JP2006102581A - 液滴吐出装置、パネルの製造方法、画像表示装置および電子機器 - Google Patents

液滴吐出装置、パネルの製造方法、画像表示装置および電子機器 Download PDF

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Abstract

【課題】有害な色ムラのないパネルを製造することができる液滴吐出装置およびパネルの製造方法、並びに、有害な色ムラのないパネルを備えた画像表示装置および電子機器を提供すること。
【解決手段】本発明の液滴吐出装置は、画素形成用の液状材料を液滴として吐出するノズル列を有する液滴吐出ヘッドが複数個設置されたヘッドユニット１０３を有している。ヘッドユニット１０３には、各液滴吐出ヘッドが、同色の液状材料の液滴を吐出する他の少なくとも一つの液滴吐出ヘッドに対し、ノズル列に直交する方向から見てそれらの液滴吐出ヘッドのノズル列が互いに重なる部分を有するとともにノズル列に平行な方向についての位置が互いにずれている位置関係で設置されており、一つの画素につき、ノズル列に平行な方向についての位置をずらして配置された複数の液滴吐出ヘッドのノズルからそれぞれ吐出した液状材料の液滴を付与する。
【選択図】図８

Description

本発明は、液滴吐出装置、パネルの製造方法、画像表示装置および電子機器に関する。
例えば液晶表示装置のカラーフィルタのような、画像表示装置のパネルを製造する方法として、液滴吐出装置（インクジェット描画装置）を用いて、パネル製造用の基板上に形成された多数の画素に対し、インク等の液状材料を液滴として付与することにより、各画素を形成する方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
パネルを製造する液滴吐出装置は、液滴吐出ヘッドが複数個設置されたヘッドユニットと、基板を保持するステージとを相対的に走査しながら、液滴吐出ヘッドのノズルから画素形成用の液状材料を液滴として吐出して、基板上の多数の画素へ付与する。
１個の液滴吐出ヘッドには、多数のノズル（ノズル孔）が並んで形成されており、ノズル列を構成しているが、そのノズル列の長さは基板の大きさと比べると短いので、１回の走査によって液滴を吐出する領域の幅（描画する幅）を長くするために、ヘッドユニットには複数の液滴吐出ヘッドがそれらのノズル列が走査方向から見てつながるようにして設置されている。
しかしながら、複数の液滴吐出ヘッド間で吐出量に多少のバラツキが生じるのが避けられないため、例えば、ある液滴吐出ヘッドによって液状材料を付与された画素では色が濃くなり、他の液滴吐出ヘッドによって液状材料を付与された画素では色が薄くなるなどして、パネル内に色ムラを生じるという問題がある。
特開昭５９−７５２０５号公報
本発明の目的は、有害な色ムラのないパネルを製造することができる液滴吐出装置およびパネルの製造方法、並びに、有害な色ムラのないパネルを備えた画像表示装置および電子機器を提供することにある。
このような目的は、下記の本発明により達成される。
本発明の液滴吐出装置は、液状材料を液滴として吐出する複数のノズルが直線的に並んだノズル列を有する液滴吐出ヘッドが複数個設置されたヘッドユニットと、
基体を保持するステージと、
前記ステージと前記ヘッドユニットとを相対的に移動させる移動手段と、
前記液滴吐出ヘッドおよび前記移動手段の作動を制御する制御手段とを有し、
前記移動手段の作動により前記基体と前記ヘッドユニットとを前記ノズル列と直交する方向に相対的に移動させ、前記ノズルから液滴として吐出した前記液状材料を前記基体上へ付与する液滴吐出装置であって、
前記ヘッドユニットには、前記各液滴吐出ヘッドが、他の少なくとも一つの液滴吐出ヘッドに対し、ノズル列に直交する方向から見てそれらの液滴吐出ヘッドのノズル列が互いに重なる部分を有するとともにノズル列に平行な方向についての位置が互いにずれているような位置関係となるように設置されており、
所定の吐出領域に対し、ノズル列に平行な方向に位置をずらして配置された複数の液滴吐出ヘッドのノズルからそれぞれ吐出した液状材料の液滴を付与するように作動することを特徴とする。
このような液滴吐出装置によれば、ノズル列の重なりを利用して、一つの吐出領域について複数の異なる液滴吐出ヘッドのノズルから液状材料の液滴を吐出することができる。よって、個々の液滴吐出ヘッドによって吐出量にバラツキ（誤差）があった場合であっても、製造されるパネルの面内で有害な色ムラが生じるのを防止することができる。すなわち、本発明と異なり、一つの吐出領域が一つの液滴吐出ヘッドのみのノズルから液状材料を付与される場合には、個々の液滴吐出ヘッドの吐出量のバラツキがそのまま各吐出領域に付与される液状材料の量のバラツキ（誤差）につながり、色ムラが強く現れるが、本発明では、一つの吐出領域に付与される液状材料の量は、複数の液滴吐出ヘッドの吐出量を平均化したものとなるので、個々の吐出領域間での液状材料の量を均一化することができ、色ムラを抑えることができる。
また、一つの吐出領域について液状材料の液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッドを、ノズル列に平行な方向についての位置を互いにずらして配置したことにより、以下に説明するような利点がある。
液滴吐出ヘッドは、その構造上、一般に、ノズル列に沿って各ノズルでの吐出量が相対的に多かったり少なかったりする傾向を生じる場合がある。例えば、ノズル列の中央付近では一つのノズル当たりの吐出量が比較的少なく、ノズル列の両端に近いほど一つのノズル当たりの吐出量が多くなる傾向を生じるような場合である。
このような場合に、本発明と異なり、一つの吐出領域について液状材料の液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッドの位置が揃っていると、ノズル列に沿った各ノズルでの吐出量の違いが、各吐出領域に対する液状材料の付与量の違いにそのまま結びついてしまい、製造されるパネルにおける色ムラの原因となる。
これに対し、本発明では、上記構成としたことにより、ある吐出領域に液滴を吐出した複数のノズルのうち一の液滴吐出ヘッドに属するノズルと、他の液滴吐出ヘッドに属するノズルとでは、ノズル列内での位置が異なるので、吐出量も互いに異なる傾向を示す。そして、その吐出領域に対する液状材料の付与量は、吐出量の傾向が異なる複数組のノズルを平均化したものとなる。よって、本発明では、ノズル列に沿った各ノズルでの吐出量の違いを平均化して相殺させることができ、各吐出領域についての液状材料の付与量を均一化することができ、製造されるパネルにおいて有害な色ムラが発生するのをより確実に防止することができる。
本発明のパネルの製造方法は、液滴吐出ヘッドが複数個設置されたヘッドユニットと、基体とを、前記液滴吐出ヘッドに形成されたノズル列と直交する方向に相対的に移動させ、前記ノズルから液滴として吐出した液状材料を前記基体上へ付与する工程を有するパネルの製造方法であって、
前記ヘッドユニットには、前記各液滴吐出ヘッドが、他の少なくとも一つの液滴吐出ヘッドに対し、ノズル列に直交する方向から見てそれらの液滴吐出ヘッドのノズル列が互いに重なる部分を有するとともにノズル列に平行な方向についての位置が互いにずれているような位置関係となるように設置されており、
前記基体と前記ヘッドユニットとを、前記ノズル列に対してほぼ直交する方向に相対的に走査することにより、前記基体上に前記液状材料を付与するに際し、所定の吐出領域に対し、ノズル列に平行な方向に位置をずらして配置された複数の液滴吐出ヘッドのノズルからそれぞれ吐出した液状材料の液滴を付与することを特徴とする。
このようなパネルの製造方法によれば、ノズル列の重なりを利用して、一つの吐出領域について複数の異なる液滴吐出ヘッドのノズルから液状材料の液滴を吐出することができる。よって、個々の液滴吐出ヘッドによって吐出量にバラツキ（誤差）があった場合であっても、製造されるパネルの面内で有害な色ムラが生じるのを防止することができる。すなわち、本発明と異なり、一つの吐出領域が一つの液滴吐出ヘッドのみのノズルから液状材料を付与される場合には、個々の液滴吐出ヘッドの吐出量のバラツキがそのまま各吐出領域に付与される液状材料の量のバラツキ（誤差）につながり、色ムラが強く現れるが、本発明では、一つの吐出領域に付与される液状材料の量は、複数の液滴吐出ヘッドの吐出量を平均化したものとなるので、個々の吐出領域間での液状材料の量を均一化することができ、色ムラを抑えることができる。
また、一つの吐出領域について液状材料の液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッドを、ノズル列に平行な方向についての位置を互いにずらして配置したことにより、以下に説明するような利点がある。
液滴吐出ヘッドは、その構造上、一般に、ノズル列に沿って各ノズルでの吐出量が相対的に多かったり少なかったりする傾向を生じる場合がある。例えば、ノズル列の中央付近では一つのノズル当たりの吐出量が比較的少なく、ノズル列の両端に近いほど一つのノズル当たりの吐出量が多くなる傾向を生じるような場合である。
このような場合に、本発明と異なり、一つの吐出領域について液状材料の液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッドの位置が揃っていると、ノズル列に沿った各ノズルでの吐出量の違いが、各吐出領域に対する液状材料の付与量の違いにそのまま結びついてしまい、製造されるパネルにおける色ムラの原因となる。
これに対し、本発明では、上記構成としたことにより、ある吐出領域に液滴を吐出した複数のノズルのうち一の液滴吐出ヘッドに属するノズルと、他の液滴吐出ヘッドに属するノズルとでは、ノズル列内での位置が異なるので、吐出量も互いに異なる傾向を示す。そして、その吐出領域に対する液状材料の付与量は、吐出量の傾向が異なる複数組のノズルを平均化したものとなる。よって、本発明では、ノズル列に沿った各ノズルでの吐出量の違いを平均化して相殺させることができ、各吐出領域についての液状材料の付与量を均一化することができ、製造されるパネルにおいて有害な色ムラが発生するのをより確実に防止することができる。
本発明のパネルの製造方法では、前記パネルは、液晶表示装置のカラーフィルタ基板であり、前記液状材料は、フィルタ層を形成するためのインクであることが好ましい。
これにより、有害な色ムラのない液晶表示装置のカラーフィルタ基板を高い生産効率で製造することができる。
本発明のパネルの製造方法では、前記パネルは、エレクトロルミネッセンス表示装置であり、前記液状材料は、発光材料を含むものであることが好ましい。
これにより、有害な色ムラのないエレクトロルミネッセンス表示装置を高い生産効率で製造することができる。
本発明の画像表示装置は、本発明のパネルの製造方法により製造されたパネルを備えることを特徴とする。
これにより、有害な色ムラのない画像表示装置を高い生産効率で製造することができる。
本発明の電子機器は、本発明の画像表示装置を備えることを特徴とする。
これにより、有害な色ムラのない画像表示装置を備えた電子機器を安価に提供することができる。
以下、本発明の液滴吐出装置、パネルの製造方法、画像表示装置および電子機器を添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
本実施形態では、パネルの一例として、液晶表示装置の構成要素であるカラーフィルタ基板１０を製造する場合について代表して説明する。
（液滴吐出装置の全体構成）
図１に示すように、液滴吐出装置１は、複数の液滴吐出ヘッド２をキャリッジ１０５に搭載してなるヘッドユニット１０３と、ヘッドユニット１０３を水平な一方向（以下、「Ｘ軸方向」と言う）に移動させるキャリッジ移動機構（移動手段）１０４と、後述する基体１０Ａを保持するステージ１０６と、ステージ１０６をＸ軸方向に垂直であって水平な方向（以下、「Ｙ軸方向」と言う）に移動させるステージ移動機構（移動手段）１０８と、制御手段１１２とを備えている。
また、液滴吐出装置１の近傍には、赤（Ｒ）、緑（Ｇ）、青（Ｂ）の３色の液状材料１１１をそれぞれ貯留する３個のタンク１０１が設置されている。各タンク１０１と、ヘッドユニット１０３とは、液状材料１１１を送液する流路となるチューブ１１０を介して接続されている。各タンク１０１に貯留された液状材料１１１は、例えば圧縮空気の力によって、ヘッドユニット１０３の各液滴吐出ヘッド２に送液（供給）される。
本発明において「液状材料」とは、パネルの画素を形成するための材料を含み、液滴吐出ヘッド２のノズル２５から吐出可能な粘度を有する材料をいう。この場合、材料が水性であると油性であるとを問わない。また、ノズル２５から吐出可能な流動性（粘度）を備えていれば十分で、固体物質が分散していても全体として流動体であればよい。
本実施形態における液状材料１１１は、カラーフィルタ基板１０の画素のフィルタ層を形成するための顔料が有機溶剤中に溶解または分散してなる有機溶剤インクである。
なお、以下の説明では、赤、緑、青の液状材料１１１を区別して言うときには、１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂの符号を付し、色を区別しないで総称して言うときには、単に「液状材料１１１」と言う。
キャリッジ移動機構１０４の作動は、制御手段１１２により制御される。本実施形態のキャリッジ移動機構１０４は、ヘッドユニット１０３をＺ軸方向（鉛直方向）に沿って移動させ、高さを調整する機能も有している。さらに、キャリッジ移動機構１０４は、Ｚ軸に平行な軸の回りでヘッドユニット１０３を回転させる機能も有しており、これにより、ヘッドユニット１０３のＺ軸回りの角度を微調整することができる。
ステージ１０６は、Ｘ軸方向とＹ軸方向との双方に平行な平面を有する。また、ステージ１０６は、カラーフィルタ基板１０を製造するための基体１０Ａをその平面上に固定、または保持できるように構成されている。
ステージ移動機構１０８は、Ｘ軸方向およびＺ軸方向の双方に直交するＹ軸方向に沿ってステージ１０６を移動させ、その作動は、制御手段１１２により制御される。さらに、本実施形態のステージ移動機構１０８は、Ｚ軸に平行な軸の回りでステージ１０６を回転させる機能も有しており、これにより、ステージ１０６に載置された基体１０ＡのＺ軸回りの傾斜を微調整して真っ直ぐになるように補正することができる。
上述のように、ヘッドユニット１０３は、キャリッジ移動機構１０４によってＸ軸方向に移動させられる。一方、ステージ１０６は、ステージ移動機構１０８によってＹ軸方向に移動させられる。つまり、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８によって、ステージ１０６に対するヘッドユニット１０３の相対位置が変わる。
なお、制御手段１１２の詳細な構成および機能は、後述する。
（ヘッドユニット）
図２は、図１に示す液滴吐出装置１におけるヘッドユニット１０３、および基体１０Ａを示す平面図である。
図２に示すヘッドユニット１０３は、複数の液滴吐出ヘッド２がキャリッジ１０５に搭載された構成となっている。図２中では、キャリッジ１０５を仮想線（二点鎖線）で表している。また、液滴吐出ヘッド２を示す実線は、液滴吐出ヘッド２のノズル面（ノズルプレート１２８）の位置を示している。
ヘッドユニット１０３には、赤色の液状材料１１１Ｒを吐出する第１ヘッド２１Ｒ、第２ヘッド２２Ｒ、第３ヘッド２３Ｒ、第４ヘッド２４Ｒの４個の液滴吐出ヘッド２と、緑色の液状材料１１１Ｇを吐出する第１ヘッド２１Ｇ、第２ヘッド２２Ｇ、第３ヘッド２３Ｇ、第４ヘッド２４Ｇの４個の液滴吐出ヘッド２と、青色の液状材料１１１Ｂを吐出する第１ヘッド２１Ｂ、第２ヘッド２２Ｂ、第３ヘッド２３Ｂ、第４ヘッド２４Ｂの４個の液滴吐出ヘッド２との、計１２個の液滴吐出ヘッド２が設置されている。
以下の説明では、これらの液滴吐出ヘッド２を総称する場合には、「液滴吐出ヘッド２」と言い、個々を区別して説明する必要がある場合には、「第１ヘッド２１Ｒ、第２ヘッド２２Ｒ、・・・」のように言う。
図２に示す基体１０Ａは、ストライプ配列のカラーフィルタ基板１０を製造するためのものである。この基体１０Ａには、赤の画素（吐出領域）１８Ｒと、緑の画素（吐出領域）１８Ｇと、青の画素（吐出領域）１８Ｂとがそれぞれ多数設けられている。液滴吐出装置１は、画素１８Ｒには赤色の液状材料１１１Ｒを付与し、画素１８Ｇには緑色の液状材料１１１Ｇを付与し、画素１８Ｂには青色の液状材料１１１Ｂを付与するように作動する。
各画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂは、ほぼ長方形をなしている。基体１０Ａは、画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂの長軸方向がＸ軸方向に平行になり、短軸方向がＹ軸方向に平行になるような姿勢でステージ１０６上に保持される。基体１０Ａ上には、Ｙ軸方向に沿っては画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８の順に３色の画素が繰り返し配列され、Ｘ軸方向に沿っては同色の画素が配列されている。Ｙ軸方向に並ぶ一組の画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂは、製造されたカラーフィルタ基板１０の一画素分に相当する。
（液滴吐出ヘッド）
図３は、液滴吐出ヘッド２のノズル面（ノズルプレート１２８）の一部と、基体１０Ａの画素とを拡大して示す平面図である。なお、液滴吐出ヘッド２のノズル面は、基体１０Ａに対向する方向、すなわち鉛直下方に向いて設けられているが、図３中では、見易くするために、液滴吐出ヘッド２のノズル面を実線で示す。
液滴吐出ヘッド２のノズル面には、多数のノズル（ノズル孔）２５がＸ軸方向に沿って等間隔に直線的に並んで形成されており、ノズル列を形成している。本実施形態では、一つの液滴吐出ヘッド２には、２列のノズル列が半ピッチずれて並行して形成されているが、本発明では、一つの液滴吐出ヘッド２が有するノズル列の数は、１列でも、３列以上でもよい。また、一つの液滴吐出ヘッド２に形成されるノズル２５の数は、特に限定されないが、通常、数十〜数百個程度とされる。
図４（ａ）および（ｂ）に示すように、液滴吐出ヘッド２は、インクジェットヘッドである。より具体的には、液滴吐出ヘッド２は、振動板１２６と、ノズルプレート１２８とを備えている。振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、タンク１０１から孔１３１を介して供給される液状材料１１１が常に充填される液たまり１２９が位置している。
また、振動板１２６と、ノズルプレート１２８との間には、複数の隔壁１２２が位置している。そして、振動板１２６と、ノズルプレート１２８と、１対の隔壁１２２とによって囲まれた部分がキャビティ１２０である。キャビティ１２０はノズル２５に対応して設けられているため、キャビティ１２０の数とノズル２５の数とは同じである。キャビティ１２０には、１対の隔壁１２２間に位置する供給口１３０を介して、液たまり１２９から液状材料１１１が供給される。
振動板１２６上には、それぞれのキャビティ１２０に対応して、キャビティ１２０内に充填された液状材料１１１の圧力を変化させる駆動素子としての振動子１２４が位置する。振動子１２４は、ピエゾ素子１２４Ｃと、ピエゾ素子１２４Ｃを挟む１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂと、を含む。この１対の電極１２４Ａ、１２４Ｂとの間に駆動電圧を与えることで、対応するノズル２５から液状材料１１１が吐出される。なお、ノズル２５からＺ軸方向に液状材料１１１が吐出されるように、ノズル２５の形状が調整されている。
制御手段１１２（図１）は、複数の振動子１２４のそれぞれに互いに独立に信号を与えるように構成されていてもよい。つまり、ノズル２５から吐出される材料１１１の体積が、制御手段１１２からの信号に応じてノズル２５毎に制御されてもよい。
なお、液滴吐出ヘッド２は、図示のような圧電アクチュエータを駆動素子とするものに限らず、静電アクチュエータを用いるものや、電気熱変換素子を用いて液状材料１１１の熱膨張を利用して液滴を吐出する構成のものであってもよい。
（制御手段）
次に、制御手段１１２の構成を説明する。図５に示すように、制御手段１１２は、入力バッファメモリ２００と、記憶手段２０２と、処理部２０４と、走査駆動部２０６と、ヘッド駆動部２０８と、キャリッジ位置検出手段３０２と、ステージ位置検出手段３０３とを備えている。
バッファメモリ２００と処理部２０４とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と記憶手段２０２とは、相互に通信可能に接続されている。処理部２０４と走査駆動部２０６とは相互に通信可能に接続されている。処理部２０４とヘッド駆動部２０８とは相互に通信可能に接続されている。また、走査駆動部２０６は、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８と相互に通信可能に接続されている。同様にヘッド駆動部２０８は、複数の液滴吐出ヘッド２のそれぞれと相互に通信可能に接続されている。
入力バッファメモリ２００は、外部情報処理装置から、液状材料１１１の液滴を吐出する位置に関するデータ、すなわち描画パターンデータを受け取る。入力バッファメモリ２００は、この描画パターンデータを処理部２０４に供給し、処理部２０４は、描画パターンデータを記憶手段２０２に格納する。記憶手段２０２は、ＲＡＭ、磁気記録媒体、光磁気記録媒体等で構成される。
キャリッジ位置検出手段３０２は、キャリッジ１０５、すなわちヘッドユニット１０３のＸ軸方向の位置（移動距離）を検出し、その検出信号を処理部２０４へ入力する。
ステージ位置検出手段３０３は、ステージ１０６、すなわち基体１０ＡのＹ軸方向の位置（移動距離）を検出し、その検出信号を処理部２０４へ入力する。
キャリッジ位置検出手段３０２、ステージ位置検出手段３０３は、例えばリニアエンコーダ、レーザー測長器等で構成される。
処理部２０４は、キャリッジ位置検出手段３０２およびステージ位置検出手段３０３の検出信号に基づき、走査駆動部２０６を介して、キャリッジ移動機構１０４およびステージ移動機構１０８の作動を制御（クローズドループ制御）し、ヘッドユニット１０３の位置と、基体１０Ａの位置とを制御する。
さらに、処理部２０４は、ステージ移動機構１０８の作動を制御することにより、ステージ１０６すなわち基体１０Ａの移動速度を制御する。
また、処理部２０４は、前記描画パターンデータに基づいて、吐出タイミング毎のノズル２５のオン・オフを指定する選択信号ＳＣをヘッド駆動部２０８へ与える。ヘッド駆動部２０８は、選択信号ＳＣに基づいて、液状材料１１１の吐出に必要な吐出信号ＥＳを液滴吐出ヘッド２に与える。この結果、液滴吐出ヘッド２における対応するノズル２５から、液状材料１１１が液滴として吐出される。
制御手段１１２は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを含んだコンピュータであってもよい。この場合には、制御手段１１２の上記機能は、コンピュータによって実行されるソフトウェアプログラムによって実現される。もちろん、制御手段１１２は、専用の回路（ハードウェア）によって実現されてもよい。
次に制御手段１１２におけるヘッド駆動部２０８の構成と機能を説明する。
図６（ａ）に示すように、ヘッド駆動部２０８は、１つの駆動信号生成部２０３と、複数のアナログスイッチＡＳとを有する。図６（ｂ）に示すように、駆動信号生成部２０３は、駆動信号ＤＳを生成する。駆動信号ＤＳの電位は、基準電位Ｌに対して時間的に変化する。具体的には、駆動信号ＤＳは、吐出周期ＥＰで繰り返される複数の吐出波形Ｐを含む。ここで、吐出波形Ｐは、ノズル２５から１つの液滴を吐出するために、対応する振動子１２４の一対の電極間に印加されるべき駆動電圧波形に対応する。
駆動信号ＤＳは、アナログスイッチＡＳのそれぞれの入力端子に供給される。アナログスイッチＡＳのそれぞれは、ノズル２５のそれぞれに対応して設けられている。つまり、アナログスイッチＡＳの数とノズル２５の数とは同じである。
処理部２０４は、ノズル２５のオン・オフを表す選択信号ＳＣを、アナログスイッチＡＳのそれぞれに与える。ここで、選択信号ＳＣは、アナログスイッチＡＳ毎に独立にハイレベルおよびローレベルのどちらかの状態を取り得る。一方、アナログスイッチＡＳは、駆動信号ＤＳと選択信号ＳＣとに応じて、振動子１２４の電極１２４Ａに吐出信号ＥＳを供給する。具体的には、選択信号ＳＣがハイレベルの場合には、アナログスイッチＡＳは電極１２４Ａに吐出信号ＥＳとして駆動信号ＤＳを伝播する。一方、選択信号ＳＣがローレベルの場合には、アナログスイッチＡＳが出力する吐出信号ＥＳの電位は基準電位Ｌとなる。振動子１２４の電極１２４Ａに駆動信号ＤＳが与えられると、その振動子１２４に対応するノズル２５から液状材料１１１が吐出される。なお、それぞれの振動子１２４の電極１２４Ｂには基準電位Ｌが与えられている。
図６（ｂ）に示す例では、２つの吐出信号ＥＳのそれぞれにおいて、吐出周期ＥＰの２倍の周期２ＥＰで吐出波形Ｐが現れるように、２つの選択信号ＳＣのそれぞれにおいてハイレベルの期間とローレベルの期間とが設定されている。これによって、対応する２つのノズル２５のそれぞれから、周期２ＥＰで液状材料１１１が吐出される。また、これら２つのノズル２５に対応する振動子１２４のそれぞれには、共通の駆動信号生成部２０３からの共通の駆動信号ＤＳが与えられている。このため、２つのノズル２５からほぼ同じタイミングで液状材料１１１が吐出される。
このような液滴吐出装置１では、ステージ移動機構１０８の作動により、ステージ１０６上に保持された基体１０ＡをＹ軸方向に移動させ、ヘッドユニット１０３の下を通過させつつ、ヘッドユニット１０３の各液滴吐出ヘッド２のノズル２５から液状材料１１１の液滴を吐出して、基体１０Ａ上の各画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂに付与する（着弾させる）ように作動する。以下、この動作を「ヘッドユニット１０３と基体１０Ａとの主走査」と言うことがある。
ヘッドユニット１０３全体として基体１０Ａに対し液状材料１１１を吐出可能なＸ軸方向の長さ（後述する全吐出幅Ｗ）よりも、基体１０ＡのＸ軸方向の幅が小さいものである場合には、ヘッドユニット１０３と基体１０Ａとの主走査を１回行うことにより、基体１０Ａの全体に対して液状材料１１１を付与することができる。
これに対し、ヘッドユニット１０３の全吐出幅Ｗよりも、基体１０ＡのＸ軸方向の幅が大きいものである場合には、ヘッドユニット１０３と基体１０Ａとの主走査と、キャリッジ移動機構１０４の作動によるヘッドユニット１０３のＸ軸方向の移動（これを「副走査」と呼ぶ）とを交互に繰り返し行うことにより、基体１０Ａの全体に対して液状材料１１１を付与することができる。
次に、上述したような液滴吐出装置１を用いてカラーフィルタ基板１０を製造する方法ついて、詳細に説明する。
図７は、カラーフィルタ基板１０の製造方法を示す断面図である。図７に示すように、基体１０Ａは、光透過性を有する支持基板１２と、支持基板１２上に形成されたブラックマトリクス１４と、ブラックマトリクス１４上に形成されたバンク１６とを含む。ブラックマトリクス１４は、遮光性を有する材料で形成されている。
そして、ブラックマトリクス１４とブラックマトリクス１４上のバンク１６とは、支持基板１２上にマトリクス状の複数の光透過部分、すなわちマトリクス状の複数の画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが規定されるように位置している。すなわち、支持基板１２、ブラックマトリクス１４およびバンク１６によって、画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが区画形成されている。画素１８Ｒは、赤の波長域の光線のみを透過するフィルタ層１１１ＦＲが形成されるべき領域であり、画素１８Ｇは、緑の波長域の光線のみを透過するフィルタ層１１１ＦＧが形成されるべき領域であり、画素１８Ｂは、青の波長域の光線のみを透過するフィルタ層１１１ＦＢが形成されるべき領域である。
カラーフィルタ基板１０を製造する際には、まず、以下の手順にしたがって基体１０Ａを作成する。まず、スパッタ法または蒸着法によって、支持基板１２上に金属薄膜を形成する。その後、フォトリソグラフィー工程によってこの金属薄膜から格子状のブラックマトリクス１４を形成する。ブラックマトリクス１４の材料の例は、金属クロムや酸化クロムである。なお、支持基板１２は、可視光に対して光透過性を有する基板、例えばガラス基板である。続いて、支持基板１２およびブラックマトリクス１４を覆うように、ネガ型の感光性樹脂組成物からなるレジスト層を塗布する。そして、そのレジスト層の上にマトリクスパターン形状に形成されたマスクフィルム密着させながら、このレジスト層を露光する。その後、レジスト層の未露光部分をエッチング処理で取り除くことで、バンク１６が得られる。以上の工程によって、基体１０Ａが得られる。
なお、バンク１６に代えて、樹脂ブラックからなるバンクを用いても良い。その場合は、金属薄膜（ブラックマトリクス１４）は不要となり、バンク層は、１層のみとなる。
次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、基体１０Ａを親液化する。この処理によって、支持基板１２と、ブラックマトリクス１４と、バンク１６とで規定されたそれぞれの凹部（画素の一部）における支持基板１２の表面と、ブラックマトリクス１４の表面と、バンク１６の表面とが親液性を呈するようになる。さらに、その後、基体１０Ａに対して、４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理を行う。４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、それぞれの凹部におけるバンク１６の表面がフッ化処理（撥液性に処理）され、このことで、バンク１６の表面が撥液性を呈するようになる。なお、４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、先に親液性を与えられた支持基板１２の表面およびブラックマトリクス１４の表面は若干親液性を失うが、それでもこれら表面は親液性を維持する。
なお、支持基板１２の材質、ブラックマトリクス１４の材質、およびバンク１６の材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもあり、そのような場合には、上記表面処理を施さなくてもよい。
上記のようにして画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂが形成された基体１０Ａは、液滴吐出装置１のステージ１０６上に運ばれ、ステージ１０６に保持される。液滴吐出装置１は、ステージ移動機構１０８を作動させて基体１０ＡをＹ軸方向に移動させてヘッドユニット１０３の下を通過させながら、各液滴吐出ヘッド２から液状材料１１１の液滴を吐出して、各画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂに付与する。このとき、図７（ａ）〜（ｃ）に示すように、画素１８Ｒに対しては、赤色の液状材料（カラーフィルタ材料）１１１Ｒを吐出し、画素１８Ｇに対しては、緑色の液状材料（カラーフィルタ材料）１１１Ｇを吐出し、画素１８Ｂに対しては、青色の液状材料（カラーフィルタ材料）１１１Ｂを吐出する。
各画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂに液状材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂが付与されたら、基体１０Ａを図示しない乾燥装置へ搬送し、各画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ内の液状材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂを乾燥させる。これにより、各画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ上にフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢが得られる。なお、液滴吐出装置１での液状材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂの付与と、乾燥装置での乾燥とを繰り返し行って積層することによって最終的なフィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢを形成してもよい。
その後、基体１０Ａを図示しないオーブン内に搬送し、このオーブンにて、フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢを再加熱（ポストベーク）する。
次いで、基体１０Ａを図示しない保護膜形成装置へ搬送し、この保護膜形成装置にて、フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢ、およびバンク１６を覆う保護膜（オーバーコート）２０を形成する。
フィルタ層１１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢ、およびバンク１６を覆う保護膜２０が形成された後に、乾燥装置にて保護膜２０を完全に乾燥させる。さらに、図示しない硬化装置にて保護膜２０を加熱して完全に硬化することで、基体１０Ａはカラーフィルタ基板１０となる。
図８は、本発明の液滴吐出装置１のヘッドユニット１０３における各液滴吐出ヘッド２の位置関係を説明するための模式的な平面図である。
前述したように、ヘッドユニット１０３には、赤色の液状材料１１１Ｒを吐出する第１ヘッド２１Ｒ〜第４ヘッド２４Ｒの４個の液滴吐出ヘッド２と、緑色の液状材料１１１Ｇを吐出する第１ヘッド２１Ｇ〜第４ヘッド２４Ｇの４個の液滴吐出ヘッド２と、青色の液状材料１１１Ｂを吐出する第１ヘッド２１Ｂ〜第４ヘッド２４Ｂの４個の液滴吐出ヘッド２との、計１２個の液滴吐出ヘッド２が設置されている。図８中の細長い図形は、それらの各液滴吐出ヘッド２のノズル列の位置を表している。
液滴吐出ヘッド２では、ノズル列の両端付近のノズル２５の吐出量を精度良くコントロールするのが一般に困難で、吐出量の誤差が生じ易い。そこで、本実施形態では、各液滴吐出ヘッド２のノズル列の両端付近にある所定個数（例えば１０個程度）のノズル２５を使用しない（液状材料１１１を吐出させない）ようにしている。これにより、各ノズル２５での液状材料１１１の吐出量をより均一化することができ、製造されるカラーフィルタ基板１０の画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂの色を面内でより均一にすることができ、色ムラの発生をより確実に防止することができる。
図８中の、各液滴吐出ヘッド２のノズル列を表す細長い図形において、両端の太く表示された不使用部分２６は、上記のような使用しないノズル２５がある範囲を表している。
以下、まず、赤色の液状材料１１１Ｒを吐出する第１ヘッド２１Ｒ〜第４ヘッド２４Ｒの４個の液滴吐出ヘッド２の位置関係について説明する。
第１ヘッド２１Ｒと第２ヘッド２２Ｒとは、ノズル列に直交する方向、すなわちＹ軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目ｒ１の位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。すなわち、Ｙ軸方向から見た継ぎ目ｒ１でのノズルピッチは、ノズル列中のノズルピッチと同じく正規の長さになるようにされている。このような位置関係で配置された第１ヘッド２１Ｒと第２ヘッド２２Ｒとからなる列をヘッド列３１Ｒと呼ぶ。
なお、ノズル列の継ぎ目ｒ１では、不使用部分２６を見込んで、第１ヘッド２１Ｒのノズル列の図８中の右端部と、第２ヘッド２２Ｒのノズル列の図８中の左端部とは、Ｙ軸方向から見てそれらの端部付近の一部が互いに重なるように配置されている。
同様にして、第３ヘッド２３Ｒと第４ヘッド２４Ｒとは、Ｙ軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目ｒ２の位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。すなわち、Ｙ軸方向から見た継ぎ目ｒ２でのノズルピッチは、ノズル列中のノズルピッチと同じく正規の長さになるようにされている。このような位置関係で配置された第３ヘッド２３Ｒと第４ヘッド２４Ｒとからなる列をヘッド列３２Ｒと呼ぶ。
さらに同様に、ノズル列の継ぎ目ｒ２では、不使用部分２６を見込んで、第３ヘッド２３Ｒのノズル列の図８中の右端部と、第４ヘッド２４Ｒのノズル列の図８中の左端部とは、Ｙ軸方向から見てそれらの端部付近の一部が互いに重なるように配置されている。
上述のようなヘッド列３１Ｒにより形成される長尺ノズル列と、ヘッド列３２Ｒにより形成される長尺ノズル列とは、Ｙ軸方向から見て、ノズル列の継ぎ目ｒ１の位置と継ぎ目ｒ２の位置とが一致しないようにして、互いに重なって配置されている。
このような重なりを利用して、液滴吐出装置１は、一つの画素１８Ｒについて、複数（本実施形態では２個）の異なる液滴吐出ヘッド２のノズル２５から液状材料１１１Ｒの液滴を吐出することができる。
例えば、第１ヘッド２１Ｒのノズル列と第３ヘッド２３Ｒのノズル列とが重なり合っている図８中のＲ１で示す範囲によって液滴を吐出される画素１８Ｒの場合には、図３に示すように、第１ヘッド２１Ｒのノズル２５から吐出された液滴９１と、第３ヘッド２３Ｒのノズル２５から吐出された液滴９２とが付与される。
なお、図３中では、ヘッド列３１Ｒ（第１ヘッド２１Ｒ）のノズル２５の位置と、ヘッド列３２Ｒ（第３ヘッド２３Ｒ）のノズル２５の位置とがＹ軸方向から見て一致しないようにずらして配置されているが、それらが一致するように配置してもよい。
図示を省略するが、同様にして、第１ヘッド２１Ｒのノズル列と第４ヘッド２４Ｒのノズル列とが重なり合っている図８中のＲ２で示す範囲によって液滴を吐出される画素１８Ｒの場合には、第１ヘッド２１Ｒのノズル２５から吐出された液滴と、第４ヘッド２４Ｒのノズル２５から吐出された液滴とが付与される。また、第２ヘッド２２Ｒのノズル列と第４ヘッド２４Ｒのノズル列とが重なり合っている図８中のＲ３で示す範囲によって液滴を吐出される画素１８Ｒの場合には、第２ヘッド２２Ｒのノズル２５から吐出された液滴と、第４ヘッド２４Ｒのノズル２５から吐出された液滴とが付与される。
このように、液滴吐出装置１では、一つの画素１８Ｒについて複数の異なる液滴吐出ヘッド２のノズル２５から液状材料１１１Ｒの液滴を吐出するので、個々の液滴吐出ヘッド２によって吐出量にバラツキ（誤差）があった場合であっても、製造されるカラーフィルタ基板１０の面内で色ムラが生じるのを防止することができる。すなわち、液滴吐出装置１と異なり、一つの画素１８Ｒが一つの液滴吐出ヘッド２のみのノズル２５から液状材料１１１Ｒを付与される場合には、個々の液滴吐出ヘッド２の吐出量のバラツキがそのまま画素１８Ｒに付与される液状材料１１１Ｒの量のバラツキ（誤差）につながり、色ムラが強く現れるが、液滴吐出装置１では、一つの画素１８Ｒに付与される液状材料１１１Ｒの量は、複数（本実施形態では二個）の液滴吐出ヘッド２の吐出量を平均化したものとなるので、個々の画素１８Ｒ間での液状材料１１１Ｒの量を均一化することができ、色ムラを抑えることができる。
また、液滴吐出装置１では、一つの同じ画素１８Ｒについて液状材料１１１Ｒの液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッド２は、ノズル列に平行な方向、すなわちＸ軸方向についての位置を互いにずらして配置されている。すなわち、図８中のＲ１で示す範囲について言えば、第１ヘッド２１Ｒと第３ヘッド２３ＲとのＸ軸方向の位置がずらして配置されており、図８中のＲ２で示す範囲について言えば、第１ヘッド２１Ｒと第４ヘッド２４ＲとのＸ軸方向の位置がずらして配置されており、図８中のＲ３で示す範囲について言えば、第２ヘッド２２Ｒと第４ヘッド２４ＲとのＸ軸方向の位置がずらして配置されている。これにより、以下に説明するような利点がある。
液滴吐出ヘッド２は、その構造上、一般に、ノズル列に沿って各ノズル２５での吐出量が相対的に多かったり少なかったりする傾向を生じる場合がある。例えば、ノズル列の中央付近では一つのノズル２５当たりの吐出量が比較的少なく、ノズル列の両端に近いほど一つのノズル２５当たりの吐出量が多くなる傾向を生じるような場合である。
このような場合に、本発明と異なり、一つの同じ画素１８Ｒについて液状材料１１１Ｒの液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッド２のＸ軸方向の位置が揃っていると、ノズル列に沿った各ノズル２５での吐出量の違いが、Ｘ軸方向に並ぶ各画素１８Ｒに対する液状材料１１１Ｒの付与量の違いにそのまま結びついてしまい、製造されるカラーフィルタ基板１０における色ムラの原因となる。
これに対し、本発明の液滴吐出装置１では、一つの同じ画素１８Ｒについて液状材料１１１Ｒの液滴を吐出する２つの液滴吐出ヘッド２のＸ軸方向についての位置がずらして配置されているので、ある画素１８Ｒに液滴を吐出した複数のノズル２５のうち一方の液滴吐出ヘッド２に属するノズル２５と、他方の液滴吐出ヘッド２に属するノズル２５とでは、ノズル列内での位置が異なるので、吐出量も互いに異なる傾向を示す。そして、その画素１８Ｒに対する液状材料１１１Ｒの付与量は、吐出量の傾向が異なる二組のノズル２５を平均化したものとなる。
このような理由から、本発明の液滴吐出装置１では、ノズル列に沿った各ノズル２５での吐出量の違いを平均化して相殺させることができ、各画素１８Ｒについての液状材料１１１Ｒの付与量をＸ軸方向に沿って均一化することができる。よって、製造されるカラーフィルタ基板１０において有害な色ムラが発生するのをより確実に防止することができる。
また、液滴吐出装置１では、第１ヘッド２１Ｒと第２ヘッド２２Ｒとがヘッド列３１Ｒを構成することにより、それらのノズル列がつながって長尺ノズル列として機能し、また、第３ヘッド２３Ｒと第４ヘッド２４Ｒとがヘッド列３２Ｒを構成することにより、それらのノズル列がつながって長尺ノズル列として機能するので、ヘッドユニット１０３全体として基体１０Ａに対し液状材料１１１を吐出可能なＸ軸方向の長さ（以下、「全吐出幅」と言う）Ｗを大きくすることができる。よって、基体１０Ａの全面に対して液状材料１１１を吐出するために必要なヘッドユニット１０３と基体１０Ａとの主走査の回数を少なくすることができ、特に、全吐出幅Ｗより幅の小さい基体１０Ａに対しては、１回の主走査で全面に液状材料１１１を吐出することができる。
また、液滴吐出装置１では、ヘッド列３１Ｒにおけるノズル列の継ぎ目ｒ１の位置と、ヘッド列３２Ｒにおけるノズル列の継ぎ目ｒ２の位置とがＹ軸方向から見て一致しないようにされていることにより、以下に説明するような利点がある。
一般に、ノズル列の継ぎ目付近のノズル２５によって液状材料１１１Ｒを付与された画素１８Ｒは、他の位置にある画素１８Ｒに対する色ムラが出易い。その原因としては、ノズル列の継ぎ目のノズル２５はノズル列の両端に近いので吐出量を高精度にコントロールしにくいことや、継ぎ目でのノズルピッチの誤差等が考えられる。このようなノズル列の継ぎ目に起因する色ムラが生じた場合、製造されたカラーフィルタ基板１０においては、Ｙ軸方向に沿って色ムラが筋のように連続した、いわゆる筋ムラとなって現れる。
上述したような筋ムラが生じた場合、液滴吐出装置１と異なり、ヘッド列３１Ｒにおけるノズル列の継ぎ目ｒ１の位置とヘッド列３２Ｒにおける継ぎ目ｒ２の位置とが一致していると、製造されたカラーフィルタ基板１０において二つの筋ムラが重なり、筋ムラが目立ってしまう。
これに対し、液滴吐出装置１では、ヘッド列３１Ｒにおけるノズル列の継ぎ目ｒ１の位置と、ヘッド列３２Ｒにおけるノズル列の継ぎ目ｒ２の位置とがＹ軸方向から見てずらされているので、製造されたカラーフィルタ基板１０において筋ムラが継ぎ目ｒ１の位置と継ぎ目ｒ２の位置とに分散されるので、筋ムラを目立たなくすることができる。
次に、緑色の液状材料１１１Ｇを吐出する第１ヘッド２１Ｇ〜第４ヘッド２４Ｇの４個の液滴吐出ヘッド２の位置関係について説明する。
緑色の液状材料１１１Ｇを吐出する第１ヘッド２１Ｇ〜第４ヘッド２４Ｇの４個の液滴吐出ヘッド２の位置関係は、前述した赤色の液状材料１１１Ｒを吐出する第１ヘッド２１Ｒ〜第４ヘッド２４Ｒの４個の液滴吐出ヘッド２の位置関係と同様であるので、以下、簡略化して説明する。
第１ヘッド２１Ｇと第２ヘッド２２Ｇとは、ノズル列に直交する方向、すなわちＹ軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目ｇ１の位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。このような位置関係で配置された第１ヘッド２１Ｇと第２ヘッド２２Ｇとからなる列をヘッド列３１Ｇと呼ぶ。
同様にして、第３ヘッド２３Ｇと第４ヘッド２４Ｇとは、Ｙ軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目ｇ２の位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。このような位置関係で配置された第３ヘッド２３Ｇと第４ヘッド２４Ｇとからなる列をヘッド列３２Ｇと呼ぶ。
上述のようなヘッド列３１Ｇにより形成される長尺ノズル列と、ヘッド列３２Ｇにより形成される長尺ノズル列とは、Ｙ軸方向から見て、ノズル列の継ぎ目ｇ１の位置と継ぎ目ｇ２の位置とが一致しないようにして、互いに重なって配置されている。
このような重なりを利用して、液滴吐出装置１は、一つの画素１８Ｇについて、複数（本実施形態では２個）の異なる液滴吐出ヘッド２のノズル２５から液状材料１１１Ｇの液滴を吐出することができる。
すなわち、第１ヘッド２１Ｇのノズル列と第３ヘッド２３Ｇのノズル列とが重なり合っている図８中のＧ１で示す範囲によって液滴を吐出される画素１８Ｇの場合には、第１ヘッド２１Ｇのノズル２５から吐出された液滴と、第３ヘッド２３Ｇのノズル２５から吐出された液滴とが付与される。また、第１ヘッド２１Ｇのノズル列と第４ヘッド２４Ｇのノズル列とが重なり合っている図８中のＧ２で示す範囲によって液滴を吐出される画素１８Ｇの場合には、第１ヘッド２１Ｇのノズル２５から吐出された液滴と、第４ヘッド２４Ｇのノズル２５から吐出された液滴とが付与される。また、第２ヘッド２２Ｇのノズル列と第４ヘッド２４Ｇのノズル列とが重なり合っている図８中のＧ３で示す範囲によって液滴を吐出される画素１８Ｇの場合には、第２ヘッド２２Ｇのノズル２５から吐出された液滴と、第４ヘッド２４Ｇのノズル２５から吐出された液滴とが付与される。
このように、液滴吐出装置１では、一つの画素１８Ｇについて複数の異なる液滴吐出ヘッド２のノズル２５から液状材料１１１Ｇの液滴を吐出するので、個々の液滴吐出ヘッド２によって吐出量にバラツキ（誤差）があった場合であっても、製造されるカラーフィルタ基板１０の面内で色ムラが生じるのを防止することができる。すなわち、液滴吐出装置１と異なり、一つの画素１８Ｇが一つの液滴吐出ヘッド２のノズル２５から液状材料１１１Ｇを付与される場合には、個々の液滴吐出ヘッド２の吐出量のバラツキがそのまま画素１８Ｇに付与される液状材料１１１Ｇの量のバラツキ（誤差）につながり、色ムラが強く現れるが、液滴吐出装置１では、一つの画素１８Ｇに付与される液状材料１１１Ｇの量は、複数（本実施形態では二個）の液滴吐出ヘッド２の吐出量を平均化したものとなるので、個々の画素１８Ｇ間での液状材料１１１Ｇの量を均一化することができ、色ムラを抑えることができる。
また、液滴吐出装置１では、一つの同じ画素１８Ｇについて液状材料１１１Ｇの液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッド２は、ノズル列に平行な方向、すなわちＸ軸方向についての位置を互いにずらして配置されている。すなわち、図８中のＧ１で示す範囲について言えば、第１ヘッド２１Ｇと第３ヘッド２３ＧとのＸ軸方向の位置がずらして配置されており、図８中のＧ２で示す範囲について言えば、第１ヘッド２１Ｇと第４ヘッド２４ＧとのＸ軸方向の位置がずらして配置されており、図８中のＧ３で示す範囲について言えば、第２ヘッド２２Ｇと第４ヘッド２４ＧとのＸ軸方向の位置がずらして配置されている。これにより、以下に説明するような利点がある。
液滴吐出ヘッド２は、その構造上、一般に、ノズル列に沿って各ノズル２５での吐出量が相対的に多かったり少なかったりする傾向を生じる場合がある。例えば、ノズル列の中央付近では一つのノズル２５当たりの吐出量が比較的少なく、ノズル列の両端に近いほど一つのノズル２５当たりの吐出量が多くなる傾向を生じるような場合である。
このような場合に、本発明と異なり、一つの同じ画素１８Ｇについて液状材料１１１Ｇの液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッド２のＸ軸方向の位置が揃っていると、ノズル列に沿った各ノズル２５での吐出量の違いが、Ｘ軸方向に並ぶ各画素１８Ｇに対する液状材料１１１Ｇの付与量の違いにそのまま結びついてしまい、製造されるカラーフィルタ基板１０における色ムラの原因となる。
これに対し、本発明の液滴吐出装置１では、一つの同じ画素１８Ｇについて液状材料１１１Ｇの液滴を吐出する２つの液滴吐出ヘッド２のＸ軸方向についての位置がずらして配置されているので、ある画素１８Ｇに液滴を吐出した複数のノズル２５のうち一方の液滴吐出ヘッド２に属するノズル２５と、他方の液滴吐出ヘッド２に属するノズル２５とでは、ノズル列内での位置が異なるので、吐出量も互いに異なる傾向を示す。そして、その画素１８Ｇに対する液状材料１１１Ｇの付与量は、吐出量の傾向が異なる二組のノズル２５を平均化したものとなる。
このような理由から、本発明の液滴吐出装置１では、ノズル列に沿った各ノズル２５での吐出量の違いを平均化して相殺させることができ、各画素１８Ｇについての液状材料１１１Ｇの付与量をＸ軸方向に沿って均一化することができる。よって、製造されるカラーフィルタ基板１０において有害な色ムラが発生するのをより確実に防止することができる。
また、液滴吐出装置１では、第１ヘッド２１Ｇと第２ヘッド２２Ｇとがヘッド列３１Ｇを構成することにより、それらのノズル列がつながって長尺ノズル列として機能し、また、第３ヘッド２３Ｇと第４ヘッド２４Ｇとがヘッド列３２Ｇを構成することにより、それらのノズル列がつながって長尺ノズル列として機能するので、ヘッドユニット１０３の全吐出幅Ｗを大きくすることができる。よって、基体１０Ａの全面に対して液状材料１１１を吐出するために必要なヘッドユニット１０３と基体１０Ａとの主走査の回数を少なくすることができ、特に、全吐出幅Ｗより幅の小さい基体１０Ａに対しては、１回の主走査で全面に液状材料１１１を吐出することができる。
また、液滴吐出装置１では、ヘッド列３１Ｇにおけるノズル列の継ぎ目ｇ１の位置と、ヘッド列３２Ｇにおけるノズル列の継ぎ目ｇ２の位置とがＹ軸方向から見て一致しないようにされていることにより、以下に説明するような利点がある。
一般に、ノズル列の継ぎ目付近のノズル２５によって液状材料１１１Ｇを付与された画素１８Ｇは、他の位置にある画素１８Ｇに対する色ムラが出易い。その原因としては、ノズル列の継ぎ目のノズル２５はノズル列の両端に近いので吐出量を高精度にコントロールしにくいことや、継ぎ目でのノズルピッチの誤差等が考えられる。ノズル列の継ぎ目に起因する色ムラが生じた場合、製造されたカラーフィルタ基板１０においては、Ｙ軸方向に沿って色ムラが筋のように連続した、いわゆる筋ムラとなって現れる。
上述したような筋ムラが生じた場合、液滴吐出装置１と異なり、ヘッド列３１Ｇにおけるノズル列の継ぎ目ｇ１の位置とヘッド列３２Ｇにおける継ぎ目ｇ２の位置とが一致していると、製造されたカラーフィルタ基板１０において二つの筋ムラが重なり、筋ムラが目立ってしまう。
これに対し、液滴吐出装置１では、ヘッド列３１Ｇにおけるノズル列の継ぎ目ｇ１の位置と、ヘッド列３２Ｇにおけるノズル列の継ぎ目ｇ２の位置とがＹ軸方向から見てずらされているので、製造されたカラーフィルタ基板１０において筋ムラが継ぎ目ｇ１の位置と継ぎ目ｇ２の位置とに分散されるので、筋ムラを目立たなくすることができる。
次に、青色の液状材料１１１Ｂを吐出する第１ヘッド２１Ｂ〜第４ヘッド２４Ｂの４個の液滴吐出ヘッド２の位置関係について説明する。
青色の液状材料１１１Ｂを吐出する第１ヘッド２１Ｂ〜第４ヘッド２４Ｂの４個の液滴吐出ヘッド２の位置関係は、前述した赤色の液状材料１１１Ｒを吐出する第１ヘッド２１Ｒ〜第４ヘッド２４Ｒの４個の液滴吐出ヘッド２の位置関係と同様であるので、以下、簡略化して説明する。
第１ヘッド２１Ｂと第２ヘッド２２Ｂとは、ノズル列に直交する方向、すなわちＹ軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目ｂ１の位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。このような位置関係で配置された第１ヘッド２１Ｂと第２ヘッド２２Ｂとからなる列をヘッド列３１Ｂと呼ぶ。
同様にして、第３ヘッド２３Ｂと第４ヘッド２４Ｂとは、Ｙ軸方向から見てそれらのノズル列が継ぎ目ｂ２の位置でつながって、長尺ノズル列として機能するように配置されている。このような位置関係で配置された第３ヘッド２３Ｂと第４ヘッド２４Ｂとからなる列をヘッド列３２Ｂと呼ぶ。
上述のようなヘッド列３１Ｂにより形成される長尺ノズル列と、ヘッド列３２Ｂにより形成される長尺ノズル列とは、Ｙ軸方向から見て、ノズル列の継ぎ目ｂ１の位置と継ぎ目ｂ２の位置とが一致しないようにして、互いに重なって配置されている。
このような重なりを利用して、液滴吐出装置１は、一つの画素１８Ｂについて、複数（本実施形態では２個）の異なる液滴吐出ヘッド２のノズル２５から液状材料１１１Ｂの液滴を吐出することができる。
すなわち、第１ヘッド２１Ｂのノズル列と第３ヘッド２３Ｂのノズル列とが重なり合っている図８中のＢ１で示す範囲によって液滴を吐出される画素１８Ｂの場合には、第１ヘッド２１Ｂのノズル２５から吐出された液滴と、第３ヘッド２３Ｂのノズル２５から吐出された液滴とが付与される。また、第１ヘッド２１Ｂのノズル列と第４ヘッド２４Ｂのノズル列とが重なり合っている図８中のＢ２で示す範囲によって液滴を吐出される画素１８Ｂの場合には、第１ヘッド２１Ｂのノズル２５から吐出された液滴と、第４ヘッド２４Ｂのノズル２５から吐出された液滴とが付与される。また、第２ヘッド２２Ｂのノズル列と第４ヘッド２４Ｂのノズル列とが重なり合っている図８中のＢ３で示す範囲によって液滴を吐出される画素１８Ｂの場合には、第２ヘッド２２Ｂのノズル２５から吐出された液滴と、第４ヘッド２４Ｂのノズル２５から吐出された液滴とが付与される。
このように、液滴吐出装置１では、一つの画素１８Ｂについて複数の異なる液滴吐出ヘッド２のノズル２５から液状材料１１１Ｂの液滴を吐出するので、個々の液滴吐出ヘッド２によって吐出量にバラツキ（誤差）があった場合であっても、製造されるカラーフィルタ基板１０の面内で色ムラが生じるのを防止することができる。すなわち、液滴吐出装置１と異なり、一つの画素１８Ｂが一つの液滴吐出ヘッド２のノズル２５から液状材料１１１Ｂを付与される場合には、個々の液滴吐出ヘッド２の吐出量のバラツキがそのまま画素１８Ｂに付与される液状材料１１１Ｂの量のバラツキ（誤差）につながり、色ムラが強く現れるが、液滴吐出装置１では、一つの画素１８Ｂに付与される液状材料１１１Ｂの量は、複数（本実施形態では二個）の液滴吐出ヘッド２の吐出量を平均化したものとなるので、個々の画素１８Ｂ間での液状材料１１１Ｂの量を均一化することができ、色ムラを抑えることができる。
また、液滴吐出装置１では、一つの同じ画素１８Ｂについて液状材料１１１Ｂの液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッド２は、ノズル列に平行な方向、すなわちＸ軸方向についての位置を互いにずらして配置されている。すなわち、図８中のＢ１で示す範囲について言えば、第１ヘッド２１Ｂと第３ヘッド２３ＢとのＸ軸方向の位置がずらして配置されており、図８中のＢ２で示す範囲について言えば、第１ヘッド２１Ｂと第４ヘッド２４ＢとのＸ軸方向の位置がずらして配置されており、図８中のＢ３で示す範囲について言えば、第２ヘッド２２Ｂと第４ヘッド２４ＢとのＸ軸方向の位置がずらして配置されている。これにより、以下に説明するような利点がある。
液滴吐出ヘッド２は、その構造上、一般に、ノズル列に沿って各ノズル２５での吐出量が相対的に多かったり少なかったりする傾向を生じる場合がある。例えば、ノズル列の中央付近では一つのノズル２５当たりの吐出量が比較的少なく、ノズル列の両端に近いほど一つのノズル２５当たりの吐出量が多くなる傾向を生じるような場合である。
このような場合に、本発明と異なり、一つの同じ画素１８Ｂについて液状材料１１１Ｂの液滴を吐出する複数の液滴吐出ヘッド２のＸ軸方向の位置が揃っていると、ノズル列に沿った各ノズル２５での吐出量の違いが、Ｘ軸方向に並ぶ各画素１８Ｂに対する液状材料１１１Ｂの付与量の違いにそのまま結びついてしまい、製造されるカラーフィルタ基板１０における色ムラの原因となる。
これに対し、本発明の液滴吐出装置１では、一つの同じ画素１８Ｂについて液状材料１１１Ｂの液滴を吐出する２つの液滴吐出ヘッド２のＸ軸方向についての位置がずらして配置されているので、ある画素１８Ｂに液滴を吐出した複数のノズル２５のうち一方の液滴吐出ヘッド２に属するノズル２５と、他方の液滴吐出ヘッド２に属するノズル２５とでは、ノズル列内での位置が異なるので、吐出量も互いに異なる傾向を示す。そして、その画素１８Ｂに対する液状材料１１１Ｂの付与量は、吐出量の傾向が異なる二組のノズル２５を平均化したものとなる。
このような理由から、本発明の液滴吐出装置１では、ノズル列に沿った各ノズル２５での吐出量の違いを平均化して相殺させることができ、各画素１８Ｂについての液状材料１１１Ｂの付与量をＸ軸方向に沿って均一化することができる。よって、製造されるカラーフィルタ基板１０において有害な色ムラが発生するのをより確実に防止することができる。
また、液滴吐出装置１では、第１ヘッド２１Ｂと第２ヘッド２２Ｂとがヘッド列３１Ｂを構成することにより、それらのノズル列がつながって長尺ノズル列として機能し、また、第３ヘッド２３Ｂと第４ヘッド２４Ｂとがヘッド列３２Ｂを構成することにより、それらのノズル列がつながって長尺ノズル列として機能するので、ヘッドユニット１０３の全吐出幅Ｗを大きくすることができる。よって、基体１０Ａの全面に対して液状材料１１１を吐出するために必要なヘッドユニット１０３と基体１０Ａとの主走査の回数を少なくすることができ、特に、全吐出幅Ｗより幅の小さい基体１０Ａに対しては、１回の主走査で全面に液状材料１１１を吐出することができる。
また、液滴吐出装置１では、ヘッド列３１Ｂにおけるノズル列の継ぎ目ｂ１の位置と、ヘッド列３２Ｂにおけるノズル列の継ぎ目ｂ２の位置とがＹ軸方向から見て一致しないようにされていることにより、以下に説明するような利点がある。
一般に、ノズル列の継ぎ目付近のノズル２５によって液状材料１１１Ｂを付与された画素１８Ｂは、他の位置にある画素１８Ｂに対する色ムラが出易い。その原因としては、ノズル列の継ぎ目のノズル２５はノズル列の両端に近いので吐出量を高精度にコントロールしにくいことや、継ぎ目でのノズルピッチの誤差等が考えられる。ノズル列の継ぎ目に起因する色ムラが生じた場合、製造されたカラーフィルタ基板１０においては、Ｙ軸方向に沿って色ムラが筋のように連続した、いわゆる筋ムラとなって現れる。
上述したような筋ムラが生じた場合、液滴吐出装置１と異なり、ヘッド列３１Ｂにおけるノズル列の継ぎ目ｂ１の位置とヘッド列３２Ｂにおける継ぎ目ｂ２の位置とが一致していると、製造されたカラーフィルタ基板１０において二つの筋ムラが重なり、筋ムラが目立ってしまう。
これに対し、液滴吐出装置１では、ヘッド列３１Ｂにおけるノズル列の継ぎ目ｂ１の位置と、ヘッド列３２Ｂにおけるノズル列の継ぎ目ｂ２の位置とがＹ軸方向から見てずらされているので、製造されたカラーフィルタ基板１０において筋ムラが継ぎ目ｂ１の位置と継ぎ目ｂ２の位置とに分散されるので、筋ムラを目立たなくすることができる。
このようなヘッドユニット１０３では、赤色の液状材料１１１Ｒを吐出するヘッド列３１Ｒ、３２Ｒにより形成される長尺ノズル列と、緑色の液状材料１１１Ｇを吐出するヘッド列３１Ｇ、３２Ｇにより形成される長尺ノズル列と、青色の液状材料１１１Ｂを吐出するヘッド列３１Ｂ、３２Ｂにより形成される長尺ノズル列とは、Ｙ軸方向から見て重なるように配置されている。これにより、ヘッドユニット１０３と基体１０Ａとを主走査することによって、全吐出幅Ｗの範囲では、画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂに対して一度に赤、緑、青の各色の液状材料１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂを付与することができる。
液滴吐出装置１では、赤色の液状材料１１１Ｒを吐出するヘッド列３１Ｒ、３２Ｒにおけるノズル列の継ぎ目ｒ１、ｒ２と、緑色の液状材料１１１Ｇを吐出するヘッド列３１Ｇ、３２Ｇにおけるノズル列の継ぎ目ｇ１、ｇ２と、青色の液状材料１１１Ｂを吐出するヘッド列３１Ｂ、３２Ｂにおけるノズル列の継ぎ目ｂ１、ｂ２とは、それらの位置がＹ軸方向から見て互いに一致しないように配置されている。
これにより、製造されたカラーフィルタ基板１０において、赤色の画素１８Ｒに発生する筋ムラと、緑色の画素１８Ｇに発生する筋ムラと、青色の画素１８Ｂに発生する筋ムラとを別々の位置に分散させることができるので、筋ムラが目立つのをより確実に防止することができる。
特に、本実施形態では、ノズル列の継ぎ目ｒ２、ｇ２、ｂ２、ｒ１、ｇ１、ｂ１の位置がＹ軸方向から見て等間隔に位置するので、各筋ムラを規則的に分散させることができ、筋ムラを極めて目立たなくさせることができる。
図９は、本発明の液滴吐出装置におけるヘッドユニットの他の構成例を模式的に示す平面図である。
図９に示すヘッドユニット１０３’には、１２個の液滴吐出ヘッド２が集合してなる４つのヘッド群５１、５２、５３、５４が設置され、計４８個の液滴吐出ヘッド２が搭載されている。各ヘッド群５１、５２、５３、５４の１２個の液滴吐出ヘッド２は、前述したヘッドユニット１０３と同様の配置（図８参照）とされている。なお、図９中では、簡略化のため、各ヘッド群５１、５２、５３、５４を単なる長方形の図形で表している。
ヘッド群５１とヘッド群５２とは、それらのノズル列（全吐出幅Ｗ）がＹ軸方向から見て継ぎ目ｊ１でつながって機能するように配置されたヘッド群列６１を構成する。
同様に、ヘッド群５３とヘッド群５４とは、それらのノズル列（全吐出幅Ｗ）がＹ軸方向から見て継ぎ目ｊ２でつながって機能するように配置されたヘッド群列６２を構成する。そして、ヘッド群列６１とヘッド群列６２とは、Ｙ軸方向から見て継ぎ目ｊ１の位置と継ぎ目ｊ２の位置とが一致しないようにして、互いに重なって配置されている。
このようなヘッドユニット１０３’を備えた液滴吐出装置１では、一つの画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂに対し、二つのヘッド群（ヘッド群５１および５３、ヘッド群５１および５４、または、ヘッド群５２および５４）から吐出した液状材料１１１を付与する。これにより、各画素１８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂに付与される液状材料１１１の量を基体１０Ａ上の各位置でさらに均一化することができるので、製造されるカラーフィルタ基板１０の面内で色ムラが生じるのをより確実に防止することができる。
また、Ｙ軸方向から見て、ヘッド群５１の全吐出幅Ｗとヘッド群５２の全吐出幅Ｗがつながって機能し、ヘッド群５３の全吐出幅Ｗとヘッド群５４の全吐出幅Ｗがつながって機能するので、ヘッドユニット１０３’全体として基体１０Ａに対し液状材料１１１を吐出可能なＸ軸方向の長さ（図９中の総吐出幅Ｗ’）をさらに大きくすることができる。
さらに、ヘッド群列６１におけるヘッド群同士の継ぎ目ｊ１の位置と、ヘッド群列６２におけるヘッド群同士の継ぎ目ｊ２の位置とがＹ軸方向から見て一致しないように配置したことにより、製造されたカラーフィルタ基板１０において、継ぎ目ｊ１に起因して発生する筋ムラと、継ぎ目ｊ２に起因して発生する筋ムラとを別々の位置に分散させることができるので、筋ムラが目立つのをより確実に防止することができる。
以上説明したような本発明は、カラーフィルタ基板１０の製造に限らず、例えばエレクトロルミネッセンス表示装置等の他方式の画像表示装置の製造にも適用することができる。
図１０は、有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０の製造方法を示す断面図である。以下、本発明により有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０を製造する場合について説明するが、前述したカラーフィルタ基板１０を製造する場合との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。
図１０に示す基体３０Ａは、有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０を製造するための基板である。この基体３０Ａは、マトリクス状に配置された複数の画素（吐出領域）３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂが形成されている。
具体的には、基体３０Ａは、支持基板３２と、支持基板３２上に形成された回路素子層３４と、回路素子層３４上に形成された複数の画素電極３６と、複数の画素電極３６の間に形成されたバンク４０とを有している。支持基板３２は、可視光に対して光透過性を有する基板であり、例えばガラス基板である。複数の画素電極３６のそれぞれは、可視光に対して光透過性を有する電極であり、例えば、ＩＴＯ（Indium-Tin Oxide）電極である。また、複数の画素電極３６は、回路素子層３４上にマトリクス状に配置されており、それぞれが画素を規定する。そして、バンク４０は、格子状の形状を有しており、複数の画素電極３６のそれぞれを囲む。また、バンク４０は、回路素子層３４上に形成された無機物バンク４０Ａと、無機物バンク４０Ａ上に位置する有機物バンク４０Ｂとからなる。
回路素子層３４は、支持基板３２上で所定の方向に延びる複数の走査電極と、複数の走査電極を覆うように形成された絶縁膜４２と、絶縁膜４２上に位置するともに複数の走査電極が延びる方向に対して直交する方向に延びる複数の信号電極と、走査電極および信号電極の交点付近に位置する複数のスイッチング素子４４と、複数のスイッチング素子４４を覆うように形成されたポリイミドなどの層間絶縁膜４５とを有する層である。それぞれのスイッチング素子４４のゲート電極４４Ｇおよびソース電極４４Ｓは、それぞれ対応する走査電極および対応する信号電極と電気的に接続されている。層間絶縁膜４５上には複数の画素電極３６が位置する。層間絶縁膜４５には、各スイッチング素子４４のドレイン電極４４Ｄに対応する部位にスルーホール４４Ｖが設けられており、このスルーホール４４Ｖを介して、スイッチング素子４４と、対応する画素電極３６との間の電気的接続が形成されている。また、バンク４０に対応する位置にそれぞれのスイッチング素子４４が位置している。つまり、図１０中の上側から観察すると、複数のスイッチング素子４４のそれぞれは、バンク４０に覆われるように位置している。
基体３０Ａの画素電極３６とバンク４０とで規定される凹部は、画素３８Ｒ、画素３８Ｇ、画素３８Ｂに対応する。画素３８Ｒは、赤の波長域の光線を発光する発光層２１１ＦＲが形成されるべき領域であり、画素３８Ｇは、緑の波長域の光線を発光する発光層２１１ＦＧが形成されるべき領域であり、画素３８Ｂは、青の波長域の光線を発光する発光層２１１ＦＢが形成されるべき領域である。
このような基体３０Ａは、公知の製膜技術とパターニング技術とを用いて製造することができる。
次に、大気圧下の酸素プラズマ処理によって、この基体３０Ａを親液化する。この処理によって、画素電極３６とバンク４０とで規定された画素３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂにおける画素電極３６の表面、無機物バンク４０Ａの表面、および有機物バンク４０Ｂの表面が、親液性を呈するようになる。さらに、その後、基体３０Ａに対して、４フッ化メタンを処理ガスとするプラズマ処理を行う。４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、それぞれの凹部における有機物バンク４０Ｂの表面がフッ化処理（撥液性に処理）されて、このことで有機物バンク４０Ｂの表面が撥液性を呈するようになる。なお、４フッ化メタンを用いたプラズマ処理によって、先に親液性を与えられた画素電極３６の表面および無機物バンク４０Ａの表面は、若干親液性を失うが、それでも親液性を維持する。
なお、画素電極３６の材質、無機バンク４０の材質、および有機バンク４０の材質によっては、上記のような表面処理を行わなくても、所望の親液性および撥液性を呈する表面が得られることもある。そのような場合には、上記表面処理を施さなくてもよい。
また、表面処理が施された複数の画素電極３６のそれぞれの上に、対応する正孔輸送層３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂを形成してもよい。正孔輸送層３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂが、画素電極３６と、後述の発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢとの間に位置すれば、エレクトロルミネッセンス表示装置の発光効率が高くなる。
上記のようにして画素３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂが形成された基体３０Ａに対し、図１０（ａ）〜（ｃ）に示すように、本発明の液滴吐出装置１を用いて、前述したカラーフィルタ基板１０の場合と同様に、各画素３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂに対し、それぞれ、液状材料２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂを付与する。液状材料２１１Ｒは、赤色の有機発光材料を含むものであり、液状材料２１１Ｇは、緑色の有機発光材料を含むものであり、液状材料２１１Ｂは、青色の有機発光材料を含むものである。
その後、基体３０Ａを乾燥装置へ移送して、各画素３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂに付与された液状材料２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂを乾燥させることにより、各画素３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂ上に発光層２１１ＦＲ、ＦＧ、ＦＢが得られる。
次に、発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢ、およびバンク４０を覆うように対向電極４６を設ける。対向電極４６は陰極として機能する。
その後、封止基板４８と基体３０Ａとを、互いの周辺部で接着することで、図１０（ｄ）に示す有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０が得られる。なお、封止基板４８と基体３０Ａとの間には不活性ガス４９が封入されている。
有機エレクトロルミネッセンス表示装置３０において、発光層２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢから発光した光は、画素電極３６と、回路素子層３４と、支持基板３２と、を介して射出する。このように回路素子層３４を介して光を射出するエレクトロルミネッセンス表示装置は、ボトムエミッション型の表示装置と呼ばれる。
以上、本発明を液晶表示装置（カラーフィルタ基板）の製造や、エレクトロルミネッセンス表示装置の製造に適用した場合について説明したが、本発明は、これらに限定されず、例えば、プラズマ表示装置の背面基板の製造や、電子放出素子を備えた画像表示装置（ＳＥＤ（Surface-Conduction Electron-Emitter Display）またはＦＥＤ（Field Emission Display）と呼ばれることもある）の製造にも適用することができる。
＜本発明の電子機器の実施形態＞
前述したような方法で製造されたカラーフィルタ基板１０を備えた液晶表示装置や、前述したような方法で製造されたエレクトロルミネッセンス表示装置等の画像表示装置１０００は、各種電子機器の表示部に用いることができる。
図１１は、本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。
この図において、パーソナルコンピュータ１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。
このパーソナルコンピュータ１１００においては、表示ユニット１１０６が画像表示装置１０００を備えている。
図１２は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。
この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６とともに、画像表示装置１０００を表示部に備えている。
図１３は、本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）などの撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
ディジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、画像表示装置１０００が表示部に設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、被写体を電子画像として表示するファインダとして機能する。
ケースの内部には、回路基板１３０８が設置されている。この回路基板１３０８は、撮像信号を格納（記憶）し得るメモリが設置されている。
また、ケース１３０２の正面側（図示の構成では裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、回路基板１３０８のメモリに転送・格納される。
また、このディジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示のように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニタ１４３０が、デ−タ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピュータ１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、回路基板１３０８のメモリに格納された撮像信号が、テレビモニタ１４３０や、パーソナルコンピュータ１４４０に出力される構成になっている。
なお、本発明の電子機器は、上述したパーソナルコンピュータ（モバイル型パーソナルコンピュータ）、携帯電話機、ディジタルスチルカメラの他にも、例えば、テレビや、ビデオカメラ、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、ラップトップ型パーソナルコンピュータ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニタ、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、タッチパネルを備えた機器（例えば金融機関のキャッシュディスペンサー、自動券売機）、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電表示装置、超音波診断装置、内視鏡用表示装置）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレータ、その他各種モニタ類、プロジェクター等の投射型表示装置等に適用することができる。
以上、本発明の液滴吐出装置、パネルの製造方法、画像表示装置および電子機器を図示の実施形態について説明したが、本発明は、これに限定されるものではない。液滴吐出装置を構成する各部は、同様の機能を発揮し得る任意の構成のものと置換することができる。また、任意の構成物が付加されていてもよい。
本発明の液滴吐出装置の実施形態を示す斜視図。 図１に示す液滴吐出装置におけるヘッドユニット、および基体を示す平面図。 液滴吐出ヘッドのノズル面（ノズルプレート）の一部と、基体の画素とを拡大して示す平面図。 図１に示す液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドを示す図であり、（ａ）は断面斜視図、（ｂ）は断面図。 図１に示す液滴吐出装置のブロック図。 （ａ）はヘッド駆動部を示す模式図、（ｂ）はヘッド駆動部における駆動信号、選択信号および吐出信号を示すタイミングチャート。 カラーフィルタ基板の製造方法を示す断面図。 本発明の液滴吐出装置のヘッドユニットにおける各液滴吐出ヘッドの位置関係を説明するための模式的な平面図。 本発明の液滴吐出装置におけるヘッドユニットの他の構成例を模式的に示す平面図。 有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法を示す断面図。 本発明の電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。 本発明の電子機器を適用した携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図。 本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図。示す平面図。
符号の説明
１……液滴吐出装置 ２……液滴吐出ヘッド ２１Ｒ、２１Ｇ、２１Ｂ……第１ヘッド ２２Ｒ、２２Ｇ、２２Ｂ……第２ヘッド ２３Ｒ、２３Ｇ、２３Ｂ……第３ヘッド ２４Ｒ、２４Ｇ、２４Ｂ……第４ヘッド ２５……ノズル ２６……不使用部分 ３１Ｒ、３１Ｇ、３１Ｂ、３２Ｒ、３２Ｇ、３２Ｂ……ヘッド列 ５１、５２、５３、５４……ヘッド群 ６１、６２……ヘッド群列 ９１、９２……液滴 １０１……タンク １０３、１０３’……ヘッドユニット １０４……キャリッジ移動機構 １０５……キャリッジ １０６……ステージ １０８……ステージ移動機構 １１０……チューブ １１１、１１１Ｒ、１１１Ｇ、１１１Ｂ、２１１Ｒ、２１１Ｇ、２１１Ｂ……液状材料 １１２……制御手段 １２０……キャビティ １２２……隔壁 １２４……振動子 １２４Ａ、１２４Ｂ……電極 １２４Ｃ……ピエゾ素子 １２６……振動板 １２８……ノズルプレート １２９……液たまり １３０……供給口 １３１……孔 ２００……バッファメモリ ２０２……記憶手段 ２０３……駆動信号生成部 ２０４……処理部 ２０６……走査駆動部 ２０８……ヘッド駆動部 ＡＳ……アナログスイッチ ＤＳ……駆動信号 ＳＣ……選択信号 ＥＳ……吐出信号 １０Ａ、３０Ａ……基体 １０……カラーフィルタ基板 １２、３２……支持基板 １４……ブラックマトリクス １６、４０……バンク ２０……保護膜 １８Ｒ、１８Ｇ、１８Ｂ、３８Ｒ、３８Ｇ、３８Ｂ……画素 １１１ＦＲ、１１１ＦＧ、１１１ＦＢ……フィルタ層 ３０……有機エレクトロルミネッセンス表示装置 ３４……回路素子層 ３６……画素電極 ４０Ａ……無機物バンク ４０Ｂ……有機物バンク ４２……絶縁膜 ４４……スイッチング素子 ４４Ｇ……ゲート電極 ４４Ｓ……ソース電極 ４４Ｄ……ドレイン電極 ４４Ｖ……スルーホール ４５……層間絶縁膜 ４６……対向電極 ４８……封止基板 ４９……不活性ガス ３０２……キャリッジ位置検出手段 ３０３……ステージ位置検出手段 １０００……画像表示装置 １１００……パーソナルコンピュータ １１０２……キーボード １１０４……本体部 １１０６……表示ユニット １２００……携帯電話機 １２０２……操作ボタン １２０４……受話口 １２０６……送話口 １３００……ディジタルスチルカメラ １３０２……ケース（ボディー） １３０４……受光ユニット １３０６……シャッタボタン １３０８……回路基板 １３１２……ビデオ信号出力端子 １３１４……データ通信用の入出力端子 １４３０……テレビモニタ １４４０……パーソナルコンピュータ ３７Ｒ、３７Ｇ、３７Ｂ……正孔輸送層 ２１１ＦＲ、２１１ＦＧ、２１１ＦＢ……発光層

Claims (6)

  1. 液状材料を液滴として吐出する複数のノズルが直線的に並んだノズル列を有する液滴吐出ヘッドが複数個設置されたヘッドユニットと、
    基体を保持するステージと、
    前記ステージと前記ヘッドユニットとを相対的に移動させる移動手段と、
    前記液滴吐出ヘッドおよび前記移動手段の作動を制御する制御手段とを有し、
    前記移動手段の作動により前記基体と前記ヘッドユニットとを前記ノズル列と直交する方向に相対的に移動させ、前記ノズルから液滴として吐出した前記液状材料を前記基体上へ付与する液滴吐出装置であって、
    前記ヘッドユニットには、前記各液滴吐出ヘッドが、他の少なくとも一つの液滴吐出ヘッドに対し、ノズル列に直交する方向から見てそれらの液滴吐出ヘッドのノズル列が互いに重なる部分を有するとともにノズル列に平行な方向についての位置が互いにずれているような位置関係となるように設置されており、
    所定の吐出領域に対し、ノズル列に平行な方向に位置をずらして配置された複数の液滴吐出ヘッドのノズルからそれぞれ吐出した液状材料の液滴を付与するように作動することを特徴とする液滴吐出装置。
  2. 液滴吐出ヘッドが複数個設置されたヘッドユニットと、基体とを、前記液滴吐出ヘッドに形成されたノズル列と直交する方向に相対的に移動させ、前記ノズルから液滴として吐出した液状材料を前記基体上へ付与する工程を有するパネルの製造方法であって、
    前記ヘッドユニットには、前記各液滴吐出ヘッドが、他の少なくとも一つの液滴吐出ヘッドに対し、ノズル列に直交する方向から見てそれらの液滴吐出ヘッドのノズル列が互いに重なる部分を有するとともにノズル列に平行な方向についての位置が互いにずれているような位置関係となるように設置されており、
    前記基体と前記ヘッドユニットとを、前記ノズル列に対してほぼ直交する方向に相対的に走査することにより、前記基体上に前記液状材料を付与するに際し、所定の吐出領域に対し、ノズル列に平行な方向に位置をずらして配置された複数の液滴吐出ヘッドのノズルからそれぞれ吐出した液状材料の液滴を付与することを特徴とするパネルの製造方法。
  3. 前記パネルは、液晶表示装置のカラーフィルタ基板であり、前記液状材料は、フィルタ層を形成するためのインクである請求項２に記載のパネルの製造方法。
  4. 前記パネルは、エレクトロルミネッセンス表示装置であり、前記液状材料は、発光材料を含むものである請求項２に記載のパネルの製造方法。
  5. 請求項２ないし４のいずれかに記載のパネルの製造方法により製造されたパネルを備えることを特徴とする画像表示装置。
  6. 請求項５に記載の画像表示装置を備えることを特徴とする電子機器。
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