TWI281003B - Pump - Google Patents

Description

1281003 * i (1) 九、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明，是關於超臨界co2流體或流 的泵浦。 【先前.技術】 超臨界流體，因其在溫度、壓力的操作 變體積（密度），所以溶解特性等的各種物 容易控制，因此可做爲冷媒來活用。再加上 體其黏性低擴散性高，所以可使用在洗淨領 其熱傳導性大，所以可期待做爲冷媒來活用 做爲超臨界流體，從取得容易方面來看 爆炸及可燃性等在操作處理性上是爲良好的 般是利用「水」、「C02」等。特別是C02 :臨界溫度是31°c，臨界壓力是7.38MPa， 相比時溫度、壓力均爲較低操作處理性較佳 常溫下是爲氣體狀態。所以廣泛地被利用在 品、香料）的萃取溶媒，或利用乾燥性滲透 上。此外，於使用超臨界C02的萃取裝置或 通常是將超臨界C02加壓成7〜20Mpa程度^ 上述裝置中C02搬運用的泵浦，因是要 ，所以是採用所謂的非密封屏蔽形式的泵浦 時是使用滾珠軸承，雖然這是使用在溶液（ 若爲使用在食品或半導體領域時，由於爲了 C〇2搬運用 下會連續性改 理性質値是屬 由於超臨界流 域，或者，因 〇 ，此外從不具 方面來看，一 ，因其特徵爲 與其他的物質 ，於大氣壓、 怕熱物質（食 性的洗淨劑等 洗淨裝置中， 技使用。 在高壓下使用 。做爲軸承有 co2)中，但 防止在泵浦內 -5- 1281003 (2) 部產生雜質（微粒），因此不允許軸承有所磨損。 然而，因滾珠軸承是使用在黏性低的超臨界co2 (或 '液體co2)內，所以無法期望有揚液造成的潤滑，因此對 於軸承的磨損是爲嚴苛的環境條件。再加上，於進行洗淨 的裝置中，爲了可更提高其洗淨能力，有時也會在co2中 混入洗淨藥液來使用，因此也是需要考慮到藥液將造成滾 珠軸承的腐蝕等。 作用在轉子上的徑向負載及推力負載是由該滾珠軸承 來承受。又加上，是由設置在下述葉輪側相反側的軸端側 軸承上的加壓彈簧來施賦加壓負載，以形成爲是能夠防止 所謂軸承的公轉滑動（橫向滑動）的構造。然而，就上述 構造的泵浦而言，因是使用在揚液中（所謂熱浸狀態）， 所以滾珠及保持器的旋轉阻力（攪拌損耗）大，容易產生 軸承的公轉滑動，因此爲防止該現象發生有時需要施加更 大的加壓負載。 另一方面，爲要確保軸承的壽命，所以包括有加壓負 載在內的軸承負載是以盡量形成爲小爲佳，但因是使用在 揚液中所以必須兼顧到公轉滑動防止對策來進行泵浦的設 計0 【發明內容】 本發明有鑑於以上問題點，因此其目的是在於提供一 種超臨界co2流體或流體co2搬運用的泵浦，其是爲藉 由軸承部的最佳化來確保可靠性的超臨界.co2流體或流體 -6- 1281003 • > (3) C〇2用泵浦。 爲達成上述目的，本發明，是於超臨界co2流體或流 體C〇2搬運用的泵浦中，對上述泵浦驅動用馬達主軸進行 軸支承的軸承，其內環及外環以及滾珠（轉動體）分別是 由陶瓷材形成。 此外，對上述滾珠進行保持的保特器，是爲由外環的 內周面來進行引導的外環引導，或者是爲由內環的外周面 來進行引導的內環引導，另外，外環或內環的引導面是爲 軸方向的兩側面或單側面。 此外，上述軸承的內環的溝槽半徑率是爲52 %以上。 接著，上述主軸是爲空心軸。 習知的內環軌道溝槽的曲率半徑，例如JIS規格的規 定是爲52%程度。就超臨界C02流體環境氣中所使用的滾 動軸承而言，特別是於高速旋轉區域中，容易產生損耗， 該損耗可以說大部份是來自於自轉滑動。斜接（斜角）滾 球軸承的滾珠，普通於內環或外環當中的任一軌道面是幾 乎不滑動地進行滾動，而在另一方的軌道面產生自轉。 另外，就斜接滾球軸承而言，其內環的軌道溝槽的曲 率半徑是比外環還小，又，在施加有負載時的接觸橢圓的 長徑是爲較長。因此，就內環而言滾珠的自轉運動是受到 妨礙（內環引導），所以是在外環軌道出現完整的自轉運 動。然而，變成高速旋轉（並且負載小）時，因離心力的 效果變大，所以就容易成爲外環引導。 於本發明中，是著眼在對損耗影響大的自轉滑動和內 1281003

• I (4) 環的軌道溝槽的曲率半徑，因藉由將自轉滑動造成的PV 値（軸承面壓P和滑動速度V的積數）變小，是可使損 耗降低，所以更具體的說，是藉由將內環的軌道溝槽的曲 率半徑形成爲要比標準値還大，將滾珠和軌道溝槽間的接 觸區域變小，以使PV値變小。 根據本發明中的超臨界C〇2泵浦用滾動軸承時，因滾 珠、內環及外環是以陶瓷形成，所以耐損性提昇，並且， 因內環軌道溝槽的曲率半徑是爲滾珠徑的52%以上，又特 別是大於54%，所以內環側的接觸區域變小，其結果， PV値也變小，可進一步使損耗更爲降低。因此，就能夠 防止滾動軸承的耐久性降低，以致使用該滾動軸承的超臨 界C02泵浦，在振動變大時不會產生無法繼續使用的問題 的。 另，內環軌道溝槽的曲率半徑的上限，雖並無特別限 定，但因顧慮到其他方面的功能所以其上限是爲滾珠徑的 6 0%程度。此外，對於外環的軌道溝槽的曲率半徑也無特 別限定，通常，外環的軌道溝槽的曲率半徑是爲滾珠徑的 50.5%以上並且是爲60%以下。 另外，對上述滾珠進行保持的保持器’是爲旋轉環引 導。或者，對上述滾珠進行保持的保持器’是爲固定環引 導，引導面是只形成在自滾珠中心起的軸方向單側。 要使固定環的引導面只形成在軸方向單側時’若是爲 固定環引導的狀況，也可將外環的軸方向單側的內徑變大 ，使外環的大徑部的內周面和保持器的外周面是成不接觸 -8 - 1281003 (5) ，此外，也可將保持器的軸方向單側的外徑變小，使保持 器的小徑部的外周面和外環的內周面是成不接觸。另外， 若是爲旋轉環引導的狀況，也可將內環的軸方向單側的外 徑變小，使內環的小徑部的外周面和保持器的內周面是成 不接觸，此外’也可將保持器的軸方向單側的內徑變大， 使保持器的大徑部的內周面和內環的外周面是成不接觸。 就流體環境氣中所使用的滾動軸承而言，主要是利用 流體阻力，特別是在高速旋轉區域中使轉動體（滾珠）的 公轉（保持器的旋轉）產生遲緩，使應滾動接觸的軌道環 和轉動體之間產生滑動（公轉滑動）。當公轉滑動產生時 ，有時會導致軌道環或轉動體短期間損傷以致不可能繼續 使用。就本發明而言，是著眼在該公轉滑動上，藉由抑制 公轉滑動，以使滾動軸承的繼續使用成爲可能。 具體而言，其一是將保持器爲旋轉環引導，藉由用與 旋轉環的接觸造成的推力及引導部所具有的流體推力來減 少保持器的公轉遲緩（將保持器朝公轉方向進行驅動）， 以抑制其公轉滑動。另一是將保持器爲固定環引導，以引 導面是只形成在自轉動體中心起的軸方向單側的構成，藉 由旋轉的保持器所承受來自於固定環的阻力（接觸造成的 磨擦及流體的黏性阻力）的減少’以抑制其公轉滑動。 【實施方式】 〔發明之最佳實施形態〕 接著，是參照圖面對本發明的實施形態進行說明。第 -9- 1281003 (6) 1圖爲表示本發明一實施形態相關的C〇2泵浦構成剖面圖 。泵浦1，具有吐出·吸入側套管2和排放側套管3及爲 這些構件所夾持的外筒4。此外，於吐出•吸入側套管2 的外側，設有可進行揚液吸入及吐出的岐管5。 於外筒4內配置著泵浦1驅動用的屏蔽馬達6’該屏 蔽馬達6具備有外側的定子6a和收容在定子6a內的轉子 6b。轉子6b，是安裝在主軸7上，主軸7，是由設置在吐 出•吸入側套管2上的斜角滾珠軸承8及設置在排放側套 管3上的斜角滾珠軸承9，在兩端支撐即軸支承成可旋轉 〇 在吐出•吸入側套管2和岐管5之間，配置著葉輪 10，該葉輪10是安裝在主軸7的一端上，形成爲是與主 軸7連動成可旋轉。於岐管5，在自主軸7 —端起的延長 軸線上，開孔著揚液的吸入口 5 a，此外，於葉輪1 0的周 圍設有螺旋套管5b。再加上，吐出口 5c是自路徑5b的 周緣部一處朝半徑方向開口在岐管5的外周面。 另一方面，於排放側套管3，在自主軸7另一端起的 延長軸線上，開孔著可吐出所吸入揚液一部份的排放口 3 a。此外，在排放側套管3和斜角滾珠軸承9之間，夾持 著加壓彈簧11。該加壓彈簧11，是位於主軸7另一端周 邊的環狀波板彈簧，以定壓彈簧方式對斜角滾珠軸承9施 加軸方向的加壓。另，是將斜角滾珠軸承8稱爲葉輪側軸 承，是將斜角滾珠軸承9稱爲軸端側軸承。 於以上所說明的泵浦1中，當屏蔽馬達6的轉子6b -10- 1281003 • » (7) 及主軸7進行轉動，使連動於該轉動的葉輪1 〇進行轉動 時’如箭頭符號A所示，揚液會從吸入口 5 a被吸入，藉 由葉輪1 〇的離心力使其導向路徑5b，最後如箭頭符號B 所不’揚液會從吐出口 5 c被吐出來。另外，自吸入口 5 a 吸入的揚液的一部份，是通過斜角滾珠軸承8、9及屏蔽 馬達6內’對這些構件進行冷卻的同時，如箭頭符號c所 示成爲排放流從排放口 3 a被吐出來。 於本發明中，是以提昇耐損性、耐蝕性及降低高速旋 轉時的離心負載爲目的，對斜角滾珠軸承的內外環及滾珠 採用陶瓷材料（例如氮化矽Si3N4、氧化鋁Al2〇3、碳化 矽Si02等）。如此，將軸承材料整體陶瓷化，針對於來 自外部所帶入的微粒不但可提昇耐損性，又能夠在不允許 有金屬微粒（磨損粉）的用途上獲得金屬污染防止效果。 此外，是使磨擦損失（旋轉阻力）變小來進行保持器 的設計。藉此，可防止公轉滑動及可降低加壓負載（推力 軸承負載），能夠實現軸承的長壽化。保持器的材料，以 針對洗淨劑時的耐蝕性、耐損性及針對高速旋轉時的強度 確保觀點來看，是使用PEEK材（聚醚酮醚）。針對於此 ，例如是藉由使用含有30%玻璃纖維的PEEK材，可形成 爲更高強度的保持器。再加上，是以可在高速、高負載條 件下提昇耐損性耐剝離功能爲目的，來達到滾珠和內外環 的軌道溝槽的半徑比率爲最佳化。另外，藉由使其浸含有 PTFE、碳等的固體潤滑材，可提昇滾珠軸承在潤滑性差 的超臨界C02流體或液體C02中的耐損性。 -11 - 1281003

暑 I (8) 第2圖爲表示本實施形態相關的軸承模式性主要部剖 面圖。另，該圖雖是表示斜角滾珠軸承8的狀況，但斜角 滾珠軸承9只是該圖左右翻轉形成，基本構造上兩者是相 同。如該圖所示，本實施形態中的斜角滾珠軸承8，是由 內環8a、外環8b，及被內環8a和外環8b夾持的滾珠8c ’以及可對滾珠8 c進行保持的保持器8 d所形成。 外環8b的內周，是由滾珠8c進行滾動的軌道溝槽 8ba和其軸方向兩側的內周面8bb所構成。另外，內環8a 的外周，是由滾珠8c進行滾動的軌道溝槽8aa和其軸方 向單側的最外周面8ab及在另一單側是連續自軌道溝槽 8aa的外周面8ac所構成。此外，保持器8d，是爲配置在 內環8a和外環8b之間的環狀構件，在其整個全周的指定 處，滾珠8c塡入用的口袋8da從軸心看是以等角間距張 開著。另，圖中的α是爲接觸角度。 習知的C02泵浦中的滾珠軸承，全部是爲不銹鋼，或 者是只有滾珠部份是爲陶瓷而內外環是爲不銹鋼，但於本 實施形態中，如上述，是形成爲滾珠及內外環均是爲陶瓷 的整體陶瓷軸承。此外，習知的軸承的保持器，是爲由外 環的軸方向兩側的內周面來進行引導的外環兩側引導，但 於本實施形態中保持器是爲內環引導，更詳細地說，是爲 由內環的軸方向單側的外周面來進行引導的內環單側引導 〇 具體而言，於第2圖中，是形成爲由內環8a的最外 周面8ab來對與其成相向的保持器8d的內周面8db進行 -12- 1281003 (9) 引導的構成。藉此，因在使內環8a旋轉的同時也使 器8 d變成容易旋轉，所以能夠減少保持器8 d的旋轉 (磨擦損失），能夠實現軸承的公轉滑動防止。其他 可考量是採用無保持器的整體滾珠軸承，來做爲減少 損失的手段。 此外，滾珠軸承的磨損性和長壽化是爲相反關係 本實施形態中，是藉由對滾珠徑和內外環的軌道溝槽 的比率（溝槽半徑率）進行調整，以實施達成兩全其 設計。溝槽半徑率的範圍，是以溝槽半徑/滾珠徑 =5 2%以上爲對象。再加上，是以52〜56%的範圍內 ，其中特別是以大於5 4 %爲佳。 於此，對本實施形態相關的軸承重新進行詳細說 本實施形態的軸承，如第3圖所示，是爲斜接（斜角 珠軸承’具有外環112、內環113及配置在外環112 環1 1 3之間的複數爲轉動體的滾珠1 1 4，以及對滾珠 進行保持的保持器115。外環112、內環113及滾珠 ’均是爲氮化矽製，保持器115，是爲耐熱高功能樹 PEEK (聚醚酮醚）製。 保持器1 1 5，其外徑是形成爲要比外環η 2的內 若干小（0.15mm程度），使其得以被成爲固定環的 1 1 2引導而順利地進行旋轉。接著，外環1 ] 2，是由 有要比保持窃115的外徑還若干大（〇.i5mm程度） 徑的左半部小徑部1 1 2 a ;及，具有要比保持器1 ] 5 徑還相當大的內徑的右半部大徑部1 1 2 b所構成， 保持 阻力 ，也 磨擦 ，於 半徑 美的 X 1 00 爲佳 明。 )滾 和內 114 114 脂的 徑還 外環 :具 的內 的外 外環 -13- 1281003 (10) 1 1 2的軌道溝槽，是形成爲遍及整個小徑部1 1 2 a及大徑 部1 1 2的雙方。 藉此，使引導保持器115的引導面是只形成在外環 1 1 2的軸方向單側（自滾珠中心起左側）。另，上述所謂 「相當大的內徑」，是指在外環1 1 2和保持器11 5的相對 旋轉時，左半部中的兩者相向面間幾乎是沒有靜止磨擦作 用程度般相當大的相向面間距離。 第4圖所示的滾動軸承111，其只有保持器是不同於 第3圖的軸承’該保持器116，其內徑是形成爲要比內環 113的外徑還若干大，使其得以被成爲旋轉環的內環113 引導而順利地進行旋轉。 第5圖，是表示上述滾動軸承111的評估裝置。該評 估裝置1 2 1，是對滾動軸承1 1 1的公轉滑動進行評估的裝 置，具備有圓筒狀的殼身122和可與該殻身122進行相對 旋轉地被收容在內的旋轉軸123，在距離殼身122和旋轉 軸123之間軸方向的2處，可配置對旋轉軸123進行旋轉 支撐的左側及右側的滾動軸承11 1、Π 1。 旋轉軸1 2 3，是於其左端部，連接於空氣渦輪機的驅 動部（省略圖示）。於2個滾動軸承間的外環側，介設有 可使它們承載軸向負載的圓筒狀線圈彈簧124，於2個滾 動軸承間的內環側，介設有圓筒狀襯套1 2 5。接著，是將 非接觸位移計1 2 6配置成面臨著右側滾動軸承1 1 1的右端 面。 在右側滾動軸承1 Π的保持器1 1 5的右面圓周方向的 -14- 1281003 (11) 指定部位，施有鋁的塗裝，藉此，使位移計1 2 6檢測出保 持器115的鋁塗裝部的通過頻率，根據保持器的轉數從該 頻率算出滾珠1 1 4的公轉轉數。 使用上述評估裝置1 2 1，對滾動軸承1 1 1的滾珠1 1 4 的公轉轉數nC進行實測，藉由從該實測數和以理論性算 出的滾珠公轉轉數nT來算出公轉滑動率（％) = (ητ — nC )/ ηΤ X 100，可對不同規格的滾動軸承進行其公轉滑 動的評估。另，ηΤ是以α爲接觸角度來算出： ηΤ=內環的轉數χ(ΐ-滾珠徑xcos α /滾珠的間距徑）/2 經如此所算出的公轉滑動率如第6圖及第7圖所示。 於第6圖的圖表中，白色三角印（及曲折線a)是表 示軸向負載爲6.5 kgf時的外環單側引導的滾動軸承111 ( 第3圖所示）的公轉滑動率，白色四角印（及曲折線b ) 是表示同軸承111在軸向負載爲23kgf時的公轉滑動率， 黑色三角印（及曲折線c)是表示軸向負載爲6.5kgf時的 外環兩側引導的滾動軸承（比較例）的公轉滑動率，黑色 四角印（及曲折線d )是表示同軸承在軸向負載爲23kgf 時的公轉滑動率。從該圖表中得知，第3圖所示的滾動軸 承1 1 1，其公轉滑動率是要比引導面是形成在軸方向兩側 的滾動軸承的公轉滑動率還小，顯示出使滾動軸承1 1 1損 耗性惡化的公轉滑動率是有改善。 於第7圖的圖表中，白色三角印（及曲折線a)是表 示軸向負載爲6.5kgf時的內環單側引導的滾動軸承II1 ( 第4圖所示）的公轉滑動率，白色四角印（及曲折線b) -15- 1281003 (12) 是表示同軸承111在軸向負載爲2 3 kgf時的公轉滑動率， 黑色三角印（及曲折線c )是表示軸向負載爲6.5 kgf時的 外環兩側引導的滾動軸承（比較例）的公轉滑動率，黑色 四角印（及曲折線d)是表示同軸承在軸向負載爲2 3 kgf 時的公轉滑動率。從該圖表中得知，第4圖所示的滾動軸 承1 1 1，其公轉滑動率是要比外環引導且引導面是形成在 軸方向兩側的滾動軸承的公轉滑動率還小，顯示出使滾動 軸承11 1損耗性惡化的公轉滑動率是有明顯的改善。 第6圖、第7圖雖是使用水所獲得的試驗結果，但是 在超臨界C02環境氣中，與水相比其比重、黏性會變小， 所以可確實期待上述效果。因此，根據上述第3圖及第4 圖所示的滾動軸承111時，即使是在對軸承而言是嚴苛條 件的超臨界C02環境氣中，也能夠防止軸承的耐久性降低 ，以致使用該滾動軸承的超臨界C02泵浦得以長期間地連 續使用。 於以下，表示本實施形態所使用的滾珠軸承的特性解 析結果。於此是針對內環1 1 3的軌道溝槽的曲率半徑是大 於滾珠徑的54%以上時所形成的效果，其具體例，以內徑 爲0 1 0的斜接滾珠軸承來計算的結果是下述所示。 即，當將內環1 1 3的軌道溝槽的曲率半徑形成爲滾珠 徑的52%至56 %時，於軸向負載爲50N的狀況時，PV値 是從 747 (Mpa· m/s)減少至 553 (Mpa· m / s)，於 軸向貪載爲100N的狀況時，pv値是從935 (Mpa· m/s )減少至708 (Mpa· m/s)，以平均來講是減少約3 / 4 -16- 1281003 . * (13) 。如此，得知可使pv値變小，藉此，能夠降低損耗。 上述效果，是藉由將在內環1 1 3側的接觸面積變小， 即使在內環1 1 3側產生滑動時，其PV値也是形成爲較小 來獲得的效果，從該觀點出發來進行更詳細的解析時，得 知若要使PV値有效性地變小，則最好是將內環軌道溝槽 的曲率半徑形成爲是大於滾珠徑的5 4 %。內環軌道溝槽的 曲率半徑的上限，從其他功能來看該上限是爲滾珠徑的 6 0%程度。外環軌道溝槽的曲率半徑，並無特別限定，只 要是在滾珠徑的50.5%以上並且是在60%以下即可。 然而，超臨界C02，通常是使用在35〜100°C的範圍 ，另一方面，就馬達的主軸材和支撐該主軸材的軸承內環 而言，是有線膨脹係數的差値。即，主軸材通常顧及其耐 蝕性是會採用沃斯田（austenite )類不銹鋼，所以線膨脹 係數是較大，而軸承內環如上述是爲陶瓷製，所以線膨脹 係數是較小。 因此，就要顧慮到溫度上昇時主軸膨脹所造成的軸承 內環破損。基於這樣的考量，如第8圖所示，藉由在主軸 7的軸心設有可兼爲葉輪安裝螺栓用的穿透孔7a形成爲 空心軸，使主軸7的膨脹可釋放在內側，以達到能夠緩和 要產生在斜角滾珠軸承8的內環8a中的應力。另，於同 圖中表示著葉輪側的構成，軸端側雖沒有螺栓，但視爲同 樣。 此外，本發明所使用的軸承的轉動體雖是採用滾珠， 是爲滾珠軸承，但並不限定於此，也可以是爲採用圓柱狀 -17- 1281003 (14) 或圓錐狀的滾子軸承。 根據上述的說明，明確表示出對於本發明是可進行種 種修飾或變形。因此，本發明，是可被理解成不受限於具 體性的記述，實施在所附記的申請專利範圍內的發明。 〔產業上之可利用性〕 如以上說明，根據本發明時，是能夠提供一種超臨界 co2流體或流體co2搬運用的泵浦，其是爲藉由軸承部的 最佳化來確保可靠性的超臨界co2流體或流體co2用泵 浦。 【圖式簡單說明】 第1圖爲表示本發明一實施形態相關的co2泵浦構成 剖面圖。 第2圖爲表示本實施形態相關的軸承模式性主要部剖 面圖。 第3圖爲表示本實施形態相關的滾動軸承縱剖面圖。 第4圖爲表示本實施形態相關的滾動軸承縱剖面圖。 第5圖爲表示本實施形態相關的滾動軸承評估裝置縱 剖面圖。 第6圖爲表示滾動軸承的評估結果圖表。 第7圖爲表示滾動軸承的評估結果圖表。 第8圖爲表示主軸爲空心軸樣子的模式性剖面圖。 -18- 1281003 (15) 【主要元件之符號說明】 1 :泵浦 2 :吐出•吸入側套筒 3 =排放側套筒 3 a :排放口 4 :外筒 5 :岐管

5 a :吸入口 5b :螺旋套管（路徑） 5 c :吐出口 6 :屏蔽馬達 6a :定子 6 b :轉子 7 :主軸 7a :穿透孔 8a :內環 8aa :軌道溝槽 8bb :最外周面 8ac :外周面 8 :斜角滾珠軸承 8b :外環 8ba :軌道溝槽 8bb :內周面 8 c :滾珠 19- 1281003 (16) 8d :保持器 8da : □袋 8db :內周面 9 :斜角滾珠軸承 10 :葉輪

1 1 :加壓彈簧 1 11 :滾動軸承 1 1 2 :外環 1 1 2 a :小徑部 1 1 2 b :大徑部 Π 3 :內環 1 1 4 :滾珠 1 15，1 16 :保持器 1 2 1 :評估裝置 122 :殼身

123 :旋轉軸 124 :圓筒狀線圈彈簧 126 :非接觸位移計 α :接觸角度 -20-

Claims (1)

1281003 Q (1) 十、申請專利範圍 第93 1 21956號專利申請案 中文申請專利範圍修正本 民國95年10月5曰修正 … 1· 一種泵浦，其是爲了使超臨界C02流體循環的泵 广 浦，其特徵爲，具備：具有供給上述超臨界C〇2流體的入 口和將昇壓後的上述超臨界C02流體排出的出口而構成泵 浦本體的吸入側套管； φ 設置在上述吸入側套管內，使得上述吸入側套管的上 述入口及上述出口之間的上述流體昇壓的葉輪； 具備將吸入上述超臨界C02所獲得的揚液的一部份排 出的排放口的排放側套管； 夾持在上述吸入側套管和上述排放側套管之間的外 筒；及 設置在上述外筒內，同時連結在上述葉輪的主軸及對 上述主軸進行軸支承的滾珠軸承所成的屏蔽馬達， · 上述滾珠軸承具備陶瓷材所成的內環和外環和滾珠， 及保持該滾珠的工程塑膠材所成的保持器。 2 ·如申請專利範圍第1項所記載的泵浦，其中，對 上述滾珠進行保持的保持器，是爲由上述外環的內周面來 . 進行引導的外環引導，或者是爲由內環的外周面來進行引 導的內環引導，另外，外環或內環的引導面是爲軸方向的 單側面。 3 ·如申請專利範圍第2項所記載的泵浦，其中，上 1281003 (2) 述保持器是由PEEK材（聚醚酮醚）形成。 4 ·如申請專利範圍第1項所記載的泵浦，其中，上 述軸承的內環的溝槽半徑率是爲52%以上。 5 ·如申請專利範圍第2項所記載的泵浦，其中，上 述軸承的內環的溝槽半徑率是爲52 %以上。 6.如申請專利範圍第3項所記載的泵浦，其中，上 述軸承的內環的溝槽半徑率是爲52%以上。 7 ·如申請專利範圍第1項所記載的泵浦，其中，上 述主軸是爲空心軸。 8 ·如申請專利範圍第2項所記載的泵浦，其中，上 述主軸是爲空心軸。 9 ·如申請專利範圍第3項所記載的泵浦，其中，上 述主軸是爲空心軸。 10. 如申請專利範圍第4項所記載的泵浦，其中，上 述主軸是爲空心軸。 11. 如申請專利範圍第5項所記載的泵浦，其中，上 述主軸是爲空心軸。 12. 如申請專利範圍第6項所記載的泵浦，其中，上 述主軸是爲空心軸。 1 3.如申請專利範圍第1項所記載的泵浦’其中，對 上述滾珠進行保持的保持器，是爲旋轉環引導。 14.如申請專利範圍第1項所記載的泵浦，其中，對 上述滾珠進行保持的保持器，是爲固定環引導，其引導面 是只形成在自滾珠中心起的軸方向單側。 -2- 1281003 (3) 15. 如申請專利範圍第2項所記載的泵浦，其中，是 於上述保持器浸含有固體潤滑材。 16. 如申請專利範圍第3項所記載的泵浦，其中，是 於上述保持器浸含有固體潤滑材。

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