TW594422B - Edge remover with gas nozzle capable of preventing splash back of chemical solvent - Google Patents

Description

594422 五、發明說明（1) 發明所屬之技術領域： 本發明與一種清除基板邊緣表面光阻材料之洗邊機台 (Edge Remover; ER)有關，特別是關於一種洗邊機台上裝設 氣體喷嘴裝置，以防止洗邊程序中化學溶劑回濺之問題。 先前技術：

隨著薄膜電晶體製作技術快速的進步，液晶顯示器由於 具備了輕薄、省電、無幅射線等優點，而大量的應用於個人 數位助理器（PDA)、筆記型電腦、數位相機、攝錄影機、行 動電話等各式電子產品中。再加上業界積極的投入研發以及 採用大型化的生產設備，使液晶顯示器的品質不斷提昇，且 價格持續下降，更使得液晶顯示器的應用領域迅速擴大。

一般而言，在製作薄膜電晶體或相關電路時，可藉著在 基板上反覆的進行薄膜沉積與微影製程，而定義出相關的元 件與電路圖案。其中，藉著進行諸如化學氣相或物理氣相等 程序，可在基板上形成各式絕緣層或導電層。接著，藉由微 影製程定義圖案之功能，製作所需的元件或定義出相關的電 路。典型的微影製程首先在基板上塗佈光阻材料，再使用具 有圖案之光罩，對光阻材料進行曝光程序，而使基板上的光 阻材料產生選擇性的感光，以便將光罩上之圖案完整的傳遞 至光阻材料上。然後，藉著對光阻材料進行顯影程序，可根 據所使用光阻材料的特性，選擇性移除已曝光或未曝光的部 份，而定義圖案於光阻材料上。隨後，可利用此光阻材料作

第5頁 594422 五、發明說明（2) 為蝕刻罩冪，對下方的膜層進行蝕刻，而達成上述製作元件 之目的。 典型塗佈光阻材料之方法為旋轉式塗佈程序（Sp i η C o a t i n g )。藉著在喷灑光阻液於基板上時，同時旋轉基板而 使塗佈於基板上之光阻材料能分佈得更為均勻。然而，在進 行此種光阻塗佈方式時，光阻材料會隨著基板旋轉的離心力 而流至基板邊緣，進而附著於基板邊緣與側壁，甚至沾附於 基板的底部表面。如此一來，當後續對基板進行其它各種製 程時，與基板側邊碰觸之機器手臂或承載基座，可能會直接 壓觸這些沾附的光阻材料而使其剝落，進而造成嚴重的微粒 污染問題。 為了解決這個問題，在目前的製程中，會在塗佈完光阻 材料後，便對基板進行洗邊的動作，以移除沾附於基板邊 緣、側壁與底部表面上之光阻材料。請參照第一圖，在進行 洗邊程序時，由機台上沿伸出來的洗邊手臂1 0，會分佈於基 板1 2的四個角落，並沿著基板1 2的邊緣進行順時針或逆時針 方向的循環繞行，把原本附著於基板1 2邊緣之部份光阻材料 移除，而保留位於基板1 2内緣之光阻材料1 4。 洗邊手臂1 0之詳細結構，如第二圖所示，包括了上、下 夾合的平板2 0與階梯板塊2 2。此平板2 0與階梯板塊2 2之間， 會構成一向内凹入的空間，而允許基板1 2的邊緣插置於其

第6頁 594422 五 、發明說明（3) 中。在平板20的上表面並具有 葯劑管線2 6 ’用以傳輸化學溶 口，喷灑於基板12上表面。至 設了一下固定臂28，其後端同 化學溶劑經由階梯板塊2 2上表 面。此外，一固定座32連結於 端，並且一真空管線34貫通此 經由階梯板塊2 2其階梯側壁上 氣的效果。 一上固定臂24，其末端連結於 劑’並經由平板2 0下表面的喷 於在階梯板塊2 2下表面，則裝 樣連結於一葯劑管線3 0，可使 面的喷口 ，喷灑於基板下表 上述平板2 0與階梯板塊2 2之末 固定座3 2與階梯板塊2 2，以便 的開口’對凹入的空間產生抽 請 同上述 與階梯 氣功能 經由平 上、下 3 4的抽 微粒， 部份造 到真空 灑。 ，在進行 板塊2 2所 後’由上 板2 0與p皆 表面，以 氣功能， 以避免其 成侵蝕。 吸力的影 圖， 洗邊 構成 述葯 梯板 去除 來抽 流至 因此 響， 此圖顯 备·序時 的凹陷 劑管線 塊22上 沾附的 除基板 基板1 2 ，由噴 而沿著 』>无透乎 ’基板1 2側 空間中。在 2 6與3 Q傳送 的噴口 36與 光阻材料。 1 2表面的化 上其它位置 口 3 6與3 8喷 圖中箭頭朝 邊可沿 開啟真 之化學 3 8，嘴 同時， 學溶劑 ，而對 出的化 真空管 截面結 伸至由 空管線 溶劑， 灑於基藉由真 與移除 欲保留 學溶劑 線3 4的 構。如 平板2C 34的抽 會分別 板12的 空管線 的光阻 的光阻 ，會受 開口喷 線3 4的抽氣機 由平板20其噴口 組，恭 侍〉主意的是，當連結於真 "吸力不足或間歇性中斷的現象

594422 五、發明說明（4) 3 6向下喷出的化學溶劑，可能會沿著圖中虛線箭頭發生回 濺，而喷灑於基板1 2内側位置，並對基板1 2上欲保留的光阻 部份造成侵钱，導致後續定義的圖案失真，並大幅降低整體 製程的良率。特別是隨著元件尺寸的縮小與積集度的提昇， 些微圖案的誤差便會導致大量元件操作失敗。是以，如何在 不更動現有機台原始設計的條件與限制下，有效解決洗邊時 溶劑回濺的問題，已成為進一步提昇產品製作良率的重.要課 題。

發明内容： 本發明提供了 一種裝設於目前洗邊機台其機器手臂上之 氣體噴嘴，以防止由機器手臂上喷灑之化學溶劑回濺於基板 内側表面。 本發明之另一目的在提供一種洗邊機台其洗邊機器手臂 之新式設計，以便提高微影製程之良率。

本發明揭露了 一種可防止化學溶劑回濺於基板内側之洗 邊機台。此洗邊機台至少包括了下列元件。一承托底座，用 以承托進行洗邊之基板，承托底座係承接基板下表面的中央 位置，以便對基板側邊之上、下表面沾附之光阻材料進行洗 邊程序。一洗邊手臂，其前端具有凸出的上、下平板，上、 下平板並構成一個内凹的空間，以允許基板側邊沿伸至内凹 空間中進行所述洗邊程序。在上平板的下表面具有第一葯劑

第8頁 594422 五、發明說明（5) 噴口，可噴灑化學溶劑清洗基板側邊上表面。至於在下平板 的上表面則具有第二葯劑喷口，用以喷灑化學溶劑而清洗基 板側邊下表面。並且在内凹空間的内壁上具有一抽氣開口， 用以抽除基板上之化學溶劑與溶解之光阻材料。另外，一氣 體喷嘴，裝設於洗邊手臂上緣，其前端具有一鉤狀噴口 ，勾 繞於上平板前端且延伸至内凹空間中，鉤狀噴口噴出氣體方 向正相對於上述抽氣開口 ，以防止上平板下表面之第一葯劑 喷口所喷灑之化學溶劑回濺於基板内側。

實施方式： 本發明提供一種裝設於洗邊手臂上之氣體喷嘴。其中， 洗邊手臂係沿著基板邊緣循環繞行，並喷灑化學溶劑至基板 邊緣表面，而溶解附著於該基板邊緣之部份光阻材料。此洗 邊手臂並具有一抽氣管線，用以抽除喷灑於基板表面的化學 溶劑與光阻溶解物。所述氣體喷嘴係裝設於洗邊手臂上緣， 其具有一向前延伸的鉤狀喷口，勾繞於洗邊手臂前端，此鉤 狀喷口之喷出氣體方向，正好相對於抽氣管線開口 ，以防止 洗邊手臂噴灑出來的化學溶劑回濺於基板内側。有關本發明 的詳細描述如下所示。

為了有效的解決目前洗邊機台其化學溶劑回濺之問題， 本發明提供了一種可防止化學溶劑回濺於基板内側之洗邊機 器手臂設計。一般來說，在進行洗邊程序時，會將基板置於 洗邊機台的承托底座（未顯示）上。此承托底座係由基板下表

第9頁 594422 五、發明說明（6)份 … ，一 哪路 ® 签低IN < WV 而方便將沾附在這些位置的光阻材料加以洗除 ^於在塗佈光阻材料層至基板上時，係以旋塗式方式進行 疋以党到離心力的光阻材料，會流動至基板邊緣，甚至黏著 於基板下表面。為了將這些位置的光阻材料移除乾淨，目前 的洗 if 德哭车辟 4 ΓΞ1 〇士 Α, Μ 4 , ..1. ^ 面的中央部份將其托起，並曝露出基板側邊的上、下表面 而方#腺A ItU ★ 3 一 —，. …· · 如同前述 -” 1 j 7Π·心公1IL直的元p且 的洗邊機為手臂會同時針對基板側邊上 劑噴灑之清洗動作。 下表面進行化學溶 明 發 本 了 示I 顯10 圖臂 此手 ， 器 圖機 四邊 第洗 照此 參 。 請計 設 之 所 了 括 包 板 平 器板 機平 邊此 洗。 供20 提 )具 示 一 顯， 未外 圖另 此。 V Λ 表 賁 Λ 具邊 惻 並Η 面11 表板 下基 端至 义S：^片 其溶 在學 ’ 化 觀灑 外喷 型下 矩向 有以 具用 係 面 12表 塊上 板梯 梯階 階其 之， 觀示 外所 形中 矩圖 有如 方 下 之 ο 2 1Χ 板 平 述 所 於 合 接 係 2 - - 1U 4 板U Θ 平2述 與11所 而板在 ，基。 面許序 ，在 ， 示外 顯此 未。 圖粒 表 下 端 後 ο 2 IX 板 平 於 合 貼 接 直丨 允 以程 ，邊 間洗 空行 的進 入便 凹方 内而 向 型間 字空 凹 丨 内 個此 一至 成伸 構沿 20邊 匸 此 /{\ D ynw 氣 抽 一 有 具 並 上 壁 待 階 之 中 間 空 凹 微 阻 光 的 解 溶 與 劑 溶 學 化 的 上 2 1—I IX 板 基 除 抽 以 用 板 ;Γ7 特 階 述 所 α 喷 Τ 置 設 亦 面 表 上 端 前 其 光 之 附 沾 面 表 下 2 IX τ—ί 板 基 洗 清 而 溶 學 化 Μ 喷 上 向 以 用 料 材 阻 4接 2連 1i 、i 臂則 定上 固壁 上側 一 端 了末 設其 裝’ 並觀 ，外 面之 表塊 上方 20型 1 矩 板 7有 述4 所12 在臂 定 固 上 此 葯

第10頁 594422 五、發明說明（7) 劑管線1 2 6，以傳送化學溶劑至平板1 2 0，並經由其平板1 2 〇 下表面的喷口 ’噴灑至基板112上表面。同樣的，在所述階 梯板塊1 2 2下表面，則裝設了一個下固定臂丨2 8，其同樣具有 矩型方塊之外觀，且其末端側壁會連接另一葯劑管線丨3 〇， 以傳送化學溶劑至階梯板塊1 2 2中，並經由階梯板塊1 2 2前端 上表面的喷口 138，向上喷灑至基板122下表面。 所述平板1 2 0與階梯板塊1 2 2後端側壁，則與一固定座 1 3 2連接。至於此固定座1 3 2的上、下表面，則會分別與上、 下固定臂1 2 4與1 2 8接合。值得注意的是，在固定座i 3 2末端 側壁上’並連接了 一條真空管線1 3 4。此真空管線1 3 4會貫通 固定座1 3 2，且延伸並貫通至階梯板塊1 2 2其凸起的階梯部 份，而連通至位於階梯壁上之抽氣開口 ，以便藉著抽氣機的 真空吸力，抽除基板i丨2上的化學溶劑與溶解的光阻微粒。 為了有效的解決化學溶劑回濺之問題，本發明並提供了 一氣體喷嘴140，係裝設於上固定臂124上表面，其前端具有 一鉤狀喷口 14〇a，勾繞於上固定臂}24與平板120前端，而延 伸至平板1 2 0與階梯板塊1 2 2的内凹空間中。此鉤狀喷口 1 4 0 a 喷出氣體的方向，正好相對於上述抽氣開口 ，以防止平板 1 20下表面噴口所喷灑的化學溶劑回濺至基板丨丨2内側。如圖 中所示，此氣體喷嘴1 4 〇後端側壁下緣具有一塊向外延伸的 薄板140b，貼附於上固定臂124的上表面。在薄板14〇b上並 具有孔洞’以便使用螺絲1 4 4將所述氣體噴嘴1 4 0固定於上固

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五、發明說明（8) 定臂124上緣。氣體噴嘴14〇的後端側壁並連接一氣體管線 142 了輸送諸如氮氣之氣體，使其經由鉤狀喷口 i40a朝著 内凹空間喷氣。 。月參"、、第五圖，此圖顯示了上述洗邊機器手臂的截 面結構。如同前述在進行洗邊程序時，基板112的邊緣部份 會/α伸至由2板1 2 〇與階梯板塊1 2 2所構成的凹陷空間内。在 開啟了真空官線1 3 4的抽氣功能後，由葯劑管線i 2 6與i 3 〇傳 送之化學溶劑、，會分別經由平板12〇與階梯板塊122上的噴口 136與138，喷灑於基板112的上、下表面，而溶解並去除沾 光阻材料。同時，藉著真空管線134的抽氣功能，可抽 二=板1—1 2表面的化學溶劑與溶解的光阻微粒，並防止化學 二刎噴灑到基板1 1 2内側表面，而對欲保留的光阻部份造成 值得注意的是，由於裝設於上固定臂1 2 4上方的氣體噴 嘴140會朝著内凹空間喷送氣體。是以，即便真空管線134的 抽除功能，由於真空吸办不足而產生間歇性中斷，由噴口 1 3 6所噴灑之化學溶劑’仍會被鉤狀喷口 1 4 〇 a所喷出的氣 體，吹至基板1 1 2的外緣，而不至於喷灑至基板丨丨2内側表 面〇 換言之，在本發明中可藉著在洗邊手臂其前端凸出的 上、下平板裝設一氣體噴嘴，並使此氣體喷嘴的鉤狀噴口

第12頁 594422 五、發明說明（9) 勾繞於上平板前端，且延伸至由上、下平板所構成的内凹空 間中，而使鉤狀喷口喷出氣體方向，正好相對於内凹空間其 内壁上的抽氣開口 ，以防止上平板下緣噴口所喷灑的化學溶 劑回濺於基板内側。 使用本發明所提供之氣體喷嘴，在實際製作上並不需要 針對整個洗邊機台的管路佈線進行過於複雜的設計，只需要 對原來自動閥門的管路進行適當修改即可。請參照第六圖， 在原來的洗邊機台配置中，係使用一個四通二位的電磁閥 2 0 0來做為真空管線1 3 4其真空抽除之開關。當電磁閥2 0 0的 開關切換至右側位置時，如圖中所示，沿著兩條通路管線方 向流動的氮氣，可推動並開啟自動閥門2 0 2，而產生真空抽 除的功能。 此時，藉著在原來管線上安裝一個三通接管2 0 4，可使 部份的氮氣沿著架設的氣體管線1 4 2，傳送至具有鉤狀喷口 1 4 0 a之氣體噴嘴1 4 0。換言之，一旦電磁閥2 0 0的氮氣流動開 啟自動閥門2 0 2時，真空管線1 3 4會進行抽除動作，同時氣體 噴嘴140亦會喷出Ιι氣。一般而言，由於目前所使用的洗邊 機台，係設計了四組洗邊機器手臂，以便同時沿著基板的四 個角落進行洗邊動作，是以在圖中亦提供了四組鉤狀氣體喷 嘴，以便安裝於各個洗邊機器手臂上。另外，為了適當的調 整氣體管線142中的氮體流量，並可在氣體管線142上加裝一 個節流閥2 0 6與一個壓力錶2 0 8，以調整出最適合製程條件的

594422 五、發明說明（ίο) 氮氣喷出量，進而減低化學溶劑侵蝕基板内側光阻之機率。 相較於傳統技術，本發明所提供的承載結構具有以下的 優點： (1 )由於使用本發明之鉤狀氣體喷嘴後，可有效防止化學溶 劑滴落在基板内側，而大幅降低了重新塗佈光阻製程之次 數，進而大幅的降低了製作成本； (2 )由於化學溶劑滴落在基板内側的機會降低，是以需要對 機台進行維修與調整的機率降低，而提高了可利用率，並可 維持正常的產能輸出； (3)由於本發明所提供之設計與管線佈局，不需要昂貴的製 作成本，因此可在不大幅增高成本的情形下，有效的提高產 品製作良率。 本發明雖以較佳實例闡明如上，然其並非用以限定本發 明精神與發明實體，僅止於上述實施例爾。是以，在不脫離 本發明之精神與範圍内所作之修改，均應包含在下述之申請 專利範圍内。

594422 圖式簡單說明 -圖式簡單說明： 藉由以下詳細之描述結合所附圖示，將可輕易的了解上 述内容及此項發明之諸多優點，其中： 第一圖顯示了進行洗邊程序之基板俯視圖，其中洗邊手 臂會分佈於基板的四個角落，並沿著其邊緣進行循環繞行， 以便移除附著於基板邊緣之部份光阻材料； 第二圖顯示了目前洗邊機器手臂之結構； 第三圖為洗邊機器手臂之截面圖，顯示在對基板進行洗 邊程序時之情形； 第四圖為本發明所提供洗邊機器手臂之結構圖； 第五圖為本發明所提供洗邊機器手臂之結構戴面圖；及® 第六圖為本發明中所提供氣體噴嘴之管線佈局設計。 圖 號 對 昭 表： 洗 邊 手 臂 10 基 板 12 光 阻 材 料 14 平 板 20 階 梯 板 塊 22 上 固 定臂 24 葯 劑 管 線 26 下 固 定臂 28 葯 劑 管 線 30 固 定 座 32 真 空 管 線 34 喷 36與 38 洗 邊 機 器 手臂 1 0 0 平 板 120 基 板 1 12 階 梯 板塊 122 喷 α 1 38 上 固 定臂 124 葯 劑 管 線 126 下 固 定臂 128

第15頁 594422 圖式簡單說明 葯劑管線1 3 0 真空管線 1 3 4 鉤狀喷口 1 4 0 a 螺絲 1 4 4 噴口 136 自動閥門202 節流閥 2 0 6 固定座 132 氣體喷嘴1 4 0 薄板1 4 0 b 氣體管線1 4 2 電磁閥2 0 0 三通接管2 0 4 壓力錶208

Claims (1)

1. 594422 六、申請專利範圍 ^ 1. 一種裝設於洗邊手臂上之氣體噴嘴，其中該洗邊手 臂會沿著基板邊緣循環繞行，並喷灑化學溶劑至該基板邊緣 表面，而溶解附著於該基板邊緣之部份光阻材料，該洗邊手 臂並具有一抽氣管線，用以抽除喷灑於該基板表面之化學溶 劑與溶解的光阻微粒，其中該氣體喷嘴係裝設於該洗邊手臂 上緣，並具有一向前延伸的鉤狀喷口，勾繞於該洗邊手臂前 端，該鉤狀喷口之喷出氣體方向正相對於上述抽氣管線之開 口，以防止該洗邊手臂喷灑出來之該化學溶劑回濺於該基板 内側。 2. 如申請專利範圍第1項所述之氣體喷嘴，其中上述洗< 邊手臂前端具有一個”匚”字型開口 ，以便基板側邊可伸入該 π匸π字型開口進行洗邊程序。 3. 如申請專利範圍第2項所述之氣體喷嘴，其中上述抽 氣管線開口係位於該"匸"字型開口的内壁上。 4. 如申請專利範圍第2項所述之氣體喷嘴，其中上述π 匸"字型開口的上、下兩端分別具有葯劑喷口 ，會朝著位於Μ 匚”字型開口中之該基板進行葯劑喷灑的洗邊動作。 | 5. 如申請專利範圍第4項所述之氣體喷嘴，其中上述鉤 狀喷口正好朝向該"匸π字型開口喷出氣體，以防止所述上端 葯劑喷口所喷出之葯劑，回濺於該基板内側表面。

   第17頁 594422 六、申請專利範阇 · 6 · —種可防止化學溶劑回減：於基板内側之洗邊機台， 該洗邊機台至少包括： 一承托底座，用以承托進行洗邊之基板，該承托底座係 承接該基板下表面的中央位置，以便對該基板側邊之上、下 表面沾附之光阻材料進行洗邊程序； 一洗邊手臂，其前端具有凸出的上、下平板，該上、下 平板並構成一個"匚"字型的内凹空間，以允許該基板側邊沿 伸至該内凹空間中進行所述洗邊程序，在該上平板的下表面 具有第一葯劑喷口 ，可噴灑化學溶劑清诜該基板側邊上表 面，至於在該下平板的上表面則具有第二葯劑噴口 ，用以喷 灑該化學溶劑而清洗該基板側邊下表面，並且在該内凹空間 的内壁上具有一抽氣開口 ，用以抽除該基板上之該化學溶劑 與溶解之光阻材料；及 一氣體喷嘴，裝設於該洗邊手臂上緣，其前端具有一鉤 狀喷口 ，勾繞於該上平板前端且延伸至該内凹空間中，該鉤 狀噴口噴出氣體方向正相對於上述抽氣開口，以防止該上平 板下表面之該第一葯劑喷口所喷灑之該化學溶劑回藏於該基 板内側。 ( 7.如申請專利範圍第6項所述之洗邊機台，其中更包括 一真空管線，其前端連接於該洗邊手臂之該抽氣開口 ，至於 其末端則連結於一自動氣閥，並由該自動氣閥之開、關來控 制氣體抽除動作。

   第18頁 594422 六、申請專利範圍 1 - 8. 如申請專利範圍第7項所述之洗邊機台，其中上述自 動氣閥係藉由一電磁閥來進行開、關動作，當該電磁閥的開 關扳動至第一位置時，沿著第一管線流入該自動氣閥之氮 氣，可開啟該自動氣閥而進行真空抽氣。 9. 如申請專利範圍第8項所述之洗邊機台，其中更包括 一氮氣管線，連結於該第一管線與上述氣體喷嘴之間，可使 該第一管線中之部份該氮氣，沿著該氮氣管線傳送至該氣體 噴嘴。 10. 如申請專利範圍第9項所述之洗邊機台，其中在所 述氮氣管線上更裝設一節流閥與一壓力錶，以控制氮氣管線 中之氮氣流量。 _ 11. 一種可防止化學溶劑回濺於基板内側之洗邊機器手 臂，該洗邊機器手臂至少包括： 一平板，在該平板前端下表面具有噴口，用以喷灑化學 溶劑； 一階梯板塊，其階梯上表面接合於該平板後端，與該4 板構成一内凹的空間，以允許該基板側邊沿伸至其間進行洗 邊程序，在該階梯壁上並具有一開口用以抽除氣體，至於在 該階梯板塊前端上表面亦具有噴口 ，用以喷灑該化學溶劑；‘ 一上固定壁，固定於該平板上表面，其末端連接第一葯-

   第19頁 594422 六、申請鼻利範圍 - · 劑管線，可傳送該化學溶劑至該平板； 一下固定壁，固定於該階梯板塊下表面，其末端連接第 二葯劑管線，以傳送該化學溶劑至該階梯板塊； 一固定座，連接於該平板與該階梯板塊後壁； 一真空管線，貫通該固定座與該階梯板塊之階梯部份， 可經由該階梯壁上之該開口 ，抽除該基板上之該化學溶劑與 溶解的光阻微粒；以及 一氣體喷嘴，裝設於該上固定臂上緣，其前端具有一鉤 狀喷口 ，勾繞於該上固定臂與該平板前端，而延伸至該内凹 空間中，該鉤狀噴口之喷出氣體方向正相對於上述階梯壁上 之該開口 ，以防止該平板下表面之該噴口所噴灑的該化學溶!· 劑回濺於該基板内側。 中閥 其氣 臂自 手該 器由 機並 洗閥 之氣 述動 所自 項一 11於 第結 。 圍連作 範係動 利端除 專末抽 請之制 申線控 如管來 ♦空關 12真、 述開 上之 中動 其關 ， Λ 臂開 手行 器進 機來 邊閥 洗磁 之電 述之 所位 項二 2 通 第四 圍個 #祀 一 利由 專藉 請係 申閥 如氣 13自 述 上 流。 線氣 管抽 一 空 第真 著行 沿進 ， 而 時閥 置氣 fe 側自 右該 動啟 扳開 關可 開， 的氣 閥氮 磁之 電闊 該氣 當動 ， 自 作該 中於 其結 4gc ， 璉 臂， 手管 器接 機通 邊三 洗個 之一 述以 所係 項， 13線 第管 圍氣 範II 利之 專端 請末 申嘴 如喷 •體 14氣 述 上

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