CN101254710B - 头单元、液滴喷射装置和从基部制造面板的方法 - Google Patents

头单元、液滴喷射装置和从基部制造面板的方法 Download PDF

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Abstract

一种用于液滴喷射装置中的头单元，第一液滴喷射头和第二液滴喷射头构成第一组，第三液滴喷射头和第四液滴喷射头构成第二组。当从第二方向观察时、第一喷嘴阵列的喷嘴相对于第二喷嘴阵列的喷嘴沿着第一方向错开半个节距；第一组和第二组安置成彼此部分重叠，但是当从第二方向观察时、第一组的第一和第二液滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的喷嘴安置成不与第二组的第三和第四液滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的喷嘴重叠，当从第一方向观察时、第二液滴喷射头安置在第三液滴喷射头和第四液滴喷射头之间，且当从第一方向观察时，第三液滴喷射头被安置在第一液滴喷射头和第二液滴喷射头之间。本发明还提供一种液滴喷射装置和从基部制造面板的方法。

Description

头单元、液滴喷射装置和从基部制造面板的方法
本申请是本申请人于2005年9月29日申请的申请号为200510106996.5、发明名称为“头单元、液滴喷射装置、从基部制造面板的方法、图像显示装置和电子装置”的发明专利申请的分案申请。
技术领域
本发明涉及用于液滴喷射装置中的头单元、液滴喷射装置、从基部制造面板的方法、图像显示装置和电子装置。
背景技术
作为制造用于图像显示装置用的面板的方法、诸如液晶显示器的滤色镜，使用液滴喷射装置(喷墨图画装置)的方法是公知的(诸如，参看JP-A-59-75205)。在此方法中，多个象素被形成在用于制造面板的衬底上，多个象素(喷射区域)通过将诸如墨的液体材料使用液滴喷射装置以液滴的形式供给到多个象素上而被形成在所述面板上。这样的用于制造面板的液滴喷射装置通过将液体材料以液滴的形式供给到衬底上同时相对头单元相互移动用于支撑衬底的台阶而供给用于形成象素的液体材料到衬底上的多个象素上，多个液滴喷射头被设置到所述头单元上。
多个喷嘴(喷嘴开口)被形成为一个液滴喷射头以被对齐，并且多个喷嘴构成喷嘴阵列。由于喷嘴阵列的长度比衬底的尺寸更短，多个液滴喷射头被安置在头单元上，这样喷嘴阵列在从扫描方向上观察时彼此连接，以让液滴在头单元的一次扫描操作上所喷射在其上的区域的宽度(将被划出的宽度)更长。
但是，由于不可避免地多个液滴喷射头之中的喷射量发生一些变化，例如，一个液滴喷射头喷射液体材料的液滴到其上的象素的颜色变深，另外的一个液滴喷射头喷射液体材料的液滴到其上的象素的颜色变浅。在这样的情况下，有个问题就是在面板上产生颜色不均匀性。
发明内容
因此，本发明的一个目的是提供一种用于液滴喷射装置中的头单元，液体喷射装置，所述液滴喷射装置可以制造没有颜色不均匀的高质量面板，从基部制造面板的方法，图像显示装置和设有没有颜色不均匀性的面板的电子装置。
为了实现上述目的，在本发明的一方面中，本发明涉及一种用于使用在液滴喷射装置中的头单元。头单元设有多个液滴喷射头，用于将一种或者多种类型的预定颜色的液体材料以液滴的形式喷射到基部上。各液滴喷射头包括至少一个喷嘴阵列，所述喷嘴阵列从多个线性对齐的喷嘴所形成。液体材料适于以液滴的方式通过多个液滴喷射头的多个喷嘴被喷射。用于喷射相同颜色的液体材料的多个液滴喷射头被安置，这样多个液滴喷射头的喷嘴阵列彼此在第一方向上平行，当从垂直于第一方向的第二方向观察时，多个液滴喷射头的每个部分重叠至少其它液滴喷射头之一。所有的多个用于喷射彼此部分重叠的相同颜色的液体材料的液滴喷射头以液滴的形式将液体材料喷射到基部的预定区域上。
根据本发明的液滴喷射装置中所使用的头单元，就可以通过多个液滴喷射头的喷嘴将液体材料的液滴使用喷嘴阵列的重叠(overlap)喷射到一个喷射区域(即，一个象素)上。因此，即使在多个液滴喷射头的喷射量之中存在变化(误差)的情况下，就可以防止有害的颜色不均匀性被产生在面板的表面中，所述面板使用本发明的头单元从基部制造。换言之，与本发明相比，在液体材料通过仅仅一个液滴喷射头的喷嘴而被供给到一个喷射区域上的情况下，液滴喷射头的喷射量的变化直接导致将被供给到各喷射区域上的液体材料量的变化(误差)，由此在将被制造的面板上显著出现颜色不均匀性。换言之，在本发明中，由于将被供给到一个喷射区域上的液体材料量变成在扫描方向上重叠的多个液滴喷射头的喷射量的平均，就可以使得将被供给到各喷射区域上的液体材料量变得均匀，由此就可以防止产生颜色不均匀性。
此外，通过安置多个液滴喷射头这样多个液滴喷射头的喷嘴阵列在第一方向上彼此平行，并且从垂直于第一方向的第二方向观察时多个液滴喷射头的每个部分重叠至少其它的液滴喷射头之一，本发明的头单元具有下述优点。
由于其结构，液滴喷射头通常趋于沿着喷嘴阵列相互地上下变化各喷嘴的喷射量。例如，在喷嘴阵列的中心的附近中的一个喷嘴中的喷射量相对更小的情况下，喷嘴阵列的两端越近，一个喷嘴中的喷射量变得越多。在这样的情况下，与本发明的头单元相比，在用于以液滴的形式将液体材料喷射到一个喷射区域(即，一个象素)上的多个液滴喷射头被对齐的情况下，多个液滴喷射头中沿着喷嘴阵列的各喷嘴的喷射量的变化直接导致将被供给到各喷射区域上的液体材料量的变化(误差)，由此在将被制造的面板上显著出现颜色不均匀性。
另一方面，在本发明中，由于头单元具有如上所述的结构，一个液滴通过其喷射到一个液滴喷射头的喷嘴阵列的多个喷嘴中的一个喷射区域上的一个喷嘴的位置与液滴被喷射到其它的液滴喷射头的喷嘴阵列的多个喷嘴中的一个喷射区域上的一个喷嘴的位置不同。这样，所述一个液滴喷射头中的这样的一个喷嘴的喷射量趋于与另外的液滴喷射头中的这样的一个喷嘴的喷射量不同。将被供给到一个喷射区域上的液体材料量变成多个液滴喷射头中的对应喷嘴的喷射量的平均值。因此，在本发明中，就可以通过平均喷射量来沿着喷嘴阵列补偿各喷嘴的喷射量中的变化，并且这使得其可以使得供给到各喷射区域上的液体材料量均匀化，由此就可以更为可靠地防止有害的颜色不均匀性产生在将被制造的面板的表面中。
在本发明的头单元中，优选地，一种或者多种类型的液体材料包括三种类型的液体材料，分别具有红、绿和蓝色。
在本发明的另外一方面中，本发明涉及用于将一种或者多种类型的液体材料以液滴的方式供给到基部上的液滴喷射装置。一种或者多种类型的液体材料具有预定的颜色。所述装置包括：
根据如上所述的头单元；
具有两个主表面的台阶，台阶的两个主表面之一朝向头单元的多个液滴喷射头，基部被支撑在台阶的一个主表面上；
移动机构，用于相对头单元相互移动台阶；以及
控制单元，所述控制单元用于控制头单元以及移动机构的操作，这样头单元的多个液滴喷射头的每个将液体材料的液滴喷射到基部上，同时在垂直于第一方向的第二方向上相对头单元相互移动台阶。
根据本发明的液滴喷射装置，就可以使用喷嘴阵列的重叠通过多个液滴喷射头的喷嘴将液体材料的液滴喷射到一个喷射区域(即、一个象素)上。因此，即使在多个液滴喷射头的喷射量之中存在变化(误差)的情况下，就可以防止有害的颜色不均匀性被产生在面板的表面中，所述面板使用本发明的头单元从基部制造。换言之，与本发明相比，在液体材料通过仅仅一个液滴喷射头的喷嘴而被供给到一个喷射区域上的情况下，液滴喷射头的喷射量的变化直接导致将被供给到各喷射区域上的液体材料量的变化(误差)，由此在面板上显著出现颜色不均匀性。另一方面，在本发明中，由于将被供给到一个喷射区域上的液体材料量变成在扫描方向上重叠的多个液滴喷射头的喷射量的平均，就可以使得将被供给到各喷射区域上的液体材料量变得均匀，由此就可以防止产生颜色不均匀性。
在本发明的液滴喷射装置中，优选地基部是用于制造滤色镜衬底的基部材料，所述滤色镜衬底用于液晶显示器，并且一种或者多种类型的液体材料是用于形成滤色镜衬底的滤色镜层的墨。
这使得可以用很高的生产率(制造效率)制造没有颜色不均匀和条纹的液晶显示器用的滤色镜衬底。
在本发明的液滴喷射装置中，优选地，基部是用于制造电致发光显示器的基部材料，以及一种或者多种类型的液体材料包括用于制造电致发光显示器的发光材料。
这使得可以用很高的生产率(制造效率)制造没有颜色不均匀和条纹的电致发光显示器用的滤色镜衬底。
在本发明的另外的实施例中，本发明涉及使用如上所述的液滴喷射装置从基部制造面板的方法。所述方法包括步骤：
制备基部；以及
将预定颜色的一种或者多种类型的液体材料以液滴的形式通过液滴喷射装置喷射液滴而供给到基部上同时相对头单元在垂直于第一方向的第二方向上相互移动基部。
根据本发明的使用液滴喷射装置从基部制造面板的方法，就可以使用喷嘴阵列的重叠通过多个液滴喷射头的喷嘴将液体材料喷射到一个喷射区域(即、一个象素)上。因此，即使在多个液滴喷射头的喷射量之中存在变化(误差)的情况下，就可以防止有害的颜色不均匀性被产生在面板的表面中，所述面板使用本发明的头单元从基部制造。换言之，与本发明相比，在液体材料通过仅仅一个液滴喷射头的喷嘴而被供给到一个喷射区域上的情况下，液滴喷射头的喷射量的变化直接导致将被供给到各喷射区域上的液体材料量的变化(误差)，由此在面板上显著出现颜色不均匀性。另一方面，在本发明中，由于将被供给到一个喷射区域上的液体材料量变成在扫描方向上重叠的多个液滴喷射头的喷射量的平均，就可以使得将被供给到各喷射区域上的液体材料量变得均匀，由此就可以防止产生颜色不均匀性。
此外，通过安置多个液滴喷射头这样多个液滴喷射头的喷嘴阵列在第一方向上彼此平行，并且从垂直于第一方向的第二方向观察时多个液滴喷射头的每个部分重叠至少其它的液滴喷射头之一，本发明的头单元具有下述优点。
由于其结构，液滴喷射头通常趋于沿着喷嘴阵列相互地上下变化各喷嘴的喷射量。例如，在喷嘴阵列的中心的附近中的一个喷嘴中的喷射量相对较小的情况下，喷嘴阵列的两端越近，一个喷嘴中的喷射量变得越多。在这样的情况下，与本发明的头单元相比，在用于以液滴的形式将液体材料喷射到一个喷射区域(即，一个象素)上的多个液滴喷射头被对齐的情况下，多个液滴喷射头中沿着喷嘴阵列的各喷嘴的喷射量的变化直接导致将被供给到各喷射区域上的液体材料量的变化(误差)，由此在将被制造的面板上显著出现颜色不均匀性。
另一方面，在本发明中，由于头单元具有如上所述的结构，一个液滴通过其喷射到一个液滴喷射头的喷嘴阵列的多个喷嘴中的一个区域上的一个喷嘴的位置与液滴被喷射到另外的液滴喷射头的喷嘴阵列的多个喷嘴中的一个喷射区域上的一个喷嘴的位置不同。这样，所述一个液滴喷射头中的这样的一个喷嘴的喷射量趋于与其它的液滴喷射头中的这样的一个喷嘴的喷射量不同。将被供给到一个喷射区域上的液体材料量变成多个液滴喷射头中的对应喷嘴的喷射量的平均值。因此，在本发明中，就可以通过平均喷射量来沿着喷嘴阵列补偿各喷嘴的喷射量中的变化，并且这使得其可以使得供给到各喷射区域上的液体材料量均匀化，由此就可以更为可靠地防止有害的颜色不均匀性产生在将被制造的面板的表面中。
在根据本发明从基部制造面板的方法中，优选地，基部是用于制造滤色镜衬底的基部材料，所述滤色镜衬底用于液晶显示器，并且一种或者多种类型的液体材料是用于形成滤色镜衬底的滤色镜层的墨。
这使得可以用很高的生产率(制造效率)制造没有颜色不均匀的液晶显示器用的滤色镜衬底。
在根据本发明从基部制造面板的方法中，优选地，基部是用于制造电致发光显示器的基部材料，以及一种或者多种类型的液体材料包括用于制造电致发光显示器的发光材料。
这使得可以用很高的生产率(制造效率)制造没有颜色不均匀的电致发光显示器用的滤色镜衬底。
在本发明的另外一方面中，本发明涉及包括使用如上所述的方法制造的面板的图像显示装置。
这使得可以用很高的生产率(制造效率)制造没有颜色不均匀的图像显示装置。
在本发明的另外一方面中，本发明涉及包括如上所述的图像显示装置的电子装置。
根据本发明的另外一方面，提供了一种用于液滴喷射装置中的头单元，所述头单元设有多个液滴喷射头，用于将预定颜色的液体材料以液滴的形式喷射到基部上，其中所述多个液滴喷射头包括至少第一液滴喷射头、第二液滴喷射头、第三液滴喷射头和第四液滴喷射头，用于喷射预定颜色的液体材料，第一至第四液滴喷射头中的每一个包括第一和第二喷嘴阵列，所述第一和第二喷嘴阵列中的每个具有以预定节距线性对齐的多个喷嘴，所述液体材料适于以液滴的形式通过第一至第四液滴喷射头的多个喷嘴喷射，其中所述第一液滴喷射头和第二液滴喷射头构成第一组，第三液滴喷射头和第四液滴喷射头构成第二组，其中在第一组中，所述第一液滴喷射头和第二液滴喷射头沿着平行于第一和第二喷嘴阵列的每一个的第一方向安置，这样第一液滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的每一个的喷嘴和第二液滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的每一个的喷嘴构成当沿着垂直于第一方向的第二方向观察时的第一连续长喷嘴阵列，且在第二组中，所述第三液滴喷射头和第四液滴喷射头沿着第一方向安置，这样第三液滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的喷嘴和第四液滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的每一个的喷嘴构成当从第二方向观察时的第二连续长喷嘴阵列，其中用于喷射预定颜色的液体材料的所有多个液滴喷射头将液体材料以液滴的形式喷射到所述基部的预定区域上，其中在第一至第四液滴喷射头的每一个中，所述第一和第二喷嘴阵列以侧靠侧的关系沿着第二方向安置，当从第二方向观察时、第一喷嘴阵列的喷嘴相对于第二喷嘴阵列的喷嘴沿着第一方向移动半个节距；以及其中所述第一组和所述第二组安置成部分彼此重叠，但是当从第二方向观察时、第一组的第一和第二液滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的喷嘴安置成不与第二组的第三和第四液滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的喷嘴重叠。
根据本发明的另外一方面，提供了一种液滴喷射装置，用于将至少三种液体材料以液滴的方式供给到基部上，所述至少三种液体材料的每一个具有预定的颜色，所述装置包括：如上各方面所限定的头单元，所述头单元包括至少三组，所述至少三组中的每一个具有第一至第四液滴喷射头；具有两个主表面的台阶，台阶的两个主表面中的一个朝向头单元的多个液滴喷射头，且基部被支撑在台阶的一个主表面上；移动机构，所述移动机构用于相对头单元相互移动所述台阶；以及控制单元，所述控制单元用于控制头单元以及移动机构的操作，这样头单元的多个液滴喷射头的每个将液体材料的液滴喷射到基部上，同时相对头单元相互移动所述台阶。
这使得可以用很高的生产率(制造效率)制造包括没有颜色不均匀的图像显示装置的电子装置。
附图说明
本发明的这些和/或者其它方面将从下述实施例并结合附图的说明变得显而易见并更容易理解，其中：
图1是本发明的实施例的液滴喷射装置的透视图；
图2是显示如图1中所示的液体喷射装置的头单元和基部的平面图；
图3是显示了液滴喷射头的喷嘴表面(喷嘴板)的一部分以及基部的象素的放大平面图；
图4(a)和4(b)分别是如图1所示的液滴喷射装置的液滴喷射头的透视横截面视图以及横截面视图；
图5是图1中所示的液滴喷射装置的方框图；
图6(a)是头驱动单元的示意图；
图6(b)是显示用于头驱动单元的驱动信号、选择信号和喷射信号的时序图；
图7是显示了制造滤色镜衬底的方法的示意横截面视图；
图8是用于解释根据本发明的液滴喷射装置的头单元中的液滴喷射头的每个的位置关系的示意平面图；
图9是示意显示了本发明的液滴喷射装置中的头单元的结构的另外的示例的平面图；
图10是显示制造有机电致发光显示器的方法的示意横截面视图；
图11是显示移动(或者膝上型)个人计算机的结构的透视图，本发明的电子装置施加到所述个人计算机上；
图12显示了便携电话(包括个人手持电话系统)的结构的透视图，本发明的电子装置应用到所述便携电话上；
图13是本发明的电子装置所应用的数码相机的结构的透视图。
具体实施方式
头单元、液滴喷射装置、从基部制造面板的方法、图像显示装置和根据本发明的电子装置的优选实施例将参照附图进行详细说明。
在本实施例中，制造将变成作为面板的一个示例的液晶显示器的部件的滤色镜衬底10的情况将被典型地说明。
(液滴喷射装置的整个结构)
图1是根据本发明的实施例的液滴喷射装置1的透视图。如图1所示，液滴喷射装置1设有头单元103，其中多个液滴喷射头2被安装在承载器105上；用于在一个水平方向上(此后称为“X轴方向”)移动头单元103的承载器移动机构(移动机构)104；台阶106，用于支撑此后将被说明的基部10A；台阶移动机构(移动机构)108，用于在垂直于X轴方向的水平方向(此后，称为“Y轴方向”)上移动台阶106；以及控制单元112，用于控制头单元103，承载器移动机构104以及台阶移动机构108。
此外，三个箱101被设置用于存储三种类型的液体材料111，包括液滴喷射装置1的附近中的红色(R)、绿色(G)和蓝色(B)。各箱101通过用作发送液体材料111的流动路径的管110连接到头单元103。存储在各箱101中的液体材料111被发送(供给)到头单元103中的各液滴喷射头2。
对于此，本发明的“液体材料”包括用于形成面板的象素的材料，并意味着具有充分粘度的材料以通过液滴喷射头2的喷嘴25所喷射。在这种情况下，所述材料可以是水基或者油基。此外，所述材料只需要通过液滴喷射头2的喷嘴25具有可喷射流动性(粘度)。即使固体材料可以弥散在所述材料中，所述材料整体可以是一种流体。本实施例中的液体材料111是其中用于形成滤色镜衬底10的象素的滤色镜层的色素被溶解或者弥散在有机溶剂中的有机溶剂墨。
对于此，在下述说明中，在区别红色、绿色和蓝色的液体材料111的情况下，它们分别称为“液体材料111R、111G和111B”。另一方面，在没有区别颜色时通常命名它们的情况下，它们的每个被简单称为“液体材料111”。
承载器移动机构104的操作通过控制单元112所控制。本实施例中的承载器移动机构104具有通过沿着垂直方向(此后称为“Z轴方向”)移动头单元103而调整头单元103的高度的功能。此外，承载器移动机构104也具有围绕平行于Z轴方向的轴线旋转头单元103的功能，以及这使得其可以围绕Z轴微调头单元103的角度。
台阶106具有平行于X轴方向和Y轴方向的平面。此外，台阶106被构造，这样用于制造滤色镜衬底10的基部10A可以被固定或者保持(或者支撑)在其上。台阶移动机构108沿着垂直于X轴方向和Z轴方向的Y轴方向移动台阶106。台阶移动机构108的操作通过控制单元112所控制。此外，本实施例中的台阶移动机构108也具有围绕平行于Z轴方向的轴线旋转台阶106的功能，并且这使得其可以围绕Z轴方向微调安装到台阶106上的基部10A的斜度，这样基部10A变得相对头单元103笔直。
如上所述，头单元103通过承载器移动机构104被移动到X轴方向上。另一方面，台阶106通过台阶移动机构108被移动到Y轴方向上。因此，头单元103相对台阶106的相互位置可以通过承载器移动机构104和台阶移动机构108所改变。
对于此，将在后面详细描述控制单元112的结构和功能。
(头单元)
图2是如图1所示的液滴喷射装置1的头单元103和基部10A的平面图。如图2所示的头单元103具有其中多个液滴喷射头2被安装到承载器105上的结构。承载器105用链条双划线被显示在图2中。此外，分别显示多个液滴喷射头2的实线指示多个液滴喷射头2的喷嘴表面的位置(即，此后所描述的喷嘴板128)。
用于喷射红色的液体材料111R的四个液滴喷射头2、用于喷射绿色的液体材料111G的四个液滴喷射头2和用于喷射蓝色的液体材料111B的四个液滴喷射头2被设置在头单元103上。用于喷射红色的液体材料111R的四个液滴喷射头2包括第一液滴喷射头21R、第二液滴喷射头22R、第三液滴喷射头23R和液滴喷射头24R。用于喷射绿色的液体材料111G的四个液滴喷射头2包括第一液滴喷射头21G、第二液滴喷射头22G、第三液滴喷射头23G和液滴喷射头24G。用于喷射蓝色的液体材料111B的四个液滴喷射头2包括第一液滴喷射头21B、第二液滴喷射头22B、第三液滴喷射头23B和液滴喷射头24B。
在下述说明中，在没有用将被喷射的液体材料的颜色来区别时通常命名这些液滴喷射头2的情况下，它们的每个被简单地称为“液滴喷射头2”。另一方面，在区别用于喷射红色、绿色和蓝色的液体材料的液滴喷射头2的情况下，它们被称为诸如“第一液滴喷射头21R、第二液滴喷射头22R、...”。
如图2所示的基部10A是用于制造用于液晶显示器的滤色镜衬底10的基部材料，滤色镜以条状被安置在液晶显示器上。多个红色象素(喷射区域)18R、多个绿色象素(喷射区域)18G和多个蓝色象素(喷射区域)18B被设置在基部10A上。液滴喷射装置1操作，这样红色的液体材料111R被供给到各象素18R上，绿色的液体材料111G被供给到各象素18G上，蓝色的液体材料111B被供给到各象素18B上。
各象素18R、18G和18B具有基本矩形形状。基部10A用其中各象素18R、18G和18B的纵向轴方向平行于X轴方向以及各象素18R、18G和18B的短轴方向平行于Y轴方向的姿势而被支撑在台阶106上。多个象素18R、18G、18B被安置在基部10A上以用此顺序沿着Y轴的方向重复安置，这样相同颜色的象素沿着X轴的方向被安置。安置在Y轴方向上的一组象素18R、18G和18B对应将被制造的滤色镜衬底10的一个图像成分。
(液滴喷射头)
图3是显示了液滴喷射头2的喷嘴表面(喷嘴板128)和基部10A的象素的放大平面图。对于此，尽管各液滴喷射头2的喷嘴表面被设置以朝向基部10A，即在垂直方向上，用于方便视觉，图3用实线显示了液滴喷射头2的每个的喷嘴表面。多个喷嘴25(喷嘴孔)被形成在各液滴喷射头2的喷嘴表面上以在均匀的间距上沿着X轴线性对齐。各液滴喷射头2中的多个喷嘴25构成至少一个喷嘴阵列。在本实施例中，两个喷嘴阵列以平行的方式被形成在各液滴喷射头2上以相对彼此以半个节距偏移。但是，本发明不限于此。一个液滴喷射头2的喷嘴阵列的数目可以是1或者3或者更多。此外，被形成在一个液滴喷射头2上的喷嘴25的数目不特别限制，并且其通常可以在大约几十到几百的范围中。
图4(a)和4(b)分别是如图1所示的液滴喷射装置1的液滴喷射头2的透视横截面视图和横截面视图。如图4(a)、4(b)中所示，各液滴喷射装置2构成喷墨头。具体而言，液滴喷射头2设有隔膜板126和喷嘴板128。贮液器(reservoir)129被安置在隔膜板126和喷嘴板128之间。贮液器129被安置在隔膜板126和喷嘴板128之间。贮液器129填充通过墨吸入端口131从箱101供给的液体材料111。
多个分开壁122被安置在隔膜板126和喷嘴板128之间。腔120通过隔膜板126、喷嘴板128和一对分开壁122所限定。由于腔120根据一个喷嘴25所设置，腔120的数目与喷嘴25的数目相同。液体材料111通过设置在一对分开壁122之间的墨供给端口130而被供给到腔120。
作为驱动元件的振动器124根据各腔120被安置在隔膜板126上。振动器124改变填充在腔120之内的液体材料111的液体压力，并包括压电元件124C以及一对电极124A和124B，压电元件124C被夹持在所述一对电极124A和124B之间。通过在所述一对电极124A和124B之间施加驱动电压信号，压电元件124C变形以改变填充在腔120之内的液体材料的液体压力，由此以液滴的形式通过对应的喷嘴25喷射液体材料111。各喷嘴25的形状被调整，这样液体材料111通过各喷嘴25在Z轴方向上被喷射。
如图1所示的控制单元112可以被构造以将驱动电压信号施加到彼此独立的多个振动器124的每个上。换言之，将通过各喷嘴25喷射的液体材料111的体积可以参照各喷嘴25根据来自控制单元112的驱动电压信号来进行控制。
对于此，液滴喷射头2不限于使用如图4所示的压电执行器作为驱动元件。例如，液滴喷射头2可以使用静电执行器，或者可以具有其中液体材料111使用通过电热转换元件而使用液体材料111的热膨胀(薄膜煮沸)而被喷射的结构。
(控制单元)
接着，现在将说明控制单元112的结构。图5是如图1所示的液滴喷射装置1的方框图，其包括控制单元112。如图5所示，控制单元112设有输入缓冲存储器200、存储单元202、处理单元204、扫描驱动单元206、头驱动单元208、承载器位置检测装置302、以及台阶位置检测装置303。
处理单元204被电学地连接到各输入缓冲存储器200、存储单元202、扫描驱动单元206、头驱动单元208、承载器位置检测装置302、以及台阶位置检测装置303。此外，扫描驱动单元206被电学地连接到承载器移动单元104和台阶移动机构108。相似地，头驱动单元208被电学地连接到头单元103中的多个液滴喷射头2的每个。
输入缓冲存储器200在将被喷射用于液体材料111的液滴的位置上接收数据，即，来自外部信息处理装置的画图图案数据。输入缓冲存储器200将画图图案数据输出到处理单元204，处理单元204然后将画图图案数据存储在存储单元202中。对于此，如图5所示的存储单元202从RAM(随机获取存储器)、磁性记录介质、磁光记录介质等所构成。
承载器位置检测装置302检测承载器105的位置，即，X轴方向中的头单元103(在X轴方向上的承载器105的移动距离)，并将所检测的信号输出到处理单元204。承载器位置检测装置302和台阶位置检测装置303从诸如线性编码器、激光长度测量装置等所构成。
处理单元204通过承载器位置检测装置302和台阶位置检测装置303所检测的信号的基础上控制承载器移动机构104和台阶移动机构108的操作，由此控制头单元103的位置和基部10A的位置。此外，处理单元204通过控制台阶移动机构108的操作控制台阶106，即基部10A的速度。
此外，基于存储在所述存储单元202中的画图图案数据，处理单元204输出用于规定各喷嘴25在各喷射时序中的0N/OFF的选择信号SC至头驱动单元208。然后基于选择信号SC，头驱动单元208将需要将液体材料111喷射的喷射信号输出到各液滴喷射头2上。结果，液体材料111通过各液滴喷射头2中的对应的喷嘴25以液滴的形式喷射。
控制单元112可以是设有CPU(中央处理器)、ROM(只读存储器)、RAM等的计算机。在这种情况下，如上所述的控制单元112的操作可以使用计算机所执行的软件程序所实现。可选地，控制单元112可以用专门的电路(即，使用硬件)来实现。
接着，控制单元112中的头驱动单元208的结构和功能将被说明。图6(a)是头驱动单元208的示意图。图6(b)是显示驱动信号、选择信号和用于头驱动单元208的喷射信号的时序图。如图6(a)中所示，头驱动单元208包括一个驱动信号产生器203，多个模拟开关AS。如图6(b)所示，驱动信号产生器203产生驱动信号DS。驱动信号DS的电位相对参考电位临时被改变。具体而言，驱动信号DS包括多个喷射波形P，所述喷射波形重复喷射循环EP。对于此，喷射波形P对应将被在对应的振动器124中的一对电极124A、124B之间所施加的驱动电压波形以通过一个喷嘴25喷射一个液滴。
驱动信号DS被供给到各模拟开关AS的输入端子。各模拟开关AS根据各喷嘴25被提供。即，模拟开关AS的数目与喷嘴25的数目相同。
处理单元204将用于指示各喷嘴250N/OFF的选择信号SC输出到各模拟开关AS。对于此，选择信号SC可以相对各模拟开关AS变成高电平状态或者低电平状态。响应驱动信号DS和选择信号SC，各模拟开关AS将喷射信号ES施加到对应振动器124的电机124A。具体而言，在选择信号SC变成高电平状态的情况下，对应的模拟开关AS转变为ON，并将驱动信号DS作为喷射信号ES施加到对应的电极124A。另一方面，在选择信号SC变成低电平状态的情况下，对应的模拟开关AS被变为OFF，对应的模拟开关AS输出到对应的电极124A的喷射信号ES的电位变成参考电位L。当驱动信号DS被施加到振动器124的电机124A，液体材料111通过对应振动器124的喷嘴25所喷射。对于此，参考电位L被施加到各振动器124的电极124B。
在如图6(b)所示的示例中，两个选择信号SC的每个的高电平周期和低电平周期被设置，这样喷射波形P以两个喷射信号ES中的每个的喷射循环EP的两倍的循环2EP出现。这样，液体材料111以液滴的形式以循环2EP通过两个对应的喷嘴25的每个被喷射。相同的驱动信号DS被施加到各振动器124，所述振动器124从共享的驱动信号产生器203对应两个喷嘴25。出于此原因，液体材料111通过两个喷嘴25在基本相同的时序上被喷射。
这样的液滴喷射装置1操作，这样液体材料111的液滴通过头单元103中各液滴喷射头2的每个的喷嘴25所喷射，并供给(着陆)到基部10A上的各象素18R、18G和18B，同时通过台阶移动机构108的操作移动支撑在Y轴方向上的台阶106上的基部10A，并通过头单元103之下的基部10A。此后，此液滴喷射装置1的操作可以被称为“头单元103和基部10A之间的主扫描方向”。
在X轴方向上的基部10A的宽度小于液体材料111可以相对基部10A喷射的X轴方向上的整个头单元103的长度(即，此后所述的整个喷射宽度W)，就可以将液体材料111通过在头单元103和基部104之间执行主扫描运动一次而供给到整个基部10A上。另一方面，在X轴方向上的基部10A的宽度大于头单元103的整个喷射宽度W的情况下，就可以将液体材料111重复交替改变在头单元103和基部10A之间的主扫描运动和通过承载器移动机构104的操作X轴方向上头单元103的运动(称为“辅助扫描运动”)供给到整个基部10A上。
接着，使用如上所述的液滴喷射装置1制造滤色镜衬底10的方法将被详细说明。图7是显示了制造滤色镜衬底10的方法的示意横截面视图。如图7所示，基部10A包括具有较高透光性的支撑衬底12，以及多个象素18R、18G、18B，每个变成形成在支撑衬底12上的颜色元件(象素区域)以与黑矩阵14和岸16分离。黑矩阵14从具有光屏蔽效果的材料所形成。设置在黑矩阵14上的黑矩阵14和岸16被安置在支撑衬底12上，这样多个透光部分，即多个象素18R、18G和18B通过它们以矩阵的方式来限定。即，多个象素18R、18G和1(B通过支撑衬底12，黑矩阵14和岸16被形成作为隔板。象素18R是其中只有具有在红色波长区域之内的任何波长的光透过的滤色镜层111FR将被形成的区域。象素18G是其中只有具有在绿色波长区域之内的任何波长的光透过的滤色镜层111FG将被形成的区域。象素18B是其中只有具有在蓝色波长区域之内的任何波长的光透过的滤色镜层111FB将被形成的区域。
基部10A在制造滤色镜衬底10时根据下述步骤所制造。首先，金属薄薄膜通过溅射方法或者蒸发方法被形成在支撑衬底12上。黑矩阵14然后从金属薄薄膜通过照相平版印刷方法形成为网状图案。金属铬和铬氧化物可以被提及作为用于黑矩阵14的材料。对于此，支撑衬底12是相对可见光(光波长)具有透光性的衬底，诸如玻璃衬底。接着，从负类型(negative type)光敏聚合物复合物所构成的抗蚀层被施加以覆盖支撑衬底12和黑矩阵14。抗蚀层被曝光同时让形成为矩阵图案的掩模薄膜粘附到抗蚀层上。然后，岸16通过蚀刻工艺移除抗蚀层的非暴露部分而获得。这样，获得基部10A。
对于此，从树脂黑(resin black)所形成的岸可以被利用而替换岸16。在这种情况下，不需要金属薄薄膜(即，黑矩阵14)，岸层从一个层所构造。
接着，基部10A通过在空气压力之下的氧等离子处理而变成亲液。支撑衬底12的表面、黑矩阵14的表面以及凹陷部分(一部分象素)中的岸16的表面通过此过程趋于亲液，其每个通过支撑衬底12、黑矩阵14和岸16所限定。此外，然后对基部10A进行使用CF4作为处理气体的等离子过程。通过使用CF4的等离子过程，各凹陷部分中的岸16的表面是氟化的，并且岸16的表面趋于通过此过程非亲液。对于此，通过使用CF4的等离子过程，支撑衬底12的表面和具有亲液性的黑矩阵14的表面稍微丧失亲液性。但是，即使如此，这些表面可以保持亲液性。对于此，根据支撑衬底12的材料，黑矩阵14的材料，以及岸16的材料，各凹陷部分的表面可以具有所需的亲液和非亲液而没有上述的表面处理。在这样的情况下，不需要表面进行如上所述的表面处理。
象素18R、18G和18B将被如上所述形成在其上的基部10A被传输到液滴喷射装置1的台阶106上，并被支撑在台阶106上。液滴喷射装置1在Y轴方向上通过操作台阶移动机构108而移动基部10A，并以液滴的形式将液体材料从各液滴喷射头2供给到各象素18R、18G、18B，同时通过头单元103之下的基部10A。此时，如图7(a)-7(c)所示，红色液体材料111R(滤色镜材料)被喷射到各象素18R上，绿色液体材料111G(滤色镜材料)被喷射到各象素18G上，以及蓝色液体材料111B(滤色镜材料)被喷射到各象素18B上。
在分别供给液体材料111R、111G和111B到各象素18R、18G、18B上之后，基部10A被传输到干燥装置(附图中未示出)中，以干燥分别供给到各象素18R、18G、18B中的液体材料111R、111G和111B。这样滤色镜层111FR、111FG和111FB被分别形成在各象素18R、18G、18B上。对于此，通过使用液滴喷射装置1重复执行液体材料111R、111G和111B的供给以及通过干燥装置干燥所供给的液体材料111R、111G和111B以交替层压液体材料111R、111G和111B以及滤色镜层111FR、111FG和111FB，最终的滤色镜层111FR、111FG和111FB可以被形成在各象素18R、18G、18B上。
基部10A然后传输到烤箱(图中未示出)中，滤色镜层111FR、111FG和111FB被在此烤箱中后烤焙(即再次加热)。
接着，基部10A被传输到保护薄膜形成装置(图中未示出)，保护薄膜(涂布薄膜)20在此保护薄膜形成装置中被形成在滤色镜层111FR、111FG、111FB和岸16之上。在保护薄膜20被形成在滤色镜层111FR、111FG、111FB和岸16之上之后，保护薄膜20在干燥装置中被完全在干燥装置中干燥。此外，保护薄膜20在硬化装置(图中未示出)中被加热以完全硬化，通过其基部10A变成滤色镜衬底10。
图8是用于解释根据本发明的液滴喷射装置1的头单元103中的各液滴喷射头2的位置关系。如上所述，用于喷射红色液体材料111R的四个液滴喷射头2(包括第一-第四液滴喷射头21R-24R)，用于喷射绿色液体材料111G的四个液滴喷射头2(包括第一-第四液滴喷射头21G-24G)以及用于喷射蓝色液体材料111B的四个液滴喷射头2(包括第一-第四液滴喷射头21B-24B)被设置在头单元103上。对于此，如图8所示的各线指示各液滴喷射头2中的喷嘴阵列的位置。
控制各液滴喷射头2中的喷嘴阵列的两端的附近中的各喷嘴25的喷射量通常比较困难，这样的喷嘴的喷射量的误差很容易被产生。由于这个原因，本实施例中的液滴喷射装置1被构造，这样液滴喷射头2的每个中的喷嘴阵列的两端的附近中的预定数目(例如大约10)的喷嘴25(此后这样的喷嘴25可以称为“无效(disable)喷嘴25”)没有被使用(即，液体材料111没有通过各无效喷嘴25所喷射)。这样，就可以在各喷嘴25中使得液体材料111的喷射量均匀化，并且这使得将被制造的滤色镜衬底10中的各象素18R、18G和18B的颜色均匀化。因此，就可以更为可靠地防止颜色不均匀。对于此，设置在如图8所示的液滴喷射头2中的喷嘴阵列的两端上的未使用的部分26指示其中无效的喷嘴25被安置的区域。
此后，将对包括用于喷射红色液体材料111R的第一至第四液滴喷射头21R-24R的四个液滴喷射头2的位置关系的说明。
第一液滴喷射头21R、第二液滴喷射头22R以连续的方式被安置在平行于各喷嘴阵列的第一方向(即，X轴方向)上，第一和第二液滴喷射头21R、22R的两个喷嘴阵列被安置，这样其喷嘴25在从垂直于各喷嘴阵列(第一方向)的第二方向(即，Y轴方向)观察时通过第一和第二液滴喷射头21R、22R之间的接缝r1而连续。在这种情况下，第一第二液滴喷射头21R、22R的两个喷嘴阵列用作长喷嘴阵列。换言之，当从Y轴方向观察时接缝r1上的喷嘴节距被设置以变成与喷嘴阵列中的喷嘴节距相似的规则长度。从用这样的位置关系安置的第一和第二液滴喷射头21R、22R所构成的头阵列被称为头阵列31R。
对于此，考虑到第一和第二液滴喷射头21R、22R的各一个端部的未使用的部分26，第一和第二液滴喷射头21R、22R被安置，这样第一液滴喷射头21R中的喷嘴阵列的图8中的右端部分和第二液滴喷射头22R中的喷嘴阵列的图8中的左端部分在从Y轴方向上观察时在喷嘴阵列的接缝r1的附近中彼此重叠。
以相似的方式，第三液滴喷射头23R和第四液滴喷射头24R以连续的方式被安置在平行于各喷嘴阵列的第一方向(即X轴方向)，并且第三和第四液滴喷射头23R、24R的两个喷嘴阵列通过在从垂直于各喷嘴阵列(第一方向)的第二方向(即，Y轴方向)观察时第三和第四液滴喷射头23R、24R的两个相邻喷嘴阵列之间的接缝r2而连续。在这种情况下，第三和第四液滴喷射头23R、24R的两个喷嘴阵列用作较长的喷嘴阵列。换言之，当从Y轴方向观察时接缝r2上的喷嘴节距被设置变成与喷嘴阵列中的喷嘴节距相似的规则长度。从被安置如这样的位置关系的第三和第四液滴喷射头23R、24R所构成的头阵列被称为头阵列32R。
对于此，考虑到第三和第四液滴喷射头23R、24R的每个一端的未使用部分26，第三和第四液滴喷射头23R、24R被安置这样第三液滴喷射头23R中的喷嘴阵列的图8中的右端部分和第四液滴喷射头24R中的喷嘴阵列的图8中的左端部分在从Y轴方向上观察时在喷嘴阵列的接缝r2的附近中彼此重叠。
从如上所述的头阵列31R所形成的较长喷嘴阵列和从如上所述的头阵列32R所形成的较长喷嘴阵列通过重叠它们而被安置，这样接缝r1和r2相对彼此从Y轴方向观察时在X轴方向上偏移。液滴喷射装置1可以以液滴的形式将液体材料使用这样的重叠通过多个不同的液滴喷射头2(在本实施例中，两个液滴喷射头)的喷嘴25喷射到一个象素18R上。
例如，在液体材料111R使用如图8所指示为R1的区域以液滴的形式喷射到其上的象素18R的情况下，在所述区域上第一和第三液滴喷射头21R、23R彼此重叠，如图3所示，通过第一液滴喷射头21R的喷嘴25所喷射的液滴91和通过第三液滴喷射头23R的喷嘴25所喷射的液滴92被供给到其上。
对于此，在图3中，尽管头阵列31R中的喷嘴25的位置(此处，第一液滴喷射头21R)和头阵列32R(此处，第三液滴喷射头23R)的喷嘴25的位置相对彼此在从Y轴方向观察时在X轴方向上相对彼此偏移，头阵列31R和32R可以被安置，这样个头阵列31R、32R的每个中的喷嘴的位置彼此对应。
尽管在附图中未示出(特别在图3中)，在液体材料111R使用如图8所指示为R2的区域以液滴的形式喷射到其上的象素18R的情况下，在所述区域上第一和第四液滴喷射头21R、24R彼此重叠，通过第一液滴喷射头21R的喷嘴25所喷射的液滴和通过第四液滴喷射头24R的喷嘴25所喷射的液滴被供给到其上。此外，在液体材料111R使用如图8所指示为R3的区域以液滴的形式喷射到其上的象素18R的情况下，在所述区域上第二和第四液滴喷射头22R、24R彼此重叠，通过第二液滴喷射头22R的喷嘴25所喷射的液滴和通过第四液滴喷射头24R的喷嘴25所喷射的液滴被供给到其上。
这样，液滴喷射装置1操作，这样液体材料111R以液滴的形式通过多个不同的液滴喷射头2的喷嘴25喷射到一个象素18R上。因此，即使在多个液滴喷射头2的喷射量之中具有变化(误差)的情况下，可以防止有害的颜色不均匀性被产生在滤色镜衬底10的表面上，所述滤色镜衬底10使用液滴喷射装置1的头单元103从基部10A所产生。换言之，与本发明的液滴喷射装置1相比，在液体材料111R只通过一个液滴喷射头2的喷嘴25被供给到一个象素18R上的情况下，液滴喷射头2的喷射量的变化直接导致将被供给到各象素18R上的液体材料111R量的变化(误差)，由此颜色不均匀较强地出现在滤色镜衬底10中。另一方面，在本发明的液滴喷射装置1中，由于将被供给到一个象素18R上的液体材料111R量变成在扫描方向上重叠的多个液体喷射头2(在本实施例中，两个液滴喷射头2)中的喷嘴25的喷射量的平均值，这就可以使得将被供给到每个象素18R上的液体材料111R的量均匀化，由此就可以防止产生颜色不均匀。
此外，在液滴喷射装置1中，以液滴的方式将液体材料111R喷射到一个相同的象素18R上的多个液滴喷射头2被安置，这样多个液滴喷射头2的喷嘴阵列在X轴的方向上彼此平行并且多个液滴喷射头2的每个在从垂直于X轴方向的Y轴方向观察时部分重叠至少其它液滴喷射头2之一。换言之，在如图8所示的区域R1中，第一液滴喷射头21R和第三液滴喷射头23R相对彼此在X轴的方向上偏移。在如图8所示的区域R2中，第一液滴喷射头21R和第四液滴喷射头24R相对彼此在X轴的方向上偏移。在如图8所示的区域R3中，第二液滴喷射头22R和第四液滴喷射头24R相对彼此在X轴的方向上偏移。这样，本发明的头单元103具有下述优点。
由于其结构，液滴喷射头2通常趋于沿着喷嘴阵列相互地上下变化各喷嘴25的喷射量。例如，在喷嘴阵列的中心的附近中的一个喷嘴25中的喷射量相对较小的情况下，喷嘴阵列的两端越近，一个喷嘴25中的喷射量变得越多。在这样的情况下，与本发明的头单元103相比，在用于以液滴的形式将液体材料111R喷射到一个相同象素18R(即，一个喷射区域)上的多个液滴喷射头2在X轴的方向上被对齐的情况下，在多个液滴喷射头2中沿着喷嘴阵列的各喷嘴25的喷射量的变化直接导致在X轴方向上对齐的将被供给到各象素18R上的液体材料量111R的变化(误差)，由此在将被制造的滤色镜衬底10上显著出现颜色不均匀性。
另一方面，在本发明的液滴喷射装置1中，由于用于以液滴的形式将液体材料111R喷射到一个相同象素18R上的两个液滴喷射头2相对彼此在X轴方向上偏移时，通过其液体材料111R的液滴被喷射到一个液滴喷射头2的喷嘴阵列的多个喷嘴25中的一个象素18R上的一个喷嘴25的位置与通过其液体材料111R的液滴被喷射到其它液滴喷射头2的喷嘴阵列的多个喷嘴25中的一个象素18R上的一个喷嘴25的位置不同。这样在一个液滴喷射头2中的这样的一个喷嘴25的喷射量趋于与其它的液滴喷射头2中的这样的一个喷嘴25的喷射量不同。将被供给到一个象素18R上的液体材料111R的量变成两个液滴喷射头2中的对应的喷嘴25的喷射量的平均。
出于此原因，在本发明的液滴喷射装置1中，就可以通过平均喷射量来沿着喷嘴阵列补偿各喷嘴的喷射量25中的变化，并且这使得其可以使得供给到各象素18R上的液体材料量111R均匀化，由此就可以更为可靠地防止有害的颜色不均匀性产生在将被制造的滤色镜衬底10中。
此外，在液滴喷射装置1中，通过从第一和第二液滴喷射头21R、22R构成头阵列31R，第一和第二液滴喷射头21R、22R的喷嘴阵列用作较长的喷嘴阵列，而第三和第四液滴喷射头23R、24R的喷嘴阵列通过从第三和第四液滴喷射头23R、24R构成头阵列32R用作较长喷嘴阵列。这样，就可以放大其中液体材料111R可以通过整个头单元103中的喷嘴25喷射到基部10A上的整个喷射宽度W(即，X轴方向中的头单元103的长度)。因此，就可以相对需要将液体材料111R喷射到整个基部10A上的基部10A减小头单元103的主扫描运动的数目。特别地，在基部10A的宽度小于整个喷射宽度W的情况下，就可以将液体材料111R通过一次主扫描运动喷射到整个基部10A上。
此外，由于液滴喷射装置1被构造这样头阵列31R中的喷嘴阵列的接缝r1和头阵列32R中的喷嘴阵列的接缝r2相对彼此在从Y轴方向观察时偏移(shifted)，液滴喷射装置1具有下述优点。
颜色不均匀性比设置在其它位置上的象素18R更容易出现在液体材料111R通过两个相邻的喷嘴阵列的任何接缝的附近中的喷嘴25被供给到其上的象素18R上。由于这个原因，用很高的精度控制两个相邻的喷嘴阵列的接缝附近中的喷嘴25的喷射量较为困难，因为这样的喷嘴25被安置靠近各喷嘴阵列的两端，可以考虑在接缝上的喷嘴节距的误差等。在由于这样的喷嘴阵列的接缝，颜色不均匀被产生的情况下，所谓其中这样颜色不均匀的、沿着液滴喷射头2的扫描方向(即，沿着Y轴方向)如同一条线似的延伸的条纹可能会出现在将被制造的滤色镜衬底10中。
当头阵列31R的喷嘴阵列的接缝r1的位置对应头阵列32R中的喷嘴阵列的接缝r2的位置时，在如上所述的条纹在滤色镜衬底10中产生的情况下，这样的两个条纹在将被制造的滤色镜衬底10中重叠，由此这样的条纹变得显眼。另一方面，当从Y方向观察时，由于液滴喷射装置1被构造这样头阵列31R中的接缝r1和头阵列32R中的喷嘴阵列的接缝r2相对彼此偏移，两个条纹被分散在将被制造的滤色镜衬底10中的接缝r1、r2的位置上。因此，就可以使得这样的条纹变得不显眼。
接着，将对包括用于喷射绿色液体材料111G的第一-第四液滴喷射头21G-24G的四个液体喷射头2的位置关系给出说明。包括用于喷射绿色液体材料111G的第一-第四液滴喷射头21G-24G的四个液滴喷射头2的位置关系与包括用于喷射红色液体材料111R的第一至第四液滴喷射头21R-24R的四个液滴喷射头2的位置关系相似。出于此原因，此后将简化这样的位置关系的说明。
第一液滴喷射头21G和第二液滴喷射头22G以连续的方式被安置在平行于各喷嘴阵列的X轴方向上，以及第一和第二液滴喷射头21G、22G的两个喷嘴阵列被安置，这样当从垂直于各喷嘴阵列(即X轴方向)的Y轴方向观察时，其喷嘴25通过第一和第二液滴喷射头21G、22G的两个相邻喷嘴阵列之间的缝隙接缝g1而连续。在这种情况下，第一和第二液滴喷射头21G、22G的两个喷嘴阵列用作较长的喷嘴阵列。从安置有这样的位置关系的第一和第二液滴喷射头21G、22G所构成的头阵列被称为头阵列31G。
以相似的方式，第三液滴喷射头23G和第四液滴喷射头24G在平行于各喷嘴阵列的X轴方向上以连续的方式被安置，第三和第四液滴喷射头23G、24G的两个喷嘴阵列被安置，这样当从垂直于各喷嘴阵列(即X轴方向)的Y轴方向观察时，其喷嘴25通过第三和第四液滴喷射头23G、24G的两个相邻喷嘴阵列之间的缝隙接缝g2而连续。在这种情况下，第三和第四液滴喷射头23G、24G的两个喷嘴阵列用作较长喷嘴阵列。从用这样的位置关系安置的第三和第四液滴喷射头23G、24G所构造的头阵列被称为头阵列32G。
从如上所述的头阵列31G所形成的较长喷嘴阵列和从如上所述的头阵列32G所形成的较长喷嘴阵列相对彼此在从Y轴方向上观察时接缝g1和g2在X轴方向上相对彼此偏移。液滴喷射装置1可以以液滴的形式使用这样的重叠通过多个不同的液滴喷射头2(在本实施例中，两个液滴喷射头2)的喷嘴25而喷射液体材料111G到一个象素18G上。
换言之，在液体材料111G使用第一和第三液滴喷射头21G、23G重叠的图8中的G1所指示的区域以液滴的形式被喷射到其上的象素18G的情况下，通过第一液滴喷射头21G的喷嘴25所喷射的液滴以及通过第三液滴喷射头23G的喷嘴25所喷射液滴被供给到其上。
此外，在液体材料111G使用第一和第四液滴喷射头21G、24G重叠的图8中的G2所指示的区域以液滴的形式被喷射到其上的象素18G的情况下，通过第一液滴喷射头21G的喷嘴25所喷射的液滴以及通过第四液滴喷射头24G的喷嘴25所喷射液滴被供给到其上。此外，在液体材料111G使用第二和第四液滴喷射头22G、24G重叠的图8中的G3所指示的区域以液滴的形式被喷射到其上的象素18G的情况下，通过第二液滴喷射头22G的喷嘴25所喷射的液滴以及通过第四液滴喷射头24G的喷嘴25所喷射液滴被供给到其上。
这样，液滴喷射装置1操作，这样以液滴的形式通过多个不同的液滴喷射头2的喷嘴25喷射到一个象素18G上。因此，即使在多个液滴喷射头2的喷射量中具有变化(误差)的情况下，就可以防止有害的颜色不均匀性使用液滴喷射装置1的头单元103从基部10A将被制造的滤色镜衬底10的表面中产生。换言之，与本发明的液滴喷射装置1相比，在液体材料111G只通过一个液滴喷射头2的喷嘴25被供给到一个象素18G上的情况下，液滴喷射头2的喷射量的变化直接导致将被供给到各象素18G上的液体材料111G量的变化(误差)，由此颜色不均匀较强地出现在滤色镜衬底10中。另一方面，在本发明的液滴喷射装置1中，由于将被供给到一个象素18G上的液体材料111G量变成在扫描方向上重叠的多个液滴喷射头2(在本实施例中，两个液滴喷射头2)中的喷嘴25的喷射量的平均值，这就可以使得将被供给到每个象素18G上的液体材料111G的量均匀化，由此就可以防止产生颜色不均匀。
此外，在液滴喷射装置1中，多个以液滴的方式将液体材料111G喷射到一个相同的象素18G上的多个液滴喷射头2被安置，这样多个液滴喷射头2的喷嘴阵列在X轴的方向上彼此平行并且多个液滴喷射头2的每个在从垂直于X轴方向的Y轴方向观察时部分重叠至少其它液滴喷射头2之一。换言之，在如图8所示的区域G1中，第一液滴喷射头21G和第三液滴喷射头23G相对彼此在X轴的方向上偏移。在如图8所示的区域G2中，第一液滴喷射头21G和第四液滴喷射头24G相对彼此在X轴的方向上偏移。在如图8所示的区域G3中，第二液滴喷射头22G和第四液滴喷射头24G相对彼此在X轴的方向上偏移。这样，本发明的头单元103具有下述优点。
由于其结构，液滴喷射头2通常趋于沿着喷嘴阵列相互地上下变化各喷嘴的喷射量。例如，在喷嘴阵列的中心的附近中的一个喷嘴25中的喷射量相对较小的情况下，喷嘴阵列的两端越近，一个喷嘴25中的喷射量变得越多。在这样的情况下，与本发明的头单元103相比，在用于以液滴的形式将液体材料111G喷射到一个相同象素18G(即，一个喷射区域)上的多个液滴喷射头2在X轴的方向上被对齐的情况下，在多个液滴喷射头2中沿着喷嘴阵列的各喷嘴25的喷射量的变化直接导致在X轴方向上对齐的将被供给到各象素18G上的液体材料量111G的变化(误差)，由此在将被制造的滤色镜衬底10上显著出现颜色不均匀性。
另一方面，在本发明的液滴喷射装置1中，由于用于以液滴的形式将液体材料111G喷射到一个相同象素18G上的两个液滴喷射头2相对彼此在X轴方向上偏移时，通过其液体材料111G的液滴被喷射到一个液滴喷射头2的喷嘴阵列的多个喷嘴25中的一个象素18G上的一个喷嘴25的位置与通过其液体材料111G的液滴被喷射到其它液滴喷射头2的喷嘴阵列的多个喷嘴25中的一个象素18G上的一个喷嘴25的位置不同。这样在一个液滴喷射头2中的这样的一个喷嘴25的喷射量趋于与其它的液滴喷射头2中的这样的一个喷嘴25的喷射量不同。将被供给到一个象素18G上的液体材料111G的量变成两个液滴喷射头2中的对应的喷嘴25的喷射量的平均。
出于此原因，在本发明的液滴喷射装置1中，就可以通过平均喷射量来沿着喷嘴阵列补偿各喷嘴的喷射量25中的变化，并且这使得其可以使得供给到各象素18G上的液体材料量111G均匀化，由此就可以更为可靠地防止有害的颜色不均匀性产生在将被制造的滤色镜衬底10中。
此外，在液滴喷射装置1中，通过从第一和第二液滴喷射头21G、22G构成头阵列31G，第一和第二液滴喷射头21G、22G的喷嘴阵列用作较长的喷嘴阵列，而第三和第四液滴喷射头23G、24G的喷嘴阵列通过从第三和第四液滴喷射头23G、24G构成头阵列32G用作较长喷嘴阵列。这样，就可以放大其中液体材料111G可以通过整个头单元103中的喷嘴25喷射到基部10A上的整个喷射宽度W(即，X轴方向中的头单元103的长度)。因此，就可以相对需要将液体材料111G喷射到整个基部10A上的基部10A减小头单元103的主扫描运动的数目。特别地，在基部10A的宽度小于整个喷射宽度W的情况下，就可以将液体材料111G通过一次主扫描运动喷射到整个基部10A上。
此外，由于液滴喷射装置1被构造这样头阵列31G中的喷嘴阵列的接缝g1和头阵列32G中的喷嘴阵列的接缝g2相对彼此在从Y轴方向观察时偏移，液滴喷射装置1具有下述优点。
颜色不均匀性比设置在其它位置上的象素18G更容易出现在液体材料111G通过两个相邻的喷嘴阵列的任何接缝的附近中的喷嘴25被供给到其上的象素18G上。由于这个原因，用很高的精度控制两个相邻的喷嘴阵列的接缝附近中的喷嘴25的喷射量较为困难，因为这样的喷嘴25被安置靠近各喷嘴阵列的两端，可以考虑在接缝上的喷嘴节距的误差等。在由于这样的喷嘴阵列的接缝，颜色不均匀被产生的情况下，所谓其中这样颜色不均匀的、沿着液滴喷射头2的扫描方向(即，沿着Y轴方向)如同一条线似的延伸的条纹可能会出现在将被制造的滤色镜衬底10中。
当头阵列31G的喷嘴阵列的接缝g1的位置对应头阵列32G中的喷嘴阵列的接缝g2的位置时，在如上所述的条纹在滤色镜衬底10中产生的情况下，这样的两个条纹在将被制造的滤色镜衬底10中重叠，由此这样的条纹变得显眼。另一方面，当从Y方向观察时，由于液滴喷射装置1被构造这样头阵列31G中的接缝g1和头阵列32G中的喷嘴阵列的接缝g2相对彼此被偏移，两个条纹被分散在将被制造的滤色镜衬底10中的接缝g1、g2的位置上。因此，就可以使得这样的条纹变得不显眼。
接着，将对包括用于喷射蓝色液体材料111B的第一-第四液滴喷射头21B-24B的四个液体喷射头2的位置关系给出说明。包括用于喷射蓝色液体材料111B的第一-第四液滴喷射头21B-24B的四个液滴喷射头2的位置关系与包括用于喷射红色液体材料111R的第一至第四液滴喷射头21R-24R的四个液滴喷射头2的位置关系相似。出于此原因，此后将简化这样的位置关系的说明。
第一液滴喷射头21B和第二液滴喷射头22B以连续的方式被安置在平行于各喷嘴阵列的X轴方向上，以及第一和第二液滴喷射头21B、22B的两个喷嘴阵列被安置，这样当从垂直于各喷嘴阵列(即X轴方向)的Y轴方向观察时，其喷嘴25通过第一和第二液滴喷射头21B、22B的两个相邻喷嘴阵列之间的缝隙接缝b1而连续。在这种情况下，第一和第二液滴喷射头21B、22B的两个喷嘴阵列用作较长的喷嘴阵列。从安置有这样的位置关系的第一和第二液滴喷射头21B、22B所构成的头阵列被称为头阵列31B。
以相似的方式，第三液滴喷射头23B和第四液滴喷射头24B在平行于各喷嘴阵列的X轴方向上以连续的方式被安置，第三和第四液滴喷射头23B、24B的两个喷嘴阵列被安置，这样当从垂直于各喷嘴阵列(即X轴方向)的Y轴方向观察时，其喷嘴25通过第三和第四液滴喷射头23B、24B的两个相邻喷嘴阵列之间的接缝b2而连续。在这种情况下，第三和第四液滴喷射头23B、24B的两个喷嘴阵列用作较长喷嘴阵列。从用这样的位置关系安置的第三和第四液滴喷射头23B、24B所构造的头阵列被称为头阵列32B。
从如上所述的头阵列31B所形成的较长喷嘴阵列和从如上所述的头阵列32B所形成的较长喷嘴阵列在从Y轴方向上观察时在X轴方向上相对彼此偏移。液滴喷射装置1可以以液滴的形式使用这样的重叠通过多个不同的液滴喷射头2(在本实施例中，两个液滴喷射头2)的喷嘴25而喷射液体材料111B到一个象素18B上。
换言之，在液体材料111B使用第一和第三液滴喷射头21B、23B重叠的图8中的B1所指示的区域以液滴的形式被喷射到其上的象素18B的情况下，通过第一液滴喷射头21B的喷嘴25所喷射的液滴以及通过第三液滴喷射头23B的喷嘴25所喷射液滴被供给到其上。
此外，在液体材料111B使用第一和第四液滴喷射头21B、24B重叠的图8中的B2所指示的区域以液滴的形式被喷射到其上的象素18B的情况下，通过第一液滴喷射头21B的喷嘴25所喷射的液滴以及通过第四液滴喷射头24B的喷嘴25所喷射液滴被供给到其上。此外，在液体材料111B使用第二和第四液滴喷射头22B、24B重叠的图8中的B3所指示的区域以液滴的形式被喷射到其上的象素18B的情况下，通过第二液滴喷射头22B的喷嘴25所喷射的液滴以及通过第四液滴喷射头24B的喷嘴25所喷射液滴被供给到其上。
这样，液滴喷射装置1操作，这样液体材料111B以液滴的形式通过多个不同的液滴喷射头2的喷嘴25喷射到一个象素18B上。因此，即使在多个液滴喷射头2的喷射量中具有变化(误差)的情况下，就可以防止有害的颜色不均匀性使用液滴喷射装置1的头单元103从基部10A将被制造的滤色镜衬底10的表面中产生。换言之，与本发明的液滴喷射装置1相比，在液体材料111B只通过一个液滴喷射头2的喷嘴25被供给到一个象素18B上的情况下，液滴喷射头2的喷射量的变化直接导致将被供给到各象素18B上的液体材料111B量的变化(误差)，由此颜色不均匀较强地出现在滤色镜衬底10中。另一方面，在本发明的液滴喷射装置1中，由于将被供给到一个象素18B上的液体材料111B量变成在扫描方向上重叠的多个液体喷射头2(在本实施例中，两个液滴喷射头2)中的喷嘴25的喷射量的平均值，这就可以使得将被供给到每个象素18B上的液体材料111B的量均匀化，由此就可以防止产生颜色不均匀。
此外，在液滴喷射装置1中，多个以液滴的方式将液体材料111G喷射到一个相同的象素18G上的多个液滴喷射头2被安置，这样多个液滴喷射头2的喷嘴阵列在X轴的方向上彼此平行并且多个液滴喷射头2的每个在从垂直于X轴方向的Y轴方向观察时部分重叠至少其它液滴喷射头2之一。换言之，在如图8所示的区域B1中，第一液滴喷射头21B和第三液滴喷射头23B相对彼此在X轴的方向上偏移。在如图8所示的区域B2中，第一液滴喷射头21B和第四液滴喷射头24B相对彼此在X轴的方向上偏移。在如图8所示的区域B3中，第二液滴喷射头22B和第四液滴喷射头24B相对彼此在X轴的方向上偏移。这样，本发明的头单元103具有下述优点。
由于其结构，液滴喷射头2通常趋于沿着喷嘴阵列相互地上下变化各喷嘴25的喷射量。例如，在喷嘴阵列的中心的附近中的一个喷嘴25中的喷射量相对较小的情况下，喷嘴阵列的两端越近，一个喷嘴25中的喷射量变得越多。在这样的情况下，与本发明的头单元103相比，在用于以液滴的形式将液体材料111B喷射到一个相同象素18B(即，一个喷射区域)上的多个液滴喷射头2在X轴的方向上被对齐的情况下，在多个液滴喷射头2中沿着喷嘴阵列的各喷嘴25的喷射量的变化直接导致在X轴方向上对齐的将被供给到各象素18B上的液体材料量111B的变化(误差)，由此在将被制造的滤色镜衬底10上显著出现颜色不均匀性。
另一方面，在本发明的液滴喷射装置1中，由于用于以液滴的形式将液体材料111B喷射到一个相同象素18B上的两个液滴喷射头2相对彼此在X轴方向上偏移时，通过其液体材料111B的液滴被喷射到一个液滴喷射头2的喷嘴阵列的多个喷嘴25中的一个象素18B上的一个喷嘴25的位置与通过其液体材料111G的液滴被喷射到其它液滴喷射头2的喷嘴阵列的多个喷嘴25中的一个象素18G上的一个喷嘴25的位置不同。这样在一个液滴喷射头2中的这样的一个喷嘴25的喷射量趋于与其它的液滴喷射头2中的这样的一个喷嘴25的喷射量不同。将被供给到一个象素18B上的液体材料111B的量变成两个液滴喷射头2中的对应的喷嘴25的喷射量的平均。
出于此原因，在本发明的液滴喷射装置1中，就可以通过平均喷射量来沿着喷嘴阵列补偿各喷嘴的喷射量25中的变化，并且这使得其可以使得供给到各象素18B上的液体材料量111B均匀化，由此就可以更为可靠地防止有害的颜色不均匀性产生在将被制造的滤色镜衬底10中。
此外，在液滴喷射装置1中，通过从第一和第二液滴喷射头21B、22B构成头阵列31B，第一和第二液滴喷射头21B、22B的喷嘴阵列用作较长的喷嘴阵列，而第三和第四液滴喷射头23B、24B的喷嘴阵列通过从第三和第四液滴喷射头23B、24B构成头阵列32B用作较长喷嘴阵列。这样，就可以放大其中液体材料111B可以通过整个头单元103中的喷嘴25喷射到基部10A上的整个喷射宽度W(即，X轴方向中的头单元103的长度)。因此，就可以相对需要将液体材料111B喷射到整个基部10A上的基部10A减小头单元103的主扫描运动的数目。特别地，在基部10A的宽度小于整个喷射宽度W的情况下，就可以将液体材料111B通过一次主扫描运动喷射到整个基部10A上。
此外，由于液滴喷射装置1被构造这样头阵列31B中的喷嘴阵列的接缝b1和头阵列32B中的喷嘴阵列的接缝b2相对彼此在从Y轴方向观察时偏移，液滴喷射装置1具有下述优点。
颜色不均匀性比设置在其它位置上的象素18B更容易出现在液体材料111B通过两个相邻的喷嘴阵列的任何接缝的附近中的喷嘴25被供给到其上的象素18B上。由于这个原因，用很高的精度控制两个相邻的喷嘴阵列的接缝附近中的喷嘴25的喷射量较为困难，因为这样的喷嘴25被安置靠近各喷嘴阵列的两端，可以考虑在接缝上的喷嘴节距的误差等。在由于这样的喷嘴阵列的接缝，颜色不均匀被产生的情况下，所谓其中这样颜色不均匀的、沿着液滴喷射头2的扫描方向(即，沿着Y轴方向)如同一条线似的延伸的条纹可能会出现在将被制造的滤色镜衬底10中。
当头阵列31B的喷嘴阵列的接缝b1的位置对应头阵列32B中的喷嘴阵列的接缝b2的位置时，在如上所述的条纹在滤色镜衬底10中产生的情况下，这样的两个条纹在将被制造的滤色镜衬底10中重叠，由此这样的条纹变得显眼。另一方面，当从Y方向观察时，由于液滴喷射装置1被构造这样头阵列31B中的接缝b1和头阵列32B中的喷嘴阵列的接缝b2相对彼此被偏移，两个条纹被分散在将被制造的滤色镜衬底10中的接缝b1、b2的位置上。因此，就可以使得这样的条纹变得不显眼。
在这样的头单元103中，两个分别从用于喷射红色液体材料111R的头阵列31R、32R所形成的两个较长喷嘴阵列、两个分别从用于喷射绿色液体材料111G的头阵列31G、32G所形成的两个较长喷嘴阵列、以及两个分别从用于喷射蓝色液体材料111B的头阵列31B、32B所形成的两个较长喷嘴阵列被安置，以在从Y轴方向观察时相对彼此重叠。这使得可以通过用基部10A一次执行头单元103的扫描运动而在整个喷射宽度W中将红色、绿色和蓝色液体材料供给到象素18R、18G、18B上。
此外，在液滴喷射装置1中，用于喷射红色液体材料111R的头阵列31R、32R中的喷嘴阵列的接缝r1、r2、用于喷射绿色液体材料111G的头阵列31G、32G中的喷嘴阵列的接缝g1、g2、用于喷射蓝色液体材料111B的头阵列31B、32B中的喷嘴阵列的接缝b1、b2被安置以在从Y轴方向观察时偏移。
这样，在将被制造的滤色镜衬底10中，可能产生在任何红色象素18R上的条纹、可能产生在任何绿色象素18G上的条纹和可能产生在任何蓝色象素18B上的条纹可以相对彼此分散。因此，就可以更为可靠地防止这样的条纹变得显眼。特别地，在本实施例中，由于喷嘴阵列的接缝r2、g2、b2、r1、g1和b1的位置在从Y轴方向上观察时被安置在均匀的间隔上，这就可以在条纹变得有些显眼的情况下规则地分散条纹。因此，就可以让条纹变得不显眼。
图9是示意显示了本发明的液滴喷射装置1中的头单元103’的结构的另外的示例的平面图。四个液滴喷射头51、52、53和54被设置在如图9所示的头单元103’中。各液滴喷射头51、52、53和54包括在Y轴方向上侧靠侧的方式安置的多个喷嘴阵列(在本实施例中，12个喷嘴阵列)，这样多个液滴喷射头51、52、53和54的每个中的12个喷嘴阵列的两端在从Y轴方向观察时被对齐。这样，四个液滴喷射头51、52、53和54的48个喷嘴阵列被设置在头单元103’中。各液滴喷射头51、52、53和54与如上所述的头单元103相似的方式安置(参看图8)。对于此，为了简化，各液滴喷射头51、52、53和54在图9中被指示作为简单的矩形。
液滴喷射头51和液滴喷射头52在平行于各喷嘴阵列的X轴的方向上以连续的方式被安置，液滴喷射头51、52的24个喷嘴阵列被安置，这样其喷嘴25在从垂直于各喷嘴阵列的Y轴方向观察时在两个相邻的液滴喷射头51、52之间的缝隙j1而连续。在这种情况下，两个液滴喷射头51、52用作头组阵列61。
以相似的方式，液滴喷射头53和液滴喷射头54在平行于各喷嘴阵列的X轴方向上以连续的方式被安置，液滴喷射头53、54的24个喷嘴阵列被安置，这样喷嘴25在从垂直于各喷嘴阵列的Y轴方向观察时在两个相邻的液滴喷射头51、52之间的接缝j2而连续。在这种情况下，两个液滴喷射头53、54用作头组阵列62。如上所述的头组阵列61和头组阵列62通过重叠它们而被安置，这样接缝j1和j2相对彼此在从Y轴方向上观察彼此偏移。
在设有这样的头单元103’的液滴喷射装置中，从两个液滴喷射头(即，两个液滴喷射头51和53、51和54、或者53和54)所喷射的液体材料111被供给到各象素18R、18G或者18B上。这使得可以在基部10A的任何位置上进一步地均匀化将被供给到各象素18R、18G、18B上的液体材料111的量。因此，就可以更为可靠地防止颜色不均匀产生在将被制造的滤色镜衬底10的表面中。
此外，由于液滴喷射头51的喷射宽度W1和液滴喷射头52的喷射宽度W2作用互连，液滴喷射头53的喷射宽度W3和液滴喷射头54的喷射宽度W4作用互连，就可以在X轴方向上扩大头单元103’的长度(即，图9中的整个喷射宽度W)，其中液体材料111可以通过整个头单元103’中的喷嘴25被喷射到基部10A上。
此外，由于本实施例的液滴喷射装置被构造这样头组阵列61中的喷嘴阵列的接缝j1和头组阵列62中的喷嘴阵列的接缝j2在从Y轴方向观察时相对彼此偏移，由于接缝j1所可能产生的条纹以及由于接缝j2的缘故可能产生的条纹可以在将被制造的滤色镜衬底10中的单独的点上分散。因此，就可以更为可靠地防止条纹变得显眼。
如上所述的本发明不仅可以应用到制造滤色镜衬底10的情况而且可以应用到其它类型的图像显示装置，诸如制电致发光显示器的制造的情况下。
图10显示了制造有机电致发光显示器30的方法的示意横截面视图。此后，将对使用本发明制造有机电致发光显示器30的情况给予说明；但是，主要说明制造如上所述的滤色镜衬底10的情况和制造有机电致发光显示器30的情况之间的差异，相似的说明将被省略。
如图10所示的基部30A是用于制造有机电致发光显示器30的衬底。基部30A具有以矩阵的方式安置在其上的多个象素(即多个喷射区域)38R、38G和38B。
具体而言，基部30A包括支撑衬底32、形成在支撑衬底32上的电路元件层34、多个形成在电路元件层34上的象素电极36，以及形成在多个象素电极36的相邻两个之间的多个岸(bank)40。支撑衬底32相对可见光(光学波长)具有透光性，诸如玻璃衬底。多个象素电极36的每个相对可见光(光学波长)也具有透光性，诸如ITO(铟-锡氧化物)电极。此外，多个象素电极36以矩阵的方式被安置在电路元件层34上，并且各象素电极36限定一个象素。各岸40具有网格状结构，并且多个象素电极36中的每个用预定的岸40所围绕。此外，岸40从形成在电路元件层34上的无机岸40A、以及安置在无机岸40A上的有机岸40B所构成。
电路元件层34是设有如下元件的层：多个扫描电极，每个扫描电极朝向支撑衬底32上的预定方向延伸；绝缘薄膜42，所述绝缘薄膜42被形成以覆盖多个扫描电极；多个设置在绝缘薄膜42上的信号电极并且每个朝向垂直于预定方向的方向延伸，多个扫描电极的每个朝向所述预定方向延伸；多个开关元件44，每个设置在扫描电极和信号电极之间的相交点的附近中；以及多个被形成以覆盖多个开关元件44的多个间层绝缘薄膜45，诸如聚酰亚胺。各开关元件44的栅电极44G和源电极44S分别被电学地连接到对应的扫描电极和对应的信号电极。多个象素电极36被安置在间层绝缘薄膜45上。多个通孔44V被设置在对应开关元件44的漏极电极44D的部分上，开关元件44分别通过通孔44V被电学地连接到对应的象素电极36。此外，开关元件44被设置在分别对应岸44的位置上。换言之，当从图10中的上侧观察时，多个开关元件44的每个被安置以被覆盖对应的岸40。
每个通过象素电极36所限定的凹陷部分和对应的岸40分别对应象素38R、38G、38B。象素38R是其中具有红色波长区域之内的波长被发射通过其的发光层211FR将被形成的区域。象素38G是其中具有绿色波长区域之内的波长被发射通过其的发光层211FG将被形成的区域。象素38B是其中具有蓝色波长区域之内的波长被发射通过其的发光层211FB将被形成的区域。
使用公知的薄膜形成技术和图案成形技术可以制造这样的基部30A。
首先，基部30A通过常压之下的氧等离子处理而变成亲液。象素电极38R、38G、38B中每个通过象素电极36和岸40所限定的象素电极36的表面、无机岸40A的表面和有机岸40B的表面通过此过程趋于亲液。此外，然后对基部30A进行使用CF4作为处理气体的等离子过程。通过使用CF4的等离子过程，各凹陷部分中的有机岸40B的表面被氟化，有机岸40B的表面通过此过程趋于非亲液。对于此，通过使用CF4的等离子过程，原先具有亲液性的象素电极36的表面和无机岸40A的表面稍微丧失一点亲液性。但是，即使如此，这些表面可以保持亲液性。
对于此，根据象素电极36的材料，无机岸40A的材料、有机岸40B的材料，每个凹陷部分的表面具有所需的亲液和非亲液而没有上述的表面处理。在这样的情况下，不需要表面进行如上所述的表面处理。
此外，对应的孔传输层37R、37G和37B可以形成在这样进行表面处理的多个象素电极的每个上。在孔传输层37R、37G和37B被分别安置在象素电极36和发光层211FR、211FG和211FB之间的情况下，就可以改良电致发光显示器的发光效率。
如图10(a)-10(c)所示，液体材料211R、211G和211B分别供给到象素38R、38G、38B被如上所述形成的基部30A上，其与使用本发明的液滴喷射装置1的滤色镜衬底10的情况相似。在这种情况下，液体材料211R包括红色有机发光材料，液体材料211G包括绿色有机发光材料，以及液体材料211B包括蓝色发光材料。
基部30A然后传输到干燥装置中。发光层211FR、211FG和211FB通过干燥供给到各象素电极38R、38G和38B上的液体材料211R、211G和211B而在各象素38R、38G和38B上获得。
接着，对电极46被形成以覆盖发光层211FR、211FG和211FB以及岸40。各对电极46用作负电极。
接着，通过将密封衬底48用它们的周边部分结合到基部30A，获得如图10(d)所示的有机电致发光显示器30。对于此，惰性气体在密封衬底48和基部30A之间包围。
在有机电致发光(organic electro-luminescence)显示器30中，从发光层211FR、211FG和211FB所发射的光通过象素电极36、电路元件层34和支撑衬底32被发射到外部。其中光以这种方式通过电路元件层34发射的有机电致发光显示器被称为底部发射类型显示器。
尽管本发明所应用到制造液晶显示器(滤色镜衬底)和有机电致发光显示器的方法的情况基于附图中的优选实施例进行了说明，必须注意本发明不限于上述的实施例的情况。例如，可以将本发明应用到制造等离子显示器的背部衬底的方法中，或者设有电子发射元件(也称为SED(表面可导电子发生器显示器)或者FED(场发射显示器))的图像显示器上。
<电子装置的实施例>
使用如上所述的方法制造设有滤色镜衬底10的液晶显示器的图像显示装置1000，以及使用如上所述的方法制造的有机电致发光显示器(即，本发明的电子装置)可以被用作不同类型的各电子装置的显示器部分。
图11显示了本发明的电子装置所应用的移动(或者膝上型)个人计算机1100的结构。参照图11，个人计算机1100设有具有键盘1102的主体1104、显示单元1106。显示单元1106被可旋转地通过铰链部分支撑在主体1104上。在此个人计算机1100中，显示单元1106设有如上所述的图像显示装置1000。
图12是显示了本发明的电子装置所应用的便携电话(包括个人手持电话系统)的结构的透视图。参照图12，便携电话1200设有多个按钮1202、耳机1204、话筒1206和显示部分。显示部分从如上所述的图像显示装置1000所构造。
图13是显示了本发明的电子装置所应用的数码相机1300的结构的透视图。在此附图中，数码相机连接到外部设备被示意地显示。通常的相机基于物体的光学图像曝光银盐照相胶卷，同时数码相机1300通过将物体的光学图像用诸如电荷耦合装置(CCD)的成像装置而光电转换为图像信号来产生成像信号(图像信号)。
如上所述的图像显示装置1000作为显示部分被设置在数码相机1300中的壳体(主体)1302的后表面上。图像显示装置1000响应从CCD所输出的成像信号而显示图像，并用作显示物体作为电子图像的探测器。电路板1308被放置在壳体1302内。能够存储这样的成像信号的存储器被放置在电路板1308上。
此外，包括光学透镜(成像光学系统)、CCD等的光接收单元1304被设置在壳体1302的前表面侧中。当摄影师确定显示在显示部分(即图像显示装置1000)上的物体的图像时，并按下快门按钮1306，此时的CCD的成像信号被传输到电路板1308的存储器中并存储在此存储器中。
此外，视频信号输出端子1312和用于数据通信的输入/输出端子1314被设置在数码相机1300中的壳体1302的侧表面上。如图13中所示，如果需要，电视监视器1430和个人计算机1440被分别连接到视频信号输出端子1312和用于数据通信的输入/输出端子1314。此外，存储在电路板1308的存储器中的成像信号通过预定的操作被输出到电视监视器1430或者个人计算机1440。
对于此，本方面的电子装置可以适当地使用在(或者应用到)诸如电视、摄像机、视场探测器类型或者监测器直接视场类型磁带录像机、膝上型个人计算机、汽车导航装置、寻呼机、电子笔记本(包括这些具有通信功能的装置)，电子辞典、袖珍计算器、电子游戏装置、文档处理器、工作站、电视电话、用于防止犯罪的电视监测器、电子双眼望远镜、POS(point-of-sale)终端、具有触板的装置(诸如金融机构中的现金分发器、自动售票机)、医疗装置(例如电子体温表、血压测量仪、血糖测量仪、心电图显示装置、超声诊断装置、内诊镜显示器)、鱼探测器、不同的测量装置、量具(诸如车辆、飞机、轮船等用的量规)、飞行模拟器、任何其它类型的监测器、投影式显示器，诸如投影仪等，除了如图11所示的个人计算机1100(移动个人计算机)、如图12所示的变形电话1200以及如图13所示的数码相机1300。
根据本发明的用于使用在液滴喷射装置中的头单元、液滴喷射装置、用于从基部制造面板的方法、图像显示装置和电子装置基于附图中所示的实施例在如上进行了说明，但是必须注意本发明不限于此。根据本发明的头单元的各部分、液滴喷射装置和电子装置可以用任何能够用相同的方式工作的布置替换。此外，任何其它任意部件可以添加到根据本发明的头单元、液滴喷射装置和电子装置。

Claims (8)

1.一种用于液滴喷射装置中的头单元，所述头单元设有多个液滴喷射头，用于将预定颜色的液体材料以液滴的形式喷射到基部上，
其中所述多个液滴喷射头包括用于喷射同一预定颜色的液体材料的至少第一液滴喷射头、第二液滴喷射头、第三液滴喷射头和第四液滴喷射头，第一至第四液滴喷射头中的每一个包括第一和第二喷嘴阵列，所述第一和第二喷嘴阵列中的每个具有以预定节距线性对齐的多个喷嘴，所述液体材料适于以液滴的形式通过第一至第四液滴喷射头中的每个的多个喷嘴喷射，
其中所述第一液滴喷射头和第二液滴喷射头构成第一组，第三液滴喷射头和第四液滴喷射头构成第二组，其中在第一组中，所述第一液滴喷射头和第二液滴喷射头沿着平行于第一和第二喷嘴阵列的每一个的第一方向安置，这样第一液滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的每一个的喷嘴和第二液滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的每一个的喷嘴构成当沿着垂直于第一方向的第二方向观察时的第一连续长喷嘴阵列，且在第二组中，所述第三液滴喷射头和第四液滴喷射头沿着第一方向安置，这样第三液滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的每一个的喷嘴和第四液滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的每一个的喷嘴构成当从第二方向观察时的第二连续长喷嘴阵列，
其中用于喷射预定颜色的液体材料的所有多个液滴喷射头将液体材料以液滴的形式喷射到所述基部的预定区域上，
其中在第一至第四液滴喷射头的每一个中，所述第一和第二喷嘴阵列以并排的关系沿着第二方向安置，当从第二方向观察时、第一喷嘴阵列的喷嘴相对于第二喷嘴阵列的喷嘴沿着第一方向错开半个节距；以及
其中所述第一组和所述第二组安置成彼此部分重叠，但是当从第二方向观察时、第一组的第一和第二液滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的喷嘴安置成不与第二组的第三和第四液滴喷射头的第一和第二喷嘴阵列的喷嘴重叠，
其中当从第一方向观察时、所述第二液滴喷射头安置在第三液滴喷射头和第四液滴喷射头之间，且当从第一方向观察时，第三液滴喷射头被安置在第一液滴喷射头和第二液滴喷射头之间。
2.根据权利要求1所述的头单元，其特征在于，所述预定颜色是红色、绿色或蓝色。
3.一种液滴喷射装置，用于将至少三种液体材料以液滴的方式供给到基部上，所述至少三种液体材料的每一个具有预定的颜色，所述装置包括：
头单元，所述头单元包括至少三组，所述至少三组中的每一组具有如权利要求1所限定的第一至第四液滴喷射头；
具有两个主表面的台阶，台阶的两个主表面中的一个朝向头单元的多个液滴喷射头，且基部被支撑在台阶的一个主表面上；
移动机构，所述移动机构用于相对头单元相互移动所述台阶；以及
控制单元，所述控制单元用于控制头单元以及移动机构的操作，这样头单元的多个液滴喷射头的每个将液体材料的液滴喷射到基部上，同时相对头单元相互移动所述台阶。
4.根据权利要求3所述的液滴喷射装置，其特征在于，所述基部是用于制造用于液晶显示器的滤色镜衬底的基部材料，并且所述至少三种液体材料是用于形成滤色镜衬底的滤色镜层的墨。
5.根据权利要求3所述的液滴喷射装置，其特征在于，所述基部是用于制造电致发光显示器的基部材料，且所述至少三种液体材料包括用于制造电致发光显示器的发光材料。
6.一种使用如权利要求3所限定的液滴喷射装置从基部制造面板的方法，所述方法包括步骤：
制备所述基部；以及
将具有预定颜色的至少三种液体材料的每一种以液滴的形式通过头单元喷射液滴而供给到基部上，同时相对头单元相互移动所述基部。
7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述基部是用于制造用于液晶显示器的滤色镜衬底的基部材料，并且所述至少三种液体材料是用于形成滤色镜衬底的滤色镜层的墨。
8.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述基部是用于制造电致发光显示器的基部材料，以及所述至少三种液体材料包括用于制造电致发光显示器的发光材料。
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