TWI291075B - Pellicle adhesion apparatus to flat panel display mask - Google Patents

Description

1291075 玖、發明說明： 【明戶斤屬戈^控^糊^員域^ 技術領域 本發明係有關於用以將膠膜黏貼於用以形成TFT液晶 5基板等FPD(平板顯示器）電路基板之稱作光罩的原板之裝 置。 背景技術 第11圖係顯示使用FPD光罩以將像形成於基板上之狀 10況的外觀圖。第11(a)圖中，若異物88附著於光罩96上，則 當利用由紫外線89所產生之曝光作用透過透鏡98將原板之 電路87的像形成於底板99上時，同時也會投影異物88的陰 影。 若使光罩96表面不要附著異物88，則異物88的陰影不 15 會投影在底板99上，但無論構築如何潔淨的環境，亦不可 能使光罩96表面不要附著異物88。 因此，如第11(b)圖所示，若將膠膜97設置於潔淨狀態 之光罩96，則即使異物88附著於膠膜97的膜97b，亦僅有膠 膜97所具有之框97a的高度t中焦點會偏移，異物88的陰影不 20 會投影在底板99上。利用該特性，近年來係藉由設置有膠 膜97之光罩96來製造TFT液晶畫面等FPD電路基板。 第12圖係習知膠膜黏貼裝置200之透視圖。膠膜黏貼裝 置200具有用以保持光罩96之光罩機台90、設有用以保持膠 膜97之膠膜引導構件之膠膜加壓板91及用以將膠膜97推壓 1291075 至光罩96之油壓缸95。於油壓㈣之推壓桿的前端設置有 底板94，且底板94可將油壓缸95的推壓力均勻地傳達至膠 膜97。膠膜97係構成為將膜97b黏貼於框97a，且於框97a之 光罩抵接面9 7 c預先塗布接著劑（未圖示）。 5 在使用膠膜黏貼裝置200時，首先，將膠膜97嵌入膠膜 加壓板91，且將光罩96安裝於光罩機台9〇。該作業係如第 12圖所示，在藉由傾斜機構(未圖示)使光罩機台卯及膠膜加 壓板91傾斜以使光罩96及膠膜97不要掉落之狀態下進行。 在安裝光罩96及膠膜97後，解除光罩機台9〇及膠膜加 1〇壓板91之傾斜狀態。接著，使門92朝箭頭A方向滑動，以將 女1於門92之光罩加壓板93配置於隔著光罩96而與膠膜97 之框97a相對之位置。 然後，油壓缸95透過底板94之膠膜加壓板(未圖示）將膠 膜97均勻地推壓至光罩96，且膠膜97係在光罩加壓板93與 15膠膜加壓板(未圖示）之間黏貼於光罩96。 一旦膠膜97黏貼於光罩96，則解除油壓缸95所進行之 推壓，且使底板94退避。然後，使門92朝箭頭B方向滑動， 且使光罩機台90及膠膜引導構件94成為傾斜狀態。然後， 從光罩機台90取出已黏貼膠膜97之光罩96(製品）。 2〇 經過上述步驟，可製作出已黏貼膠膜97之光罩96。於 此，由於光罩96的尺寸有很多種，故必須使用以安裝光罩 96之光罩機台90與光罩96的尺寸相符。然而，由於過去的 光罩機台90僅可安裝一種尺寸的光罩96，故一旦光罩96的 尺寸改變，則必須替換膠膜黏貼裝置2〇〇中之光罩機台9〇。 1291075 又，在藉由油壓缸95推壓時，必須於其相反側配置靜 止之光罩加壓板93。過去，該光罩加壓板93係設置於朝第 12圖中前頭A、B所示之方向往返移動之滑動式門92。由於 光罩加壓板93必須與膠膜97的尺寸相符，故當膠膜97的尺 5寸改變時’必須將尺寸與膠膜97相符之光罩加壓板93安裝 於門92。 但，由於該光罩加壓板93安裝於門92之膠膜黏貼裝置 200的内部側，故在替換上相當費事且耗時。 因此，本發明之目的在於提供即使光罩尺寸改變亦不 10用替換光罩機台，且當膠膜尺寸改變時，可輕易地替換光 罩加壓板之膠膜黏貼裝置。

t發明内容；J 發明概要 為了解決上述課題，第丨態樣之發明係用以將膠膜黏貼 I5於用以形成FPD基板之曝光用光罩之平板顯示器（FpD)光 罩用膠膜黏貼裝置，其係將光罩與膠膜保持於光罩加壓板 與膠膜加壓板之間，且藉由推壓機構透過膠膜加壓板將膠 膜推£至光罩上，藉此於兩加壓板之間將膠膜黏貼於光 罩，其特徵在於：用以保持光罩之光罩機台具有分別用以 20保1光罩的四邊之保持部，該等保持部係對應光罩之縱向 及t、向的尺"t且朝光罩機台之縱向及橫向移動，並保持 光罩的四邊。 第2態樣之發明係用以將膠膜黏貼於用以形成FpD基 板之曝光用光罩之平板顯示器_)光罩用膠膜黏貼裝 1291075 置’其係將光罩與膠膜保持於光罩加壓板與膠膜加壓板之 間，且藉由推壓機構透過膠膜加壓板將膠膜推壓至光罩 上，藉此於兩加壓板之間將膠膜黏貼於光罩，其特徵在於： 前述光罩加壓板係安裝於藉由繞著垂直轴旋動而開關之門 5的内侧，且可自由地脫離與連接，並設有襄置運轉時使門 維持關閉狀態之鎖機構。 第3態樣之發明係第2態樣之發明中，用以保持光罩之 光罩機台具有分別用以保持光罩的四邊之保持部，該等保 持部係對應光罩之縱向及橫向的尺寸，且朝光罩機台之縱 10向及橫向移動，並保持光罩的四邊。 第1態樣之發明中，由於用以保持光罩之光罩機台具有 分別用以保持光罩的四邊之保持部，且該等保持部對應光 罩之縱向及橫向的尺寸，並朝光罩機台之縱向及橫向移 動，且保持光罩的四邊，故可將不同尺寸之光罩設置於同 15 -光罩機台上，且不必交換光罩機台，而可大幅縮短將膠 膜黏貼於光罩所需的作業時間。 第2恕樣之發明中’由於將用以設置光罩加壓板之門設 為旋動式，故可在開門時使光罩加壓板露出膠膜黏貼裝置 外部，而可輕易地替換光罩加壓板。 20 若貫施第3態樣之發明，則不必交換光罩機台 ，而且可 輕易地替換光罩加壓板，並可迅速地進行膠膜黏貼於光罩 之作業，而提高生產性。 圖式簡單說明 第1圖係膠膜黏貼裝置的概略側視圖。 1291075 第2圖係膠膜黏貼裝置的概略平面圖。 第3圖係門未完全關上之狀態之膠膜黏貼裝置的概略 截面圖。 第4圖係門已完全關上之狀態之膠膜黏貼裝置的概略 5 截面圖。 第5圖係安裝於已實施第1態樣發明之膠膜黏貼裝置之 光罩機台的概略正視圖。 第6圖係顯示與第5圖不同之光罩機台之形態的概略正 視圖。 10 第7圖係光罩機台之部分截面圖。 第8圖係門的部分側視圖。第8(a)圖係顯示門未上鎖之 狀態，第8(b)圖係顯示門已上鎖之狀態。 第9圖係固定於門之加壓板的後視圖。 第10圖係固定於門之加壓板的正視圖。 15 第11圖係顯示使用FPD光罩而將像形成於基板上之狀 況的外觀圖。第11(a)圖係顯示尚未具有膠膜時之狀態，第 11(b)圖係顯示具有膠膜時之狀態。 第12圖係習知膠膜黏貼裝置的透視圖。 L實施方式3 20 實施發明之最佳形態 第1圖係實施第1態樣之發明之膠膜黏貼裝置100的概 略側視圖。又，第2圖係膠膜黏貼裝置100的概略平面圖。 又，第3圖及第4圖係分解膠膜黏貼裝置100之各構件所描繪 的概略截面圖。膠膜黏貼裝置100具有光罩加壓板28、光罩 1291075 機台1、膠膜加壓板36(第3圖）及油壓缸26(推壓機構)作為基 本構成構件。光罩機台1係搭載於可動機台25上。光罩加壓 板28係安裝於門30内側。 於油壓缸26(第1圖）之推壓軸26a的前端設置底板27。於 5底板27設置光罩加壓板36。於光罩加壓板36的四邊分別在2 處δχ有膠膜引導構件21 (第3圖）。膠膜is係嵌入該膠膜引導 構件21，而光罩2a係嵌入光罩機台！。 若使油壓缸26朝前方（第1圖）驅動，則膠膜加壓板36會 推壓膠膜18，而光罩加壓板28會推壓光罩2a。結果，已塗 10布接著劑37之膠膜18會黏貼於光罩2a。 第5圖係光罩機台1之正視圖。第$圖係顯示光罩機台1 之與第5圖不同形態的正視圖。光罩機台1具有上邊框3、下 邊框4、左邊框5、右邊框6、執道7、8、9a、9b、收及滿 等。 15 如第5圖所示，於上邊框3設有2個擋止構件12及4個光 罩保持部14(保持部）。上邊框3可沿著執道7、8朝上下方向 移動。 與上邊框3相同，於下邊框4亦設置2個擋止構件13及4 個光罩保持部15(保持部）。下邊框4亦可沿著軌道7、8朝上 20 下方向移動。 上邊框3與下邊框4係配置成相對於所設置之光罩 2a(第5圖）或光罩2b(第6圖）之縱向的長度而預先移動 ，且與 第5圖令朝橫向延伸之中心線Ua等距離。又，上邊框3與下 邊框4的位置可個別進行微調，若個別進行微調，則中心線 1291075

Ua會偏移兩者的中間仇置。 ::::部_部)，框-_道=:= .U邊框6係配置成相對於 2_咖(第6圖)之橫向的 == f圖中朝縱向延伸之中心_距離： 10 15 uw 進仃微調，若個料行_，則中心線 1 lb g偏移兩者的中間位置。 第5圖中，光罩機台i保持較大的光罩2&，又，第6圖中， 光罩機台1保持較小的光罩孔 ^罩215。弟1圖中’光罩2a藉由上邊 ^的4個衫簡部Η、τ編__簡部Η、左 邊柜5的光罩歸部16及右輕6的光罩簡和來保持。 在將光罩2a安裝於光罩機台1時，光罩2a首先沿著光罩 保持部14、16及π載置於光罩保持部15上，然後藉由擋止 構件12、13確實地保持以避免掉落。 由於第6圖所示之光罩2b的尺寸較第5圖之鮮&小， 故僅使用上邊框3的4個光罩保持部14内中央的2個。下邊框 4的光罩保持部15亦僅使用中央的2個。 第7圖係第5圖之VII —VII截面圖。在光罩仏安裝於光 罩機台1前，將膠膜18嵌入與膠膜加壓板36—體的膠膜引導 構件21。膠膜18由框19及膜20所形成。於框19設有用以使 膜20不會因溫度變化而彎曲之具過濾器的空氣孔（未圖示）。 20 1291075 如第1圖所示，光罩機台1可以設於膠膜黏貼裝置100 上部之水平軸23為中心來旋動，且光罩機台1可藉由設於膠 膜黏貼裝置100下部之傾斜用氣壓缸22(油壓缸亦可)傾斜。 光罩機台1、膠膜引導構件21及傾斜用氣壓缸22係搭載於可 5 藉由未圖示之驅動機構沿著執道24朝前方或後方移動之可 動機台25上。 膠膜18安裝於膠膜引導構件21與光罩2a安裝於光罩機 台1的動作宜在藉由傾斜用氣壓缸22來推壓光罩機台1下部 使光罩機台1相對於例如垂直面傾斜10度之狀態下進行。藉 10 此，膠膜18或光罩2a將不易掉落。 如第2圖所示，於膠膜黏貼裝置100中，在前方設有可 藉由鉸鏈31(垂直軸）旋動之門30。於門30設有鎖卡合部32 及之後會詳述之光罩加壓板28。 第8圖係顯示固定門30之狀況的側視圖。第8(a)圖係顯 15 示未鎖上門30之狀態，第8(b)圖係顯示已鎖上門30之狀態。 門30的鎖機構33係設於門的接收側。鎖機構33藉由未圖示 之氣壓缸朝上下方向在鍮匙部29往返移動。鎖機構33係進 行藉由使鑰匙部29與分別設置於門30之旋動外周側端部之 上部及下部之滾輪狀卡合部32相咬合來鎖上，或藉由解除 20 咬合來解除鎖上的狀態。如第8(a)圖、第8(b)圖所示，藉由 使鑰匙部29與卡合部32之抵接面為傾斜面，可平順且堅固 地鎖上門30。 第9圖係固定於門30之光罩加壓板28的後視圖。又，第 10圖係光罩加壓板28之正視圖。光罩加壓板28係配置成第9 12 1291075 圖所不之面朝向n3G’而第10圖所示之面朝向光罩機台1。 如第9圖所不’在光罩加壓板28的四個角落設有圓形孔 八34為等圓形孔穴34係分別藉由蓋34a來覆蓋。於蓋34a 設有長方形的孔。為了避免蓋34a脫落，以螺絲來固定之。 5 於光罩加壓板28在上下2處設有定位孔穴35。又，於門 设有定位桿（未圖示）。藉由定位桿插入定位孔穴％，以進 行光罩加壓板28對門3〇之精密的對準。結果，第4圖所示之 加壓面28a可配置於後述光罩2a(第5圖）或光罩2b(第6圖）之 正確的推壓位置。 1〇 於門30(第2圖）設有收容於前述圓形孔穴34之縱截面形 狀為T字形之桿（未圖示）。1字形桿之前端呈金槌狀。朝與 收容於圓形孔穴34時之T字形桿的進行方向垂直之方向延 伸的τ字形桿之前端部的長度較蓋34a之長方形孔的長邊短 一些且較短邊長。因此，若使τ字形桿之前端部對準長方形 15孔之長邊且收容於圓形孔穴34内，並在已收容之狀態下使τ 字形桿旋轉90度，則Τ字形桿會與長方形孔之短邊相卡合而 不會從圓形孔穴34脫落。藉由於該狀態下將Τ字形桿強力地 拉向門30側，光罩加壓板28可堅固地固定於門3〇。 如第3圖所示，於油壓缸26(第1圖：推壓構件）之推壓軸 20 26a的前端固定有底板27。於底板27固定有膠膜加壓板36。 利用與上述光罩加壓板28固定於門30的方法同樣的固定方 法將膠膜加壓板36固定於底板27。 在選定光罩2a(第5圖）或光罩2b(第6圖）與膠膜18後，將 尺寸相符之光罩加壓板28固定於門30，且同樣將尺寸相符 13 1291075 之膠膜加壓板36固定於底板27。該安裝作業由於可在打開 門30之狀態下進行，故相較於習知膠膜黏貼裝置200(第12 圖），可在較短的時間内完成。 然後，藉由第1圖所示之傾斜用氣壓缸22使光罩機台1 5 相對於例如垂直面傾斜1〇度。然後，將膠膜18嵌入設於膠 膜加壓板36之膠膜引導構件21，接著，將光罩2a(或光罩2b) 置放於光罩機台1。 如第5圖（或第6圖）所示，預先將上邊框3、下邊框4、左 邊框5、右邊框6移動至適當的位置，並沿著光罩保持部 10 14〜丨7配置光罩2a(光罩2b)，且，藉由擋止構件12、13來保 持光罩2a。 再者’驅動第1圖所示之傾斜用氣壓缸22，以解除傾 斜。然後，在藉由未圖示之驅動機構使可動機台25朝後方 移動後，關閉門30。再者，使可動機台25朝前方移動，並 15 返回解除傾斜時之位置。 驅動油壓缸26，且藉由膠膜加壓板36與光罩加壓板28 對膠膜18與光罩2a施加預定壓力，並在變成即使失去擋止 構件12的支持光罩2a亦不會掉落之狀態後解除擋止構件 12。再者，使油壓缸26朝前方驅動，且對膠膜18與光罩“ 2〇 加壓至施加預定壓力為止，以黏貼兩者。 黏貼後，將油壓缸26朝後方驅動，且解除推壓。然後， 使可動機台25朝後方（第1圖）移動，並解除由門3〇之鎖機構 33所進行之上鎖動作，以開啟門3〇。藉由傾斜用氣壓缸u 使光罩機台1傾斜，且使可動機台25朝前方移動。在該狀熊 14 1291075 下取出已黏貼膠膜18之光罩2a。 在下次的黏貼作業中，當欲將膠膜18黏貼於尺寸與光 妹a不同之光罩2b時，可將光罩加壓板28與膠膜加壓板％ 日換為尺寸與光罩沘用之膠膜Μ的框Η相符者。光罩機台1 —由移動上邊框;3、下邊框4、左邊框$、右邊框6，則可 攸第5圖所示之狀態挪用至第6圖所示之狀態。 【圖式簡單說明】 第1圖係膠膜黏貼裝置的概略側視圖。 第2圖係膠膜黏貼裝置的概略平面圖。 10 第3圖係門未完全關上之狀態之膠膜黏貼裝置的概略 截面圖。 第4圖係門已完全關上之狀態之膠膜黏貼裝置的概略 截面圖。 苐5圖係安裂於已實施第1態樣發明之膠膜黏貼裝置之 15 光罩機台的概略正視圖。 第6圖係顯示與第5圖不同之光罩機台之形態的概略正 視圖。 第7圖係光罩機台之部分截面圖。 第8圖係門的部分側視圖。第8(a)圖係顯示門未上鎖之 20 狀態，第8(b)圖係顯示門已上鎖之狀態。 第9圖係固定於門之加壓板的後視圖。 第10圖係固定於門之加壓板的正視圖。 第11圖係顯示使用FPD光罩而將像形成於基板上之狀 況的外觀圖。第11(a)圖係顯示尚未具有膠膜時之狀態，第 15 1291075 11(b)圖係顯示具有膠膜時之狀態。 第12圖係習知膠膜黏貼裝置的透視圖。 【圖式之主要元件代表符號表】 26a...推壓軸 1、90…光罩機台 2a、2b、96·.·光罩 3.. .上邊框 4.. .下邊框 5.. .左邊框 6.. .右邊框 7、8、9a、9b、10a、10b、24··. 執道 11a、lib...中心線 12、13…擋止構件 14、15、16、17…光罩保持部 18、 97…膠膜 19、 97a···框 20、 97b...膜 21、 94…膠膜引導構件 22.. .傾斜用氣壓缸 23.. .水平軸 25.. .可動機台 26、95...油壓缸 27、 94、99···底板 28、 93…光罩加壓板 28a...加壓面 29.. .鑰匙部 30、92···門 32.. .鎖卡合部 33.. .鎖機構 34…圓形孔穴 34a· · · Μ. 35.. .定位孔穴 36、91…膠膜加壓板 37.. .接著劑 87.. .電路 88…異物 89.··紫外線 97c...抵接面 98…透鏡 100、200...膠膜黏貼裝置 16

Claims (1)

1291075 拾、申請專利範圍： 1· 一種平板顯示器（FPD)光罩用膠膜黏貼裝置，係用以將 膠膜黏貼於用以形成FPD基板之曝光用光罩者， 該平板顯示器（FPD)光罩用膠膜黏貼裝置係將光罩 與膠膜保持於光罩加壓板與膠膜加壓板之間，且藉由推 壓機構透過膠膜加壓板將膠膜推壓至光罩上，藉此於兩 加壓板之間將膠膜黏貼於光罩，其特徵在於： 用以保持光罩之光罩機台具有分別用以保持光罩 的四邊之保持部，該等保持部係對應光罩之縱向及橫向 的尺寸，且朝光罩機台之縱向及橫向移動，並保持光罩 的四邊。 2· —種平板顯示器（FPD)光罩用膠膜黏貼裝置，係用以將 膠膜黏貼於用以形成FPD基板之曝光用光罩者， 該平板顯示器（FPD)光罩用膠膜黏貼裝置係將光罩 與膠膜保持於光罩加壓板與膠膜加壓板之間，且藉由推 壓機構透過膠膜加壓板將膠膜推壓至光罩上，藉此於兩 加壓板之間將膠膜黏貼於光罩，其特徵在於： 前述光罩加壓板係安裝於藉由繞著垂直軸旋動而 開關之門的内側，且可自由地脫離與連接， 並設有裝置運轉時使門維持關閉狀態之鎖機構。 3·如申請專利範圍第2項之平板顯示器（FPD)光罩用膠膜 黏貼裝置，其中用以保持光罩之光罩機台具有分別用以 保持光罩的四邊之保持部，該等保持部係對應光罩之縱 向及橫向的尺寸，且朝光罩機台之縱向及橫向移動，並 17 1291075 保持光罩的四邊。

10 15

20 18