JP5245303B2 - カラーフィルタ基板の製造方法及び液晶表示装置の製造方法 - Google Patents
カラーフィルタ基板の製造方法及び液晶表示装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5245303B2 JP5245303B2 JP2007172602A JP2007172602A JP5245303B2 JP 5245303 B2 JP5245303 B2 JP 5245303B2 JP 2007172602 A JP2007172602 A JP 2007172602A JP 2007172602 A JP2007172602 A JP 2007172602A JP 5245303 B2 JP5245303 B2 JP 5245303B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- color filter
- filter substrate
- spacer
- pattern
- liquid crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Optical Filters (AREA)
Description
着色層が形成されたカラーフィルタ基板上にネガ型レジスト膜を形成した。ネガ型レジストとしては、オプトマーNN777(商品名、JSR社製)を用い、スピンコーターを用いたスピンコート法により、3〜4μmに膜厚に塗布した。次いで、90℃で60分間プリベークを行った。
露光ギャップ:100μm〜150μm
露光光源(主光波長):365nm(i線)
露光量:100mJ/cm2〜200mJ/cm2
露光装置:マイクロニックLRS11000(商品名)
次いで、以上のようにして露光されたレジスト膜に対し、現像・定着処理を行った。現像・定着処理は、0.5重量%炭酸ナトリウム水溶液中に室温で45秒間浸漬し、220℃、30分間の加熱をすることにより行った。
Claims (7)
- カラーフィルタ基板と、これに対向する基板との間に液晶を封入した液晶表示装置に使用されるカラーフィルタ基板であって、透明基板と、この透明基板上に形成された、所定のパターンの遮光層と、この遮光層により区画された領域に二次元的に配置された複数色の画素着色層と、前記遮光層上に三次元的に積層された、前記基板間のギャップを一定に保持するためのセルギャップ調整用スペーサとを具備し、前記スペーサを含む高さの異なる少なくとも3つのパターン状構造体を備えるカラーフィルタ基板の製造方法において、 前記少なくとも3つのパターン状構造体は、同一の材料からなり、同一の露光マスクを用いて一回の露光工程を含むプロセスにより形成され、
前記露光マスクは、露光の照射光をすべて透過する透過部と、露光の照射光の光量を減少させるグレートーン部と、露光の照射光の特定波長を透過させるハーフトーン部とを含み、前記グレートーン部は露光機の解像度以下のスリットを形成する、四角形のスリットが二重に形成された四角形の二重目玉パターン、四角形の開口部に形成された格子状スリットを有する四角形の格子状パターン、八角形のスリットが二重に形成された八角形の二重目玉パターン、八角形の開口部に形成された格子状スリットを有する八角形の格子状パターン、または八角形の開口部に形成された十字遮光部を有する八角形の十字遮光パターンが形成され、前記ハーフトーン部にはITO膜が形成されてなることを特徴とするカラーフィルタ基板の製造方法。 - 前記少なくとも3つのパターン状構造体は、ネガ型感光性レジストを用いて形成されたことを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
- 前記少なくとも3つのパターン状構造体は、セルギャップ調整用スペーサと、このセルギャップ調整用スペーサよりも高さの低い補助スペーサと、この補助スペーサよりも高さの低い液晶配向用突起とを含むことを特徴とする請求項1又は2に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
- 前記少なくとも3つのパターン状構造体は、セルギャップ調整用スペーサと、このセルギャップ調整用スペーサよりも高さの低い補助スペーサと、この補助スペーサよりも高さの低いオーバーコート層とを含むことを特徴とする請求項1又は2に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
- 前記液晶表示装置は半透過型液晶表示装置であり、前記少なくとも3つのパターン状構造体のうち一つのパターンが、カラーフィルタ基板の反射表示領域の画素上に形成されていることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
- 前記液晶表示装置は半透過型液晶表示装置であり、前記少なくとも3つのパターン状構造体は、セルギャップ調整用スペーサと、このセルギャップ調整用スペーサよりも高さの低い補助スペーサと、この補助スペーサよりも高さが低く、カラーフィルタ基板の反射表示領域の画素上に形成された、反射表示領域上の光路差を調整するためのマルチギャップ層とを含み、更に、前記マルチギャップ層よりも高さの低いオーバーコート層を有することを特徴とする請求項1又は2に記載のカラーフィルタ基板の製造方法。
- 請求項1〜6のいずれかに記載のカラーフィルタ基板の製造工程を具備することを特徴とする液晶表示装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007172602A JP5245303B2 (ja) | 2007-06-29 | 2007-06-29 | カラーフィルタ基板の製造方法及び液晶表示装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007172602A JP5245303B2 (ja) | 2007-06-29 | 2007-06-29 | カラーフィルタ基板の製造方法及び液晶表示装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009009058A JP2009009058A (ja) | 2009-01-15 |
JP5245303B2 true JP5245303B2 (ja) | 2013-07-24 |
Family
ID=40324160
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007172602A Expired - Fee Related JP5245303B2 (ja) | 2007-06-29 | 2007-06-29 | カラーフィルタ基板の製造方法及び液晶表示装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5245303B2 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010266579A (ja) * | 2009-05-13 | 2010-11-25 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ基板 |
JP5545810B2 (ja) * | 2009-11-27 | 2014-07-09 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 液晶表示バネル及びその製造方法 |
JP2012103474A (ja) * | 2010-11-10 | 2012-05-31 | Toppan Printing Co Ltd | カラーフィルタ基板の製造方法及びカラーフィルタ基板、並びにこれを用いた液晶表示装置 |
CN104076597B (zh) * | 2013-03-26 | 2016-03-02 | 北京京东方光电科技有限公司 | 一种紫外线掩膜板及其制备方法和封框胶的固化方法 |
JP6135347B2 (ja) * | 2013-07-16 | 2017-05-31 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタの製造方法及びカラーフィルタ |
JP6682759B2 (ja) * | 2014-12-02 | 2020-04-15 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタ基板の製造方法 |
KR102096269B1 (ko) * | 2016-03-31 | 2020-04-03 | 주식회사 엘지화학 | 포토 마스크 및 이를 이용한 컬러필터용 컬럼 스페이서의 제조방법 |
JP6447655B2 (ja) * | 2017-04-21 | 2019-01-09 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタおよび液晶表示装置 |
CN109901357B (zh) * | 2017-12-08 | 2023-01-06 | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 | 光刻板及掩模修正方法 |
CN108873425B (zh) * | 2018-06-13 | 2021-09-21 | 昆山龙腾光电股份有限公司 | 液晶显示面板及其制作方法 |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4385690B2 (ja) * | 2003-09-09 | 2009-12-16 | 凸版印刷株式会社 | 液晶表示素子製造用露光マスク及びその製造方法 |
JP4635604B2 (ja) * | 2004-12-27 | 2011-02-23 | 凸版印刷株式会社 | 露光マスク用ブランクの製造方法並びに露光マスク、液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法及び液晶表示装置用カラーフィルタ |
JP5200439B2 (ja) * | 2006-07-21 | 2013-06-05 | 大日本印刷株式会社 | カラーフィルタの製造方法 |
-
2007
- 2007-06-29 JP JP2007172602A patent/JP5245303B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009009058A (ja) | 2009-01-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5245303B2 (ja) | カラーフィルタ基板の製造方法及び液晶表示装置の製造方法 | |
KR100816333B1 (ko) | 액정 표시 장치용 색 필터 기판 및 박막 트랜지스터 기판및 이들의 제조 방법 | |
KR101578692B1 (ko) | 액정표시장치의 칼라필터 어레이 및 그 제조방법 | |
US9696594B2 (en) | Display substrate and fabricating method thereof, and display device | |
US7126662B2 (en) | Transflective liquid crystal display device comprising a patterned spacer wherein the buffer layer and the spacer are a single body and method of fabricating the same | |
JP5094010B2 (ja) | 液晶表示装置用カラーフィルタ基板及びその製造方法 | |
US7704646B2 (en) | Half tone mask and method for fabricating the same | |
US7470491B2 (en) | Method of fabricating color filter panel using back exposure and structure of color filter panel | |
KR20030048352A (ko) | 포토리소그래피용 마스크, 박막 형성 방법, 및 액정 표시장치 및 액정 표시 장치의 제조 방법 | |
JP4033196B2 (ja) | フォトリソグラフィ用マスク、薄膜形成方法及び液晶表示装置の製造方法 | |
US7732814B2 (en) | Liquid crystal display device and method of fabricating the same | |
JP2011145376A (ja) | フォトマスク、カラーフィルタ基板、画素電極基板、液晶表示装置、カラーフィルタ基板の製造方法及び画素電極基板の製造方法 | |
JP2009058606A (ja) | カラーフィルタ及びその製造方法とフォトマスク及び液晶表示装置 | |
KR20050104338A (ko) | 포스트 스페이서 형성 방법, 포스트 스페이서, 디스플레이,액정 셀 및 포토마스크 | |
KR101294692B1 (ko) | 기둥형상의 스페이서 제조방법 | |
JP2011145377A (ja) | フォトマスク、カラーフィルタ基板、画素電極基板、液晶表示装置、カラーフィルタ基板の製造方法及び画素電極基板の製造方法 | |
JP2008281594A (ja) | 液晶表示装置及びその製造方法 | |
JP2011145378A (ja) | フォトマスク、カラーフィルタ基板、画素電極基板、液晶表示装置、カラーフィルタ基板の製造方法及び画素電極基板の製造方法 | |
JP4617821B2 (ja) | 液晶表示装置用基板、液晶表示装置用基板の製造方法及びそれに用いるフォトマスク | |
JP2009282290A (ja) | フォトマスク、カラーフィルタ、液晶表示装置、及びカラーフィルタの製造方法 | |
KR20070072158A (ko) | 액정 표시 장치용 컬러 필터 기판 및 이의 제조 방법 | |
JP2007121800A (ja) | カラーフィルタ基板の製造方法及びカラーフィルタ基板 | |
KR100749458B1 (ko) | 티에프티 어레이 상에 칼라 필터가 형성된 엘시디 및 그 제조방법 | |
US20190113787A1 (en) | Fabricating method of photo spacer in liquid crystal display panel and liquid crystal display panel | |
KR101095534B1 (ko) | 하프톤마스크 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100524 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110524 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120307 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120313 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120511 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20120529 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20121120 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130118 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130312 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130325 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5245303 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20160419 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |