TWI247333B - Display, and method and device for manufacturing the same - Google Patents

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1247333 (1) 玖、發明說明 【發明所屬之技術領域】 本發明乃有關於於基板具有間隔壁之顯示器 造方法，和顯示器裝置之製造裝置及顯示器裝置 【先前技術】 近年來，逐漸提高對大型平面顯示器裝置之 大型平面顯示器裝置之中，特別邁向電漿顯示器 (PDP)之普及化。 電漿顯示器面板裝置（以下稱之爲電漿顯示 之發光效率，由於受到構成各畫素之單元容積頗 故加大單元容積乃於改善發光效率上爲最大課題 單元容積’一般而言係增加構成單元之間隔壁厚 一但增大間隔壁寬度時將會降低單元開口率 在大面積之基板上形成間隔壁高度與間隔壁之厚 間隔壁高度/間隔壁厚度）較大的間隔壁。 於此種間隔壁之形成，係藉由噴砂法切削間 法，和螢幕印刷法爲其主流。當於使用噴砂法（ )時，雖然可獲得良好之間隔壁之高度/間隔壁 値之間隔壁，但是將導致加工時間變長。另外， 印刷法圖案法玻璃錫膏而燒結方式時，具有一次 玻璃錫膏之高度。且，螢幕印刷法，操作繁雜且 將降低生產性，可能破壞單元之形成圖案。 單元間隔壁，藉由將事先形成之均勻之厚度 裝置之製 需求。於 面板裝置 器裝置） 大影響， 。對改善 度。 ，故必須 度比値（ 隔壁之方 sandblast 厚度之比 藉由螢幕 可塗佈之 耗費時間 之無麈膠 -4- (2) 1247333 帶做爲絕緣層而加以使用，而形成（譬如專利文獻1 )。 [專利文獻1] 曰本特開平8-25 55 1 0號公報（第1頁至第3頁，圖1) 然而，當使用如此之無塵膠帶而形成單元間隔壁時， 將具有以下之問題。使先貼合於大型基板之尺寸，而需事 先形成大型之間隔壁圖案，將如此大型之無塵膠帶對大型 基板之表面進行均勻性貼付係爲困難之，且將耗費大量貼 合時間，無法改善製造大型平面顯示器裝置時之生產效率 〇 於是，爲了解決上述課題，本發明係構成發光單元之 間隔壁，提供不僅爲顯示器裝置之基板大小且便宜可製造 精密度高之顯示器裝置之製造方法，顯示器裝置之製造裝 置及藉此所製造之顯示器裝置，而做爲目的。 【發明內容】 第1發明乃爲於基板具有間隔壁之顯示器裝置之製造 方法，其特徵係具有對前述基板，形成無機微粉末層之無 機微粉末層形成步驟，和於前述基板上之前述無機微粉末 層，照射雷射光而熔融所形成前述間隔壁之間隔壁形成步 若藉由上述構造時，於無機微粉末層形成步驟上，對 基板將形成無機微粉末層。於間隔壁形成步驟上，於基板 上之無機微粉末層照射雷射光而熔融而形成間隔壁。 藉此，無機微粉末層對基板所形成之後，基板上之無 (3) 1247333 機微粉末層僅照射雷射光而熔融，既可形成間隔壁。因此 ，構成發光單元之間隔壁，不僅爲顯示器裝置之大小且可 便宜可製造精密度高。 第2發明’於第1發明之中，前述無機微粉末層爲玻璃 微粉末，其特徵係於前述玻璃微粉末混入爲了防止從前述 間隔壁之可見光漏失之顏料。 若藉由上述構造時，無機微粉末層微玻璃微粉末。於 此玻璃微粉末，混入防止從間隔壁之洩漏可見光之顏料。 藉此，於形成間隔壁之後，間隔壁係以防止於鄰接之 發光單元間之洩漏可見光來做爲黑條紋，進而可改善於發 光單元之發光時之對比。 第3發明，於第2發明之中，其特徵係前述顏料具有吸 收前述雷射光之成分。 若藉由上述構造時，顏料由於具有吸收雷射光之成分 ，故可改善雷射光之吸收率，進而可助於無機微粉末層之 熔融。 第4發明，乃於第1發明至第3發明之任一者之構造中 ，其特徵爲於前述間隔壁形成步驟上，於對大氣壓而減壓 之環境中，前述雷射光將沿著前述無機微粉末層而掃描操 作。 若藉由上述構造時，於間隔壁形成步驟上，對大氣壓 所減壓之環境中，雷射光將沿著無機微粉末層而進行掃描 操作。 藉此，雷射光僅沿著無機微粉末層而操作，雷射光可 -6- (4) 1247333 熔融無機微粉末層而形成間隔壁。此時情況，對大氣壓減 壓之環境中，由於係藉由雷射光熔融無機微粉末層，故當 熔融無機微粉末層時，於所熔融之無機微粉末層中，將可 防止產生具有空氣洞孔而導致封閉空氣之現象。如此，由 於阻塞於熔融空氣之無機微粉末層內，故當使用顯示器裝 置時，空氣將不會從間隔壁洩漏，且亦不會對發光單元之 發光氣體之成分造成影響。 第5發明，係於第4發明之構造中，其特徵係前述雷射 光之前述掃描操作係於不活潑氣體環境中進行之。 若藉由上述構造時，雷射光之掃描操作，係於不活潑 慶體環境中進行之。 藉此，對大氣壓減壓之環境中，當雷射光熔融無機微 粉末層而形成間隔壁時，將可減少所形成之間隔壁之空孔 率。 且，如此之無機微粉末層之熔融，雖然係於不活潑氣 體中進行，但是此不活潑氣體環境係相同於塡充於顯示器 裝置之發光單元之不活潑氣體，最好係不活潑氣體。 第6發明，係於第5發明中，其特徵係前述無機微粉末 層，具有使用平板而平坦化之平坦化步驟。 若藉由上述構造時，無機微粉末層係於平坦化步驟之 中，使用平板而進行平坦化。 藉此，可將藉由雷射光熔融所形成之間隔壁之高度作 成均勻化。 第7發明，係於第6發明中，其特徵係藉由反覆前述無 (5) 1247333 機微粉末層形成步驟，和前述平坦化步驟及前述間隔壁形 成步驟，設定對前述基板之前述間隔壁之高度。 若藉由上述構造時，乃藉由重複無機微粉末層形成步 驟，和前述平坦化步驟及前述間隔壁形成步驟’使得可設 定對基板之所期望間隔壁之高度。藉此’可設定自由之間 隔壁高度。 第8發明，係於第7發明中，其特徵係具有於形成後， 吸引未熔融前述間隔壁之前述無機微粉末之爲粉末吸引步 驟，和將前述無機微粉末於吸引後，清洗殘留於前述基板 之未熔融之前述無機微粉末而使前述基板乾燥之清洗及乾 燥步驟。 若藉由上述構造時，於微粉末吸引步驟上，可吸引未 熔融於形成間隔壁之後之無機微粉末。於清洗及乾燥步驟 上，於吸引無機微粉末後，於清洗未熔融於殘留於基板之 無機微粉末之後，可乾燥基板。 藉此，顯示器裝置之基板，僅形成間隔壁，吸引無須 之無機微粉末而可確實回收。同時，從此基板，藉由清洗 無須之無機微粉末而進行乾燥，使得於具有間隔壁之基板 ，可防止附著不需之無機微粉末。 第9發明，爲於基板上具有間隔壁之顯示器裝置之製 造裝置’其特徵具有對前述基板，形成無機微粉末層之無 機微粉末層供給部，和於前述基板上之前述無機微粉末層 ，照射雷射光而熔融所形成前述間隔壁之間隔壁形成用之 雷射光源。 -8 · (6) 1247333 若藉由上述構造時，無機微粉末層供給部對基板形成 無機微粉末層。間隔壁形成用之雷射光源對基板上之無機 微粉末層照射雷射光而熔融形成間隔壁。 藉此，無機微粉末層於對基板形成之後，基板上之無 機微粉末層，僅照射雷射光而熔融’既可形成間隔壁。因 此，構成發光單元之間隔壁’不僅可製造顯示器裝置之基 板大小，且亦可製造便宜及精密度佳。 第10發明，於第9發明之構造中，係對大氣壓減壓之 環境中，其特徵爲沿著前述無機微粉末層而掃描操作前述 雷射光時，具有爲了形成對大氣壓而減壓之不活潑氣體環 境之減壓環境形成部。 若藉由上述構造時，減壓環境形成部，於對大氣壓減 壓之環境中，將沿著無機微粉末層掃描操作雷射光時，對 大氣壓，可作成減壓之不活潑氣體環境。 藉此，雷射光僅沿著無機微粉末層掃描操作，雷射光 可熔融無機微粉末層而形成間隔壁。此種情況，於對大氣 壓減壓之環境中，由於藉由雷射光而熔融無機微粉末層， 故當熔融無機微粉末層時，於所熔融之無機微粉末層中， 將可防止產生具有空氣之孔洞而阻塞空氣之現象。如此， 由於不會阻塞於熔融空氣之無機微粉末層內，故當使用顯 示器時，空氣不會從間隔壁洩漏，且對發光單元之發光氣 體之組合成分亦不會有任何影響。 於對大氣壓減壓環境內，雷射光當熔融無機微粉末層 而形成間隔壁時，可減少所形成之間隔壁之空氣率。且， -9 - (7) 1247333 如此之無機微粉末層之熔融，雖然係於不活潑氣體環境中 進行’但是此不活潑氣體環境，最好係相同於塡充於顯示 器裝置之發光單元之不活潑氣體環境。 第11發明’於第10發明之構造中，其特徵具有爲了進 行前述無機微粉末層之平坦化之平板。 若藉由上述構造時，無機微粉末層之平坦化係藉由平 板而進行之。 藉此’可將藉由雷射光熔融所形成之間隔壁高度作成 均勻化。 第12發明，係於構成顯示器裝置之基板中，具有構成 發光單元之間隔壁之顯示器裝置·，其特徵係對前述基板所 形成之無機微粉末層，照射雷射光而熔融前述無機微粉末 層，形成前述間隔壁。 若藉由上述構造時，形成於顯示器裝置之基板之無機 微粉末層，將照射雷射光而熔融，形成間隔壁。 藉此，無機微粉末層於對基板形成之後，基板上之無 機微粉末層，僅照射雷射光而熔融，既可形成間隔壁。因 此，構成發光單元之間隔壁，不僅可製造顯示器裝置之基 板大小，且亦可製造便宜及精密度佳。 第13發明，係於第12發明構造中，前述顯示器裝置爲 電漿顯示器裝置，其特徵係前述無機微粉末層爲玻璃微粉 末，於前述玻璃微粉末混入爲了防止從前述間隔壁之可見 光漏失之顏料。 若藉由上述構造時，顯示器裝置，爲電漿顯示器裝置 •10- (8) 1247333 。無機微粉末層爲玻璃微粉末，於玻璃微粉末混入者爲了 防止從間隔壁之可見光漏失之顏料。 藉此，於形成間隔壁之後，間隔壁以可防止鄰接之發 光單元間之可見光洩漏來做爲黑條紋，進而可改善發光單 元之發光時之對比。 【實施方式】 以下，基於圖面說明本發明之最適當之實施形態。 圖1爲表示本發明之顯示器裝置之製造裝置之最佳實 施形態斜視圖。 顯示器裝置之製造裝置10爲平面顯示器裝置，譬如， 對電漿顯示器裝置之基板，而形成間隔壁之裝置。此間隔 壁爲構成電漿顯示器裝置之發光單元之部分。圖1所示之 電漿顯示器裝置之製造裝置10,具有無機微粉末層供給部 1 1，基板之支撐部1 3，間隔壁形成用之雷射光源1 5，平板 1 7，移動操作部1 9，減壓環境形成部20，及控制部1 00。 減壓環境形成部20，爲覆蓋雷射光源1 5，平板1 7，無 機微粉末層供給部1 1之儲藏槽2 1，及基板支撐部1 3，其中 ，譬如對不活潑氣體且大氣壓，可形成減壓之環境。 此減壓環境形成部20之內部，譬如可形成於氖氣體， 氙氣體或如氖與氙氣體之混合氣體之不活潑氣體環境。 說明有關圖1所示之基板支撐部1 3。 圖1之基板支撐部13，乃具有平台25和承載台27及上 下操作部2 9。 -11 - 1247333 Ο) 平台25係收納承載台27，和上下操作部29。承載台27 係藉由上下操作部29之動作，於Z方向上下移動承載台27 而關於Z方向而可加以定位。 於承載台27上，間隔壁形成對象或是成爲間隔壁製造 對象之基板3 0能夠搭載成可安裝拆卸。此基板3 0，譬如係 大型且平板狀之基板。此基板30，譬如爲電漿顯示器裝置 之背面玻璃基板，以透明玻璃基板來做爲例子。 圖1之平台25上部，具有邊緣部31。此邊緣部31，係 沿著承載台2 7之四邊而加以配置，此邊緣部3 1係沿著Z方 向而突出。此邊緣部3 1和承載台27，係形成爲了收納於後 說明之無機微粉末3 3之收納部3 5。 其次，說明有關圖1所示之無機微粉末層供給部1 1。 無機微粉末層供給部1 1，具有微粉末收納部4 1，供給 管43A，儲藏槽21。 微粉末收納部4 1，係收納爲了形成間隔壁之原料之無 機微粉末之儲槽。微粉末收納部41內之無機微粉末係藉由 供給管43A而供給於儲藏槽21內。 儲藏槽2 1，係藉由直線移動於X方向，對基板3 0之 表面43之全面，可形成無機微粉末。儲藏槽21之長邊方向 之長度，亦既，Y方向之長度L相較於基板30之寬度W 設定成較大。儲藏槽21可移動於X方向之滑動板，相較 於基板30之X方向長度設定爲較大。儲藏槽21係藉由支 撐構件21B而支撐之。 於圖IX方向與Y方向及Z方向，爲相互正交之方向 -12- (10) 1247333 。X方向與Y方向形成水平面，Z方向爲上下方向。X方 向係直線移動儲藏槽21，Y方向係平行於儲藏槽21之長度 L方向。 其次，說明有關圖1所示之平板17。 平板17，譬如係藉由金屬所作成之板狀構件。平板1 7 之頭端部1 7 A，係形成爲所謂刀邊狀。平板1 7係藉由支撐 構件17B所支撐之。 平板17係沿著X方向而可直線移動。平板17係將形 成於基板30表面43之無機微粉末層高度（厚度）設定成特 定厚度，同時平坦化無機微粉末層面之平坦化用之構件。 圖1所示之移動操作部1 9，係將平板1 7與儲藏槽2 1各 沿著X方向而進行直線移動。 移動操作部19係將平板17沿著X方向可進行特定滑 動板直線移動。可移動平板1 7之滑動板，係相較於與基板 30寬度W正交之方向基板3 0長度D較爲大。 移動操作部1 9，係將儲藏槽2 1沿著X方向可進行特 定滑動板直線移動。可移動儲藏槽2 1之滑動板，如上述所 言，相較於基板30之長度D設定較爲大。 移動操作部19係於各X方向直線移動平板17與儲藏 槽2 1之構造，譬如可採用馬達與傳輸軸之組合或齒輪與絞 鏈之組合，或者其他組合。上述之移動操作部1 9與上下操 作部29及微粉末收納部41，係藉由控制部100之指令而動 作。 說明有關圖1所示之雷射光源1 5。 -13- (11) 1247333 雷射光源1 5，係藉由操作部5 1之操作可移動於X方 向與Y方向及Z方向。操作部5 1係藉由控制部1 〇〇指令而 動作。雷射光源15乃藉由控制部1〇〇指令而動作。 雷射光源15最好係使用譬如C02雷射（二氧化碳氣體 雷射）。使用C02雷射來做爲雷射光源15，理由如下。雖 然最好係使用玻璃之微粉末來做爲無機微粉末3 3，但是此 玻璃，譬如爲100%吸收約10.6 // m波長光。因此，使用 C02雷射譬如對熔融玻璃之無機微粉末33效率爲最佳。 但是，當以使用玻璃之微粉末來做爲此無機微粉末3 3 時，對此玻璃之微粉末當施加顏料時，此玻璃微粉末，即 使吸收入除了上述之l〇.6//m波長光外之光，由於亦可熔 融玻璃之微粉末，故可放大雷射光源1 5之種類之選擇範圍 ，並非限制於上述之C02雷射。 於如玻璃微粉末之無機微粉末3 3，做爲添加之最佳顏 料，譬如爲Fe304之黑色顏料，吸收雷射光源15之雷射光 之約全波長，同時，此顏料由於藉由熱所形成變化較少， 故Fe304特別有效。 其次，說明有關電漿顯示器裝置之發光單元構造例子 圖2爲表示使用圖1所示之基板30之電漿顯示器裝置之 構造例。圖3爲表示圖2所示之電漿顯示器裝置200之間隔 壁之形成例子斜視圖。 圖2所示之電漿顯示器裝置200，爲以下之構造。電漿 顯示器裝置200具有背面玻璃基板3 00，間隔壁60，位址電 -14- (12) 1247333 極61，電極62，前玻璃基板63極螢光體64。 如圖2及圖3所示，電漿顯示器裝置200之間隔壁60從 圖2及圖3之T方向視之，形成爲長方形狀或正方形狀。間 隔壁60係構成複數發光單元201。各發光單元201係藉由間 隔壁6 0而隔離之。 於各發光單元201中，形成著不同顏色之螢光體64。 鄰接之螢光體64爲紅（R)，藍（G)，綠（B)之發光用 螢光體，依序各3種之螢光體係形成於各發光單元201中。 於發光單元201之底部形成著位址電極61。 間隔壁60對基板30表面43突出於Z方向垂直形成。 於前玻璃基板6 3之內面，形成著電極6 2。電極6 2位於 發光單元201之上部。前玻璃基板63與基板30，係對向而 加以配置之。 對電極6 2與所選擇之位址電極6 1，藉由通電使得透明 電極62而產生電漿放電，從電漿放電66紫外線67係對螢光 體64加以供給，螢光體64將產生可見光68。此可見光68係 透過透明電極6 2與前玻璃基板6 3，沿著Z 1方向可取出於 外部，藉此可顯示藉由各發光單元20 1所構成之彩色影像 〇 其次，說明有關使用電漿顯示器裝置之製造裝置10而 實施之電漿顯示器裝置之製造方法。 圖4，圖5及圖6爲具體表示本發明之電漿顯示器裝置 之製造方法最佳實施形態。 圖7爲表示此電漿顯示器裝置之製造方法步驟流程圖 -15- (13) 1247333 茲參照圖4至圖7，同時具體說明電漿顯示器裝置之製 造方法。 無機微粉末形成步驟ST1 於圖7所示之無機微粉末形成步驟ST1上，如圖4 ( A )所示，於基板30表面43上，形成無機微粉末層33 A。 其種情況，基板30係承載於可拆卸圖1所示之承載台 27上方。基板30於承載台27上，係放置於X方向與Y方 向所形成之平面上，保持水平狀態。 基板3 0於放置爲圖1所示之承載台2 7上之狀態上，減 壓環境形成部20係將其內部形成於不活潑氣體環境，同時 ’維持於相較於大氣壓而減壓之狀態。做爲不活潑氣體種 類係可採用氖氣或氙氣體或混合氖氣與氙氣。 如此，採用氖氣或氙氣體或混合此等氣體，理由如下 。亦既，密封於圖2所示之發光單元201內部不活潑氣體， 爲氖氣或氙氣體或混合此等氣體，此等不活潑氣體係做爲 發光氣體而加以使用。 使用相同於此發光單元201之發光氣體之組成成分之 不活潑氣體，減壓環境形成部20相較於大氣壓爲減壓內部 而形成爲不活潑氣體。 圖4所示之微粉末收納部4 1，係透過供給管子4 3 a而 於儲藏槽2 1內供給無機微粉末3 3。做爲此無機微粉末3 3譬 如可採用玻璃微粉末。無機微粉末33之粒子直徑譬如爲1 -16- (14) 1247333 μ m 〇 做爲無機微粉末3 3之粒子直徑，譬如可採用0· 1 // m 至1 0 0 # m者。此粒子直徑相較於0.1 /z m較爲小時，凝聚 力較大，且溫度等易於固定，不希望爲消示縮小粒子直徑 之意思，當相較於l〇〇//m較大時，不希望爲熔融後之塡 充率之點上。 如圖4(A)所示，儲藏槽21相較於移動操作部91之 動作係於基板3 0能夠直線平行移動於X 1方向。藉此，無 機微粉末33之無機微粉末層33A，可形成於基板30之表面 43。此無機微粉末層33A，係涵蓋於基板30表面43之全面 而加以形成。 平坦化步驟ST2 於圖7所示之平坦化步驟S T2上，如圖4 ( B )所示， 使用平板17。此平板17亦稱之爲擦片，平板17係藉由移動 操作部1 9之動作沿著X 1方向而移動，使得無機微粉末層 33A，以譬如0.1mm特定厚度E記錄成一定厚度。藉由此 平板17所產生之記錄動作，使無機微粉末層33A爲具有一 定厚度之無機微粉末33B，將無機微粉末層33C成爲平坦 間隔壁形成步驟ST3 圖7所不之間隔壁形成步驟S T 3，如圖4 ( C )所示。 於間隔壁形成步驟ST3上，對無機微粉末層33B照射 -17- (15) 1247333 雷射光70。此種情況，圖1所示之控制部1 00係藉由控制操 作部5 1動作，使得雷射光L因應於特定圖案形狀於X方 向與Y方向掃描操作，對無機微粉末層33B照射雷射光70 〇 無機微粉末層3 3 B之無機微粉末3 3，係事先添加顏料 。此顏料譬如係以改善二氧化碳氣體雷射之吸收效率目的 而添加之。同時，此顏料於形成間隔比之後，係以防止洩 漏鄰接之發光單元間之可見光來做爲黑條紋，共同具有改 善於發光單元之發光對比之任務。 於圖4 ( C)中，雷射光源15將藉由沿著XI方向及Y1 方向而移動，雷射光源1 5之雷射光70，係平行掃描於基板 30。藉由掃描操作雷射光70。而可形成如圖4(D)及圖3 所示之發光單元201之構造。此發光單元201係藉由鄰接之 間隔壁6〇所形成之。間隔壁60係藉由照射雷射光70熔融固 定而形成。 雷射光70當藉由特定圖案熔融無機微粉末層33B而逐 漸固定時，圖1所示之減壓環境形成部20將減壓其內部。 從進行減壓具有以下之優點。 雷射光70以特定圖案逐漸熔融無機微粉末層33B時， 雖然將產生大氣壓下與空孔（包含空氣孔），使得空氣可 能封閉於間隔壁內，但是於減壓環境下由於進行著熔融， 故不易產生空孔。 由此可知，於所形成之間隔壁6 0內，不會密封空氣。 因此，於圖2所示之發光單元201中，當產生電漿放電66而 -18- (16) 1247333 進行發光動作時，空氣將不會被釋放於發光單元201內， 對發光單元201內之發光氣體之組合成分不會產生影響。 換言之，於減壓中進行熔融，可以減少或者完全消除 空孔數量。 同時，如圖1所示之減壓環境形成部2 0內，爲不活潑 氣體環境，此不活潑氣體最好係採用相同於圖2所示之發 光單元201內之活潑氣體種類。因此，藉由不活潑氣體存 在使得於間隔壁60內防止密封著空氣。 於圖4(C)與圖4(D)上，雷射光70雖然係以1條線 爲例子，但是並非限於此，爲了提高掃描效率，亦可進行 如下。譬如，雷射光70使用繞射格子，藉由分離成複數雷 射光，更可提高間隔壁60之形成效率。 判斷步驟ST4 於圖7所示之微粉末吸引步驟ST5上，如圖4 ( D )所 示，殘留於鄰接之間隔壁60間之未熔融之無機微粉末33D ，係從基板30表面43吸引而加以回收。當動作微粉末吸引 部8 0時，此微粉末吸引部8 0，係藉由回收未熔融之無機微 粉末33D，從圖4 ( D)狀態成爲圖4 ( E)狀態。 回收之微粉末，如圖7步驟ST9所示，透過於過濾器 去除異物等而可再利用。由此可知，易於回收無機微粉末 ，可極度提高無機微粉末之使用效率。 清洗及乾燥步驟ST6 -19- (17) 1247333 於圖7所示之清洗及乾燥步驟ST6上，將進行清洗步 驟ST7與乾燥步驟ST8。 於清洗步驟ST7上，譬如藉由使用介面活性劑，清洗 圖4(E)所示之基板30及間隔壁60，從表面43洗滌不回收 且殘留之微粉末。之後，基板30及間隔壁60，譬如藉由溫 風乾燥而加以乾燥。 作成如此，於基板3 0表面及間隔壁6 0，亦不會殘留少 許無機微粉末。 又，做爲混入於上述之無機微粉末之顏料，譬如可使 用黑色顏料。 上述之圖4(A)至圖4(E)所示之顯示器裝置之製 造方法’係1次無機微粉末層形成，和藉由1次雷射光照射 ’形成如圖4 ( E )所示之特定高度之間隔壁60。 但是，並非限於此，如圖5及圖6所示，形成複數次無 機微粉末層，且藉由照射複數次雷射光，可形成更高之間 隔壁6 0。 圖5與圖6爲表示形成更大高度之間隔壁60之工程例子 〇 無機微粉末層形成步驟ST1 圖5(A)至圖5(D)，由於係相同於圖4(A)至圖4 (D)，故使用其說明。圖5(D)之處理之後，接著圖6 (E )之步驟。 於圖7之判斷步驟ST4中，間隔壁60之高度未事先達 -20- 1247333 (18) 到預設値，且於需要加大間隔壁60高度之情況，將返回圖 7之無機微粉末層形成步驟ST1。 於圖6 ( E )之狀態上，於基板30表面4 3上，具有已形 成之間隔壁60，和殘留於鄰接之間隔壁60間之未熔融之無 機微粉末層33D。 於圖6(E)上，透過儲藏槽21而新之無機微粉末層33 係藉由供給於間隔壁6 0與未熔融之無機微粉末層3 3 D上， 使得新無機微粉末層33F以特定厚度形成之。 平坦化步驟ST2 其次，如圖6(F)所示，藉由平板17於X方向移動 ，使得無機微粉末層3 3F逐漸記錄所剩下特定厚度G。藉 此，進行無機微粉末層3 3 F之平坦化處理。 間隔壁形成步驟ST3 於圖7之間隔壁形成步驟ST3上，如圖6 ( G)所示， 雷射光70係藉由特定圖案對無機微粉末層33F，於XI方向 及Y方向掃描，同時，進行照射。 如圖6 ( Η )所示，於相同於第1層之間隔壁6 0位置， 以同樣圖案能夠重疊再1層之60而加以形成。 間隔壁60與間隔壁60，係形成新之間隔壁高度tl ( tl >t)。作成如此，從圖7之無機微粉末層形成步驟81^藉 由反覆間隔壁形成步驟ST3，可獲得所期望之高度tl之間 隔壁。 -21 - (19) 1247333 之後，如圖6(H)所示’未熔融之無機微粉末33D與 無機微粉末33H，於圖7之微粉末吸引步驟ST5中，藉由微 粉末吸引部80而能夠吸引。基板30及間隔壁60 ’ 60 ’於圖 7所示之清洗步驟ST7之中清洗之後，於乾燥步驟ST8中 ，能夠溫風乾燥。 於圖7之例子上，間隔壁係藉由第1層之間隔壁6〇與第 2層之間隔壁6 0所構成之。但是並非限定於此’藉由反覆3 次以上圖7之無機微粉末層形成步驟ST1〜間隔壁形成步驟 ST3之工程，當然亦可形成更高之間隔壁。 本發明之顯示器裝置之其他實施形態 圖8爲表示本發明之顯示器裝置之其他實施形態。圖8 所示之顯示器裝置200，係和圖2與圖3所示之發光單元201 之構造，具有其他構造。圖8之顯示器裝置200，發光單元 231譬如於偏離每1/2間距而加以配列。於各發光單元231 形成不同之發光色之螢光體64。 圖9和圖10爲表示本發明之顯示器裝置之另外實施形 態。 圖9之電漿顯示器裝置3 00，乃爲所謂交流（AC )型 。基板3 00譬如爲背面玻璃基板。於基板30表面43，間隔 壁6 0係突出而加以形成。於各間隔壁60間，形成著螢光體 64 ° 於前面玻璃基板3 63內面，層積著介電體層3 65及保護 膜367。介電體層365及保護膜367爲透明，於介電體層365 -22- (20) 1247333 中，設置著放電電極（亦稱顯示電極）362。 放電電極3 62係對應以間隔壁60所形成之發光單元201 。當於放電電極362通電時，放電電極362將產生電漿放電 3 63 〇 電漿放電3 66之紫外線67，係供給於螢光體64。螢光 體64係產生可見光，而此可見光68係透過保護層367，介 電體層3 65及前面玻璃基板363而於外部顯示彩色畫像。 於此種情況之間隔壁60，如圖1 0所示，形成爲平行， 而鄰接之間隔壁將構成發光單元201。 藉由使用本發明之電漿顯示器裝置之製造方法及製造 裝置，而可便宜且製造精密度高之電漿顯示器裝置之基板 上之間隔壁。如玻璃微粉末之無機微粉末3 3，係以均勻厚 度塗布於基板表面上，雷射光照射於此無機微粉末層，而 藉由熔融無機微粉末，以精密度佳且高生產效率可製造具 有間隔壁之基板。 藉由使用本發明之電漿顯示器裝置之製造方法及製造 裝置’係不同於傳統所用之螢幕印刷法，基板由於無須投 入烘爐中而燒結，故不會產生藉由基板之配置所產生之間 隔壁之形成位置之誤差。同時，本發明之電漿顯示器裝置 之製造方法及製造裝置，係不同於傳統之印刷法，由於爲 使用雷射光而以非接觸可進行間隔壁之圖案，故無須擔心 間隔壁之圖案毀損。 藉由使用本發明之電漿顯示器裝置之製造方法及製造 裝置’將如玻璃微粉末之無機微粉末層以特定圖案熔融時 -23- (21) 1247333 ，減壓同時最好使用相同於光單元所用之發光氣體之組合 成份之不活潑氣體環境，於所形成之間隔壁內，較爲少， 或甚至無阻塞空孔之情況。 本發明，爲所謂乾處理，無須廢水處理。所形成之無 機微粉末層中之未熔融之未使用之無機微粉末層，爲可回 收。因此，無機微粉末層之使用效率較爲高。 本發明係不使用相異於螢幕印刷法之光罩，且無藉由 光罩等之尺寸所產生之限制，對大型基板之表面，可形成 大型之間隔壁構造。 本發明，係相異傳統之螢幕印刷法，使用雷射光可形 成燒結工程，故易於可形成特定高度之間隔壁情況之層積 作業。 本發明，相較於傳統之噴砂法（sandblast )，於可縮 短間隔壁之加工時間之同時，對爲了製作不同於噴砂法（ sandblast)之間隔壁之無機微粉末，可使用具有顏料或螢 光材料之材料。 本發明之電漿顯示器裝置之製造方法及製造裝置，不 限於形成構成顯示器裝置之發光單元之間隔壁，其他領域 之製品，譬如於玻璃工藝品之中，亦可使用形成突出之間 隔壁等之情況。 於此種情況，圖1所示之顯示器裝置之製造方法及顯 示器裝置之製造方法，可作成製造對象物之製造裝置及製 造物之製造方法。 做爲雷射光源1 5之種類，譬如，亦可使用飛秒（1 (Γ 15 -24- (22) 1247333 )雷射。此f秒（1〇 15)雷射乃爲近年囑目之雷射光源。 飛秒（1〇_15)雷射係不同於如上述之二氧化碳氣體雷 射等，於極短時間爲了能量集中於非加工材料之無機微粉 末33，故使得產生熱之前，進行無機微粉末33之熔融。由 於激勵僅對無機微粉末3 3之雷射光之照射部位之加工，故 於除了無機微粉末33之照射部位以外部分，可認爲不會涉 及損害。 飛秒（1(Γ15 )雷射，波長譬如爲800nm，原本玻璃雖 然不吸收波長，但是，爲了於極短時間施加能量，故產生 所謂多格子吸收現象。因此，如上述所言，於無機微粉末 3 3之雷射光之照射部位，可不經過熔融蒸發玻璃分子而硬 化。雷射光之熱不易傳達於照射部位之周圍，譬如以V m 之分解能對照射部位可進行加工。 於上述之實施形態上，雖然圖示以構成發光單元之間 隔壁形狀爲例子，但是並非限定於此等之間隔壁形狀，當 然亦可採用不同形狀之間隔壁。 同時，做爲顯示器裝置，雖然係以電漿顯示器裝置， 但是並非限定於此，譬如，電激發光體（EL )，其他， 即使對如液晶間隙控制器，FED (場發射顯示器）之間隙 控制器之其他種類之顯示器裝置，亦可適用本發明之顯示 器裝置之製造方法，製造裝置。 本發明並非限定於上述之實施形態，於不脫離申請專 利範圍內皆可進行各種變更。 上述實施形態之各構造，係省略其中一部份，亦可任 -25- (23) 1247333 意組合不同於上述之構造。 【圖式簡單說明】 匱11爲表示本發明之顯示器裝置之製造裝置之最佳實 施形態。 圖2爲表示本發明之顯示器裝置之最佳實施形態之一 部份。 匱1 3爲表示圖2之顯示器裝置之間隔壁部分之間隔壁之 形狀例子斜視圖。 匱14爲表示本發明之顯示器裝置之製造方法之具體例 子圖。 圖5爲表示本發明之顯示器裝置之製造方法之其他具 體例子圖。 圖6爲表示圖5之顯示器裝置之製造方法之連續工程圖 〇 圖7爲表示本發明之顯示器裝置之製造方法之流程圖 〇 圖8爲表示本發明之顯示器裝置之其他實施形態，間 隔壁之其他形狀例子圖。 圖9爲表示本發明之顯示器裝置之其他實施形態之一 部份剖面圖。 圖I 1 〇爲表示於圖9之顯示器裝置之間隔壁之形狀例子 斜視圖。 -26- (24) (24)1247333 【主要元件符號說明】 10 .....................顯示器裝置之製造裝置 11 .....................無機微粉末層供給部 13.....................基板支撐部 15.....................雷射光源 17.....................平板 20.....................減壓環境氣體形成部 2 1.....................儲藏槽 30.....................基板 33......................無機微粉末 3 3 A..................無機微粉末層 43.....................基板表面 60.....................間隔壁 70.....................雷射光 200 ..................電漿顯示器裝置 201 ..................發光單元 -27-

Claims (1)

1. (1) 1247333 拾、申晴專利範圍 1 · 一種顯示器裝置之製造方法，係於基板上具有間隔 壁之顯不器裝置之製造方法；其特徵係具有對前述基板， 形成無機微粉末層之無機微粉末層形成步驟，和於前述基 板上之則述無機微粉末層，照射雷射光而熔融所形成前述 間隔壁之間隔壁形成步驟。 2 ·如申請專利範圍第1項所記載之顯示器裝置之製造 方法，其中，前述無機微粉末層微玻璃微粉末，於前述玻 璃微粉末混入爲了防止從前述間隔壁之可見光漏失之顏料 〇 3.如申請專利範圍第2項所記載之顯示器裝置之製造 方法，其中，前述顏料具有吸收前述雷射光之成分。 4 ·如申請專利範圍第1項至第3項之任一項所記載之顯 示器裝置之製造方法，其中，於前述間隔壁形成步驟上， 於對大氣壓而減壓之環境中，前述雷射光將沿著前述無機 微粉末層而掃描操作。 5 ·如申請專利範圍第4項所記載之顯示器裝置之製造 方法，其中，前述雷射光之前述掃描，係於不活潑氣體環 境下所進行。 6. 如申請專利範圍第5項所記載之顯示器裝置之製造 方法，其中，前述無機微粉末層，係具有使用平板而平坦 化之平坦化步驟。 7. 如申請專利範圍第6項所記載之顯示器裝置之製造 方法，其中，藉由反覆前述無機微粉末層形成步驟，和前 -28- (2) 1247333 述平坦化步驟及前述間隔壁形成步驟， 前述間隔壁之高度。 8 .如申請專利範圍第1項所記載之 方法，其中，具有於形成後，吸引未熔 述無機微粉末之爲粉末吸引步驟，和將 吸引後，清洗殘留於前述基板之未熔融 而使前述基板乾燥之清洗及乾燥步驟。 9. 一種顯示器裝置之製造裝置，係 壁之顯示器裝置之製造裝置；其特徵具 成無機微粉末層之無機微粉末層供給部 之前述無機微粉末層，照射雷射光而熔 壁之間隔壁形成用之雷射光源。 10. 如申請專利範圍第9項所記載之 裝置，其中，於對大氣壓減壓之環境中 粉末層而掃描操作前述雷射光時，具有 而減壓之不活潑氣體環境之減壓環境形 11. 如申請專利範圍第10項所記載 造裝置，其中，具有爲了進行前述無機 之平板。 1 2 . 一種顯75器裝置’係於構成顯 ，具有構成發光單元之間隔壁之顯示器 前述基板所形成之無機微粉末層，照射 無機微粉末層，形成前述間隔壁。 1 3 .如申請專利範圍第1 2項所記載 設定對前述基板之 顯示器裝置之製造 融前述間隔壁之前 前述無機微粉末於 之前述無機微粉末 於基板上具有間隔 有對前述基板，形 ，和於前述基板上 融所形成前述間隔 顯示器裝置之製造 ，沿著前述無機微 爲了形成對大氣壓 成部。 之顯示器裝置之製 微粉末層之平坦化 示器裝置之基板中 裝置；其特徵係對 雷射光而熔融前述 之顯示器裝置，其 -29 - (3) 1247333 中，前述顯示器裝置係電漿顯示器裝置，前述無機微粉末 層爲玻璃微粉末，於前述玻璃微粉末混入爲了防止從前述 間隔壁之可見光漏失之顏料。 -30-