JPH10504391A

JPH10504391A - コリオリ効果質量流量計における故障検知および補正のための方法および装置

Info

Publication number: JPH10504391A
Application number: JP8507345A
Authority: JP
Inventors: カーペンター，ブレント・リー; ルナ，アントニオ・ザヴィエル
Original assignee: Micro Motion Inc
Current assignee: Micro Motion Inc
Priority date: 1994-08-12
Filing date: 1995-07-24
Publication date: 1998-04-28
Anticipated expiration: 2015-07-24
Also published as: HK1004419A1; RU2164009C2; DE69530704D1; JP3194960B2; WO1996005484A1; CN1087422C; DE69530704T2; MX9701063A; EP0803050A1; EP0803050B1; CN1166199A; US5594180A

Abstract

(57)【要約】動作中のコリオリ効果質量流量計における種々の故障条件を検知して補正するための装置および方法。本発明は、動作中のコリオリ効果質量流量計から情報を受取り、該情報を種々の故障条件を表わす閾値識別特性と比較する。故障条件が検知されると、出力信号が印加されてオペレータに通知し、故障条件を補正するよう流量計における質量流量を制御する。本発明の特定の方法は、流管におけるクラックの存在を検知して、クラックが生じた流管における物質の漏出を阻止するよう物質の流れを止める。本発明の他の方法は、流管を流過する物質の空隙率を検知し、補正された実際の質量流量を計算し、空隙率の影響を補償するよう流量計における質量流量を制御する。

Description

【発明の詳細な説明】コリオリ効果質量流量計における故障検知および補正のための方法および装置発明の分野本発明は、パイプまたは導管路を通る物質の流量を測定するため用いられるコリオリ効果質量流量計に関する。特に、本発明は、コリオリ効果質量流量計の動作中に生じる種々の故障条件の検知および補正に関する。問題管路を流過する物質に対して質量流量および他の情報を測定するためにコリオリ効果質量流量計を使用することは公知である。Ｊ．Ｅ．Ｓｍｉｔｈ等の１９８５年１月１日発行の米国特許第４，４９１，０２５号および１９８２年２月１１日再発行のＪ．Ｅ．Ｓｍｉｔｈの米国再発行特許第Ｒｅ３１，４５０号に開示されるように、これら流量計は１本以上の湾曲形状の管を備えている。１９７８年８月２８日発行のＪ．Ｅ．Ｓｍｉｔｈ等の米国特許第４，１０９，５２４号に示される如き直線状の流管を持つコリオリ効果質量流量計もまた周知である。コリオリ効果質量流量計におけるそれぞれの流管の形態は、単純な曲げ、捩りあるいは結合型のモードである１組の固有振動モードを有する。各流管路は、これらの固有モードの１つで共振して振動するように駆動される。物質で充填された振動系の固有振動モードは、流管と流管内の物質との合成の質量によって部分的に規定される。物質は、流量計の流入側で接続された管路から流量計へ流入し、流管を流過するよう指向され、流量計からその流出側に接続された管路に流出する。流量計に流れがない時、流管に沿った全ての点が加えられる駆動力により同位相で振動する。物質が流れ始めると、コリオリ加速度が流管に沿った各点に異なる位相を持たせる。流管の流入側における位相は駆動部より遅れるが、流出側における位相は駆動部より進む。センサは、流管の運動を表わす正弦波信号を生じるように流管上に載置されている。２つのセンサ信号間の位相差は、流管を介する物質の質量流量に比例する。このような測定における複合要因は、典型的な処理物質の密度が変動することである。密度の変化は、固有振動モードの振動周波数を変動させる。流量計の制御系が共振を維持するので、振動周波数が応答して変動する。このような状況における質量流量は、位相差と振動周波数との比に比例する。米国再発行特許第Ｒｅ３１，４５０号のコリオリ流量計は、位相差と振動周波数の双方を測定する必要を回避するものである。位相差は、流量計からの２つの正弦波出力信号のレベル交差間の時間的遅延を測定することにより決定される。この方法が用いられる時、振動周波数における変動が打消し合い、質量流量は測定された時間的遅延に比例する。このような測定法は、しばしば時間遅延測定法と呼ばれる。コリオリ効果質量流量計の多くの用途において、流量計と流管とを流過する物質は腐食性を持つかあるいは高い圧力下にあり得る。このような質量流量計の流管におけるクラックは、腐食性物質を流出させ得る。これらの用途では、物質の漏洩の可能性を最小限に抑えることが重要である。このような危険を最小化する１つの方法は、流管における圧力の保全性が失われる場合に漏れ出すおそれがある物質を保持するように流量計を密閉することである。この解決策は、使用される物質および動作圧力レベルに従って多くの更なる問題を生起する。腐食性物質を保持し、あるいは非常に高圧の物質を保持する流管を密閉する複雑さおよびコストは、コリオリ効果質量流量計の多くの用途において使用を思い止どまらせるものとなり得る。このような故障の場合に流管を囲もうと試みるのではなく、流体が周囲の環境へ漏出され得る前に、故障条件を検知することが望ましい。このような故障の早期検知は、漏出が生じる前に物質の流れを止めることを可能にする。他の方法は、振動するチューブから生じる音波を監視すること（アコースティック・エミッション分光法）により、あるいは流管の抵抗変化を測定すること（電子的指紋法）によって、このような問題に対峙しようと試みた。これらの両方法は、流管におけるクラックを検知することはできるが、これらは腐食のような流管の表面特性に同様に感応する。これらの方法を用いて流管のクラックの成長を他の表面条件から弁別するためには、感度の高い電子的測定法や測定結果の習熟した解釈を必要とする。これらの測定の複雑さは、流量計の実際の商業的用途においてこれらの方法をほとんど役にたたないものにした。空気その他の異物がコリオリ効果質量流量計を流過する物質に侵入する時、従来の設計における別の問題が生じる。これらの物質は、計算された質量流量が誤りであるように流量計の流管の振動特性を変更する。従来の設計は、質量流量測定におけるこれらの誤りを検知もせず補正もしない。解決法上記および他の問題は、動作中のコリオリ効果質量流量計における色々な故障条件を検知するための方法および装置、ならびにこれらの検知された故障を補正するための方法および装置を含む本発明によって解決される。本発明は、周囲環境への流動物質の漏出前に物質の流れを止めるに充分に早く流管におけるクラックの検知を行う。更に、本発明は、流動物質に関する他の条件の早期の検知および補正を可能にし、他の種類のシステム故障を表示し得る。閾値を越える計算された質量流量、物質の密度、空隙率、あるいは質量率の変化は、質量流量計のある用途におけるシステム故障を表わし得る。本発明は、流管におけるクラックあるいは前述のシステム故障の早期の検知を可能にするコリオリ効果質量流量計の動作を監視するための方法および装置を含む。更にまた、本発明は、検知された故障を正しあるいは物質の流れを止めて流動物質の有害な漏出を阻止するため流量計内の物質流量を制御するための方法および装置を含む。正常に動作する流量計においては、静的条件下では、流管を振動させるのに必要な駆動力および結果として生じる流管の共振周波数は一定である。振動する流管の要求される駆動力あるいは共振周波数の変化は、流量計が動作している条件の変化を表わす。駆動力および共振周波数の変化は、本発明の方法および装置によって分析されて流管におけるクラックその他の動作異常を検知する。本発明により検知し得るそれぞれの故障は、駆動力および（または）共振周波数の時間的な変化において特徴的な「識別特性（ｓｉｇｎａｔｕｒｅ）」を呈する。例えば、流管内の物質の質量流量の変化は、要求される駆動力を大きく変えることなく流管の共振周波数の変化を生じ得る。しかし、流管の共振周波数の急激な減少は、要求される駆動力の増加と組合わされると、流管におけるクラックを示す。動作条件における他の変化は、流量計の動作パラメータにおける同様に認識可能な「識別特性」を呈し、本発明により動作故障あるいは異常として検知可能である。この「識別特性」は、駆動力および周波数ならびに時間的な変化の比率および曲率（時間に関する一次および２次の導関数）に対する閾値を用いて規定される。本発明は、流管を振動させるのに要する駆動力と、該流管が加えられる駆動力に応答して振動する共振周波数とを含むコリオリ効果質量流量計の幾つかの動作パラメータを検知するための装置を含む。本発明の装置は更に、流量計の動作における特定の故障条件の発生をオペレータに知らせるための出力信号、ならび流量計内の物質の流れを自動的に調整しあるいは停止するための出力信号を含む。これらの出力信号は、流量計内の物質の流れと関連するポンプおよび弁を制御するように印加される。本発明は更に、検知された動作パラメータにおける時間的変化を決定するための方法を含む。これらの方法は、幾つかの検知された動作パラメータの瞬時値ならびにそれぞれの検知された動作パラメータの変化率（勾配と曲率）を決定する。これらの方法は、検知された動作パラメータのその時の値と変化を分析して特定の故障条件が生じつつあることを決定する。本発明によって検知可能な各故障条件は、検知された動作パラメータの値と変化における一義的な「識別特性」によって認識される。種々の故障条件を示す動作パラメータに対する識別特性値は、本発明の装置内に記憶されている。監視された動作パラメータの値および変化がこれらの記憶された識別特性と一致すると、前述の出力信号が本発明の装置によって生成され、関連する故障条件の発生を示し、あるいは流量計内の物質の流れを制御する。特に、本発明は、コリオリ流量計の流管におけるクラックの存在を検知する。クラックの存在は、流管を振動させるのに必要な駆動力の増加と関連付けられた振動する流管の共振周波数における「識別特性」の低減によって認識される。クラックの故障のこのような早期の検知により、オペレータあるいは制御回路は流量計内に流れる物質の有害な漏出を阻止するように流動を停止しあるいは流管内の圧力を低減することができる。本発明はまた、質量流量の変化、物質密度の変化、空隙率の変化および質量率の変化のような流量計使用時の故障を表わす動作条件をも認識する。例えば、駆動力の増加と結合された共振周波数の増加は、流量計内に流れる物質の空隙率の増加を示す。ある用途においては、このことは、例えば過剰気泡あるいはエア・ポケットが流動物質中に形成されていること、あるいはセンサの出力が誤りであることを示す故障条件であると見なされる。本発明の装置により提供される出力信号は、オペレータに警告し、流れを自動的に止め、あるいは管路に流れる混合物を自動的に調整するために生成される。増加した空隙率に対する誤りを最小化するように物質の流量を自動的に調整するために、更なる出力信号が印加される。故障条件の検知に加えて、本発明の方法および装置は、流動物質中の空隙率または質量率を勘案するように、動作中の流量計において、測定された流量を自動的に補正する。本発明の装置内に格納された情報は、測定された値と周波数および駆動力における計算された変化率との関数として空隙率を計算するために用いられる。測定された流量と結合されるこの計算された空隙率は、誤差率を計算するために用いられる。この誤差率は、測定された質量流量に加えられて、先に述べたようにオペレータに表示するためあるいは自動流量制御のために用いられる補正された質量流量を計算するのに使用される。要約すると、本発明は、コリオリ効果質量流量計の動作時の種々の故障条件の早期の検知のための方法および装置を提供する。本発明は、信頼性が改善され、これまでの方法および装置より複雑でない故障検知および補正を提供する。本発明はまた、測定された流量および計算された空隙率に基いて質量流量を自動的に補正するための方法および装置をも提供する。図面の簡単な説明図１は、本発明の故障検知装置を備えた典型的なコリオリ効果質量流量計を示し、図１Ａは、典型的な閉ループ制御の例示的形態における制御可能なポンプと制御可能な弁とに接続された図１のコリオリ効果質量流量計を示し、図２は、本発明の故障検知機器の更なる詳細を示し、図３は、流管におけるクラックに関する時間関数としての振動周波数と駆動力の識別特性を示すグラフ、図４は、流管内の質量流量の関数としての振動周波数と駆動力とのカーブの識別特性を示すグラフ、図５は、流管内に流れる物質の密度の関数としての振動周波数と駆動力とのカーブの識別特性を示すグラフ、図６は、流管内に流れる物質の空隙率（ｖｏｉｄｆｒａｃｔｉｏｎ）またはスラッグ（ｓｌｕｇ）流の関数としての振動周波数と駆動力とのカーブの識別特性を示すグラフ、図７は、流管内に流れる物質の質量率（ｍａｓｓｆｒａｃｔｉｏｎ）の関数としての振動周波数と駆動力とのカーブの識別特性を示すグラフ、図８は、測定された質量流量に適用されて補正された質量流量を計算するための誤差率を示すグラフ、図９は、本発明の方法を含むステップの全体図を示すフローチャート、図１０は、動作パラメータをサンプリングするための図９のステップの更なる詳細を示すフローチャート、図１１は、サンプリングされた動作パラメータを記憶するための図９のステップの更なる詳細を示すフローチャート、図１２は、記憶された動作パラメータにおける変化の勾配と曲率とを計算するための図９のステップの更なる詳細を示すフローチャート、図１３は、クラックのある流管についてテストしかつ物質の流れを止める図９のステップの更なる詳細を示すフローチャート、図１４は、空隙率が補正された質量流量を計算しかつ質量流量を調整する図９のステップの更なる詳細を示すフローチャート、および図１５は、他の動作故障条件についてテストしかつ質量流量を制御する図９のステップの更なる詳細を示すフローチャートである。図面の詳細な記述装置典型的なコリオリ効果質量流量計１０が、それぞれ逆相曲げ軸Ｗ−ＷおよびＷ ′−Ｗ′の周囲に実質的に同じバネ定数と慣性モーメントとを持つように、マニフォールド体部３０に固定された２個の片持ち支持された流管１２、１４を有するように図１に示される。駆動用コイルおよび磁石２０が、流管１２、１４の最上部１３０と１３０′との間の中間領域に取付けられ、軸Ｗ−ＷおよびＷ′−Ｗ′の周囲で流管１２、１４を逆相で振動させる。左側のセンサ１６と右側のセンサ１８が流管１２、１４の最上部の各端部付近に取付けられて、流管１２、１４の相対運動を検知する。このような検知は、流管１２、１４の頂端部のゼロ交差あるいは他の予め定めた点を通る運動を測定することを含む多くの方法で行われる。流管１２、１４は、左側脚部１３１、１３１′と右側脚部１３４、１３４′を有する。これらの脚部は、相互に向って下方へ収束し、マニフォールド要素１２１、１２１′の面１２０、１２０′に固定されている。支持バー１４０Ｒ、１４０Ｌは、流管１２、１４の脚部に鑞付けされて、駆動部２０が経路１５６で付勢される時、流管が逆相で振動する軸Ｗ−ＷおよびＷ′−Ｗ′を規定するよう働く。軸Ｗ−ＷおよびＷ′ −Ｗ′の位置は、流管の脚部１３１、１３１′と１３４、１３４′上の支持バー１４０Ｒ、１４０Ｌの設置によって決定される。温度検出器２２は、流管１４の脚部１３１に載置されて流管の温度とこの流管内に流れる物質の近似的な温度とを測定する。この温度情報は、流管のばね定数における変化を決定するため用いられる。駆動部２０、センサ１６、１８、および温度検出器２２は、経路１５７、１５８、１５９によって質量流量計器２４に接続されている。質量流量計器２４は、センサ１６、１８、２２から受取った信号を処理して流量計１０内に流れる物質の質量流量ならびに物質の密度および温度の如き他の測定値を決定するマイクロプロセッサを含む。質量流量計器２４はまた、駆動信号を経路１５６を介して駆動部２０へ印加して軸Ｗ−ＷおよびＷ′ −Ｗ′の周囲で逆相で流管１２、１４を振動させる。マニフォールド体部３０は、鋳物１５０、１５０′から形成される。鋳物要素１５０、１５０′は、フランジ１０３、１０３′によって供給管路と流出管路（図示せず）とに取付け可能である。マニフォールド体部３０は、供給管路からの物質の流れを流管１２、１４へ送り、次いで再び流出管路へ送る。マニフォールドのフランジ１０３、１０３′が流入端部１０４と流出端部１０４′とを介して測定されるべき処理物質を運ぶ管路系統（図示せず）へ接続されると、物質はフランジ１０３における流入オリフィス１０１を経てマニフォールド体部３０とマニフォールド要素１１０とへ進入し、鋳物要素１５０内の徐々に変化する断面を持つチャンネル（図示せず）により流管１２、１４に接続される。物質は、マニフォールド要素１２１により流管１４、１２の左側脚部１３１、１３１′へそれぞれ分けられて送られる。次いで、物質は最上部の管要素１３０、１３０′を介し、また右側脚部１３４、１３４′を介して流れ、流管のマニフォールド要素１２１′ 内の１つの流れへと再び合流される。流体は、その後、流出側の鋳物要素１５０ ′のチャンネル（図示せず）へ送られ、次いで流出側のマニフォールド要素１１０′へ送られる。流出端部１０４′は、ボルト穴１０２′を持つフランジ１０３ ′により管路系統（図示せず）に接続される。物質は、流出オリフィス１０１′ を介して管路系統（図示せず）内の流れへ戻るように流出する。質量流量計器２４は、経路１５７、１５８、１５９で受取られた信号を分析し、関連する管路系統（図示せず）内の質量流量の監視および制御のため制御システムまたはオペレータにより用いられる質量流量を表示するため標準的な出力信号を経路１５５に生じる。更に、質量流量計器２４は、流管のその時の共振周波数と、流管の駆動のため要求されるその時の駆動力と、流管のその時の温度と、計算された質量流量とを表示する出力信号を経路１６０、１６１、１６２、１６３にそれぞれ生じる。これらの信号は、故障検知計器２６により受取られ、流量計１０の動作における故障の発生を判定するため分析される。これらの信号（および、流量計１０の動作中に検知可能な他の信号）は、以下本文において一般的にそれぞれ「動作パラメータ」と呼ばれる。質量流量計器２４は、当技術において周知の標準的な装置および方法を含む。Ｍｉｃｒｏｍｏｔｉｏｎ社の遠隔流量送信機モデル９７３９は、このような装置の事例である。信号を表わす駆動力は常にモデル９７３９から出力信号として与えられるとは限らないが、当業者は、このような信号が計器９７３９から得られることを容易に理解できる。振動周波数信号は、流体密度が測定されるような設計であるので、一般にモデル９７３９から得られる。電子技術者は、故障検知計器２６に接続する計器からの導体に流管の振動周波数と必要な駆動力とを表わす適切な信号を供給するように、この装置を容易に改修することができる。故障条件の検知時に、故障検知計器２６は、経路１７０を経てポンプ１８０へ、かつ経路１７１を経て弁１８１へ信号を印加して、流量計１０内の質量流量を補正し、あるいは物質の流れを止めて物質の漏出を阻止する。ポンプ１８０は、検知された故障を補正するよう流量計１０の流入オリフィス１０１における圧力を増減するため、故障検知計器２６によって制御される。弁１８１は、検知された故障を補正するよう流量計１０の流出オリフィス１０１′における背圧を増減するため、故障検知計器２６によって制御される。故障検知計器２６はまた、経路１７２に信号を印加して流量計１０の動作時に検知された故障条件の発生をオペレータに通知する。経路１７２に与えられた信号は、手動の補正動作の必要をオペレータに知らせあるいは故障検知計器２６により行われる補正制御の状態についてオペレータに知らせるため、パネル１８２上に表示されるメッセージである。例えば、故障検知計器２６は、経路１６０および１６１でそれぞれ受取る共振周波数および駆動力の情報を分析することにより、クラックが流管に存在するかどうかを判定する。クラックが流管に存在するならば、故障検知計器２６は流量計１０の流入オリフィス１０１におけるポンプ１８０により生成される圧力を低減する出力信号を経路１７０に生成する。この信号は、クラックが圧力の保全性の喪失を生じる前に流管内の物質の流れを減速あるいは停止し、これにより流管１２、１４内からの物質の漏出を阻止する。図１Ａは、ポンプ１８０と弁１８１が流量計１０の典型的な用途におけるように接続された流量計１０と故障検知計器２６とを示す。ポンプ１８０は、供給源１９１から物質１９２を引出してこの物質を管路１９０を介して流量計１０の流入オリフィス１０１へ供給する。ポンプ１８０により生成される流入圧力は、ポンプ１８０の速度を増減するため信号を経路１７０に印加することによって、故障検知計器２６により制御される。流量計１０の流入オリフィス１０１へ供給された物質は、流量計を経て管路１９０に対する流出オリフィス１０１′へ、そして最後に弁１８１を経てその終着点に移動する。弁１８１により生成される背圧は、弁１８１を開閉する信号を経路１７１に与えることによって、故障検知計器２６により制御される。当業者には、本発明の方法および装置がどんな形態の流量計に対しても有効に適用され得ることが認識されよう。図１および図１Ａに関して先に述べた特定の流量計の構成は、かかる全ての流量計の形態の事例である。特に、流量計の直線状流管、Ｕ字形流管、特殊および他の形態を、動作時の故障条件の検知および制御のために本発明の方法および装置と組合わせることができる。図２は、故障検知計器２６内部の構成要素の更なる詳細を示している。図１の質量流量計器２４により経路１６３を介して経路１６０へ印加されるアナログ信号は、アナログ／ディジタル（Ａ／Ｄ）・コンバータ２０３ないし２０６によってディジタル信号へ変換される。変換されたディジタル値を表わす信号が、ＣＰＵ２００による処理のため経路２２０ないし２２３へ印加される。経路２２０、２２１、２２２および２２３へ印加される信号は、振動する流管のその時の共振周波数、流管を振動させるのに必要なその時の駆動力、流管のその時の温度、および計算された質量流量をそれぞれ表わす。ＣＰＵ２００は、経路２２０ないし２２３からのその時の振動周波数、駆動力、温度および計算された流量をそれぞれ表わすディジタル信号を周期的にサンプリングする。周期的な各サンプリング時に、ＣＰＵ２００は、経路２２０ないし２２３へ印加されるディジタル値の複数の読みを平均化して、経路２２９上でＲＡＭメモリ２０１におけるバッファに平均値を書込む。このような平均化は、経路１６０ないし１６３に存在し得るアナログ信号ノイズの除去を助ける。振動周波数、駆動力、温度および計算された流量に対する平均値は、バッファが一杯である時最も前に記憶された値が最新の記憶されるべき値により重ね書きされるように、ＲＡＭメモリ２０１におけるバッファに循環状に記憶される。循環バッファは、ある期間における記憶された動作パラメータの値を保持する。ＣＰＵ２００は、記憶される動作パラメータごとに時間に関する一次および二次の導関数を計算して、図１の流量計１０の動作時の時間的な変化の勾配と曲率とを決定する。ＣＰＵ２００は、経路２２９によりＲＡＭメモリ２０１から記憶された平均値を読出す。時間的に逐次記憶される２つの平均値間の差は、当該動作パラメータにおける変化の勾配（サンプリングされた動作パラメータの一次導関数）である。この計算の一例を述べるが、ここでｆ₀ないしｆ_NはＣＰＵ２００による読みの（Ｎ＋１）期間における流管の振動周波数に対する記憶された平均値であり、またＳ₁ないしＳ_Nは各サンプリング期間に対するｆ₀ないしｆ_Nの値における変化に対する計算された勾配である。Ｓ₁＝（ｆ₁−ｆ₀）更に一般的には、Ｓ_x＝（ｆ_x−ｆ_x-1）但し、ｘ＝１ないしＮこのような２つの計算された勾配間の差は、動作パラメータの曲率（サンプルリングされた動作パラメータの二次導関数）を示す。この計算の一例は下記の如くであり、ここでＳ₁ないしＳ_Nは先に述べた如き周期的に記憶された平均値の変化の勾配であり、またＣ₂ないしＣ_Nは勾配Ｓ₁ないしＳ_Nにおける変化に対して計算された曲率である。Ｃ₂＝（Ｓ₂−Ｓ₁）更に一般的には、Ｃ_x＝（Ｓ_x−Ｓ_x-1）但し、ｘ＝２ないしＮＲＯＭメモリ２０２は、本発明により検知可能な各故障に対する閾値「識別特性」を含む。この「識別特性」に記憶される情報は、動作パラメータのその時の値に対する閾値ならびに動作パラメータの変化の勾配および曲率に対する閾値に関する。この情報は、本発明の装置および方法によって検知可能な動作の故障ごとに記録される。当該「識別特性」閾値は、流量計の特定の特性、流量計を流過する物質の公称物理的特性、および流量計内の物質の公称流量について一義的である。これらの閾値は、流量計のユーザまたは製造者によって予め定められ、ＲＯＭメモリ２０２へプログラムされる。代替的な実施の形態において、ＣＰＵ２００は、これらの値をＲＯＭメモリ２０２からＲＡＭメモリ２０１へ複写し、流量計の用途における特定のカスタマイズされた必要に対する閾値「識別特性」を修正するためオペレータと対話する。ＲＯＭメモリ２０２は、測定された質量流量の補正に関して流量計１０の製造あるいは据付け時に物質の空隙率の検知される変化を勘案するよう予め定められた付加的な情報を含む。以下に述べるように、空隙率の増加が質量流量の測定誤差を生じる。この誤差係数（誤差率）は、誤差率を測定された質量流量と計算された空隙率の関数としてコード化する「識別特性」情報を用いて本発明の方法によって決定される。測定された質量流量と計算された空隙率と結果として生じる誤差率との間の関係を表わすこの「識別特性」情報は、特定の流量計１０と特定の用途とに対して一義的である。この情報は、故障検知識別特性と共にＲＯＭメモリ２０２に記憶される。この情報を用いて測定された質量流量を補正する本発明の方法を以下に述べる。ＣＰＵ２００は、動作パラメータの記憶された平均値、計算された勾配および計算された曲率をＲＯＭメモリ２０２に記憶される「識別特性」から経路２２８で読出された対応する閾値と比較する。この識別特性情報は、図１の流量計１０の動作における特定の故障条件の発生を示す動作パラメータ、計算された勾配および計算された曲率に対する特定の閾値を指す。ＣＰＵ２００は、ＲＯＭメモリ２０２から読出された識別特性閾値情報を、周波数、駆動力、温度および測定された質量流量について対応する平均値と比較する。ＣＰＵ２００はまた、ＲＯＭメモリ２０２における識別特性の閾値を各パラメータに対して計算された勾配および曲率と比較する。これらの比較は、種々の故障条件の各々が図１の流量計１０の動作時に生じたかどうかを判定する。この比較を行うため用いられる方法は、以下に更に詳細に論述する。ＣＰＵ２００は、故障条件の検知に応じて、ポンプ１８０の速度を制御するため経路１７０へ信号を印加しかつ弁１８１を開閉するため経路１７１へ信号を印加する。更に、ＣＰＵ２００は、流量計１０の制御と動作の状態に関してオペレータに知らせるため経路１７０へパネル１８２上にメッセージを表示する。以下に述べるように、ＣＰＵ２００が流量計１０の流管１２、１４におけるクラックを検知すると、このＣＰＵは、物質の流れを停止して流量計１０内の圧力を軽減するためポンプ１８０と弁１８１とを制御する。同様に、ＣＰＵ２００は、誤った質量流量、誤った物質密度、誤った空隙率、あるいは誤った質量率などによる他の故障条件を補償するため流量を修正することができる。これらの故障条件の各々は、ＲＯＭメモリ２０２に記憶された識別特性閾値情報をＲＡＭに記憶されたその時のパラメータ値および先に述べた如き各パラメータに対する計算された勾配および曲率と比較することによって、ＣＰＵ２００により検知される。各故障条件は、ＲＯＭメモリ２０２に記憶された１組の閾値によって規定される。この閾値は、幾つかの動作パラメータならびに幾つかの動作パラメータの変化の勾配および曲率のその時の値と関連する。識別特性情報のサンプル図３は、振動する流管の共振周波数の典型的な変化と、流管の壁面にクラックが生じて成長する時、流管を振動させるのに要求される駆動力の変化を示すグラフである。図３におけるグラフの横座標は秒単位の時間である。「圧力」と表示されるカーブ３００は、グラフの左側に表示された縦座標目盛を有する。このカーブ３００は、流管におけるクラックが時間と共に成長する時の時間に関する流管内の圧力を表わす。このグラフにおいて判るように、流管内の圧力は、３１２と表示された破線により示される１８０秒の時間まで一定である。圧力は、流管の壁面におけるクラックを介する流動物質の漏出によりこの時点で低下し始める。「駆動力」と表示されたカーブ３０１もまた、グラフの左側に表示されたその縦座標目盛を有する。カーブ３０１は、流管を共振周波数で振動させるのに要求される駆動力を表わす。「周波数」と表示されたカーブ３０２は、グラフの右側に表示されたその縦座標目盛を有する。カーブ３０２は、振動する流管の共振周波数の変化を表わす。駆動力と周波数とは、クラックが成長し始めてから破線３１０により示される略々８０秒の間、比較的一定のままである。この時、周波数のカーブ３０２は低下し始め、駆動力のカーブ３０１は増加し始める。３１０で示される時点８０秒で、ＣＰＵ２００は、周波数の低減および駆動力の増加をＲＯＭメモリ２０２に記憶された適切な識別特性情報と突合せることによって、クラックが流管において成長しつつあることを決定する。カーブ３０１に示される如き要求される駆動力における非線形的な増加と、カーブ３０２に示される如き共振周波数における非線形的な低減とは、図１の流量計１０の如き流量計の流管においてクラックが成長することを表す識別特性である。図３のカーブ３００、３０１、３０２の関係により判るように、本発明の方法は、１８０秒の時間における線３１２により示される如き流管１２または１４内からの圧力の漏洩より充分前の８０秒の時間（３１０で示される）という早さで流管１２、１４におけるクラックの形成を検知することができる。図３に示され先に述べた形成するクラック事故の動作パラメータにおける識別特性の変化は、（図４に示される如き）物質の質量流量の変化に応答する正常に動作する流量計とは明瞭に弁別可能である。図４は、流量計内の物質の質量流量の変化に常に応答する流量計の動作パラメータの識別特性の変化を示す。図４におけるグラフの横座標は、図１の流量計１０の如き流量計の流管を流過する物質の質量流量である。「駆動力」と示されるカーブ４０１は、グラフの左側に示されたその縦座標目盛を有する。このカーブ４０１は、流管を共振周波数で振動させるのに要求される駆動力を表わす。「周波数」と示されるカーブ４０２は、グラフの右側に示されたその縦座標目盛を有する。このカーブ４０２は、振動する流管の共振周波数の変化を表わす。図４のカーブにより示されるように、正常に動作する流量計においては、質量流量が増加する間は駆動力は一定のままであるが、質量流量が増加する間は共振周波数は低減する。カーブ４０１で示される如き一定の駆動力と、カーブ４０２で示される如き共振周波数における非線形的な低減とは、図１の流量計１０の如き流量計の流管において流量が増加することを表す識別特性である。逆に、共振周波数の非線形的な増加と組合わせられる一定の駆動力は、流量計の流管における低減する流量を示す。図５は、流量計を流過する物質の密度の変化に正常に応答する流量計の動作パラメータにおける識別特性の変化を示す。図５におけるグラフの横座標は、図１の流量計１０の如き流量計の流管を流過する物質の密度である。「駆動力」と示されるカーブ５０１は、グラフの左側に示されたその縦座標を有する。このカーブ５０１は、流管を共振周波数で振動させるのに要求される駆動力を表わす。「周波数」と示されるカーブ５０２は、グラフの右側に示されたその縦座標目盛を有する。このカーブ５０２は、振動する流管の共振周波数の変化を表わす。図５のカーブにより示されるように、物質の密度が増加される間は駆動力は一定のままであるが、物質の密度が増加する間は共振周波数は低減する。カーブ５０１に示される如き一定の駆動力と、カーブ５０２に示される如き共振周波数における非線形的な低減とは、図１の流量計１０の如き流量計の流管における物質の密度が増加することを表す識別特性である。逆に、共振周波数における非線形的な増加と組合わせられる一定の駆動力は、流量計の流管における低減する物質の密度を示す。図５に示される如き変化する物質の密度の識別特性は、図３に関して先に述べたクラックの故障とは明瞭に弁別可能である。図５におけるカーブ５０１により示される一定の駆動力は、図３のカーブ３０１の正の勾配を有する増加する駆動力とはＣＰＵ２００により明瞭に弁別可能である。図５の物質の密度の識別特性を図４の流量の識別特性から弁別するため、ＣＰＵ２００は、図５の周波数のカーブ５０２の正の曲率から図４の周波数のカーブ４０２の負の曲率（二次導関数）を検出する。流量の故障条件と物質の密度の故障条件との関係に対してＲＯＭメモリ２０２に記憶された故障の識別特性情報は、どの故障が生じたかを決定するためにＣＰＵ２００が周波数の動作パラメータの曲率（二次導関数）を比較しなければならないことを示す。図６は、流量計を流過する物質の空隙率（ｖｏｉｄｆｒａｃｔｉｏｎ）の変化に正常に応答する流量計の動作パラメータにおける識別特性の変化を示す。空隙率は、流量計を流過する物質の空気またはガスの成分の測定値である。図６のグラフの横座標は、図１の流量計１０の如き流量計の流管を流過する物質の空隙率である。「駆動力」と示されるカーブ６０１は、グラフの左側に示されたその縦座標目盛を有する。このカーブ６０１は、流管をその共振周波数で振動させるのに要求される駆動力を表わす。「周波数」と示されるカーブ６０２は、グラフの右側に示されたその縦座標を有する。このカーブ６０２は、振動する流管の共振周波数の変化を表わす。図６のカーブにより示されるように、駆動力と共振周波数の両者は空隙率が増加する間は増加する。カーブ６０１で示される如き増加する駆動力とカーブ６０２で示される如き増加する共振周波数とは、図１の流量計１０の如き流量計の流管における増加する空隙率の識別特性を表す識別特性である。逆に、駆動力と共振周波数の両者における低減は、流量計の流管における低減する空隙率を示す。図７は、流量計を流過する物質の質量率（ｍａｓｓｆｒａｃｔｉｏｎ）の変化に正常に応答する流量計の動作パラメータにおける識別特性の変化を示す。質量率は、流量計を流過する物質における比較的重い物質成分の測定値である。図７におけるグラフの横座標は、図１の流量計１０の如き流量計の流管を流過する物質の質量率である。「駆動力」と示されたカーブ７０１は、グラフの左側に示されるその縦座標目盛を有する。このカーブ７０１は、流管を共振周波数で振動させるのに要求される駆動力を表わす。「周波数」と示されたカーブ７０２は、グラフの右側に示されるその縦座標目盛を有する。このカーブ７０２は、振動する流管の共振周波数の変化を表わす。図７のカーブで示されるように、駆動力は質量率が増加する間は増加し、共振周波数は質量率が増加する間は低減する。カーブ７０１に示される如き直線的に増加する駆動力と、カーブ７０２に示される如き直線的に低減する共振周波数とは、図１の流量計１０の如き流量計の流管における増加する質量率の識別特性である。逆に、駆動力における直線的な低減と、共振周波数の直線的な増加とは、流量計の流管における低減する質量率を表わす。図７の変化する質量率の識別特性を図３のクラックの故障の識別特性から弁別するために、ＣＰＵ２００は、図３における周波数のカーブ３０２と図７のカーブ７０２との異なる曲率（二次導関数）を検知しなければならない。あるいはまた、ＣＰＵ２００は、図３における駆動力のカーブ３０１と図７におけるカーブ７０１との異なる曲率（二次導関数）を検知しなければならない。クラックの故障条件と質量率の故障条件との関係に対するＲＯＭメモリ２０２に記憶された故障識別特性情報は、この２つの故障のどれが生じたかを決定するため周波数または駆動力の動作パラメータの曲率（二次導関数）をＣＰＵ２００が比較しなければならないことを示している。特定の故障を示す動作パラメータに対する正確な「識別特性」閾値、勾配および曲率は、それぞれの特定の流量計、および公称物質組成、流量および流量計内の圧力に対して一義的である。この特定の識別特性値は、製造時のテストによって決定されてＲＯＭメモリ２０２に記憶される。当業者は、識別特性の閾値がＣＰＵ２００によってＲＡＭメモリ２０１へ複写され、次いで流量計の特定用途に対してカスタマイズするように修正されることが容易に理解されよう。図３ないし図７の縦座標目盛は、動作パラメータ変化の百分率で表わされている。当業者は、閾値情報が変化の百分率としてかあるいは絶対閾値として等価的に表わされることが理解されよう。以下に述べる本発明の方法は、絶対閾値との比較を用いて示される。図８は、補正される質量流量を計算するため図６に示された情報と関連して用いられる情報のグラフである。質量流量計器により測定される質量流量の精度は、流量計１０を流過する物質の空隙率の増加により悪影響を蒙る。先に述べたように、空隙率は、流量計１０を流過する物質に混合された空気のような比較的軽い物質の成分を表示する。図６は、周波数と駆動力、特に駆動力における正の曲率の増加と結合される直線的に上昇する周波数の関数として増加する空隙率を識別する識別特性情報を表わしている。以下に述べる他の情報に加えて、ＲＯＭメモリ２０２に記憶された識別特性情報は、図６のグラフに示された空隙率情報のコード化を含む。この空隙率情報は、測定される周波数と駆動力との関数としてその時の空隙率の百分率を決定するため本発明の方法によって用いられる。図６の空隙率情報は、図６のカーブを表わす多項式の係数として、あるいは周波数または駆動力の値から空隙率を内挿するため用いられる表の形で識別特性情報と共にＲＯＭメモリへコード化される。図１４に関して以下に述べるように、ＲＯＭメモリ２０２に記憶された空隙率情報は、周波数と駆動力の測定値から空隙率を計算するために用いられる。当業者は、図６に示された関数の表状コーディングが制限された数学的演算能力を持つ低コストのマイクロプロセッサでの使用に選好されることが理解されよう。図８のグラフに示される情報は、測定された質量流量に適用されて補正された質量流量を決定する誤差補正係数（誤差の百分率）を計算するのに用いられる。図８は、測定された質量流量の関数として誤差百分率の６つの例示的なグラフを示している。６つのカーブの各々は、先に述べたように、図６に示した情報を用いて決定され且つＲＯＭメモリ２０２に識別特性情報と共に記憶された対応する計算された空隙率を示すように区分されている。例えば、空隙率が先のように１．５％となるよう計算されるならば、図８の１．５と示されたカーブが所与の質量流量に対して適用されるべき誤差補正係数（誤差の百分率）を決定するのに用いられる。１．５と示されたカーブと測定された質量流量とを用いて、誤差百分率を図８に示されるように決定することができる。以下に述べる他の情報に加えて、ＲＯＭメモリ２０２に記憶された識別特性情報は、図８のグラフに示された誤差百分率情報のコード化を含む。この誤差百分率情報は、本発明の方法によって用いられて、測定された流量と計算された空隙率との関数としてその時の誤差百分率を決定する。図８の誤差百分率情報は、図８のカーブを表わす多項式の係数として、あるいは測定された質量率と計算された空隙率の値から誤差百分率を内挿するため用いられる表の形で識別特性情報と共にＲＯＭメモリ２０２へコード化される。図１４に関して以下に述べるように、ＲＯＭメモリ２０２に記憶された誤差百分率情報は、補正された質量流量を計算するために用いられる。当業者は、図８に示された関数の表状コーディングが制限された数学的演算能力を持つ低コストのマイクロプロセッサでの使用に選好されることが理解されよう。故障識別特性情報のフォーマット識別特性閾値情報は、その時の動作パラメータの値、勾配およびカーブの比較時にＣＰＵ２００により使用するため図２のＲＯＭメモリ２０２に記憶される。この閾値情報のフォーマットは、「Ｃ言語」の如き高水準のプログラミング言語におけるデータ構造として表わされると、最も容易に理解される。この表現法はＲＯＭメモリ２０２における識別特性の閾値情報の単なる事例に過ぎないことを明瞭に理解すべきである。基準閾値情報を表わす多くの等価の形態が本発明の趣旨および範囲内に含まれる。閾値情報は、幾つかの動作パラメータ、該動作パラメータの勾配、該勾配の曲率の上限および下限を定義することにより、適正に動作する流量計の公称値を表わす。上限および下限は、本発明の方法により検知し得る幾つかの故障条件の各々に対してコード化される。パラメータのその時の値、勾配および曲率がこの定義された限度内に含まれるならば、対応する故障条件は生じていないことになる。故障検知・補正方法−概論本発明の方法は、先に述べた識別特性情報を用いて幾つかの故障条件を検知して補正する。図９は、本発明の方法のフローチャートである。図９の諸要素は、本発明の方法を高水準で記述する。以降の図および関連する記述は、図９の個々の要素の更なる詳細を示す。要素９００は、流量計の動作の分析のため用意された流量計１０のその時の動作パラメータのサンプルを取得するよう動作する。要素９００は、以下に図１０に関して更に詳細に述べる。要素９０２は、ＲＡＭメモリ２０１における循環バッファに要素９００により取得されるサンプルを記憶するように動作する。要素９０２については、図１１に関して更に詳細に述べる。要素９０４は、要素９００の動作によりサンプリングされて要素９０２の動作によりＲＡＭメモリ２０１に記憶される動作パラメータの変化の勾配と曲率を計算するように動作する。最も後のサンプルとＲＡＭメモリ２０１の循環バッファに記憶された前のサンプルを用いて、動作パラメータの時間的な変化の勾配と曲率を決定する。要素９０４については、図１２に関して以下に更に詳細に述べる。要素９０６は、流量計１０の流管１２、１４にクラックが形成しつつあるか否かを決定するように動作する。要素９０６は、その時サンプリングされた動作パラメータと要素９０４において計算された勾配と曲率とを分析して流管１２、１４におけるクラックの形成を検知する。クラックが検知されるならば、要素９０６は流量計１０内の物質の流れを停止して流管１２、１４内の流体圧力を低下させるように動作する。要素９０６については、図１３に関して以下に更に詳細に述べる。要素９０８は、流管１２、１４を流過する物質における検知された空隙率により、測定された質量流量を補償することにより、流量計１０内の補正された質量流量を計算するように動作する。補正された質量流量が許容限度外であることが判るならば、要素９０８は流量計１０内の計算された流量を調整するように動作する。要素９０８については、図１４に関して以下に更に詳細に述べる。要素９１０は、サンプリングされた動作パラメータと、動作パラメータの変化の計算された勾配と曲率とをＲＯＭメモリ２０２に記憶された対応する識別特性情報と比較するように動作する。どれかの故障の識別特性情報が測定あるいは計算された対応する情報と一致するならば、ＲＯＭメモリ２０２に識別特性情報と共に記述された補正動作が引き起こされて、問題の補正を試み、かつ故障の発生をオペレータに通知する。要素９１０については、図１５に関して以下に更に詳細に述べる。要素９１２は、次のサンプリング期間まで本発明の方法の実行を遅延させるよう動作する。このことは、流量計１０の動作パラメータの周期的サンプリングおよび分析を保証する。この方法の処理は、要素９００において続行する。当該方法は、要素９００ないし９１２の処理を周期的に反復して、動作の故障を検知して補正するため流量計１０の動作を監視する。故障の検知・補正の方法−サンプリング図１０は、先に述べた要素９００の動作の更に詳細を示すフローチャートである。図１０の諸要素は、流量計１０の動作パラメータをサンプリングするように動作する。特に、周波数、駆動力、温度および測定された質量流量は、図１０のけた変数でＲＡＭメモリ２０１に記憶される。３つの連続的な読みの平均化は、質量流量計器２４から経路１６０ないし１６３を介して受取られるアナログ信号におけるノイズの影響を低減することを助ける。ＲＡＭメモリ２０１に記憶されたＳ１、Ｓ２およびＳ３を付した変数は、サンプリングされた各動作パラメータの３つの連続する読みを一時的に記憶するため用いられる。要素１０００は、経路２２０からの周波数の３つの連続値を読んでそれぞれ変数Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３とするように動作する。要素１００２は、変数Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３を加算してその和を３で除すことにより平均周波数値を計算する。この平均周波数は、次に以降の要素による更なる処理のため変数Ｆに記憶される。要素１００４は、経路２２１から駆動力の３つの連続値を読んでそれぞれ変数Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３とするように動作する。要素１００６は、変数Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３を加算してその和を３で除すことにより平均駆動力値を計算する。この平均駆動力は次に、以降の要素による更なる処要素１００８は、経路２２２からの温度の３つの連続値を読んでそれぞれ変数Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３とするように動作する。要素１０１０は、変数Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３を加算してこの和を３で除すことにより平均温度値を計算する。この平均温度は次に、以降の要素による更なる処理の要素１０１２は、測定された質量流量の３つの連続値を経路２２３から読んでそれぞれ変数Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３とするように動作する。要素１０１４は、変数Ｓ１、Ｓ２、Ｓ３を加算してこの和を３で除すことにより、測定された質量流量の平均値を計算する。この測定された質量流量の平均はの諸要素および図９のそのための要素９００の処理を完了する。処理は、図９の要素９０２に続く。故障検知・補正方法− 記憶図１１は、先に述べた要素９０２の動作の更に詳細を示すフローチャートである。特に、図１１の諸要素は、図２のＲＡＭメモリ２０１における循環バッファに図９の要素９００の動作によって計算された動作パラメータの平均値を記憶する。その時のサンプル期間だけ記憶された値と循環バッファに記憶された前のサンプルとは、以降の要素において更なる処理のため使用される。要素１１００は、図９の要素９００の動作により決定された動作パラメータの平均値を記憶するように動作する。ＮＥＸＴは、ＲＡＭメモリ２０１に記憶された変数であり、並列の循環バッファ・アレイＦＡＲＲＡＹ、ＰＡＲＲＡＹ、ＴＡＲＲＡＹおよびＭＡＲＲＡＹに対する循環指数として用いられる。この循環バッ変数ＮＥＸＴのその時の値によりそれぞれ指示されるＦＡＲＲＡＹ、ＰＡＲＲＡＹ、ＴＡＲＲＡＹおよびＭＡＲＲＡＹの１つの要素に記憶される。要素１１０２は、ＭＡＸＳＡＭＰＬＥＳをモジューロ関数（ｍｏｄｕｌｏｆｕｎｃｔｉｏｎ）に適用することにより循環的に変数ＮＥＸＴを増分するように動作する。ＭＡＸＳＡＭＰＬＥＳは、要素１１００において先に述べた循環バッファ・アレイに記憶されるべきサンプルの最大数である。これで、図１１の諸要素および図９のそのための要素９０２の処理を完了する。処理は、図９の要素９０４に続く。故障検知・補正方法−勾配および曲率の計算図１２は、先に述べた要素９０４の動作の更に詳細を示すフローチャートである。図１２の諸要素は、記憶された各平均動作パラメータにおける変化について、勾配（時間に関する一次導関数）および曲率（時間に関する二次導関数）を計算する。各動作パラメータの変化の計算された勾配と曲率とを記憶するために用いられる変数は、ＲＡＭメモリ２０１に記憶される。更に、先に述べた循環バッファを指示するため用いられる３つの仮変数がＲＡＭメモリ２０１に記憶される。要素１２００は、先に述べた要素９０２の動作によって循環バッファに記憶された過去の３つの平均値に対して指標を計算して循環バッファ・アレイＦＡＲＲＡＹ、ＰＡＲＲＡＹ、ＴＡＲＲＡＹおよびＭＡＲＲＡＹに入れる。先に述べた如きモジュロ演算を用いて、過去の３つの平均値に対する循環バッファへの指標である変数ＰＲＥＶ１、ＰＲＥＶ２、ＰＲＥＶ３の値を計算する。ＰＲＥＶ１、ＰＲＥＶ２およびＰＲＥＶ３は、ＮＥＸＴのその時の値からそれぞれ１、２および３を差引いた値として計算される。要素１２０２は、周波数の動作パラメータの記憶された平均値の変化の勾配と曲率とを計算するよう動作する。ＦＳＬＯＰＥとＦＣＵＲＶとは、勾配と曲率とが記憶される図２のＲＡＭメモリ２０１における変数である。ＦＳＬＯＰＥは、ＦＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ１］とＦＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ２］に記憶された周波数の最後の２つの平均値間の差として計算される。動作パラメータの変化率に対するタイム・ベースは、図９の要素９１２において先に述べた如き動作パラメータをサンプリングするため用いられるサンプリング期間と等しい１単位時間であるものと仮定される。ＦＣＵＲＶは、過去の２つの期間の計算された勾配間の差である。特に、ＦＣＵＲＶは、（ＦＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ１］−ＦＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ２］）−（ＦＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ２］−ＦＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ３］）に等しい。要素１２０４は、駆動力の動作パラメータの記憶された平均値の変化の勾配と曲率を計算するため動作する。ＰＳＬＯＰＥとＰＣＵＲＶとは、勾配と曲率とが記憶される図２のＲＡＭメモリ２０１における変数である。ＰＳＬＯＰＥは、ＰＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ１］とＰＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ２］に記憶された駆動力の最後の２つの値間の差として計算される。動作パラメータの変化率に対するタイム・ベースは、図９の要素９１２において先に述べた如き動作パラメータをサンプリングするため用いられるサンプリング期間に等しい１単位時間であるものと仮定される。ＰＣＵＲＶは、過去の２つの期間の計算された勾配間の差である。特に、ＰＣＵＲＶは、（ＰＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ１］−ＰＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ２］）−（ＰＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ２］−ＰＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ３］）に等しい。要素１２０６は、温度の動作パラメータの記憶された平均値の変化の勾配と曲率とを計算するため動作する。ＴＳＬＯＰＥとＴＣＵＲＶとは、勾配と曲率とが記憶される図２のＲＡＭメモリ２０１における変数である。ＴＳＬＯＰＥは、ＴＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ１］とＴＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ２］とに記憶された温度の最後の２つの値間の差として計算される。動作パラメータの変化率に対するタイム・ベースは、図９の要素９１２において先に述べた如き動作パラメータをサンプリングするため用いられるサンプリング期間と等しい１単位時間であるものと仮定される。ＴＣＵＲＶは、過去の２つの期間の計算された勾配間の差である。特に、ＴＣＵＲＶは、（ＴＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ１］−ＴＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ２］）−（ＴＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ２］−ＴＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ３］）に等しい。要素１２０８は、測定された質量流量の動作パラメータの記憶された平均値の変化の勾配および曲率を計算するため動作する。ＭＳＬＯＰＥとＭＣＵＲＶとは、勾配と曲率とが記憶される図２のＲＡＭメモリ２０１における変数である。ＭＳＬＯＰＥは、ＭＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ１］とＭＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ２］に記憶された測定された質量流量の最後の２値間の差として計算される。動作パラメータの変化率に対するタイム・ベースは、図９の要素９１２において先に述べた如き動作パラメータをサンプリングするため用いられるサンプリング期間と等しい１単位時間であるものと仮定される。ＭＣＵＲＶは、過去の２つの期間の計算された勾配間の差である。特に、ＭＣＵＲＶは、（ＭＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ１］− ＭＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ２］）−（ＭＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ２］−ＭＡＲＲＡＹ［ＰＲＥＶ３］）に等しい。これで、図１２の諸要素の処理および図９のそのための要素９０４とを完了する。処理は図９の要素９０６に続く。故障の検知・補正の方法−クラックの検知図１３は、先に述べた要素９０６の動作の更に詳細を示すフローチャートである。図１３の諸要素は、クラックが流量計１０の流管１２、１４に存在するかどうかを決定するよう動作する。クラックは、その時のサンプリングされた動作パラメータ値、計算された勾配および周波数と駆動力とに対して計算された曲率を、ＲＯＭメモリ２０２に記憶された識別特性情報と比較することによって検知される。先に述べたＲＥＦ．ＣＲＡＣＫデータ構造は、図１Ａに示された如き特定用途における特定の流量計１０に対する関連限度を含んでいる。負の曲率を持つ低減する周波数と結合された正の曲率を持つ増加する駆動力は、流管１２または１４におけるクラックの識別特性である。要素１３００は、要素９００の動作により計算されるサンプリングされた駆動力Ｐを先に述べたＲＥＦ．ＣＲＡＣＫ．ＭＡＸＰと比較するよう動作する。この動作は、クラックが流管１２または１４に存在することを決定するため更なるテストが要求されるように、駆動力が閾値を越えて増加したかどうかを決定する。サンプリングされた駆動力がまだ対応する識別特性閾値に達しなかったならば、クラックが流管１２、１４に存在せず図１２の要素の処理は完了する。クラックが存在しなければ、図９の要素９０６の処理は完了し、処理は図９の要素９０８に続く。さもなければ、クラックが流管１２、１４に存在するかどうか決定するため更なるテストが要求され、処理は要素１３０２に続く。要素１３０２は、要素９００の動作により計算されるサンプリングされた周波数Ｆを先に述べたＲＥＦ．ＣＲＡＣＫ．ＭＩＮＦと比較するよう動作する。この動作は、クラックが流管１２、１４に存在することを決定するため更なるテストが要求されるように、周波数が閾値を越えて低減したかどうかを決定する。サンプリングされた周波数がまだ対応する識別特性閾値に達しなかったならば、流管１２、１４にはクラックが存在せず、図１２の要素の処理は完了する。クラックが存在しなければ、図９の要素９０６の処理は完了し、処理は図９の要素９０８に続く。さもなければ、クラックが流管１２、１４に存在するかどうかを決定するため更なるテストが要求され、処理は要素１３０４に続く。要素１３０４は、要素９０４の動作により計算された駆動力ＰＳＬＯＰＥの変化の計算された勾配を先に述べたＲＥＦ．ＣＲＡＣＫ．ＭＡＸＰＳＬＯＰＥと比較するよう動作する。この動作は、クラックが流管１２または１４に存在することを決定するため更なるテストが要求されるように、駆動力の勾配が閾値を越えて増加したかどうかを決定する。駆動力の勾配が対応する識別特性閾値にまだ達しなかったならば、流管１２、１４にはクラックは存在せず、図１２の要素の処理は完了する。クラックが存在しなければ、図９の要素９０６の処理は完了し、処理は図９の要素９０８に続く。さもなければ、流管１２、１４にクラックが存在するかどうかを決定するために更なるテストが要求され、処理は要素１３０６に続く。要素１３０６は、要素９００の動作により計算された周波数の変化の計算された勾配ＦＳＬＯＰＥを先に述べたＲＥＦ．ＣＲＡＣＫ．ＭＩＮＦＳＬＯＰＥと比較するよう動作する。この動作は、流管１２または１４にクラックが存在することを決定するため更なるテストが要求されるように、周波数の勾配が閾値を越えて低減したかどうかを決定する。周波数の勾配がまだ対応する識別特性閾値に達しなかったならば、流管１２、１４にはクラックが存在せず、図１２の要素の処理は完了する。クラックが存在しなければ、図９の要素９０６の処理は完了し、処理は図９の要素９０８に続く。さもなければ、流管１２、１４にクラックが存在するかどうかを決定するため更なるテストが要求され、処理は要素１３０８に続く。要素１３０８は、要素９０４の動作により計算された駆動力の変化の計算された曲率ＰＣＵＲＶを先に述べたＲＥＦ．ＣＲＡＣＫ．ＭＡＸＰＣＵＲＶと比較するよう動作する。この動作は、流管１２、１４にクラックが存在することを決定するため更なるテストが要求されるように、駆動力の曲率が閾値を越えて増加したかどうかを決定する。駆動力がまだ対応する識別特性閾値に達しなかったならば、流管１２、１４にはクラックが存在せず、図１２の要素の処理が完了する。クラックが存在しなければ、図９の要素９０６の処理が完了し、処理は図９の要素９０８に続く。さもなければ、流管１２、１４にクラックが存在するかどうかを決定するため更なるテストが要求され、処理は要素１３１０に続く。要素１３１０は、要素９００の動作により計算された周波数の変化の計算された曲率ＦＣＵＲＶを先に述べたＲＥＦ．ＣＲＡＣＫ．ＭＩＮＦＣＵＲＶと比較する。この動作は、流管１２、１４にクラックが存在することを決定するため更なるテストが要求されるように、周波数の曲率が閾値を越えて低減したかどうかを決定する。周波数の曲率がまだ対応する識別特性閾値に達しなかったならば、クラックが流管１２、１４には存在せず、図１２の要素の処理が完了する。クラックが存在しなければ、図９の要素９０６の処理が完了し、処理は図９の要素９０８に続く。さもなければ、クラックが流管１２、１４に存在し、処理は要素１３１２に続く。要素１３１２は、適切な信号を経路１７０に印加することによってポンプ１８０を停止するよう動作する。ポンプ１８０の停止は、流管１２、１４内の物質の流れを止めて流管１２、１４におけるクラックからの物質の漏出の可能性を低減する。要素１３１４は、適切な信号を経路１７１に印加することによって弁１８１を開路するよう動作する。弁１８１の開路は流量計１０における背圧を低減して、流管１２、１４におけるクラックからの物質の漏出の可能性を更に低減する。要素１３１６は、流量計１０の流管１２、１４におけるクラックの存在をオペレータに知らせるよう動作する。適切なメッセージがパネル１８２に表示されるように経路１７２へ与えられる。この動作は、図１３の要素の処理および図９のそのための要素９０６の処理を完了する。処理は、図９の要素９０８に続く。故障の検知・補正方法−質量流量の補正図１４は、先に述べた要素９０８の動作の更に詳細を示すフローチャートである。図１４の諸要素は、流量計１０内の補正された質量流量を計算するよう動作する。補正された質量流量は、測定された質量流量と流管１２、１４を流過する物質の計算された空隙率とから決定される誤差係数（誤差率）によって調整される。空隙率は、図６に示されまた先に述べたようにサンプリングされる周波数およびサンプリングされる駆動力の関数として決定される。誤差率は、図８に関して先に述べた如く質量流量計器２４により提供される計算された空隙率と測定された質量流量との関数として決定される。この誤差率は、測定された質量流量に印加されて補正された質量流量を決定する。図６および図８に示された情報は、測定された質量流量を補正するため空隙率と誤差率との決定に用いられるように先に述べた如くＲＯＭメモリ２０２においてコード化される。ＲＥＦ．ＭＡＳＳＣＯＲＲＥＣＴ．ＶＯＩＤＦＲＡＣＴＩＯＮは、測定された周波数と駆動力との関数として空隙率を計算するのに用いられ、図６に示され且つＲＯＭメモリ２０２に記憶される情報のコード化である。ＲＥＦ．ＭＡＳＳＣＯＲＲＥＣＴ．ＥＲＲＯＲＰＥＲＣＥＮＴは、測定された流量と計算された空隙率との関数として誤差率の計算に用いられ、図８に示され且つＲＯＭメモリ２０２に記憶される情報のコード化である。補正された質量流量を使用することで、より広い範囲の処理条件下で更に正確な測定を可能にする。要素１４００は、流量計１０を流過する物質に対する空隙率を決定するよう動作する。空隙率は、図６に示され且つＲＯＭメモリ２０２にＲＥＦ．ＭＡＳＳＣＯＲＲＥＣＴ．ＶＯＩＤＦＲＡＣＴＩＯＮとしてコード化された情報と関連ＵＲＶ（全て要素９００と９０４の動作により決定される）の関数として決定される。先に述べたように、ＲＯＭメモリ２０２における情報は、表の形態または空隙率の決定に用いられる多項式の係数としてコード化される。表の形態は、制限される計算能力を持つ図２のＣＰＵ２００の如き低コストのマイクロプロセッ流量計１０内に流れる物質のその時の空隙率を決定するため、ＲＯＭメモリ２０２にＲＥＦ．ＭＡＳＳＣＯＲＲＥＣＴ．ＶＯＩＤＦＲＡＣＴＩＯＮで記憶されるエントリの表において内挿するのに用いられる。要素１４０２は、流量計１０の測定された質量流量を補正するのに適用されるべき誤差率を決定するよう動作する。誤差率は、先に述べた要素９００の動作に（図８に示され且つＲＥＦ．ＭＡＳＳＣＯＲＲＥＣＴ．ＥＲＲＯＲＰＥＲＣＥＮＴとしてＲＯＭメモリ２０２にコード化された情報と関連して用いられる）として決定される。先に述べたように、ＲＯＭメモリ２０２における情報は、表の形態でまたは空隙率を決定するのに用いられる多項式の係数としてコード化される。表の形態は、制限された計算能力を持つ図２のＣＰＵ２００の如き低コス０の動作により決定される空隙率とは、流量計１０内に流れる物質の測定された質量流量を補正するためその時の誤差率を決定するように、ＲＯＭメモリ２０２にＲＥＦ．ＭＡＳＳＣＯＲＲＥＣＴ．ＥＲＲＯＲＰＥＲＣＥＮＴで記憶されるエントリの表を内挿するために用いられる。れた誤差率とから補正された質量流量とを決定するよう動作する。誤差率は、測定された質量流量に対する空隙率の影響を補正するため、測定された質量流量に適用される。要素１４０６は、パネル１８２に経路１７２で送られたメッセージを表示することにより、補正された質量流量をオペレータに知らせるよう動作する。要素１４０８は、要素１４０６の動作により決定された補正された質量流量を、先に述べたようにＲＯＭメモリ２０２にＲＥＦ．ＭＩＮＭで記憶された公称最小流量閾値と比較する。補正された質量流量がこの閾値より小さければ、処理は要素１４１０に続く。さもなければ、処理は要素１４１２に続く。要素１４１０は、ポンプ１８０の速度を増すことにより、かつ弁１８１を開くことによって質量流量を増加させるよう動作する。図２のＣＰＵ２００は、信号をそれぞれ経路１７０と経路１７１に印加することによりポンプ１８０と弁１８１とを制御する。この動作で、図１４の要素の処理と図９のそのための要素９０８の処理とを完了する。処理は、図９の要素９１０に続く。要素１４１２は、要素１４０６の動作により決定される補正された質量流量を、先に述べたようにＲＯＭメモリ２０２にＲＥＦ．ＭＡＸＭで記憶された公称最大流量閾値と比較する。補正された質量流量がこの閾値より大きければ、処理は要素１４１４に続く。さもなければ、この動作は図１４の要素の処理および図９のそのための要素９０８の処理を完了し、処理は図９の要素９１０に続く。要素１４１４は、ポンプ１８０の速度を低減し弁１８１を閉じることにより質量流量を低減させるよう動作する。図２のＣＰＵ２００は、信号をそれぞれ経路１７０と経路１７１に印加することによりポンプ１８０と弁１８１とを制御する。この動作で、図１４の要素の処理と図９のそのための要素９０８の処理を完了する。処理は、図９の要素９１０に続く。故障の検知・補正方法−他の故障の検知および補正図１５は、先に述べた要素９１０の動作の更に詳細を示すフローチャートである。図１５の諸要素は、流量計１０における他の動作故障条件を検知するよう動作する。先に述べたように、検知可能な各故障条件に対する識別特性情報は、サンプリングされた各動作パラメータに対する上下の閾値として、ならびに対応する各動作パラメータの変化の関連する計算された勾配と曲率とに対する上下の閾値としてコード化されＲＯＭメモリ２０２に記憶される。本発明の方法により検知可能な多数の他の故障条件は、先に述べたようにＲＯＭメモリ２０２にＲＥＦ．ＮＵＭＦＡＵＬＴＳで記憶される。全ての検知可能な故障条件に対する識別特性情報は、先に述べたように、構造ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［］のアレイに記憶される。当業者は、図１３に関して先に述べた流量計１０の流管１２、１４におけるクラックの検知は図１５に関して本文に述べる汎用故障検知法の動作中に検知可能な故障の一例であることが理解されよう。クラックの検知は、本発明の方法においてクラックを検知する正確な方法を明記するのを助けるため図１３に関して先に別個に述べられている。ＲＥＦ．ＣＲＡＣＫにコード化された閾値は、図１５の方法の動作により検知可能な故障の１つとして同様にコード化され、ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ内でＲＯＭメモリ２０２においてコード化される。要素１５００は、Ｉと名付けられＲＡＭメモリ２０１に記憶されるループ・カウント変数（ｌｏｏｐｃｏｕｎｔｉｎｇｖａｒｉａｂｌｅ）をゼロに初期化するよう動作する。Ｉは、全ての検知可能な故障条件の処理が完了する時を決定するため以降の要素において用いられる。要素１５０２は、サンプリングされた各動作パラメータを、コード化されてＲＯＭメモリ２０２に記憶されたその対応する上下の閾値と比較するよう動作する。値と最大閾値、即ち、ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＭＩＮＰ、ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＭＡＸＰ、ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＭＩＮＦ、ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＭＡＸＦ、ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＭＩＮＴおよびＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＭＡＸＴの各々と比較される。サンプリングされた動作パラメータの任意の１つが指定された範囲外であることをどれかの比較が示すならば、対応する故障が生じており、処理は要素１５１２に続く。さもなければ、処理は要素１５０４に続く。要素１５０４は、サンプリングされた各動作パラメータの変化の計算された勾配を、コード化されてＲＯＭメモリ２０２に記憶されたその対応する上下の閾値と比較するよう動作する。特に、ＭＳＬＯＰＥは、ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＭＩＮＭＳＬＯＰＥおよびＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＭＡＸＭＳＬＯＰＥと比較される。同様に、ＰＳＬＯＰＥ、ＦＳＬＯＰＥおよびＴＳＬＯＰＥはそれぞれ、それらの最小閾値と最大閾値、即ち、ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＭＩＮＰＳＬＯＰＥ、ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＭＡＸＰＳＬＯＰＥ、ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＭＩＮＦＳＬＯＰＥ、ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＭＡＸＦＳＬＯＰＥ、ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＭＩＮＴＳＬＯＰＥおよびＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＭＡＸＴＳＬＯＰＥの各々と比較される。計算された勾配の任意の１つが指定された範囲外にあることをどれかの比較が示すならば、対応する故障が生じており、処理は要素１５１２に続く。さもなければ、処理は要素１５０６に続く。要素１５０６は、サンプリングされた各動作パラメータの変化の計算された曲率を、コード化されてＲＯＭメモリ２０２に記憶されたその対応する上下の閾値と比較するよう動作する。特に、ＭＣＵＲＶは、ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＭＩＮＭＣＵＲＶに、かつＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＭＡＸＭＣＵＲＶと比較される。同様に、ＰＣＵＲＶ、ＦＣＵＲＶおよびＴＣＵＲＶは、それらの最小閾値と最大閾値、即ち、ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＭＩＮＰＣＵＲＶ、ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＭＡＸＰＣＵＲＶ、ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＭＩＮＲＦＣＵＲＶ、ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＭＡＸＦＣＵＲＶ、ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＭＩＮＴＣＵＲＶおよびＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＭＡＸＴＣＵＲＶの各々と比較される。計算された曲率の任意の１つが指定された範囲外にあることをどれかの比較が示すならば、対応する故障が生じており、処理は要素１５１２に続く。さもなければ、処理は要素１５０８に続く。要素１５０８は、コード化された識別特性情報のＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［］アレイに記述される次の故障条件をテストするよう準備するためループ・カウンタＩを１だけ増分するよう動作する。要素１５１０は、ループ・カウンタＩをＲＥＦ．ＮＵＭＦＡＵＬＴＳと比較するよう動作する。ＩがまだＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［］アレイにコード化された故障数に達していなかったならば、処理は要素１５０２へ続いて、ＲＯＭメモリ２０２にコード化された別の故障の識別特性を処理する。さもなければ、この動作は図１５の要素の処理と図９のそのための要素９１０の処理を完了する。処理は、図９の要素９１２に続く。要素１５１２は、ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＰＵＭＰＣＨＡＮＧＥにおける百分率の値に従ってポンプ１８０の速度を変化させるよう動作する。ポンプ１８０の速度は経路１７０に適切な信号を与えるＣＰＵ２００により変更される。ポンプ１８０の速度における変化は、ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］にコード化された検知された故障条件を補正するために、流量計１０における物質の質量流量を変更することを意図する。要素１５１４は、ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＶＡＬＶＥＣＨＡＮＧＥにおける百分率の値に従って弁１８１の位置を変化させるよう動作する。弁１８１の位置は経路１７１に適切な信号を与えるＣＰＵ２００により変更される。弁１８１の位置の変化は、ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］にコード化された検知された故障条件を補正するために、流量計１０における物質の質量流量を変更することを意図する。要素１５１６は、検知された故障条件の発生を示すメッセージをパネル１８２に表示するよう動作する。表示されるべきメッセージは、ＲＥＦ．ＦＡＵＬＴ［Ｉ］．ＤＩＳＰＬＡＹにおける値から検索される。このメッセージは、経路１７２に適切な信号を与えるＣＰＵ２００によりパネル１８２上に表示される。この動作で、図１５の要素の処理と図９のそのための要素９１０の処理とを完了する。処理は、図９の要素９１２に続く。特許請求の対象となる発明は望ましい実施の形態の記述に限定されるものではなく、発明概念の範囲と趣旨に含まれる他の修正および変更を包含するものであることが明瞭に理解される。特に、本発明の方法および装置は、いわゆる「Ｕ」字形管、直線状管その他の管を含む広範囲の管形状を持つコリオリ効果質量流量計に適用される。更に、図３ないし図８のグラフに示された情報およびデータは、複数の流量計において異なる時点において異なる動作条件下で行われる測定を表わす。従って、図３ないし図８の１つのグラフからのデータを、別のグラフのデータと比較しても無意味である。流量計のデータ出力を決定するには多くの変数が介在する。これらの変数には、流管壁部の厚さ、物質の温度、粘度および流量、流管を構成する材料の弾力特性が含まれる。従って、これらの図のそれぞれに示されたデータは、単なる例示に過ぎず、同じグラフに示される種々のパラメータ間の関係を描写するためにのみ用いられるべきである。介在する多くの変数のゆえに、示された数値は他の数値で容易に再現されると見なし得るものではない。

Claims

【特許請求の範囲】１．動作中のコリオリ効果質量流量計（１０）の動作条件の変化を検知するための方法において、その時の動作パラメータと、該その時の動作パラメータの変化の勾配と、該勾配の曲率とからなるグループから選択された前記流量計のその時の動作を表わす少なくとも１つの値を決定するステップ（９００、９０４）と、前記少なくとも１つの値が予め定めた量だけ公称値から偏倚したことを決定するステップ（９０６、９０８、９１０）と、前記少なくとも１つの値が前記予め定めた量だけ公称値から偏倚したことの前記決定に応答して、前記少なくとも１つの値における前記変化の存在を表示する出力信号を生成するステップ（９０６、９０８、９１０）と、前記流量計に前記の異常条件の補正を含めるため、前記出力信号を利用手段へ印加するステップ（９０６、９０８、９１０）とを含むことを特徴とする方法。２．前記出力信号を前記利用装置へ印加する前記ステップが、前記流量計を流動する物質の流量を変化させるため前記流量計と関連するポンプ（１８０）を制御することを含む請求項１記載の方法。３．前記出力信号を前記利用手段へ印加する前記ステップが、前記流量計を流動する物質の流量を変化させるため前記流量計と関連する弁（１８１）を制御することを含む請求項１記載の方法。４．前記振動周波数の前記勾配の前記公称値が約ゼロより大きいかあるいはこれと等しく（１３０２）、前記駆動力の前記勾配の前記公称値が約ゼロより小さいかあるいはこれと等しく（１３００）、前記振動周波数の前記曲率の前記公称値が約ゼロより大きいかあるいはこれと等しく（１３１０）、前記駆動力の前記曲率の前記公称値が約ゼロより小さいかあるいはこれと等しく（１３０８）、かつ前記出力信号が前記流量計の流管におけるクラックの存在を表示する（１３１２、１３１４、１３１６）請求項１記載の方法。５．前記出力信号を前記利用手段へ印加する前記ステップが、物質が前記流量計に流動することを止めるため前記流量計と関連するポンプ（１８０）を制御すること（１３１２）を含む請求項４記載の方法。６．前記出力信号を前記利用手段へ印加する前記ステップが、物質が前記流量計に流動することを止めるため前記流量計と関連する弁（１８１）を制御すること（１３１４）を含む請求項４記載の方法。７．前記振動周波数の前記勾配の前記公称値がゼロより大きいかあるいはこれと等しく（１５０４）、前記駆動力の前記勾配の前記公称値がゼロであり（１５０４）、前記振動周波数の前記曲率の前記公称値がゼロより小さいかあるいはこれと等しく（１５０６）、前記出力信号が、前記流量計の前記流管に流れる物質の許容できない密度変化の存在を表示する（１５１２、１５１４、１５１６）請求項１記載の方法。８．前記振動周波数の前記勾配の前記公称値がゼロより小さいかあるいはこれと等しく（１５０４）、前記駆動力の前記勾配の前記公称値がゼロより小さいかあるいはこれと等しく（１５０４）、前記振動周波数の前記曲率の前記公称値がゼロであり（１５０６）、前記駆動力の前記曲率の前記公称値がゼロより小さいかあるいはこれと等しく（１５０６）、かつ前記出力信号が、前記流量計の前記流管に流れる物質の許容できない空隙率の存在を表示する（１５１２、１５１４、１５１６）請求項１記載の方法。９．前記振動周波数の前記勾配の前記公称値がゼロより大きいかあるいはこれと等しく（１５０４）、前記駆動力の前記勾配の前記公称値がゼロより小さいかあるいはこれと等しく（１５０４）、前記振動周波数の前記曲率の前記公称値がゼロであり（１５０６）、前記駆動力の前記曲率の前記公称値がゼロであり（１５０６）、前記出力信号が、前記流量計の前記流管に流れる物質の許容できない質量率の存在を表示する（１５１２、１５１４、１５１６）請求項１記載の方法。１０．前記少なくとも１つの動作パラメータの関数として前記流管に流動する物質の空隙率値を決定するステップ（１４００）と、前記のその時の測定された質量流量と前記空隙率値との関数として誤差補正係数を決定するステップ（１４０２）と、前記のその時の測定された質量流量と前記誤差補正係数とを用いて補正された質量流量を決定するステップ（１４０４）と、前記流量計に流動する物質の流量を変化させるため、前記補正された質量流量と前記のその時の測定された質量流量との間の差に比例する出力信号を利用手段へ印加するステップ（１４０６、１４０８、１４１０、１４１２、１４１４）と、を更に含む請求項１記載の方法。１１．前記空隙率を決定する前記ステップが、前記のその時の振動周波数の関数として前記空隙率値を決定するため数値表内で内挿することを更に含む請求項１０記載の方法。１２．前記空隙率値を決定する前記ステップが、前記のその時の駆動力の関数として前記空隙率値を決定するため数値表内で内挿することを更に含む請求項１０記載の方法。１３．前記誤差補正係数を決定する前記ステップが、前記のその時の測定された質量流量と前記空隙率値との関数として前記誤差補正係数を決定するため表内で内挿することを含む請求項１０記載の方法。１４．コリオリ効果質量流量計（１０）における故障条件を検知するための装置において、前記流量計に接続されて、前記流量計のその時の動作パラメータに関する情報を受取る入力手段（１６０〜１６３、２０３〜２０６）と、前記のその時の動作パラメータに対する少なくとも１つの故障条件に関する故障識別特性情報を記憶する記憶手段（２０１、２０２）と、前記流量計の動作における前記故障条件の発生を表示する出力手段（１８０、１８１、１８２）と、前記入力手段に接続され前記出力手段に接続され且つ前記記憶手段に接続され、前記のその時の動作パラメータを前記故障識別特性情報と比較して、前記故障条件の発生を検知し且つ前記故障条件の発生を表示する信号を前記出力手段へ印加する検知手段（２００）とを備えることを特徴とする装置。