L。 噴嘴列1 Α重疊於被噴出部1 8 L之時點起 EP之整數（c2 )倍時間期間後，噴嘴列：I B 出部1 8 L。當噴嘴列1 B重疊於被噴出部〗8 L 列]B包坩之噴嘴1 1 8對被噴出部1 8L同時噴 1 1 1。於圖8 ( b )之標記「] B」右側，噴嘴列 之著彈位置以黑圓圈表示。如圖8 ( b )所示 列1 B之噴出，於X軸方向以大略1 4 0 μ m之 材料1 1 1著彈於被噴出部1 8 L。但是，噴嘴列 之著彈位置，與先於噴嘴列1 B之噴嘴列1 A 彈位置間之距離大略爲 70μηι。於圖8 ( b ); 」右側，先於噴嘴列1 B之噴嘴列1A之噴出 以白圓圈表示。 噴嘴列]B重疊於被噴出部]8 L之時點起 EP之整數（Cl .C2 )倍時間期間後，噴嘴列 S路構成簡 討於載置台 1 A重疊於 8對被噴出 1 A之噴出 ，藉由噴嘴 間距使液狀 算噴出週期 重疊於被噴 後，由噴嘴 出液狀材料 1B之噴出 ，藉由噴嘴 間距使液狀 1B之噴出 之噴出之著 之標言己「I B 之著彈位置 算噴出週期 2 A重疊於 -27- (25) 1292726 被噴出部1 8L。當噴嘴列2 A重疊於被噴出部1 8L後 噴嘴列2A包含之噴嘴1 1 8對被噴出部1 8 L同時噴出 材料1 Π。於圖8 ( b )之標記「2 A」右側，噴嘴歹 之噴出之著彈位置以黑圓圈表示。如圖8 ( b )所示 由噴嘴列2 A之噴出，於X軸方向以大略1 4 〇 μπι之 使液狀材料1 1 1著彈於被噴出部1 8 L。但是，噴嘴3 之噴出之著彈位置，與先於噴嘴列2Α之噴嘴列之噴 著彈位置間之最短距離大略爲17· 5 μη。於圖8(b) 言己「2Α」右側，先於噴嘴列2Α之噴嘴列之噴出之 位置以白圓圈表示。 噴嘴列2 Α重疊於被噴出部1 8 L之時點起算噴出 EP之整數（c2 )倍時間期間後’噴嘴列2B重疊於 出部1 8 L。當噴嘴列2 B重疊於被噴出部1 8 L後’由 列2 B包含之噴嘴1 1 8對被噴出部1 8 L同時噴出液狀 1 1 1。於圖8 ( b )之標記「2B」右側，噴嘴列2B之 之著彈位置以黑圓圈表示。如圖8 ( b )所示’藉由 列2B之噴出，於X軸方向以大略140Km之間距使 材料1 1 1著彈於被噴出部〗8 L。但是，噴嘴列2 B之 之著彈位置，與先於噴嘴列2 B之噴嘴列之噴出之著 置間之最短距離大略爲1 7 · 5 μ】Ώ。於圖8 ( b )之標記 」右側，先於噴嘴列2B之噴嘴^ β ® & &著^單{立置 圓圈表示。 之後，噴嘴列3 A、3 B、4 A、4 B、5 A、5 B依序 於被噴出部]8 L，和噴嘴列1 A、1 B、2 A、2 B同樣 ，由 液狀 | 2A ，藉 間距 0 2 A 出之 之標 著彈 週期 被噴 噴嘴 材料 噴出 噴嘴 液狀 噴出 彈位 「2B 以白 重疊 ，由 -28- (26) (26)1292726 噴嘴列3A、3B、4A、4B、5A、5B分別對被噴出部i8L 噴出液狀材料Π 1。結果，在噴頭群1 M G對被噴出部 1 8 L朝Υ軸方向進行丨次相對移動期間，液狀材料1 1 } 以噴頭1 1 4之於X軸方向之噴嘴間距ΗΧΡ之]/4倍長度 、亦即17.5 μηι之間距著彈。 上述直條狀被噴出部1 8 L之例之一爲電子機器中欲 形成金屬配線之部分。因此，本實施形態之噴出裝置1 〇 〇 ’適用藉由噴出液狀配線材料而製造電子機器中之金屬 配線的配線製造裝置。例如，適用於後述之電漿顯示裝 置50(圖21-22)之支撐基板52上形成位址電極54的 配線製造裝置。 依本實施形態，於噴出裝置1 0 0，在和托架1 0 3進行 相對移動方向（Υ軸方向）之正交方向（X軸方向）， 並列多數個噴嘴1 1 8。因此，對X軸方向延伸之被噴出 部1 8 L可由多數個噴嘴1 1 8大略同時噴出液狀材料〗i 1 。結果，對多數個噴嘴1 1 8只需1個產生驅動信號D S之 驅動信號產生部2 0 3即可。另外，單一方向並列之多數 個噴嘴1 1 8之噴出時序大略同時，因此不需要延遲驅動 信號產生部2 03之驅動信號DS用的電路構成。結果，於 驅動信號D S之波形產生鈍化之要因變少’可對振動子 1 2 4施加精確度之噴出波形P。因此，噴嘴1 1 8之液狀材 料Π 1之噴出更穩定。 又，依本實施形態，於噴出裝置1 〇〇 ’噴頭群Π 4G 於X軸方向之噴嘴間距爲噴頭於X軸方向之噴嘴間距之 -29- (27) (27)1292726 1 /N倍長度。其中，N爲噴頭群1 1 4 G包含之噴頭1 1 4之 數目。因此，噴出裝置1 0 0於X軸方向之噴嘴線密度較 一般液滴噴出裝置之於X軸方向之噴嘴線密度變爲更高 〇 結果，在托架1 0 3朝Y軸方向之1次相對移動期間 內’可沿X軸方向形成更細密之著彈圖型。 (第2實施形態） 以下’說明本發明適用彩色濾光片基板製造裝置之 例。 圖9(a)與（b)之基體10A爲經由後述製造裝置1 (圖1 0 )之處理而得之彩色濾光片基板1 0。基體1 〇 A， 具有以矩陣狀配置之多數個被噴出部1 8 R、1 8 G、1 8 B。 具體言之爲，基體10A包含：具有透光性之支撐基板 1 2 ;形成於支撐基板1 2上的暗矩陣1 4 ;及形成於暗矩陣 1 4上的堤堰部1 6。暗矩陣1 4由遮光性材料形成。暗矩 陣1 4與暗矩陣1 4上之堤堰部1 6之配置位置，可使支撐 基板1 2上之矩陣狀多數個透光性部分、亦即矩陣狀之多 數個畫素區域被界定。 於各個晝素區域，支撐基板1 2、暗矩陣1 4以及堤堰 部16所界定之凹部，，係對應之被噴出部18R、被噴出 部1 8 G、被噴出部1 8 B。被噴出部1 8 R爲應形成濾光片 層1 1 1 FR之區域，僅能透過紅色波長帶之光線，被噴出 部1 8 G爲應形成濾光片層U 1 FG之區域，僅能透過綠色 -30- (28) (28)1292726 波長帶之光線，被噴出部U B爲應形成濾光片層1 i丨f B 之區域，僅能透過藍色波長帶之光線。 圖9(b)之基體10A位於和X軸方向與γ軸方向之 雙方平行之假想平面上。多數個被噴出部1 8 R、1 8 G、 1 8 B所形成矩陣狀之行方向與列方向分別平行於X軸方 向及Y軸方向。於基體10A，被噴出部18R、被噴出部 1 8 G、與被噴出部1 8 B係於Y軸方向依該順序被週期性 並列。另外，被噴出部1 8R間係於X軸方向間隔特定間 隔並列成1列，被噴出部1 8 G間係於X軸方向間隔特定 間隔並列成1列，被噴出部1 8 B間係於X軸方向間隔特 定間隔並列成1列。又，X軸方向與Y軸方向互相正交 〇 被噴出部1 8 R之於Y軸方向之特定間隔L R Y、亦即 間距約爲5 6 Ο μ m。該間隔係和被噴出部1 8 G之於Y軸方 向之特定間隔L G Y相同，亦和被噴出部1 8 B之於Y軸方 向之特定間隔L B Y相同。又，被噴出部1 8 R之平面影像 爲長邊與短邊決定之矩形狀。具體言之爲，被噴出部 1 8 R Y軸方向之長度約爲1 〇 〇 μ ixi，X軸方向之長度約 爲300μιτι。被噴出部]8G、被噴出部18Β亦具有和被噹 出部1 8 R相同之形狀、尺寸。被噴出部間之上述間隔與 上述尺寸’於40英吋尺寸之高精細電視中係對應於同一 顏色所對應之畫素區域間之間隔。 圖10之製造裝置1爲，對圖9之基體10Α之被噴出 部]8R、]8G、18Β之各個噴出對應之彩色濾光片材料的 -31 - (29) 1292726 裝置。具體言之爲，製造裝置1具備··噴 對被噴出部1 8 R全部塗敷彩色濾光片材 置1 5 0 R，用於乾燥被噴出部1 8 R上之 1] 1R ;噴出裝置100G，可對被噴出部1 濾光片材料1 1 1 G ;乾燥裝置1 5 〇 G，用 1 8 G上之彩色濾光片材料1 1 1 G ;噴出裝 噴出部1 8 B全部塗敷彩色濾光片材料 1 5 0 B ’用於乾燥被噴出部1 8 B上之彩色 ，烘乾器1 6 0，可再度加熱（後段烘乾） 111K、U1G、111B;噴出裝置 100C，可 色濾光片材料1 1 1 R、1丨丨G、H i B之層 ;乾燥裝置150C，可乾燥保護膜20 ;万 可再度加熱、硬化被乾燥之保護膜2 〇。 1具備搬送裝置170，可依噴出裝置 150R、噴出裝置i〇〇G、乾燥裝置150(} 、乾燥裝置1 5 0 B、噴出裝置1 〇 〇 C、乾;| 化裝置165之順序搬送基體i〇A。 如圖11所示，噴出裝置100R之榍 實施形態之噴出裝置1 0 0之構成相同。 l〇〇R之構成和噴出裝置100之構成差異 與軟管1 1 0而改用液狀之彩色濾光片材 101R與軟管110R。又，噴出裝置l〇〇R 裝置1 00之構成要素相同者附加同一符 明。 出裝置1 0 0 R，可 料1 1 1 R ;乾燥裝 彩色濾光片材料 8G全部塗敷彩色 於乾燥被噴出部 置1 0 0 B，可對被 Π 1 B ;乾燥裝置 濾光片材料1 1 1 B 彩色濾光片材料 「於後段烘乾之彩 上設置保護膜20 L硬化裝置1 6 5， 另外，製造裝置 100R、乾燥裝置 、噴出裝置 1 〇 〇 B 藥裝置1 50C、硬 I成基本上和第1 但是，噴出裝置 在於：取代槽1 0 1 料 1 1 1 R用之槽 之構成中和噴出 號，並省略其說 -32 - (30) (30)1292726 噴出裝置100G之構成、噴出裝置i〇〇b之構成、噴 出裝置100C之構成基本上和噴出裝置1〇〇R之構成相同 ，但是，差異在於，代噴出裝置100r中之槽1〇1R與軟 管110R，噴出裝置1〇〇G具備彩色濾光片材料niG用之 槽與軟管。同樣地，噴出裝置與噴出裝置之 差異在於：取代噴出裝置l〇〇R中之槽l〇1R與軟管n〇R ’噴出裝置1 0 0 B具備彩色濾光片材料n i B用之槽與軟 i。另外’噴出裝置l〇〇c與噴出裝置之差異在於： 取代噴出裝置100R中之槽l〇1R與軟管11〇R，噴出裝置 1 0 0C具備保護膜材料用之槽與軟管。又，本實施形態之 液狀之彩色濾光片材料1 i i R、1丨i G、1〗〗B爲本發明之 液狀材料之一例。 以下說明噴出裝置100R之動作。噴出裝置l〇〇R， 係對基體1 0 A上以矩陣狀配置之多數個被噴出部〗8 R噴 出同一材料者。又，如第3 · 5實施形態之說明，基體1 ο A 可替換爲EL顯示裝置（電激發光顯示裝置）用基板、電漿 顯示裝置用之背面基板、或者具備電子放出元件的影像 顯示裝置基板。 圖12之基體i〇A被保持於載置台ι〇6以使被噴出部 18R之長邊方向與短邊方向分別和X軸方向與γ軸方向 一致。 首先’於第1掃描期間開始前，控制部1 1 2依據噴 出資料使托架103、亦即噴頭群]14G相對於基體l〇A朝 X軸方向進行相對移動，以使幾個噴嘴n 8之X座標位 -33- (31) 1292726 於被噴出部1 8 R之X座標範圍。被噴出部；[8 r之χ 範圍係指被噴出部1 8 R兩端之X座標所決定之範圍 實施形態中，被噴出部18R之長邊長度約爲3 00|im 頭1 1 4 G之於X軸方向之噴嘴間距HXP約爲1 7.5 μηι 此，噴頭群1 1 4 G之1 6個或1 7個噴嘴.1 1 8被收容於 被噴出部1 8 R之X座標範圍。X座標範圍外之噴嘴 於掃描期間內不噴出任何彩色濾光片材料1 1 1 R。 又，本實施形態中如圖3 0所示，「掃描期間」 托架1 〇 3之一邊沿Υ軸方向由掃描範圍1 3 4之一端 或另一^而Ε2)至另一·端Ε2(或一觸Ε1)進彳了相對移動 之期間。「掃描範圍134」係指與對基體10Α上之 被噴出部1 8R塗敷材料而使托架1 03相對移動之範 藉由掃描範圍134覆蓋全部被噴出部18R。又，某 況下「掃描範圍」可以意味著1個噴嘴1 1 8相對移 範圍，或者意味著1個噴嘴列1 1 6相對移動之範圍 者意味著1個噴頭1 ] 4相對移動之範圍。 第1掃描期間開始後，噴頭群1HG由134之 Ε1朝Υ軸方向之正方向（圖12之紙面上方向）開 對移動。如此則依據噴嘴列1Α、1Β、2Α、2Β、3Α 、4Α、4Β之順序使彼等噴嘴列進入被噴出部18R對 區域。又，於第1掃描期間之間，噴頭群1 1 4 G之 標無變化。 控制部1 1 2決定托架]〇 3之相對移動速度’俾 出週期ΕΡ (圖7 ( b ))之整數倍時間間隔之每一間 座標 0本 ，噴 。因 1個 1 18 係指 E1 ( 1次 全部 圍， 些情 動之 ，或 一端 始相 、3B 應之 X座 於噴 隔， -34- (32) (32)1292726 可使1個噴嘴1 1 8和並列於Y軸方向之被噴出部1 8 R呈 重疊。如此則包含該1個噴嘴118之噴嘴列中之其他噴 嘴1 1 8，於於噴出週期EP之整數倍時間間隔之每一間隔 亦分別和各個被噴出部1 8 R呈重疊。 本實施形態中，托架1 0 3相對於載置台1 0 6之相對 移動速度V設爲 V = L YR/ ( 〇3 . EP ) 式（3) 其中LYR爲沿Y軸方向之被噴出部之間距’ EP爲 噴出週期，C3爲整數。相對移動速度V滿足上述式（3) ，因此如圖1 3所示’噴嘴列1 A以噴出週期E P之整數倍 (c3倍）之時間間隔Ah重疊於Y軸方向並列之多數個 被噴出部1 8 R。 另外，本實施形態中，依據上述式（3 )算出之相對 移動速度V，第1噴嘴列間距離DA被設爲 DA= c4 .EP.V 式（4 ) 第1噴嘴列間距離D A滿足上述式（4 )，因此由噴 嘴列1 A重疊於被噴出部1 8 R之時點起算’噴嘴列1 B以 噴出週期E P之整數倍（c 4倍）之時間間隔△12使重疊於 該被噴出部18R。 又，和第1實施形態同樣，本實施形態中第2噴嘴 -35- (33) (33)1292726 列間距離D B爲第]噴嘴列間距離D A之大略整數倍（c! 倍），因此 D B = c ] . D A 式（5) 因此由噴嘴列1 B重疊於被噴出部1 8 R之時點起算經 過噴出週期EP之整數倍（Cl .C4倍）之時間間隔At3之 後，噴嘴列2A重疊於該被噴出部i8R。 圖1 2之例中，當噴嘴列1 A進入某一被噴出部1 8 R 對應之區域後，由噴嘴列1 A左起第2號噴嘴1 1 8、與左 起第3號噴嘴1 1 8噴出液狀材料1 1 1。於噴嘴列1 A重疊 於被噴出部1 8 R之時點起經過噴出週期EP之整數倍（c4 倍）之時間期間後，噴嘴列1 B進入該1個被噴出部1 8R 對應之區域。如此則由噴嘴列1 B最左側噴嘴1 1 8、與左 起第2號噴嘴噴出彩色濾光片材料1 1 1 R。 於噴嘴列1 B重疊於被噴出部1 8 R之時點起經過噴出 週期EP之整數倍（.c4倍）之時間期間後，噴嘴列2A 進入該1個被噴出部1 8R對應之區域。如此則由噴嘴列 2 A最左側噴嘴1 1 8、與左起第2號噴嘴噴出彩色濾光片 材料1 1 1 R。之後，於噴嘴列2 A重疊於被噴出部1 8 R之 時點起經過噴出週期EP之整數倍（c4倍）之時間期間 後，噴嘴列2 B進入該1個被噴出部1 8 R對應之區域。如 此則由噴嘴列2 B最左側噴嘴1 ] 8、與左起第2號噴嘴噴 出彩色濾光片材料1】1 R。 -36- (34) (34)1292726 於噴嘴列2 B重疊於被噴出部1 8 R之時點起經過噴出 週期EP之整數倍（c 1 . c4倍）之時間期間後，噴嘴列 3 A進入該1個被噴出部1 8 R對應之區域。如此則由噴嘴 列3 A最左側噴嘴1 1 8、與左起第2號噴嘴噴出彩色濾光 片材料1 1 1 R。之後，於噴嘴列3 A重疊於被噴出部1 8 R 之時點起經過噴出週期E P之整數倍（c 4倍）之時間期 間後，噴嘴列3 B進入該1個被噴出部1 8 R對應之區域。 如此則由噴嘴列3 B最左側噴嘴1 1 8、與左起第2號噴嘴 噴出彩色濾光片材料1 1 1 R。 於噴嘴列3B重疊於被噴出部1 8R之時點起經過噴出 週期EP之整數倍（c 1 . C4倍）之時間期間後，噴嘴列 4 A進入該1個被噴出部1 8R對應之區域。如此則由噴嘴 列4 A最左側噴嘴1 1 8、與左起第2號噴嘴噴出彩色濾光 片材料11 1 R。之後，於噴嘴列4 A重疊於被噴出部1 8 R 之時點起經過噴出週期EP之整數倍（c4倍）之時間期 間後，噴嘴列4B進入該丨個被噴出部〗8R對應之區域。 如此則由噴嘴列4 B最左側噴嘴1 1 8、與左起第2號噴嘴 噴出彩色濾光片材料1 1 1 R。 如此則’噴頭群Μ 4 G之全部噴嘴列以和噴出週期 E P相同相位分別和在Y軸方向並列之多數個被噴出部 1 8 R之各個.因此，對全部噴嘴列之噴嘴n 8可共用驅動 信號產生部203 ·因此’可維持噴出波形（驅動波形）之 精確度之同時，電路構成可以簡單化。 又’依本實施形態，於〗掃描期間內對1個被噴出 -37- (35) (35)1292726 部1 8 R可噴出必要體積之彩色濾光片材料1 1 1 R。此乃因 噴頭群1 14G之於X軸方向之噴嘴間距GXP爲1個噴頭 1 14之於X軸方向之噴嘴間距HXP之大略1/4，因而於1 掃描期間內更多隻噴嘴1 1 8重疊於1個被噴出部。 另外，如圖12所示，於第1掃描期間內，噴嘴列 1 A之最左測噴嘴11 8、與噴嘴列2 A之右起2號噴嘴1 1 8 、與噴嘴列3 A之右起2號噴嘴1 1 8、與噴嘴列4 A之右 起2號噴嘴1 18均未曾重疊於被噴出部18R。因此，彼 等噴嘴不會進行彩色濾光片材料1 1 1 R之噴出。 當第1掃描期間結束後，控制部1 1 2使噴頭群1 1 4G 對X軸方向進行相對移動之後，開始次一掃描期間，對 乃未被塗敷之被噴出部18R噴出彩色濾光片材料111R。 以上說明針對被噴出部1 8R塗敷彩色濾光片材料 1 1 1 R之步驟。 以下說明藉由製造裝置1獲得彩色濾光片基板1 〇之 一連串步驟。 首先，依據以下順序作成圖9之基體1 Ο A。首先， 藉由濺射法或蒸鍍法於支撐基板1 2上形成金屬薄膜。之 後，藉由微影成像技術製程由該金屬薄膜形成格子狀暗 矩陣1 4。暗矩陣1 4之材料例如爲金屬鉻或氧化鉻。支撐 基板1 2爲對可視光具有透光性之基板’例如玻璃基板。 之後，塗敷負型感光性樹脂組成物構成之阻劑用於覆蓋 支撐基板1 2與暗矩陣1 4。於該阻劑層上密接以矩陣狀圖 型形成之遮罩薄膜’使該阻劑層曝光。之後’蝕刻處理 -38- (36) (36)1292726 除去阻劑層之未曝光部分而得堤堰部I 6 °藉由以上步驟 可得基體10A。 又，可以取代堤堰部1 6改用暗樹脂構成之堤堰部。 此情況下，不需要金屬薄膜（暗矩陣1 4 ) ’堤堰部層僅 需1層。 之後，藉由大氣壓下之氧電漿處理對基體10A施予 親液性處理。藉由該處理使支撐基板12、暗矩陣14、堤 堰部1 6所界定各個凹部（畫素區域之一部分）中之支撐 基板1 2表面，與暗矩陣1 4表面，與堤堰部1 6表面呈親 液性。之後，對基體1 〇 A進行以四氟甲烷爲處理氣體之 電漿處理。藉由使用四氟甲烷之電漿處理，各個凹部之 堤堰部1 6表面被氟化處理（疏液化處理），堤堰部1 6 之表面呈疏液性。右，藉由使用四氟甲烷之電漿處理， 先前被賦與親液性之支撐基板1 2表面以及暗矩陣1 4表 面會稍微降低親液性，但是彼等之表面乃能維持親液性 。如上述說明，支撐基板1 2、暗矩陣1 4、與堤堰部1 6 所界定凹部表面被施予特定之表面處理，凹部表面成爲 被噴出部18R、18G、18B。 又，依據支撐基板1 2之材質、暗矩陣1 4之材質、 以及堤堰部1 6之材質，有些情況下不必進行上述表面處 理亦可以獲得呈現所要親液性及疏液性表面。此情況下 ，即使不施予上述表面處理，支撐基板1 2、暗矩陣1 4、 與堤堰部1 6所界定凹部表面成爲被噴出部]8 r、1 8 g、 1 8B。 -39- (37) 1292726 被形成有被噴出部i8R、18G、18B之基體1〇A藉由 搬送裝置170被搬送至噴出裝置1〇〇R之載置台ι〇6，載 置於載置自1〇6。之後’如圖14 ( “所示，噴出裝置 1 〇〇R由噴頭U 4噴出彩色濾光片材料]】1 &而於被噴出 邰1 8R全邰形成彩色濾光片材料n丨R之層。具體言之爲 ，噴出裝置丨00R，係藉由圖12說明之噴出方法於被噴 出部塗敷彩色濾、光片材料1UR。於基體iqa之被噴 出邰1 8 R全形成杉色濾光片材料丨丨丨R層時’搬送裝置 1 7 0使基體 1 ο A位於乾燥奘齧 ^ Λ
U力、早乙’木式置l5〇R內。使被噴出部18R 上之彩色瀘光片材料U1R完全乾燥而於被噴出部i8R上 獲得濾光片層1 1 1 F R。 之後，搬送裝置！70使基體1〇A位於噴出裝置i〇〇G 之載置台1〇6。之後’ $請14 ( b)所示，噴出裝置 ]〇〇G由噴頭u4噴出彩色濾光片材料uig而於被噴出 部UG全部形成彩色濾光片材料Uig之層。具體言之 爲，噴出裝置1〇〇G’係藉由圖12 _說明之噴出方法於被 噴出部UG塗敷彩色濾光片材料1UG。於基體i〇a之被 噴出部18G全部形成彩色據光片材料iug層時，搬送 裝置]70使基體1〇A位於乾燥裝置15〇g內。使被噴出 部上之彩色爐光片㈣111G完全乾燥而於被噴出 部18G上獲得濾光片層1 1 1FG。 之後，搬送裝置m使基體]〇A位於噴出裝置麵 之載置台之後’如圖14 ( c)所示，噴出裝置 1〇〇B由噴頭114噴出彩色濾光片材半斗⑴b而於被噴出 -40 - (38) 1292726 部1 8 B全部形成彩色濾光片材料1丨〗b之層。具體言之爲 ’噴出裝置100B，係藉由圖12說明之噴出方法於被噴 出部18B塗敷彩色濾光片材料丨；[1B。於基體1()a之被噴 出部1 8 B全部形成彩色濾光片材料n 1 b層時，搬送裝置 使基體10A位於乾燥裝置150B內。使被噴出部18B 上之彩色濾光片材料1 1 1 B完全乾燥而於被噴出部1 8 B上 獲得濾光片層1 1 1 FB。 之後，搬送裝置170使基體10A位於烘乾器160內 。之後，烘乾器1 6 0再度加熱（後段烘乾）濾光片層 I 1 1FR、1 1 1FG、1 1 1FB。 之後，搬送裝置170使基體10A位於噴出裝置l〇〇C 之載置台106。之後，噴出裝置100C噴出液狀之保護膜 材料形成保護膜20用於覆蓋濾光片層111FR、111FG、 II 1FB與堤堰部16。覆蓋濾光片層1 1 1FR、1 1 1FG、 11 1FB與堤堰部16之保護膜20形成後，搬送裝置170 使基體10A位於乾燥裝置150C內。乾燥裝置150C完全 乾燥保護膜2 0之後，硬化裝置1 6 5加熱保護膜2 0使完 全硬化而使基體1 〇 A成爲彩色濾光片基板1 〇。 依本實施形態，於噴出裝置100R、i〇〇G、100B之 各個，噴頭群1 1 4G之於X軸方向之噴嘴間距爲噴頭1 1 4 之於X軸方向之噴嘴間距之1 /N倍長度。其中’ N爲噴 頭群114G包含之噴頭114之數目。因此，噴出裝置 I 〇 〇 R、1 0 0 G、1 0 0 B之於X軸方向之噴嘴線密度，係高於 一般之液滴噴出裝置之於X軸方向之噴嘴線密度。因此 -41 - (39) (39)1292726 ^ 裝置1僅變更噴出資料即可對各種尺寸之被噴出 部塗敷彩色濾光片材料。另外，製造裝置1僅變更噴出 資料即可製造各種間距之彩色濾光片基板。 (第3實施形態） 以下說明本發明適用EL顯示裝置（電激發光顯示裝 置）之製造裝置之例。 圖15(a)、 （b)所示基體3 0A，係藉由後述製造 裝置2(圖16)之處理而成之El顯示裝置3〇之基板。 基體30A具有矩陣狀配置之多數個被噴出部38R、38〇、 38B。 具體§之爲’基體30A具有：支撐基板32;形成於支 撐基板3 2上的電路元件層3 4 ;形成於電路元件層3 4上 的多數個畫素電極3 6 ;及形成於多數個畫素電極3 6間的 堤堰部4 0。支撐基板爲對可視光具有透光性之基板，例 如爲玻璃基板。多數個畫素電極3 6之各個爲對可視光具 有透光性之電極，例如爲I Τ Ο ( I n d i ία m - T i η Ο X i d e )電極 。又，多數個畫素電極3 6以矩陣狀配置於電路元件層3 4 上，各個用於界定畫素區域。堤堰部4 0具有格子狀，包 圍多數個畫素電極3 6之各個。堤堰部4 0由形成於電路 元件層3 4上的無機物堤堰部4 0 A，與位於無機物堤堰部 40A上的有機物堤堰部40B構成。 電路元件層3 4具有：於支撐基板3 2上朝特定方向延 伸之多數個掃描電極；覆蓋多數個掃描電極而形成的絕 -42- (40) 1292726 緣膜42 ;位於絕緣膜42上、且朝和多數個掃描電極之 伸方向正交之方向延伸的多數個信號電極；位於掃描 極與信號電極之交叉點附近的多數個開關元件44 ;及 蓋多數個開關元件4 4而形成的聚醯亞胺等之層間絕緣 45。各開關元件44之閘極44G與源極4.4S，分別電連 於對應之掃描電極及信號電極。多數個畫素電極3 6位 層間絕緣膜4 5上。於層間絕緣膜4 5、於各開關元件 之汲極44D對應之部位設有貫穿孔44V，介由該貫穿 44V完成開關元件44與對應之畫素電極36間之電連 。又，各開關元件44位於堤堰部40對應之位置。亦 ，由圖1 4 ( b )之紙面之垂直方向觀察時，多數個開關 件44之各個成爲被堤堰部40覆蓋。 基體30A之畫素電極36與堤堰部40界定之凹部 畫素區域之一部分）係對應於被噴出部3 8 R、被噴出 38G、被噴出部38B。被噴出部38R爲應形成可以發出 色波長帶光線之發光層21 1FR的區域，被噴出部38 G 應形成可以發出綠色波長帶光線之發光層2 1 1 F G的區 ，被噴出部3 8B爲應形成可以發出藍色波長帶光線之 光層21 1FB的區域。 圖15(b)之基體30A位於和X軸方向與Y軸方 雙方平行之假想平面上。多數個被噴出部3 8 R、3 8 G 3 8 B被形成之矩陣之行方向與列方向，係分別平行於 軸方向與Y軸方向。於基體3 0 A，被噴出部3 8 R、3 8 G 3 8 B係於Y軸方向依該順序被週期性並列。另外，被 延 電 覆 膜 接 於 44 孔 接 即 元 部 紅 爲 域 發 向 、 X 噴 -43- (41) 1292726 出部3 8 R間於X軸方向被間隔特定間隔並列1列，被噴 出部3 8 G間於X軸方向被間隔特定間隔並列1列，被噴 出部3 8 B間於X軸方向被間隔特定間隔並列1列。又， X軸方向與Y軸方向互爲正交。 被噴出部3 8 R之於Y軸方向之間隔LRY、亦即間距 約爲5 6 Ο μ m。該間隔係和被噴出部3 8 G之於Y軸方向之 間隔L G Y相同，亦和被噴出部3 8 B之於Y軸方向之間隔 LBY相同。又，被噴出部38R之平面影像爲長邊與短邊 決定之矩形狀。具體言之爲，被噴出部38R於Y軸方向 之長度約爲ΙΟΟμιη’ X軸方向之長度約爲300μηι。被噴 出部38G、被噴出部38Β亦具有和被噴出部38R相同之 形狀、尺寸。被噴出部間之上述間隔與上述尺寸，於 英吋尺寸之高精細電視中係對應於同一顏色所對應之畫 素區域間之間隔或尺寸。 圖16之製造裝置2爲，對圖15之基體3〇A之被噴 出部3 8 R、3 8 G、3 8 B之各個噴出對應之發光材料的裝置 。具體言之爲，製造裝置2具備：噴出裝置2〇〇R，可對被 噴出部38R全部塗敷發光材料211R;乾燥裝置25〇r， 用乾‘被噴出部：>8R上之發光材料2i]r;喧出裝置 200G，可對被噴出部38G全部塗敷發光材料2nG ;乾燥 裝置2 5 0 G，用於乾燥被噴出部38G上之發光材料2iig •，噴出裝置200B，可對被噴出部38B全部塗敷發光材料 211B ;乾燥裝置25 0B，用於乾燥被噴出部38b上之發光 材料B。另外，製造裝置2具備搬送裝置27〇，可依噴出 -44- (42) (42)1292726 裝置200R、乾燥裝置25〇r、噴出裝置2〇〇(}、乾燥裝置 2 5 0 G、噴出裝置200B、乾燥裝置25〇B之順序搬送基體 3 Ο A 〇 圖17所示噴出裝置2 0 0R，具備：保持液狀發光材料 211R的槽201R;軟管210R;介由軟管210R由槽201R 被供給發光材料2 1 1 R的噴出掃描部〗〇2 ;噴出掃描部 1 02之構成係和第1實施形態之噴出掃描部！ 〇 2 (圖1 ) 相同’因此相同之構成要素附加同一符號，並省略其說 明。又’噴出裝置200G之構成、噴出裝置200B之構成 基本上和噴出裝置200R之構成相同。但是，差異在於： 取代槽201R與軟管210R，噴出裝置200G具備發光材料 211G用之槽與軟管。同樣地，噴出裝置200B與噴出裝 置200R之差異在於：取代噴出裝置200R中之槽201R與 軟管210R，噴出裝置200B具備發光材料211B用之槽與 軟管。又，本實施形態之液狀發光材料2 1 1 R、2 1 1 G、 2 1 1 B爲本發明之液狀材料之一例。 以下說明使用製造裝置2之EL顯示裝置30之製造 方法。首先，使喁習知薄膜製造技術與圖型化技術製造 圖1 5之基體3 0 A。 之後，藉由大氣壓下之氧電漿處理對基體30A施予 親液性處理。藉由該處理使畫素電極3 6與堤堰部4 0所 界定各個凹部（畫素區域之一部分）中之畫素電極36表 面、無機物堤堰部40A表面、與有機物堤堰部40B表面 呈親液性。之後，對基體3 0 A進行以四氟甲烷爲處理氣 -45 - (43) (43)1292726 體之電漿處理。藉由使用四氟甲烷之電漿處理，各個凹 部之有機物堤堰部4 0B表面被氟化處理（疏液化處理） ，有機物堤堰部4 Ο B之表面呈疏液性。又，藉由使用四 氟甲烷之電漿處理，先前被賦與親液性之畫素電極3 6表 面以及無機物堤堰部4〇A表面雖會稍微降低親液性，但 是彼等之表面乃能維持親液性。如上述說明，畫素電極 3 6、與堤堰部40所界定凹部表面被施予特定之表面處理 ，凹部表面成爲被噴出部38R、38G、38B。 又，依據畫素電極36之材質、無機物堤堰部40 A之 材質、以及有機物堤堰部4 0 B之材質，有些情況下不必 進行上述表面處理亦可以獲得呈現所要親液性及疏液性 之表面。此情況下，即使不施予上述表面處理，畫素電 極36、與堤堰部40所界定凹部表面成爲被噴出部38R、 38G、 38B 。 於被施予表面處理之多數個畫素電極36之上形成對 應之電洞輸送層3 7 R、3 7 G、3 7 B亦可。電洞輸送層3 7 R 、37G、37B位於畫素電極36與後述之發光層211RF、 21 1 GF、21 1BF之間可以提升EL顯示裝置之發光效率。 於多數個畫素電極3 6之各個之剩設置電洞輸送層時，電 洞輸送層與堤堰部40所界定凹部將和被噴出部3 8R、 3 8 G、3 8 B 對應。 又，電洞輸送層3 7 R、3 7 G、3 7 B可藉由液滴噴出法 形成。此情況下，將含有電洞輸送層37R、37G、37B形 成用材料之溶液以特定量塗敷於各畫素區域之後，乾燥 -46- (44) (44)1292726 即可形成電洞輸送層。 被形成有被噴出部38R、38G、38B之基體30A藉由 搬送裝置270被搬送至噴出裝置200R之載置台1〇6，載 置於載置台1 0 6。之後，如圖1 8 ( a )所示，噴出裝置 2 0 0R由噴頭1 14噴出發光材料21 1R而於被噴出部38R 之全部形成發光材料211R之層。具體言之爲，噴出裝置 2 0 0R，係藉由圖12說明之噴出方法於被噴出部38R塗敷 發光材料21 1R。於基體30A之被噴出部38R全部形成發 光材料21 1R之層時，搬送裝置2 7 0使基體30A位於乾燥 裝置250R內。使被噴出部38R上之發光材料211R完全 乾燥而於被噴出部3 8 R上獲得發光層2 1 1 FR。 之後，搬送裝置2 7 0使基體30A位於噴出裝置200 G 之載置台 106。之後，如圖 18(b)所示，噴出裝置 200G由噴頭114噴出發光材料211G而於被噴出部38G 之全部形成發光材料211G之層。具體言之爲，噴出裝置 2〇〇G’係藉由圖12說明之噴出方法於被噴出部38(3塗 敷發光材料211G。於基體30A之被噴出部38G之全部形 成發光材料21 1G之層時，搬送裝置2 70使基體30 A位 於乾燥裝置2 5 0 G內。使被噴出部3 8 G上之發光材料g 完全乾燥而於被噴出部38G上獲得發光層211FG。 之後，搬送裝置270使基體30A位於噴出裝置2〇〇B 之載置台106。之後’如圖18(c)所示，噴出裝置 2 00B由噴頭〗M噴出發光材料2] 1B而於被噴出部38B 之王J形成發光材料211B之層。具體言之爲，噴出裝置 -47- (45) (45)1292726 2 0 GB ’係藉由圖12說明之噴出方法於被噴出部38B塗敷 發光材料21 1B。於基體30A之被噴出部38B之全部形成 發光材料2 1 1 B之層時，搬送裝置2 7 0使基體3 Ο A位於乾 燥裝置2 5 Ο B內。使被噴出部3 8 B上之發光材料2 1 1 B完 全乾燥而於被噴出部38B上獲得發光層21 1FB。 如圖1 8 ( d )所示，設置對向電極46用於覆蓋發光 層21 1FR、2 1 1FG、21 1FB與堤堰部40。對向電極46作 爲陰極之功能。之後，將封裝基板4 8與基體3 Ο A藉由互 相之周邊部予以接著而得圖1 8 ( d )所示EL顯示裝置3 0 。又’於封裝基板48與基體3 0 A之間被封入惰性氣體 4 9° 於 EL顯示裝置 30，由發光層 211FR、211FG、 2 1 1FB發出之光，係介由畫素電極36、電路元件層34、 支撐基板3 2射出。如上述說明，介由電路元件層3 4射 出光之EL顯示裝置稱爲底部射初型顯示裝置。 依本實施形態，於噴出裝置2 0 0 R、2 0 0 G、2 0 0 B之 各個，噴頭群1 1 4 G之於X軸方向之噴嘴間距爲噴頭1 1 4 之於X軸方向之噴嘴間距之1 /N倍長度。其中，N爲噴 頭群1 1 4G包含之噴頭1 1 4之數目。因此，噴出裝置 2 0 0 R、2 0 0 G、2 0 0 B之於X軸方向之噴嘴線密度，係高於 一般之液滴噴出裝置之於X軸方向之噴嘴線密度。因此 ’製造裝置2僅變更噴出資料即可對各種尺寸之被噴出 部塗敷發光材料。另外，製造裝置2僅變更噴出資料即 可製造各種間距之EL顯示裝置。 -48- (46) 1292726 (第4實施形態） 以下說明本發明適用電漿顯示裝置之背面基板之製 造裝置之例。 圖19(a)、 （ b )所示基體5 0 A，係藉由後述製造 裝置3 (圖2 0 )之處理而成之電漿顯示裝置之背面基板 50B之基板。基體50A具有矩陣狀配置之多數個被噴出 部 58R、 58G、 58B。 具體言之爲，基體50A具有··支撐基板52;形成於支 撐基板5 2上的多數個位址電極5 4 ;覆蓋位址電極5 4而 形成的介電質玻璃層5 6 ;及具有格子狀之同時，用於界 定多數個畫素區域的間隔壁60。多數個畫素區域位於矩 陣狀，多數個畫素區域所形成之矩陣之列之每一列對應 於多數個位址電極5 4之各個。此種基體5 0 A可以習知網 版印刷技術形成。 基體5 0 A之各個畫素區域，介電質玻璃層5 6與間隔 壁6 0所界定之凹部，係對應於被噴出部5 8 R、被噴出部 58G、被噴出部58B。被噴出部58R爲應形成可以發出紅 色波長帶光線之螢光層31 1FR的區域，被噴出部58G爲 應形成可以發出綠色波長帶光線之螢光層3 1 1 FG的區域 ，被噴出部5 8 B爲應形成可以發出藍色波長帶光線之螢 光層3 1 1FB的區域。 圖1 9 ( b )之基體3 0 A位於和X軸方向與Y軸方向 雙方平行之假想平面上。多數個被噴出部58R、58G、
5 8 B所形成之矩陣之行方向與列方向，係分別平行於X -49- (47) (47)1292726 軸方向與Y軸方向。於基體5〇A，被噴出部58R、58(}、 5 8 B係於Y軸方向依該順序被週期性並列。另外，被噴 出部5 8 R間於X軸方向被間隔特定間隔並列1列，被噴 d」ciB 5 8 G間於X軸方向被間_特定間隔並列1列，被噴 出部5 8 B間於X軸方向被間隔特定間隔並列1列。又， X軸方向與Y軸方向互爲正交。 被噴出部5 8 R之於Y軸方向之間隔l R Y、亦即間距 約爲5 6 Ο μ m。g亥間隔係和被噴出部5 8 G之於Y軸方向之 間隔L G Y相同，亦和被噴出部5 8 B之於Y軸方向之間隔 LBY相同。又，被噴出部58R之平面影像爲長邊與短邊 決定之矩形狀。具體言之爲，被噴出部58R於Y軸方向 之長度約爲1 〇 〇 μηι，X軸方向之長度約爲3 Ο Ο μηι。被噴 出部5 8 G、被噴出部5 8 Β亦具有和被噴出部5 8 R相同之 形狀、尺寸。被噴出部間之上述間隔與上述尺寸，於4 0 英吋尺寸之高精細電視中係對應於同一顏色所對應之畫 素區域間之間隔或尺寸。 圖20之製造裝置3爲，對圖19之基體50Α之被噴 出部58R、58G、58Β之各個噴出對應之螢光材料的裝置 。製造裝置3具備：噴出裝置300R，可對被噴出部58R 之全部塗敷螢光材料31 1R ;乾燥裝置3 5 0R，用於乾燥被 噴出部58R上之螢光材料311R;噴出裝置300G，可對 被噴出部58G之全部塗敷螢光材料3 1 1 G ;乾燥裝置 3 5 0 G ’用於乾燥被噴出部5 8 G上之螢光材料3 1 1 G ;噴出 裝置3 0 0Β，可對被噴出部58Β全部塗敷螢光材料3〗1Β -50- (48) 1292726 ;乾燥裝置3 5 Ο B，用於乾燥被噴出部5 8 b上之螢光材料 311B。另外’製造裝置3具備搬送裝置370，可依噴出 裝置300R、乾燥裝置350R、噴出裝置300G、乾燥裝置 3 5 0 G、噴出裝置3 Ο Ο B、乾燥裝置3 5 Ο B之順序搬送基體 5 〇 A 〇 圖21所示噴出裝置300R具備：保持液狀螢光材料 3 1 1R的槽301R ;軟管31 OR ;介由軟管3 10R由槽301R 被彩色濾光片材料的噴出掃描部1 〇 2。噴出掃描部1 〇 2之 構成已於第1實施形態說明，因此省略其重複說明。 噴出裝置300G之構成、噴出裝置300B之構成基本 上和噴出裝置3 00R之構成相同。但是，差異在於：取代 槽301R與軟管310R，噴出裝置3 0 0G具備螢光材料 311G用之槽與軟管。同樣地，噴出裝置300B與噴出裝 置300R之差異在於··取代噴出裝置300R中之槽301R與 軟管310R，噴出裝置3 00B具備螢光材料31 1B用之槽與 軟管。又，本實施形態之液狀螢光材料3 1 1 R、3 1 1 G、 3 1 1 B爲本發明之液狀材料之一例。 以下說明使用製造裝置3之電漿顯示裝置之製造方 法。首先，使用習知網版印刷技術，於支撐基板5 2上形 成多數個位址電極5 4、介電質玻璃層5 6與間隔壁6 0， 而獲得圖19所示基體50A。 之後，藉由大氣壓下之氧電漿處理對基體5 0 A施予 親液性處理。藉由該處理使間隔壁60與介電質玻璃層56 所界定各個凹部（畫素區域之一部分）中之間隔壁6 0表 -51 - (49) (49)1292726 面、與介電質玻璃層5 6表面呈親液性。彼等表面成爲被 噴出部5 8 R、5 8 G、5 8 B。又，依材質，有些情況下不必 進行上述表面處理亦可以獲得呈現所要親液性之表面。 此情況下，即使不施予上述表面處理，間隔壁6 0與介電 質玻璃層56所界定凹部表面成爲被噴出部58R、58G、 58B。 被形成有被噴出部58R、58G、58B之基體50A藉由 搬送裝置370被搬送至噴出裝置300R之載置台106，載 置於載置台106。之後，如圖22(a)所示，噴出裝置 300R由噴頭114噴出螢光材料311R而於被噴出部58R 之全部形成螢光材料311R之層。具體言之爲，噴出裝置 3 0 0R ’係藉由圖12說明之噴出方法於被噴出部58R塗敷 螢光材料3 1 1R。於基體50A之被噴出部58R全部形成螢 光材料3 1.1 R之層時，搬送裝置3 70使基體50A位於乾燥 裝置3 5 0R內。使被噴出部5 8 R上之螢光材料3 1 1 R完全 乾燥而於被噴出部58R上獲得螢光層3 1 1FR。 之後，搬送裝置370使基體50A位於噴出裝置300G 之載置台 106。之後，如圖 22 ( b )所示，噴出裝置 3 00G由噴頭〗14噴出螢光材料3丨ίο而於被噴出部58G 之全部形成螢光材料311G之層。具體言之爲，噴出裝置 3G〇G ’係藉由圖12說明之噴出方法於被噴出部58G塗 敷螢光材料3 1 1 G。於基體5 0 A之被噴出部5 8 G之全部形 成螢光材料3 1 1 G之層時，搬送裝置3 70使基體50A位 於乾燥裝置3 5 0 G內。使被噴出部5 8 G上之螢光材料 -52- (50) (50)1292726 311G完全乾燥而於被噴出部58G上獲得螢光層311FG。 之後，搬送裝置3 7 0使基體5 0 A位於噴出裝置3 0 〇 B 之載置台106。之後，如圖22(c)所示，噴出裝置 3 0 0 B由噴頭1 ；! 4噴出螢光材料3 1 1 B而於被噴出部5 8 B 之全部形成營光材料311B之層。具體言之爲’噴出裝置 3 0 0 B，係藉由圖1 2說明之噴出方法於被噴出部5 8 B塗敷 螢光材料3 1 1B。於基體50A之被噴出部58B之全部形成 螢光材料31 1B之層時，搬送裝置3 70使基體50A位於乾 燥裝置350B內。使被噴出部58B上之螢光材料311B完 全乾燥而於被噴出部58B上獲得螢光層3 11FB。 經由以上製程，基體50A成爲電漿顯示裝置之背面 基板50B 。 之後，如圖23所示，將背面基板50B、前面基板 5 〇 C藉由習知方法進行貼合而得電漿顯示裝置5 0。前面 基板50C具有：玻璃基板68 ;於玻璃基板68上互相平行 被施予圖型化的顯示電極66A與顯示掃描電極66B ;覆 蓋顯示電極66A與顯示掃描電極66B而形成的介電質玻 璃層6 4 ;及形成於介電質玻璃層6 4上的M g Ο保護層6 2 。背面基板50B與前面基板50C，係以背面基板50B之 位址電極54和前面基板50C之顯示電極66A.顯示掃描 電極66B互爲正交而被定位。於間隔壁60包圍之格（畫 素區域）藉由特定壓力封入放電氣體69。 依本實施形態，於噴出裝置3 00R、3 0 0G、3 00B之 各個，噴頭群U 4 G之於X軸方向之噴嘴間距爲噴頭1 1 4 -53- (51) 1292726 之於X軸方向之噴嘴間距之1 /N倍長度。其中，N爲 頭群1 1 4G包含之噴頭1 1 4之數目。因此，噴出裝 3 0 0R、3 00G、3 00B之於X軸方向之噴嘴線密度，係高 一般之液滴噴出裝置之於X軸方向之噴嘴線密度。因 ，製造裝置3僅變更噴出資料即可對各種尺寸之被噴 部塗敷螢光材料。另外，製造裝置3僅變更噴出資料 可製造各種間距之電漿顯示裝置。 (第5實施形態） 以下說明本發明適用具備電子放出元件的影像顯 裝置之製造裝置之例。 圖 24(a)、 （ b )所示基體70A，係藉由後述製 裝置3(圖25)之處理而成之影像顯示裝置之電子源 板7 0B之基板。基體70A具有矩陣狀配置之多數個被 出部7 8。 具體言之爲，基體70A具有：基體72;位於基體 上Na(鈉）擴散防止層74 ;位於Na擴散防止層74上的 數個元件電極76A、76B ;位於多數個元件電極76A上 多數個金屬配線79A ;及位於多數個元件電極76B上 多數個金屬配線79B。多數個金屬配線79A之各個具 朝Y軸方向延伸之形狀。另外，多數個金屬配線79B 各個具有朝X軸方向延伸之形狀。於金屬配線79A與 屬配線79B之間形成絕緣膜75，因此金屬配線79A與 屬配線7 9 B被電絕緣。 噴 置 於 此 出 即 示 造 基 噴 72 多 的 的 有 之 金 金 -54- (52) (52)1292726 包含1對元件電極76A與元件電極76B之部分’對 應於1個畫素區域。 1對元件電極76A與元件電極76B互相僅分離特定 間隔，於Na擴散防止層74上呈對向。某一畫素區域對 應之元件電極7 6 A，係電連接於對應之金屬配線7 9 A。 又，該畫素區域對應之元件電極7 6 B則電連接於對應之 金屬配線79B。本說明書中有時將組合基體72與Na擴 散防止層74之部分標記爲支撐基板。 於基體70A之各個畫素區域中，元件電極76A之一 部分、元件電極 76B之一部分、以及露出於元件電極 76A與元件電極76B間之Na擴散防止層74，係對應於 被噴出部7 8。具體言之爲，被噴出部7 8爲應形成導電性 薄膜4 1 1 F (圖2 7 )之區域，導電性薄膜4 1 1 F係覆蓋元 件電極76A之一部分、元件電極76B之一部分、與元件 電極7 6 A、7 6 B間之間隙而形成。於圖2 4 ( b )，如虛線 所示，本實施形態之被噴出部7 8之平面形狀爲圓形。如 上述說明，本發明之被噴出部之平面形狀亦可爲由X座 標範圍與Y座標範圍決定之圓形。 圖24 ( b )之基體70A位於和X軸方向與Y軸方向 雙方平行之假想平面上。多數個被噴出部7 8所形成之矩 陣之行方向與列方向，係分別平行於X軸方向與Y軸方 向。亦即，於基體70 A，多數個被噴出部7 8係並列於X 軸方向與Y軸方向。又，X軸方向與Y軸方向互爲正交 -55- (53) (53)1292726 被噴出部7 8之於Y軸方向之間隔LRY、亦即間距約 爲1 9 Ο μηι。被噴出部7 8 R於X軸方向之長度（X座標範 圍之長度）約爲1 00 μπι，Υ軸方向之長度（X座標範圍之 長度）約爲1〇〇 μηι。被噴出部78間之上述間隔與上述尺 寸，於4 0英吋尺寸之高精細電視中係對應於晝素區域間 之間隔或尺寸。 圖25之製造裝置4爲，對圖24之基體70Α之被噴 出部78之各個噴出導電性薄膜材料411的裝置。具體言 之爲，製造裝置4具備··噴出裝置4〇〇，可對被噴出部78 之全部塗敷導電性薄膜材料4 1 1 ;及乾燥裝置4 5 0，用於 乾燥被噴出部7 8上之導電性薄膜材料4 1 1。另外，製造 裝置4具備搬送裝置470，可依噴出裝置400、乾燥裝置 45 0之順序搬送基體70Α。 圖2 6所示噴出裝置4 0 0具備：保持液狀導電性薄膜 材料4 1 1的槽4 0 1 ;軟管4 1 0 ;介由軟管4 1 0由槽4 0 1 R 供給導電性薄膜材料4 1 1的噴出掃描部丨〇 2。噴出掃描部 1 0 2之構成已於第1實施形態說明，因此省略其重複說明 。又’本實施形態中，液狀導電性薄膜材料4 1 1爲有機 鈀（P d )溶液。又，本實施形態之液狀導電性薄膜材料 4 1 1爲本發明之液狀材料之一例。 以下說明使用製造裝置4之影像顯示裝置之製造方 法。首先，於鈉玻璃等構成之基體7 2上，形成以S i Ο 2 爲主成份之N a擴散防止層7 4。具體言之爲，使用濺射 法於基體7 2上形成厚度1 μ m之S i 〇 2膜而獲得N a擴散防 -56- (54) (54)1292726 止層74。之後，於Na擴散防止層74上藉由濺射法或真 空蒸鍍法形成厚度5nm之Ti (鈦）層。之後’使用微影 成像技術及蝕刻技術，由該Ti層形成多數對位於僅互相 分離特定距離的1對元件電極76A與元件電極76B。 之後，使用網版印刷技術於Na擴散防止層74與多 數個元件電極76A上塗敷Ag糊並施予燒結而形成朝Y 軸方向延伸之多數個金屬配線79A。之後，使用網版印 刷技術於各金屬配線79A之一部分塗敷玻璃糊並燒結， 而形成絕緣膜7 5。之後，使用網版印刷技術於N a擴散 防止層74與多數個元件電極76B上塗敷Ag糊並燒結， 而形成朝X軸方向延伸之多數個金屬配線7 9 B °又’製 作金屬配線79B時，塗敷Ag糊以使金屬配線79B介由 絕緣膜75與金屬配線79A呈交叉。藉由上述製程獲得圖 24之基體70A。 之後，藉由大氣壓下之氧電漿處理對基體70A施予 親液性處理。藉由該處理使元件電極7 6 A表面之一部分 、元件電極 76B表面之一部分、以及露出於元件電極 76A與元件電極76B間的支撐基板表面呈親液性。彼等 表面成爲被噴出部7 8。又，依材質，有些情況下不必進 行上述表面處理亦可以獲得呈現所要親液性之表面。此 情況下，即使不施予上述表面處理，元件電極7 6 A表面 之一部分、元件電極76B表面之一部分、以及露出於元 件電極76A與元件電極76B間的Na擴散防止層74之表 面成爲被噴出部78。 -57- (55) 1292726
形成有被噴出部78之基體7〇A藉由搬送裝置 搬送至噴出裝置4〇〇之載置台1〇6,載置於載置台 之後，如圖27所示’噴出裝置4〇〇由噴頭1 μ噴 性薄膜材料4 1 1而於被噴出部7 8之全部形成導電 411F。具體言之爲，噴出裝置4〇〇，係藉由圖 噴出方法於被噴出部7 8塗敷導電性薄膜材料4工^ 施形態中，控制部〗丨2對噴頭i ! 4供給信號，以 於被噴出部7 8上的導電性薄膜材料&丨丨之液滴 60μιη〜8 0μηι範圍內。於基體7〇A之被噴出部 形成導電性薄膜材料411之層時，搬送裝置47〇 70A位於乾燥裝置45〇R內。使被噴出部78上之 薄膜材料41 1完全乾燥而於被噴出部7 8上獲得以 微主成份之導電性薄膜4 1 1 F。如上述說明，於各 區域形成覆蓋元件電極 76A表面之一部分、元 76B表面之一部分、以及露出於元件電極76a與 極7 6B間的Na擴散防止層74的導電性薄膜41 1F 之後，於元件電極76A與元件電極76B之間 衝狀特定電壓，而於導電性薄膜4 1 1 F之一部分形 放出部41 1D。又，元件電極76A與元件電極76B 電壓施加，較好是於有機物環境下與真空條件下 行。如此則，電子放出部4 1 1 D之電子放出效率更 件電極76A、與對應之元件電極76B、與設有電子 4 1 1 D之導電性薄膜4 1 1 F成爲電子放出元件。各 放出元件分別對應於各個畫素區域。 470被 106° 出導電 性薄膜 說明之 。本實 使著彈 直徑在 之全部 使基體 導電性 氧化鈀 個畫素 件電極 元件電 〇 施加脈 成電子 之間之 分別進 高。元 放出部 個電子 -58- (56) (56)1292726 經由以上製程，如圖28所示，基體7〇A成爲電子源 基板70B。 β後’如圖29所示，將電子源基板7〇B、前面基板 7 〇 C藉由習知方法進行貼合而得影像顯示裝置7 〇。前面 基板70C具有：玻璃基板82 ;於玻璃基板82上呈矩陣狀 配置之多數個螢光部84 ;覆蓋多數個螢光部84的金屬板 8 6。金屬板8 6作爲電極功能用於加速電子放出部4丨} d 放出之電子束。電子源基板70B與前面基板7〇C被定位 成使多數個電子放出元件之各個分別和多數個螢光部84 對向。又’於電子源基板7 Ο B於前面基板7 0 C之間保持 真空狀態。 具備上述電子放出元件之影像顯示裝置70稱爲SED (Surface-Conduction Electron-Emitter Display )或 FED (Field Emission Display)。又，本說明書中有些情況 下將液晶顯示裝置、EL顯示裝置、電漿顯示裝置、使用 電子放出元件之影像顯示裝置等稱爲「光電裝置」。本 說明書中所謂「光電裝置」並不限於使用雙折射性變化 、或旋光性變化、或光散射性變化等之光學特性變化（ 所謂光電效果）之裝置，而是包含依據信號電壓之施加 而射出、透過、或反射光的全部裝置。 依本實施形態，於噴出裝置400中，噴頭群1 14G之 於X軸方向之噴嘴間距爲噴頭1 1 4之於X軸方向之噴嘴 間距之1 /N倍長度。其中，N爲噴頭群1 1 4 G包含之噴頭 Π4之數目。因此，噴出裝置400之於X軸方向之噴嘴 -59- (57) (57)1292726 線密度’係高於一般之液滴噴出裝置之於X軸方向之噴 嘴線密度。因此，製造裝置4僅變更噴出資料即可對各 種尺寸之被噴出部塗敷導電性薄膜材料。另外，製造裝 置4僅變更噴出資料即可製造各種間距之電子源基板。 【圖式簡單說明】 圖1 :第1實施形態之噴出裝置之模式圖。 圖2 :第1實施形態之拖架之模式圖。 圖3 :第1實施形態之噴頭之模式圖。 圖4 ( a )〜（b ):第1實施形態之噴頭之噴出部之 模式圖。 圖5 :第1實施形態之噴頭群中之噴頭之相對位置關 係之模式圖。 圖6 :第1實施形態之控制部之模式圖。 圖7 : ( a )爲第1實施形態之噴頭驅動部之模式圖， (b )爲噴頭驅動部之驅動信號、選擇信號與噴出信號之 時序圖。 圖8 ( a )〜（b ):第1實施形態之噴頭群之液滴噴 出順序之模式圖。 圖9 :第2實施形態之基體之模式圖。 圖10·•第2實施形態之製造裝置之模式圖。 圖1 1 ··第2實施形態之噴出裝置之模式圖。 圖1 2 :第2實施形態之噴出方法之模式圖。 圖1 3 :第2實施形態之噴出方法之模式圖。 -60- (58)1292726 式圖。 式圖。 式圖。 圖1 4 :第2實施形態之製造方法之模式圖。 圖1 5 ( a )〜（b ):第3實施形態之基體之 圖1 6 :第3實施形態之製造裝置之模式圖。 圖1 7 :第3實施形態之噴出裝置之模式圖。 ® 1 8 :第3實施形態之製造方法之模式圖。 圖1 9 ( a )〜（b ):第4實施形態之基體之 圖20:第4實施形態之製造裝置之模式圖。 圖2 1 ··第4實施形態之噴出裝置之模式圖。 圖22 :第4實施形態之製造方法之模式圖。 圖2 3 :第4實施形態之製造方法之模式圖。 圖24 ( a )〜（b ):第5實施形態之基體之 圖25 ··第5實施形態之製造裝置之模式圖。 圖2 6 :第5實施形態之噴出裝置之模式圖。 圖2 7 :第5實施形態之製造方法之模式圖。 圖28 :第5實施形態之製造方法之模式圖。 圖2 9 :第5實施形態之製造方法之模式圖。 圖3 〇 :掃描範圍之模式圖。 【主要元件符號說明】 1、2、3、4、製造裝置 200B、 1A、IB、2A、2B、3A、3B、4A、4B、噴嘴列 10A、30A、5〇a、70A、基體 1 0 0、1 0 0 R、1 〇 〇 (3、] 〇 〇 B、1 〇 0 C、2 0 0 R、2 0 0 G、 300R、 300G、 300B、 400、噴出裝置 -61 - (59) 1292726 1 Ο 2、噴出掃描部 1 Ο 3、托架 濾光片材料 1 1 4 4、噴頭 104、第1位置控制裝置 1 0 6、載置台 1 0 8、第2位置控制裝置 1 1 1、液狀材料 1 1 1 R、1 1 1 G、1 1 1 Β、彩色 114、 1141、 1142、 1143、 1 1 2、控制部 1 1 4 G、噴頭群 1 1 6 A、1 1 6 Β、噴嘴列 1 1 8、噴嘴 1 1 8 R、基準噴嘴 1 2 4、振動子 1 2 4 C、壓電元件 124A、124B、電極 1 2 7、噴出部 2 0 8、噴頭驅動部 2 03、驅動信號產生部 A S、類比開關 D S、驅動信號 204、處理部 S C、選擇信號 E S、噴出信號 -62 - (60) 1292726 1 〇、彩色濾光片基板
5 8R 18R、18G、18B、38R、38G、38B、 58G、 58B、 78、被噴出部 1 Π FR、1 1 1FG、1 1 1FB、濾光片層 1 3 4、掃描範圍 30、EL顯示裝置 50B、電漿顯示裝置之背面基板 50、電漿顯示裝置 -63-