TWI222514B - Variable resistance sensor with common reference leg - Google Patents

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TWI222514B
TWI222514B TW092119635A TW92119635A TWI222514B TW I222514 B TWI222514 B TW I222514B TW 092119635 A TW092119635 A TW 092119635A TW 92119635 A TW92119635 A TW 92119635A TW I222514 B TWI222514 B TW I222514B
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1222514 第二電阻性橋電路係共享一個共同參考引線,該共同參考 引線係設定該第一電阻性橋電路及該第二電阻性橋電路之 一個電阻值。可替代的是,該共同參考引線係可切換地連 接至該第一電阻性橋電路及該第二電阻性橋電路之一。根 據另一個實施例,該第一電阻性橋電路及該第二電阻性橋 電路係僅共享設定該第一電阻性橋電路及該第二電阻性橋 電路之一個電阻值的該共同參考引線之一部分。於此實施 例中,可替代的是,該設定該第一電阻性橋電路及該第二 電阻性橋電路之該電阻值的該共同參考引線之該部分係可 切換地連接至該第一電阻性橋電路及該第二電阻性橋電路 之一。 根據一個實施例,該感測器係包含一個第一電路,一 個第二電路,一個分壓器及至少一個開關。該第一電路係 包含一個第一電阻器,該第一電阻器係具有一個第一電阻 值,該第一電阻值係改變以回應一個實體特性之改變。該 第二電路係包含一個第二電阻器,該第二電阻器係具有一 個第二電阻值,該第二電阻值係改變以回應一個實體特性 之改變。該至少一個開關係具有一個第一狀態及一個第二 狀態。該至少一個開關之該第一狀態係以電氣方式連接該 分壓器至該第一電路,以設定該第一電阻器之該第一電阻 值,且該至少一個開關之該第二狀態係以電氣方式連接該 分壓器至該第二電路,以設定該第二電阻器之該第二電阻 值。 根據另一個實施例,該感測器係包含:一個第一放大 12 1222514 器及一個第二放大器,該第一放大器及該第二放大器之每 一個係具有一個第一輸入端,一個第二輸入端及一個輸出 端;一個第一電阻器;一個第二電阻器及一個分壓器。該 第一電阻器係以電氣方式於該第一放大器之該輸出端及一 個參考終端之間串聯連接一個第一可變電阻器,該第一電 阻器係以電氣方式連接於該第一放大器之該第一輸入端及 該第一放大器之該輸出端之間,且該第一可變電阻器係以 電氣方式連接於該第一電阻器及該參考終端之間。該第二 電阻器係以電氣方式於該第二放大器之該輸出端及該參考 終端之間串聯連接一個第二可變電阻器,該第二電阻器係 以電氣方式連接於該第二放大器之該第一輸入端及該第二 放大器之該輸出端之間,且該第二可變電阻器係以電氣方 式連接於該第二電阻器及該參考終端之間。該分壓器係具 有:一個輸入端,其係可切換地連接至該第一放大器之該 輸出端及該第二放大器之該輸出端之一;及一個輸出端, 其係可切換地連接至該第一放大器之該第二輸入端及該第 二放大器之該第二輸入端之一。當該分壓器之該輸入端係 連接至該第一放大器之該輸出端且該分壓器之該輸出端係 連接至該第一放大器之該第二輸入端時,該分壓器之該輸 出係設定該第一可變電阻器之一個電阻值;且當該分壓器 之該輸入端係連接至該第二放大器之該輸出端且該分壓器 之該輸出端係連接至該第二放大器之該第二輸入端時,該 分壓器之該輸出係設定該第二可變電阻器之一個電阻值。 根據本發明之另一個觀點,一種用於與一對橋電路一 13 1222514 起使用之方法係被提供。每一個橋電路係具有一個感測器 引線,該感測器引線係包含一個固定電阻器及一個可變電 阻器以及一個設定該可變電阻器之電阻值的參考引線。該 方法係包含共享該第一及第二電路之間之該共同引線之至 少一部分的行動,以匹配該些可變電阻器之該電阻值。 根據本發明之另一個觀點,一個流感測器係被提供, 以測量一個流體之流速。該流感測器係包含:一個第一可 變電阻器;一個第二可變電阻器,當該流體之流係於一個 第一方向時,該第二可變電阻係設置於該第一可變電阻器 之下游;一個第一電路,該第一電路係以電氣方式連接至 該第一可變電阻器,以提供一個指示提供至該第一可變電 阻器之功率之第一訊號;一個第二電路,該第二電路係以 電氣方式連接至該第二可變電阻器,以提供一個指示提供 至該第二可變電阻器之功率之第二訊號;及一個第三電路 ,其係用於接收該第一訊號及該第二訊號,且提供一個指 示該第一訊號及該第二訊號之間之差之輸出訊號。當該流 體之流動係於該第一方向時,該輸出訊號之範圍係對稱於 當該流體之流動係於與該第一方向相反之第二方向時該輸 出訊號之範圍。 根據本發明之一個進一步之觀點,一個用於測量一個 流體之流動速率之流感測器係被提供。該流感測器係包含 :一個第一可變電阻器,一個第二可變電阻器,一個第一 電路,一個第二電路,一個第三電路及一個電源供應電路 。該第一電路係以電氣方式連接至該第一可變電阻器,以 14 棱i、一個指示提供至該第一可變電阻器之功 «亥第二電路係以電氣方式連接至該 才曰 a ^又兒阻态,以 疋/、一個指示提供至該第二可變電阻器之功 。$从— 〜罘一讯唬 巧乐三電路係用於接收該第一訊號及該第二 供一- 九,且捉 '個指示該第一訊號及該第二訊號之間之差之輸出訊號 5亥電源供應電路係以電氣方式連接至該第一電路及該第 :电路之至少一個,以根據該流體之流速而提供—個可變 里之功率至該第一電路及該第二電路之至少一個。 根據本發明之又一個進一步之觀點,係提供一種於一 個流感測器中偵測一個高流動之情況的方法。該方法係包 含·於該流感測器之一個目前操作溫度下決定_個期望之 零流動訊號之動作,根據該期望之零流動訊號而決定一個 臨限值之動作,決定於該流感測器之該目前操作溫度下由 該流感測器所測量出之一個真實的流動訊號,比較由該流 感測為所測重出之该真貫的流動訊號及該臨限值,及當該 真實的流動訊號係超過該臨限值時,確認該高流動情況係 存在。 【貫施方式】 透過應結合該些後附圖式而閱讀之詳細說明,本發明 之實施例將更完全瞭解。 第5、6、7及8圖係顯示根據本發明之不同實施例 之许多不同的質流感測器。於弟5、6、7及8圖之每一 個之中,該元件符號Ru係表示該上游線圈或者電阻器, 且元件符號rd係表示該下游線圈或者電阻器。如同於先 15 1222514 前技術之該歧威測雷?々jv丄 一 A測叩兒路之中一樣,線圈Ru及線圈RD係 設置於一個感測器之導管Γ去— .^ ν ^ ^ ^ m ▼ S I未不出)附近的分離之位置, 一個流體係透過該感測器之逡 L ^ ^ # σ足導g而流動。如於此所疋義, 流體一詞係包含於固能、、六At、 匕3万、U心液恶或氣態中之任何物質或者物 質之組合。 該線圈
Ru及線圈rd之每一個係具有一個大的且實質 上相同之電阻熱係數,佶彡曰红 …竹双使侍母一個線圈Ru及線圈RD之灣 阻值係隨溫^度而改變、。从、 又义雖然该上游及下游線圈Ru及線匿 係方、此被稱為線圈”,應瞭解的是,本發明係不受阳 方、^舉例而㊂’該上游及下游線圈係不需要為繞接於感 、之導&之外部之線圈,而係可以由僅附接至該感測器
之導管之外部的熱敏電P且所形&。如此之熱敏冑阻係不需 有一個線圈之形狀,因為該些熱敏電阻係可以具有一 二与曲的或者帶狀形狀而取代。再者,該上游及下游線圈 =要被設置於該感測器之導管之外部,當用於某些諸
气之极體時,該些線圈係可以設置於該感測器之導管 的内 Jitp 。 4 L ^ 卜,雖然本發明之實施例係以一個質流感測器 點/式敘述,本發明係不作如此之限制,因為本發明之觀 ·、、、占係可以被使用於其他應用,於該些應用之中,於一個電 随性样+攸 ^兒之一個引線之電阻值之變化係指示隨著電阻值 改交之性質中之改變。 、、A雖然根據本發明之質流感測器係使用分離之上游及下 办電卩且性於帝 f生橋兒路,以設定上游及下游線圈之溫度成為一個 相同的信,姊、 、 :、、>而,该上游及下游電路係共享一個共同參考 16 弓I線之至少一部分。因,士,士八 智明之實施例係不需要元件 及特!生之I、饴匹配’而兀件值及特性之緊密匹配於第2 :4圖之該個別上游及下游電路中係需要的。於該參考引 :之該共享及共同部分係包含_個可程式規劃分壓器之實 t例中,該上游及下游線圈被設定之電阻值之範圍係能夠 破改變成適合一廣泛範圍之周圍溫度。 第5圖係顯示一個根攄太称、 像本务明之一個貫施例的質流感 :、、之簡化示意圖。該感測器電路係包含一個上游電阻性 :電路1 0及-個下游電阻性橋電路2 〇,該上游電阻性 ⑦電路1 0及該下游電阻性橋電路2 〇係使用於設定該電 阻值’且因而分別設定該上游線圈Ru及下游線圈h。該
上游電阻性橋電路;[0及兮π A υ Μ下/紅电阻性橋電路2 0係享 -個共同參考引線30,於第5圖所顯示之實施例中:、該 、同參考引線3 0係包含串聯之電阻器R1及。 該上游電阻性橋電路i 0係包含_個第一放大器%及 串如之個第-電阻器RUR及一個第_可變電阻器R“該 上游線圈)’該第-電阻器Rur及該第—可變電阻器^: 电I"生地連接;ίΰ 4第—放大& %之—個輸出端及—個表考立山 點之間。一個電阻器、Ru2及—個電容器〜之串聯係電: 地連接於該第-放大器U!之該輸出端及該第—放大器U】 之該反相(-)輪入端之間。另一個電阻器、Rul係電性地 連接於第一電阻器RUR之該中點及該第一可變電阻器&及 該第-放大器U】之該反相輪入端之間。—個相當大電‘值 之電容器‘係電性地連接於該第—放大器之該非反相 17 生St及該參考端點之間。當該共同參考引線3 0 :::錢至該下游電路20時,該電容〜系維持 出見衣放大器之該非反相輪入端處之—個電塵。 路=^人電路\0係類似於該上游電路10。該下游電 二?自弟二放大器U2及串聯之一個第二電阻器 DR及一個弟二可變電阻哭 ,兮楚 _ L… 'D° Rd 5亥弟二電阻器RDR及該第 —可變電阻器&係電性地 出端及該參考端點之門”亥弟-放大"^之該輸 认 仇..占之間。该第二放大器%之該反相(―) 入端係經由一個雷哭 田们兒阻杰R⑴而電性地連接至串聯歹繁 :電阻器^及該第二可變電阻器RD之一個中點,且:: 及—個電容器CD2之串聯係電性 =器::之該輸出端及該第二放大…該反相= 之間。㈣二放大器U2之該非反相(+ )輸人端传電性 '連接至一個連接至該參考端點之大的電容值之電容哭 C D 】。 口口 如示於第5圖’該電路係進一步包含—個共同參考引 線^ 〇 ’該共同參考引線3 0係包含-個第一電阻器、R, δ亥呆-電阻器Ri係電性地與—個第二電阻器^串p 1 第,電阻器R2係可切換地連接至該上游電阻性橋電二 及戎下游電阻性橋電路2 〇之每一個。該第一電阻哭1及 該第二電阻器I係設定該上游線圈Ru及下游線圈:被和 :之忒電阻值’且作為一個分壓器。開關U及開關、係 分別連接於由串聯之Ri及R2所形成之該分壓器之—:輸 入以及δ玄第一放大器、u】之輸出端之間以及由串聯之h及 18 1所形成之該分壓器之一個輸入以及一 口口 輸出端之H w弟一放大器u2之 曰〕。開關1 β及開關7夕益 分壓器之▲ Β 母一個係分別連接至該 该輪出端以及該第一放大器 U2之該非反相輸入端。開關i及_ /及 關23係以串萨方士、軍你 Α 4關、以及開關、及開 9 u 串P方式運作,使得開關1a及開關1 u & pm 2a及開關2 Λ j π + Α汉開關1B U及開關 J 2β兩者係同時開路或者閉路。 ;操作期間’該開關1 2“系交替門…攸 Α及開關h以及開關2Α及開關 游m 以連接該共同參考引線3 〇至該上 :性橋電路i 〇及該下游電阻性橋電路2 〇之一。於 同茶考引線係不連接至該上游電路時(亦即,當係開 哭ττ 口哀迅合杰Cu】係維持第一放大 U丨之該非反相輸入端之 ., 电/土早位。類似地,於該共同 多考引線係不連接至該下游電路時Γ %俗吋C亦即,當係開關2α& 開關2β開路時),該電容器Cdi待維垃结 二 01係維持弟二放大器U2之 該非反相輸入端之該電壓準位。 於操作時,該感測器電路係作為兩個定溫驅動器電路 ’其係共享一個共同參考引線。開關丄及2係快速地切換# ’以交替地連接該參考引、線3 0 (RiA R2)至該上游及下 游電路。當該些對應之開關係開路時,電容器c⑴及Gw 係保持該取樣之參考反饋。該第1大器u1#、作:成使二 Ru/ Rur = R2/ R1。5亥第一放大器u2係作用成使得rd/ ' 。其他放大器(未示於第5圖)係採用該第一 . 電阻器Rur及該第一可變電阻器、之串聯以及該第二電阻 态Rdr及該第二可變電阻态Rd之串聯之間之該上游及下游 19 1222514 電壓準位VuA VD。然後,該上游及下游電壓準位、及 VD係能夠使用於提供—個指示流經該導管之流體之流速之 訊號’該上游線圈Ru及下游線圈Rd係被設置於該導管中 或該導管附近。舉例而言,於一個實施例中,豸 /VD之tb料提供指示流體之流動速率之訊號,而該上J =下游電壓準位^及VD之其他比較亦可以替代使用作為 提供指示流體之流動速率之訊號’如下文予以詳細敘述。 示於第5圖中之其餘〜,亦即Rui,Ru2,Cu2,Rdi,r 及CDZ係使用於穩定該第一及第二放大器%及02 應瞭解的是,因為該上游電阻性橋電路丄0及 電阻性橋電路2Q係共享—個包含相同的_之共同表考 引線3 0,乐5圖之該感測器電路係不需要緊密地 些凡件。㈣,因為該上游及下游電路係共享該參考引線 之該些相同之元件,所以這些元件係不需m 目 Γ是’於第5圖中,開關1及2應僅於由該共同參= 相形,之該分壓器係已經具有穩定之機會之後成為 。雖然第5圖之該感測器電路可能且有 ‘” 4丄k 一有某些切換雜訊,兮 些切換雜訊可以藉由於一個適當的頻率下切換該歧開關= =適當地㈣,該適當的頻率舉例而言,為於接㈣上 ?及下游電壓準位v“ Vd之該些類比至數位轉換器: 不出)之該尼奎斯特(Nyquis。頻率或者於接收 下游«準位^及\之該些類比至數 ^及 4付斜之下之頻率,此係為熟習該項技術者所孰知。 應進一步瞭解的是,雖然第5 I °亥間化之示意圖係 20 之該位置中,開關 ,雖然於不同時間 至該下游電路2 0 包路2 Q之m於示於第6圖 及開關B係皆連接至該上游電路1 〇 下,開關A及開關b係可以切換成連接 =-步對照第5圖之該感测器之下,第5圖之該感 測益係包含一個形 ,而μ 〇 j,号引線3 0之固定之分壓器 d目之該電路係包含—個可程式規劃之分《器。明 如示於第6圖,一個溫度訊號係被提供至一個第 參考終端之間之-或多個電阻^。^^之讀出端及該 路妝能+ 〆 口口田忒開關C係於一個閉 路狀恶時(亦即,連接至標示 該中M 马R2,及R2,,之電阻器之間之 於R’vv,由該分壓器之該輪出所提供之該電壓係正比 位置2日±’,R'+Rl) ’然而,當該開關C係於一個開路之 π,或者係連接至該電阻哭 出係正比於(R,+ R 、/ °。 D丨守,刀壓器之該輸 供—個脈波寬戶2 ; (Rl + R2’+ R-)。藉由提 介於1言*枘处 /開關C,由该分壓器而來之 之比率係由t間之該輸出電壓係可以被提供,而該分壓 如同=該脈波寬度調變訊號之該頻率及期間所調整。 比值廍 第5圖之該實施例,雖然該、對於、之
患4為穩定的且較佳地 DR 同值,然而並不需…/R DR之·_係具有相 Μ ^而要忒R⑽及RDR係相同而匹配。 弟,圖係顯示根據本發明 之-個示範性〜A 例之質流感測器 文參照第5及:思圖。於第7圖中,實施類似於上 圖之功能的電路之該些部分係由相同之元 22 1222514 件符號指示出。舉例而言’於第7圖中,該第一放大器% 係可以由該放大器U53_A、電容器C71、電阻器Ri59、電 晶體Q1及電阻器R153之組合所形成。該下游放大器h 係可以以類似方式由該放大器U53_B、電容器ci〇5、電阻 器Ri60、電晶體Q2及電阻器尺⑹及Rm之組合所形成 〇 於第7圖中,該電阻器-Rur係由許多類似值之電阻器 並聯所形成,以達成於電阻值之期望的精確值,其係如; 對應之電阻器RD 一樣。雍目备紉 θ DR稼應瞭解的是,亦可以使用其他提 供這些電阻器之方式,因為本發明之該些實施例係不受限 於所示之該特定的實施方式。 於第7圖中之該共同參考弓丨線係再度由R1AR2之串 聯所形成。然而,於第7圖中,該分壓器之該輸出 被設定成提供-廣範圍的值。明確言之,根據一個提供至 電晶體Q3之粗略電阻值調整訊號pwM ic〇arse 個提供至電晶體Q4之精細電阻值調整訊號p侧^咖, -個電阻值範圍係可以被提供用於該電阻器Μ。因 供至電晶體Q3”4之頻率及期間而適: 该粗略U阻值調整訊號及精細 ° 1 供電阻值之範圍。 %阻值週整訊號,係可以提 所开之電阻器以及R2 ΓΓ11之該輸入端至該上游電路及該下游電路 至γ _1β及2“系使用於連接該分屢器之該輪出端 至忒弟—及第二放大器U丨及υ2之— 出而 之4非反相(+)輸入 23 1222514 端。於該開關lB係閉路之期間,該電容器〜係被充電至 该Vu值’且於該開關得閉> 、 B知閉路之期間,該電容器CD1係 被充電至該 V D值。藉由媒报 . 由k i、一個於時間上相較於選擇性 地連接該分壓器之該輸入端至該第_及第二放大器之一之 該輸出端之訊號被延遲之取樣訊號,該分壓器係被允許在 該上游及下游電壓準位之取樣之前穩定。 第8圖係顯示根據本發明之—個實施例之質流感測器 之另—個示範性實施之示意圖。於第8圖中,實施類似於 上文芩照第5及6及7圖之功能的電路之該些部分係由相 同之元件符號指示出。舉例而言,於第8圖中,該第一放 大器u,係可以由該放大器U53_A、電容器⑺、電阻器 ,159及电今益C146、電晶體…及電阻器⑴3之組合所 形成。该下游放大器%係可以以類似方式由該放大器 仍3-B、電容器C1〇5、電阻器R16〇及電容器c⑷、電晶 體Q2及電阻器咖及⑽之組合所形成。如同於第7 α之貫施例’電晶體q1a Q2係使用於提供足夠之電流至 ::游及下游線圈^及Rd之每_個。於第8圖中,該電 -Rur及Rdr之每—個係再次地以類似於第7圖之方式 ’由許多類似值之電阻器並聯所形成,以達成於電阻值之 期2的精確值。靡目备缺 θ 且叩 心秉角牛的疋,亦可以使用其他提供這些電 ^之方式’因為本發明之該些實施例係不受限於所示之 该特定的實施方式。 一個類似於第7圖之方式,於第8圖中之該共同參 秦’ 3 0係包含一個可程式規劃之分壓器,該程式規劃 24 1222514 之刀壓為'係可以被使用於提供一廣的範圍之電阻值,且因 而廣的範圍之分壓比值。然而,對照第7圖之該實施例之 下’其中,該可程式規劃之分壓器之該輸出係根據提供至 离隹之命日 兒日日to Q3及Q4之脈波寬度調變控制訊號 PWMjC〇ARse以及pWM—ifine而改變,第8圖係使用 们單一相乘數位至類比轉換器電路。於第8圖中,該數 位至類比轉換器電路係包含U50-B,U4,U13-A及C109。 斤示之灵方也例中’ U4係為一個1 6位元之乘法數位至類 、軺換π,其係轉換一個電壓準位至一個電流。該電流係 透匕使用一個連接至該數位至類比轉換器U4之一個放大 哭 U1 λ Δ σσ ·Α,而被轉換成一個可變輸出電壓。該數位至類比 轉:器電路係饋入至一個包含R27, R139,汉166及緩衝放 ο A之單一麥考分壓器。該每一個取樣及保持電路 R155 及 C"1 (cui) ;U32-B,R156,C1 12 ( =°1 ))係二可切換方式連接至該可程式規劃之分壓器之該 :出'而。翏照第5及6圖,該電阻器R1係可以對應於 斗⑹,且電阻器R2係可以對應於及該數位至 六、員比轉換器電路之組合。
應瞭解的是,第S 比 圖之忒貫施例與第7圖之實施例係 白具有許多相同的優點,— — 二k 心為·母一個貫施例係 匕έ 一個完全於該上游 电路及泫下游電路之間共享之共同 芬考引線3 〇 。假定;|:日m Λ ^ 冋串耳外電阻之上游(R168-R171 ) 及下游(R172-R175),兮Λ伽杏# 綠蹈心 °亥兩個貝施例係提供上游及下游 π 口黾阻值之間之相當良 艮好的匹配。然而,第8圖之該實 25 施例係實質上&筮7 θ 、上比乐7圖之該實施例為快 個實施方式中,笛7 θ "例马昧舉例而言,於— 弟7圖之該實施例传顯干 晕秒之補償上升時門“、…糸頦不-個大約1 1 〇 、 开守間(由一個流體脈姑夕兮 至98%測量出)脈m升緣之 體脈波之节上弁续…疋,§亥2%之部分係由該流 久 < 這上升緣延遲大约^ 〇古名丨 , 係由計〜 犬'.,勺3 0笔秒。此項延遲係被認為 、开入弟7圖之該取樣及伴持兩 哭Γ介日 作夂保符电路之该電阻電容濾波 口D (亦即,U32-A,R155 及 C11Wr 、 ττ_ C1 ^ CU1 C Cu,) ;O32-B - R156 > 作且士(Cd1))之該時間常數所弓丨起,該取樣及保持電路 :大約5 0微秒之時間常數。對比之下,帛8圖之該 之-個實施方式係顯示-個大約1 0 0毫秒之補償 t升時間(由一個流體脈波之該上升緣之2%至9 8%測 出)然而,5亥2 %之部分係具有由該流體脈波之該上 升緣較少之延遲。此項延遲之減少係被認為歸因於併入第 8圖之該實施例中之該取樣及保持電路之該電阻電容濾波 器(亦即,U32-A,R155 及 Clll ( Cui) ;U32_B,R156, C 11 2 ( c D】))之该時間常數之減少,該取樣及保持電路 係具有大約〇 · 3 3微秒之時間常數。雖然第8圖之實施例 係實質上比第7圖之該實施例為快,第7圖之該實施例係 具有一個比第8圖之實施例為低之成本。再者,應瞭解的 是,第7圖之該實施例的回應時間係仍然為傳統質流感測 器之大約兩倍。 第9 A及9 B圖係顯示根據本發明之另一個觀點之質 流感測器,其中,該上游及下游電路1 0,2 0係僅共用 該參考引線之一部分。如同於第5,6,7及8圖之任一 26 1222514 圖之中’言亥Ru係、表示該上游線圈或I電阻器,且元件符 號RD係表示該下游、線圈或者f阻器、。如同於先前技術之 該些感測器電路之中—樣,線圈&及線圈Rd係設置於— 個感測器之導f (未示出)附近的分離之位置,一個流體 係透過該感測器之導管而流動。如於此所定義,流體一詞 係包含於固態、液態或氣態中之任何物質或者物質之組合 〇 /線圈Ru及線圈rd之每一個係一 上相同之電阻熱係數,使得每一個線圈Ru及線圈Rd之; 阻值係隨溫度而改變。雖然該上游及下游線圈Ru及線圈 係於此被稱為“線圈”,應瞭解的是,本發明係不受限 .t牛例而5,δ亥上游及下游線圈係不需要為繞接於感 測二導官之外部之線圈’而係可以由僅附接至該感測器 :導管之外部的熱敏電阻所形成。如此之熱敏電阻係不需 要:有-個線圈之形狀,因為該些熱敏電阻係可以具有一 的或者帶狀形狀而取代。再者,該上游及下游線圈 :Γ:要被設置於該感測器之導管之外部,當用於某些諸 :版之流體時’該些線圈係可以設置於該感測器之導管 之步:。丄外,雖然本發明之實施例係以一個質流感測器 點係:敘述’纟發明係不作如此之限制,因為本發明之觀 阻:被使用於其他應用,於該些應用之中,於-個電 丨且〖生橋電 固引線之電阻值之變化係指示隨著電阻值 而改變之性質中之改變。 1 A圖係顯示-個質流感測器之-個簡化示意圖, 27 其中’該上游及下游電路1 Ο,2 0係僅共用該參考引線 之一部分。該感測器係包含一個上游電阻性橋電路1 〇及 一個下游電阻性橋電路2 〇,該上游電阻性橋電路1 〇及 該下游電阻性橋電路2 〇係使用於設定該電阻值,且因而 分別設定該上游線圈Rlj及該下游線圈RD之該溫度。
該上游電阻性橋電路1 〇係包含一個第一放大器及 串聯之一個第一電阻器Rur及一個第一可變電阻器RU (該 上游線圈),該第一電阻器rur及該第一可變電阻器Ru係 電性地連接於該第一放大器U i之一個輸出端及一個參考端 點之間。一個電阻器Ru2及一個電容器CU2之串聯係電性 地連接於該第一放大器Ui之該輸出端及該第一放大器Ui 之該反相(一)輸入端之間。另一個電阻器R⑴係電性地
連接於第一電阻器RUR之該中點及該第一可變電阻器及 忒第一放大夯U !之該反相輸入端之間。一個相當大電容值 之電容器Cw係電性地連接於該第一放大器之該非反相 (+ )輸入端及該參考端點之間。一個電阻器R2U係與該 電容器Cm並聯於該第一放大器U!之該非反相(+ )輸入 端及該參考端點之間。該電阻器係形成該上游電路 〇之该參考引線之一部分。 忒下游電路2 0係類似於該上游電路1 〇。該下游 路2 0係包含一個第二放大器仏及串聯之一個第二電阻 RdR及一個第二可變電阻器Rd,該第二電阻器Rdr及該 一可變電阻器RD係電性地連接於該第二放大器W之該 出端及該參考端點之間。該第二放大器A之該反相(一 28 1222514
輸入端係經由一個電阻器rd1而電性地連接至串聯之該第 二電阻器Rdr及該第二可變電阻器RD之一個中點,且一個 電阻器rD2及一個電容器cD2之串聯係電性地連接於該第 二放大器U2之該輸出端及該第二放大器u2之該反相輸入 端之間。該第二放大器u2之該非反相(+ )輸入端係電性 地連接至一個連接至該參考端點之大的電容值之電容器 CD1 ’且一個電阻器R2D係與該電容器cD1並聯於該第二放 大裔U2之該非反相(+ )輸入端及該參考端點之間。該電 阻裔汉2〇係形成該上游電路2 0之該參考引線之一部分。 如示於第9 A圖,該電路係進一步包含 ’該共同電阻器R】係透過一個個別的開關i a及開 2 A而以可切換方式連接至該上游電阻性橋電路1 〇及該 釭包阻性橋電路2 0之一。該共同電阻器Ri係透過開 B及開關2B而與或Rm之一串聯,以形成該上游 巧兔路1 0及該下游電阻性橋電路2 0之每一個之該
2 =線。由該共同電阻器1與Rw或Rm之一串聯所形 之=蓼考引線係設定該上游線圈Ru及下游線圈rd被設
忒电阻值,且作為一個分壓器。如圖所示,開關丨及 關 2 # \ A —/刀別連接於由串聯之及R2所形成之該分壓器 共:^入以及該第一放大器U!之輸出端之間以及由串聯 輪^ ^ P為RI與或R〗d之一所形成之該分壓器之一 二二Μ及該第一放大器U】及第二放大器A之輪出端之 私汗關1b及開關2B之每一個係分別連接至該分壓器 及該第一放大器u 1及該第二放大器I;2之該非 29 相輪入端。開 聯方式運作, 兩者係同時開 關1A及開關1B以及開關2a及開關2b係以串 使得開關1A及開關1B以及開關2a及開關2 路或者閉路。 E ^命、曰開路及閉路,以連接該共同參考引線3 0至該上 /包阻丨生橋電路1 0及該下游電阻性橋電路2 0之一。〜
:了同包阻态R丨係不連接至該上游電路1 〇時(亦即, 田系開關1A及開關1β開路時),該電容器Cu】係維持第 一放大器A之該非反相輸入端之該電壓準位。類似地,2 ^共同電阻器R1係不連接至該下游電路2 〇時(亦即,、 田係開關2A及開關2B開路時),該電容器c⑴係維持第 放大态U2之該非反相輸入端之該電壓準位。 、
方、作%,该感測裔電路係作為兩個定溫驅動器電路 ’其係共享-個共同參考引線之—部分。係快 速地切換,以交替地連接該參考引線3 〇 (R】及R⑶或 Id之)至该上游及下游電路。當該些對應之開關係開 路枯,電容器及CD1係保持該取樣之參考反饋。該第 一放大裔仏係作用成使得1^//11別=112。/11〗。該第二放 大态U2係作用成使得Rd/ R⑽=Ra/ R】。其他放大器( 未不於第9 A圖)係採用該第一電阻器及該第一可變 電阻器Ru之串聯以及該第二電阻器Rdr及該第二可變電阻 态Rd之串聯之間之該上游及下游電壓準位及。然後 ,該上游及下游電壓準位Vu及VD係能夠使用於提供一個 指示流經該導官之流體之流速之訊號,該上游線圈及 30 1222514 下私線圈rd係被設置於該導管中或該導管附近。舉例而 言,於一個實施例中,該Vr VD/VD或者Vf vD/Vt 之比率係提供指示流體之流動速率之訊號。於其他實施例1 中’將於下文予以更詳細敘述,該上游及下游電壓準位V 及Vd可以被結合,以提供一個(Vu—Vd) / (、+、)υ 7比值,該(Vu— Vd) / (Vu+Vd)之比值亦係指示°流 經該導管之流體之流速之訊號,然而,係提供一個具有對 稱之範圍的訊號,而不論該流體之流動之方向為何(例如 由該上游線圈至該下游線圈,或者由該下游線圈至該上游 線圈)。示於第9A圖中之其餘元件,亦即 ,/ U J VU2 y 2 ,R⑴,RD2及CD2係使用於穩定該第一及第二放大器A及 -應瞭解的是,雖然第9A圖之該電路係以功能方式顯 不,然而,該電路係能夠以許多方式修改。舉例而言,為 了棱I、一適當電流量至該上游及下游線圈,係可以使用高 功率放大器。或者,該第一及第二放大器%及u2之該輸 以性方式連接至一個大輸出之電晶冑,以提供 k里之私々丨L。再者,本發明係不受限於使用四個開關·· 開關1A及開關1b以及開關2A及開關2B,因為亦可以使用
之開_。應進—步瞭解的^,於許多實施方式中,由 汉1 及 R @ R 2U 之—所形成之該共同參考引線係可以以一 ::程式規劃之分墨器取代。因&,於該可程式規劃之分 =的適當控制之下,係可以提供-個可程式之溫度上升 驅動器。現纟,包含一個可程式規劃之分壓器之流 31 1222514 感測器之一個實施例係將參照第9 B圖而予以敘述。 第9 B圖係顯示一個質流感測器之一個示範性實施方 式之一個示意圖,其中,根據本發明之一個實施例,該分 離之上游及下游電路係僅共用該參考引線之一部分。於第 9 B圖中,實施類似於上文參照第9 A圖之功能的電路之 u亥些部分係由相同之元件符號指示出。舉例而言,於第9 B圖中,該第一放大器U!係可以由該放大器U53-A、電容 器C71、電阻器尺159及電容器(:146、電晶體(^1及電阻
器R1 53之組合所形成。該下游放大器U2係可以以類似方 式由該放大器U53-B、電容器C105、電阻器r16〇及電容 崙C147、電晶體Q2及電阻器R154之組合所形成。如同 第7及8圖之該些實施例,電晶體Q1及Q2係使用於提供 足夠之電流至該上游及下游線圈Ru & Rd之每一個。 於第9B圖中,該電阻器rur及電阻器Rdr之每一 係由許多類似值之電阻器並聯所形成,以達成於電阻值 期望的精確值,其係類似於第7及8
瞭解的是,亦可以使用其他提供這些方:;而因 本發明之該些實施例係不受限於所示之該較的實施方 方;弟9 B圖中,對於該上游及哕 W下游電路之每一個係
為共用之該共享的電阻器R1侍A ^ f 了、為一個可以被使用於結合
该上游及下游電路之該R2U& R D旳形成一個可程式規劃 之分壓器之可變電阻器,以允許_ Τ 個電阻值之範圍,曰田 而分壓比。舉例而言,可以由第 乐9Β圖之該實施例所提供 32 ^22514 之該參考引線分壓比係可以由大約0.770變化至〇 834 、 該所示之實施例中,該共同共享之電阻器ri係包含—於 相乘數位至類比轉換器電路。該數位至類比轉換器 包含⑽,叫+⑴…⑽及電阻器咖及^係 於所示=實施例中,⑽係為—個i 6位元之乘法數位: 比轉換器,其係轉換一個電壓準位至一個。 ' 至類比轉換器所提供之該電流係透過使用放:器心:位 及電阻器Ru。及RU3,而被轉換成一個可變輪: 兒壓。共同共享之電哭 苴 w 接 個選擇器開關, 接該二:Γ U6_A,U6B),該對開關係交替地連 “子%阻盗R1至上游及下游訊號(例如,於Q1及 Q之该射極之該驅動電壓訊 上游月πτ姑、広 田刀轶於忒驅動訊號之 …厂 間時,該電容器C107係使用於消除一個 乍的電壓脈衝。 于1固 對照於第气5m &丄 第9B圖之,广二先前所述之每—個實施例, 考引線部分電路之每-個亦包含其自 於第9A «中;R而言’該參考引線之部分( r?7 不”為R2u)係包含電阻器R160,ri39及 。該些參考4二匕 器R127’R136^114 取樣及保持電路(刀上::一個係可切換於藉由-個個別的 :且==(^為 u^,R155,clll(Cui)及 而連接 人5,、子之兒阻态ri。如同先前之實施例一樣 33 1222514 ,於該參考引線係不連接至該上游電路之期間( 當 開關u lB係開路)時,該保持電容器Cui(ci係维 持該第一放大器U1之該非反相輪 平月J八榀之该電壓準位。類 似地,於該參考引線係不連接至該 、 一 X丄财电路之期間(亦即 §開關2A及2B係開路)時,該伴括带 茨保持电谷态CDi (C112) 係、准持該第二放大器、U2之該非反相輸入端之該電壓準位 〇 請記得:該上游及下游線圈&及^之每一個係為一 個橋電路之一個引線,第9B圖之該感測器電路係於下列 方式之:操作。該相關之上游及下游驅動器放大器(A, U2)係藉由改變至該橋之該驅動電壓而控制其相關之該上 游及下游線圈Ru & Rd (且因而溫度)之電阻值。增加該 驅動電壓係增加流經該感測器線圈之該電流,其係導致該 感測…線圈度上升。每_個橋係包含_個參考引線(& 及R2U之串聯組合,或者&及I。之串聯組合),該參考 引、泉係提供某些溫度相關之分配比,纟_個包含該感測器 線圈及引線Rc及一串聯電阻ϋ Rs (亦即,Rur或者rdr) 之感測$引線。對於該上游電路1 〇而言,該感測器引線 係包“亥上游線圈心加上其引線及該電阻器R⑽;對於該 下游甩路2 〇而言,該感測器引線係包含該下游線圈Rd 加上其引線及該電阻器Rdr。該感測器引線係具有一個/ c+ Rs)之分配比,且該驅動放大器係持續地企圖匹 配d Rc// ( Rc + RS )之該分配比至由該R,及Rw之串聯 或者由4 R!及汉⑺之串聯所形成之該參考引線之該分配比 34 1222514 。該數位至類比轉換器(U4,U13-A,U13_B,Cl〇9及電 阻器R110及R113 )係將每一側之驅動電壓之一個可程式 規劃之分數饋入至該側之取樣及保持電路(上游為 ,R155, C1U (Cui)及 U53B;且下游為 u32_b,此6, C112 ( CDI)及 U50-B)。 饭口又個具有如示於第9 B圖及理想放大器等等之電 阻值之理想電路,當該數位至類比係被設定為〇時,2 ϋ13-Β之該輸出端之該電壓係為〇。因此,取樣及保持電 路皆於其之輸出處(上游為U53B ;且下游為u5〇_B)產 生0伏特。每一個驅動放大器(Ui,U2)之該非反相(+ )輸入端係見到0.77032乘上該對應之驅動電壓,且用以 設定該感測器線圈加上引線電阻值成為3 3539乘上該對應 之Rs。當該數位至類比係被設定為i時,於每一個取樣及 保持電路之該輸出端之該電壓係等於該對應之驅動電塵。 每-個驅動放大器(Ul’ u2)之該非反相(+ )輸入端係 見到0.83398乘上該對應之驅動電麼,且用以設定該感測 器線圈加上引線電阻值成為5·〇235乘上該對應之I。中 間之數位至類比轉換器設定係提供中間之感測器線圈加上 引線電阻值線性地正比於該數位至類比之設定。 應瞭解的是’第9 B圖之該感測器驅動電路係提供優 於先前技術之感測器驅動器電路之許多優點。舉例而$, 當該驅動電壓改變時,於該驅動放大器(Ul,U2)之該非 反相(+ )輸人端係立即看見大部分之最終改變。對於— im位至』比之&疋為〇之情形而言’其係立即看到整個 35 1222514 改變,且對於-個數位至類比之設定為工之情形而古,盆 係立即看見該整體改變之大約9 2 % (〇 77〇32/〇·833 _ 。該剩餘之8 %係顯示當該改變傳送通過該取樣及保持+ 路係超過接下來之數百微秒。再者,因為該驅動放大^ <該非反相(+ )輸入端係幾乎立即看見該驅動 Γ改變:此係允許於每—個取樣及保持電路中之』 日寸間*數被提尚,而無回應時間 人 、 貝囬衝摯。於目前之者 施方式中,該取樣及保持電路^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ 只 成些蚪間常數係已經被拇 加至大約4 0微秒,然而可以確 曰 + 的疋,這些值係可以進 一步被增加。應瞭解的是,蕤ώ ^ 士士 疋错由增加該些取樣及保持電路 中之該時間常數,於該參考引線 电路 烈地影響該取樣及保持電路。 方止強 侵耆此係大幅地減少由哕 些訊號^及VD所形成之該 由=亥 风之机汛唬中冬該雜訊準位 。此卜,蠢该取樣開關(亦, 開關1 B及開關2B )開路 B守,遠在該保持電容器(亦即,c 訊係不再強烈地影塑該弓區動放女。D1)上之該剩餘雜 山老4 s. 動放大器之該非反相(+ )輸入 立而處之该電塵。明確t之 、一 一 ^ 之以不於第ΘΒ圖之該些元件值 而吕’於该保持電容哭中古 机m 叩中之1笔伏特誤差係轉換成為該驅 動放大裔之该非反相f Λ 、, 輪入端處之小於6 4微伏特之 誤呈。此亦係有助於實質上 訊準位。 成夕忒匕成之流讯號中之該雜 於第9 Β圖之該實施 測試時,係重複地獲得大 該上升緣之2%至9 8%
例之一個示範性實施方式之起始 約6 ◦毫秒(由一個流體脈波之 測量出)之補償上升時間,而I 36 !量之驅動器延遲。再者,當第9B圖之該實施例之一個 貫施方式係結合至一個當、☆ 最終值之2%之内之工^ ,係可獲得該期望之 瞭解的是,上述之处果^ 130毫秒之設定時間。應 哭之:果係對應於大約先前技術之質流感測 裔之八分之一之設定時間。 參照回示於第9B R — 义 圖之该貫施例,該實施例係包含先 刖尚未詳細敘述之數個开 要文们兀件。舉例而言,當驅動放大器(
I 2之》亥‘出i而係超過該感測器供應電壓(於Q 1及 Q2之該集極)一個實皙旦卩士 _ 摇供 ^ 貝貝里日守,電阻器R159及Rl60係被 挺供,以在起始及過流愔 况下之期間,限制輸出電晶體Q1 Q之電晶體基極電流。背對背二極體CR14及CR15係 二止當該驅動放大器、U53_A A U5〇_a(ui,u2)之該輸 糸因某種原因而變成負電壓供應執Q1及Q2時,該基極 :射極接面之損壞。電容器⑴6及C147目前係不使用,
…'而係可以被使用於實施未來之改變。電阻器R⑸及 R1 54係於起始時提供—小量之感測器電流,以確保放大器 之偏移係不導致該驅動放大器試圖驅動一個負電壓。U33 及U34係轉換一個單一脈波列(pWM—fl〇w)成為用於 驅動開關1A及2A及1B及2β ( U6及U32)之適當相位之 汛號 Uselect,Usample 及 DSample。 電阻器R140及R14I及電容器C124及Cl25係使用 於提供於某些情況下之快速回應。特別是,於較早之形式 中,其中,電阻器R27及R114係直接連接至接地,該電 路係不容易穩定化,其係需要於該驅動器補償電路中(上 37 1222514 游為 C71,C106,R22 及 R20;且下游為 cl〇5,cl〇8,R57 及 R21 )非$低之父流增益。使用高增益(, R1 14/R21 )係產生振盪’使得該兩個驅動器放大器係為執 對軌相差1 8 0度。增加電阻器R14〇及R141及電容器 C124及C125係防止驅動電壓之整體改變立即出現於該驅 動放大器之非反相(+ )輸入端。藉由圖示之值以及設定 數位至類比為〇 ’大約9 8. 5%之最終改變係立即產生, 而剩餘之1 .5 %係延遲-個時間f數5 Q Q微秒。此項於 該非反相(+ )輸人訊號之非f輕微之延遲係允許於該驅 動放大器中之高很多之交流增益,而不使該驅動器不穩定 ,因而允許對於流改變之快很多的回應。 當然應該瞭解的是,+ M @ D 1, J疋不於弟9 B圖中之該些特定元件 值對於該質流感測器之該期望之操作特性以及其意欲操作 之情況的範圍而言係特定的。因&,對於設計用於流之不 同速率及/或不同操作情況之❹m言,應瞭解的是, 不t第9 B圖之該些元件值仙而可以被調整。亦應瞭解 、疋亦可以谷易地想到對於示於第g B圖之該實施方式 :!他改變。舉例而言,對於較低成本之實施方式而言, :弟9 B圖之6亥相乘數位至類比轉換器電路(包含u4, U13-A,U13-B,Γ1 〇〇 12 ^ 甩阻裔R Π 0及R Π 3 )可以以一 個類似於第7圖之數位$α u & 至頒比轉換器之數位至類比轉換器 取代,其中,脈波實谇 ⑽ °周、交控制訊號係使用於改變由該分 壓益所提供之該輸出電壓。
^UR 於上述之第5至9b圖之每一個實施例中,雖然& 38 1222514 ^方、Rdr之比值應该為穩定的,且較佳的情況為,爷r 及之電阻值係具有相同之值,然而,复 〆/⑽ R⑽及Rdr之電阻值為相同而匹配的。因此:、上:=該 =圖之每一個實施例係免除第…圖所== 及4寸性緊密地匹配。
根據本發明之另一個觀點,一個放大器電路係被提令 :於放大由-個感測器所提供之第一及第二訊號。該放力 益電路係提供—個具有不論該感測器之方向為何皆對稱^ 範圍的輪出訊號。有利的是’本發明之此項觀點係可以與 上述之第5至9 B圖之每一個實施例一起使用。
參照回第5至9圖,應瞭解的是,雖然該上游及下游 線圈Ru及rd於結構及電氣及熱性質上係為類似的,該感 則σσ違路之操作可以根據該流之方向而改變。亦即,根據 使用於偵測流之該上游及下游電壓準位(Vu,vD)之特定 組合’當該流之方向係被反向且該“上游,,線圈係被使用 作為4 下游線圈且反之亦然時,該感測器驅動器係可 以以非常不同之方式實施。舉例而言,於指示流經該質流 感測杰之該流體之流速的流訊號係根據下列方程式而予以 計算: 流速=K*(Vu-Vd)/Vd ; ( 1 ) 該流訊號之該範圍係可以根據哪一個線圈Ru及Rd係 被使用作為該上游線圈以及哪一個線圈Ru及rd係被使用 作為該下游線圈而改變。雖然該流訊號係與周圍溫度無關 (忽略溫度相關之流體及感測器物質之熱性質),提供至 39 1222514 該上游及下游線圈之該電力係隨著一個、、六 u机之函數而 因此,當該流體之該質流速率係根據方程式丄 改變。 該產生之流訊號係相當非對稱的,1伤目+ 计算時, 货、具有一個實杯 一個方向上比另一個方向上為大之線性範圍(歹I 、貝上於 流係由該上游線圈流向該下游線圈時)。 ^该 步之觀點, 该流速係可 係不根據方 以以下列方 然而,根據本發明之一個進_ 程式1而計异該流體之質流速率, 程式計异· 流逐二 vu-να)/ 上 述之該流體之流速之定義亦係與溫度無關(为j 、 度相關之流體及感測器物質之埶性皙〉 ^ 心、略溫 …貝^ 。然而,因為(Vu
Vd)及(Vu+ Vd)係皆為流之對稱函數,哕冷 4級速亦係對稱 。此項對稱性係允許該感測器驅動電路於 實施係一樣好。因*,當期望使用該感測= 方向柃,其中上游線圈()係朝向該“下游,,線圈 (rd )之下游,係不需要實際上將該感測器反向,或者改 變該些電子裝置以補償該反相之流動方向。取代的是,节 感測器電路係可以僅於處理該輸出訊號之該數位訊號處= 器(未示出)之内反向。另一個流之對稱函數之流速的定 義係為該上游及下游電壓之間之差,亦即Vu — Vd。於某 些實施例中,該Vu—Vd之流之定義係為比上述兩個方程 式為佳,因為其係與哪一個線圈係位於另一個線圈之上游 然關’且係較不受雜訊之影響,且係於較低周圍溫度下提 供一個增加之敏感度。 40 爹照第l 0圖’現在,一個提供—個具有不論該感測 咨之方向之何皆對稱之範圍的輸出訊號之放大器電路將予 二敘述。該放大器電路係包含一對放大器υ3〇及鮮Β, 邊對放大器U30及U17'B之每一個係接收由該感測器電路 而來之該輸出tfl號VJ Vd。該放大器電路係提供一個差 動分子訊號(標示4“DELTAV+’、“deltav_”之訊 破之間之差)’該差動分子訊號係等於κ工*(Vu_vd)。該 差動分子訊號係可以被施加至—個類比至數位轉換器之差 動訊號輸入端’該類比至數位轉換器係轉換該訊號成為一 個數位值,以用於由-個質流控㈣(未示出)之—個數 位訊號處理ϋ作後續處理。該放All電路亦係提供一個單 ,分母訊號(標示A “VD+VU”),該單端分母訊號係 寺於K2*(vu+Vd)。且該單端分母訊號係可以被施加至 該類比至數位轉換器之一個單端參考輸入端。因此,該類 數位轉換☆之4輸出係、提供_個等於KYVu.vd)/ (Vu + Vd)之數位輸出訊號,該數位輸出訊號係可以進一步由 _控制器之該數位訊號處理器所處理。 第1 0圖之D亥放大器電路係可以與上述參照第5至9 圖 何感測窃电路之實施例-起使用,因為該些電路之 每-個係能夠提供代表跨越該上游及下游線圈之電壓的感 測器輸出訊號v丨丨及V 伽, “、 V〇。舉例而言,於第7圖中,標示為 ‘‘流感測器放大哭” ^ σσ 之5亥黾路的右下部分係可以以顯示於 第1 0圖之該放大哭# 口口包路取代,以提供一個具有一個與該 感測器之該方向I關 …、且對稱之範圍的流訊號。再者,應瞭 41 1222514 77 2是,其他與不於第1 〇圖之該實施方式不同之輸出放 大:兒路可以被使用。事實上,只要該放大器電路之該輸 出係k供指示提供至該上游及下游線圈之電壓(或電流) 11的汛唬’且與流經該感測器之流體之流動方向無關之 這^訊號之某些組合係被使用於镇測其之差,則該流訊號 fc圍將與4感測g之方向無關而為對稱的。於該流訊號 中2感〉則器、之方向無關之對稱性係不需要之情況下,該感 、之輸出几號Vu及VD之不同組合係可以被使用,包含 (WD) /Vu 及(Vu—Vd) /Vd。 /、曰據本心月之一個進一步之觀點,一個可變輸出電源 係被提i、、玄可變輸出電源係能夠調整由一個感測器電路 所使用之電力之量。根據一個實施例,於該實施例中,該 可變輸出電源係與一個質流感測器電路一起使用,該可變 輸出電源係能夠提供_個輸出,該輸出係變化以回應一個 心:到之流速,使得於高流速下提供相較於低流速下更 Γ:!力至該質流感測器電路。應瞭解的是,於先前技術 貝>“測_中,提供至該質流感測器之5 力係於低流速下被浪費。 電源係能夠防止由該可〜施例’料變輸出 之流速下過分增加 a里方、非“ 夠器電路相關之控制向及於與該質流感 方士人 可能的閉鎖。有利的是,這兩 方面可以被結合至_ ππ 们早一可變輸出電源之中。如此之一 個實施例現在將參照第11圖而予以敘述。 該可變輸出電源1 1 人_ 0係s 個部分隔離之開關 42 1222514 電源1 1 1 〇,該部分隔離 個^ <開關電源1 1 1 0係提供一 伕胪制電路1 1 2 ϋ (標示為“ γ 伙将k制”)所控制。該部 兮不,山认 刀^離之開關電源1 1 1 0之 δ亥正端輪出(標示為“ + 7伕钟^ 、、則哭n 4寸抆制,,)係提供電力至感 。。驅動電路電晶體(亦即, 曰蝴 々弟7,8及9Β圖中之電 日日肢Q1及Q2 )。由該感測哭 r Λ °°而來之返回電流係透過該 CABLEjense線(第於第 Q 4, 8及9 B圖中之該感測器之第 3接腳)而流回該部分隔離 ^ 义開關電源1 1 1 0。一個至
遺感測器共同點(第於第8及q A .,、 及9 B圖中之該感測器之第9 接腳)之個別引線係提供一個拯 ,, u接地茶考至該可變輸出電源 1 1 0 0 〇 該可變輸出電源1100係提供_個電壓於該“+7 伙特線’其係比該最大感測器線驅動電壓(由上文之驅 動電晶體Q1及Q2之一之射極處 处又忒電壓所定義,且非該 上游或者下游感測器線圈電壓〜或Vd)大丄伏特。此係 提供於該兩個驅動電晶體(於第7,8及9b圖中之… 及Q2)上之該集極及該射極(Vcc)之間之一個最小的1 伏特差’其係提供足夠的.驅動電流,卩防止任—個電晶體 飽和,且不浪費於該驅動電晶體中之許多電力。 BS ^ 暫時忽略U8-A及右半部之雙二極體CR6之操作,雙 二極體CR5及電阻器R60係產生一個大約該最高“驅動電 壓”之下一個二極體壓降之電壓(於CR5之第3接腳)。 该雙二極體CR6及電阻器R59之該左半部係轉換該備用二 極體之壓降,以產生於CR6之第3接腳之電壓,其係大約 43 等於該最高 之 驅動電壓 被動元件係轉移該電壓以:谈,放大器U8-B及其結合 處之該電壓丄伏特 生一個大於該CR6之接腳3 。 包土(於該 + 7伏特,,線上) 應瞭解的是,該可變 、 於該感測器電路正常操作戶不电源因而提供一個剛好略大 提供至該感測器電路;需^二輸出電壓’升高或者降低 器電路之該真正的電力 °亥电源,以回應該感測器驅動 項觀點係同樣可應用至=°亦應瞭解的|’本發明之此 之每一個,且每 ;8及9圖之該些感測器電路 測器電路-起使用。事心係破考量日夺,係可以與其他感 成本係不重要之情況下:/於電力消耗係為主要考量且 上、η Μ ^ 糸不提供一個單一輸出電壓至該 上游及下游感測器電 而係提供個別的電源電路。舉例 而5 ,该上游感測器驅動器 屮㊆、、/5 包吟J以具有其自己的可變輸 :山、i訂游感測器驅動器電路可以具有其自己的可 電源,每-個可變輸出電源係類似於上文參昭第丄 1圖之該可變輪出電源。 、 根據本發明之另一個觀點,該可變輸出電源亦能夠防 =由4可變輸出電源所提供之電量於非常高流速之下過度 立曰加’且用於防止相位反向及於與該質流感測器電路相關 之控制系統中可能的閉鎖。如同熟習該項技術者所周知, 方、巧流速之下,流經該感測器之該流體流可以為太快而無 去被正確地加熱’因而由該上游及下游線圈吸取電力。此 係旎夠具有兩個負面效果。首先,該感測器電路之該輸出 44 1222514 係因為增加之流速而開始減少,且假如不正確的話,導致 於大部分控制系統之相位反相及後續之閉鎖。第二係為: j感測器電路之電力消耗於高流速之下大幅增加,於某些 ^况下’相較於零流動之電力消耗係超過兩倍。因為該感 湏1J器雷?欠+ 士― 4· ,. ' 〜 〜輪出係於非常高之k速下減少,且因為此係 此夠目H日寸產生,一般而言係不可能藉由僅監視該感測器電 路之該輸出而偵測高流速之情況。 身^根據本^明之一個觀點,係提供一種偵測於一質流感 ^中^ ^速之情況之方法。該方法係包含:彳算於該目 士卞作/皿度之下一個期望之零流動訊號;根據該期望之零 :力Λ旒而汁昇一個臨限值;比較一個真實的流訊號及該 ^值·’及#該真實的流訊號係超過該臨限值時,偵測該 门爪動丨月况。忒方法可以由一微處理器實施,有利的是, u处理σσ係可以為使用於包含該質流感測器電路之該質 AML控制态中之相同微處理器。 根據-個實施例,該期望之零流動訊號係根據該上游 及下游線圈電壓(Vu,Vd)乘上—個常數κ而被計算出 。亦即, 期望之零流動(Vu+Vd); 於零流動及該目前操作溫度之下。該臨限值係藉由將 -個常數(典型地係Λι.〇5至11〇)乘上該期望之 零流動訊號而決定。根據該臨限值及該真正的流訊號κ* (VU+Vd)之比較,-個關於是否該高流動情況係存:之確 認係被實施。當確認該高流動情況係存在時,由該可變輸 45 1222514 出電源之該+ 7伏特線所接/七a丨σσ 寸、艮所k供之该感測杰之供應電壓係被 防止過度〜加此外’當確認高的流動情況存在時,該於 示之感測器電路輸出係以人工方式設定成一個高的值^正 值或負值’其係根據流之方6 豕机又万向而疋),以防止該相關之控 制系統的閉鎖(典型地传兔接 α么丨& \ t你為積分,比例積分,比例積分差 動,領先或延遲,增兴土斗、、汗斤μ丄 ^ 乂 9羞領先或延遲等等中之一部分,控制 Ί先係由個u處理斋所實施,舉例而言一個質流控制器 =該微處理器)。該微處理器係提供一個被轉換成一脈:
寬度調變訊號(第1 "I @ A ^ 弟丄1圖中之PWM-SUPPLY )之數位輸 出訊號’以限制由該可轡給^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ ^ J又竿别出電源k供至该感測器電路之 該供應電壓。 於示於第1 1 + 一 丄圖之该貫施例中,一個脈波寬度調變器 (未丁出)係被使用於驅動一個包含電阻器及電容器 C3 5之Rc濾波哭。么A斗士 ^ σσ 母®该真正的流訊號係於該臨限值Κ* (V u + V d )之下 g士 » ^ 、)H t ’由該微處理器所提供之該輸出係被設定
成該最大可能彳古 iA ^ m 该如出係被提供至該脈波寬度調變器, 且該脈波寶;#姻樹 〇〇 、又调、交為(PWM—SUPPLY)之該輸出係驅使該 放大裔υ8~Α:^φ&山&山 ^ 平刖出為尚準位,因而使該雙二極體CR6之 斗-口 P 13^ ΧόΊ ί®ϊ· 、, ^ ’ I允許該部分隔離之開關電源1 1 1 ο 正常操作。缺而 ^ …、’母§該真正的流訊號係超過該臨限值Κ* (Vii+ Vd)時,兮外由 μ U處理器之該輸出係以比例方式減少。當 δ亥輪出下降日士 寸’表放大器U8-A之該輸出電壓亦係下降。 於某一點,雔一 4 ^ ”、 又二極體CR6之該右半部係導通,於CR6之 弟3接腳之命巧 兒反係被減少至該正常值之下,且因而減少該 46
部分隔離之開關電源1 1 1 0 A 之该輸出。此係防止該真正 的流 §fl 號 K* (Vu + Vd)增加,i 士 、、、 再者’以人工方式冷卻該感 測器,且實質上減少該感測哭 心、°°驅動器之功率消耗至不如此 實施之功率消耗之下。 當流經該感測器之辞泠, ^ ° a減少時,該感測器將使備用部 分暖機(因為提供至該威測哭 # 以列為之可使用之電力係大於正常 才呆作所需之電力),且令玄直不 ° 正的流訊號K* (Vu+Vd)最終 將下降至該臨限值之下。缺饴 …、设,該微處理器將該輸出送回 至其之正常的高準位佶,α 4 ^ 允許該部分隔離之開關電源1 1 1 0重新開始正常之操作。 應瞭解的是,雖缺士卜每Α ^ …、K t例係參照一個脈波寬度調變 器而敘述,然而,其他雷敗 包路7L件係可以被使用。舉例而古 ,不使用一個脈波寬度調變哭 加金o s二 ° 又Μ彳乍為一個數位至類比轉換哭 以轉換該微處理器之該數位輪 …口 1祖r別出汛唬成為一個類比值,其 他形式之數位至類比轉換哭— 和換杰亦可以被使用。再者,亦應瞭 解的是’雖然該敘述之竇祐也丨 、也例係限制提供至該感測器之該 電壓,其亦可以限制該供 利A 1、應之電流而取代電壓。此外,不 使用(Vu + Vd)之組合作a卜卜击丄 口作為比較之基礎,亦可以替代地監視 其他訊號’諸如提供至該些感測器之每一個或者任一個之 該驅動電Μ ’或者提供至該些感測器之每一個或者任—個 之該感測器電流等等。於此方面,該(Vu+Vd)之組合係被 使用,因為該訊號係已經可 G、,工了以由不於弟1 〇圖之該流感測 器放大器之該輸出取得,夕少 ^然而,其他訊號之組合亦可以被 使用而取代。 47 a^2514 、雖然本發明之實施例係已經參照特別適合 首 造程序之質流感測器而予以敘述,應瞭解的是::體製 實施例係可以被使用於其他應用及程序。舉例而+ ”月: 明之實施例係可以被使用於自動化應用1測量;= 者柴:燃料或者被傳送至-燃繞室之氣體之流體的量 °?再 者’本發明之實施例係不受限於質流感測器,因: 系可以使用於其他感測器及偵測電路。舉$ 之實施例係可以容易地適用於-個熱線風速計;者:;: 他於一電阻性橋電路之一引線之 佐 何,、 ^ , 电阻值之、交化係指示隨著 包阻值之改變而變化之性質之改變的應用。 已經詳細敘述本發明之數個實施例,而不同之修改及 =容易地由熟習該項技術者所想出。如此之修改及改 ,“欠於本發明之範,之中。特別是,雖然於此所敘述 t許多實施例係牵涉到系統元件或者方法之步驟之特定組 〇,應瞭解的是,這些元件及步驟係可以以其他方式結合 1此’僅與-個實施例有關之元件、步驟或者特色係不 打异由其他實施例所排除。& , 一 μ j所拼陈因此,上文之敘述係僅作為例 =用’ 1係不作為限制之用。本發明係僅由下列申請專 和範圍及其均等物所限制及定義。 【圖式簡單說明】 (一)圖式部分 本免明之不犯性的且非限制性的實施例係藉由參照後 附圖式之範例而予以敘述,其中: 弟1圖係為〆個根據先前技術之定電流質流感測器; 48 1222514 圍的流訊號;及 第1 1圖係為一個可以與第5至9圖之任一個實施例 一起使用之可變輸出電源供應器之一個詳細示意圖。 (二)元件代表符號 1 0 上 游 電 阻 性橋 電 路 2 〇 下 游 電 阻 性 橋 電 路 3 0 共 同 參考 引 線 4 〇 放 大 器 或者範 圍 電路 5 〇 類 比 至 數位 轉 換 器 6 0 輪 出 電 晶 體 6 1 出 電 晶 體 9 0 1 固 定 電 流 源 9 0 2 差 動 放 大 器 9 1 1 放 大 器 9 1 2 放 大 器 1 1 〇 0 可 變 竿別 出 電 源 1 1 1 〇 部 分 隔 離 之 開 關 電源 1 1 2 0 控 制 電 路 Ul 第 一 放 大 器 U2 第 二 放 大 器 Ru R 第 一 電 阻 器 Rdr 第 二 電 阻 器 Ru 第 一 可 變 電 阻 器 Rd 第 ___ 可 變 電 阻 器
50 1222514
Rd 1 電阻器 Rd2 電阻器 RU1 電阻器 RlJ2 電阻器 C u 1 電容器 Cu2 電容器 C D】 電容器 C〇2 電容器 Ri 第一電阻器 r2 第二電阻器 1a, 1 B 開關 2A, 2b 開關 Vu 上游電壓準位 vD 下游電壓準位 Q1, Q2, Q3,Q4 電晶體
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Claims (1)

  1. 2-輸人端時,該分壓器之該輸出㈣定該第—可變電阻 二放大:電阻值’且當該分壓11之該輸人端係、連接至該第 二士 之該輸出端且該分壓器之該輸出端係連接至該第 二丌:之該第二輸入端時,該分壓器之該輸出係設定該 弟一可受電阻器之一個電阻值。 丄如申請專利範圍第1項之感測器,其中,該分壓 為係包含一個可程式規劃之分壓器。 3如申請專利範圍第2項之感測器,其中,該可程 ^見劃之分壓器係包含複數個電阻器,其係連接於;分壓 出端及該參考端點之間,且該分壓器之該輸出 :厂=夠根據該複數個電阻器中之哪一個連接於該分壓 益之该輪出端及該參考端點之間而改變。 …4 ·如申請專利範圍第3項之感測器,其中,該分壓 之"亥輪出包壓係能夠進一步根據該複數個電阻哭之每一 個連接於該分壓器之該輸出端及該參考端點之間:時間量 而改變。 5 .如申請專利範圍第2項之感測器,其中,該可程 式規狀分屡器係包含—個數位至類比轉換器電路,直係 具有設U分屢器之該輸出之—個輸出。 至^絲如申請專利範圍第5項之感測器,其中,該數位 至類比轉換器電路係包含·· -個數位至類比轉換器’其係具有輸出,該輸出係提 i、一可變量之電流;及 —個放大器電路’其係具有:一個以電氣方式連接至 53 該數位至類比轉換器之該輸出端之輸入端,及一個輸出端 ’其係形成該數位至類比轉換器之該輸出,且根據該可變 里之電流而提供一可變輸出電壓。 7 ·如申請專利範圍第1項之感測器,其係進一步包 含一個第一電容器,其係以電氣方式連接於該第一放大器 之該第二輸入端及該參考端點之間,其係當該分壓器之該 輸出端係連接至該第二放大器之該第二輸入端時維持於該 第一放大器之該第二輸入端之電壓準位。
    8 ·如申請專利範圍第7項之感測器,其係進一步包 含一個第二電容器,其係以電氣方式連接於該第二放大器 之該第二輸入端及該參考端點之間,其係當該分壓器之該 輸出端係連接至該第一放大器之該第二輸入端時維持於該 第二放大器之該第二輸入端之電壓準位。
    9 ·如申請專利範圍第1項之感測器,其中,該第一 放大器之該第二輸入端及第二放大器之該第二輸入端係分 別連接至一個第一開關及一個第二開關,該第一開關及該 第二開關之每一個係具有一個開路狀態及一個閉路狀態, 其中,當邊第一開關及該第二開關係於該閉路狀態時,於 该第一及第二放大器之該第二輸入端處之電壓準位係被取 樣0 1 0 ·如申請專利範圍第9項之感測器,其中,該第 一開關係接收一個第一切換訊號,該第一切換訊號係於該 分壓器之該輸入端係連接至該第一放大器之該輸出端且該 分壓器之該輸出端係連接至該第一放大器之該第二輸入端 54 之後,切換該第一開關成該閉路狀態。 11如申凊專利範圍第1 〇項之感測器,其中,言I 第二開關係接收—個第二切換訊號,該第二切換訊號係於 罐器之該輸入端係連接至該第二放大器之該輸出端且 :分壓器之該輸出端係連接至該第二放大器之該第二輸入 端之後,切換該第二開關成該閉路狀態。 1 2 .如申請專利範圍第i項之感測器,其中,該感 測器係為一個質流感測器。
    丄3 ·如申請專利範圍第1 2項之感測器,其中,該 質流感測器係包含於一個質流控制器之内。 1 4 ·如申請專利範圍第1項之感測器,其中,該分 壓器係包含: 一個第三電阻器,該第三電阻器係以電氣方式於該分 壓為、之該輪入端及該輸出端之間,該第三電阻器係以可切 換方式連接至該第一放大器之該第一輸入端及該第二放大 杰之該輸出端之一;
    一個第四電阻器,該第四電阻器係以電氣方式連接於 5玄第一放大器之該第二輸入端及該參考端點之間;及 一個第五電阻器,該第五電阻器係電氣方式連接於該 第二放大器之該第二輸入端及該參考端點之間。 1 5 ·如申請專利範圍第1 4項之感測器,其係進_ 步包含一個第一電容器,其係以電氣方式連接於該第一放 大器之該第二輸入端及該參考端點之間,其係當該分壓器 之该輸出端係連接至該第二放大器之該第二輸入端時維持 55 1222514 於忒第一放大斋之該第二輸入端之電壓準位。 1 6 ·如申請專利範圍第丄5項 丰a A 只 < 琢測荔,其係進一 少包含一個第二電容器,1得以雷夯 士加 八係以電虱方式連接於該第二教 大盗之該第二輸入端及該參考端點之間,其係當該分屬哭 之該輸出端係連接至該第一放大器之該第二輸入端時維: ;。亥第一放大裔之該第二輸入端之電壓準位。 1 7 · —種感測器,其係包含:
    一個第一電路,該第一電路係包含一個第一電阻器, 4第一電阻器係具有一個第一電阻值,該第一電阻值係改 變以回應於一個實體特性中之一項改變; 一個第二電路,該第二電路係包含一個第二電阻器, 違第二電阻器係具有一個第二電阻值,該第二電阻值係改 义以回應於該實體特性中之該項改變; 一個分壓器;及
    至少一個開關,該至少一個開關係具有一個第一狀態 及一個第二狀態,該至少一個開關之該第一狀態係以電氣 方式連接該分壓器至該第一電路,以設定該第一電阻器之 該第一電阻值,且該至少一個開關之該第二狀態係以電氣 方式連接該分壓器至該第二電路,以設定該第二電阻器之 該第二電阻值。 1 8 ·如申請專利範圍第1 7項之感測器,其中,該 分壓器係具有一個輸入端及一個輸出端,真其中,該至少 一個開關係包含至少一個第一開關及至少’個第二開關, 该至少一個第一開關及至少一個第二開關之每一個係具有 56 1222514 該第-狀態及該第二狀態,當該至少一個第一開關係具有 該第-狀態時,該至少—個第一開關係電連接該分壓器之 該輸入端至該第一電路,當該至少一個第一開關係具有該 第二狀態時,該至少一個第一開關係電連接該分壓器之該 輸入端至該第二電路,且當該至少—個第二開關係具有該 第-狀態時,該至少-個第二開關係電連接該分壓器之該 輸出端至該第-電路,當該至少一個第二開關係具有該第 二狀態時’該至少-個第二開關係電連接該分壓器之該輸 出端至該第二電路。 1 9 .如申請專利範圍第1 8項之感測器,其中,該 么壓裔係包含一個可程式規劃之分壓琴。 2 〇 .如申請專利範圍第"項之感測器,其中,該 可程式規劃之分Μ器之該輪出係能夠被調整,以改變該電 阻值成為該第一及第二電阻器被設定之值。 2 1 ·如申請專利範圍第"項之感測器,其中,該 可程式規劃之分壓器係包含複數個電阻器,其係連接於該 分麼器之該輸出端及該參考端 ψ ^ ^ ^趸而”、、占之間,且該分壓器之該輸 =屢係能夠根據該複數個電阻器中之哪一個連接於該分 &裔之該輸出端及該參考端點之間而改變。 、2 2 .如申請專利範圍第2 1項之感測器,其中,續 :壓器之該輸出電壓係能夠進—步根據該複數個電阻器之 =個連接於該分壓器之該輸出端及該參考端點之間之時 間Ϊ而改變。 2 3 .如申請專利範圍第1 9項之感測器,其中,該 57 可程式規劃之分麼哭择6 JL ^ ^ ^ ^ ^。、匕§ 一個數位至類比轉換器電路, 其係具有纟又疋该分壓哭之 1时之该輸出之一個輸出。 2 4 ·如申請專利範 如 ^ 固弟2 3項之感測器,其中,續 數位至類比轉換器電路係包含· ° 一個數位至類比轉換 甘及曰‘ # π-^ ^ ώ 、裔,其係具有輸出,該輸出係提 供一可變1之電流;及 队 一個放大器電路,其 ^ ^ y ^ 、係具有·一個以電氣方式連接至 該數位至類比轉換哭之兮认I ^ ^ 轉秧-之5亥輸出端之輸入端 ,其係形成該數位至類屮絲4A W而 旦之電m 器之該輸出,且根據該可變 里之電肌而k供一可變輪出電壓。 士申明專利範圍第丄8項之感測器 步包含: …一個第-保持電容器’其係電性地連接至該第_電路 外田二$㈤關及該至少—個第二開關係具有該 第二狀態時,該第一保持雷 人 卞狩冤奋态係第一電阻器之該電阻值 j 一個第 ,當該至少 第一狀態時 保持電容器,其係電性地連接至該第二電路 個第一開關及該至少一個第二開關係具有該 該第二保持電容器係第二電阻器之該電阻值 2 6 .如申請專利範圍第工8項之感測器,其中“亥 至! 一㈣二開關係於該至少一個第-開關係已經切換: 該第-狀態之後,#收_個切換該至少一個第二開關成該 第一狀態之切換訊號。 Λ 58 1222514 2 7 ·如申請專利範圍第2 6項之感測器,其中,該 切換訊號係於該至少一個第一開關係已經切換至該第二: 悲之後,切換該至少—個第二開關成該第二狀態。 該 2 8 ·如申請專利範圍第1 7項之感測器,其中 分壓器係於該第一及第二電路之間共享。 ^ 僅 2 9 ·如申請專利範圍第1 7項之感測器,其中 有乂刀£ μ之部分係於該第一及第二電路之間共享。 3 0 一種用於與一對橋電路一起使用之方法,一 個橋电路係具有_個感測器引線,該感測器八 個固定電阻哭另—加 a a _ 個可變電阻器以及一個設定該可變雷阻 R電阻值的參考弓丨線,該方法係包含下列之步驟·· :享該共同引線之至少一部分於該第一及第二電路之 V驟’以匹配該些可變電阻器之該電阻值。 —3 1 .如中請專利範圍第3 0項之用於與-對橋 起使用之方法,其中,該共享之步驟係包含: 於不同時間以切換方式連接該參考引線之該 至母—對橋電路。 予丨刀 -起二Γ’專利範圍第3 〇項之用於與-對橋電路 其中’該參考引線係包含-個固定部分 =1 ’且其中’該共享之步驟係包含: 鬥”6亥麥考引線之該可變部分於該第-及第二電踗之 間,以匹配該些可變電阻器之該電阻值。 電路之 如申D月專利範圍第3 〇項之用於與一 -起使用之方法…,該參考引線係包含一個固= 59 1222514 及一個可變部分,且其中,該共享之步驟係包含· 引線之該固定 可變電阻器之 共享該參考引線之該可變部分及該參考 4分於該第一及第二電路之間,以匹配該些 該電阻值。 、3 4 . -種質流感測器,其係用於測量—個流體之流 速’該質流感測器係包含: 一個第一可變電阻器;
    —個第二可變電阻器,當該流體之流係於一 向時’該第二可變電阻係設置於該第—可變電阻器之下游 —一個第一電路,該第一電路係以電氣方式連接至該第 —可變電阻器,以提供一個指示提供至該第一可變電阻器 之功率之第一訊號; 的 -個第二電路,該第二電路係以電氣方式連接至該第 一可變電阻器,以提供一個指示提供至該第二可 之功率之第二訊號;及 ^ 一個第三電路,其係用於接收該第一訊號及該第二訊 唬’且提供一個指示該第一訊號及該第二訊號之間之差之 輸出訊號, 其中’當該流體之流動係於琴望 V . ^ ^ V 吁γ Θ弟一方向忖,该輪出訊 3虎之乾圍係對稱於者兮今㈣夕、古I ^ 一 、田以/;,L體之、/瓜動係於與該第一方向相反 之弟一方向時該輸出訊號之範圍。 ,兮笛:·如申請專利範圍第3 4項之質流感測器,其中 60 1222514 一個第一放大器電路,其係用於提供一個指示該第一 及苐一訊號之間之差之第三訊號; 一個第二放大器電路,其係用於提供一個指示該第一 及第二訊號之和之第四訊號;及 一個轉換器電路,其係用於接收該第三及該第四气 ,將該第三訊號除以該第四訊號,以提供一個相除 且提供該相除訊號作為輪出訊號。 ° 5心, 3 6 .如申請專利範圍第3 5項之質流感測器
    .«玄轉換益電路係包含—個類比至數位轉換器,其係具 個差動輪入端,以接收該第三訊號,以及一 入端’以接收該第四訊號。 ^考輪 牙重用於測s流體之流動速率之質流感測器, 该貝流感測器係包含: 一個第一可變電阻器; 一個第二可變電卩且器; 個弟一電路,兮笛 ^
    _ ^ ^弟一電路係以電氣方式連接至該第 一可變電阻器, 故仏一個指示提供至該第一可變電阻器 之功率之第一訊號; 一個第二恭攸 ^ ^ 一电路遠第二電路係以電氣方式連接至該第 ^ ^阻^ ’以提供一個指示提供至該第二玎變電阻器 之功率之第二訊號; 一個第=雷攸,# 該μ — > / —电路该第三電路係用於接收該第一訊號及 n K嬈’且提供一個指示該第一訊號及該第二訊號之 間之差之輪出訊號;及 61 1222514 一個電源供應電路, 拉,兮镇一-攸 〇亥電源供應電路係以電氣方式連 接至该弟電路及該第二雷玖々 ^ ^ ^ 至^ 一個,以根據該流體 之流速而徒供一個可變量 文里之功率至該第一電 路之至少一個。 电峪及〇亥弟一私 3 8 ·如申請專利範 备7、#至之所、* rf 員之用於測量流體之流 動速率之夤流感測器, p其中,遠電源供應電路係以電氣方 式連接至忒弟一及第二電 電力至哕第P $路之母一個,以提供該可變量之 包力至d弟一及第二電 一 速率為何。 纟-個’而不論該流體之流動 3 9 ·如申請專利笳圍 韌、#產> & + 圍弟3 7項之用於測量流體之流 動速率之貝流感測器,其中, 、Φ遂I、Λ、, τ θ電源供應電路係於低流動 速率下減少提供至該第一及第― 旦, 弟一電路之至少一個之可變電 里’於高流動速率下增加提供至兮笼R炫 少一個之可變電量。 ^、至^ —及苐二電路之至 種於質流感測器中债測高流動之情況的方法 〜万去係包含下列步驟: 於读質流感測器之一個目前操作溫度下決定一個期望 之零流動訊號; 根據該期望之零流動訊號而決定一個臨限值; 决定於該質流感測器之該目前操作溫度下由該質流感 ’則σ°所項彳量出之一個真實的流動訊號; 匕車又由該質流感測杰所測量出之該真實的流動訊號及 該臨限值;及 备讀真實的流動訊號係超過該臨限值時,確認該高流 62 1222514 動情況係存在。 4 1 ·如申請專利範圍第4 〇項之於質流感測器中偵 測高流動之情況的方法,其中,該質流感測器係包含:一 個上游電路,其係提供一個指示提供至該質流感測器之一 個上游線圈之電力之第一輸出訊號;及一個下游電路,其 係提供一個指示提供至該質流感測器之一個下游線圈之電 力之第二輸出訊號,其中,該決定該期望之零流動訊號之 步驟係包含於該質流感測器之該目前操作溫度下於一零流 動速率之下決定該第一及第二輸出訊號之和之步驟。 4 2 ·如申請專利範圍第4 1項之於質流感測器中偵 測尚流動之情況的方法,其中,該決定該臨限值之步驟係 包含一個將該期望之零流動訊號乘上一個常數之步驟。 4 3 ·如申請專利範圍第4 2項之於質流感測器中偵 測咼流動之情況的方法,其中,該決定真實的流動訊號之 步驟係包含一個於該質流感測器之該目前操作溫度下於一 目前流動速率之下決定該第一及第二輸出訊號之和之步驟 0 4 4 ·如申請專利範圍第4 3項之於質流感測器中偵 測高流動之情況的方法,其係進一步包含一個防止提供至 該上游線圈及該下游線圈之電量增加過量之步驟,以回應 確認該高流動之情況存在之步驟。 4 5 ·如中請專利範圍第4 4項之於f流感測器中债 測高流動之情況的方法,其中,該防止之步驟係包含一個 。周整^供至该上游線圈及該下游線圈之電量之步驟。 63 1222514 b ·如申請專利範圍第4 5項之於質流感測器中偵 測局流動之情況的方法,其中,該調整電量之步驟係包含 個u周整心供至該上游線圈及該下游線圈之電量之步驟。 。 4 7 ·如申請專利範圍第4 6項之於質流感測器中偵 · 測咼流動之情況的方法,其中,該質流感測器係提供一個 根據該第一輸出訊號及該第二輸出訊號之間之差的感測器 輸出Λ號’且邊方法係進一步包含一個設定該感測器輸出 Λ 5虎成為一個高的值之步驟,以回應決定該高流動之情況 存在之步驟。 鲁 4 8 ·如申請專利範圍第4 7項之於質流感測器中偵 測ν μ動之情況的方法,其中,該高的值係根據流經該質 流感測器之流體之流動的方向而定。 > 4 9 ·如申請專利範圍第4 〇項之於質流感測器中偵 測问机動之情況的方法,其中,該質流感測器係包含:一 個上斿私路,其係提供一個指示提供至該質流感測器之一 個上游線圈之電力之第一輪出訊號;及一個下游電路,其 係提七、個才曰不提供至該質流感測器之〆個下游線圈之冑_ 力之第一輸出汛號,該方法係進一步包含一個防止提供至 該上游線圈及該下游線圈之電量增加過量之步驟,以回應 確認該高流動之情況存在之步驟。 5 〇 ·如申請專利範圍第4 9項之於質流感測器中偵 測高流$之情況的方法,其中,該質流感測器係提供一個 根據該帛輸出訊號及該第二輸出訊號之間之差的感測器 輸出訊號,且該方法係進一步包含一個設定該感測器輸出 64 以回應決定該高流動之情況 战為一個高的值之步 存在<步驟。 ^ 嗍高、、?如申明專利範圍第5 0項之於質流感測器中偵 後織、、二之h況的方去’其中,該高的值係根據流經該質 ㈠裔之流體之流動的方向而定。 挪高、☆ 2如申’專利範圍第4 0項之於質流感測器中偵
    個丄:,之情況的方法,其中,_感測器係包含:一 個上:電㉟’其係提供-個指示提供至該質流感測器之一 係提t線圈之電力之第一輪出訊號;及-個下游電路,其 力個指示提供至該質流感測器之一個下游線圈之電 該:弟二輸出訊號,其中,1亥質流感測器係提供-個根據 气弟輪出訊號及該第二輪出訊號之間之差的感測器輸出 、,且該方法係進一步包含一個設定該感測器輪出訊號 為—個高的值之步驟,以回應決定該高流動之情況存在 之步騍。
    、^ 0 J •如申請專利範圍第5 2項之於質流感測器中偵 =阿流動之情況的方法,其中,該高的值係根據流經該質 流感測器之流體之流動的方向而定。 5 4 ·如申請專利範圍第4 0項之於質流感測器中偵 測咼流動之情況的方法,其中,該期望之零流動訊號及該 真貝的流動訊號係分別指示於該質流感測器之該目前操作 /JHL度下’於一零流動速率之下及一目前流動速率之下提供 至該質流感測器之總電量。 5 5 ·如申請專利範圍第1 7項之感測器,其中,該 65 1222514 感測器係為一個質流感測器,其係感測流動於一導管中之 流體之流動速率,該感測器係進一步包含: 一個電源供應電路,其係以電氣方式連接至該第一及 第二電路之至少一個,以根據該流體之該流速而提供一個 可變電量至該第一及第二電路之至少一個。 拾壹、圖式:
    如次頁
    66
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TW092119635A TWI222514B (en) 2002-07-19 2003-07-18 Variable resistance sensor with common reference leg

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US (2) US6845659B2 (zh)
EP (1) EP1523660A1 (zh)
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TW (1) TWI222514B (zh)
WO (1) WO2004010091A1 (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI382163B (zh) * 2008-07-28 2013-01-11 Oval Corp Flowmeter temperature measurement circuit

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4792686B2 (ja) * 2000-02-07 2011-10-12 ソニー株式会社 画像処理装置及び画像処理方法並びに記録媒体
US7222029B2 (en) * 2004-07-08 2007-05-22 Celerity, Inc. Attitude insensitive flow device system and method
US7409871B2 (en) * 2006-03-16 2008-08-12 Celerity, Inc. Mass flow meter or controller with inclination sensor
US7535235B2 (en) * 2006-09-04 2009-05-19 Fluke Corporation Integrated digital thermal air flow sensor
US20090277871A1 (en) 2008-03-05 2009-11-12 Axcelis Technologies, Inc. Plasma mediated ashing processes that include formation of a protective layer before and/or during the plasma mediated ashing process
US7748268B2 (en) * 2008-07-13 2010-07-06 Brooks Instrument, Llc Thermal flow meter
US7905139B2 (en) * 2008-08-25 2011-03-15 Brooks Instrument, Llc Mass flow controller with improved dynamic
KR101114317B1 (ko) * 2009-03-23 2012-02-14 에스케이이노베이션 주식회사 배터리 전압의 영향을 받지 않는 절연저항 측정회로
CN101976086A (zh) * 2010-10-29 2011-02-16 中国兵器工业集团第二一四研究所苏州研发中心 氧传感器加热控制方法及采用该方法的加热控制电路
US20120197446A1 (en) * 2010-12-01 2012-08-02 Glaudel Stephen P Advanced feed-forward valve-control for a mass flow controller
US9072479B2 (en) * 2011-05-06 2015-07-07 Welch Allyn, Inc. Variable control for handheld device
US9485518B2 (en) 2011-05-27 2016-11-01 Sun Patent Trust Decoding method and apparatus with candidate motion vectors
EP2789509B1 (en) * 2011-12-08 2017-05-24 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Communication device, on-vehicle communication system, and inspection method
DE102011090015B4 (de) * 2011-12-28 2023-12-28 Endress+Hauser SE+Co. KG Vorrichtung zur Bestimmung und/oder Überwachung mindestens einer Prozessgröße
US9182436B1 (en) 2012-01-05 2015-11-10 Sandia Corporation Passive absolute age and temperature history sensor
JP6426475B2 (ja) * 2012-03-07 2018-11-21 イリノイ トゥール ワークス インコーポレイティド 熱モデルを用いてrod測定における熱に起因する誤差を最小にすることによって質量流量制御器または質量流量計における実時間補正のための減衰速度測定の精度を改善するためのシステムおよび方法
DE202014011333U1 (de) 2013-01-08 2019-06-07 Illinois Tool Works Inc. Kraftgesteuertes Steuerventil
WO2014158375A1 (en) 2013-03-12 2014-10-02 Illinois Tool Works Inc. Turning vane
WO2014164336A1 (en) 2013-03-12 2014-10-09 Illinois Tool Works Inc. Mass flow controller with near field communication and/or usb interface
WO2014158530A1 (en) * 2013-03-14 2014-10-02 Illinois Tool Works Inc. System and method to automatically self-adjust a valve pedestal of a mass flow controller
US9291543B1 (en) 2014-06-23 2016-03-22 Sandia Corporation PC board mount corrosion sensitive sensor
US20170336810A1 (en) 2014-12-04 2017-11-23 Illinois Tool Works Inc. Wireless flow restrictor of a flowmeter
US10151772B2 (en) * 2015-01-23 2018-12-11 Embry-Riddle Aeronautical Univeristy, Inc. Hot wire anemometer
US20180120864A1 (en) 2015-05-07 2018-05-03 Illinois Tool Works Inc. Nonlinear control of mass flow controller devices using sliding mode
CN108779997A (zh) 2016-01-22 2018-11-09 伊利诺斯工具制品有限公司 动态地配置在质量流量控制器上存储的数据值的系统和方法
ITUA20164320A1 (it) * 2016-06-13 2017-12-13 St Microelectronics Srl Ponte sensore con resistori commutati, sistema e procedimento corrispondenti
US10317482B2 (en) 2016-11-19 2019-06-11 Nxp B.V. Resistive sensor frontend system having a resistive sensor circuit with an offset voltage source
US10927920B2 (en) 2017-10-04 2021-02-23 Illinois Tool Works, Inc Passive damping system for mass flow controller
CN107796456B (zh) * 2017-10-16 2020-02-18 东南大学 一种基于双检测模式的宽量程流量传感器及测量方法
US10345188B2 (en) * 2017-12-13 2019-07-09 Detec Systems Llc Scanning platform for locating breaches in roofing and waterproofing membranes with conductive surface
US11675374B2 (en) 2018-10-26 2023-06-13 Illinois Tool Works Inc. Mass flow controller with advanced zero trending diagnostics
US20200132536A1 (en) 2018-10-26 2020-04-30 Illinois Tool Works Inc. Mass flow controller with advanced back streaming diagnostics
CN109444226B (zh) * 2018-11-10 2021-03-26 郑州迪邦科技有限公司 一种热导式sf6纯度检测仪调理电路
CN115452080A (zh) * 2022-08-08 2022-12-09 重庆川仪自动化股份有限公司 热式气体质量流量计信号线性化电路及方法

Family Cites Families (37)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4242741A (en) * 1979-01-19 1980-12-30 Shell Oil Company Floating shunt seismic amplifier
JPS5998217A (ja) 1982-11-26 1984-06-06 Fujikin:Kk 流量制御装置
US4672997A (en) 1984-10-29 1987-06-16 Btu Engineering Corporation Modular, self-diagnostic mass-flow controller and system
US4686450A (en) 1986-04-04 1987-08-11 General Signal Corporation Fluid flow sensor
JPH0676897B2 (ja) 1986-05-27 1994-09-28 株式会社エステツク 熱式流量計
JP2631481B2 (ja) 1987-12-08 1997-07-16 株式会社 リンテック 質量流量計とその計測方法
US4843881A (en) 1987-12-24 1989-07-04 Aalborg Instruments & Controls Fluid flow sensor system
JPH03156509A (ja) 1989-11-14 1991-07-04 Stec Kk マスフローコントローラ
WO1991019959A1 (en) 1990-06-14 1991-12-26 Unit Instruments, Inc. Thermal mass flow sensor
JP2791828B2 (ja) 1990-08-11 1998-08-27 株式会社エステック 熱式質量流量計
US5062446A (en) 1991-01-07 1991-11-05 Sematech, Inc. Intelligent mass flow controller
DE4219551C2 (de) * 1991-06-13 1996-04-18 Mks Japan Inc Massenströmungssensor
US5141021A (en) 1991-09-06 1992-08-25 Stec Inc. Mass flow meter and mass flow controller
JP2692770B2 (ja) 1992-09-30 1997-12-17 シーケーディ株式会社 マスフローコントローラ流量検定システム
US6044701A (en) 1992-10-16 2000-04-04 Unit Instruments, Inc. Thermal mass flow controller having orthogonal thermal mass flow sensor
US5441076A (en) 1992-12-11 1995-08-15 Tokyo Electron Limited Processing apparatus using gas
JPH0784650A (ja) 1993-07-23 1995-03-31 Hitachi Metals Ltd マスフローコントローラ、その運転方法及び電磁弁
US5461913A (en) 1994-06-23 1995-10-31 Mks Instruments, Inc. Differential current thermal mass flow transducer
US5660207A (en) 1994-12-29 1997-08-26 Tylan General, Inc. Flow controller, parts of flow controller, and related method
JP3229168B2 (ja) 1995-06-14 2001-11-12 日本エム・ケー・エス株式会社 流量検出装置
US5684245A (en) 1995-11-17 1997-11-04 Mks Instruments, Inc. Apparatus for mass flow measurement of a gas
US5693880A (en) 1996-06-14 1997-12-02 Mks Instruments, Inc. Heater with tapered heater density function for use with mass flowmeter
US5911238A (en) 1996-10-04 1999-06-15 Emerson Electric Co. Thermal mass flowmeter and mass flow controller, flowmetering system and method
US5944048A (en) 1996-10-04 1999-08-31 Emerson Electric Co. Method and apparatus for detecting and controlling mass flow
US5865205A (en) 1997-04-17 1999-02-02 Applied Materials, Inc. Dynamic gas flow controller
JPH11183221A (ja) * 1997-12-19 1999-07-09 Hitachi Ltd 発熱抵抗体式空気流量測定装置
JP3831524B2 (ja) 1998-06-26 2006-10-11 株式会社堀場製作所 赤外線ガス分析計用流量検出素子とその製造方法
US6119710A (en) 1999-05-26 2000-09-19 Cyber Instrument Technologies Llc Method for wide range gas flow system with real time flow measurement and correction
US6595049B1 (en) 1999-06-18 2003-07-22 Mks Instruments, Inc. Thermal mass flow sensor with improved sensitivity and response time
US6449571B1 (en) 1999-07-09 2002-09-10 Mykrolis Corporation System and method for sensor response linearization
US6343617B1 (en) 1999-07-09 2002-02-05 Millipore Corporation System and method of operation of a digital mass flow controller
US6575027B1 (en) 1999-07-09 2003-06-10 Mykrolis Corporation Mass flow sensor interface circuit
US6404612B1 (en) 1999-07-10 2002-06-11 Mykrolis Corporation Method for system for driving a solenoid
US6445980B1 (en) 1999-07-10 2002-09-03 Mykrolis Corporation System and method for a variable gain proportional-integral (PI) controller
US6389364B1 (en) 1999-07-10 2002-05-14 Mykrolis Corporation System and method for a digital mass flow controller
WO2001061284A1 (en) * 2000-02-14 2001-08-23 Unit Instruments, Inc. Method and apparatus for balancing resistance
US6446504B1 (en) 2000-03-30 2002-09-10 Mks Instruments, Inc. Constant temperature gradient differential thermal mass flow sensor

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI382163B (zh) * 2008-07-28 2013-01-11 Oval Corp Flowmeter temperature measurement circuit

Also Published As

Publication number Publication date
EP1523660A1 (en) 2005-04-20
US20050092077A1 (en) 2005-05-05
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JP2005534014A (ja) 2005-11-10
AU2003256591A1 (en) 2004-02-09

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