JPH03156509A - マスフローコントローラ - Google Patents

マスフローコントローラ

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JPH03156509A
JPH03156509A JP1296880A JP29688089A JPH03156509A JP H03156509 A JPH03156509 A JP H03156509A JP 1296880 A JP1296880 A JP 1296880A JP 29688089 A JP29688089 A JP 29688089A JP H03156509 A JPH03156509 A JP H03156509A
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JP
Japan
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flow rate
section
rate sensor
signal
mfc
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Application number
JP1296880A
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English (en)
Inventor
Mitsuzo Shimomura
霜村　光造
Masao Yamaguchi
正男 山口
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Stec KK
Original Assignee
Stec KK
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Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05D—SYSTEMS FOR CONTROLLING OR REGULATING NON-ELECTRIC VARIABLES
    • G05D7/00—Control of flow
    • G05D7/06—Control of flow characterised by the use of electric means
    • G05D7/0617—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials
    • G05D7/0629—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means
    • G05D7/0635—Control of flow characterised by the use of electric means specially adapted for fluid materials characterised by the type of regulator means by action on throttling means
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/7722—Line condition change responsive valves
    • Y10T137/7758—Pilot or servo controlled
    • Y10T137/7759—Responsive to change in rate of fluid flow
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T137/00—Fluid handling
    • Y10T137/7722—Line condition change responsive valves
    • Y10T137/7758—Pilot or servo controlled
    • Y10T137/7761—Electrically actuated valve

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、マスフローコントローラに関する。
〔従来の技術〕 例えば半導体の製造に用いられる各種のガスを半導体製
造装置に供給する場合、それらの供給流路にマスフロー
コントローラ（以下、ＭＦＣと云う）をそれぞれ設け、
これによってガス流量をそれぞれ調節している。
第３図は従来のＭＦＣの構成を概略的に示すブロック図
で、この図において、ｌはガスなどの流体が流れる流路
で、矢印方向に流体が流れており、この流路１の上流側
には流体の流量を検出するための流量センサ部２が、ま
た、下流側には、後述するバルブ駆動部１１からのバル
ブ駆動信号Ｗに基づいて弁開度を変えることにより流体
の−Ｉｌｌを加減する制御バルブ３が設けられている。
前記流量センサ部２は流路１に設けられた例えば一対の
感熱センサからなる流量センサ４とこの流量センサ４を
構成部材の一部にしてなるセンサ回路５とからなり、流
量センサ４にて流路ｌを流れる流体の瞬時流量Ｑを検出
し、センサ回路５において電気的な流量センサ出力信号
Ｓに変換してこれを出力するように構成されている。
６は流量センサ部２の出力側に設けられるリニアライザ
である。このリニアライザ６は、通常、前記流量センサ
出力信号Ｓが、前記瞬時流量Ｑと厳密には比例（直線）
関係にはなく、非直線の関係にあるところから設けられ
るもので、流量センサ出力信号Ｓを折れ線近似等の手法
を用いて補正した後、流量測定信号としての流体の瞬時
検出流量Ｑ３を出力するように構成されている。
前記瞬時検出流量Ｑ３は流量表示計において表示できる
ようにアナログ出力端子７に出力されると共に、比較（
誤差検出）部８に入力される。この比較部８にはアナロ
グ入力端子９が接続されており、このアナログ入力端子
９を介して希望する流量を設定するための流量設定信号
Ｓ０が入力されるようにしである。そして、比較部８は
前記流量設定信号Ｓ０と瞬時検出流量Ｑ！とを比較して
両者の差である差信号ε（−３ｓ　　Ｑｓ　）を出力す
るように構成されている。
１０はＰＩＤｉｌＪ御などを行う演算制御部で、前記比
較部８からの差信号εと、予め設定されているＰ、　　
Ｉ、　Ｄなどの制御定数を用いて、例えば以下に示すよ
うな式によって、 ｔ 所定の演算を行い、それによって得られる制御信号Ｖを
出力するように構成されている。すなわち、前記差信号
εが、ε〈０の場合は制御バルブ３を閉じる方向に駆動
する信号が、また、ε〉０の場合は制御バルブ３を開く
方向に駆動する信号が出力されるのである。
１１はバルブ駆動部で、前記演算制御部ｌＯからの制御
信号■に基づいてバルブ駆動信号Ｗを制御バルブ３に加
えて、これを駆動するように構成されている。
従って、上述のように構成されたＭＦＣによれば、流量
センサ部２からの瞬時検出流量Ｑ、と流量設定信号Ｓ、
とを比較部８において比較し、この比較部８から出力さ
れる差信号εを処理して得られる制御信号Ｖに基づいて
制御バルブ３の開度制御を行うことができ、これによっ
て、流体の流量を調整することができる。
〔発明が解決しようとする課題〕
ところで、上述の従来のＭＦＣにおいては、その動作状
態は、外部から与えられる流量設定信号Ｓ、と、測定さ
れた瞬時検出流量Ｑ、とによってのみ知ることができる
が、実際に問題が発生しまってから、すなわち、流量設
定信号Ｓ、と瞬時検出流ＩＱｓとの差が発生してからで
ないと問題を検出することができない。
従って、問題が発生して初めてそれを知ることができる
ものであるため、半導体製造プロセスなどにおいては、
大量の不良品を発生したり、製造ラインを長時間にわた
って停止させてしまうなどより大きい問題を引き起こす
可能性がある。
また、上述のように構成されたＭＦＣにおいては、その
制御対象である流体の種類や流量などによって流量セン
サ４の検出感度やＰ、　　Ｉ、　　Ｄｉｌｌｉｌ定数が
微妙に変わるので、実際に半導体製造ラインに組み込ま
れた後の流体の種類や流量に変更などが生じた場合には
、ＭＦＣを半導体製造ラインから一旦取り外して調整し
なおすか、あるいは、別のＭＦＣと交換するしか対策が
なかった。これは、大変な手間と時間とを必要とするも
ので、それだけ半導体の製造が遅れることになる。
更に、従来のＭＦＣにおいては、流量センサ部２からの
流量測定信号Ｓや、流量センサ部２と比較部８との間に
設けられるリニアライザ６に対して出力される流量信号
や、演算制御部１０からの制御信号Ｖなどを、ＭＦＣの
外部に読み出すことができなかったので、流量センサ部
２やリニアライザ６、あるいは、演算制御部１０の異常
を個々に検出することができなかった。
本発明は、上述の事柄に留意してなされたもので、その
目的とするところは、第１に、ＭＦＣ内部の動作状態を
外部から読み出せるようにすることによって問題が発生
しつつある時点（流量が変動する前の時点）で異常にな
りつつあることを簡単に知ることができるＭＦＣを提供
することにあり、また、第２に、流体の種類や流量など
が変わっても、ＭＦＣを取り外して調整しなおしたり、
他のＭＦＣに交換したりすることな（、高感度にあるい
は直線性よく流量を測定することができ、所定の流量制
御を確実に行うことができるＭＦＣを提供することにあ
り、更に、第３に、流量センサ部などからの生の情報を
外部に読み出せるようにして、より素早く各部の異常な
どを発見できるＭＦＣを提供することにある。
〔課題を解決するための手段〕
上述の目的を達成するため、本願においては次の３つの
手段を採用している。
すなわち、本願の第１発明に係るＭＦＣは、制御バルブ
の変位量を検出するバルブ変位量検出部と、流量センサ
部の上流側または下流側の圧力、前記流量センサ部と前
記制御バルブとの間の圧力、前記制御バルブの下流側ま
たは上流側の圧力の少なくともその一つを検出する圧力
検出部と、前記流量センサ部の上流側または下流側の温
度、前記流量センサ部と前記制御バルブとの間の温度、
前記制御バルブの下流側または上流側の温度の少なくと
もその一つを検出する温度検出部とのうち、少なくとも
その一つを設けたことを特徴としていまた、本願の第２
発明に係るＭＦＣは、流量センサ部からの流量測定信号
と乗算される感度定数を外部から読み出し書き換え自在
なように記憶する感度定数記憶部と、前記流量測定信号
と乗算されるフルスケール係数を外部から読み出し書き
換え自在なように記憶するフルスケール係数記憶部と、
前記流量センサ部と比較部との間に設けられるリニアラ
イザに対して出力される検量線データを外部から読み出
し書き換え自在なように記憶する検量線記憶部とのうち
、少なくともその一つを設けたことを特徴としている。
更に、本願の第３発明に係るＭＦＣは、流量センサ部か
らの流量センサ出力信号と、前記流量センサ部と比較部
との間に設けられるリニアライザに対して出力される流
量信号と、演算制御部からの制御信号とのうち、少な（
ともその一つを外部に読み出せるようにしたことを特徴
としている。
〔作用〕
上記特徴的構成よりなる第１発明によれば、それぞれセ
ンサを有するバルブ変位量検出部、圧力検出部、温度検
出部を設けているので、ＭＦＣ内の各部の状態を常に外
部から把握することができ、例えばこのようなＭＦＣを
半導体製造ラインに設けた場合、半導体製造ラインの正
常時における流体系のデータ（ＭＦＣにおける設定流量
と制御バルブの開度、ＭＦＣ内の各部の圧力並びに温度
、圧力と温度との関係など）と現在の状態とを比較する
ことができ、問題発生の兆候を知ることができる。そし
て、例えば設定流量に比較して制御バルブの開度が大き
いのに圧力および温度が正常であれば、制御バルブが詰
まりつつあることを知ることができる。従って、この場
合、代わりのＭＦＣを予め用意しておき、次の生産が開
始されるまでの半導体製造ラインの停止時にＭＦＣを交
換すればよい。
また、上記特徴的構成よりなる第２発明によれば、流体
の種類や流量などが変更されても、感度定数やフルスケ
ール係数あるいは検量線データを外部から設定しなおす
ことにより、高感度にあるいは直線性よく流量を測定す
ることができ、所定の流量制御ｎを確実に行うことがで
きる。
更に、上記特徴的構成よりなる第３発明によれば、流量
センサ部などＭＦＣ内部の個々の部分からの生の情報が
外部に読み出せるので、これらの部分における異常など
を個々に検出することができ、問題が大きくならないう
ちに対処することができる。
〔実施例〕
以下、本発明の一實施例を図面を参照しながら説明する
。以下の説明において、第３図における符号と同一符号
は同一物または相当物を示す。
第１図は本発明に係るＭＦＣの構成を概略的に示すブロ
ック図で、この図において、１２はバルブ変位量検出部
で、制御バルブ３の弁開度を検出し、弁開度に応じたバ
ルブ開度信号■。を出力するように構成されている。な
お、前記制御バルブ３の弁開度の検出は、例えば弁の動
きに合わせてコンデンサ容量が変わるようにするなどし
て行うことができる。
１３は圧力検出部で、例えばＮ個（図示例では３個）の
圧力センサ１３１．１３ｇ　、　１３−によって、ＭＦ
Ｃ内の各部の圧力、すなわち、流量センサ部２の上流側
の圧力Ｐ１、流量センサ部２と制御バルブ３との間の圧
力Ｐｔ、制御バルブ３の下流側の圧力Ｐ、の少なくとも
その一つを検出して、圧力に応じた圧力信号Ｐ、　（ｎ
　＝　１−Ｎ）を出力するように構成されている。
１４は温度検出部で、例えばＭ個（図示例では３個）の
圧力センサ１４８．１４ｇ　、　１４ｓによって、ＭＦ
Ｃ内の各部の温度、すなわち、流量センサ部２の上流側
の温度Ｔ１、流量センサ部２と制御Ｉバルブ３との間の
温度Ｔヨ、制御バルブ３の下流側の温度Ｔ、の少なくと
もその一つを検出して、温度に応じた温度信号Ｔｅａ　
（ｎ　−１〜Ｍ）を出力するように構成されている。
１５は感度定数記憶部で、感度定数ＣＦを記憶するもの
で、この感度定数ＣＦは後述する乗算部１７に出力され
る。そして、感度定数ＣＦは後述するインターフェイス
部２０を介して外部に読み出したり、書き換えることが
できる。
１６はフルスケール係数記憶部で、フルスケール係数Ｆ
Ｓを記憶するもので、このフルスケール係数ＦＳは後述
する乗算部１７に出力される。そして、フルスケール係
数ＦＳは後述するインターフェイス部２０を介して外部
に読み出したり、書き換えることができる。
１７は乗算部で、図示例では流量センサ部２のセンサ回
路５とリニアライザ６との間に設けられており、流量セ
ンサ部２からの流量センサ出力信号Ｓに、感度定数記憶
部からの感度定数ＣＦと、フルスケール係数記憶部１６
からのフルスケール係数ＦＳとを乗じて、すなわち、５
−ｓ−ＣＦ−ＦＳにより、流体の瞬時流量Ｑを表すとこ
ろの瞬時検出流量としての流量信号Ｓを出力するもので
ある。
ところで、既に述べたように、通常、前記流量センサ出
力信号Ｓ（従って、前記流量信号Ｓ）は瞬時流量Ｑと厳
密には比例（直線）関係にはなく非直線の関係、すなわ
ち、Ｑ≠α・Ｓ（αは比例定数）なる関係にある。そこ
で、流量センサ５における流体の瞬時流ＩＱと流量信号
Ｓとの関係、すなわち、Ｑ＝　ｆ（Ｓ）なる関係を予め
求めておけば、流量信号Ｓから瞬時流量Ｑを出力するこ
とができる。
１８はこのような検量線データｆを記憶する検量線記憶
部で、この検量線記憶部１８からの検Ｎ線データｆに基
づいてリニアライザ６において　Ｑ、ａｍｆ　（Ｓ）の
演算を行うことにより、流体の瞬時検出流ＩＱ、を求め
ることができる。そして、前記検量線データｆは後述す
るインターフェイス部２０を介して外部に読み出したり
、書き換えることができる。
１９はＰＩＤ定数など各種の制御定数を記憶している制
御定数記憶部で、演算制御部１０における演算に必要な
定数、例えばＰ、　　Ｉ、　Ｄの各定数を記憶し、これ
らを演算制御部ｌＯに出力する。そして、出力すべき定
数は流量設定信号Ｓ、の大きさ、差信号εの大きさおよ
び変化の様子などによって予め記憶されている定数デー
タの中から選択される。
そして、前記定数データは後述するインターフェイス部
２０を介して外部に読み出したり、書き換えることがで
きる。
２０はインターフェイス部で、装置全体を制御する外部
に設けられた制御装置（図外）からＭＦＣに送られてく
る各種の制ｊ２Ｉ信号を受信して、その制御ｎ信号に基
づいてＭＦＣ内の各部を制御すると共に、各部から得ら
れる情報を前記制御装置に送信する機能を有しており、
第２図にその構成の一例を概略的に示す。
この回において、２１はディジタル信号入力端子で、前
記制御装置から送られてくる流量設定信号Ｓ、、感度定
数ＣＦ、フルスケール定数ＦＳ、検量線データｆ、制御
定数など各種のＭＦＣ制御信号が人力される。２２はデ
ィジタル信号出力端子で、ＭＦＣの各部から得られる感
度定数ＣＦなどの定数、流量センサ出力信号Ｓ、瞬時検
出流量Ｑ５、バルブ駆動信号Ｗ、バルブ開度信号ｖ０、
圧力信号Ｖ。、温度信号Ｔ、などの各種の信号を、前記
制御装置やデータ収録装置または監視袋Ｗ（いずれも図
外）に出力する。
そして、前記各種信号はディジタルコード信号の形で、
ディジタル入力端子２１およびディジタル出力端子２２
を介して送受信されるが、流量設定信号Ｓ０と瞬時検出
流量Ｑ、とに関しては、従来のＭＦＣとの互換性を保つ
目的でアナログ信号によるアナログ入力端子２３および
アナログ出力端子２４も設けである。２５はＡ−Ｄ変換
器、２６はＤ−Ａ変換器である。なお、前記ディジタル
コード信号はＲ３−２３２Ｃなどの電気的な接続の他に
、光ファイバなどを利用した光インターフェイスも利用
することができる。
２７は受信バッファで、前記制御装置から送られてくる
ＭＦＣ制御信号を受信し、後述するデコーダ２８に出力
する。ＭＦＣ＠ｉＢ信号はＭＦＣへの指令信号と設定デ
ータとから構成されている。そして、指令信号はそれ単
独で意味を持つ感度定数ＣＦ、フルスケール係数ＦＳな
どを読み出すための読ろ出し指令信号と、指令信号と設
定データとが一対になった流量設定信号８０などのよう
に設定指令信号とがある。
２８はデコーダで、前記受信バッファ２７からのＭＦＣ
制御信号を解釈し、これが流量設定信号Ｓ。
の場合には、後述する第１切換え回路２９および第２切
換え回路３０を切り換えることによって、ＭＦＣ各部に
設定データ（流量設定信号Ｓ０、感度定数ＣＦ、フルス
ケール係数ＦＳ、検量線データｆ、制御定数）をセット
する。また、ＭＦＣ制御信号が読み出し指令信号の場合
には、後述する第３切換え回路３１および第４切換え回
路３２を切り換えることによって、ＭＦＣ各部からのデ
ータ（流量設定信号Ｓ０、感度定数ＣＦ、フルスケール
係数ＦＳ、検量線データｆ、制御定数、流量信号Ｓ、瞬
時検出流量Ｑ３、流量センサ出力信号Ｓ、バルブ駆動信
号Ｗ、バルブ開度信号■。、圧力信号Ｐ１、温度信号Ｔ
、）を後述するエンコーダ３４へ送り込むと共に、この
エンコーダ３４に対して今エンコーダ３４に入力されて
いるデータの種類を入力する。
２９は第１切換え回路で、流量設定信号として、アナロ
グ入力端子２３およびＡ−Ｄ変換器２５を通った信号を
利用するのか、ＭＦＣＩ］ｉｌ信号からのデータを利用
するのかを選択し、流量設定信号Ｓ０として比較部８に
出力する。
３０は第２切換え回路で、設定指令信号のデータ（感度
定数ＣＦ、フルスケール係数ＦＳ、検量線データｒ、制
御定数）をＭＦＣ各部に送り込む。
３１は第３切換え回路で、ＭＦＣ各部のデータ（流量設
定信号Ｓ０、感度定数ＣＦ、フルスケール係数ＦＳ、検
量線データｒ、制御定数、流量信号Ｓ、瞬時検出流量Ｑ
８、後述する第４切換え回路３２の出力信号）を後述す
るエンコーダ３４に送り込む。
３２は第４切換え回路で、ＭＦＣ各部からのアナログデ
ータ（流量センサ出力信号Ｓ、バルブ駆動信号Ｗ、バル
ブ関度信号■。、圧力信号Ｐ１、温度信号Ｔ、）をＡ−
Ｄ変換器３３を介して前記第３切換え回路３１に送り込
む。
３４はエンコーダで、前記デコーダ２８からのデータの
種類情報と前記第３切換え回路３１からのデータとから
ＭＦＣの出力データ（ディジタルコード信号）を作り、
後述する送信バッファ３５に出力する。
３５は送信バッファで、前記エンコーダ３４からのディ
ジタルコード信号をディジタル信号出力端子２２を介し
てＭＦＣ外部に出力する。
而して、上記構成のＭＦＣにおいては、それぞれセンサ
を有するバルブ変位量検出部１２、圧力検出部１３、温
度検出部１４を設けているので、ＭＦＣ内の各部の状態
を常に外部から把握することができ、例えばこのような
ＭＦＣを半導体製造ラインに設けた場合、半導体製造ラ
インの正常時における流体系のデータ（ＭＦＣにおける
設定流量と制御バルブ３の開度、ＭＦＣ内の各部の圧力
並びに温度、圧力と温度との関係など）と現在の状態と
を比較する二をかでき、問題発生の兆候を知ることがで
きる。
そして、例えば設定流量に比較して制御バルブ３の開度
が大きいのに圧力および温度が正常であれば、制御バル
ブ３が詰まりつつあることを知ることができる。従って
、この場合、代わりのＭＦＣを予め用意しておき、次の
生産が開始されるまでの半導体製造ラインの停止時にＭ
ＦＣを交換すればよい。
また、上記ＭＦＣによれば、流体の種類が変更された場
合、インターフェイス部２０を介して感度定数記憶部１
５内の感度定数ＣＦを設定しなおすことにより、ガス種
の変更に対応することができ、流量を高感度で測定する
ことができる。また、ガス種はそのままで、流量が変更
された場合には、インターフェイス部２０を介してフル
スケール係数記憶部１６内のフルスケール係数ＦＳを設
定しなおすことにより、高感度を維持することができる
。
そして、流量センサ４を取り替えるなどした場合には、
インターフェイス部２０を介して検量線記憶部１８内の
検量線データｆを設定しなおすことにより、直線性のよ
いデータを得ることができる。
このように、前記感度定数ＣＦ、フルスケール係数ＦＳ
、検量線データｆを外部から設定しなおすことにより、
ＭＦＣを制御対象である流体の種類や流量に対応した状
態にすることができ、従って、高感度にあるいは直線性
よ（流量を測定することができ、所定の流量制ｍを確実
に行うことができる。
更に、上記ＭＦＣによれば、流量センサ部２の出力であ
る流量センサ出力信号Ｓや、リニアライザ６への入力で
ある流量信号Ｓや、演算制御部１０の出力である制御信
号Ｖをインターフェイス２０を介して外部に読み出せる
ので、これらの部分における異常などを個々に検出する
ことができ、問題が大きくならないうちに対処すること
ができる。
本発明は上記実施例に限られるものでなく、種々の態様
で実施することができる０例えば、上述の実施例では、
バルブ変位量検出部１２、圧力検出部１３、温度検出部
１４の全てをＭＦＣに設けるようにしていたが、少なく
ともその一つを設けてあればよい、また、上述の実施例
では、感度定数記憶部１５、フルスケール係数記憶部１
６、検量線記憶部１８の全てをＭＦＣに設けるようにし
ていたが、少なくともその一つを設けてあればよい、更
に、上述の実施例では、流量センサ部２からの流量セン
サ出力信号Ｓと、流量センサ部２と比較部との間に設け
られるリニアライザ６に対して出力される流量信号Ｓと
、演算制御部１０からの制御信号■の全てをＭＦＣの外
部に読み出せるようにしであるが、少なくともその一つ
を外部に読み出せるようにしてあればよい。
そして、上述の各要件を互いに適宜組み合わせるように
してもよい。
そして、上述の実施例では、乗算部１７をリニアライザ
６の入力側に設けであるが、これをはりニアライザ６の
出力側に設けるようにしてもよい。
更に、上述の実施例では、流量センサ部２を制御バルブ
３の上流側に設けているが、この関係を逆にしてもよい
。
〔発明の効果］ 本発明は以上のように構成されるものであり、請求項（
１）に記載された発明によれば、ＭＦＣ内部の動作状態
を外部から読み出せるようにすることによって問題が発
生しつつある時点（流量が変動する前の時点）で異常に
なりつつあることを簡単に知ることができ、従って、問
題発生の兆候を知ることができるので事前に対応するこ
とができ、本発明のＭＦＣを例えば半導体製造ラインに
組み込んであった場合、大量の不良品を発生したり、製
造ラインを長時間にわたって停止させてしまうなどとい
ったことは全くない。
そして、請求項（２）に記載された発明によれば、流体
の種類や流量などが変わっても、ＭＦＣを取り外して調
整しなおしたり、他のＭＦＣに交換したりすることなく
、高感度にあるいは直線性よくｉ量を測定することがで
き、所定の流量制御を確実に行うことができる。従って
、本発明のＭＦＣを例えば半導体製造ラインに組み込ん
であった場合、大量の不良品を発生したり、製造ライン
を長時間にわたって停止させてしまうなどといったこと
は全くない。
更に、請求項（３）に記載された発明によれば、流量セ
ンサ部などＭＦＣ内部の個々の部分からの生の情報が外
部に読み出せるので、これらの部分における異常などを
個々に検出することができ、問題が大きくならないうち
に対処することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図および第２図は本発明の一実施例を示し、第１図
は本発明に係るＭＦＣの構成を概略的に示すブロック図
、第２図は前記ＭＦＣにおけるインターフェイスの構成
を概略的に示すブロック図である。 第３図は従来のＭＦＣの構成を概略的に示すブロック図
である。 ■・・・流路、２・・・流量センサ部、３・・・制御バ
ルブ、６・・・リニアライザ、８・・・比較部、１０・
・・演算制御部、１２・・・バルブ変位量検出部、１３
・・・圧力検出部、１４・・・温度検出部、１５・・・
感度定数記憶部、１６・・・フルスケール係数記憶部、
１８・・・検量線記憶部、Ｓ・・・流量センサ出力信号
、Ｓ・・・流量信号、Ｑ、・・・流量測定信号、Ｓ、・
・・流量設定信号、ＣＦ・・・感度定数、ＦＳ・・・フ
ルスケール係数、ｒ・・・検量線データ、ε・・・差信
号、■・・・制御信号。 第３図

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）流体が流れる流路に対して流量センサ部と、この
    流量センサ部の下流側または上流側に設けられる制御バ
    ルブとを備え、前記流量センサ部からの流量測定信号と
    流量設定信号とを比較部において比較し、この比較部か
    ら出力される差信号を演算制御部において処理して得ら
    れる制御信号に基づいて前記制御バルブの開度制御を行
    うようにしたマスフローコントローラにおいて、前記制
    御バルブの変位量を検出するバルブ変位量検出部と、前
    記流量センサ部の上流側または下流側の圧力、前記流量
    センサ部と前記制御バルブとの間の圧力、前記制御バル
    ブの下流側または上流側の圧力の少なくともその一つを
    検出する圧力検出部と、前記流量センサ部の上流側また
    は下流側の温度、前記流量センサ部と前記制御バルブと
    の間の温度、前記制御バルブの下流側または上流側の温
    度の少なくともその一つを検出する温度検出部とのうち
    、少なくともその一つを設けたことを特徴とするマスフ
    ローコントローラ。
  2. （２）流体が流れる流路に対して流量センサ部と、この
    流量センサ部の下流側または上流側に設けられる制御バ
    ルブとを備え、前記流量センサ部からの流量測定信号と
    流量設定信号とを比較部において比較し、この比較部か
    ら出力される差信号を演算制御部において処理して得ら
    れる制御信号に基づいて前記制御バルブの開度制御を行
    うようにしたマスフローコントローラにおいて、前記流
    量測定信号と乗算される感度定数を外部から読み出し書
    き換え自在なように記憶する感度定数記憶部と、前記流
    量測定信号と乗算されるフルスケール係数を外部から読
    み出し書き換え自在なように記憶するフルスケール係数
    記憶部と、前記流量センサ部と比較部との間に設けられ
    るリニアライザに対して出力される検量線データを外部
    から読み出し書き換え自在なように記憶する検量線記憶
    部とのうち、少なくともその一つを設けたことを特徴と
    するマスフローコントローラ。
  3. （３）流体が流れる流路に対して流量センサ部と、この
    流量センサ部の下流側または上流側に設けられる制御バ
    ルブとを備え、前記流量センサ部からの流量測定信号と
    流量設定信号とを比較部において比較し、この比較部か
    ら出力される差信号を演算制御部において処理して得ら
    れる制御信号に基づいて前記制御バルブの開度制御を行
    うようにしたマスフローコントローラにおいて、前記流
    量センサ部からの流量センサ出力信号と、前記流量セン
    サ部と比較部との間に設けられるリニアライザに対して
    出力される流量信号と、前記演算制御部からの制御信号
    とのうち、少なくともその一つを外部に読み出せるよう
    にしたことを特徴とするマスフローコントローラ。
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