TWI224941B - Method for producing organic electroluminescence element and the organic electroluminescence element made thereby - Google Patents

Description

1224941 玫、發明說明： 【發明所屬之技術領域】 本發明係關於一種在基板上將有機電激發光（EL， electroluminescence)材料塗布成預定之圖案形狀而製造有 機電激發光元件之有機電激發光元件之製造方法及有機電 激發光元件。 【先前技術】 習知之有機電激發光元件，係藉由以下所說明之方式 製作。首先，在玻璃基板等透明基板（以下，簡稱為「基板」） 表面形成透明的ITO(氧化銦錫）膜。接著，利用光微影技 術’使成膜於基板上之ITO膜，於複數個條狀之第1電極 上形成圖案。該第1電極係相當於陽極。之後，以環繞條 狀之第1電極之方式，利用光微影技術形成突出於基板上 之電性絕緣性之隔壁。 此外，形成第1電極上之電洞輸送層後，利用喷射式 喷嘴將有機電激發光材料喷出於隔壁間，並在隔壁間的條 狀第1電極上塗布有機電激發光材料。具體而言，係利用 旋轉塗覆法使電洞輸送材料成膜於基板全面，之後再利用 乾燥處理於第1電極上形成電洞材料輸送層後，分別以下 述方式藉由電洞輸送層於第1電極上形成紅色、綠色、藍 色之有機電激發光。亦即，在某一隔壁間的條狀第1電極 上，利用紅色有機電激發光材料用噴嘴塗布紅色有機電激 發光材料。在與塗布有紅色有機電激發光材料的第1電極 鄰接的一方的第1電極上，利用綠色有機電激發光材料用 5 3】4574修正頁 1224941 贺嘴塗布綠色之有機電激發光 色的有機電激癸亦此外’在與塗布有綠 上，利用二=第1電極鄰接的下-個第1電極 雷，針&丄a #械電激發光材料用之噴嘴塗布駐色之有機 電激發光材料。在與塗布 η土帀-色之有機 電極鄰接的下一個…極：=電激發光材料的第1 材料。如上述一般，使红 ：布紅色之有機電激發光 材軸該順序分別塗布於第、:電色極， 之产：著藉由真空蒸鑛法，將與第1電極垂直且相對向 數個第2電極’並設形成於基板上， ::光材料夾置於第1電極與第2電極之間。該第2電； 目田於陰極。措由上述方式，即可製造將第^與第亟 =單純XY矩陣狀配列之可顯示全彩色之有機電：發 【發明内容】 (發明所欲解決之課題） 。而，將有機電激發光材料塗布於基板上的隔壁間 時，當塗布於隔壁間的有機電激發光材料超越該隔壁而移 動至周邊的隔壁時，將產生周邊之其他色之有機電激發光 :才料混入’而使複數色之有機電激發光材料產生混色的問 題0 本發明係有鑑於上述課題而創作者，其目的係在供給 -種：在形成於基板上的隔壁間塗布有機電激發光材料， 以製造有機電激發光元件時’可防止有機電激發光材料在 相鄰之隔壁間產生混色之有機電激發光件的製造方法及有 314574 6 機電激發光顯示裝置。 (解決課題之手段） 、為達成上述目的，本發明係具備：對應預定之圖案而 泠:板上形成隔壁之隔壁形成步驟；選擇性地對隔壁間供 給電洞輪送材料以形成電洞輸送層之第丨塗布步驟；對前 述隔壁的頂部施以撥液化處理之撥液化步驟；在完成第i ^布步驟與撥液化步驟後，對隔壁間供給有機電激發光元 件以形成有機電激發光層之第2塗布步驟。 & 根據A成上述構造之發明，係、在對隔壁間供給有機電 2料前，對隔壁的頂部施以撥液化處理。因Λ，對隔壁 :::有機電激發光材料時，該有機電激發光材料即使超 :土的頂部並產生移動，但藉由施以撥液化處理之隔壁 ==有機電激發光材料移動至其他的隔壁間，故得 發：色之有機電激材料產生混色的問題。在此，為 理更二好之混色防止效果’對隔壁頂部施以撥液化處 理更形重要，特別是本發 # ^ ^ ^ 、猎由k擇性地對隔壁間供給 層的方法中，如「先前技：層g亦即，在形成電洞輸送 旋轉塗布4 ’由於係使用 夕使用 著於美柘八而 、 轉主布法使電洞輸送材料附 對於:b t、故無法對隔壁的頂部施以撥液化處理。相 對於此，本發明係將電洞 ^ 相 間，h μ 、 y斗勺义布範圍限定於隔壁 間，猎此防止電洞輸送材料附著於 网土 確實地對隔辟之了g卹A 同土員口P。如此，即可 發：。之頂部施以撥液化處理，以確實防止混色的 314574 7 1224941 於、.，^’在第1塗布步驟中，可在從第1噴嘴吐出電洞 輸运材料的同時，使該第〗喷 私。 貝角，口考丨同堃間且相對於基板 夕 σ上所述，由於係使第1喷嘴所吐出之f、n詠 料户人旧辟扣 只两π 土出之電洞輸送材 V " 進行塗布，故將電洞輸送㈣塗布於美板 二可防止電洞輸送材料產生回彈’並使二 :控:?得更為容易。此外，藉由防止電洞輪送=: 日士可^貫防止電洞輸送材料附著於隔壁頂部，同 ^ 口更確貫地對隔壁頂部進行撥液化處理。 此外，關於第！噴嘴的數量，可以 特別在使用複數支第1喑嵴_ ^ 又次歿數支， 送材料的塗布。ίΓ ，列方式進行電洞輸 出』：：/即，可在分別由複數支第1噴嘴同時吐 f ^料的同時，使複數支第1噴嘴沿著隔壁間且 相對於基板移動。藉此，可 1且 在複數彡M W 4 τ 羊之塗布處理。此外， 在複數支弟…相對於基板移動之前，最好 配設狀態而變更複數支第1噴嘴的間隔。藉此，可使心 =送材料由複數支第1噴嘴衫地塗布於所對應之隔Γ 曰。如上料，有關配設複數支噴嘴以及 狀態變更喷嘴的間隔，係與第2塗布步驟相同。 此外’弟2塗布步驟盥第】令 從第2喷嘴吐出有機電激二相同’係藉由在 沿著隔壁間且相對“=枓的同時’使該第2噴嘴 機電激發光材料流二=進噴嘴所吐出之有 土間以進仃塗布，因此將有機雷勒 啦光材料塗布於基板時可防止該有機電激發光材料產生回 彈，並使有機電激發光材料之塗布控制更為容[此外， 314574 8 1224941 藉由防止有機電激發光材料之回彈，可防’ 材料混入四周的隔壁間。 ' %激發光 扒至p辟卜門t於對隔壁頂部施以撥液化處理’因此即使供 ΐ相：：有機電激發光材料形成滿溢狀態，亦不致:: 人鄰之隔壁間’得以防止混色的發生。因此，== …日士广 與滿溢供給，增加塗布有機電激發 先材枓時之容許塗布量。 Am 此外，為達成上述目的，本發明之 根據申請專利範圍第丨 ’、；·具有 造之有機電激發光元件。 、之衣仏方法所製 此外，說明書中之「電洞輸送 輸送層」’係包含「電洞植人 義之电別 料在扣姐上 層」之概心，而「電洞輸送材 」係^構成該「電洞輸送層」之材料。 【實施方式】 與第2圖’係顯示本發明之有機電激發光元件 传： 實施型態之圖例。在該實施型態中，首先 係如弟1圖（a)所示，在玻 隹玻螭基板、透明之塑膠板等基板2 =咖膜後，利用光微影技術在複數個條狀第！電極 成圖案。該第1電極係相當於陽極，第！圖與第2圖 』不對應紅色、綠色、藍色之3種類的帛^電極伙、扣、 此外，上述第！電極以透明電極為佳，除了上述⑽ :之外可使用氧化錫膜、氧化鋼與氧化辞之複合氧化物 膜。 接著係、利用例如光微影等形成電性絕緣性之隔壁 314574 9 (bank)6以埋置上迭各第i電極（陽極⑽、化（隔壁 形成步驟）日。藉此，即可避免產生後述形成之有機電激發^ 材料產生此色&產生於像素與像素間的光的洩漏等問 題在ilt有關^壁6的構成材料，只要是對後述說明之 電洞輸送材料與有機電激發光材料具有耐久性之材料即可 而…、疋之P艮制。例如可使用：丙稀酸樹脂、環氧樹脂、 聚酰亞胺樹脂等有機材料，液狀玻璃等無機材料。 接者，透擇性地對各隔壁間、亦即各元件空間供 給電洞輸送材料8 ，廿+々-AL ^ 、’在σ 7L件工間内於第1電極（4 R、 4G、4B)上形成電洞輸送層1〇(第}塗布步驟）。具體而言， 用以形成電洞輸送層1G之有機化合物，例如：係 以溶媒溶解 PEDT(pGlyethylene如ythiG phene) pss Υ j eneSUlph〇nate)之電洞輸送材料8，再利用喷嘴掃 由對其拓，> 仏、，、0於各凡件空間SP(第i圖沙））後，再藉 -、、同二、1她加加熱處理’冑電洞輸送材料8乾燥以形成 二：达曰1〇(第1圖⑷)。因此，對各元件空間SP選擇 :::給電洞輸送材料8之裝置，可使用，3圖所示之塗 二照第3圖說明該塗布裝置之構造…卜，用以 置：r!逐材料8乾燥之乾燥裝*，可使用製造半導體裝 或液：顯示裝置等時所使用之烘焙裝置等。 W)接之著等由對隔壁之頂部，進行使用Α氣體(氟化碳 3)之…体處理’使對隔壁6之頂部_液化)。 Γ二弟1圖⑷所示，可在隔壁之頂部上形成氣含有層 3有U材料所形成之層）12«液化步驟）。此外，有關 314574 10 1224941 撥液化處理，ϋ不限定為上述之氟化處理，只要 有機電激發光材料具有撥液性之處理均無妨，例如 :、:藉由塗布聚合物或溶媒，使構成隔壁6之材料膨潤之 各/叉處理。具體而言’藉由在隔 檢rpT1^、. 牡I同土 6頂邛塗布由聚四氟乙 ，昨E)、四氟乙稀-六氣丙稀共聚物（FEP)、四氣 :共聚物(ETFE)、以及聚偏二_(PVDF)等所選出之氣 =並使之含浸、撥液化亦可。此外，亦可藉由塗布對電 讀送材料8之溶媒之主材料的水具有不溶性的甲苯、I 甲本、苯等乙醇而使之含浸、撥液化。 第咖方式將紅色有機電激發光材ur 對應之隔壁間，並藉由電洞輸送 _兒4RJl形成有機電激發光層16R(第2塗布 电/放發光材料1 4R直到有機雷 極-之隔壁間溢出且在二:之， 時，^ 出且在隔壁6之頂部形成滿溢為止。此 口在隔壁6的頂部形成有氟 部被施以撥液化處理，故有機 I ’隔土 6之頂 隔壁6而流入周邊之隔壁===料⑽不致越過 形成滿溢狀態。此外，作為”：：T 壁6頂部並 裝置，例如可使用：曰本二^ 之塗布h ^ / 7564G號公報所記载 2噴嘴」置…塗布裝置的噴嘴係相當於本發明之「第 供培2等=2電激發光材料Μ之供給後， 、土反進仃加熱處理，使有機電激發光材料 314574 11 1224941 14R乾秌以形成有機電激光材層(第2圖（a))。 接著，隔著電洞輸送層10在第1電極4G上形成綠色 有=電激發光材料層16G’再隔著介電洞輸送層W而於第 1電極4B上形成藍色之有機電激發光層16B(第2圖（b))。 此外，由於上述之形成步驟係與形成紅色之有機電激發光 ^ γ.相同故在此省略其說明。此外，有機電激發光 層之化成可依不同顏色分別進行，或同時供給有機電激 發光材料14R、14G、14B之3色，再使其乾燥。 如上所述形成3色之有機電激發光層16R、16〇、16B ^吏士第2圖（C)所示，為了使之與第1電極4R、4G、4B 垂直;並相對肖’乃藉由真空蒸鍍法等，使複數個條狀之 第2電極18並設形成於基板2上。藉由上述構造形成本發 明之「有機電激發光元件」，亦即在具有陽極之功能的第】 電極4H、4G、4B與具有陰極之功能的第2電極i8間夹置 有機電激發光層16R、16G、16B。此外，並製造將第】電 極4R 4G、4B與第2電極丨8配列成單純χγ矩陣狀之可 顯示全彩色之有機電激發光裝置。此外，本實施型態係以 下列方式構成：亦gp，於基板2上疊層形成由環氧樹脂、 丙稀酸樹脂、液狀破璃等密封材所組成之密㈣2〇以防止 各有機電激發光元件的劣化及損傷等。 如上所述，本實施型態係在選擇性地對各元件空間分 供給電洞輸送材料8後，藉由對基板2進行加熱處理而使 電洞輸送材料8乾燥以形成電洞輸送層1〇，因此，可在隔 壁6的頂部未附著電洞輸送材料8的情況下，开，成電洞： 314574 12 A^494i 送層10。此外，由於係在完成對各隔壁 ηκ'μΓιΓ'

口此即使該有機電激發光材料14R 頂卹品方44 4<α、14B越過隔壁6 12 =生私動，也會因形成於隔壁6頂部之氣含有層 :而…止有機電激發光材料移動至其他隔壁間並有 >防止複數色之有機電激發光材料之混色。 此外’如上所述，藉由對 f 7從… T㈨土 ^頂邛施以撥液化處理， 亦可獲付以下的作用效果。亦 粗甚*、曰Α ^馮避免有機電激發光材 亦可根據下列方式構成：亦即，提高隔壁6, 使隔土的空間亦即元件空間SP夕交生 十工間SP之谷積大於供給至該隔壁 :1之有機電激發光材料14R、14G、14B的容量，以防止來 70件工間SP之有機電激發光材料14R、14G、14B產生 溢流。然而’僅提高隔壁6，將導致有機電激發光元件大 型化之問題’或是隔壁6之頂部與有機電激發光層16R、 1 6B之間的段差增局，且在該段差部分容易造成第2 電極1 8斷線而導致成口 口々 V 成°口 D口貝降低的問題。相對於此，本實 施型態#'藉由對隔壁6之了貝部施以撥液化處理而使有機電 激兔光材料14R、14G、14B得以在隔壁6頂部形成滿溢狀 態’並提高有機電激發光材料之容許塗布量。亦即，即使 隔壁6 ^高度偏低’亦能夠塗布用以形成有機電激發光層 之必要量之有機電激發光材料，並製造小型且品質良好之 有機電激發光元件。 以下茶R?、第3圖說明用以對各元件空間SP選擇性 仏…电洞輸送材料8之塗布裝置之一實施型態。第3圖係 13 314574 適=本發明之有機電激發光元件之製造方法之塗布裝置的 、貝轭型態之圖例。該塗布裝置係如第3圖所示，係由·· 載置以上述方式形成有機電激發光元件之基板2之載物台 40,使該載物台40朝預定方向（第3圖的左右方向）移動之 載物口移動機構部42 ;用以檢測形成於基板2上之定位標 。己位置之疋位標記檢測部44 ;將電洞輸送材料δ供給至3 ，嘴，4以至46C之供給裝置48 ;使3支喷嘴46a至46c 部L疋了向u 3圖紙面之垂直方向)移動之喷嘴移動機構 ° ，控制裝置各部之控制部5 2所構成。 呈供i述之構成要素中之供給裝置48係如第3圖所示， 二：有:以儲存電洞輸送材料8之供給源54,而該供給源 〜、個供給部56a i 56c形成配管連接 二=部仏至-均具有相同之構成，該等供給部I :ΓΓ供給源54之電洞輸送材料8分別壓送至喷嘴 5仏至5/ ’再使其朝著基板2吐出。具體而言，各供給部 …8.二係具備：用以由供給源54取出電洞輸送材料8 除：肝Γ洞輸送材料8之流量之流量計6〇;用以去 :輸达材料8中之異物之過濾器62。如上所述，根據 係'由各噴嘴^至…朝著基板2吐出電洞 :構成’該等喷嘴46a…有本發明 弟1贺嘴」之功能。 此外，噴嘴移動機構部50係在利用 _ 並設3條喷嘴46a至仏的狀態下伴用保持構件（未圖不） 喷嘴4一之塗布間距間隔。因：，=更：定； 口此，可依據形成於基 314574 14 1224941 板2上之隔壁的配設狀態變更塗布間距。 此外，定位標記檢測部44，例如： • 3採用 CCD(charge-coupled device，電荷 |馬合分从、 ^ ^ y . 件）照相機。亦即， 备疋位標記檢測部44接收到來自控 一 八w k 32之指示時，即 刀別拍下形成於基板2四角隅的定位椤、 印〇匕（名田各圖干） :所：攝之定位標記的影像資料輸出至控制部52二方 工制部5 2係根據定位標記檢測部4 料算出定位標記的位置。此外，因在 之衫像貝 1 工制部52預先儲存有 利用 CAD(C〇mputer Aided Design，電僻絲 夕1 Λ +丄 书月自輔助設計）而設計 之弟1笔極4R、4G、4B或隔壁6等配置 制部52可根據定位標記之位 、〃 ，控 之F辟< t出結果以及預先儲存 之隔壁6之配置資料，算出塗布的起始 存 塗布電洞輸送材料8之塗布開始位置。”亦卩异出開始 除了進行上述演算處理外，該控制 台移動機構部42,俾使載物台得以根據預，定曰=物 預定方向（第3圖的左右方向），並 。據預u私動至 50,俾使噴贺嘴移動機構部 干使赁爲46a至46c得以朝著與 3圖紙面之垂直方向)在預定㈣垂直了向U 46a至46c能夠以2次元之方式相對勒使贺嘴 在噴嘴46a至46c相對於 :土板2私動。此外， 部52係依昭夂产旦4⑼ 進订移動的同時’控制 依…、各*里计6〇之檢測值 市」 指令d至f而由噴嘴仏至 C對各果Μ輪出 材料8。 "出預疋流量之電洞輪送 此外，以上述方式構成之 土邱衣置，在施加電洞輪 314574 15 1224941 材料8之塗布處理前的基板 制部52根據裝置各部之於別信 裁物台40後，即由控 部，並_由下述方將動作指令傳達至裝置各 件空間:）。式將電洞輸送材料8塗布於各隔壁間（元 A百先’根據控制部52之標記攝影指令，使定位" 檢測部4 4分別拍下載置於載物台4 〇上使疋位=己 定位標記，並將該影像資料 土板四角隅的 之_制邱52 # M 、、月】 空制部52。接收該資料 出trr: 像資料算出定位標記之位置，並算 / 點。接著，載物台移動機構部42斑噴嘴移動 機構部50根據控制部52 :贺“動 -至46c定位於起始點。夢此:進仃作動而將噴嘴 1 ^ 1 ^ ^ ^ ^ 1 為 46a 至 46c 係以 、 ；疋位於3個隔壁間(元件空間SP)。此時，依 據隔壁6之配置狀態變更噴嘴46a至4 即可將噴嘴46a至46c正確地定仂於々 ^糟此 件处nsn ^ 於各別對應之隔壁間（元 1:: )?卜，在本實施型態中，噴嘴的數量 仁贺备之數量亦可任意訂定。 形成可開始進行塗布之狀態後，在控制部52指干夂 開始將電洞輸送材料8由各喷嘴46a至後流；基： 2上之隔壁間(元件空間Sp)的同時，使喷嘴^至 ^圖之紙面垂直方向移動，俾使電洞輸送材料8得以沿 =2上的隔壁間而流入該隔壁間。藉此，電洞輸送材 枓8可同時流入3個元件空間sp。之後，當喷嘴術 板移動至元件空間SP之端部後，即對各栗58傳達停止 指令，以停止電洞輸送材料8由各噴嘴46&至46c流入- 314574 16 1224941 件空間sp’同時也對喷嘴 停止噴嘴之_說 t 钱構部50傳達停止指令 賀為之私動。此外，控制部 q SP之各位置之電洞輸送材料8的冷右θ之兀件空間 46a 46c 的塗布置平均，乃配合噴Dt … 速度以控制該塗布量。，由卜… 兀成對3行之元件空間s *由上述方式， 外，流入元件空間…：：而輸送材料8的塗布。此 8，係利用本身 电〆剧迗層14上的電洞輸送枒饵 形成厚二黏性均勻地流動擴散於元件…I 子度均勻之電洞輸送材料8。此外，、六 ^ 而 之電洞輸送材料8的厚度“兀件空間讣 量來進行調整。 了精由^輸送材料8的流入 之對^著二以元件空間&行之間距移動載物台4。，使 下—仃之元件空間SP進行電洞於γ 在前述r 4 運仃屯洞輸达材料8之塗布。 一:：：：初之溝11的三行分中，將元件空間…中 止Γ定為塗布開始位置’而將另-端側設定為塗布： 止位置，使噴嘴46£1至46 布h 材料…々 者丨"土間私動並使電洞輸送 之—:…各元件空間SP，而在下-個元件空間SP 向ΓΓ伟使喷嘴偏至仏朝與上述移動方向相反的方 :動：使之由元件空間SP之另一端側移動至—端側， 使電洞輸送材料8流入各元件空間δρ中。 藉由反覆實行上述動作’可使電洞輪送材料8流入隔 土日’（几件空間SP)。此外，由於係經由喷嘴46a至46c使 送材料8流入隔壁間(元件空間sp)以進行塗布，故 輸送材料8塗布於基板2時可防止電，送材料 回焯。此外，亦有助於電洞輸送材料8之塗布栌制 314574 17 1224941 因此’藉由ΐ述方& ’可在該隔壁6頂部不附著電洞輸送 材料8的狀恶了’選擇性地使電洞輸送材料8流入隔壁間 (兀件空間SP)。因此’ f 3圖之塗布裝置對於先前所說明 之有機電激發光元件的製造方法而言係有用之裝置。 此外，本發明並非限定於上述之實施型態，在未脫離 本發明之意旨的範圍内可在上述實施例以外進行有各種變 更。例如，上述實施型態之有機電激發光元件之製造方法， 係在完成電洞輸送材料8之塗布後才對隔壁6之頂部施以 撥液化處理’但亦可將電洞輸送材料8之塗布處理與撥液 化處理的順序顛倒。 此外，在上述實施型態中，係使用第3圖之塗布裝漫 將電洞輸送材料8塗布於隔壁間，但在塗布裝置之構造立 無特別限定，只要是可選擇性地將電洞輪送材料供 隔壁間的塗布裝置，可使用喷射塗布裝置等任何裝^。σ 【發明之效果】 如上所述，根據本發明，係以下列方式構成：亦即 係藉由選擇性地對隔壁間供給電洞輸送材料以形恭、、Ρ

送層，而對隔壁頂部進行撥液化處理，並在對隔壁頂立J 行撥液化處理之後，對隔壁間供給有電激發光材料頂邻j 防止所供給之有機電激發光材料超過隔壁頂部而移動故口 他隔壁間，ϋ可有效地防止複數色之有機電激至名 產生混色。 X先材举 【圖式簡單說明】 314574 18 1224941 第1圖(a)至⑷係顯示本發明之有機電激發光元件之 製造方法之一實施型態之圖。 第2圖（a)至（d)係顯示本發明之有機電激發光元件之 製造方法之一實施型態之圖。 第3圖為顯示適合於本發明之有機電激發光元件之製 造方法之塗布裝置的一實施型態之圖。 2 基板 4B，4G，4R第1電極 6 隔壁 8 電洞輪送材料 10 電洞輸送層 12 氟含有層 14B，14G，14R 有機電激發光材料 16B，16G，16R 有機電激發光層 18 第2電極 20 密封層 40 載物台 42 載物台移動機構部 44 定位標記檢測部 46a，46b，46c 噴嘴 48 供給裝置 50 噴嘴移動機構部 52 控制部 54 供給源 56a，56b，56c 供給部 58 泵 60 流量計 62 過濾器 SP 元件空間（隔壁） 314574 19

Claims (1)

1. 第921〇9435號專利申請案 申請專利範圍修正本 機uuu元件之製造方法，係具備：對應預定 圖木而於基板上形成隔壁之隔壁形成步驟； 、選擇性地將電洞輸送材料供給至前述隔壁間以形 成電洞輸送層之第1塗布步驟； ί #述隔壁的頂部施以撥液化處理之撥液化步驟； 進行4述第1塗布步驟與前述撥液化步驟後，將有 機電激發光材料供給至前述隔壁間以形成有機電激發 光層之第2塗布步驟。 如申明專利範圍第i項之有機電激發光元件之製造方 法其中’前述第1塗布步驟係在從第1噴嘴吐出前述 電洞輸出材料的同時，使該第1喷嘴沿著前述隔壁間且 相對於前述基板移動之步驟。 如申請專利範圍第1項之有機電激發光元件之製造方 法’其中’前述第i塗布步驟係在各複數支第1噴嘴同 時吐出前述電洞輸出材料的同時，使前述複數支第1喷 嘴沿著前述隔壁間且相對於前述基板移動之步驟。 如申請專利範圍第3項之有機電激發光元件之製造方 法’其中’前述第1塗布步驟係在前述複數支第i噴嘴 相對於前述基板移動之前，依據前述隔壁之配設狀態變 更前述複數支第1喷嘴的間隔。 如申請專利範圍第i至第4項中任一項之有機電激發光 1 314574修正頁 1224941 疋件之製造方法，其中，前述第〗塗布步驟係在將前述 電洞輸送材料供給至形成於前述隔壁間的空間後，對前 述空間内的電洞輸送材料進行乾燥處理以形成前述電 洞輸送層。 6·如申請專利範圍第1項之有機電激發光元件之製造方 法其中，前述第2塗布步驟係在從第2噴嘴吐出前述 有機電激發光材料的同時，使該第2喷嘴沿著前述隔壁 間且相對於前述基板移動之步驟。 汝申叫專利範圍第1項之有機電激發光元件之製造方 法，其中，前述第2塗布步驟係在從各複數支第2喷嘴 同時吐出前述有機電激發光材料的同時，使前述複數支 第2噴嘴沿著前述隔壁間且相對於前述基板移動之步 驟。 8·如申請專利範圍第7項之有機電激發光元件之製造方 法，其中，前述第2塗布步驟係在前述複數支第2噴嘴 相對於前述基板移動之前，依據前述隔壁之配設狀態變 更前述複數支第2喷嘴的間隔。 9·如申請專利範圍第！、第6、第7或第8項之有機電激 發光元件之製造方法，其中，前述第2塗布步驟係將前 述有機電激發光材料供給至前述隔壁間，使之從隔壁間 溢出直到前述隔壁頂部形成滿溢後，才對滿溢狀態之^ 機電激發光材料進行乾燥處理並於前述電洞輪送層上 形成前述有機電激發光層之步驟。 10· 一種有機電激發光元件，係包括： 314574修正頁 1224941 基板； 隔壁，形成於前述基板上，其頂部係經實施撥液化 處理； 電洞輸送層，供給於前述隔壁之間；及 有機電激發光材料，供給於前述電洞輸送層上。 3 314574修正頁