TWI276845B - Color filter substrate and manufacturing method thereof - Google Patents

Color filter substrate and manufacturing method thereof Download PDF

Info

Publication number
TWI276845B
TWI276845B TW095111750A TW95111750A TWI276845B TW I276845 B TWI276845 B TW I276845B TW 095111750 A TW095111750 A TW 095111750A TW 95111750 A TW95111750 A TW 95111750A TW I276845 B TWI276845 B TW I276845B
Authority
TW
Taiwan
Prior art keywords
substrate
color filter
material layer
black matrix
pattern
Prior art date
Application number
TW095111750A
Other languages
English (en)
Other versions
TW200739141A (en
Inventor
I-Hua Ho
Original Assignee
Au Optronics Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Au Optronics Corp filed Critical Au Optronics Corp
Priority to TW095111750A priority Critical patent/TWI276845B/zh
Priority to US11/471,894 priority patent/US7616274B2/en
Priority to KR1020060065270A priority patent/KR100787804B1/ko
Priority to JP2006309054A priority patent/JP4473253B2/ja
Application granted granted Critical
Publication of TWI276845B publication Critical patent/TWI276845B/zh
Publication of TW200739141A publication Critical patent/TW200739141A/zh
Priority to US12/175,693 priority patent/US7826010B2/en

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133514Colour filters
    • G02F1/133516Methods for their manufacture, e.g. printing, electro-deposition or photolithography
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1339Gaskets; Spacers; Sealing of cells
    • G02F1/13394Gaskets; Spacers; Sealing of cells spacers regularly patterned on the cell subtrate, e.g. walls, pillars
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/133Constructional arrangements; Operation of liquid crystal cells; Circuit arrangements
    • G02F1/1333Constructional arrangements; Manufacturing methods
    • G02F1/1335Structural association of cells with optical devices, e.g. polarisers or reflectors
    • G02F1/133509Filters, e.g. light shielding masks
    • G02F1/133512Light shielding layers, e.g. black matrix

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Mathematical Physics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)
  • Optical Filters (AREA)

Description

I27684S 〇twf.d〇c/g 九、發明說明: 【發明所屬之技術領域】 本發明是有關於一種濾光裝置及其製造方法,且特別 是有關於一種彩色濾光基板及其製造方法。 【先前技術】 由於顯示器的需求與日遽增,因此業界全力投入相關 顯示器的發展。其中,又以陰極射線管(cath〇deray tube,
fRT)因具有優異的顯示品質與技術成熟性,因此長年獨佔 顯示器市場。然而,近來由於綠色環保概念的興起,基於 陰極射線管的能源消耗較大與產生輻射量較大之特性,加 上其產,扁平化空間有限,故陰極射線管無法滿足市場對 於輕、溥、紐、小、美以及低消耗功率的市場趨勢。因此, 具有南晝質、空間利用效率佳、低雜功率、無輕射等優 越特性之薄膜電晶體液晶顯示!!(thin film transistQr叫砲 crystal display,TFT_LCD)已逐漸成為市場之主流。其中, 彩色濾光基板為組立液晶顯示器的重要構件之一。 至圖⑴會示習知一彩色遽光基板的製作流程 =,_圖1A’首先’ f知彩色濾光基板的製作方法 广光罩(未繪示)以在-基板11上定義出-黑 :陣層(祕matrix)12。接著,如圖ib至圖id所示,依 四二光罩(未㈣)、—第三光罩(未繪示)以及一第 η、:不)以在基板10上定義出多個紅色濾光圖案 、言慮光圖案13b以及多個藍色滤光圖案i3c, U /思、’圖案13a、綠色濾光圖案13b以及藍色濾光 6 90twf.doc/g 圖案13c即形成了彩色濾光層13。之後,如圖1E所示, 在黑矩陣層11與彩色濾光層13上先形成一保護層 (overcoat layer)14,再於保護層14上形成一共用電極 (common electrode)15。接著,如圖ip所示,再利用一第 五光罩(未繪示)以在彩色濾光層13上方的共用電極15定 義出形成多個凸出結構(pr〇tmsi〇n)i6。然後,如圖ig所 示’利用一第六光罩(未繪示)以在黑矩陣層12上方的共 用笔極15上疋義出多個間隔物(photo spacer) 17。然後,如 圖1H所示,在共用電極15、凸出結構16以及間隔物17 上形成一配向膜層18。在完成上述的流程後,一彩色濾光 基板10便可被製作出。 值得注意的是,習知彩色濾光基板1〇的製造方法是; 採用六道光罩的製程。若要降低彩色濾光基板1〇的製造時 間與成本,則必須要改變製程,採行更少道的光罩之製作· 方法。亦即’若要將降低習知彩色濾光基板10的製造時間 與成本,習知彩色濾光基板10的製造方法仍有相當大的改 善空間。 【發明内容】 本發明之目的是提供一種製造成本較低的彩色濾光 基板。 本發明之另一目的是提供一種製造步驟較少的彩色 滤光基板。 本發明的再一目的是提供一種彩色濾光基板的製造 方法’其可利用較低成本製造彩色濾光基板。 7
Otwf.doc/g 本發明的又一目的是提供一種彩色濾光基板的製造 方法,其可利用較少步驟製造彩色濾光基板。 為達上述或是其他目的,本發明提出一種彩色濾光基 板,此彩色濾光基板包括一基板、多個彩色濾光圖案、一 黑矩陣層、多個間隔物、多個凸出結構以及一共用電極。 其中彩色濾光圖案配置於基板上。黑矩陣層配置於基板 上,且位於彩色濾光圖案之間。間隔物配置於黑矩陣層上, 並與黑矩陣層連接在一起。凸出結構配置於彩色濾光圖案 上,且黑矩陣層、間隔物以及凸出結構的材質相同。共用 電極覆盍彩色濾光圖案、黑矩陣層、凸出結構以及間隔物。 依照本發明一實施例所述之彩色濾光基板,其中基板 具有多數個次晝素區’且每一彩色濾光圖案是配置於其中 一次晝素内。 依照本發明一實施,彩色濾光基板更包括 一配向膜 層’此配向膜層配置於共用電極上。 ^依照本發明一實施所述之彩色濾光基板,其中彩色濾 光圖案包括至少一紅色濾光圖案、至少一綠色濾光圖案以 及至少一藍色濾光圖案。 一本發明另提出一種彩色濾光基板,此彩色濾光基板包 ^基板、多個彩色濾光圖案、一共用電極、一黑矩陣層、 ^個間隔物以及多個凸出結構。其中,彩色濾光圖案配置 J基板上。共用電極覆蓋彩色濾光圖案以及基板。黑矩陣 層配置於丑"用+ 用电極上,且位於彩色濾光圖案之間。間隔物 配置於黑矩陣層上,並與黑矩陣層連接在-起。凸出結構 8 ’Otwf.doc/g 配置於形色濾、光圖案上方之共用電極上,且黑矩陣層、間 隔物以及凸出結構的材質相同。 依照本發明一實施例所述之彩色濾光基板,其中基板 上具有多數個次晝素區,且每_彩色濾、光圖案是配置於其 中*一次晝素區内。 依照本發明一實施例,彩色濾光基板更包括一配向膜 層,此配向膜層覆蓋共用電極、黑矩陣層、凸出結構以及 間隔物。 依照本發明一實施例所述之彩色濾光基板,其中彩色 濾光圖案包括至少一紅色濾光圖案、至少一綠色濾光圖案 以及至少一藍色濾光圖案。 本發明再&出一種彩色濾光基板的製造方法,此彩色 濾光基板的製造方法包括下列步驟。首先,提供一基板。 在基板上形成多個彩色濾光圖案。接著,在基板上形成一 遮光材料層,以覆蓋基板以及彩色濾光圖案。然後,圖案 化遮光材料層,以同時定義出一黑矩陣層、多個凸出結構 以及多個間隔物。在基板上形成一共用電極,以覆蓋彩色 濾光圖案、黑矩陣層、凸出結構以及間隔物。 依照本發明一實施例所述之彩色濾光基板的製造方 法,其中圖案化遮光材料層之方法包括下列步驟。首先, 在遮光材料層上設置一光罩,此光罩具有一透光區、一非 透光區以及一半透光區。然後,進行一曝光製程以及一顯 影製程,以圖案化遮光材料層,而形成黑矩陣層、凸出結 構以及間隔物。 9 12768似一 g ^ 依照本發明一實施例所述之彩色濾光基板的製造方 法,其中形成彩色濾光圖案的方法包括下列步驟。首先, 在基板上形成一紅色濾光材料層。圖案化紅色濾光材料 層,以在基板上形成至少一紅色濾光圖案。接著,在基板 上形成一綠色濾光材料層。圖案化綠色濾光材料層,以在 基板上形成至少一綠色濾光圖案。然後,在基板上形成一 監色濾光材料層。圖案化藍色濾光材料層,以在基板上形 成至少一藍色濾光圖案。 本發明又提出一種彩色濾光基板的製造方法,此彩色 濾光基板的製造方法包括下列步驟。首先,提供一基板。 在基板上内形成多數個彩色濾光圖案。接著,在基板上形 成二共用電極’以覆蓋基板與彩色濾絹案。在共用電極 ^形成-遮光材料層。然後,圖案化遮光材料層,以同時 疋義-黑矩陣層、多個凸出結構以及多個間隔物。 在遮光材料層上設置一光罩, 透光> 程, 、依照本㈣-實_觀之純料基板的製造方 法’其中圖案化遮光材料層之方法包括下列步驟。首先, ’此光罩具有一透光區、一非
I J-TJ 法, 在基攸丄形成一红已濾光未
一红已濾光材料層。 層’以在基板上形成至少一 Μ乃沄巴栝下列步驟。首先, ^料層。圖案化紅色濾光材料 紅色濾光圖案。接著,在基板 10 I2768459〇tw,doc/g 上形成一綠色濾光材料層。圖案化綠色濾光材料層,以在 基板上形成至少一綠色濾光圖案。然後,在基板上形成一 藍色濾光材料層。圖案化藍色濾光材料層,以在基板上形 成至少一藍色濾光圖案。 ^ 基於上述,本發明所提出之彩色濾光基板的製造方法 採用較少道光罩之製程,因此可以較短時間與較少耗材製 作彩色濾光基板。若以上述的製造方法製作彩色濾光基 • 板,將可大幅降低彩色濾光基板的生產成本。 土 “為讓本發明之上述和其他目的、特徵和優點能更明顯 易懂,下文特舉較佳實施例,並配合所附圖式,作詳細說 明如下。 " 【實施方式】 是二實施例 九圖2繪示本發明第一實施例之彩色濾光基板的結構示 。請參照圖2,彩色濾光基板100包括一基板110、多 ,衫色濾光圖案12〇、一黑矩陣層13〇、多個間隔物14〇、 =凸出結構150以及-共用電極16G。其中,彩色滤光 I本I20配置於基板110上。黑矩陣層130配置於基板110 矩陳且位於衫色濾光圖案120之間。間隔物140配置於黑 層130上,並與黑矩陣層13〇連接在一起。凸出結構 14〇配置於杉色濾光圖案120上,且黑矩陣層130、間隔物 3备1及凸出結構150的材質相同。共用電極160則覆蓋 Γ ,光圖案12〇、黑矩陣層130、凸出結構150以及間隔 I27684al〇twf.d〇c/g —在本實施例中,基板具有多數個次晝素區110a, 且每-彩色濾光圖案120是配置於其中一次畫素區11〇a 1更詳細而言,彩色栽圖案120包括至少—紅色濾光 圖木120a、至少-綠色濾光圖案12〇b以及至少一藍色滤 光圖案版。此外,彩色濾光基板更包括-配向膜層 ,此配向膜層170配置於共用電極16〇上。 承上述’基才反110例如為破璃基板、石英基板或是其 φ _當材料之基板。彩色濾光圖案12G(紅色濾光圖案 120a、綠色濾光圖案uob以及藍色濾光圖案12〇c)之材質 例如為樹脂(resin)或其他適當之材質。黑矩陣I 13〇、間隔 物140以及凸出結構150之材質例如為黑色感光樹脂或其 他適當之材質。共用電極16G之材f例如為銦錫氧化物 indium tm oxide, ITO)、銦鋅氧化物伽出咖—〇xide, IZ〇) =其他適當之材f。配向膜層⑺之材質例如為聚乙酿 ,樹脂(polyimide resin, PI)或是其他適當材料。以下將詳細 說明彩色濾光基板100的製造方法。 φ _圖3A至圖3靖示本發㈣—纽狀彩色濾光基板 士衣=方法流私圖。请先參照圖3A,彩色滤光基板的製造 方法是先提供一基板110。 然後’在基板110上形成一彩色濾光圖案12〇,而形 ^圖3G所示之結構。其中,基板110上具有多數個次 旦素區110a。在這些次晝素區u〇a内的彩色滤光圖案12〇 包括紅色濾光圖案120a、綠色濾光圖案議以及藍色遽 光圖案120c,而形成彩色濾光圖案12〇的詳細說明如圖3b 12 ’Otwf.doc/g 製圖3G所示。 首先,如圖3B所示,先在基板110上形成一紅色濾 光材料層120d,而形成此紅色濾光材料層120d的方法例 如是旋塗(spin coating)或是其他適當方法。 接著,利用一第一光罩Ml以圖案化紅色濾光材料層 120d’以在基板11〇上部分次畫素區u〇a内形成紅色濾光 圖案120a,如圖3C所示。其中,若紅色濾光圖案12〇&為 感光材料,則圖案化紅色濾光材料層120d的方法例如是利 用一第一光罩Ml直接對紅色濾光材料層12〇d進行曝光製 程(exposure process)與顯影製程(devd〇p pr〇cess)。若紅色 濾光圖案120a並非感光材料,則必需先在紅色濾光材料層 120d上形成一光阻層(未繪示),並利用一第一光罩mi對 此光阻層進行曝光與顯影製程,以形成一圖案化光阻層(未 繪示)。接著,以圖案化光阻層為料,對紅色濾光材^ 12〇d進行侧製程,並再對_化光阻層進行剝膜製程 (stnp process),以形成紅色濾光圖案l2〇a。 如圖犯所示,额,在基板11〇上 材料層120e,並利用一篦-亦罢‘九 @ ^ M2圖案化綠色濾光材料 層120e’以在基板110上形成如圖犯所示之 色 濾光圖案120b。由於綠色滹光鉍社氏^ 、、不巴 安作古、,巴&九材枓層UOe的形成以及圖 案化方法與紅色濾光材料層12〇d 口 贅述。 <方法頒似,故在此不再 如圖3F所示,在基板11〇上形 120f,並利用一第三光罩M3圖宰化駐'先材枓層 口木化監色濾光材料層12〇f, 丨 Otwf.doc/g 以在基板110上形成如圖3G所示之至少一藍色濾光圖案 120c。類似地,藍色濾光材料層120f的形成與圖案化方法 與上述相同或相似。 請參照圖3H,接著,在基板110上形成一遮光材料 層130a,以覆蓋基板110以及彩色濾光圖案120。形成此 遮光材料層130a的方法例如為旋塗法或其他適當方法。特 別要注意的是,此遮光材料層130a為感光材料。 請參照圖31至圖3J,然後,圖案化遮光材料層i30a, 以同時定義出一黑矩陣層130、多個間隔物140以及多個 凸出結構150。其中,如圖31所示,圖案化遮光材料層i3〇a 之方法是在遮光材料層130a上設置一光罩M4,此光罩 M4具有一第一區R1、一第二區R2、一第三區r3以及一 第四區R4。其中,第三區R3為非透光區,第二區R2以 及第四區R4為半透光區,第一區R1為透光區與半透光區 結合而成的區域。然後,如圖3J所示,進行一曝光製程以 及一顯影製程,以圖案化遮光材料層13〇a,而形成黑矩陣 層13〇、間隔物140以及凸出結構150。 要注意的是,由於第一區R1、第二區R2、第三區R3 以及第四區R4的光線穿透強度皆不相同,造成遮光材料 層130a的各區域之感光深度不同。在進行顯影製程後,被 畕下的σ卩彳77遮光材料層(未標示)即形成了黑矩陣層130、間 隔物140以及凸出結構15〇。 請參照圖3Κ,之後,在基板110上形成一共用電極 以復蓋彩色滤光圖案120、黑矩陣層130、間隔物140 14 127684^ Otwf.doc/g 以及凸出結構150。形成共用電極16〇的方法例如採用磯 鍍(sputter)或是其他適當方法。 請參照圖3L,然後,在共用電極160上形成一配向膦 層170。形成此配向膜層170的方法例如為平版印刷法 (offset)或是其他適當方法。在完成上述的步驟後,彩色據 光基板100便可被完成。 ~ 值得一提的是,本實施例之彩色濾光基板1〇〇的製造 方法中的黑矩陣、間隔物以及凸出結構是用一道光罩形 成。相較於習知技術中對於黑矩陣、間隔物以及凸出結構 需使用二道光罩來說’本實施例所提出之彩色濾光基板 10 0的製造方法更可以較短的時間與較少的耗材製作彩色 濾光基板1〇〇。換言之,彩色濾光基板100的製作步驟較 少且製作成本較低。 需注意的是,在本實施例之彩色濾光基板1〇〇中,彩 色濾光基板1〇〇雖包括一配向膜層170,但其並不限定要 具有配向膜層170。在其他實施例中,彩色濾光基板(未繪 示)是否包括配向膜層(未繪示)則端視需在彩色濾光基板 的製造方法中是否形成配向膜層。 第二實施例 圖4繪示本發明第二實施例之彩色濾光基板的結構示 意圖。請參照圖4,彩色濾光基板200與第一實施例之彩 色濾光基板1〇〇類似,其不同之處在於:共用電極210覆 蓋彩色濾光圖案120以及基板110。此外,黑矩陣層230 配置於共用電極210上,且位於彩色濾光圖案120之間, 15 1276845 90twf.doc/g 而凸出結構150則配置於彩色濾光圖案120上方之共用電 極210上。其中,黑矩陣層230與共用電極210的材質與 第一實施例中之黑矩陣層130以及共用電極160的材質相 同。 上述彩色濾光基板200的製造方法類似於彩色濾光基 板100的製’造方法。圖5A至圖5D緣示本發明第二實施例 之彩色濾光基板200的製造方法流程圖。 請先參照圖5A,彩色滤光基板200的製造方法是先 提供一基板110。此基板110上具有多個次晝素區11〇a。 然後’利用先前所述之方法在基板110上的這些次晝素區 ll〇a内形成紅色濾光圖案12〇a、綠色濾光圖案120b以及 藍色濾光圖案120c,即構成彩色濾光圖案12〇。由於在基 板110上之次畫素區110a内形成彩色濾光圖案12〇的方法 與第一實施例中所述相同,因此在此不再贅述。 請參照圖5B,之後,在基板110上形成一共用電極 210 ’以覆蓋基板ι10以及彩色濾光圖案12〇。形成共用電 極210的方法例如採用濺鍍(sputter)或是其他適當方法。之 後,在基板11〇上形成一遮光材料層23〇a,以覆蓋共用電 極=ιο。形成此遮光材料層23〇a的方法例如為旋塗或其他 適當方法且,此遮光材料層230a為感光材料。 請參照圖5C,然後,利用光罩M4圖案化遮光材料層 23〇a ’以同時定義出-黑矩陣層23G、多個間隔物140以 及夕,凸出結構15〇。其中,圖案化遮光材料層2遍的方 法與第一實施例所述相同。 16 丨 Otwf.doc/g 請參照圖5D,然後,在共用電極210、黑矩陣層130、 間隔物140以及凸出結構150上形成一配向膜層170。形 成此配向膜層170的方法與第一實施例中所述相同。在完 成上述的步驟後,彩色濾光基板2〇〇便可被完成。 類似於弟一貫施例’本實施例之彩色滤光基板200的 製造方法中的黑矩陣、間隔物以及凸出結構是用一道光罩 形成。因此,本實施例所提出之彩色濾光基板200的製造 方法也可以較短的時間與較少的耗材製作彩色濾光基板 200。換言之,彩色濾光基板2〇〇的製作步驟較少且製作成 本較低。 需注意的是,本實施例之彩色濾光基板2〇〇雖也包括 一配向膜層170,但其並不限定要具有配向膜層17〇。 綜上所述,本發明所提出之彩色濾光基板的製造方法 採用較少道光罩之製程,因此可以較短時間與較少耗材製 作彩色濾光基板。若以上述之彩色濾光基板的製造方法製 作彩色濾光基板,將可大幅降低彩色濾光基板的生產時間 與成本。 雖然本發明已以較佳實施例揭露如上,然其並非用以 限定本發明,任何熟習此技藝者,在不脫離本發明之 和範圍内,當可作些許之更動與潤飾,因此本發明之^ 範圍當視後附之申請專利範圍所界定者為準。 又 【圖式簡單說明】 圖1A至圖1H績示習知一彩色滤光基板的製作流程 17 90twf.doc/g 圖2繪不本發明第一實施例之彩色濾光基板的結構示 意圖。 圖3 A至圖3 L繪示本發明第一實施例之彩色濾光基板 的製造方法流程圖。 圖4綠示本發明第二實施例之彩色濾光基板的結構示 意圖。 圖5A至圖5D繪示本發明第二實施例之彩色濾光基 板的製造方法流程圖。 【主要元件符號說明】 1〇 :彩色濾光基板 11、 110 :基板 12、 130、230 :黑矩陣層 13 :彩色濾光層 13a、120a :紅色濾光圖案 13b、120b ·綠色濾> 光圖案 13c、120c :藍色濾光圖案 14 :保護層 15、 160、210 :共用電極 16、 150 :凸出結構 17、 140 :間隔物 18、 170 ··配向膜層 100 :彩色濾光基板 110a ··次畫素區 120 :彩色濾光圖案 18 丨 Otwf.doc/g 120d ·紅色滤光材料層 120e :綠色濾光材料層 120f:藍色濾光材料層 130a、230a :遮光材料層 丨 Otwf.doc/g
R1 第一區 R2 第二區 R3 第三區 R4 第四區 19

Claims (1)

1276845 Otwf.doc/g 十、申請專利範圍: 1. 一種彩色濾光基板,包括: 一基板; 多個彩色濾光圖案,配置於該基板上; 一黑矩陣層,配置於該基板上且位於該些彩色濾光圖 案之間; 多個間隔物,配置於該黑矩陣層上,並與該黑矩陣層 連接在一起; 多個凸出結構,配置於該些彩色濾光圖案上,其中該 黑矩陣層、該些間隔物以及該些凸出結構的材質相同;以 及 一共用電極,覆蓋該些彩色濾光圖案、該黑矩陣層、 該些凸出結構以及該些間隔物。 2. 如申請專利範圍第1項所述之彩色濾光基板,其中 該基板上具有多數個次畫素區,且每一彩色濾、光圖案是配 置於其中一次晝素區内。 3. 如申請專利範圍第1項所述之彩色濾光基板,更包 括一配向膜層,該配向膜層配置於該共用電極上。 4. 如申請專利範圍第1項所述之彩色濾光基板,其中 該些彩色濾光圖案包括至少一紅色濾光圖案、至少一綠色 濾光圖案以及至少一藍色濾光圖案。 5. —種彩色濾光基板,包括: 一基板; 多個彩色濾光圖案,配置於該基板上; 20 丨 Otwf.doc/g 一共用電極,覆蓋該些彩色濾光圖案以及該基板; 一黑矩陣層,配置於該共用電極上,且位於該些彩色 濾光圖案之間; 多個間隔物,配置於該黑矩陣層上,並與該黑矩陣層 連接在一起;以及 ^多個凸出結構,配置於該彩色濾光圖案上方之該共用 包極上其中5亥黑矩陣層、該些間隔物以及該些凸出結構 的材質相同。
6·如申睛專利範圍第5項所述之彩色濾光基板,其中 ϊίίΐ具有多數個次晝素區,且每—彩色濾光圖案是配 置於其中一次晝素區内。 7.如ΐ請翻翻第5销叙料濾絲板,更包 m膜層’、該配向膜層覆蓋該共用電極、該黑矩陣層、 μ二凸出結構以及該些間隔物。 ⑽=專利範圍第5項所述之彩色編板,其中
二二形色屬光圖案包括至少—紅色濾光圖荦、至少一綠色 濾光圖案以及至少一藍色濾光圖案。 9· 一種彩色濾光基板的製造方法, 提供一基板; 在該基板上形成多數個彩色濾光圖案; 些彩形成一遮光材料層’心蓋該基板以及該 圖案化該遮光材料層,以同時 個凸出結構以及多個間隔物出—黑矩陣層、多 21 丨 Otwf.doc/g 在忒基板上形成一共用電極,以覆蓋些彩色濾光圖 案、該黑矩陣層、該些凸出結構以及該些間隔物。 、10·如專利申請範圍第9項所述之彩色濾光基板的製 造方法’其巾®案化該遮光材料層之方法包括: 在該遮光材料層上設置一光罩,該光罩具有一透光 區、一非透光區以及一半透光區;以及 、,進行,曝光製程以及一顯影製程,以圖案化該遮光材 料層’而喊該黑矩陣層、該些凸出結構以及該些間隔物。 、11·如專利中請範圍第9項所述之彩色濾光基板的製 造方法’其巾形成該些彩色濾光圖案的方法包括: 在該基板上形成一紅色濾光材料層; 圖案化該紅色濾光材料層,以在該基板上形成至少一 紅色濾光圖案; 在該基板上形成一綠色濾光材料層; 圖案化該綠色濾光材料層,以在該基板上形成至少一 綠色濾光圖案; 在該基板上形成一藍色濾光材料層;以及 圖案化該藍色滤光材料層,以在該基板上形成至少一 藍色濾光圖案。 12· —種彩色濾光基板的製造方法,包括: 提供一基板; 在該基板上形成多數個彩色濾光圖案; 在该基板上形成一共用電極,以覆蓋該基板與該些彩 色濾光圖案; 22 1276845 Otwf.doc/g 在該共用電極上形成一遮光材料層;以及 圖案化該遮光材料層,以同時定義一黑矩陣層、多個 凸出結構以及多個間隔物。 13·如專利申請範圍第η項所述之彩色濾光基板的製 造方法’其中圖案化該遮光材料層之方法包括·· 在該遮光材料層上設置一光罩,該光罩具有一透光 區、一非透光區以及一半透光區;以及 · 進行一曝光製程以及一顯影製程,以圖案化該遮光材 料層’而形成該黑矩陣層、該些凸出結構以及該些間隔物。 14·如專利申請範圍第ι2項所述之彩色濾光基板的製 造方法’其中形成該彩色濾光圖案的方法包括: 在該基板上形成一紅色濾光材料層; 圖案化該紅色濾光材料層,以在該基板上形成至少一 紅色濾光圖案; 在該基板上形成一綠色濾光材料層; 圖案化該綠色濾光材料層,以在該基板上形成至少一 綠色濾、光圖案; 在該基板上形成一藍色濾光材料層;以及 一圖案化该監色濾光材料層,以在該基板上形成至少一 藍色濾光圖案。 23
TW095111750A 2006-04-03 2006-04-03 Color filter substrate and manufacturing method thereof TWI276845B (en)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW095111750A TWI276845B (en) 2006-04-03 2006-04-03 Color filter substrate and manufacturing method thereof
US11/471,894 US7616274B2 (en) 2006-04-03 2006-06-20 Color filter substrate comprising spacers, black matrix, and protrusions made of the same material and method of manufacturing the same
KR1020060065270A KR100787804B1 (ko) 2006-04-03 2006-07-12 컬러 필터 기판 및 그 제조 방법
JP2006309054A JP4473253B2 (ja) 2006-04-03 2006-11-15 カラーフィルタ基板及びその製造方法
US12/175,693 US7826010B2 (en) 2006-04-03 2008-07-18 Color filter substrate and method of manufacturing the same

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
TW095111750A TWI276845B (en) 2006-04-03 2006-04-03 Color filter substrate and manufacturing method thereof

Publications (2)

Publication Number Publication Date
TWI276845B true TWI276845B (en) 2007-03-21
TW200739141A TW200739141A (en) 2007-10-16

Family

ID=38558337

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
TW095111750A TWI276845B (en) 2006-04-03 2006-04-03 Color filter substrate and manufacturing method thereof

Country Status (4)

Country Link
US (2) US7616274B2 (zh)
JP (1) JP4473253B2 (zh)
KR (1) KR100787804B1 (zh)
TW (1) TWI276845B (zh)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI276845B (en) * 2006-04-03 2007-03-21 Au Optronics Corp Color filter substrate and manufacturing method thereof
KR101383708B1 (ko) * 2007-03-27 2014-04-10 삼성디스플레이 주식회사 디스플레이장치 및 그 제조방법
JP5228594B2 (ja) * 2008-04-16 2013-07-03 大日本印刷株式会社 カラーフィルタ形成用基板およびカラーフィルタの製造方法
JP5195092B2 (ja) * 2008-07-02 2013-05-08 大日本印刷株式会社 カラーフィルタ及びカラーフィルタの製造方法
KR101525801B1 (ko) * 2008-11-14 2015-06-08 삼성디스플레이 주식회사 어레이 기판 및 그 제조 방법
CN102654683A (zh) * 2009-08-06 2012-09-05 北京京东方光电科技有限公司 彩膜基板及其制造方法
KR101604650B1 (ko) * 2009-10-27 2016-03-28 삼성디스플레이 주식회사 표시 기판, 이의 제조 방법 및 표시패널의 제조 방법
KR101607636B1 (ko) 2009-11-23 2016-04-12 삼성디스플레이 주식회사 액정 표시 장치
WO2012043620A1 (ja) 2010-09-30 2012-04-05 凸版印刷株式会社 カラーフィルタ基板および液晶表示装置
KR101300034B1 (ko) * 2010-10-18 2013-08-29 엘지디스플레이 주식회사 액정표시장치용 기판 및 이를 이용한 액정표시장치
KR20120070254A (ko) * 2010-12-21 2012-06-29 삼성전자주식회사 표시 기판, 이의 제조 방법 및 이를 구비하는 표시 패널
KR101890130B1 (ko) * 2011-10-24 2018-08-22 삼성디스플레이 주식회사 표시 장치의 제조방법
CN103217821B (zh) * 2012-01-19 2016-08-31 瀚宇彩晶股份有限公司 显示装置及其制造方法
CN103389593A (zh) * 2012-05-07 2013-11-13 淳安电子股份有限公司 彩色滤光基板的制作方法
KR102001839B1 (ko) 2013-02-15 2019-07-22 삼성디스플레이 주식회사 표시 기판, 이를 제조하기 위한 마스크 및 이의 제조 방법
CN103323991A (zh) * 2013-06-28 2013-09-25 合肥京东方光电科技有限公司 一种彩膜基板、液晶面板及显示装置
KR101474803B1 (ko) * 2014-03-27 2014-12-19 제일모직주식회사 블랙 컬럼 스페이서 제조방법, 블랙 컬럼 스페이서 및 컬러 필터
KR102292670B1 (ko) * 2015-02-27 2021-08-23 삼성디스플레이 주식회사 액정 표시 장치
CN104656305A (zh) 2015-03-09 2015-05-27 京东方科技集团股份有限公司 一种彩膜显示层、显示面板及制备方法
US20180307071A1 (en) * 2017-04-24 2018-10-25 HKC Corporation Limited Liquid crystal display panel, manufacturing method thereof, and display device applied thereto
CN107065286A (zh) * 2017-05-16 2017-08-18 深圳市华星光电技术有限公司 彩色滤光片基板及其制备方法
CN108983482A (zh) * 2018-07-24 2018-12-11 深圳市华星光电技术有限公司 彩膜基板及其制作方法
CN109739045A (zh) * 2019-03-13 2019-05-10 惠科股份有限公司 显示面板的制造方法及显示面板
KR20210147123A (ko) * 2020-05-27 2021-12-07 삼성디스플레이 주식회사 표시패널 및 표시패널의 제조방법

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5949184A (en) * 1994-11-11 1999-09-07 Sony Corporation Light-emitting device and method of manufacturing the same
ATE410715T1 (de) * 1996-08-05 2008-10-15 Toray Industries Substrat fur ein flüssigkristallanzeigeelement und eine dieses element enthaltende flüssigkristallanzeige
JPH10239705A (ja) 1997-02-27 1998-09-11 Toshiba Electron Eng Corp 液晶表示素子
JPH10332923A (ja) 1997-05-30 1998-12-18 Sharp Corp カラーフィルター及び液晶表示装置
JPH11311786A (ja) * 1998-02-27 1999-11-09 Sharp Corp 液晶表示装置およびその製造方法
KR100502806B1 (ko) * 1998-04-17 2005-11-22 삼성전자주식회사 액정표시장치및그제조방법
JP2001091727A (ja) 1999-09-27 2001-04-06 Matsushita Electric Ind Co Ltd カラーフィルタ基板の製造方法とそのカラーフィルタ基板および液晶表示装置
KR100772940B1 (ko) 2001-12-05 2007-11-02 엘지.필립스 엘시디 주식회사 액정표시장치용 컬러필터 기판과 그 제조방법
KR100949493B1 (ko) * 2003-06-24 2010-03-24 엘지디스플레이 주식회사 액정표시패널의 제조방법
TWI326369B (en) * 2004-01-02 2010-06-21 Chimei Innolux Corp In plane switching type liquid crystal display device with the same
US7433004B2 (en) * 2004-06-11 2008-10-07 Sharp Kabushiki Kaisha Color filter substrate, method of making the color filter substrate and display device including the color filter substrate
KR100825381B1 (ko) * 2004-11-26 2008-04-29 삼성에스디아이 주식회사 Ocb 모드 액정층을 구비하는 액정표시장치 및 그의제조방법
KR101142997B1 (ko) * 2005-01-18 2012-05-08 삼성전자주식회사 색필터 표시판 및 이를 포함하는 액정 표시 장치
TWI276845B (en) * 2006-04-03 2007-03-21 Au Optronics Corp Color filter substrate and manufacturing method thereof

Also Published As

Publication number Publication date
US7826010B2 (en) 2010-11-02
US20080273257A1 (en) 2008-11-06
KR100787804B1 (ko) 2007-12-21
KR20070099389A (ko) 2007-10-09
US20070229734A1 (en) 2007-10-04
JP4473253B2 (ja) 2010-06-02
JP2007279674A (ja) 2007-10-25
US7616274B2 (en) 2009-11-10
TW200739141A (en) 2007-10-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
TWI276845B (en) Color filter substrate and manufacturing method thereof
TWI331231B (en) Color filter and frbricating method thereof
TW594343B (en) Color filter structure and method of fabrication
TWI237726B (en) Active matrix substrate having column spacers integral with protective layer and process for fabrication thereof
TWI244563B (en) Reflection type color liquid crystal display device, light scattering film being used in a liquid crystal device and manufacturing method thereof
TWI315009B (en) Method of forming a color filter having various thicknesses and a transflective lcd with the color filter
JP2000292785A (ja) 反射型液晶表示装置及びその製造方法
TWI267663B (en) Color filter substrate for liquid crystal display device and method for manufacturing the same
TW201213963A (en) Liquid crystal display device and method of manufacturing the same
TW200307159A (en) Liquid crystal display device
JP5245303B2 (ja) カラーフィルタ基板の製造方法及び液晶表示装置の製造方法
TWI226462B (en) Color filter and fabricating method thereof
TWI231382B (en) Method for manufacturing color filter and method for manufacturing liquid crystal display device using the same
WO2014134886A1 (zh) 彩膜基板及其制作方法、液晶显示屏
TWI286346B (en) Method of fabricating color filter substrate
TWI274909B (en) Transflective liquid crystal display panel, color filter and fabricating method thereof
TWI337668B (en) Transflective display and fabrication thereof, a method for forming a display
JP2004295090A5 (zh)
JP3569200B2 (ja) 液晶表示装置およびその製造方法
TWI311206B (en) Fabricating method of color filter
TWI271575B (en) Liquid crystal display panel and method of making the same
TWI378273B (en) Color filter, display panel, electro-optical apparatus and method fabricating the same
TW201028742A (en) Liquid crystal panel, color filter and fabricating method thereof
JP2003255111A (ja) 反射型光拡散器の製造方法
TWI311221B (en) Color filter and producing method thereof