TWI289201B - A particle counter - Google Patents

Description

1289201 %、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於產業用機器人。更a % 尺与砰細而言，本發明是 關於在淨化空間内進行紐梦、y；r7 Τ* 1Λ 门⑽仃、，且衣加工、搬運等作業的產業用 機态人。 ，外，本發明係可應用於產業用機器人，是關於利用光 j射特性以測定氣體中的粒子數量的微粒子計數器。更為 鲁=細而言，本發明是關於照射於試料流體的雷射光的光束 形狀的改良。 ▲又，本發明係關於產業用機器人的機械手。更為詳細而 -’本發明是關於例如在晶圓g或附臈裝置等的處理裝置 =間使半導體的晶圓、大型液晶等的大型工件移動的 用機器人。 【先前技術】 :為該種機器人，具有在無塵室中例如將半導體晶圓或 _[之曰曰面板載置於機械手上而從晶圓匣移動至其他的裝置 者在此等刼作半導體晶圓或液晶面板時因為無塵室内的 微粒子數量極大影響良品率的緣故，故以數種方法來進行 、例如，具有在無塵室内的指定位置設置微粒子計數器以 進行疋期&查的方法。另外，還有在藏鍍或钱刻等的製造 f置安裝微粒子計數器以進行定期檢查的方法。或是，以 檢查裝置進行半導體晶圓或液晶面板的表面的微粒 查的方法。 326\總檔\94\9410974 l\TF958〇〇5 5 1289201 另外’作為該種微粒子計數器周知有具備：如圖1 〇所 1 ϋ出雷射光ι〇1的光源102;使雷射光101聚光於試料 *體104的投光透鏡1〇3 ;流動該試料流體1〇4的流路機 2 1〇5;將試料流體104中的粒子（粉塵）產生的散射光1〇6 $光的受光透鏡1〇7 ;及將該被聚光的散射光1〇6作光電 換的又光元件丨〇8者。於是，因為從受光元件1⑽所獲 件的電性輸&的脈衝大小與浮游粒子徑具有相關關係，因 鲁此，可從電性輸出的脈衝大小求得粒子直徑。另外，因為 s 子通過日守產生脈衝，因此可從脈衝的次數求得粒子數 量° 六為高精度檢測散射光106，雷射光101的能量密度高者 較為有利’因此’投光透鏡1()3係設計為將雷射光ι〇ι聚 =方、小的‘點狀。然後，試料流體104通過點狀的檢測區域 、9_。試料流體1〇4的流通係通過從下游側使用吸引泵來 I另一方面，在監視無塵室的污濁度而預見被污濁時將本 t置⑽作為產生警報的裝置予以使用的情況，希望在短 :間監視大量的試料流體1〇4 ’實現精確度高的污濁度的 預測，而爭取在較早的時間内發出警報。 (專利文獻1) 曰本專利特開平9-178645號公報 泝：糖t可轉動地連結複數機械臂，同時傳遞轉動驅動 ::轉：力以進行伸縮等的動作的自動機械臂，係搭載於 。大型液晶玻璃等的工件在晶圓歴或附膜褒置等的 326、,總檔\94\94109741YTF958005 6 1289201 衣私m間移動的搬運用機器人上。 :::用機器人501，如圖15所示，具備台 =的關郎5。2為中心轉動的第1機械臂505;可轉動 5〇5 503 ^ 2« 關節504的機械手動5 = 1於第2機械臂_㈣端側的 定時皮ΐ:Γ、503彼此與關節5°3、5。4蝴 喧線上；：：方Τ"械手51°係以經常邊朝-定方向邊沿 i =動的方式而設。機械手510通常具有2〜3根的手 5]^’伴隨著近年的液晶朗的大型化趨勢，對機械手 51 0也產生剛性要求。甚 剛性充分，但當重量過重^=的剛性不足，或即使 据健下吹“ 仍有搬運用機器人501的共 振頻率下降而無法進行高速動作的情況。 ^外’在使用搬運用機器人501時，動作時間的的被 為工件5 0 8的出入的味pq t株Rn«认山 、曰因此’為縮短作業時間希望 件508的出入的高速化。另外 大型化呈比例擴大出人& 工仵508的 要。 ㈣大出入的仃程’出入部分的高速化仍重 為取得工件508的出入的古、击外 的重I彳卜、#趄一 mu 回 有邊抑制機械手510 重里化邊“剛性的必要。因此，有進行手 或使樹脂含浸於碳纖維以形成手叉等。另外 = 中空形狀成為主流。= 見在獲得高剛性的 就疋5兄，如圖Η所示，手叉為從 326V總檔\94\94109 74 〗\TF958005 7 1289201 基端至前端形成為知π 為相同粗細的剖面四角形的管材 (專利文獻2) 曰本專利特開平 【發明内容】 1H33542Q號公報 (發明所欲解決之問題） 、 、I私疋位置設置微粒子計數器進行檢查的方 法中’因為微粒子古+童 卞冲數為的安裝位置被限定，因此無法 定晶圓或液晶面板的卩 ' _ w败的附近的情況很多。而且，作業員盔法 零進入淨化空間的愔汐夕 只…、在 — 门扪ί月况也很多，因此測定有其限界。因此， 實際上在晶圓或液晶面板的附近具有多量的微粒子， 即使有問題仍判定為無問題、或引起此相反的結果的情 况’ &成正確的判定或原因的特定上的困難。另外，因為 定期進行檢查使得隔開有檢查間隔。因此，從問題產生至 檢測出此問題為止需花費大量時間，而有產生大量之不良 品的擔憂。 .另外，在冑微粒子計數器安裝於製造裝置的方法中，因 為微粒子計數器的安裝位置被限定，因此無法測定晶圓或 液晶面板的附近的情況很多。 又，在利用檢查裝置來檢查半導體晶圓及液晶面板的方 法中’變得非常高價。而且，僅將檢查裝置設置於】個部 位要特定出原因有困難。 然而，在上述微粒子計數器100中，因為雷射光1〇1聚 光為點狀，因此試料流體1 04 —定要通過非常狭窄的檢測 區域109。因此，為了以短時間監視大量的試料流體1〇4, 326\總檔\94\94109741 \TF958005 8 1289201 :、;頁使氣體高速流通。藉此，必須使用 有招致裝置m的大型化及高成本 ^引泵而 還需要檢測雷跋沾丄、土 」门喊。另外，因為 另:::Γ化，因此造成電路的複雜化。 卜口為上述手又為從基端至前端形成Α % 剖面四备艰ώ/τ总u 成^為相同粗細的 i:四角術材，因此，當配合工件 又時，將有剛性不夠或仏予夯八的 而θ長手 、、兄“工比、 飞⑺予充刀的剛性時變得過重的情 彳 一十月況的共振頻率均下降，使得工件508的屮入立 ^分的高速化困難。 $出入邛 ▲在此’本發明之目的在於，提供一種產業 鬲精度且迅速計測無塵室内的微粒子量,、〇〇 速ft而t明,之目的在於’提供一種無須使試料流體高 、机I而可;f欢測粒子的微粒子計數器。 再者，本發明之目的在於，妲 - n! L 、提仏一種可邊抑制重量化邊

取侍咼剛性的搬運用機器人的機械手。 I (解決問題之手段） I為達成上述目的’第i發明，係在淨化空間内進行组 衣、加工、搬運等的作業的產業用機器人中，將測定淨化 空間之清潔度的微粒子計數器設於產業用機器人的 手部。 藉此，因為可敎保持於機械手料半導體晶圓及液晶 面板的附近’因此可正確檢查。料，因為機械手部可自 由移動，因此可在淨化空間内的多數個位置進行測定。於 是’藉由連續檢查可容易進行狀況的變化及原因的探明。 如此:k ’藉由在夕數個位置進行連續檢查，可迅速發現異 326V總檔 \94\94109741YTF958005 9 1289201 W彳之而可將不良品的發生抑制在最小限度。 第2發明’係在第1發明之產業用機器人中，微粒 編的吸入口係配置於機械手部的前端。藉此，因為 、*邛的前端在機械手部中的自由度最高，因此可在淨 化空間内的非常多個位置進行測定。 區= 成上述、目的，第3發明’係在將雷射光照射於測定 二土於相&區域内存在的粒子所產生的散射光進行 ·:二計數的微粒子計數器’該雷射光係形成為帶狀的雷 的ΐ:二為雷射光為帶狀，因此與如以往般聚光為點狀 1缉射先比較，可擴大其檢測區域。由此，因為可在每一 内通過大量的試料流體’因此可圖獲吸引泵的小 生化及檢測電路的簡單化。 另外第4發明’係在第3發明之微粒子計數哭中，具 ΐ使上含粒子的試料流體沿一定方向流動的流路；構;並 •衰官田之見度1父由流路機構所流通的試料流體的粗細 k」、5蚪在相對上述雷射光的行進方向呈直角的方向橫 :巧流：的全寬幅。由此’因為雷射光輻射試料流體的 王見幅，因此可確實進行粒子的計數。 =達=上述目的’第5發明，係在儲放被搬運物的儲存 或是將被搬運物儲放於健存震置的搬 丰又i = t f前端所設的機械手巾，構成機械手的 手：係由中空形狀所構成，同時手叉的厚 的前端而變薄。于又 326\總檔\94\94109741 \TF958005 10 1289201 分的剛性。纟基端厚而前端薄’因此可提高基端部 性另外。大此ΐ力矩成為最大的基端部分可充分確保剛 ，另外’因為前端側較基端側輕，因此手叉的重 端侧，同時，可传丰？入雕ρ曰 在基 / 吏手又王脰輕1化。藉由此等的理由，因 、、另外甩機^人的共振頻率上升，因此可提高作動速度。 物的重曰：又的基端厚而前端薄，因此即使因被搬運 _ 又或被搬運物等的情況發生。手 手再ί在ΪΓί明’係在第5發明之產業用機器人的機械 :、處在手叉t面的被搬運物的支承面為水平面，同時， :下面為向著手又前端傾斜的傾斜面。因此 被搬運物載置於機械手上。 &十將 再者’弟7發明，传力笛ς 2义πα 手，手叉#由石… 之產業用機器人的機械 夂：：係由爾與樹脂的複合材料所構成。因此可獲 件间剛性，同時可圖獲輕量化。 |【實施方式】 以下，參照圖式所示最佳形態，詳細說明本發明之構成。 圖1至圖5顯示本發明之產業用機器 -例。，產業用機器人μ為在淨化空間:且;的 加工、搬運等的作業者。而且 進订、、且破 手10設置測定淨化，n ^主業用枝益人1的機械 此，因為可藉由微;:子二”潔度嶋^ 半導，m曰 4數态來測定載置於機械手10的 h月豆曰曰液晶面板等的工件8的 此可正確檢查。 ^如又丁丑卞里，因 326\總擒\94\9410974 〗\TF958005 11 1289201 該產業用機哭 至製造裴置14 〇係作為從晶圓匣13將工件8 衣置Π的機械臂 件8搬運 •、日日圓匣13及製造裝 此專產業用機器人卜 無塵室内。 、 糸全部設於淨化空間η、亦即 產業用機器人】呈借.7、# 行轉動的第1機械臂5 ::的關節2為中心進 的前端側的關節3 _ 、，於该弟1機械臂5 2機械臂6的前端部㈣=械# 6;及可轉動地連結於第 ，、4内建有皮帶 彼此係分別由定#古w 即3彼此與關節3、4 -定方向邊方:機械手10係以經常邊朝 且琛上移動的方式而設。 置:::=器的吸入°12,如圖4及圖5所示，俜配 置於機械手10的前端。& Ac3 係配 10的前端在機械手10中的自由产最古/。因為機械手 間η内的非常多個位置進行測二二:淨化空 cr的情況，最好使用陶究製的機械手^ 猎由構成機械手1G的㈣本身從^ 口 12 口此， 子計數器本體的吸引管。另外，在工件8 粒 況’最好使用韻合材難的_手1G。該情m清 的内部作為從吸人°12連通微粒子計數器本體的 吸引管而使軟管通過。又’微粒子計數器本體 機械臂内等產業用機器人！的内部、或外部的任—處。； 另外，該產業用機器人1係藉由將基台9可升降及处 地設置於機器人本H 25而被支持。該冑況，藉由使基台 32 6\總檔\94\94109741 \TF958005 12 1289201 身方:降或轉動，可改變使機械手1()直線運動時的高 =下’說明上述產業用機器人1的動作。 r鐘*力内建於機益人本體25的馬達以使關節2的皮帶幹 方疋轉而使機械手10的仞¥‘心 日]反〒輪 機械手1〇升降、L 别後移動，或升降基台9以使 機械手⑺的位置本體25水平移動以調整 使微粒子計數^乍=吏，在機械手10來到指定的位置時 >入…—:作動而從機械手10的前端的吸入口12吸 門ΤΛ Γ測定該空氣中的微粒子量，便可求得淨化空 間11内的微粒子量。 灯工 另外，計測可設置為連續 時間。在此，在產章用機戈疋期進行的測定動作 情、、兄m 1的工件搬運中進行測定的 Μ况’要吸引足夠量、例如 況，-次的吸入量可為如〇 空“困難。該情 ^ , U. 1立方置來測定微粒子量。此 U作紐合計各微粒子量、或是 立方量的空氣，仍可計算出吏一次未吸入1 ,,,,^,, ^^ #出1立方置的空氣的微粒子量的 、、先什方法。该情況，至少可檢丨 有變化。 出對於正常狀態是否產生 藉此，因為無急遽吸入大量空的 叨入品你/曰立1 γ 士 工乳的必要，因此可防止因 發生。另外，因為無吸入大量及起或_事恶 業時間的長時間化。 …的必要’因此可防止作 又，上述實施形態係本發明之-例較佳的實施形態，但 326\總檔\94\94109741 \TF958005 j 3 1289201 並不意味著由此所限定，口 内即可作各種的改變餐明之實質範圍 器的吸入口 12係配置於機械手前 ^也可配置於機械手的根不等：其 因為機械手10的自由度高的緣 在 γ况 的大量位置上進行測定。 在淨化工間11内 另外，本實施形態中’係將產業 驅動裝置，但並不限於此 Α #為機械臂 | h，Γ ^ ^ 也可為其他的裝置。 其次，基於圖式最佳形態，詳細 數器的構成如下。 ^月之❹子計 ^及圖7顯示本發明之微粒子計數器 ;:3Τ粒子計數器51係為將雷射咖 =3 =於該敎區域53内存在的粒子（粉塵）54所產生 的放射光55進行粒子54的計數者。並且 為帶狀的雷射光束。另外，具有使包含 ^料^體56沿一定方向流動的流路機構57。並且，雷射 先、寬度較由流路機構57所流通的試料流體56的粗 /込覓同日^ ’在相對上述雷射光的行進方向的直角方向 形成為橫切試料流體56的全寬幅的狀態。 微粒子計數器51具備：射出雷射光52的光源Μ ·， 使田射光52聚光於試料流體56的投光透鏡59 ;流路機 構Μ ;將試料流體56中的粒子54產生的散射光55聚光 的受光透鏡60 ·，及將該被聚光的散射光55作光電變換的 受先元件61。 326\|®it\94\94109741\TF958005 14 1289201 光源58為雷射二極體。投光透鏡59具備光軸透鏡62 及圓柱透鏡63。在光軸透鏡62使雷射光52為平行光。 •、圓柱透鏡63為2片一組，使橢圓形狀的雷射光52為更為 •扁平的帶狀光線。該雷射光52例如為寬度4mm、厚度5〇 //m的程度。藉由圓柱透鏡63以提高雷射先52的能量密 度。 ^ ^在投光透鏡59的下游側配置有光束袋64。該光束袋64 係為用以收集所投射的雷射光52者。藉此，可減少雷射 光52在微粒子計數器51内部的反射引起的暈光，可減少 入射於受光元件61的地面反射信號的雜訊。藉此，可提 高SN比，提高信號的放大率。 流路機構57具備配置於投光透鏡59的下游側的氣密部 65 ;將試料流體56供給該氣密部65的供應管66 ;及使 氣密部65形成為負壓的吸引泵67。另外，雷射光52與 試料流體56的交匯部分成為測定區域53。 ^ _受光透鏡60面向著測定區域53，同時，其光軸與雷射 光52的光轴垂直。受光元件61係使用附設前置放大器的 SiPIN光電二極體。藉此，可提高感光度與SN比。 以下，說明上述微粒子計數器5丨的作用。 從光源58所發射的雷射光52透過投光透鏡59而成為 帶狀。該帶狀的雷射光52係投射於氣密部65。另一方面， 藉由吸引泵67的作動以使試料流體56在氣密部65中流 通。然後，雷射光52通過試料流體56。 當試料流體56中含有粉塵時，從測定區域53產生散射 326\總檔\94\94109741\丁？958005 1289201 光55。該散射光55介由受光透鏡6〇而入射於受光元件 6卜然後’因為從受光元件61所獲得的電輸出的脈衝的 .大小與粒+ 54的粒徑具有關聯關係，因此可從電輸出的 脈$的大小求得粒子54的粒徑。另外，因為在粒子54通 過日ττ產生脈衝，因此可從脈衝的次數求得粒子數量。 、，又，上述實施形態係本發明之一例較佳的實施形態，但 並不…、未著由此所限定，只要在未超出本發明之實質範圍 籲内即可作各種的改變。例如，本實施形態中，從投光透鏡 59出射的雷射光52係直接通過試料流體56,但並不限於 此，也可如圖8所示，在投光透鏡59前設置反射鏡⑽， 而雷射光52在經過反射後再通過試料流體56。若如此的 話，因為可折彎光路因此可獲得微粒子計數器51的小型 化。 另外，本實施形態中，試料流體56的流動係與雷射光 52的覓度寬闊面形成45度的角度，但並不限於此，也可 _如圖9所示，形成為90度的角度。圖9所示微粒子計數 器51中，從光源（未圖示）所發射的雷射光52係透過2片 圓柱透鏡63，被壓縮於與圖面垂直的方向而形成為帶狀。 並且在與圖面垂直的方向以流動試料流體56的方式設置 供應管66及吸引泵。 又，上述各實施形態中，係使用圓柱透鏡63而將橢圓 形狀的雷射光5 2形成為更為爲平的形狀，但並不限於 此，也可將橢圓形狀的雷射光52直接照射於試料流體 56。該情況，因為雷射光52為寬幅的帶狀，因此可幅度 326\總檔\94\94109741YTF958005 16 1289201 寬廣地照射試料流體56。 另外，上述各實施形態中，係將雷射光52直接照射於 ·_流動於供應管66及吸引泵67之間的試料流體％，’但並 •-不限於此，也可在透過雷射光52的透明體组成的管路内 流動試料流體56，並從其外部照射雷射光52。 又、’本實施形態中，從光源（未圖示）所發射的雷射光 52係透過2片圓柱透鏡63，被壓縮於與圖面垂直的方向 而形成為帶狀’但並不限於此’也可如圖16所示微粒子 計數器510般，僅構成一片圓柱透鏡63(作為投光透鏡59 的），而使雷射光52通過試料流體56 ^若如此的話，通 過圓柱透鏡63的雷射光52並非完全為平行光，但因為並 载區域53狹窄，因此可視作為平行光，從而與上述本 貫施形態相同可求得微粒子量。 另外，在圖16所示微粒子計數器51〇，在與受光元件 61及叉光透鏡60的相反侧配置反射鏡7〇。藉此，可將 j射於受光元件61相反側的散射光55,由反射鏡7〇進行 反射而聚S於受光元件61’可更為有效地求得粒子數量。 /下’基於圖式最佳形態，詳細說明本發明之搬運用機 為人的機械手的構成。 圖11至圖13顯不本發明之搬運用機器人81的機械手 六：一例實施形態。這是設置於從儲放被搬運物8 3的儲 子、置取出被搬運物83 ’或將被搬運物⑽儲放 置的搬運用機器人81的機械臂前端者。另外，構成機子^ 手82的手又84形成為中空形狀，同時，手叉84的厚： 3 26\總檔\94\941 〇9741\TF958005 17 1289201 2著朝向手叉84的前端而變薄。因此在力矩成為最大的 二端部分可充分確保剛性。另外，因為前端側較基端側 :此手ΐ 84的重心在基端側’同時，可使手叉84全 ，-版工里化。藉由此等的理由，因為搬運用機器人Μ 振頻率上升，而可提高作動速度。 " 本貫施形態中，如圖12及圖13所示，機械手 8下二具 =段平行的3根手叉84。因此，可由機械手 鲁、— 人動作來搬運2片被搬運物83。在各手叉84中， 处在手叉84上面的被搬運物83的支承面 同時’手wb為向著手又84前端傾二： 面。因此，可水平將被搬運物83載置於機械手们上 外，手叉84的左右側面平行。 —手又84的管壁厚度為—定。但是並不限於此，也可 官壁的厚度設置為前端側較薄。被搬運物83如可為大刑 液晶玻璃。 j马大型 •手叉84係由碳纖維與樹脂的複合材料所構 同時可圖獲輕量化。在此，由碳纖二樹 月曰的複5材料來形成手叉84的方法，也: 於筒形狀的碳纖維内者的已知或新穎的方法。心 另外，具有該機械手82的搬運用機器人8 組零件：可以基台85上的關節86為中心進行轉=2 機械臂87 ;可轉動地連結於第1機械臂87的前端側1 機械臂89;及可轉動地連結於 的則端部的關節90的機械手82。在各 =89 326\總檔\94\94109741YTF958005 18 1289201 内建有皮帶輪，同時，關節δ6、88彼此與關節 此係分別由定時皮帶連結，該機械手82係以 彼 定方向邊沿直線上移動的方式而設。 、朝— 搬運用機器人81具備升降機構。也就是說，機 89及機械手82可在升降機構的最低高度(圖 、 顯示）與升降機構的最高高度（圖13 霄線 夕戸弓Λ H夂 ^ 廢線顯示） 之間升卜。另外，搬運用機器人81可沿著導轨 以下，說明上述搬運用機器人81的機械手”二二。 藉由機械臂87、89以使機械手82移動，從儲 。 搬運物83的儲存裝置取出被搬 ^被 Λ Q1 ο , Μ ’版運用機哭 乙、振頻率上升’因此可充分加快機械手82的作;: 速度。藉此，可縮短作業時間。 載置後使機械臂87、89作動而將被搬運物83移動至户 理裝置及其他儲存裝置等的指定位置。在此，因為手叉处 84的支承面84a為水平面，因此可將被搬運物μ _jc平狀態。而且，因為手叉84的基端厚而前端薄：因此 即使因被搬運物83的重量使得前端側向下方彎曲，仍可 防止上側的手叉84的下面84b干擾載置於下面的手又以 的被搬運物83的情況發生。 、，又上述貝施形悲係本發明之一例較佳的實施形態，但 並不意味著由此所限定’只要在未超出本發明之實質範圍 内即可作各種的改變。例如，本實施形態中，手叉上 面為水平面，同時，手叉84下面84b為傾斜面，但並不 限於此，也可使上面為下傾的傾斜面而下面8扑為水平面 326V總檔 \94\94109741VTF958005 19 1289201 或上傾的傾斜面。或是，例如，如圖14所示，手叉84的 左右側面84c、84d也可為前端側變細的傾斜面。該情況， 也可將左右側面兩面或其中—面設置為傾斜。此時的手又 84的上下面在水平面也可為尖細的傾斜面。 另外’本實施形態中，手叉84的材質為碳纖維與樹脂 的複合材料，但並不限於此，也可為其他的金屬材料等。 (發明效果） .如上述說明可知，根據第1發明之產業用機ϋ人，因為 將微粒子計數器設於產業用機器人的機械手部，因此，可 測定保持於機械手部的半導體晶圓及液晶面板的附近。藉 此。可高精度進行微粒子量的檢測。 3 :外’因為機械手部可自由移動’因此可在例如晶圓Ε ^造裝置的附近等的淨化空間㈣多數個位置進行測 定。於是，藉由連續檢查可容易追究出狀況的變化及原 因。如此般’藉由在多數個位置進行連續檢查，可迅速發 齡現異常’同時容易進行原因的狀化。藉此，可迅速除^ 原因，可將不良品的發生抑制在最小限度，以提高工作效 率。 根據第2發明之產業用機器人，因為微粒子計數器的吸 =係配置於機械手部的前#，因此，從機械手部的前端 /械手部中的自由1最高的緣故，可在淨化空間内的非 系多個位置進行測定。 如上述說明可知，根據第3發明之微粒子計數器，因為 雷射光係形成為帶狀的雷射光束，因此與如以往般聚光為 326\Hit\94\94109741\TF958005 !289201 :占：：雷射光比較’可擴大其檢測區域。由此，因為可在 2 —早位時間内通過大量的試料流體，因此可圖獲吸引果

一々小型化及檢測電路的簡單化。1¾胃 π H • 士別 屯吩W間早化而且，不會招致吸引泵的 及檢測電路的複雜化，可進行精確度更高的污濁度 、二員：及：早時期的警報的發布。藉此，可在無塵室被污 /蜀刖進行警告。 =根據第4發明之微粒子計數器，因為雷射光在相 鲁入=射光的料方向呈直角的方向輕射試料流體的 王見f田，因此可確實進行粒子的計數。 如=說明可知，根據第5發明之產業用機器 二生Γ又的基端厚而前端薄，因此可提高基端部分的 :。因此在力矩成為最大的基端部分可充分確保剛性。 另外’因為前端側較基端侧輕，因此 侧’同時’可使手又全體輕量化。另外，手又的二基: 樣也可體現在搬運用機哭人6/^一曰y 卞又3孝工里化叼 ^ π , 械為人的輕量化上。藉由此等的理 傷由，因為搬運用機器人的丑 攀 曰搌頻率上升，因此可提高作動 速度。因而，可縮短作業時間。 另外，因為手叉的基端屋 物的重量使得前端側向下方/^涛，因此即使因被搬運 叉或被搬運物等的情況發生。 手 再者’根據第6發明夕方餐 Α + 7 知月之產業用機器人之機械手，因為年 叉的支承面為水平面，同 u為手 斜的傾斜面，因此，可水平=下面為向者手叉前端傾 爯者，奸撼楚7八 運物載置於機械手上。 再者根據弟7發明之 326\總檔\94\94109741 \TF958005 1289201 因此可獲得高剛 :係二t纖維與樹脂的複合材料所構成， ，同時可圖獲輕量化。 【圖式簡軍說明】 用機器人的生產線的一 圖1為顯示應用本發明之產業 部分的俯視圖。 ” 視 ^。：、、1 U產#用機11人的生產線的—部分的前 顯，產f用機器人的主要零件的立體圖。 ;5 ::不機益人的機械手部分的放大俯視圖。 圖5為機械手部分的側視圖。 圖 圖6為顯示本發明之微粒子計數器的原理的概要立體 圖7為顯示微粒子計數哭的如 圖7⑻為侧視圖。十數°°的概要圖，圖7⑴為俯視圖， 為顯示本發明之微粒子計數器的另一例的概要俯 =為^示本發明之微粒子計數器的再—例的俯視圖。 =為顯7知微粒子計數器的主要部分的概要圖。 為顯示本發明之搬運用機器人的機械手的側視 圖。 圖12為顯示本發明之搬運關ϋ人的俯視圖。 圖13為顯示本發明之搬運用機器人的側視圖。 圖14為顯不本發明之機械手的其他實施形態的俯視 圖0 326\總檔\94\94109741\TF958005 22 1289201 圖]5為顯示習知搬 m 1 β 自^傲建用機态人的立體圖。 回馮頌示其他實施形態的微粒子計數器的概要 圖则為顯示其原理的概要立體圖，圖 要圖’ 圖的側視圖。 J為該概要 【主要元件符號說明】 1 產業用機器人 2 關節 3 關節 •4 關節 5 苐1機械臂 6 第2機械臂 8 工件 9 基台 10 機械手 11 淨化空間 ·12 吸入口 13 晶圓匿 14 製造裝置 25 機器人本體 51 微粒子計數器 52 雷射 53 測定區域 54 粒子（粉塵） 55 散射光 326V總檔·\94\94109741\TF958005 23 1289201 5 6 試料流體 57 流路機構 58 光源 59 投光透鏡 60 受光选鏡 61 受光元件 62 光軸透鏡 63 圓柱透鏡 光束袋 65 氣密部 66 供應管 67 吸引泵 68 反射鏡 70 反射鏡 81 搬運用機器人 ^ 2 機械手 83 被搬運物 84 手叉 84a 被搬運物83的支承面 84b 手叉84的下面 85 基台 86 關節 87 第1機械臂 88 關節 326\總檔\94\94109741VTF958005 24 1289201 89 第2機械臂 90 關節 91 導軌 100 微粒子計數器 ' 101 雷射光 102 光源 103 投光透鏡 104 試料流體 •l05 流路機構 106 散射光 107 受光透鏡 108 受光元件 109 檢測區域 501 搬運用機器人 502 關節 ^03 關節 504 關節 505 第1機械臂 506 第2機械臂 508 工件 509 基台 510 機械手 510a 手叉 326\總檔\94\94109741仰958005 25

Claims (1)

1289201 APR 1 7 2007 十、申請專利範園·· 替换本 L 一種微粒子計數器，係可將雷射光照射於測定區域， ϋ基於該測定區域内存在的粒子所產生的散射光進行粒 .子之計數者，其特徵為，上述f射光係形成為 光束。 田射 2·如申請專利範圍第1項之微粒子計數器，其中，具有 使包含上述粒子的試料流體沿一定方向流動的^路機一 構；、並且’上述雷射光之寬度較由上述流路機構所流通的 上述試料流體的粗細還寬，同時，在相對上述雷射光的行 進方向呈直角的方向橫切上述試料流體的全寬幅。 3. 如申請專利範圍第1項之微粒子計數器，其中，具有 使包含上述粒子的試料流體以某粗細沿一定方向流動的 流路機構，上述試料流體的流動與上述雷射光之寬度寬 面形成45度。 又* 4. 如申請專利範圍第3項之微粒子計數器，其中，於照 •射在上述測定區域的雷射光之光軸之垂直方向上，配置受 光元件，其係接受存在於上述測定區域的粒子所產生的散 射光。 月 326\總槍\95\951G8122\951G8122(替換)-1 26 1289201

货年7第日 修正本 FEB 1 5 2007 替换冬

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