TWI277696B - Heat insulation structure of vacuum pump - Google Patents

Description

1277696 玖、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於-種能夠保護軸承等不受真空泵排氣室内 產生的熱所影響的構造’特指在對如半導體處理之反應性 氣體進行排氣的真空泵中，能夠將排氣室保持在高溫的情 形下，防止軸承及軸塾圈不因高溫而遭到破壞的構造。 【先前技術】 以往使反應性氣體流動的旋轉式真空泵方面，會因為反 應生成物堆積於排氣路徑而發生排氣口的排氣路徑阻塞的 問題，或因為反應生成物附著於旋轉轉子等而使轉子等旋 轉不順的問題。為了解決上述問Μ，以往在方法上係利用 真空排氣時產生的熱來使外殼保持在高溫，或且藉由在真 空泵的外殼外圍纏繞加熱器，使排氣室保持在高溫狀態下 來避免反應生成物凝固。惟，在具備轉軸的旋轉式真空泵 的情況中，當形成排氣室的外殼保持在高溫時，熱會傳導 至固定於該外殼的軸承而使該轴承處在高溫狀態下，進而 因為軸承的熱膨脹及硬度下滑而發生軸承損壞的問題。為 了解決上述問題，如圖7所示一般，一般在方法上係在軸承 1、2、3、及4的附近設置通水路9及1 〇，藉由使水流通來冷 卻軸承1、2、3、及4。圖7所示的為具有一對螺旋轉子的真 空泵的例子：外殼包含主遮板5及固定於其兩端的軸承箱16 及1 7 ; 6及7為轉子，其係經由軸承1、2、3、及4而固定於 該外殼且能夠自由旋轉；轉子6的端部上設置有馬達8，用 以轉動轉子6 ;此外，轉子7係經由正時齒輪2〇及2 1而輿轉 85580 1277696 子6同步w動’收納轉子6及7的外殼5内設置有進行排氣的 排氣至11，且分別設置有軸墊圈12、13、、及15，用以密 封該排氣室及浸滿潤滑油的軸承1、2、3、及4，以防土棑 氣室内受到潤滑油的冷染。 惟，在上述般以往具有轉轴的真空系的情況中，為了夜 軸承冷卻而在軸承附近設置冷卻水用通路並使冷卻水流過 時連π地也h卻了外殼，進而導致保持在高溫狀態下的 排氣室内的熱能散失的問題。為了防止生成物在排氣室内 附著於外殼及轉子等，排氣室内有必要保持在高溫狀態， 因此為了面/令卻軸承一面提高排氣室内的溫度，有必要 進-步加熱以將高於散失熱量的熱能供應給外殼，進而也 導致了消耗能源增加的惡性循環之問Μ。此外，具有轴整 圈之軸構造的情況中’ &可能會發生軸塾圈因為熱而損壞 的問題。 【發明内容】 有鑑於上述問題，本發明之目的在於提供—種構造，以 在，備軸科驅動部之真空泵中，即便藉由使排氣室保持 在高溫狀態來做為反應氣體排出時的生成物對策，軸承 部及軸墊圈部不會因為高溫而受到損壞。 7 解決問題之手段 為了解決上述課題，依申請專利範圍第！項，本發明 徵為在真空泵（其具有真空排氣室，該真空排氣室内包含· 導入裝置，其用以將處理氣體導入該真空排 二， 、、主，徘氣裝 置，其用以將上述處理氣體排出至真空排氣室外；及 85580 1277696 將上述真空排氣室與外 錄 E搞開來的外殼，且該外殼内之 u .. 夠自由轉動）中的上述真空排氣室 與上述軸承間設置絕埶奘 讲乱至 虏#八宙、方u 、置。絕熱裝置方面’不僅可加工 成付合真2泵外殼端面形舳 .^ ^ 狀的平板狀以便於安裝，且在發 熱T不高的情況下，也可 裝 仕非近軸承的一部份上配置絕鼽 此外，在使用不耐熱材質的 該抽塾圈設置在相對於絕熱裝 圈免於受熱而損壞。 轴墊圈的情況中，可藉由將 置的軸承側，便可保護軸墊 依申請專利範圍第2項之發日3 ,,、 /、 月，八特徵為上述絕熱裝置白彳 材料具有低於上述外殼的材料 %打町具有的熱傳導率。上述拜 熱裝置方面’以採用夹在主外殼及軸承箱等金屬之間也a 會受損般地堅固且絕熱效果大的材質為佳。上述絕熱裝】 可為樹脂及陶瓷等。 依申請專利範圍第3項之發明，其特徵為上述絕熱裝置係 採用熱傳導性低於上述外殼材料且耐腐蝕性高的樹脂。上述 絕熱裝置方面，能夠夹在主外殼及軸承箱等金屬之間不會受 損般地堅固且加工安裝容易的絕熱材料有特氟隆（商標類 的氟類樹脂。 / 依申請專利範圍第4項之發明，其特徵為上述絕熱裝置係 採用中空絕熱構件。中空部的空間可為真空密封或封入熱 傳導率低的大氣等之氣體、液體或材科。此外，使中空部 内部與真空排氣室相通而使其真空也能夠有效地絕熱。 依申請專利範圍第5項之發明，其特徵為位於固定有上述 85580 I277696 2的外设與上述真空排氣室側間的絕熱裝置i，設有該 〜、、裝置的支撐構件。#以脆弱的材質做 殼構件與軸承箱間配置比上述絕熱裝=長 二^件，以避免外殼施力於上述絕熱裝置，便可解決 歹’如，利用將外殼構件與轴承箱以及上述 =固定的螺检孔，藉由將厚度比上述絕熱裝置還厚的支 牙套每插人上述絕熱裝置的螺栓通過的孔内來解決問題。 依申請專利範圍第6項之發明，其特徵為上述絕熱裝置盘 上述真空排氣室間設有熱傳導率高的構件。在此所指之高 的熱傳導率，係指比絕熱材料高之意，且以高於形成直空 排氣室之主外殼的熱傳導率為佳。此外，上述熱傳導率高 勺構件也可做為排氣室端壁而直接連接於排氣室。 :申請專利範圍第7項之發明，其特徵為上述外殼外圍設 有罘二絕熱裝置。藉由上述般的構造，配合設於轉子的轉 f端部（即，外殼端部)上之上述第„絕熱裝置^㈣ 精由進-步以第二絕熱裝置由外圍將包覆轉子外圍的主外 殼加以包覆，能夠以絕熱材料完全地將排氣室加以包覆。 士依申請專利範圍第8項之發明，其特徵為上述外殼或且外 殼外圍設有熱傳導裝置。該熱傳導裝置可藉由以熱傳導率 南的材質做為外殼的材質來達成。 、依申睛專利範圍第9項之發明，其特徵為上述熱傳導裝置 為熱導管。熱導管的配置方法方面包括：在外殼上沿著相 對於轉軸的平行方向鑽孔後封入動作液的方法'在外殼上 開設能夠容納熱導管的孔（溝槽）而將既有的熱導管插入的 85580 1277696 方法、將既有的熱導管固定於外殼的 依_請專利範圍第10項之發明 上7杰# + 、 付攸為上述熱傳導裝置 為熱傳導率高的金屬。在方法 氣置 已括有·將配合外殼形狀加 工而成的金屬貼於外殼外圍的 ，^ ^ ^ 冲成内開设軸万向的孔 或溝槽後插入金屬的方法、外殼内開設抽方向 注入炫解金屬的方法、及在模具内預先配置熱科率佳且且 =特足形狀的金屬後進行鐸造的方法等。熱傳導率高的金屬 有·鋁、金、銀、銅、鈹、黃銅及其合金等。 依申請專利範圍第叫之發明，其特徵為在真空系（並且 有真空排氣室，該真空排氣室内包含；導入裝置，其用以 將處理氣體導人該真空排氣室；排氣裝置，其用以將上述 處理氣體排出至真空排氣室外；及用以將上述真空排氣室 ，外部區隔開來的外殼，且該外殼内之轉子係經由轴承固 足且能夠自由轉動）中的上述外殼或且外殼外圍設置熱傳導 裝置。再者，依申請專利範圍第12項之本發明，其特徵為 上述熱傳導裝置係採用熱傳導率高於外殼材料的金屬。熱 傳導裝置可採用配合外殼的形狀而對熱傳導率佳的金屬施 加沖壓等加工後貼於外殼外圍的方法，及在外殼因為鑄造 等而具有歪曲表面的情況時，可採用在使表面平滑後將金 屬板直接貼上、塗上熱傳導率佳的矽膏等來貼上、或夹著 熱傳導板來貼上的方法。再者，如欲使用軟性金屬來做為 熱傳導板時，可採用壓接方式，或採用藉由在磨平表面後 壓接以提南外殼與金屬間密合度的方法。此外，也可採取 的方法有：在外殼側面溝槽後，將金屬嵌入該溝槽的方法 85580 -10- 1277696 ;在外殼内開設軸方向的孔或溝槽後，插入金屬方法；外 豉内開設軸方向的孔或溝槽後，注入熔解金屬的方法；及 在模具内預先配置熱傳導率佳且具有特定形狀的金屬後進 行鑄造的方法等。此外，也可在外殼的發熱部及吸熱部形 成部份凸起且平坦的部份後，將熱傳導率佳的金屬如同架 橋般地固定於該平坦部份，以使熱量能夠由發熱部移轉至 吸熱部。此外，對於由發熱部及吸熱部凸起之用以固定上 述外殼金屬的平坦部份，可藉由使其表面更為光滑，而輕 易地改善外殼與金屬板間的熱接觸效果。熱傳導率高的金 屬有·館、金、銀、銅、鈹、黃銅及其合金等。 【實施方式】 以下依圖式來說明本發明之實施方式。 首先，依圖1來說明關於本發明之第一實施方式的真空泵 10 0構造。 真空泵100具有螺旋轉子1〇1及1〇2。 螺旋轉子101及102係收納於外殼内部形成之轉子收納室 洋細來說，螺旋轉子1 〇 1係藉由由轴承1 〇 4及1 〇 5而在外殼 内受到支撐及轉動；螺旋轉子102係藉由由軸承106及107而 在外殼内觉到支撐及轉動。在排氣室丨丨丨及浸滿潤滑油的軸 承104、105、106、及107之間’為了防止軸承1〇4、1〇5、 106、及107的潤滑油污染到排氣室内，並且也為了防止反 應性氣體產生之異物由外殼内侵入軸承1〇4、1〇5、ι〇6、及 107，分別設置有軸墊圈112、113、114、及115。 此外，螺旋轉子1〇1及螺旋轉子102之一端上有正時齒輪 85580 -11 - 1277696 氣侧端壁構件125的熱傳導率，可藉由在各套筒内部埋設熱 導管或使熱導管接觸各套筒表面的方式，使得吸氣侧端壁 構件123、主套筒124、及排氣側端壁構件ι25的溫度呈均一 。再者，除上述之外，也可採用在外殼上形成溝槽而在該 /冓槽中埋设熱傳導率非常咼的銅合金等之金屬方法，也可 採用在外殼以鑽孔機開設一個或複數個孔或溝槽後，將熔 融的熱傳導率佳的金屬注入該孔或溝槽的方法。此外，也 可藉由將熱傳導率非常高的銅等之類的金屬板固定於吸氣 侧端壁構件123、主套筒124、及排氣側端壁構件125的表面 ’以進一步提升吸氣側端壁構件丨23、主套筒丨24、及排氣 側端壁構件1 2 5的熱傳導率。藉由上述的構造，排氣室内任 何會接觸到氣體的部份均可保持在高溫下，絕大部份的氣 體均可在氣體狀態下排出至真空泵之外，藉此可減少因為 吸氣側端壁構件1 2 3、主套筒12 4、及排氣侧端壁構件1 2 5上 出現溫度-較低的部份，使得生成物在該部份堆積而減少轉 子在轉動時所需的間隙，造成轉子的負載增加，或因為部 伤堆積的生成物掉落至相互逆轉的轉子間，使得轉子無法 轉動’甚至因為生成物卡死轉子而導致轉子損壞（斷裂）的異 常情況發生。 此外，在如上述般使用熱導管或熱傳導率非常高的金屬 的情況中，吸氣侧端壁構件123、主套筒124、及排氣侧端 壁構件125在材質上雖不至於因為通過排氣室内之高腐蝕 性氣體而腐蝕，然而即便使用熱傳導率不佳的材質時，熱 能仍能夠輕易地傳導至吸氣側端壁構件〗23、主套筒丨24、 85580 -14- 1277696 及排氣側端壁構件125整體。 再者，在吸氣側軸承箱121及排氣側軸承箱丨27的軸承安 裝位置附近，藉由形成用以使冷卻水流通的水路23〇及23ι ，即便軸承及軸墊圈附近的溫度超出指定溫度而形成高溫 時’也可藉由使水流通而冷卻軸承，因此可提升防止因為 熱膨脹造成損壞的效果。在此情況中，係依安裝於軸承部 的溫度感應器232及233的溫度資訊來控制冷卻水，當檢測 出溫度南於事先設定的溫度時，藉由控制冷卻水流通或控 制流量來有效率地控制軸承的溫度。此外，由於有做為上 述絕熱裝置的套筒絕熱構件122及絕熱構件126,因此可防 止因為吸亂側軸承箱12 1及排氣側軸承箱1 2 7受到冷卻，使 得吸氣側鈿壁構件123、主套筒124、及排氣側端壁構件j 2 5 的熱散失，致使排氣室内的溫度下降的情況。 以下將外殼的其他均熱裝置的實施例做為第二實施例， 依圖2及琴3來說明。圖2為具有一對螺旋轉子之螺旋式真空 泵中相對於其中一側之螺旋轉子的軸方向剖面。此外，圖3 為圖2之A-A的剖面圖。螺旋轉子251係經由軸承25 5及2 57而 固定於外殼内且能夠自由轉動。267為吸氣口，269為排氣 口。25 9及261為絕熱材料，用以防止因為排氣室内的熱量 傳導至軸承2 5 5及2 5 7附近而致使轴承2 5 5及2 5 7受到損壞。 此外’為了使排氣室内均熱，外殼253上設有表面平坦的凸 出邵263及265，並架橋方式般地將純銅或純鋁等之熱傳導 率佳的金屬或其合金製成的金屬板271及273以特定手法固 足於該凸出部263及265。此外，藉由使上述凸出部263及265 85580 -15- 1277696 的平坦邵份光滑，可提升金屬板271及273與凸出部間的熱 接觸效果。ϋ由上述的構造，纟真空泵的外殼巾，熱量會 由咼/IIZL的排氣立側傳導至溫度不鬲的吸氣側，使得外殼呈 均熱狀態。 以其他均熱裝置為第三實施例，依圖4來進行說明。由於 在此之真空泵的基本構造係與第二實施例相同，因此以對 應於圖3的剖面形狀來加以說明· 4〇3及4〇5為螺旋轉子的剖 面。401為收納了螺旋轉子之外殼4〇1，且做為該外殼} 的均熱構造，外殼401包覆有由銅及鋁等合金之類的熱傳導 率佳的金屬407。該金屬4〇7可依外殼形狀加工成筒狀後加 以嵌合，也可將分割成複數片的金屬在安裝於外殼4〇1時加 工成金屬407的形狀，也可利用鑄造等方法在完成的外殼 401上形成金屬4〇7。 接下來，針對有關絕熱構造的其他第四實施方式，以圖夂 來加以說明。 由於本實施方式中之真空泵的構造與第一實施方式完全 相同，因此僅顯不絕熱裝置構造的放大圖。圖5(a)所示的 為本實施例中使用中空的絕熱構件時的情況4論中空内 301无填的為大氣、熱傳導率低的氣體、或液體，其絕熱效 果均大。此外，該中空的絕熱材料的中空内3〇1也可藉由真 空密閉或如圖5(b)所示—般地開設用以與真空排氣室相通 連的中空排氣孔3〇2而使其具有與排氣室相同程度的真空 度’以進一步提升絕熱效果。 本實施例中，由於使用熱傳導率佳的材料也能夠得到絕 85580 -16- 1277696 熱效果’目此即便以絕熱構造做為與排氣室相連接的外殼 ，也不會發生妨礙排氣室内的高溫均熱化的問題。 再者’上述實施例之圖i、2、及3中雖以螺旋式的轉子為 例’然而理所當然地也適用料子剖面呈繭形的羅茨（R〇〇ts) 式、及轉子剖面呈勾玉形的爪（e! a w)式等具有轉子係依轴承 的指示來轉動之構造的真空泵。 此外，依圖6說明第5實施方式；第5實施方式中，係針對 在以車乂叙的材質或較脆的材質來做為絕熱裝n兄中，利 用比上述絕熱裝置的厚度長的支撐構件，將該構件配置於 外殼構件與設有軸承之轴承箱之間，以避免在旋緊固定時 省過大的應力施加於上述絕熱裝置。601為固定有軸承及轴 勢圈的轴承箱，603為❹軟材質或脆材質而成的絕熱構件 ，605及607為會處在高溫狀態下的外殼構件。6〇9為以硬产 高的金屬或陶竞等材料所形成之圓筒狀的固定構件，其I 會有用以將外殼第—構件6〇1、絕熱裝置6〇3、外殼構件6〇5 及607等固定成-體的螺栓611穿過。該固定構件在轴方 向上的長度係以比絕熱構件603的厚度長為佳，然而絕熱裝 置具有柔軟性時並不以此為限。藉由上述的構造，二螺 栓旋緊固定時，軸承箱601及外殼構件6〇5不會對絕熱構件 6 0 3施加過大的應力。 此外，也可將複數支長度稍微比絕熱構件長的楔子夹在 軸承箱601及外殼構件605之間的方法，也可利用配合外殼 形狀能夠被覆絕熱構件6 0 3的環狀固定構件。 如上述之說明，依申請專利範圍第1項之 一 权力，猎由採用 85580 -17- 1277696 在/、二系（其具有真芝排氣室，該真空排氣室内包含；導入 裝置’其用以將處理氣體導入該真空排氣室；排氣裝置， ^用將上述處理氣體排出至真空排氣室外；及用以將上 述真窆排氣室與外部區隔開來的外殼，且該外殼内之轉子 係、’工由軸承固定且能夠自由轉動)中的上述真空排氣室與上 込軸表間叹置纟巴熱裝置的構造，被覆在外殼上之加熱裝置 及排氣室内產生的熱不會傳導至形成於該外殼上之軸承及 軸墊圈’而得以防止該軸承及軸墊圈因為高溫或熱膨脹而 損壞。 依申請專利範圍第2項之發明，以熱傳導率低於上述外殼 的材料做為上述絕熱裝置的材料，可得到絕熱效果大的絕 熱裝置。 依申凊專利範圍第3項之發明，以熱傳導率低於外殼所用 <材料且耐腐蝕性高的樹脂做為上述絕熱裝置，不僅可得 到易於加工及安裝且絕熱效果大的絕熱裝置，並且也能夠 在真芝系排出腐蝕性高的氣體時，防止因為腐蝕而導致絕 熱材料的氣密性及強度下降。 此外，依申請專利範圍第4項之發明，藉由以中空的絕熱 構件來構成上述絕熱裝置，可在中空部的空間内封入熱傳 導率低的氣體或液體，也可裝入絕熱構件，有效發揮絕熱 效果。 依申請專利範圍第5項之發明，藉由為配置於固定有上述 軸承之軸承箱與上述外殼間的絕熱裝置設置該絕熱裝置的 支擇構件，將允許以軟性材質做為絕熱裝置，使得絕熱材 85580 -18- 1277696 料的選擇增加。 - 二5“利乾圍第㈣之發明，藉由在上述外殼或且外殼 嶋傳導裝置，將可使排氣室内絕熱裝置附近的 > 皿度易於升高，使得排氣室内的溫度更為均一。 二:!專利範圍第7項之發明，藉由採用在上述外殼外圍 裝置的構造’可完全地以絕熱材料覆蓋排 =，，使得排氣室内的溫度保持在即便反應性氣體流過也 不&產生反應生成物的高溫。 依士申請專利範圍第8項之發明，藉由採用在上述外殼或/ 、田成二卜圍上叹置熱傳導裝置的構造，熱量可由外殼外圍 上，皿度问的邵份傳導至溫度低的部份，使得排氣室及與其 連接 < 斗6的溫度保持在即便反應性氣體流過也難以產生 反應生成物的均熱溫度。 …依申請專利範圍第9項之發明，藉由採用以熱導管做為上. 述熱傳導裝置的構造，可大幅提升外殼的熱傳導率。 依申明專利範圍第10項之發明，藉由採用以熱傳導率佳 的:屬做為上逑熱傳導裝置，可藉由以容易加工的金屬來 覆蓋外殼來輕易地實施熱傳導。 依申請專利範圍第11項之發明，藉由採用在真空泵（其具 有真空排氣室，該真空排氣室内包含；導入裝置，其用以 將處理氣體導入該真空排氣室；排氣裝置，其用以將上述 處里氣排出至真空排氣室外；及用以將上述真空排氣室 人外#區卩阳開來的外殼，且該外殼内之轉子係經由軸承固 疋且旎夠自由轉動）中的上述外殼或/及外殼的外圍上設置熱 85580 -19- 1277696 傳導裝置，熱量會由外殼中溫度高的部份傳導至溫度低的 部份，使得外殼的溫度均等。 依申請專利範圍第12項之發明，藉由以熱傳導率比外殼 材料為佳之金屬做為上述熱傳導裝置，可輕易地加工出熱 傳導裝置。 【圖式簡單說明】 圖1為本發明之第一實施例之圖。 圖2為本發明之第二實施例之圖。 圖3為本發明之第二實施例之A-A剖面圖。 圖4為本發明之第三實施例之圖。 圖5(a)及圖5(b)為本發明之第四實施例之圖。 圖6為本發明之第五實施例之圖。 圖7為先前技術之真空系之圖。 【圖式代表符號說明】 100 真空泵 101，102 螺旋轉子 104，105，軸承 106, 107 111 排氣室 112, 113，軸墊圈 114, 115 109，110 正時齒輪 108 馬達 103a 吸氣口 85580 -20- 1277696 103e 排氣口 121 吸氣側軸承箱 122 絕熱構件 123 吸氣侧端壁構件 124 主套筒 125 排氣側端壁構件 126 絕熱構件 127 排氣側轴承箱 128 絕熱構件 234 加熱裝置 230, 231 水路 232, 233 溫度感測器 85580 -21-

Claims (1)

1. 丁」3601號專利申請案 _爻申請專利範圍替換本⑻年〗〗月）0 拾、申請專利1§圚： 7 -種旋轉式真空系，其真空录具 空排氣室内包含；導入奘¥廿 風至及真 真空拼氣室，·排氣裝置，其 —〜 μ、+、古、2 將上逑處理氣體排出至 上述真空排氣室外；及用以將 γ 0日+ 丁工现具空排氣罜與外部區 σ沟來的外殼，且該外殼内之、 评丁你、、’工由軸承固足且能 夠自由轉動；其特徵為上述直办々 ^ k具二排乳室與上述軸承間設 置絕熱裝置。 2.如中請專利範圍第W之旋轉式真空系，其中上述絕敎 裝置係採用熱傳導率比上述外殼所用之材料低的材料。 3·如申請專利範圍第！項之旋轉式真空系，其中上述絕散 裝置轉用熱傳導性低於上述外殼所用之材料且耐腐 蚀性向的樹脂。 4·如申請專利範圍第1至3項中任一項夕#絲4 士、 、、 、τ仕貝又万疋轉式真空泵，其 中上述絕熱裝置係採用中空絕熱構件。 5·如申請專利範圍第i項之旋 、 足锊式具空泵，其中上述外殼 包含設置有上述軸承之轴承笳另 ^ W取相及上述轉子周圍的主套 筒，且該軸承箱與該主套筒間古 n同汉有上述絕熱裝置的支撐 構件。 &如申請專利範圍第！項之旋轉式真空系，其中上述絕执 裝置與上述真空排氣室間’設有熱料率高於上述絕熱 裝置所用之材料的熱傳導裝置。 7.如申請專利範圍第1項之旋轉式真空泵，其中上述外殼 外圍的大氣側設有第二絕熱裝置。 85580-951115.doc 1277696 ,1 V錢正 8·如申請專利範圍第1項之旋轉式真空系 或/及外殼外圍設有熱傳導裝置。 9·如申請專利範圍第8項之旋轉式真空系 導裝置為熱導管。 其中上述外殼 其中上述熱傳 10·如申請專利範圍第8項之旋轉 導裝置係採用熱傳導率比外^ =真空系：其真空系具有真空排氣室，該真 :、古、一、等策置’其用以將處理氣體導入 该真空排氣室；排氣裝置，其 、用以將上述處理氣體排 出至上述真空排氣室外；及用 — 册上述真空排氣1：與 外邵區隔開來的外殼·且令外4 小J h又，且4外敗内之轉子係經由軸承 固足且能夠自由轉動，其特徵為上述外殼或/及外殼外 圍設置熱傳導裝置。 12. 如申請專利範園第u項之旋轉式真空系，其中上述熱傳 導裝置係採用熱傳導率比外殼的材料為佳之金屬。 85580-951115.doc