TWI289213B - A head unit, a droplet ejection apparatus, a method of manufacturing a panel from a base, an image display apparatus and an electronic apparatus - Google Patents

Description

1289213 九、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一用於一液滴噴出裝置中之噴頭單元、一 、 液滴噴出裝置、一從基材製造面板之方法、一圖像顯示裝 . 置及一電子裝置。 【先前技術】 作為製造用於諸如液晶顯示器之彩色濾光片的圖像顯示 籲 裝置之面板的方法，已知一使用液滴噴出裝置（嘴墨繪圖 裝置）之方法(例如，參見JP_A_59-75205)。在此方法中， 複數個像素形成於用於製造面板之基板上，其中於該基板 上複數個像素（噴出區域）係藉由使用液滴噴出裝置以液滴 形式將諸如墨水之液體材料供應至複數個像素上而形成。 用於製造面板之此液滴喷出裝置藉由以下步驟將用於形成 像素之液體材料供應至基板上的複數個像素上：以液滴形 式將液體材料噴出至基板上，同時關於一噴頭 其上 φ 提供有複數個液滴喷出頭）相互移動用於支撐該基板 臺。 複數個喷嘴（喷嘴開口）形成於一液滴噴出頭中以便被對 準，且複數個喷嘴構成-噴嘴陣列。由於喷嘴陣列之長度 匕板之尺寸’故硬數個液滴喷出頭經排列於喷頭單元 ί使得當自—掃描方向觀察時其嘴嘴陣列彼此連接，以使 仟液滴在一噴頭單元掃描 製之寬度）更長。 ά時所噴之區域的寬度（待繪 由於硬數個液滴噴出頭之間的喷出量不可避免地 105193.doc 1289213 發生一些變化，例如，一液滴喷出頭噴出液體材料之液滴 所至的像素之顏色可變深；且另一液滴噴出頭喷出液體材 料之液滴所至的像素之顏色可變淺。在此狀況下，存在著 在面板中產生顏色不均勻性之問題。 【發明内容】 曰的隹於提供：噴頭單 因此，本發明 液滴喷出裝置中；液滴噴出裝置，其可製造一無顏色不均 勻性之咼品質面板，從基材製造面板之方法；圖像顯示裝 置及電子裝置，其具有一無顏色不均勻性之面板。 、 為達成上述目的，在本發明之一態樣中’本發明係針對 於-用於液滴噴出裝置中之噴頭單元。該噴頭單 於以液滴形式將具有預定顏色之一或多種液體材料喷出至 基材上的複數個液滴噴出頭。該等液滴喷出頭中每一者包 括由線性對準之複數個噴嘴構成之至少—喷嘴陣列。該液 體材料適用於經由複數個液滴喷出頭之複數個喷嘴以液滴 Γ而噴出。用於噴出相同顏色液體材料之複數個液滴噴 出頭經排列以使得該等複數個液 、 一 ，同1出碩之喷嘴陣列於第 方向彼此平行，且當自垂直於該 疚砗矣斤处 弟方向之第二方向觀 '丁、時母一该等複數個液滴噴出頭與 部分地重疊。彼此邮八舌„ 其匕液滴喷出頭 之所有兮裳、t 噴出相同顏色液體材料 斤有忒#稷數個液滴噴出頭以 至該基材的財區域上。 “式將液體材料喷出 根據用於本發明之液滴喷出裝 噴嘴陣列之重Aώ 之噴碩單元，可使用 之重$經由歿數個液滴噴 貝之噴嘴而將液體材 105193.doc 1289213 料之液滴噴出至一噴出區域（亦即，-像素）上。因此，即 使在其中於複數個液滴噴出頭之噴出量之間存在變化(誤 差）的狀况下，使用本發明之喷頭單元亦可能防止在待從 °亥基材製造之面板表面中產生有害的顏色不均勻性。換言 之、，與本發明相對比，在其中經由僅一液滴喷出頭之喷嘴 將液f材料供應至-噴出區域上的狀況下，液滴喷出頭之 喷^里的變化直接引起待供應至每一喷出區域上之液體材 科ϊ的變化（誤差），藉以使得在面板中嚴重地呈現顏色不 均勾性。另一方面，在本發明中，由於待供應至-喷出區 二上之液體材料之量變成於掃描方向重疊之複數個液滴喷 貝$平均噴出里’故可能使供應至每―喷出 液 體材料的量均句化，藉以可能防止產生顏色不均句性。 =卜’猎由排列複數個液滴噴出頭使得該等複數個液滴 々貧出頭之贺嘴陣列在第一方向彼此平行，且當自垂直於該 :-方向之第二方向觀察時每—複數個液滴噴出頭盥至少 一其它液滴噴出頭部分地重疊，本發明之噴頭單元 下優點。 匕液滴噴出頭由於其組態而通常傾向於相互地改變沿著噴 嘴陣列上下之每一噴嘴的噴出量。 羋例而S，存在以下狀 況.一位於喷嘴陣列中心附近之噴嘴中的噴出量相對較 =且越接近喷嘴陣列之兩末端’一噴嘴中之喷出量變得 越夕。在此狀況下’與本發明之噴頭翠元相對比，在主中 用於以液滴形式將液體材料噴出至_噴出區域(亦即，、一 像幻上之複數個液滴噴出頭已對準的狀況下，沿著該等 105193.doc 1289213 複數個液滴噴出頭中 化直接引起牲也 噴鳴陣列的每一噴嘴之喷出量之變 (誤差），藉以在待f造/ 液體材料量的變化 性。 &之面板中嚴重地呈現顏色不均勻 另一方面，在本發明中，由— …^ 故-液滴喷出頭之噴嘴 、、早兀，、有上述組態’ 滴經由該喷嘴而嘴出Πΐ個喷嘴中之一喷嘴（液 液滴喷出頭之，嘴=”區域上)的位置不同於其它 由該喷嘴而喷出至一“、角甲之噴鳥(液滴經 喷出頭中之卜^ 、區域上）的位置。因此，一液滴 嘴出頭中之此一喷嘴喑旦 頭中之此一噴嘴的噴出：：傾向於不同於其它液滴喷出 …，曰！。待供應至該-喷出區域上之液 體材料置變成複數個液 曰m 成/苟貧出頭中之對應喷嘴的平均喷出

罝。因此，在本發明中，可茲山τ I .^ ^ ^ ^ 了稭由平均化沿喷嘴陣列之每一 .,^ ^ ^ 補1貝”亥荨噴出量，且此使得可能均 = :出區域上之液體材料量，藉以可能更必 性。 待裝造之面板表面中產生有害的顏色不均勻 在本發明之噴頭單元φ 、中較佳地，該或該等種類液體材 科包括分別具有紅色、綠色及藍色之三種類的液體材料。 本七月之$恶樣中，本發明係針對於以液滴形式將 一或多種液體材料供應至—基材上的液滴喷出裝置。古亥或 該等種類液體材料具有一預定顏色。該裝置包括： 該噴頭單元，其藉由請求項丨界定； —平臺’其具有兩個主要表面’該平臺之兩主要表面中 105193.doc 1289213 2二者面向該噴頭單元之複數個液滴喷出頭，且該基材係 支撐於該平臺之該一個主要表面上； ^移動機構’其用於相對於該喷頭單元相互移動該平 至'，及 作，技制：兀’其用於控制該喷頭單元及該移動機構之操 料使付”亥噴頭單凡之每-複數個液滴喷出頭將液體材 二液滴噴出至基材上，同時在垂直於第-方向之第二方 向相對於該噴頭單元相互移動該平臺。 根據本發明之液滴喷出裝置，可使用噴嘴陣列之重疊經 硬數個液滴喷出頭之噴嘴而將液體材料之液滴喷出至一 、出區域（亦即’ 一像素）上。因此，即使在其中於複數個 ^滴喷出頭之噴出量之間存在變化（誤幻的狀況下，使用 =明之喷頭單元亦可能防止在待從基材製造之面板表面 :產生有害的顏色不均句性。換言之，與本發明相對比， 在其中經由僅一液滴噴出頭之喷嘴將液體材料供應至一喷 出區域上的狀況下，液滴噴出頭之喷出量變化直接引起待 供應至每一噴出區域上之液體材料之量的變化（誤差），藉 以在面板中嚴重地呈現顏色不均勾性。另—方面，在本考; :中由;^待供應至—噴出區域上之液體材料量變成於掃 “方向重豐之複數個液滴喷出頭的平均喷出量，故可能均 勻化供應至母一噴出區域上之液體材料的量’藉以可能防 止產生顏色不均勻性。 在本發明之液滴噴出裝置中，較佳地，基材為用於製造 一用於液晶顯示器之彩色滤光片基板的基底材料，且該或 105I93.doc 1289213 該等種類液體材料為用於形成該彩色滤光片基板之滤光層 的墨水。 此使得可能以高生產率（製造效率）製造無有害顏色不均 勾性及條紋的用於液晶顯示器之彩色渡光片基板。 在本發明之液滴噴出裝置中，較佳地，基材為用於製造 電致毛光㉟不益之基底材料，且該或該等種類液體材料包 括-用於製造該電致發光顯示器之發光材料。 此使得可能以高生產率（製造效率）製造無有害顏色不均 勻性及條紋之電致發光顯示器。 在本發明之另—態樣中，本發明係針對於—使用上述液 滴喷出裝置從基材製造面板之方法。該方法包括以下步 驟： 製備一基材；及 藉由以下步驟以液滴形式將—預定顏色之一或多種液體 材料供應至該基材上·益士 ％、立+ t 柯上·精由液滴贺出裝置噴出該等液滴， 同纣在垂直於第一方向之第二方向相對於噴頭單元相互移 動該基材。 根據使用本發明之液滴喷出裝置從基材製造面板之方 法，可使用喷嘴陣列之重疊經由複數個液滴噴出頭之喷嘴 將液體材料之液滴噴出至一噴出區域（亦即，-像素）上。 p使在其中於複數個液滴噴出頭喷出量之間存在變 =差)的狀況下，使用本發明之喷頭單元亦可能防止在 材製造之面板表面中產生有害的顏色不均句性。換 吕之’與本發明相對比，在其中經由僅一液滴噴出頭之喷 105193.doc 1289213 為將液體材料供應至一喷出區域上的狀況下，液滴喷出頭 之噴出量的變化直接引起待供應至每一噴出區域上之液體 材料里的變化（误差）’藉以在面板中嚴重地呈現顏色不均 勻性。另一方面，在本發明中，由於待供應至一噴出區域 上之液體材料量變成於掃描方向重疊之複數個液滴噴出頭 之平均噴出量，故可能均勻化供應至每一噴出區域上之液 體材料量，藉以可能防止產生顏色不均勻性。 另外，藉由排列複數個液滴噴出頭使得該等複數個液滴 噴出頭之喷嘴陣列在第一方向彼此平行，且當自一垂直於 ㈣-方向之第二方向觀察時每一複數個液滴喷出頭與至 少-其它液滴噴出頭部分地重疊，本發明之喷頭單元 以下優點。 /、 心液：喷出頭由於其組態而通常傾向於相互改變沿噴嘴陣

105193.doc 由於_元具有上述組態， 之複數個噴嘴中的一噴嘴（液 -12- 1289213 _、、工由其而噴出至一喷出區域上）的位置不同於其它液滴 噴出碩之噴嘴陣列之複數個噴嘴中的一喷嘴（液滴經由其 而噴出至一噴出區域上）的位置。因此，一液滴噴出頭中 之此1嘴之噴出量傾向於不同於其它液滴噴出帛中的此 ^ 噴出塁。待供應至該一喷出區域上之液體材料量 Μ成複數個液滴喷出頭中之對應噴嘴的平均噴出量。因 此，在本發明中，可藉由平均化沿喷嘴陣列之每一噴嘴之 噴出量的變化而補償該等喷出量，且此使得可能均句化供 應至每一噴出區域上之液體材料的量，藉以可能更必然地 防止在待製造之面板表面中產生有害的顏色不均勻性。 在根據本發明之從基材製造面板之方法中，較佳地，該 基材為用於製造-用於液晶顯示器之彩色濾、光片基板的= 底材料’且該或該等種類液體材料為用於形成該彩色濾光 片基板之滤光層的墨水。 此使得可能以高生產率（製造效率）製造無有害顏色不均 勻性的用於液晶顯示器之彩色濾光片基板。 在根據本發明之從基材製造面板之方法中，較佳地…亥 基材為用於製造電致發光顯示器之基底材料，且該或該等 :類液體材料包括用於製造該電致發光顯示器之發‘材 此使得可能以高生產率（製造效率）製造無有害顏色 勻性之電致發光顯示器。 在本發明之另-態樣中，本發明係針對於一圖像顯示裝 置’其包括使用上述方法製造之面板。 105193.doc 1289213 此使得可能以高生產率（製造效率）製造無有害顏色不均 勻性之圖像顯示裝置。 在本發明之另—態樣中’本發明係針對於—電子裝置， 其包括上述圖像顯示裝置。 、 此使得可能以高生產率（製造效率）製造包括無有害顏色 不均勻性之圖像顯示裝置的電子裝置。 【實施方式】 現將參看附隨圖式詳細描述根據本發明之噴頭單元、液 滴噴出震置、從基材製造面板之方法、圖像顯示裝置及電 子裝置的較佳實施例。 在本實施财’通常將描述製造―將作為面板之一實例 而成為液晶顯示器之組件的彩色濾光片基板1〇之狀況。 (液滴噴出裝置之整個組態） 圖1為本發明之-實施例中之液滴喷出裝置i的透視圖。 如圖1所示’液滴喷出裝置i具有：噴頭單元1〇3,盆中複 數個液滴喷出頭2安裝於滑架105上；滑架移動機構(移動 機構)HM，其用於在一水平方向(下文中，稱為，，x軸方向") 移動噴頭單元1G3 ;平臺1G6，其用於支撐稍後所述之基材 ;平臺移動機構（移動機構）1〇8，其用於在垂直於X轴 方向之水平方向(下文中’稱為”γ軸方向，，)移動平臺⑽； 及控制單元112,其用於控制噴頭單元1〇3、滑架移動機構 104及平臺移動機構108。 另外，在液滴喷出裝置1之附近提供分別用於儲存包括 紅色（R)、綠色（G)及藍色（Β)之三種類之液體材料⑴的三 105193.doc -14- 1289213 個財槽1 Ο 1。每一貯槽1 〇丨經由管11 〇而連接至噴頭單元 1〇3，管110充當一用於傳送液體材料U1之流動路徑。儲 存於每一貯槽101中之液體材料U丨係傳送（供應）至噴頭單 元103中之每一液滴喷出頭2。

在此方面，本發明中之”液體材料”包括用於形成面板之 像素的材料，且意味著具有足夠之黏度以經由液滴噴出頭 2之喷嘴25而喷出的材料。在此狀況下，該材料可為水基 的或油基的。另外，該材料僅需要具有可經由液滴噴出頭 2之噴嘴25噴出之流動性（黏度）。即使固體材料可分散至該 材料中，總體上該材料亦可為流體。本實施例中之液體S 料m為有機溶劑墨水，其中用於形成彩色;慮光片基板 之像素之濾光層的顏料溶解或分散於有機溶劑中。 在此方面，於以下描述中，在區分紅色、綠色及藍色之 液體材料⑴的狀況下，將其分別稱為"液體材料uir、液 體材料111G及液體材料111B,，。另—方面，在大致對液體 材料⑴進行命名而不區分顏色的狀況下，將其每一者簡 單稱為π液體材料111，，。 滑架移動機構ΗΜ之操作係藉由控制單元112來控制。本 實施例中之滑架移動機構1G4具有藉由沿著—垂直方向（下 文中’一稱為"z軸方向")移動噴頭單元ι〇3而調整喷頭單元 、，0度的功此。另外’滑架移動機構刚亦具有圍繞一 平行於⑽方向之軸而旋轉噴頭單元⑻之功能，且此使得 可精細調整喷頭單元103圍繞Z轴之角。 平臺106具有一 方向之平面。另 平行於X軸方向與γ軸 105193.doc -15- 1289213 外’平臺1 Ο 6經建構以择媒田仏告卩 筹使侍用於製造彩色濾光片基板10之 :⑽可固定或固持(或支撐)於其上。平臺移動機構⑽ 沿#垂直於X軸方向與ζ軸方向之γ轴方向移動平臺⑽。 平臺移動機構108之操作係藉由控制單元U2來控制。另 外，本實施例中之平臺移動機構1〇8亦具有圍繞一平行於ζ 軸=向之軸旋轉平臺1〇6之功能，且此使得可藉由精細調 安破於平室106上之基材1〇Α圍繞ζ軸方向之傾斜來校正 Α之位置，以使彳于基材1 〇a變得關於喷頭單元1 平 直。

女上文所述，噴頭單元1〇3藉由滑架移動機構1〇4而向X 軸方向移動。另一方面，平臺1〇6藉由平臺移動機構1〇8而 向γ軸方向移動。因此，噴頭單元103關於平臺1〇6之相互 位置可藉由滑架移動機構1〇4及平臺移動機構1〇8來改變。 在此方面，稍後將描述控制單元U2之詳細構造及功 能。 (噴頭單元） 圖2為展示圖1中所示之液滴喷出裝置1之噴頭單元103及 展示基材10A的平面圖。圖2中所示之喷頭單元1〇3具有其 中複數個液滴噴出頭2安裝於滑架105上之結構。滑架105 固2中以雙點虛線（chain double-dashed line)展示。另 外’分別展示複數個液滴喷出頭2之實線指示複數個液滴 嘴出碩2之噴嘴表面（亦即，稍後所述之噴嘴板128)的位 置。 用於噴出紅色液體材料1丨1R之四個液滴噴出頭2、用於

93.doc V： -16· 1289213 噴出綠色液體材料1UG之四個液滴噴出頭2，及用於噴出 -色液體材料111B之四個液滴喷出頭2係提供於喷頭單元 :〇3上。該等用於噴出紅色液體材料111R之四個液滴噴出 一匕括第液滴噴出頭21R、第二液滴噴出頭22R、第三 液滴噴出頭23R及液滴喷出頭篇。該等用於喷出綠色: 體材料1UG之四個液滴噴出頭2包括第一液滴喷出頭 G第一液滴噴出頭22G、第三液滴喷出頭23G及液滴噴 出頭24G。該等用於噴出藍色液體材料111B之四個液滴噴 出頭2包括第一液滴喷出頭⑽、第二液滴噴出頭，、第 三液滴喷出頭23B及液滴喷出頭24B。 、下4田述中，於大致對此等液滴喷出頭2命名而不藉 由待喷出之液體材料之顏色對其進行區分的狀況下，將其 母一者簡單稱為，，液滴喷出頭2”。另一方面，在區分用於 喷出紅色、綠色及藍色液體材料lu之液滴喷出頭2的狀況 下，可將其稱為（例如第一液滴喷出頭2ir、第二液滴噴 出頭22R、…”。 圖2中所不之基材1〇A為用於製造一用於液晶顯示器之彩 色濾光片基板10的基底材料，其中在該彩色濾光片基板10 上彩色濾光片以條紋方式排列。複數個紅色像素（喷出區 域）18R、複數個綠色像素（噴出區域）18G及複數個藍色像 素（噴出區域）18B係提供於基材1〇A上。液滴喷出裝置丄運 作以使得紅色液體材料丨丨以供應至每一像素18R上，綠色 液體材料111G供應至每一像素18G上，且藍色液體材料 111B供應至每一像素18]5上。 105193.doc •17· 1289213 每一像素服、18G及⑽具有大體長方形之形狀。基材 脱以下列姿勢支撑於平臺1〇6上：其中每一像素isr、 18G及18B之長軸方向平行於⑽方向且每一像素·、 18G及刚之短軸方向平行μ轴方向。複數個像素微、 】概刚排列於基材上以便以此次序沿Υ軸方向重複 地排列，且使得相同顏色之像素沿X軸方向排列。排列於 Υ抽方向之、组像素⑽、邮及⑽對應於待製造之彩色 滤光片基板1 0之一像元。 (液滴喷出頭） 圖3為展示液滴噴出頭2之喷嘴表面（喷嘴板128)之一部 ，及展示基材10A之像素的放大平面圖。在此方面，儘管 母一液滴喷出頊2之喷嘴表面經提供以便面向基材10A(亦 即’在-垂直方向上）’但出於觀測方便起見，圖3以實線 展示每一液滴喷出頭2之噴嘴表面。複數個喷嘴（喷嘴孔）25 形成於每一液滴嗜屮涵？ ± 1出頭2之噴鳥表面上以便以均等間隔沿 著X軸方向線性對準。每一液滴噴出頭2中之複數個喷嘴h 構成：少一個噴嘴陣列。在本實施例中，兩個噴嘴陣列以 、，平仃方式形成於每-液滴喷出頭2上以便關於彼此以一 半間距而移位。然而，本發明不侷限於此。一液滴喷出頭 2可具有之噴嘴陣列的數目可為-個或三個或更多。另 外’形成於一液滴噴出頭2上之噴嘴25之數目並不特定地 受到限制，且其通常可在約數打至數百之範圍内。 圖4(a)及圖4(b)分別為圖1中所示之液滴喷出裝置1之液 商喷出頭2的透視截面圖及截面圖。如圖4⑷及圖*⑻所 I05193.doc -18- 1289213 示，每一液滴噴出頭2構成一噴墨噴頭。更具體言之，液 滴嗔出頭2具有一橫隔板126及一喷嘴板128。儲集器位 •於橫隔板126與喷嘴板128之間。儲集器129經由墨水進口 而以自貞了槽1 〇 1供應之液體材料1 1 1來填充（fulfill)。 複數個間壁122位於橫隔板126與噴嘴板128之間。空腔 120係藉由橫隔板126、噴嘴板128及一對間壁122而界定。 由於空腔120係根據一噴嘴25而提供，故空腔12〇之數目與 喷嘴25之數目相同。液體材料⑴經由提供於該對間壁a: 之間的墨水供應口 Π0而供應至空腔12〇。 作為驅動元件之振動器124根據每一空腔12〇而位於隔板 126上。該振動器124改變空腔12〇内所填充之液體材料m 的液體壓力，且包括一壓電元件124C及一對電極12从及 124B，該對電極之間夾著該壓電元件124C。藉由在該對 電極124A與124B之間施加一驅動電壓信號，壓電元件 124C變形以改變空腔12〇内所填充之液體材料lu的液體壓 力’藉此經由對應之喷嘴25而以液滴形式喷出液體材料 111。每一喷嘴25之形狀經調整以使得液體材料i 1丨經由每 一喷嘴25於Z軸方向喷出。 圖1所示之控制單元112可經建構以彼此獨立地將一驅動 電壓信號施加至每一複數個振動器〗24。換言之，可參考 母一喷鳴2 5而根據來自控制單元112之驅動電壓信號來控 制經由每一喷嘴25喷出的液體材料丨丨丨之體積。 在此方面，液滴喷出頭2並不限於使用如圖4所示之壓電 致動器作為驅動元件的液滴喷出頭。舉例而言，液滴喷出 105193.doc -19- 1289213 頭2可使用靜電致動器，或可具有—結構，在該結構μ 體材料ill藉由電熱轉換元件而使用液體材料⑴之熱膨服 (薄膜沸騰）以液滴形式嘴出。 (控制單元） 其次，現將描述控制單元112之組態。圖5為圖1中所示 之液滴喷出A置1的方塊圖，該液滴喷出装置包括控制翠 元m。如圖5所示，控制單元112具有輸入緩衝記情體 、儲存單元2〇2、處理單元2〇4、掃描驅動單元2〇6’: 頭驅動單元208、滑牟仞娶泣、抑μ。Λ 、 /、 谓測裔件3〇2及平臺位置偵測哭 件 303 〇 °° 處理單元204電連接至輸入缓衝記 搬、掃描驅動單元2〇6 4存早疋 1頭驅動早το 208、滑架位置偵 測器件3G2及平臺位置_器㈣3中的每—者。另外^ 描驅動單元2G6電連接至滑架移動機構⑽與平臺移動機： ⑽。類似地，喷頭驅動單元2〇8電連接至噴頭單元 之母一複數個液滴噴出頭2。 輸入緩衝記憶體200接收關於液體材料⑴之 =位置的資料，亦即，來自外部資訊處理裝置之綠製圖案 貝枓。輸入緩衝記憶體2〇〇將繪製圖案資料輸出至:： -204’且處理單元2〇4接著將繪製圖案 ：： …。在此方面，圖5中所示之儲存單==

Ram(隨機存取記憶體）、磁性記錄媒體 其類似物構；^ W錄媒體或 滑架位置她件则嶋蚁位置^，於χ 105I93.doc -20· 1289213 軸方向之噴頭單元103之位置（滑架1〇5在χ軸方向之移動距 抑）且’月杀位置偵测器件302將所偵測之信號輸出至處理 單元204。舉例而言’滑架位置偵測器件3〇2及平臺位置偵 測器件303係由線性編碼器、雷射長度量測器件或其類似 器件構成。 處理單兀204基於滑架位置偵測器件3〇2與平臺位置偵測 為件303之偵測信號經由掃描驅動單元2〇6而控制滑架移動 枝構104及平室移動機構丨〇8之操作，藉此控制喷頭單元 103之位置及基材10Α之位£。另夕卜，處理單元⑽控制平 臺106之移動速度，亦即，藉由控制平臺移動機構1〇8之操 作而控制基材10Α。 此外’處理單元204基於儲存單元2〇2中所健存之綠製圖 案資料而將用於在每一喷出時序中指定每一喷嘴乃之開啓 /關閉（ΟΝ/OFF)的選擇信號sc輸出至喷頭驅動單元。噴 頭駆動單S2G8接著基於選擇信號％而向每—液滴喷出頭2 輸出噴出液體材料1U所需之噴出信號。因此，液體材料 Π1經由每一液滴噴出頭2中之對應噴嘴25以液滴形式喷 出。 /空制單元m可為一具有CPU(中央處理單元）、r〇m(唯 讀記憶體）、RAM及其類似物之電腦。在此狀況下，可使 用該電腦可執行之軟體程式來實現上述控制單元ιΐ2之操 作。或者’可以專用電路（亦即，使用硬體）來實現控制單 元 112 〇 其次，將描述控制單元II2中之喷頭驅動單元2〇8的組態 105193.doc 1289213 及功能。圖6(a)為喷頭驅動單元208之示意圖。圖6(b)為一 展示用於噴頭驅動單元208之驅動信號、選擇信號及噴出 信號之時序圖。如圖6(a)所示，喷頭驅動單元2〇8包括一驅 動信號產生器203及複數個類比開關AS。如圖6(b)所示， 5亥·蘇動彳5就產生2 0 3產生一驅動信號D S。該驅動信號d § 之電位隨時間而關於參考電位L改變。更具體言之，驅動 信號DS包括以喷出循環EP重複之複數個喷出波形p。在此 方面，噴出波形P對應於待施加於振動器124中之該對電極 124A與124B之間的驅動電壓波形，以便經由一噴嘴25而 喷出一液滴。 驅動信號DS係供應至每一類比開關AS之輸入端子。每 一類比開關A S係根據每一喷嘴2 5而提供。亦即，類比開關 AS之數目與喷嘴25之數目相同。 處理單元204向每一類比開關AS輸出用於指示每一喷嘴 25之ΟΝ/OFF的選擇信號SC。在此方面，選擇信號sc可關 於每一類比開關AS而變成高位準狀態或低位準狀態。回應 驅動信號DS及選擇信號SC，每一類比開關as將一噴出信 號ES施加至對應振動器124之電極124A。更具體t之，在 其中選擇信號SC變成高位準狀態之狀況下，對應類比開關 AS開啓（ON)，且向對應電極124A施加驅動信號DS作為喷 出信號ES。另一方面，在其中選擇信號sc變成低位準狀 態之狀況下，對應類比開關AS關閉（0FF)，且對應類比開 關AS向對應電極124A輸出之噴出信號£8的電位變成參考 電位L。當驅動信號DS施加至振動器124之電極124八時， 105193.doc • 22 · 1289213 液體材料111經由對應於振動器124之噴嘴25而喷出。在此 方面，該參考電位L施加至每一振動器124之電極124b。 • 在圖6(b)所示之一實例中，兩選擇信號SC中每一者之高 位準週期及低位準週期經設定以使得喷出波形p以循環 呈現，該循環2EP為兩噴出信號別之每一者中之噴出循環 EP的兩倍。因此，液體材料lu以循環2Ep經由兩個對應喷 嘴25中每一者以液滴形式喷出。共同驅動信號DS自共用驅 _ 動彳"號產生器2〇3而施加至對應於兩個喷嘴25之每一振動 器124。為此原因，液體材料⑴以大體相同時序經由兩個 喷嘴25噴出。 此液滴噴出裝置1運作以使得液體材料lu之液滴經由喷 頭早兀103中之每一液滴喷出頭2之喷嘴乃而喷出，且供應 (降落）至基材1〇Α上之每一像素18R、18G及18b上，同時 藉由平臺移動機構1〇8之操作於¥軸方向移動支撐於平臺 1〇6上之基材10A，且將基材1〇A傳遞至喷頭單元下 I 方。下文中，液滴噴出裝置〗之此操作可稱為，，噴頭單元 103與基材i〇A之間的主掃描移動”。 在其中基材10A於X軸方向之寬度小於整個噴頭單元Μ) 在X軸方向之長度（可關於基材10A向其喷出液體材料 111)(亦即，稍後所述之整個噴出寬度w)的狀況下，可藉 由在喷頭單元1 0 3與基材1 〇 A之間進行一主掃描移動而將液 體材料111供應至整個基材10A上。另一方面，在其中基材 10A在X軸方向之寬度大於喷頭單元1〇3之整個喷出寬度w 的狀況下，可藉由重複交替噴頭單元1〇3與基材i〇a之間的 105193.doc -23- 1289213 ^掃描移動及藉由滑架移動機構104之操作而進行的噴頭 單元103在X軸方向之移動（稱為"次掃描移動"）來將液體材 料111供應至整個基材1〇A上。 其-人，現將詳細描述使用上述液滴喷出裝置丨製造彩色 濾光片基板10之方法。圖7為展示製造彩色濾光片基板W 之方法的示意性截面圖。如所示，基材10A包括一具有 光滲透性之支撐基板12，及複數個像素18R、18(}及18B， 其各自變成一形成於支撐基板12上之彩色元件（像素區域） 以便與黑色矩陣（black matrice) 14及觸排16分離。黑色矩 陣14由具有光遮蔽效應之材料形成。黑色矩陣14及提供於 黑色矩陣14上之觸排16係位於支撐基板12上，以使得複數 個光渗透部分（亦即，複數個像素UR、及18B)藉由其 以矩陣方式而界定。亦即，複數個像素18R、18(}及18]3係 藉由支撐基板12、黑色矩陣14及觸排16而形成為分割區。 像素18R為一區域，在該區域中將形成濾光層111fr，僅 具有紅光波長區域内之任何波長的光滲透至該濾光層 111FR中。像素180為一區域，在該區域中將形成濾光層 111FG ’僅具有綠光波長區域内之任何波長的光滲透至該 濾光層111FG中。像素18B為一區域，在該區域中將形成 濾光層111FB，僅具有藍光波長區域内之任何波長的光滲 透至該濾光層111FB中。 當製造彩色濾光片基板1 〇時，根據以下步驟製造基材 10A。首先’藉由濺鍍方法或蒸鍍方法於支撐基板12上形 成一金屬薄膜。接著，藉由光微影方法由該金屬薄膜以網 105193.doc -24 - 1289213 狀圖案形成黑色矩陣1 4。金屬鉻及氧化鉻可作為用於雾色 矩陣14之材料而提及。在此方面，支撐基板12為一關於可 見光（光學波長）而具有光滲透性之基板，諸如玻璃基板。 隨後，施加一由負型光聚合物組合物構成之抗蝕層以便覆 蓋支撐基板12及黑色矩陣14。曝露該抗蝕層，同時使以矩 陣圖案形成之光罩膜黏貼於該抗蝕層上。接著，藉由使用 蚀刻方法移除該抗餘層之未曝露部分而獲得觸排1 6。以此 方式，獲得基材10A。 在此方面，可利用由樹脂黑形成之觸排替代觸排16。在 此狀況下，無需金屬薄膜（亦即，黑色矩陣14)，且由一層 來建構觸排層。 其次’在大氣壓下藉由氧電漿處理而使基材丨〇 A變得親 液。藉由此處理，位於凹面部分（像素之一部分）中的支撐 基板1 2之表面、黑色矩陣14之表面及觸排16之表面傾向於 具有親液性，該等凹面部分中每一者係藉由支撐基板12、 黑色矩陣14及觸排16來界定。另外，接著對基材1〇A進行 使用CF4作為處理氣體之電漿處理。藉由使用之電漿處 理’使每一凹面部分中之觸排16之表面氟化，且觸排16之 表面藉由此處理而傾向於具有非親液性。在此方面，藉由 使用CF4之電漿處理，已具有親液性之支撐基板丨2之表面 及黑色矩陣14之表面稍微失去親液性。然而，即使如此， 此等表面亦可保持親液性。在此方面，根據支撐基板12之 材料、黑色矩陣14之材料及觸排16之材料，每一凹面部分 之表面可在無上述表面處理的情況下具有所要親液性及非 105193.doc -25- 1289213 親液性。在此狀況下，該表面無需經受上述表面處理。 將基材10A(如上文所述其上形成有像素18r、18〇及 18B)輸送至液滴噴出裝置丨之平臺1〇6上，且將其支撐於平 臺1〇6上。液滴嘴出裝置！藉由操作平臺移動機構1〇8而在γ 軸方向移動基材1GA ’且自每-液滴噴出頭2以液滴形式將 液體材料供應至每一像素18R、18G及18Β上，同時將噴頭 單7L 103傳遞至基材10Α下方。此時，如圖7⑷至圖了⑷所 示，紅色液體材料111R(彩色濾光片材料）喷出至每一像素 18R上，綠色液體材料111(}(彩色濾光片材料）噴出至每一 像素18G上，且藍色液體材料111Β(彩色濾光片材料）喷出 至每一像素18Β上。 在將液體材料111R、111G及111Β分別供應至每一像素 18R、18G及18Β上之後，將基材ι〇Α輸送至一乾燥裝置（圖 式中未展示）中以乾燥分別供應至每一像素18尺、18G及 18B中的液體材料111R、111G及111B。因此，遽光層 111FR、111FG及111FB分別形成於每一像素18R、18〇及 18B上。在此方面，藉由重複使用液滴噴出裝置液體材 料111R、111 G及111B進行供應且藉由該乾燥裝置乾燥所 供應之液體材料111R、111G及111B來交替地層壓液體材 料 111R、111G及 111B及濾光層 111FR、111FG及 111FB，最 終之濾光層111FR、111FG及111FB可形成於每一像素 18R、18G及 18B上。 接著，將基材10A輸送至烘箱（圖式中未展示）中且在此 烘箱中對濾光層111FR、111FG及111FB進行後烘培（亦 105193.doc •26- 1289213 即，再加熱）。 其次，將基材1 〇 A輸送至保護膜形成裝置（圖式中未展 示）中且在此保護膜形成裝置中於濾光層111FR、111fg、

111FB及觸排16上形成一保護膜（位於塗層膜上）2〇。在保 護膜20已形成於濾光層111FR、niFG、1UFB及觸排16上 之後，將保護膜20於該乾燥裝置中完全乾燥。另外，將保 護膜20於硬化裝置（圖式中未展示）中進行加熱以將其完全 硬化，藉由其使得基材1〇Α變成彩色濾光片基板1〇。 圖8為一示意性平面圖，其用於闡述根據本發明之液滴 喷出裝置1之喷頭單元103中的每一液滴噴出頭2之位置關 係。如上文所述，用於喷出紅色液體材料丨丨iR之四個液滴 喷出頭2(包括第一液滴喷出頭21R至第四液滴喷出頭 24R)、用於喷出綠色液體材料1UG之四個液滴喷出頭^包 括第一液滴喷出頭21G至第四液滴噴出頭24G)，及用於喷 出藍色液體材料111B之四個液滴喷出頭U1B(包括第一液 滴噴出頭21B至第四液滴噴出頭24B)係提供於噴頭單元⑻ 上。在此方面，目8中所示之每-線指示每-液滴喷出頭2 中之噴嘴陣列的位置。 通常難以控制位於每一该 母液滴賀出頭2之喷嘴陣列兩末端 附近的每一噴嘴25之噴出詈， 、里猎由其易於產生該等喷嘴之 噴出量的誤差。為此原因，太每 _ $ U 本貝轭例中之液滴噴出裝置} 反建構以使得並不使用 州诅於母一液滴贺出頭2中之喷嘴陣 列兩末端附近的預定齡g / Α ' ”貝（數目(例如約10)之噴嘴(下文中，此等 噴嘴25可稱為•，去能噴喈 贺~ 25 )(亦即，液體材料111並不經由 I05193.doc -27· V： 1289213 每一去能喷嘴25而噴出）。因此，可能均勻化每一噴嘴25 中噴出的液體材料丨丨丨之量，且此使得可能均勻化待製造 之衫色濾光片基板1〇中之每一像素18R、18(}及i8B的顏 色。因此，可能更必然地防止產生顏色不均勻性。在此方 面’如圖8中所示提供於每—液滴噴出頭2中之噴嘴陣列兩 末端處的不使用部分26指示去能噴嘴25所定位之區域。

中，將給出對四個液滴喷出頭2之位置關係的描 述，該等四個液滴噴出頭2包括用於喷出紅色液體材料 111R之第一液滴噴出頭21R至第四液滴喷出頭24R。 第一液滴噴出頭21r及第二液滴喷出頭22R以連續方式 在平行於每—噴嘴陣列之第一方向(亦即，χ軸方向)排 列，且第一液滴喷出頭21R及第二液滴喷出頭咖之兩個 嘴嘴陣列經排列’以使得當自垂直於每-噴嘴陣列(第一 =向）之第二方向（亦即，Υ軸方向）觀察時，其喷嘴25經由 第液滴噴出頭21R及第二液滴喷出頭微之兩個相鄰喷 嘴陣列之間的接縫㈣連續。在此狀況下，第_液㈣出 頭21R及第二液滴噴出頭22R之兩個喷嘴陣列充當一長喷 嘴陣列換5之，對當自Y轴方向觀察時位於接縫^處之 喷f間距進仃设定以使其變成類似於喷嘴陣列中之喷嘴間 距的規則長度。由以μ 、 由以此位置關係排列之第一液滴喷出頭 21R及第二液滴噴出頭徽構成喷頭陣列稱為喷頭陣列 3 1R 0 第二液滴喷出 一液滴喷出頭 在此方面，考慮到第一液滴喷出頭2 1】 頭22R之個別_古*山 J 禾知之不使用部分26， I05I93.doc -28- 1289213 ⑽及第二液滴喷出頭22R經排列以使得當自γ袖方 時，第-液滴噴出頭21R中之噴嘴陣列之圖8中的二 與第二液滴噴出頭22R中之噴嘴陣列之圖8 二 噴嘴陣列之接心附近彼此重疊。 ^刀在 以類似之方式，第三液滴喷出頭现及第四液滴嘴 地以連續方式在平行於每—噴嘴陣狀第—方向（亦即， X軸方向）排列，且第三液滴喷出頭23R及第四液滴嘴出頭 24R之兩個噴嘴陣列經排列以使得當自垂直於每—嘴嘴陣 列（第一方向）之第二方向（亦即，γ軸方向）觀察時，其噴嘴 25經由第三液滴喷出頭23R及第四液滴喷出頭2似兩個 相鄰喷嘴陣列之間的接縫r2而連續。在此狀況下，第三液 滴喷出頭2311及第四液滴喷出頭24R之兩個喷嘴陣列充當 —Μ嘴卜換言之’對當自γ轴方向觀察時接縫〇處 之喷嘴間距進行設定以使其變成類似於喷嘴陣列中之喷嘴 間距的規則長度。由以此位置關係排列之第三液滴喷出頭 23R及第四液滴噴出頭24R構成的噴頭陣列稱為噴頭陣列 32R 〇 在此方面，考慮到第三液滴噴出頭23R及第四液滴喷出 頭24R之個別一末端之不使用#分％，帛s液滴噴出頭 23R及第W液滴喷出頭24R經排列以使得當自γ軸方向觀察 時’第三液滴噴出頭23R中之噴嘴陣列之圖8中的右端部分 與第四液滴噴出頭24R中之噴嘴陣列之圖8中的左端部分在 噴嘴陣列之接縫〇附近彼此重疊。 藉由對由上述噴頭陣列31R形成之長喷嘴陣列與由上述 105193.doc -29- 1289213 噴頭陣列32R形成之長喷嘴陣列進行重疊而對其進行排 歹J以使付當自Y軸方向觀察時，接縫η與ο在X轴方向相 對於彼此移位。使用此重疊，液滴喷出裝置1可經由複數 個不同液滴噴出頭2(在本實施例中，兩個液滴噴出頭2)之 - 喷嘴25以液滴形式將液體材料111R喷出至一像素18R上。 舉例而言，在使用圖8中指示為&之區域（其中第一液滴 喷出頭21R與第三液滴噴出頭23R重疊）以液滴形式喷出液 修 體材料111R所至之像素18R的狀況下，如圖3所示，經由第 一液滴噴出頭21R之喷嘴25喷出的液滴91及經由第三液滴 噴出頭23R之噴嘴25喷出的液滴92供應於此處。 在此方面，於圖3中，儘管當自γ軸方向觀察時，喷頭陣 列31R(本文中，第一液滴喷出頭21R)中之喷嘴25的位置與 喷頭陣列32R(本文中，第三液滴喷出頭23R)中之喷嘴以的 位置在X軸方向相對於彼此移位，但喷頭陣列31R及32R可 經排列以使得喷頭陣列3丨尺及32R中每一者之喷嘴位置彼 φ 此相對應。 儘官圖式中（詳言之，圖3中）未展示，但在使用圖8中指 示為R2之區域（其中第一液滴噴出頭21R與第四液滴噴出頭 24R重疊）以液滴形式喷出液體材料丨丨1R所至之像素丨8r的 狀況下，經由第一液滴喷出頭21R之喷嘴25喷出的液滴及 經由第四液滴噴出頭24R之喷嘴25喷出的液滴供應於此 處。另外，在使用圖8中指示為r3之區域（其中第二液滴喷 出頭22R與第四液滴喷出頭24R重疊）以液滴形式喷出液體 材料111R所至之像素18R的狀況下，經由第二液滴噴出頭 105193.doc •30- 1289213 22R之喷嘴25喷出的液滴及經由第四液滴喷出頭24r之喷 嘴25喷出的液滴供應於此處。 以此方式，液滴喷出裝置1運作以使得液體材料1UR& 液滴形式經由複數個不同液滴噴出頭2之喷嘴25而噴出至 一像素18R上。因此，即使在其中於複數個液滴喷出頭2之 喷出量之間存在變化（誤差）的狀況下，使用液滴噴出裝置i 之喷頭單元10 3亦可能防止在待從基材丨〇 A製造之彩色濾光 片基板10之表面中產生有害的顏色不均勻性。換言之，與 本發明之液滴喷出裝置丨相對比，在其中經由僅一液滴喷 出頭2之喷嘴25將液體材料mR供應至一像素uR上的狀況 下液滴喷出頭2之喷出量的變化直接引起待供應至每一 像素18R上的液體材料1UR之量的變化（誤差），藉以在彩 色濾光片基板10中嚴重地呈現顏色不均勻性。另一方面， 在本發明之液滴喷出裝置艸，由於待供應至一像素18R上 之液體材料U1R的量變成於掃描方向重疊之複數個液滴喷 出頭2(在本實施例中，兩個液滴喷出頭2)中之噴嘴25的平 均喷出[故可能均勻化供應至每-像素18R上之液體材 料㈣的量，藉以可能防止產生顏色不均勻性。 、、、 在液滴貪出裝置1中，用於以液滴形式將液體材 料1UR噴出至一相同像素18R上之複數個液滴噴出頭2經排 歹J 乂使仔田自垂直於又轴方向之γ軸方向觀察時，該等複 數個液滴噴出頭2之喷嘴陣列在χ軸方向彼此平行且該等複 滴噴出頭2中每_者與至少—其它液滴噴出頭2部分 土宜。換言之，在圖8中所示之區域心中，第一液滴喷 105193.doc 1289213 出頭21R與第三液滴喷出頭23R在χ軸方向相對於彼此移 位。在圖8中所示之區域&中，第一液滴喷出頭21R與第四 液滴喷出頭24R在X軸方向相對於彼此移位。在圖8中所示

之區域I中，第二液滴喷出頭22R與第四液滴噴出頭24R 在X轴方向相對於彼此移位。因此’本發明之喷頭單元1 〇 3 具有以下優點。 液滴噴出頭2由於其組態而通常傾向於相互改變沿著喷 • 嘴陣列上下之每一喷嘴25的喷出量。舉例而言，存在以下 狀況：位於喷嘴陣列中心附近之一喷嘴25中的噴出量相對 阜乂少，且越接近噴嘴陣列之兩末端，一喷嘴25中之噴出量 變付越多。在此狀況下，與本發明之喷頭單元ι〇3相對 比，在其中用於以液滴形式將液體材，1UR喷出至一相同 像素1 8 R(亦即，一喷出區域）上之複數個液滴噴出頭2於χ 軸方向對準的狀況下，沿著該等複數個液滴噴出頭2中之 喷嘴陣列之每一喷嘴2 5的喷出量之變化直接引起待供應至 春於χ軸方向對準之每一像素j8R上的液體材料nir之量的 變化（誤差），藉以在待製造之彩色濾光片基板1〇中嚴重地 呈現顏色不均勻性。 液滴形式將液體材料丨i 1R噴出至一相 至一相同像素18R上的兩液

105193.doc 另一方面，在本發明之液滴喷出裝置1中，由於用於以 -32 - 1289213 材料111R之液滴經由其 八而噴出至一像素18R上）之位置。因 此，一液滴噴出頭2中之此一 此噴鳴25的噴出量傾向於不同 於其它液滴噴出頭2中之此一喑喈 此嗔鳥25的噴出量。待供應至 該一像素18R上之液體材料丨 十 R之里4成兩個液滴噴出頭2 中的對應喷嘴25之平均噴出量。 為此原因，在本發明之液滴噴出裝置1中，可藉由平均 化沿喷嘴陣列之每一噴嘴25 喑 曰 貝角之噴出里而補償其噴出量的變

化，且此使得可能均勻化供應至每一像素18R上之液體材 料111R的量。因此’可能更必然地防止在待製造之彩色滤 光片基板10中產生有害的顏色不均勻性。 另外，在液滴喷出裝置4，藉由自第—液滴噴出頭21R 及第二液滴喷出頭22R構成噴頭陣列3 1R，第一液滴喷出 頭2 1R及第二液滴喷出頭22R之喷嘴陣列充當一長喷嘴陣 列，同時藉由自第三液滴喷出頭23R及第四液滴噴出頭 24R構成喷頭陣列32R，第三液滴喷出頭23R及第四液滴喷 出頭24R之喷嘴陣列充當一長喷嘴陣列。因此，可能增大 整個噴出寬度w(亦即，在X軸方向之喷頭單元1〇3之長 度），其中液體材料111R可經由整個噴頭單元103中之喷嘴 25而喷出至基材10A上。因此，可能減少將液體材料1UR 噴出至整個基材10A上所需之喷頭單元1〇3關於基材1〇A的 主掃描移動之數目。詳言之，在其中基材1 〇 A之寬度小於 整個喷出寬度W之狀況下，可能藉由一主掃描移動而將液 體材料111R喷出至整個基材10A上。 此外，由於液滴喷出裝置1經建構以使得當自Y軸方向觀 105193.doc -33- 1289213 察時，喷頭陣列31R中之喷嘴陣列的接縫ri與喷頭陣列32r 中之噴嘴陣列的接縫〇關於彼此移位，故液滴喷出裝置1具 有以下優點。 在經由位於兩相鄰噴嘴陣列之任何接縫附近的噴嘴以供 - 應液體材料111R所至的像素18R中比在提供於其它位置處 之像素1 8R中更易於呈現顏色不均勻性。作為其原因，可 考慮以下因素··由於喷嘴25位於每一喷嘴陣列之兩末端附 參 近而使得以高準確度控制兩相鄰喷嘴陣列之接縫附近之噴 嘴25的喷出量較為困難；接縫處喷嘴間距之誤差，·及其類 似因素。在其中由於此喷嘴陣列接縫而產生顏色不均勻性 之狀況下，一所謂之條紋（其中此顏色不均勻性類似於一 線而沿著液滴噴出頭2之掃描方向（亦即，沿著γ軸方向）延 伸）可呈現於待製造之彩色濾光片基板1〇中。 在當噴頭陣列31R中之喷嘴陣列之接縫ri的位置與噴頭 陣列32R中之噴嘴陣列之接縫〇的位置相對應時於彩色濾 籲 光片基板10中產生上述條紋的狀況下，此等兩條紋在待製 造之彩色濾光片基板10中重疊，藉以使此等條紋變得顯 著。另一方面，由於液滴噴出裝置丨經建構以使得當自γ軸 方向觀察時噴頭陣列3 1R中之喷嘴陣列的接縫與喷頭陣 列32R中之噴嘴陣列的接縫η關於彼此移位，故該等兩條 紋分散在待製造之彩色濾光片基板1〇中之接縫的位 置處。因此，可能使此條紋變得不顯著。 其次，將給出對四個液滴噴出頭2之位置關係的描述， 該等四個液滴噴出頭2包括用於喷出綠色液體材料丨丨⑴之 105193.doc -34- 1289213 第一液滴噴出頭21G至第四液滴噴出頭24G。包括用於嘴 出綠色液體材料111G之第一液滴噴出頭21G至第四液滴噴 出頭24G的四個液滴喷出頭2之位置關係類似於包括用於噴 出紅色液體材料111R之第一液滴噴出頭21R至第四液滴噴 - 出頭24R的四個液滴喷出頭2之位置關係。為此原因，在下 文中，將簡化對此位置關係之描述。 第一液滴噴出頭21G及第二液滴噴出頭22G以一連續方 方向排列’且第一液滴噴 出頭21G及第二液滴喷出頭22G之兩個喷嘴陣列經排列以 使得當自一垂直於每一噴嘴陣列（亦即，χ軸方向）之¥軸方 向觀察時，其噴嘴25經由第一液滴喷出頭21G及第二液滴 噴出頭22G之兩個相鄰喷嘴陣列之間的接縫g】而連續。在 此狀況下，第一液滴喷出頭21G及第二液滴噴出頭22G之 兩個喷嘴陣列充當一長喷嘴陣列。由以此位置關係排列之 第一液滴喷出頭21G及第二液滴噴出頭22(}構成的噴頭陣 鲁 列稱為喷頭陣列3 1 G。 以類似之方式，第三液滴喷出頭23G及第四液滴喷出頭 24G以連續方式在平行於每一喷嘴陣列之χ軸方向排列， 且第二液滴噴出頭23G及第四液滴喷出頭24G之兩個喷嘴 陣列經排列以使得當自垂直於每一喷嘴陣列（亦即，χ軸方 向）之γ軸方向觀察時，其喷嘴25經由第三液滴喷出頭2扣 及第:液滴喷出頭24(}之兩個„喷嘴陣列 < 間的接縫^ 而連縯。在此狀況下，第三液滴喷出頭23G及第四液滴喷 出頭24G之兩個噴嘴陣列充當一長喷嘴陣列。由以此位置 105193.doc -35- 1289213 關係排列之第三液滴喷出頭23G及第四液滴噴出頭24〇構 成的噴頭陣列稱為噴頭陣列32G。 藉由對由上述喷頭陣列31G形成之，長噴嘴陣列與由上述 噴頭陣列32G形成之長喷嘴陣列進行重疊而對其進行排 列，以使得當自Y軸方向觀察時，接縫§1與§2在又軸方向相 對於彼此移位。使用此重疊，液滴噴出裝置丨可經由複數 個不同液滴喷出頭2(在本實施例中，兩個液滴噴出頭⑴之 喷嘴25以液滴形式將液體材料1110喷出至一像素18(}上。 換言之，在使用圖8中指示為〇】之區域（其中第一液滴喷 出頭21G與第三液滴噴出頭23G重疊）以液滴形式噴出液體 材料111G所至之像素i8G的狀況下，經由第一液滴喷出頭 2 1 G之喷噶2 5嘴出的液滴及經由第三液滴喷出頭2 3 〇之喷 嘴25噴出的液滴供應於此處。 另外，在使用圖8中指示為G2之區域（其中第一液滴喷出 頭21G與第四液滴噴出頭24G重疊）以液滴形式噴出液體材 料111G所至之像素i8G的狀況下，經由第一液滴喷出頭 2 1 G之贺嘴2 5喷出的液滴及經由第四液滴噴出頭2 4 g之噴 嘴25噴出的液滴供應於此處。此外，在使用圖8中指示為 G3之區域（其中第二液滴喷出頭22G與第四液滴噴出頭24G 重疊）以液滴形式噴出液體材料1丨丨G所至之像素18G的狀況 下’經由第二液滴喷出頭22G之喷嘴25喷出的液滴及經由 第四液滴喷出頭24G之喷嘴25喷出的液滴供應於此處。 以此方式’液滴噴出裝置1運作以使得液體材料u丨G以 液滴形式經由複數個不同液滴喷出頭2之喷嘴25而噴出至 105193.doc -36- 1289213

:像素18G上。因此，即使在其中於複數個液滴噴出頭2之 賀出量之間存在變化(誤差)的狀況下，使用液滴噴出裝置工 之噴頭單元H)3亦可能防止在待從基材製造之彩色遽光 片基板10之表面中產生有害的顏色不均勻性。換言之「與 本發明之液滴噴出裝相對比，在其中經由僅一液滴喷 出頭2之噴嘴25將液體材料j UG供應至一像素18〇上的狀 況下，液滴噴出頭2之喷出量的變化直接引起待供應至每 :像素18G上的液體材料111G之量的變化（誤差），藉以在 彩色濾光片基板1 〇中嚴重呈現顏色不均勻性。另一方面， 在本發明之液滴喷出裝置丨中，由於待供應至一像素“Ο上 之液體材料111G的量變成於掃描方向重疊之複數個液滴喷 出頭2(在本實施例中，兩個液滴噴出頭”中之喷嘴乃的平 均喷出量，故可能均勻化供應至每一像素18G上之液體材 料111G的量，藉以可能防止產生顏色不均勻性。

、，另外在液滴喷出裝置1中，用於以液滴形式將液體材 料111G噴出至一相同像素18G上之複數個液滴喷出頭2經 排列以使得當自垂直於X軸方向之γ軸方向觀察時，該等 複數個液滴噴出頭2之喷嘴陣列在χ軸方向彼此平行且該等 複數個液滴噴出頭2中每一者與至少一其它液滴噴出頭2部 分地重疊。換言之，在圖8中所示之區域G】中，第一液滴 喷出頭21G與第三液滴喷出頭23(3在χ軸方向相對於彼此移 位。在圖8中所示之區域&中，第一液滴喷出頭2丨〇與第四 液滴噴出頭24G在X軸方向相對於彼此移位。在圖8中所示 &或G3中’第一液滴喷出頭2 2 G與第四液滴喷出頭2 4 G 105193.doc •37· 1289213 在X軸方向相對於彼此移位。因此，本發明之噴頭單元1 具有以下優點。 液滴噴出頭2由於其組態而通常傾向於相互改變沿著噴 嘴陣列上下之每一噴嘴25的噴出量。舉例而言，存在以下 狀況：位於噴嘴陣列中心附近之一喷嘴25中的 只里相對 較>、，且越接近噴嘴陣列之兩末端，一噴嘴25中之噴出量 變得越多。在此狀況下，與本發明之噴頭單元Μ〕相對 比於其中用於以液滴形式將液體材料111 g噴出至一相同

像素18G(亦即，一噴出區域）上之複數個液滴噴出頭2於X 軸方向對準的狀況下，沿著該等複數個液滴噴出頭2中之 噴嘴陣列之每一噴嘴25的喷出量之變化直接引起待供應至 於X軸方向對準之每一像素1 8 G上之液體材料丨丨丨G的量之 文化（决差），藉以在待製造之彩色濾光片基板i 〇中嚴重地 呈現顏色不均勻性。 另一方面，在本發明之液滴喷出裝置1中，由於用於以 液滴形式將液體材料丨i 1G噴出至一相同像素18G上之兩個 液滴噴出頭2在X軸方向相對於彼此移位，故一液滴噴出頭 2之噴嘴陣列之複數個噴嘴25中的一喷嘴25(液體材料uig 之液滴經由其而喷出至一像素丨8G上）之位置不同於其它液 滴噴出頭2之噴嘴陣列之複數個喷嘴25中的一噴嘴25(液體 材料111G之液滴經由其而噴出至一像素18〇上）之位置。因 此，一液滴噴出頭2中之此一喷嘴25之噴出量傾向於不同 於其匕液滴噴出頭2中之此一喷嘴25的喷出量。待供應至 4 一個像素1 8G上之液體材料丨丨丨〇之量變成兩個液滴喷出 105193.doc .38·

'V 1289213 頭2中之對應喷嘴25的平均噴出量。 為此原因，在本發明之液滴噴出裝置丨中，可藉由平 化沿著喷嘴陣列之每-喷嘴25的噴出量而補償其 變化，且此使得可能均勾化供應至每一像素ug上之：體 材料mG的量。因此’可能更必然地防止在待製造之彩色 慮光片基板10中產生有害的顏色不均句性。

另外’在液滴噴出裝置！中，藉由自第一液滴嘴出頭加 及第二液滴噴出頭22G構成噴頭陣列31G，第—液滴噴出 頭21G及第二液滴喷出頭22G之嘴嘴陣列充當一長噴嘴陣 列’同時藉由自第三液滴喷出頭23G及第四液滴喷出頭 24G構成喷㈣列32G，第三液滴噴出頭23G及第四液滴喷 出頭24G之喷嘴陣列充當一長喷嘴陣列。因此，可能增大 整個喷出寬度W(亦即，在X軸方向之噴頭單元1〇3=長 度），於該寬度W液體材料niG可經由整個喷頭單元1〇3中 之噴嘴25噴出至基材―上。因此’可能減少將液體材料 111G喷出至整個基材1〇A上所需之噴頭單元1〇3關於基材 10A的主掃描移動之數目。詳言之，在其中基材i〇a之寬 度小於整個喷出寬度貿之狀況下，可能藉由一主掃描移動 將液體材料111G噴出至整個基材i〇A上。 此外’由於液滴喷出裝置丨經建構以使得當自Y軸方向觀 察時，喷頭陣列31G中之喷嘴陣列的接縫g]與喷頭陣列32(} 中之喷嘴陣列的接縫g2關於彼此移位，故液滴噴出裝置1 具有以下優點。 在經由位於兩相鄰喷嘴陣列之任何接縫附近之喷嘴25供 105193.doc -39- 1289213 應液體材料111G所至的像素i 8G中比在提供於其它位置處 之像素18G中更易於呈現顏色不均勻性。作為其原因，可 一 考慮以下因素··由於噴嘴25位於每一喷嘴陣列之兩末端附 近而使得以高準確度控制兩個相鄰喷嘴陣列之接縫附近之 喷嘴25的噴出量較為困難；接縫處之喷嘴間距之誤差；及 其類似因素。在其中由於此喷嘴陣列接縫而產生顏色不均 勻性的狀況下，一所謂之條紋（其中此顏色不均勻性類似 • 於一線而沿著液滴喷出頭2之掃描方向（亦即，沿著γ轴方 向）延伸）可呈現在待製造之彩色濾光片基板1〇中。 在其中當噴頭陣列31G中之喷嘴陣列之接縫：的位置與 喷頭陣列3 2 G中之喷嘴陣列之接縫g 2的位置相對應時於彩 色濾光片基板10中產生上述條紋的狀況下，此等兩條紋在 待製造之彩色濾光片基板1〇中重疊，藉以使此等條紋變得 顯著。另一方面，由於液滴喷出裝置！經建構以使得當自γ 軸方向觀察時喷頭陣列3 1 g中之喷嘴陣列的接縫gi與噴頭 籲陣列32G中之噴嘴陣列的接縫以關於彼此移位，故該等兩 條、、文刀政在待製造之彩色濾光片基板J 〇中之接縫g 1及的 位置處。因此，可能使此條紋變得不顯著。 其次’將給出對於四個液滴噴出頭2之位置關係的描 述，該等四個液滴噴出頭2包括用於噴出藍色液體材料 Π1Β之第一液滴喷出頭21B至第四液滴喷出頭24B。包括 用於貪出藍色液體材料1ΠΒ之第一液滴噴出頭21B至第四 液滴噴出頭24B之四個液滴喷出頭2的位置關係類似於包括 用於噴出紅色液體材料丨丨丨R之第一液滴噴出頭2 1 R至第四 105193.doc 1289213 液滴噴出頭24R之四個液滴噴出頭2的位置關係。為此原 因’下文中，將簡化對此位置關係之描述。 . 第一液滴喷出頭21B及第二液滴喷出頭22B以連續之方 式在平行於每一噴嘴陣列之χ軸方向排列，且第一液滴噴 ' 出頭21Β及第二液滴喷出頭MB之兩個喷嘴陣列經排列以 使得當自垂直於每一喷嘴陣列（亦即，χ軸方向）之¥軸方向 觀察時，其喷嘴25經由第一液滴噴出頭21Β及第二液滴噴 • 出頭22Β之兩個相鄰喷嘴陣列之間的接縫bl而連續。在此 狀況下，第一液滴喷出頭21B及第二液滴喷出頭22b之兩 個噴嘴陣列充當一長喷嘴陣列。由以此位置關係排列之第 一液滴噴出頭21B及第二液滴喷出頭22B構成的喷頭陣列 稱為喷頭陣列31B 〇 以類似之方式，第三液滴噴出頭MB及第四液滴噴出頭 24B以連續之方式在平行於每一噴嘴陣列之乂軸方向排 列，且第三液滴喷出頭23B及第四液滴噴出頭24b之兩個 鲁喷嘴陣列經排列以使得當自垂直於每—喷嘴陣列（亦即，X 轴方向）之Y轴方向觀察時’其喷嘴25經由第三液滴喷出頭 23B及第四液滴喷出頭24B之兩個相鄰喷嘴陣列之間的接 縫卜而連續。在此狀況下，第三液滴喷出頭23b及第四液 滴喷出頭24B之兩個噴嘴陣列充當一長噴嘴陣列。由以此 位置關係排列之第三液滴喷出頭23B及第四液滴喷出頭 24B構成的噴頭陣列稱為喷頭陣列。 藉由對由上述噴頭陣列31B形成之長喷嘴陣列及由上述 喷頭陣列32B形成之長喷嘴陣列進行重疊而對其進行排 105193.doc 41 1289213 列，以使得當自Y軸方向觀察時，接縫13】及1)2在}(軸方向相 對於彼此移位。使用此重疊，液滴喷出裝置1可經由複數 個不同液滴噴出頭2(在本實施例中，兩個液滴噴出頭2)之 噴嘴25以液滴形式將液體材料111Β喷出至一像素18Β上。 、 換言之，在使用圖8中指示為1之區域（其中第一液滴噴 出頭21Β與第三液滴喷出頭23Β重疊）以液滴形式喷出液體 材料111Β所至之像素18Β的狀況下，經由第一液滴喷出頭 φ 21Β之噴嘴25噴出的液滴及經由第三液滴噴出頭23Β之喷 嘴25噴出的液滴供應於此處。 另外在使用圖8中指示為Β2之區域（其中第一液滴喷出 頭21Β與第四液滴喷出頭24Β重疊）以液滴形式噴出液體材 料111Β所至之像素18Β的狀況下，經由第一液滴噴出頭 2 1Β之噴嘴25噴出的液滴及經由第四液滴噴出頭24Β之噴 嘴25噴出的液滴供應於此處。此外，在使用圖8中指示為 Β3之區域（其中第二液滴喷出頭22Β與第四液滴噴出頭24Β • 重疊）以液滴形式喷出液體材料111Β所至之像素丨8Β的狀況 下，經由第二液滴喷出頭22Β之喷嘴25喷出的液滴及經由 第四液滴噴出頭24Β之噴嘴25喷出的液滴供應於此處。 以此方式，液滴喷出裝置丨運作以使得液體材料1116以 液滴形式經由複數個不同液滴喷出頭2之喷嘴25而噴出至 一像素18Β上。因此，即使在其中於複數個液滴噴出頭2之 喷出量之間存在變化（誤差）的狀況下，使用液滴噴出裝置i 之喷頭單元103亦可能防止在待從基材1〇A製造之彩色濾光 片基板10之表面中產生有害的顏色不均勻性。換言之，與 105193.doc -42· 1289213 本發明之液滴喷出裝置！相對比，在其中經由僅一液滴喷 出頭2之喷嘴25將液體材料111B供應至一像素18B上的狀況 下，液滴喷出頭2之噴出量的變化直接引起待供應至每一 像素18B上之液體材料111B的量之變化（誤差），藉以在彩 色濾光片基板1 〇中嚴重地呈現顏色不均勻性。另一方面， 在本發明之液滴噴出裝置1中，由於待供應至-像素18B上 之液體材料111B的量變成在掃描方向重疊之複數個液滴喷 出頭2(在本實施例中，兩個液滴噴出頭2)中之喷嘴25的平 均喷出量，故可能均勻化供應至每一像素18B上之液體材 料U1B的量，藉以可能防止產生顏色不均勻性。 、另外，在液滴噴出裝置丨中，用於以液滴形式將液體材 料111B喷出至一相同像素⑽上的複數個液滴喷出頭2經排 J、使知田自垂直於χ軸方向之γ軸方向觀察時，該等複 數個液滴噴出頭2之噴嘴陣列在X軸方向彼此平行且每一該 =複㈣液滴噴出頭2與至少_其它液滴噴出頭2部分地重 旦換a 一之，在圖8中所示之區域B1中，第一液滴喷出頭 人第一液滴噴出頭233在又軸方向相對於彼此移位。在 =中所不之區域b2中’第—液滴噴出頭2ib與第四液滴喷 B頭24B在X軸方向相對於彼此移位。在圖8中所示之區域 b3中，第二液滴噴出頭22B與第四液滴噴出頭⑽在乂轴方 。才對於彼此移位。因此，本發明之噴頭單元⑼具有以 下優點。 :滴噴出頭2由於其組態而通常傾向於相互改變沿著喷 列上下之每一噴嘴25的喷出量。舉例而言，存在以下 105193.doc -43- 1289213 狀況：位於喷嘴陣列中心附近之一噴嘴25中的噴出量相對 較少，且越接近喷嘴陣列之兩末端，一喷嘴25中之嘴出量 變得越多。在此狀況下，與本發明之噴頭單元1〇3相對 比，在其中用於以液滴形式將液體材料111B噴出至一相同 像素18B(亦即，一噴出區域）上的複數個液滴喷出頭2已於 X軸方向對準之狀況下，沿著複數個液滴喷出頭2中之噴嘴 陣列的每一喷嘴25之喷出量之變化直接引起供應至於又軸 方向對準之每一像素18B上的液體材料liiB之量之變化（誤 差），藉以在待製造之彩色濾光片基板1〇中嚴重地呈現顏 色不均勻性。 另一方面，在本發明之液滴喷出裝置1中，由於用於以 液滴形式將液體材料i i 1B喷出至一相同像素18B上的兩個 液滴噴出頭2於球方向相對於彼此移位，故—液滴喷出頭 2之噴嘴陣列之複數個喷嘴25中的—喷嘴25(液體材料⑴b 之液滴經由其而噴出至一像素18B上)之位置不同於其它液 滴喷出頭2之嘴嘴陣列之複數個噴嘴25中的-嘴嘴25(液體 材料⑴G之液滴經由其而喷出至—像素i8B上）之位置。因 此，-液滴喷出頭2中之此一噴嘴25的噴出量傾向於不同 中之此—噴嘴加嘴出量。待供應至 * 之/夜體材枓111B2量變成兩個液滴噴出 s 之對應噴嘴.25的平均喷出量。 馮此原因 在本發明之液滴喷出裝置1中，可藉由平均 化沿著噴嘴陣列之每一 稽田十0 微^ 25的贺出量而補償其喷出量之 史’且此使得可均勻化 J化仏應至母一像素〗8B上之液體材 105193.doc -44- 1289213 料111B的量。因此，可能更必然地防止在待製造之彩色濾 光片基板1 0中產生有害的顏色不均勻性。 - 另外，在液滴噴出裝置1中，藉由自第一液滴噴出頭21β 及第二液滴噴出頭22Β構成噴頭陣列3 1Β，第一液滴噴出 ' 頭21Β及第二液滴喷出頭22Β之噴嘴陣列充當一長噴嘴陣 列，同時藉由第三液滴喷出頭23Β及第四液滴噴出頭24β 構成喷頭陣列32Β，第三液滴喷出頭23Β&第四液滴噴出 • 頭24Β之喷嘴陣列充當一長喷嘴陣列。因此，可能增大整 個噴出寬度W(亦即，在X軸方向之噴頭單元1〇3之長^度）， 於該寬度W液體材料1! 1Β可經由整個喷頭單元1〇3中之噴 嘴25而喷出至基材10Α上。因此’可能減少將液體材料 喷出至整個基材10Α上所需之噴頭單元1〇3關於基材 10Α的主掃描移動數目。詳言之，在其中基材ι〇α之寬度 小於整個喷出寬度W之狀況下，可能藉由一主掃描移動= 將液體材料111Β噴出至整個基材1 〇Α上。 • 此外，由於液滴喷出裝置〗經建構以使得當自丫軸方向觀 察時，噴頭陣列31Β中之喷嘴陣列的接縫\與噴頭陣列32Β 中之噴嘴陣列的接縫關於彼此移位，故液滴喷出裝置1 具有以下優點。 在經由位於兩相鄰噴嘴陣列之任何接縫附近的喷嘴乃供 應液體材料111B所至之像素18B中比在提供於其它位置處 之像素1 8B中更易於呈現顏色不均句性。作為其原因，可 考慮以下因素：由於喷嘴25位於每一噴嘴陣列之兩末端附 近而使得以高準確度控制兩相鄰喷嘴陣列之接縫附近的喷 105193.doc •45· 1289213 為25之噴出置較為困難；接縫處之噴嘴間距之誤差；及其 類似因素。在其中由於此噴嘴陣列接縫而產生顏色不均勻 • 丨之狀况下，一所謂之條紋（其中此顏色不均勻性類似於 線而〜著液滴噴出頭2之掃描方向（亦即，沿著Y軸方向） 延伸）可呈現在待製造之彩色濾光片基板1〇中。 在其中當噴頭陣列3 1B中之喷嘴陣列之接縫比的位置與 噴項陣歹j 32B中之噴嘴陣列之接縫h的位置相對應時於彩 • I濾光片基板1G中產生上述條紋的狀況下，此等兩條紋在 待製造之彩色濾光片基板1〇中重疊，藉以使此等條紋變得 顯著。另一方面，由於液滴喷出裝置i經建構以使得當自γ 軸方向觀察時喷頭陣列31Β中之喷嘴陣列的接縫匕與喷頭 陣列32B中之喷嘴陣列的接縫h關於彼此移位，故該等兩 條紋分散在待製造之彩色濾光片基板1〇中之接縫匕及匕的 位置處。因此，可能使此條紋變得不顯著。 在此噴頭單元1 〇3中，分別由用於喷出紅色液體材料 i 111R之噴頭陣列31R&32R形成的兩長喷嘴陣列、分別由 用於喷出綠色液體材料111G之喷頭陣列31〇及32G形成的 兩長喷嘴陣列，及分別由用於喷出藍色液體材料丨丨1B之噴 頭陣列3 1B及32B形成的兩長噴嘴陣列經排列以便當自γ軸 觀察時關於彼此而重疊。此使得可能藉由進行噴頭單元 1 03關於基材1 〇Α之掃描移動而於整個喷出寬度次將紅 色液體材料111R、綠色液體材料111(3及藍色液體材料 分別供應至像素18R、18G及18Β上。 另外，在液滴喷出裝置1中，用於喷出紅色液體材料 105193.doc •46· 1289213 111R之喷頭陣列31R及32R中之喷嘴陣列的接縫ri&r2、用 於喷出綠色液體材料111G之喷頭陣列31G及32G中之噴嘴 陣列的接縫g】&g2，以及用於噴出藍色液體材料111B之喷 頭陣列31B及32B中之噴嘴陣列的接縫…及匕經排列以便當 自Y軸方向觀察時進行移位。 因此，在待製造之彩色滤光片基板丨〇中，可於任何紅色 像素18R上產生之條紋、可於任何綠色像素18G上產生之 條紋、可於任何藍色像素18G上產生之條紋可關於彼此分 散。因此，可能更必然地防止此等條紋變得顯著。詳言 之，在本實施例中，由於喷嘴陣列之接縫r2、g2、b2、n、 gi及b】之位置在自γ軸方向觀察時以均等間隔而定位，故 即使在其中該等條紋稍微變得顯著的狀況下，亦可能規則 地分散該等條紋。因此，可能使此等條紋變得不顯著。

在此方面，為簡明之目的， 、52、53及54以類似於上述喷 丨頭（參見圖8)的方式而排列。 圖9中將每一液滴喷出頭5 1、 105193.doc -47· 1289213 52、53及54指示為簡單長方形。 液滴噴出頭51及液滴噴出頭52在平行於每一喷嘴陣列之 X軸方向以連續之方式排列’且液滴噴出頭51及52之Μ個 噴嘴陣列經排列以使得當自垂直於每一噴嘴陣列之¥軸方 向觀察時，其噴嘴25經由兩相鄰液滴喷出頭51及52之間的 接縫j丨而連縯。在此狀況下，兩液滴噴出頭5工及52充當一 噴頭組陣列6 1。 以類似之方式，液滴噴出頭53及液滴噴出頭54在平行於 每一喷嘴陣列之X軸方向以連續之方式排列，且液滴喷出 頭53及54之24個喷嘴陣列經排列以使得當自垂直於每—噴 嘴陣列之Y軸方向觀察時，其喷嘴25經由兩相鄰液滴喷出 頭53及54之間的接縫』2而連續。在此狀況下，兩個液滴喷 出頭53及54充當一喷頭組陣列62。#由對上述喷頭組陣列 61及噴頭組陣列62進行重疊而對其進行排列，以使得當自 y軸方向觀察時接縫L及L在X軸方向相對於彼此移位》 在具有此喷頭單元103’之液滴喷出裝£1中，自兩液滴 噴出碩（亦即，兩個液滴喷出頭51及53、51及54，或53及 54)喷出之液體材料lu供應至每一像素i8R、或 上。此使得可能進一步均勻化待供應至基材1〇A之任何位 置處的每一像素18R、18〇或18B上之液體材料U1的量。 因此，可能更必然地防止在待製造之彩色遽光片基板1〇之 表面中產生顏色不均勻性。 另外，由於液滴噴出頭5;[之喷出寬度％與液滴喷出頭52 之噴出寬度W2經連接而起作用，且液滴喷出頭幻之喷出寬 105193.doc -48 - 1289213 度W3與液滴噴出頭+ 噴出寬度W4經連接而起作用， 可月增大X轴方向之啥涵留― π之賀碩早兀1〇31之長度（亦即，圖9 整個喷出寬度F r-、 ;^長度液體材料111可經由整個 單元103斤之噴喈γ^ 贺頭 $為25而賀出至基材10Α上。

此外’由於本實施例之液滴噴出裝置1經建構以使得當 自軸方向觀察時噴頭組陣列6 i中t喷嘴陣列的接縫』與 噴頭組陣列62中之噴嘴陣列的接縫j2關於彼此移位，故; 由於接縫h而產生之條紋及可由於接縫^產生之條紋可 分散於待製造之彩色濾、光片基板1G中的獨立點處1此， 可旎更必然地防止條紋變得顯著。 上文已描述之本發明不但可應用於製造彩色濾光片基板 ,肖、兄而且可應用於製造諸如電致發光顯示器之其它 類型圖像顯示裝置的狀況。 ^ 圖1〇為展示一製造有機電致發光顯示器30之方法的示意 ϋ截面圖。下文中，將給出對使用本發明製造有機電致發 光顯示器30之狀況的闡述；然而，將對製造上述彩色濾光 片基板1 0之狀況與製造有機電致發光顯示器3〇的狀況之間 的差異進行主要描述，且省略對類似闡述之描述。 圖10中所示之基材30Α為用於製造有機電致發光顯示器 3〇之基板。基材3〇α具有以矩陣方式排列於其上之複數個 像素（亦即，複數個喷出區域）38R、38G及38Β。 更具體言之，基材3〇A包括一支撐基板32、一形成於該 支撐基板32上之電路元件層34、形成於該電路元件層34上 之複數個像素電極36，及形成於該等複數個像素電極36之 105193.doc -49- 1289213 相鄰兩者之間的複數個觸排40。支撐基板32具有關於可見 光（光學波長）之光滲透性，諸如玻璃基板。每一複數個像 素電極36亦具有關於可見光（光學波長）之光滲透性，諸如 IT〇(氧化銦錫）電極。另外，複數個像素電極3 6以矩陣方 式排列於電路元件層34上，且每一像素電極3 6界定一像 素。每一觸排40具有類似晶格之結構，且每一複數個像素 電極36被預定觸排4〇環繞。此外，觸排4〇係由形成於電路 凡件層34上之無機觸排4〇α及位於無機觸排4〇Α上之有機 觸排40Β構成。 電路元件層34為具有以下各物之層：複數個掃描電極， 其各自於支撐基板32上朝向預定方向延伸；一絕緣膜42, 其形成以便覆蓋複數個掃描電極；複數個信號電極，其提 供於絕緣膜42上且各自朝向垂直於預定方向（複數個掃描 電極中每一者朝向該預定方向而延伸）之方向而延伸；複 數個開關元件44，其各自提供於掃描電極與信號電極之間 的相交點附近；及複數個層間絕緣膜45(諸如聚醯亞胺）， 其形成以便覆蓋複數個開關元件44。每一開關元件44之間 電極44G及源電極44S分別電連接至對應掃描電極及對應信 號電極。複數個像素電極36位於層間絕緣膜45上。複數個 通孔44V分別提供於對應於開關元件44之汲電極44D的部 分處’且開關元件44經由該等通孔44 V分別電連接至對鹿 像素電極36。另外，開關元件44分別提供於對應於觸排4〇 之位置處。換言之，當自圖1 0之上側觀察時，每一複數個 開關元件44經定位以便被對應之觸排4〇覆蓋。 J05193.doc •50- 1289213 各自藉由像素電極36及對應觸排40界定之凹面部分分別 對應於像素38R、38G及38B。像素38R為一區域，在該區 域中將形成發光層211FR，其中具有紅光波長區域内之波 長的光經由該發光層211FR而發射。像素38G為一區域， 在該區域中將形成發光層211FG，其中具有綠光波長區域 内之波長的光經由該發光層211FG而發射。像素38B為一 區域，在該區域中將形成發光層211FB，其中具有藍光波 長區域内之波長的光經由該發光層211FB而發射。 可使用已知成膜技術及圖案化技術來製造此基材3 〇 A。 首先，在大氣壓下藉由氧電漿處理使基材3〇A變得親 液。像素38R、38G及38B(各自藉由像素電極36及觸排4〇 來界定）中之像素電極36之表面、無機觸排4〇A之表面及有 钱觸排40B之表面藉由此處理而傾向於具有親液性。另 外接著對基材30八進行使用CL作為處理氣體之電漿處 理。藉由使用CF4之電漿處理，使每一凹面部分中之有機 觸排40B的表面氟化，且有機觸排侧之表面藉由此處理 而傾向於f有非親液性。在此方面’藉由使用CF4之電衆 處理’先前已具有親液性之像素電極36之表面及無機觸排 似之表面稱微失去親液性。然而，即使如此，此等表面 亦可保持親液性。 在此方*，根據像素電極36之材料、無機觸排4〇a之材 料及有機觸排40B之材斜，么 材抖母一凹面部分之表面在無上述 表面處理的情況下可具有所要親液性及非親液性。在此狀 況下，該表面無需經受上述表面處理。 105193.doc 1289213 另外’對應之電洞輸送層3 7R、37G及37B可形成於每一 複數個像素電極36上從而經受表面處理。在其中電洞輸送 層3 7R、3 7G及37B分別位於像素電極36與發光層2ufr、 2 11FG及211FB之間的狀況下，可能改良電致發光顯示器 之發光效率。 如圖10(a)至圖10(c)所示，液體材料211r、211G及2ub 分別供應至基材30A上’在該基材3〇a上像素38R、38G及 3 8B如上所述以類似於使用本發明之液滴喷出裝置i形成於 上述彩色濾光片基板10之狀況的方式而形成。在此狀況 下，液體材料2 11R包括紅色有機發光材料，液體材料 211G包括綠色有機發光材料，且液體材料211]5包括藍色 發光材料。 接著，將基材30A轉移至乾燥裝置中。藉由對供應至每 一像素38R、38G及38B上之液體材料211R、211G及211B 進行乾燥而於每一像素38R、38G及38B上獲得發光層 211FR、211FG及 211FB。 其次’形成反電極（counter electrode)46以便覆蓋發光層 211FR、211FG及211FB及觸排40。每一反電極46充當一負 電極。 隨後’藉由將密封基板48接合至基材3〇A(以它們的周邊 部分）而獲得圖10(d)所示之有機電致發光顯示器3〇。在此 方面’惰性氣體封裝在密封基板48與基材3〇A之間。 在有機電致發光顯示器30中，自發光層211Fr、211FG 及2 11FB發射之光經由像素電極36、電路元件層34及支撐 105193.doc -52- 1289213

器（其亦稱為SED(表面傳導電子發射顯示 :本發明並不限於上述 有至製造電漿顯示器之 &發射元件之圖像顯示 顯示器）或FED(場發射 顯示器））的方法中。 <電子器件之實施例> 可利用諸如具有使用上述方法製造之彩色濾光片基板ι〇 之液晶顯示器及使用上述方法製造之有機電致發光顯示器 的圖像顯不裝置1000(亦即，本發明之電子裝置）作為各種 類型電子裝置中每一者之顯示部分。 圖11為展示一應用本發明之電子裝置的行動（或膝上型） 個人電腦11 00之結構的透視圖。參看圖丨丨，個人電腦i丨 具有一具有鍵盤11 02之主體1104及一顯示單元1106。該顯 示單元1106經由鉸鏈部分而可旋轉地支擇於主體上。 在此個人電腦11 00中，顯示單元11 06具有上文所述之圖像 顯示裝置1000。 圖12為展示一應用本發明之電子裝置的攜帶型電話（包 括個人掌上型電話系統）1200之結構的透視圖。參看圖 12，攜帶型電話1200具有複數個按鈕1202、一聽筒1204、 一話筒12 0 6及一顯示部分。該顯示部分係由上文所述之圖 105193.doc -53- 1289213 像顯示裝置1000構成。 圖13為展示一應用本發明之電子裝置的數位靜態相機 1300之結構的透視圖。在此圖式中，示意性展示該數位靜 態相機與其外部設備之連接。普通相機基於對象（subject) - 之光學圖像而曝光銀鹽照相軟片，而數位靜態相機1300藉 由使用諸如電荷耦合器件（CCD)之成像器件將對象之光學 圖像光電轉換為成像信號而產生成像信號（圖像信號）。 春上述圖像顯示裝置1〇〇〇係提供為數位靜態相機13〇〇中之 外设（主體）1302之背表面上的顯示部分。圖像顯示裝置 1000回應藉由CCD輸出之成像信號而顯示圖像，且充當用 於將對象顯示為電子圖像之取景器（finder)。電路板i 3〇8置 放於外殼1302之内部。能夠储存諸如成像信號之記憶體置 放於電路板13〇8上。 另外，包括一光學透鏡（成像光學系統）、cCD&其類似 物之光接收單元1304提供於外殼13〇2之正表面側中。當攝 寒影者確定顯示於顯示部分（亦即，圖像顯示裝置丨綱）上之 目軚的圖像，且按下快門按紐13〇6時，此時之成像信 號轉移至電路板1308之記憶體且儲存於此記憶體中。 另外，視訊信號輸出端子1312及用於資料通信之輸入/ 輸出立而子13 14提供於數位靜態相機丨3GQ中之外殼1搬的側 表面上。如圖13中所示’若需要，則電視監控器1430及個 人電細1440分別連接至視訊信號輸出端子丨及用於資料 通Λ之輸入/輸出端子1314。此外，儲存於電路板工谓之 记隐體中的成像仏唬藉由預定操作而輸出至電視監控器 105193.doc -54· 1289213 1430或個人電腦1440。 在此方面，除圖11中所+ y r所不之個人電腦（行動個人電 腦）1100、圖12中所示之；j崔讲丨丨兩^ W 丁乏攜▼型電話1200及圖13中所示之 數位靜態相機讓之外，本發明之電子裝置可合適地用於 (或應用至）(例如）電視、視訊相機、觀察取景器類m 控器直接觀察型錄影帶錄像機、膝上型個人電腦、汽車導 航器件、尋呼機、電子筆記型電腦(包括具有通信功能之 彼等）、電子辭典、袖珍計算器、電子遊戲器件、文書處 理器、工作站、電視電話、用於犯罪預防之電視監控器、 電子雙筒望遠鏡、P0S(銷售點）終端機、具有觸控面板之 裝置（例如’金融機構中之自動提款機、自動售票機）、醫 療器件（例如，電子溫度計、血壓計、血膽計、心電圖顯 示器件、超音診斷器件、用於内診鏡之顯示器）、探魚 儀、各種量測器件、量計(例如，用於車輛、飛機、船及 其類似物之量計）、飛行模擬器、任何其它類型監控器、 諸如投影儀之投影型顯示器及其類似物。 雖然已基於圖式中所示之實施例描述了根據本發明之用 ^液滴喷出裝置中之喷頭單元、液滴噴出裝置、從基材製 造面板之方法、圖像顯示裝置及電子裝置，但應注意，本 發明並不限於該實施例。可以能夠以相同方式起作用之任 意配置來替代根據本發明之喷頭單元、液滴喷出裝置及電 子裝置的個別部分。另外’任何其它任意組件可添加至根 據本發明之噴頭單元、液滴喷出裝置及電子裝置中。 【圖式簡單說明】 105 丨 93.doc -55- 1289213 圖1為本發明之_實雜也丨士 圖2為展示圖1中所示之 基材的平面圖 的液滴喷出裝置之透視圖。 液滴噴出裝置之噴頭單元及展示 圖3為展示液滴噴出頭 展示基材之像素的放大平 之噴嘴表面（噴嘴板）之 面圖。 一部分及 為.圏1中所示之液滴嗔出裝置之液滴

噴出頭的透視截面圖及截面圖 圖5為圖1中所示之液 從，同噴出襞置的方塊圖 圖6⑷為料㈣單元之*意圖。 早7L之驅動信號、選擇信號 造彩色濾光片基板之方法的 圖6(b)為展示用於噴頭驅動 及噴出信號的時序圖。 圖7(a)至圖7(d)為展示一製 示意性截面圖。 圖8為用於闡述在根據本發明之液滴噴出裝置之嗔頭單

70中的每-液滴喷出頭之位置關係的示意性平面圖。 圖：為示意性展示本發明之液滴喷出裝置中之喷頭單元 的組態之另一實例之平面圖。 圖10(a)至圖10(d)為展示一製造有機電致發光顯示器之 方法的示意性截面圖。 圖11為展示一應用本發明之電子裝置的行動（或膝上型） 個人電腦之結構之透視圖。 圖丨2為展示一應用本發明之電子裝置的攜帶型電話（包 括個人革上型電話糸統）之結構之透視圖。 圖Z3為展示一應用本發明之電子裝置的數位靜態相機之 105193.doc -56- 1289213 結構之透視圖。 【主要元件符號說明】 1 2

- 2EP

10 10A • 12 14 16

18R

18G

18B 20

21R

22R

23R

24R

21G 液滴喷出裝置 液滴噴出頭 兩倍喷出循環 彩色滤光片基板 基材 支撐基板 黑色矩陣 觸排 紅色像素（噴出區域） 綠色像素（喷出區域） 藍色像素（喷出區域） 保護膜 紅色液體材料111R之第一液滴 喷出頭 紅色液體材料111R之第二液滴 喷出頭 紅色液體材料111R之第三液滴 噴出頭 紅色液體材料Π1R之第四液滴 喷出頭 綠色液體材料111G之第一液滴 喷出頭 105193.doc -57- 1289213 綠色液體材料111G之第二液滴 喷出頭 綠色液體材料111G之第三液滴 喷出頭 綠色液體材料111G之第四液滴 喷出頭

藍色液體材料111B之第一液滴 喷出頭 藍色液體材料111B之第二液滴 喷出頭 藍色液體材料111B之第三液滴 噴出頭 藍色液體材料111B之第四液滴 喷出頭 噴嘴

22G 23G 24G 21B 22B 23B 24B 25 26 30 30A 不使用部分 有機電致發光顯示器 基材 31R、32R、31G、32G、喷頭陣列

31B 、 32B 32 支撐基板 34 電路元件層 36 像素電極 37R、37G、37B 電洞輸送層 105193.doc •58· 1289213

38R、38G、38B 像素 40 觸排 40A 無機觸排 40B 有機觸排 42 絕緣膜 44 開關元件 44G 閘電極 44S 源電極 44V 通孔 44D 汲電極 45 層間絕緣膜 46 反電極 48 密封基板 51 、 52 、 53 、 54 液滴喷出頭 61、62 喷頭組陣列 ' 91、92 液滴 101 貯槽 103 喷頭單元 103， 喷頭單元 104 滑架移動機構（移動機構） 105 滑架 106 平臺 108 平臺移動機構（移動機構） 110 管 105193.doc -59- 1289213

111 液體材料 111R 紅色液體材料 111G 綠色液體材料 111B 藍色液體材料 111FR、111FG、 111FB 濾光層 112 控制單元 120 空腔 122 間壁 124 振動器 124A 、 124B 電極 124C 壓電元件 126 橫隔板 128 喷嘴板 129 儲集器 130 墨水供應口 131 墨水進口 200 輸入緩衝記憶體 202 儲存單元 203 信號產生器 204 處理單元 206 掃描驅動單元 208 喷頭驅動單元 211FR、211FG、 211FB 發光層 211R、211G、211B 液體材料 -60- 105193.doc 1289213

302 滑架位置偵測器件 303 平臺位置偵測器件 1000 圖像顯示裝置 1100 個人電腦 1102 鍵盤 1104 主體 1106 顯示單元 1200 攜帶型電話 1202 按鈕 1204 聽筒 1206 話筒 1300 數位靜態相機 1302 外殼（主體） 1304 光接收單元 1306 快門按鈕 1308 電路板 1312 視訊信號輸出端子 1314 輸入/輸出端子 1430 電視監控器 1440 個人電腦 AS 類比開關 DS 驅動訊號 EP 喷出循環 ES 噴出訊號 105193.doc -61 - 1289213 jl ' h 接縫 L 參考電位 P 喷出波形 Ri、R2、R3、G】、G2、 區域 G3、 Bi、 B2、 B3 n、r2、g!、g2、b!、b2 接縫 SC 選擇訊號 w 整個噴出寬度 w,、w2、w3、w4 喷出寬度 X X轴方向 Y Y軸方向 z Z轴方向 105193.doc -62-

Claims (1)

12892条394133172號專利申請案β 飞， ’ 中文申請專利範圍替換本(95年12月） 」 4 十、申請專利範圍： 種用於液滴喷出裝置中之喷頭單元，該喷頭單元具 、复數個液滴喷出頭，彼等用於以液滴形式將一預定顏 色之一或多種液體材料喷出至一基材上，該等液滴喷出 頭中每者包括含有線性對準之複數個喷嘴的至少一喷 觜陣列，该液體材料係以液滴形式經由該等複數個液滴 喷出頭之該等複數個喷嘴而喷出， _ 八中用於喷出相同顏色之該液體材料之該等複數個液 、出頭係、！排歹,j，以使得該等複數個液滴喷出頭之該 等喷嘴陣列在—第—方向彼此平行，且當自-垂直於該 第方向之第二方向觀察時，該等複數個液滴噴出頭中 每一者與其它液滴噴出頭中至少一者部分地重疊，且 、其中彼此部分地重疊之用於喷出相同顏色之該液體材 料的所有該等複數個液滴噴出頭，係以液滴形式將該液 體材料喷出至該基材之一預定區域上。 _ 2· 士口請求項1之噴頭卩元，纟中該-或多種之液體材料包 括二種類之液體材料，其分別具有紅色、綠色及藍色。 3·種液滴噴出裝置，其用於以液滴形式將一或多種液體 材料供應至一基材上，該一或多種液體材料具有一預定 顏色，該裳置包含： 藉由請求項1界定之喷頭單元； 一平臺，其具有兩個主要表面，該平臺之該等兩個主 要表面中之一者面向該喷頭單元之該等複數個液滴噴出 頭，且該基材係支撐於該平臺之該一個主要表面上； 105193-951229.doc , 1289213

一移動機構，其用於相對於該噴頭單元相 臺；及 互移動該平 仅刺早兀 ;刺该噴頭單元及該移動機構之 操作’以使得該喷頭單元之該等複數個液滴噴出頭中每 一者將該液體材料之液滴噴出至該基材上，同時在垂直 於该第-方向之該第二方向相對於該噴頭單元相互 該平臺。

4. 5. 6. 如請求項3之液滴喷出裝置，其中該基材為—用於製造 -用於-液晶顯示器之彩色濾光片基板的基底材料，且 該一或多種之液體材料為用於形成該彩色濾光片基板之 一濾光層的墨水。 如請求項3之液滴喷出裝置，其中該基材為—用於製造 一電致發光顯示器之基底材料，且該—或多種液體材料 包括一用於製造該電致發光顯示器之發光材料。

-種製造面板之方法’其係使用藉由如請求項3之液滴 喷出裝置從基材製造面板，該方法包含以下步驟： 製備一基材；及 藉由使用該液滴喷出裝置喷出液滴，同時在垂直於第 向之第二方向相對於噴頭單元相互移動該基材，而 ^ °亥等液滴之形式將-預定顏色之—或多種液體材料供 應至該基材上。 7 jj ”月求項6之方法，其中該基材為一用於製造一液晶顯 示器用彩色濾光片基板的基底材料，且該一或多種液體 I⑹93fI2idf用於形成該彩色濾光片基板之一濾光層的墨水。 -2 - r S·如讀袁“ 士 、〜〜s:: 月衣項6之方法，其 ’ 光顯示器之基底犲;、/'為基材為一用於製造一電致發 於激土 _科，且該—或多種液體材料包括一用 9 、裏铤该電致發光顯示器之發光材料。 .—種圖像顯示裝置，其包含使用藉由如請求項6 而製造的面板。 、方法 10·—種電子裝置，其包含藉由如請求項9之 置。 _像顯示裴

105193-951229.doc 3-